KR102000955B1 - X-Ray Apparatus for Inspecting a Plural of Objects Simultaneously and Method for the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수 개 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이고, 구체적으로 적어도 두 개의 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 다수 개 부품의 동시 검사가 가능하도록 하는 엑스레이 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 엑스레이 검사 방법은 적어도 2개의 검사 부품이 대기가 되는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 부품이 검사 스테이지로 이송이 되는 단계; 하나의 엑스레이 튜브에 의하여 상기 적어도 2개의 검사 부품의 정해진 부분에 대한 검사가 이루어지는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 부품이 이송이 되면서 다른 엑스레이 튜브에 의하여 상기 적어도 2개의 검사 부품의 다른 부분에 대한 검사가 이루어지는 단계; 및 검사가 완료된 적어도 2개의 검사 부품이 대기가 되는 단계를 포함하고, 상기 검사 과정에서 서로 다른 적어도 2개의 검사 부품이 대기 상태로 된다.The present invention relates to an X-ray inspection apparatus and method for simultaneous inspection of a plurality of parts, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus and method for enabling simultaneous inspection of a plurality of parts by at least two X-ray tubes and detectors will be. The x-ray inspection method includes: a step of waiting at least two inspection parts; The at least two inspection parts being transferred to an inspection stage; A step of inspecting a predetermined portion of the at least two inspection parts by one x-ray tube; The at least two inspected parts being inspected by another x-ray tube while the at least two inspected parts are being transferred; And a step of waiting at least two inspection parts for which inspection has been completed, wherein at least two inspection parts different from each other in the inspection process are in a standby state.

Figure 112016017051353-pat00001
Figure 112016017051353-pat00001

Description

다수 개 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 및 그 방법{X-Ray Apparatus for Inspecting a Plural of Objects Simultaneously and Method for the Same} Technical Field [0001] The present invention relates to an X-ray inspection apparatus and a method for simultaneous inspection of multiple parts,

본 발명은 다수 개 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이고, 구체적으로 적어도 두 개의 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 다수 개 부품의 동시 검사가 가능하도록 하는 엑스레이 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray inspection apparatus and method for simultaneous inspection of a plurality of parts, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus and method for enabling simultaneous inspection of a plurality of parts by at least two X-ray tubes and detectors will be.

엑스레이 검사 장치는 음극선이 금속 기판에 충돌하거나 또는 음극선이 양극 또는 표적의 근처에서 속력 변화로 인하여 발생되는 엑스레이로부터 얻어지는 투과 이미지를 이용하는 비파괴 검사 장치에 해당된다. 엑스레이 검사 장치는 제품 불량, 제품 내부의 이물질 검출 또는 납땜 불량과 같은 제품 또는 부품의 결함을 탐지하기 위하여 사용될 수 있다. An x-ray inspection apparatus corresponds to a non-destructive inspection apparatus using a transmitted image obtained from an x-ray generated by a cathode ray colliding with a metal substrate or a cathode ray caused by a change in speed at an anode or a vicinity of a target. X-ray inspection devices can be used to detect defects in products or parts, such as product defects, foreign matter detection inside the product, or defective soldering.

엑스레이 검사 장치와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제1272556호 ‘배터리 자동 연속 검사 장치’가 있다. 상기 선행기술은 배터리의 공급, 검사 및 배출이 유기적으로 연결되어 연속적으로 공급되는 다량의 배터리를 신속하고 정밀하게 검사할 수 있는 배터리 검사 장치에 관한 것이다. 상기 선행기술은 공급 컨베이어와; 원판 형상으로 다수 개의 파지 장치가 구성된 승강 회전부가 구성되는 공급 승강 회전부와; 공급 회전 회전부에서 배터리를 공급받도록 배터리 안착부가 다수 개 형성된 회전 원형 판이 구성된 검사회전부와; 검사회전부의 상부와 하부에는 대응되도록 구성되는 하나 이상의 디텍터 및 엑스레이 튜브와; 원판 형상으로 다수 개의 파지 장치가 구성되며 승강 수단으로 승강하는 승강 회전부가 구성되는 배출 승강 회전부와; 배출 승강 회전부에서 배출된 배터리를 공급받도록 구성되는 배출 컨베이어로 구성되고, 공급 회전 부분, 검사 회전 부분 및 배출 승강 회전 부분은 하나의 구동 수단에 의하여 동시에 회전되도록 연결 구성된 배터리 자동 연속 검사 장치에 대하여 개시한다. The prior art related to the x-ray inspection apparatus is Patent Registration No. 1272556 'automatic battery continuous inspection apparatus'. The prior art relates to a battery inspection apparatus capable of rapidly and precisely inspecting a large amount of batteries continuously supplied with the supply, inspection and discharge of the battery being organically connected. The prior art includes a feed conveyor; A supply elevating and lowering rotary part comprising a lifting and rotating part having a plurality of grasping devices in a disk shape; An inspection rotary part having a rotating circular plate formed with a plurality of battery mount parts to receive the battery from the supply rotary part; At least one detector and x-ray tube configured to correspond to the upper and lower portions of the inspection and rotation unit; A discharge elevating and lowering rotary part having a plurality of holding devices in the shape of a disk and having a lifting and lowering part for lifting and lowering the lifting and lowering device; And a discharging conveyor configured to receive a discharged battery from the discharging / discharging / rotating portion, wherein the supplying rotating portion, the inspecting rotating portion and the discharging / elevating rotating portion are connected to rotate simultaneously by one driving means. do.

엑스레이 검사 장치와 관련된 다른 선행기술로 특허등록번호 제1133048호 ‘배터리 검사 장치’가 있다. 상기 선행기술은 배터리 검사 과정에서 방출되는 광선을 차단하는 격벽과 외벽으로 이루어진 챔버; 배터리를 이송하는 로딩 부분 및 언-로딩 부분; 및 이송 부분으로 이루어지고 상기 이송 부분은 이송 경로 부분 및 이송 지