KR20160031812A - Apparatus for Investigating LED Package with X-ray - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명에 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 회전 테이블에 적재가 되는 적어도 하나의 엘이디 패키지의 연속 검사가 가능하도록 하는 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus for an LED package, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus for an LED package capable of continuous inspection of at least one LED package to be mounted on a rotary table.
비파괴 검사의 하나에 해당되는 엑스레이 검사는 건축, 토목, 자동차 부품, 전자 부품, 농산물, 전자 또는 의료 분야에서 결함 관리 또는 생산품의 품질 관리에 적용되고 있다. 예를 들어 비파괴 검사는 부품실장 과정에서 인쇄회로기판의 생산 라인에 적용되어 부품의 납땜 상태를 실시간으로 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 엑스레이 검사 과정에서 검사 대상에 따라 다수 개의 검사 대상이 연속적으로 검사되거나 또는 각각의 검사 대상이 차례대로 검사가 될 수 있다. 다양한 전자부품 또는 소자에 대한 엑스레이 검사 방법이 이 분야에 공지되어 있다. 그러나 전자부품의 구조에 따라 엑스레이 검사가 어려운 경우가 있다. 전자부품의 검사를 위한 다른 방법으로 광학 검사가 있다. X-ray inspection, which is one of the nondestructive tests, is applied to defect management or quality control of products in the fields of architecture, civil engineering, automobile parts, electronic parts, agricultural products, electronic or medical. For example, nondestructive testing can be applied to the production line of printed circuit boards during component mounting and can be used to inspect the solder condition of components in real time. In the X-ray inspection process, a plurality of inspection objects may be continuously inspected according to the inspection object, or each inspection object may be inspected sequentially. Methods of x-ray inspection of various electronic components or devices are known in the art. However, depending on the structure of the electronic components, it is sometimes difficult to check the x-rays. Another method for inspection of electronic components is optical inspection.
특허공개번호 10-2003-0089293은 피검사 물체를 그 상부에 안착시킴과 아울러 소정의 위치로 이송시키는 이송 장치와; 상기 이송 장치의 하부에 설치되어 피검사 물체에 소정의 파장을 갖는 광을 출사하는 광 발생 수단과; 상기 광 발생 수단의 맞은편 쪽에 설치되어 상기 피검사 물체를 투과한 소정의 광을 가시광선을 변환 증폭시키는 광 증폭 수단과; 상기 피검사 물체를 광학적으로 조명하여 화상을 생성하는 광학 유닛과; 상기 광 증폭 수단을 통한 엑스레이 이미지 또는 광학 유닛에 의한 화상을 받아들여 정보를 획득하는 카메라를 포함하는 엑스레이 및 비주얼 검사가 통합된 인쇄회로기판 검사 장치를 개시한다. Patent Document No. 10-2003-0089293 discloses a transfer device for placing an object to be inspected on an upper portion thereof and transferring the object to a predetermined position; Light generating means provided at a lower portion of the conveying device for emitting light having a predetermined wavelength to an object to be inspected; An optical amplifying means provided on the opposite side of the light generating means for converting and amplifying visible light transmitted through the object to be inspected; An optical unit for optically illuminating the object to be inspected to generate an image; And a camera for receiving an image by an optical unit or an image obtained through the optical amplifying unit to acquire information, and a visual inspection is integrated.
특허공개번호 10-2013-0008694는 엘이디 부품을 카메라로 촬영하여 양호 또는 불량을 판별하기 위한 엘이디 부품의 비전 검사 장치에 관한 것으로 엘이디 부품을 검사 위치에 고정 또는 이송시키는 스테이지부; 상기 스테이지부 상부에 위치하며, 상기 엘이디 부품에 조명을 제공하는 조명부와, 상기 조명부의 중심에 위치되어 엘이디 부품의 2차원 형상을 획득하기 위한 중앙 카메라부와; 상기 중앙 카메라부의 옆쪽에 배치되는 측면 카메라부와; 상기 중앙 카메라부의 측면에 배치되는 격자무늬 조사부와, 상기 중앙 카메라부에서 촬영된 영상으로부터 상기 엘이디 부품의 높이를 측정하기 위한 격자 비전 처리부와, 상기 엘이디 부품의 실제 높이를 측정하기 위한 실체 높이 측정부와, 상기 격자 비전 처리부와 실제 높이 측정부로부터의 측정 결과로부터 부품의 불량을 판단하는 불량 판단부와 제어 장치를 포함하는 엘이디 부품의 3차원 비전 검사 장치 및 비전 검사 방법에 대하여 개시한다. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2013-0008694 discloses a vision inspection apparatus for an LED component for photographing an LED component with a camera to determine whether the LED component is good or defective and includes a stage unit for fixing or transferring the LED component to an inspection position; A central camera unit located at an upper portion of the stage unit to provide illumination to the LED component; a central camera unit positioned at the center of the illumination unit to obtain a two-dimensional shape of the LED component; A side camera unit disposed on a side of the central camera unit; A lattice pattern irradiating unit disposed on a side surface of the central camera unit, a lattice vision processing unit for measuring a height of the LED component from an image photographed by the central camera unit, and an actual height measuring unit for measuring an actual height of the LED component And a defective judgment unit for judging a defective part from the measurement result from the lattice vision processing unit and the actual height measurement unit, and a control device.
전자부품 또는 소자의 비전 또는 카메라 검사 방법은 내부 구조의 결함을 탐지하기 어렵고 정확한 이미지가 얻어지지 않는 경우 검사 자체의 신뢰성이 낮다는 단점을 가진다. 예를 들어 엘이디 패키지의 내부의 배선 결함은 비전 또는 광학 검사에 의하여 탐지되지 않는다. The vision or camera inspection method of an electronic component or a device has a disadvantage that it is difficult to detect defects in the internal structure and the reliability of the inspection itself is low when an accurate image is not obtained. For example, wiring defects inside the LED package are not detected by vision or optical inspection.
그러므로 내부 또는 가려진 부분의 검사가 가능하도록 하는 전자부품 또는 엘이디 패키지를 위한 검사 방법이 요구된다. Therefore, there is a need for an inspection method for an electronic component or an LED package that enables inspection of the inside or the obscured portion.
본 발명은 선행기술에서 제시되지 않는 새로운 검사 장치 또는 방법을 제공하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention is intended to provide a new inspection apparatus or method which is not presented in the prior art and has the following purpose.
본 발명의 목적은 엘이디 패키지를 포함하여 전자부품의 내부 및 외부의 결함 검사가 가능하도록 하는 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an X-ray inspection apparatus for an LED package, which is capable of inspecting defects both inside and outside of an electronic part including an LED package.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 전자부품의 내부 및 외부 결함을 탐지하기 위한 엑스레이 검사 장치는 피검사 대상을 차례대로 공급하기 위한 공급 유닛; 공급 유닛으로부터 공급된 상기 피검사 대상을 정해진 위치로 이송하는 색인(index) 회전 테이블; 상기 정해진 위치로 엑스레이의 조사가 가능하도록 배치되는 하나 또는 그 이상의 엑스레이 튜브 및 상기 하나 또는 그 이상의 엑스레이 튜브로부터 조사된 엑스레이로부터 상기 피검사 대상의 이미지를 탐지하는 하나 또는 그 이상의 디텍터; 색인 회전 테이블에서 검사된 피검사 대상이 배출되는 배출 유닛; 및 색인 회전 테이블의 이동 및 상기 피검사 대상의 이동을 제어하는 제어 유닛을 포함하고, 상기 색인 회전 테이블의 미리 결정된 위치에서 상기 하나 또는 그 이상의 엑스레이 튜브 및 상기 하나 또는 그 이상의 디텍터에 위치에 기초하여 배치되는 적어도 2개의 검사 트레이를 가진다. According to a preferred embodiment of the present invention, an x-ray inspection apparatus for detecting internal and external defects of an electronic component includes: a supply unit for sequentially supplying an object to be inspected; An index rotation table for transferring the object to be inspected supplied from the supply unit to a predetermined position; One or more x-ray tubes arranged to allow irradiation of x-rays to the predetermined position and one or more detectors for detecting an image of the object to be inspected from x-rays irradiated from the one or more x-ray tubes; A discharge unit for discharging the inspected object inspected in the index rotation table; And a control unit for controlling movement of the indexing rotary table and movement of the object to be inspected, wherein the control unit controls the movement of the object to be inspected based on the position on the one or more x- ray tubes and the one or more detectors at a predetermined position of the index rotary table And has at least two inspection trays disposed therein.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 공급 유닛은 픽업 암에 의하여 엘이디 패키지를 상기 검사 테이블에 배치시킨다. According to another preferred embodiment of the present invention, the supply unit places the LED package on the inspection table by the pickup arm.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 제어 유닛은 상기 색인 회전 테이블의 회전 과정에서 상기 피검사 대상에 대한 검사 정보를 기록 및 저장한다. According to another preferred embodiment of the present invention, the control unit records and stores inspection information on the object to be inspected in the course of rotation of the index rotation table.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 전자부품의 내부 및 외부 결함을 탐지하기 위한 엑스레이 검사 방법은 다수 개의 전자부품을 이송 경로를 통하여 이송시키는 단계; 상기 이송된 전자부품 중 제1 전자부품을 색인 회전 테이블의 제1 검사 트레이에 픽업 방식으로 적재시키는 단계; 상기 검사 트레이를 엑스레이 튜브의 검사 위치로 이송시키는 단계; According to another preferred embodiment of the present invention, an X-ray inspection method for detecting internal and external defects of an electronic component includes: transferring a plurality of electronic components through a transfer path; Loading the first electronic component of the transferred electronic component into a first inspection tray of an index rotary table in a pickup manner; Transferring the inspection tray to an inspection position of the x-ray tube;
제2 전자부품을 상기 색인 회전 테이블의 제2 검사 트레이에 적재하는 단계; 상기 검사가 완료된 제1 전자부품을 회전시키면서 제2 검사 트레이를 상기 엑스레이 튜브의 검사 위치로 이송시키는 단계; 및 상기 제1 전자부품을 배출시키면서 상기 제2 전자부품에 대한 엑스레이 검사가 진행되는 단계를 포함하고, 상기 제1 전자부품을 상기 배출을 위하여 이송시키는 단계에서 상기 제1 전자부품에 대한 검사 정보가 기록 및 저장된다. Loading a second electronic component in a second inspection tray of the index rotary table; Transferring the second inspection tray to the inspection position of the x-ray tube while rotating the first electronic component that has been inspected; And performing X-ray inspection on the second electronic component while discharging the first electronic component. In the step of transferring the first electronic component for discharging, inspection information on the first electronic component Recorded and stored.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 전자부품은 엘이디 패키지가 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the electronic component is an LED package.
본 발명에 따른 검사 장치는 광학 검사 또는 비전(vision) 검사 불가능한 엘이디 패키지를 포함하는 전자부품의 내부 결함의 검사가 가능하도록 한다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 회전 테이블에서 피검사 대상을 이송시키면서 이와 동시에 불량 여부가 판단 및 저장되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. The inspection apparatus according to the present invention makes it possible to inspect internal defects of an electronic component including an optical inspection or an LED package incapable of vision inspection. Further, the inspection apparatus according to the present invention has an advantage that inspection efficiency is improved by transferring an object to be inspected on a rotary table and at the same time, determining whether or not a defect is detected and stored.
도 1은 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 블록 다이어그램으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 구조에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
도 3는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 엑스레이 튜브 및 제어 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다. 1 is a block diagram showing an embodiment of a testing apparatus according to the present invention.
2 shows an embodiment of the structure of an inspection apparatus according to the present invention.
3 shows an embodiment of an X-ray tube and a control unit which can be applied to an inspection apparatus according to the present invention.
4A and 4B show an embodiment of the inspection method according to the present invention.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.
도 1은 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 블록 다이어그램으로 도시한 것이다. 1 is a block diagram showing an embodiment of a testing apparatus according to the present invention.
도 1을 참조하면, 엑스레이 검사 장치는 피검사 대상을 차례대로 공급하기 위한 공급 유닛(11); 공급 유닛(11)으로부터 공급된 상기 피검사 대상을 정해진 위치로 이송하는 색인(index) 회전 테이블(14); 상기 정해진 위치로 엑스레이의 조사가 가능하도록 배치되는 엑스레이 튜브(13) 및 엑스레이 튜브(13)로부터 조사된 엑스레이로부터 상기 피검사 대상의 이미지를 탐지하는 디텍터(15); 색인 회전 테이블(14)에서 검사된 피검사 대상이 배출되는 배출 유닛(16); 및 색인 회전 테이블(14)의 이동 및 상기 피검사 대상의 이동을 제어하는 제어 유닛(C)을 포함하고, 상기 색인 회전 테이블(14)의 미리 결정된 위치에서 상기 엑스레이 튜브(13) 및 디텍터(15)에 위치에 기초하여 배치되는 적어도 2개의 검사 트레이를 가진다. Referring to FIG. 1, an X-ray inspection apparatus includes a
본 발명에 따른 검사 장치는 예를 들어 엘이디 패키지와 같은 전자부품 또는 전자소자의 내부 또는 외부의 결함을 탐지할 수 있다. 전자부품은 적절한 이송 장치에 의하여 검사 위치로 이송될 수 있고 엑스레이 튜브에서 조사된 엑스레이가 전자부품을 투과할 수 있다. 그리고 투과된 엑스레이는 디텍터에 의하여 탐지되어 엑스레이 이미지가 얻어질 수 있고 얻어진 이미지로부터 전자부품의 내부 및 외부 결함이 탐지되어 전자부품의 불량 여부가 결정될 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치는 전자부품에 존재하는 결함의 종류, 형태 또는 위치에 관계없이 모든 형태의 결함이 탐지되도록 한다. The inspection apparatus according to the present invention can detect an internal or external defect of an electronic component or an electronic device such as an LED package, for example. The electronic component can be transferred to the inspection position by an appropriate transfer device and the x-rays irradiated from the x-ray tube can be transmitted through the electronic component. The transmitted x-rays are detected by a detector to obtain an x-ray image, and internal and external defects of the electronic component can be detected from the obtained image to determine whether the electronic component is defective or not. The inspection apparatus according to the present invention allows detection of all types of defects regardless of the type, shape or position of the defects present in the electronic component.
공급 유닛(11)에 다수 개의 전자부품과 같은 피검사 대상(LP)이 정렬될 수 있고 공급 유닛(11)은 외부 이송 장치와 연결될 수 있다. 공급 유닛(11)은 예를 들어 내부에 공급 경로가 형성된 볼 피더와 같은 것이 될 수 있고 그리고 색인 회전 테이블(14)에 이르는 적어도 하나의 경로를 가질 수 있다. 하나의 이송 경로를 따라 피검사 대상(LP)이 차례대로 이송될 수 있고 그리고 피검사 대상의 이송은 제어 유닛(C)에 의하여 제어될 수 있다. 이송 경로의 끝 부분에 적절한 탐지 센서가 설치되어 피검사 대상(LP)이 정해진 위치의 도달 여부를 확인할 수 있다. The object to be inspected LP such as a plurality of electronic parts can be aligned in the
피검사 대상(LP)이 이송 경로의 정해진 위치에 도달하면 대기 상태가 될 수 있고 픽업 유닛에 의하여 픽업이 되어 색인 회전 테이블(14)로 이송될 수 있다. 픽업 유닛은 피검사 대상을 픽업하여 색인 회전 테이블(14)에 배치된 검사 트레이에 배치시킬 수 있는 적절한 구조를 가질 수 있다. 색인 회전 테이블(14)에 배치된 피검사 대상(LP)은 검사 위치로 이동될 수 있다. When the subject to be inspected LP reaches a predetermined position on the conveying path, it can be put in a standby state and can be picked up by the pick-up unit and transferred to the indexing table 14. Up unit may have a suitable structure for picking up an object to be inspected and placing it on an inspection tray disposed in the index rotary table 14. [ The subject to be inspected LP disposed on the index rotating table 14 can be moved to the inspection position.
검사 위치는 엑스레이 튜브(13)에서 조사되는 엑스레이의 투과가 가능하면서 이와 동시에 디텍터(15)에 의하여 투과된 엑스레이의 탐지가 가능한 위치를 말한다. 본 발명에 따른 검사 장치에서 엑스레이 튜브(13), 색인 회전 테이블(14) 및 디텍터(15)는 외부와 밀폐된 검사실(R) 내부에 배치될 수 있다. 그리고 색인 회전 테이블(14)은 엑스레이 튜브(13)와 디텍터(15)의 사이에 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브(13)로부터 조사된 엑스레이(X)는 피검사 대상(LP)을 투과하여 색인 회전 테이블(14)을 가로질러 디텍터(15)에 의하여 탐지될 수 있다. The inspection position refers to a position where the X-rays irradiated from the
색인 회전 테이블(14)은 둘레 부분을 따라 배치된 다수 개의 검사 트레이를 포함할 수 있고 각각의 검사 트레이에 위치 센서가 설치될 수 있다. 각각의 검사 트레이는 색인(index)을 가질 수 있고 그리고 색인 회전 테이블(14)은 예를 들어 모터와 같은 구동 장치에 의하여 회전 가능하도록 구조를 가질 수 있다. 그리고 색인 회전 테이블(14)의 회전에 의하여 피검사 대상(LP)이 적재된 검사 트레이는 검사 위치로 이동될 수 있다. 색인 회전 테이블(14)에서 검사 트레이의 배치 위치는 기본적으로 두 가진 인자(factor)에 의하여 결정될 수 있다. 먼저 하나의 인자는 피검사 대상(LP)의 검사 과정에서 다른 검사 트레이가 엑스레이의 조사 범위에 위치하지 않도록 각각의 검사 트레이가 배치되도록 하는 것이다. 그리고 다른 하나의 인자는 하나의 검사 트레이가 검사 위치에 있는 경우 다른 하나의 트레이는 배출 위치에 있도록 하는 것이다. 추가로 또 다른 하나의 인자는 검사 트레이가 검사 위치에 있는 경우 또 다른 하나의 트레이는 공급 위치에 있도록 하는 것이다. 이와 같은 인자에 따라 색인 회전 테이블(14)에 적어도 2개의 검사 트레이가 배치될 수 있다. 그리고 각각의 검사 트레이가 검사 영역으로 이동되어 엑스레이 튜브(13) 및 디텍터(14)에 의하여 피검사 대상(LP)에 대한 이미지가 얻어질 수 있다. 피검사 대상(LP)의 이동 및 엑스레이 튜브(13) 및 디텍터(14)에 의하여 진행되는 검사 과정은 제어 유닛(C)에 의하여 제어될 수 있다. 그리고 검사가 완료된 피검사 대상(LP)은 배출 위치로 이동될 수 있고 그리고 다시 새로운 피검사 대상(LP)이 검사 위치로 이동될 수 있다. The indexing rotary table 14 may include a plurality of inspection trays disposed along the circumferential portion, and a position sensor may be installed in each inspection tray. Each inspection tray may have an index and the index rotary table 14 may be configured to be rotatable by a drive device, for example a motor. The inspection tray on which the subject to be inspected LP is loaded can be moved to the inspection position by the rotation of the indexing rotary table 14. The placement position of the inspection tray in the index rotary table 14 can be basically determined by two factors of excitation. One factor is that each inspection tray is placed so that no other inspection trays are located in the irradiation range of the x-rays during the inspection of the inspection target (LP). And the other one is to have the other tray in the discharge position when one inspection tray is in the inspection position. In addition, another factor is that if the inspection tray is in the inspection position, the other tray is in the supply position. According to such factors, at least two inspection trays can be arranged in the index rotation table 14. [ Then, each of the inspection trays is moved to the inspection area, and an image of the inspection subject LP can be obtained by the
배출 위치에서 검사가 완료된 피검사 대상(LP)은 이송 경로(P)를 통하여 배출 유닛(16)으로 이송될 수 있다. 본 발명에 따르면 검사가 완료된 피검사 대상(LP)에 대한 검사 정보가 피검사 대상의 이송 과정에서 제어 유닛(C)에 기록 및 저장될 수 있다. 엑스레이 검사 장치에 의한 검사 과정에서 엑스레이 이미지가 얻어지면 육안 또는 대조 이미지에 의하여 자동으로 불량 여부를 판단하고 관련 정보를 기록 및 저장하게 된다. 그리고 관련 정보의 기록 및 저장으로 인한 시간은 전체 검사 효율에 영향을 미칠 수 있다. 그러므로 관련 정보의 기록 및 저장에 소요되는 시간을 줄이는 것이 요구된다. 본 발명에 따르면, 새로운 피검사 대상(LP)의 이송 과정에서 검사가 완료된 피검사 대상(LP)에 대한 검사 정보가 기록 및 저장될 수 있고 그에 따라 불량 여부가 결정될 수 있다. The inspected object LP which has been inspected at the discharge position can be conveyed to the
피검사 대상(LP)이 배출 위치로 이송되면 이송 경로를 따라 배출 유닛(16)으로 이동될 수 있고 그리고 배출 유닛(16)에서 불량 여부에 따라 분류될 수 있다. 그리고 적절한 이송 장치에 의하여 정해진 장소로 이동될 수 있다. When the subject to be inspected LP is transported to the discharging position, it can be moved along the transport path to the
본 발명에 따른 검사 장치는 다양한 구조의 이송, 검사 또는 배출 구조를 가질 수 있다. The inspection apparatus according to the present invention may have a transfer, inspection or discharge structure of various structures.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 구조에 대한 실시 예를 도시한 것이다. 2 shows an embodiment of the structure of an inspection apparatus according to the present invention.
도 2를 참조하면, 공급 유닛(11)은 공급 베이스(111), 공급 베이스(111)에 설치되는 볼 버킷(112) 및 볼 버킷(112)에 연결된 정렬 경로(113)로 이루어질 수 있다. 볼 버킷(112)은 원뿔 형상으로 형성될 수 있고 내부 면에 이송 경로가 형성될 수 있다. 그리고 이송 경로는 정렬 경로(113)에 연결될 수 있다. 정렬 경로(113)는 하나의 피검사 대상의 폭에 대응되는 폭을 가질 수 있고 정렬 경로를 따라 피검사 대상이 차례대로 이동될 수 있다. 정렬 경로(113)의 끝 부분에 스토퍼(114) 및 위치 센서가 설치될 수 있고 피검사 대상이 스토퍼(114)에 도달하면 탐지 센서에 의하여 탐지될 수 있다. 그리고 픽업 암(21)에 의하여 색인 회전 테이블(14)로 이송될 수 있다. 2, the
색인 회전 테이블(14)은 테이블 베이스(141), 테이블 베이스(141)의 위쪽에 설치되는 회전 스테이지(142) 및 회전 스테이지(142)에 배치되는 적어도 2개의 검사 트레이(143)를 포함한다. The indexing rotary table 14 includes a
회전 스테이지(142)는 테이블 베이스(141)로부터 일정한 높이를 가지도록 배치될 수 있고 필요에 따라 검사 트레이(143)가 회전 스테이지(142)로부터 일정 높이로 배치될 수 있다. 이와 같이 회전 스테이지(142) 및 검사 트레이(143)를 테이블 베이스(141)로부터 일정 높이가 되도록 설치하는 것은 엑스레이 튜브(13)로부터 조사되는 엑스레이가 피검사 대상의 임의의 정해진 부분을 투과할 수 있도록 한다. 그리고 디텍터(15)에서 피검사 대상의 임의의 부분에 대한 이미지가 얻어질 수 있도록 한다. The
검사 트레이(143)는 회전 스테이지(142)를 따라 원주 방향으로 배치될 수 있고 적어도 2개의 검사 트레이(143)가 회전 스테이지(142)에서 하나의 지름(diameter line)을 따라 하나의 검사 트레이(143)가 위치하는 방법으로 배치될 수 있다. 그리고 하나의 지름을 따라 동일하면서 양쪽 방향으로 가장 큰 원주각을 가지도록 다른 검사 트레이(143)가 배치될 수 있다. 이와 같은 방법으로 검사 트레이(143)가 배치되는 것에 의하여 검사 과정에서 서로 간섭이 되지 않고 피검사 대상이 검사될 수 있도록 한다. The
엑스레이 튜브(13)는 엑스레이 발생 튜브(131) 및 위치 조절 유닛(132)을 포함할 수 있다. 위치 조절 유닛(132)에 의하여 엑스레이 발생 튜브(131)는 반지름 방향 또는 원주 방향으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 디텍터(15)의 위치는 엑스레이 튜브(13)의 위치에 연계되어 이동될 수 있다. 예를 들어 엑스레이 튜브(13)와 디텍터(15)는 원주 형상의 하나의 이동 가이드에 설치될 수 있고 그리고 색인 회전 테이블(14)을 가로지르는 선형 가이드에 설치될 수 있다. 그리고 엑스레이 튜브(13)와 디텍터(15)는 서로 연계되어 이동될 수 있다. The
배출 유닛(16)에 검사 트레이(143)와 연결되는 이송 경로(P)가 설치될 수 있고 이송 경로(P를 따라 검사가 완료된 피검사 대상이 배출 유닛(16)으로 이동될 수 있다. The
배출 유닛(16)은 배출 베이스(161), 배출 베이스(161)에 설치되는 이송 레일(162) 및 피검사 대상의 수용을 위한 적어도 2개의 배출 컨테이너(163)를 포함할 수 있다. 이송 경로(P)를 따라 배출된 검사가 완료된 피검사 대상은 이송 레일(162)에 의하여 이동될 수 있고 이송 레일(162)은 원형 형상을 가질 수 있다. 그리고 정해진 위치에서 정상 또는 불량 여부에 따라 정해진 배출 컨테이너(163)로 배출시킬 수 있다. 이후 각각의 배출 컨테이너(163)에 수용된 피검사 대상은 정해진 위치로 이송될 수 있다. The
검사 과정에서 엑스레이 튜브(13), 색인 회전 테이블(14) 및 디텍터(15)는 외부로부터 밀폐될 수 있다. 필요에 따라 엑스레이 튜브(13)가 별도로 밀폐될 수 있다. In the course of the inspection, the
도 3는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 엑스레이 튜브(13) 및 제어 유닛(C)의 실시 예를 도시한 것이다.FIG. 3 shows an embodiment of an
도 3의 (가)를 참조하면, 엑스레이 튜브(13)는 밀폐 케이스(31), 밀폐 케이스(31)의 내부에 배치되는 튜브 유닛(32) 및 진공 펌프(33)를 포함할 수 있다. 그리고 밀폐 케이스(32)에 엑스레이의 통과를 위한 투과 홀(322)이 설치될 수 있고 예를 들어 투과 홀(322)은 투명 창이 될 수 있다. 밀폐 케이스(31)의 내부는 진공 펌프(33)에 의하여 진공으로 만들어질 수 있다. 3 (a), the
도 3의 (나)를 참조하면, 제어 유닛(C)은 검사실에 고정될 수 있도록 하는 고정 브래킷(351), 제어 명령 또는 검사 관련 정보의 입력을 위한 키보드와 같은 입력 수단(152) 및 디스플레이(153)로 이루어질 수 있다. 제어 유닛(C)은 검사실의 외부에 설치될 수 있고 검사 장치의 작동과 관련된 다양한 소프트웨어를 포함할 수 있다. 3 (B), the control unit C includes a fixing
검사 장치는 제어 유닛(C)에 내장된 프로그램에 따라 작동되어 피검사 대상을 검사할 수 있고 그리고 검사 결과는 제어 유닛(C)에 기록 및 저장될 수 있다. The inspection apparatus can be operated according to a program embedded in the control unit C to inspect the object to be inspected and the inspection result can be recorded and stored in the control unit C. [
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다. 4A and 4B show an embodiment of the inspection method according to the present invention.
도 4a 및 도 4b를 참조하면. 본 발명에 따른 검사 방법은 다수 개의 전자부품을 이송 경로를 통하여 이송시키는 단계(P41); 상기 이송된 전자부품 중 제1 전자부품을 색인 회전 테이블의 제1 검사 트레이에 픽업 방식으로 적재시키는 단계(P42); 상기 검사 트레이를 엑스레이 튜브의 검사 위치로 이송시키는 단계(P43); 제2 전자부품을 상기 색인 회전 테이블의 제2 검사 트레이에 적재하는 단계; 상기 검사가 완료된 제1 전자부품을 회전시키면서 제2 검사 트레이를 상기 엑스레이 튜브의 검사 위치로 이송시키는 단계; 및 상기 제1 전자부품을 배출시키면서 상기 제2 전자부품에 대한 엑스레이 검사가 진행되는 단계를 포함하고, 상기 제1 전자부품을 상기 배출을 위하여 이송시키는 단계에서 상기 제1 전자부품에 대한 검사 정보가 기록 및 저장된다. 4A and 4B. The inspection method according to the present invention includes: a step (P41) of transferring a plurality of electronic components through a transfer path; (P42) picking up a first electronic component of the transferred electronic component in a first inspection tray of an index rotary table; Transferring the inspection tray to an inspection position of the x-ray tube (P43); Loading a second electronic component in a second inspection tray of the index rotary table; Transferring the second inspection tray to the inspection position of the x-ray tube while rotating the first electronic component that has been inspected; And performing X-ray inspection on the second electronic component while discharging the first electronic component. In the step of transferring the first electronic component for discharging, inspection information on the first electronic component Recorded and stored.
본 발명에 따른 검사 방법은 예를 들어 엘이디 패키지와 같은 전자부품 또는 전자소자의 검사에 적용될 수 있다. 다수 개의 엘이디 패키지가 볼 피더와 같은 공급 장치(11)로부터 고급되어(P41) 로봇 암과 같은 픽업 암(21)에 의하여 색인 회전 테이블(14)의 검사 트레이에 적재될 수 있다(P42). 그리고 색인 회전 테이블(14)이 이동되어 다른 검사 트레이에 다른 엘이디 패지지가 적재될 수 있다. 색인 회전 테이블(14)이 회전되면서 검사 위치로 엘이디 패키지를 이동시킬 수 있다. 검사 영역에서 엑스레이 튜브(13) 및 디텍터(15)에 의하여 엘이디 패키지의 단면이 얻어질 수 있다(P43). 그리고 단면 이미지가 제어 유닛으로 전송되어 디스플레이가 될 수 있다. 그리고 색인 회전 테이블(14)이 회전될 수 있고, 검사가 완료된 피검사 대상이 배출 위치로 이송될 수 있다. 이송 과정에서 단면 이미지가 얻어진 엘이디 패키지에 대한 불량 여부가 판단되어 관련 정보가 입력될 수 있다. 그리고 배출 위치에서 검사가 완료된 엘이디 패키지가 배출될 수 있고 이와 동시에 새로운 엘이디 패키지가 검사 트레이에 적재될 수 있다. 이와 같이 배출과 적재가 동시에 이루어지는 것은 검사 과정에서 검사실이 외부로부터 밀폐가 되어야 하고 밀폐가 되는 과정에서 소요되는 시간을 감소시키기 위한 것이다. 이후 새로운 엘이디 패키지에 대한 검사가 진행될 수 있다. The inspection method according to the present invention can be applied to inspection of an electronic component or electronic device such as an LED package, for example. A plurality of LED packages may be advanced (P41) from a
본 발명에 따른 검사 방법은 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The inspection method according to the present invention can be performed by various methods, and the present invention is not limited to the embodiments shown.
본 발명에 따른 검사 장치는 광학 검사 또는 비전(vision) 검사 불가능한 엘이디 패키지를 포함하는 전자부품의 내부 결함의 검사가 가능하도록 한다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 회전 테이블에서 피검사 대상을 이송시키면서 이와 동시에 불량 여부가 판단 및 저장되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. The inspection apparatus according to the present invention makes it possible to inspect internal defects of an electronic component including an optical inspection or an LED package incapable of vision inspection. Further, the inspection apparatus according to the present invention has an advantage that inspection efficiency is improved by transferring an object to be inspected on a rotary table and at the same time, determining whether or not a defect is detected and stored.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.
C: 제어 유닛 11: 공급 유닛
13: 엑스레이 튜브 14: 색인 회전 테이블
15: 디텍터 16: 배출 유닛
21: 픽업 암 31: 밀폐 케이스
32: 튜브 유닛 33: 진공 펌프
111: 공급 베이스 112: 볼 버킷
113: 정렬 경로 114: 스토퍼
131: 엑스레이 발생 튜브 132: 위치 조절 유닛
141: 테이블 베이스 142: 회전 스테이지
143: 검사 트레이 152: 입력 수단
153: 디스플레이 161: 배출 베이스
162: 이송 레일 163: 배출 컨테이너
322: 투과 홀 351: 고정 브래킷 C: control unit 11: supply unit
13: X-ray tube 14: Index rotary table
15: Detector 16: Exhaust unit
21: Pick-up arm 31: Sealed case
32: tube unit 33: vacuum pump
111: supply base 112: ball bucket
113: alignment path 114: stopper
131: X-ray generating tube 132: Position adjusting unit
141: table base 142: rotating stage
143: inspection tray 152: input means
153: Display 161: Discharge base
162: transfer rail 163: discharge container
322: Through hole 351: Fixing bracket
Claims (5)
피검사 대상을 차례대로 공급하기 위한 공급 유닛(11);
공급 유닛(11)으로부터 공급된 상기 피검사 대상을 정해진 위치로 이송하는 색인(index) 회전 테이블(14);
상기 정해진 위치로 엑스레이의 조사가 가능하도록 배치되는 하나 또는 그 이상의 엑스레이 튜브(13) 및 상기 하나 또는 그 이상의 엑스레이 튜브(13)로부터 조사된 엑스레이로부터 상기 피검사 대상의 이미지를 탐지하는 하나 또는 그 이상의 디텍터(15);
색인 회전 테이블(14)에서 검사된 피검사 대상이 배출되는 배출 유닛(16); 및
색인 회전 테이블(14)의 이동 및 상기 피검사 대상의 이동을 제어하는 제어 유닛(C)을 포함하고,
상기 색인 회전 테이블(14)의 미리 결정된 위치에서 상기 하나 또는 그 이상의 엑스레이 튜브(13) 및 상기 하나 또는 그 이상의 디텍터(15)에 위치에 기초하여 배치되는 적어도 2개의 검사 트레이를 가지는 것을 특징으로 하는 엘이디 패키지의 엑스레이 검사 장치. 1. An X-ray inspection apparatus for detecting internal and external defects of an electronic component,
A supply unit (11) for sequentially supplying the objects to be inspected;
An index rotation table 14 for transferring the object to be inspected supplied from the supply unit 11 to a predetermined position;
One or more x-ray tubes (13) arranged to allow irradiation of the x-rays to the predetermined position and one or more x-ray tubes (13) for detecting the image of the subject to be inspected from the x-rays irradiated from the one or more x- A detector 15;
An exhaust unit (16) for discharging the inspected object inspected in the index rotating table (14); And
And a control unit (C) for controlling the movement of the index rotating table (14) and the movement of the subject to be inspected,
And at least two inspection trays disposed on the basis of the position on the one or more x-ray tubes (13) and the one or more detectors (15) at predetermined positions of the index rotary table (14) X-ray inspection device of LED package.
다수 개의 전자부품을 이송 경로를 통하여 이송시키는 단계;
상기 이송된 전자부품 중 제1 전자부품을 색인 회전 테이블의 제1 검사 트레이에 픽업 방식으로 적재시키는 단계;
상기 검사 트레이를 엑스레이 튜브의 검사 위치로 이송시키는 단계;
제2 전자부품을 상기 색인 회전 테이블의 제2 검사 트레이에 적재하는 단계;
상기 검사가 완료된 제1 전자부품을 회전시키면서 제2 검사 트레이를 상기 엑스레이 튜브의 검사 위치로 이송시키는 단계; 및
상기 제1 전자부품을 배출시키면서 상기 제2 전자부품에 대한 엑스레이 검사가 진행되는 단계를 포함하고,
상기 제1 전자부품을 상기 배출을 위하여 이송시키는 단계에서 상기 제1 전자부품에 대한 검사 정보가 기록 및 저장되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 방법. 1. An X-ray inspection method for detecting internal and external defects of an electronic component,
Transporting a plurality of electronic components through a transport path;
Loading the first electronic component of the transferred electronic component into a first inspection tray of an index rotary table in a pickup manner;
Transferring the inspection tray to an inspection position of the x-ray tube;
Loading a second electronic component in a second inspection tray of the index rotary table;
Transferring the second inspection tray to the inspection position of the x-ray tube while rotating the first electronic component that has been inspected; And
And performing X-ray inspection on the second electronic component while discharging the first electronic component,
Wherein inspection information for the first electronic component is recorded and stored in the step of transferring the first electronic component for discharging.
The inspection method according to claim 4, wherein the electronic component is an LED package.
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KR101657982B1 (en) | 2016-09-30 |
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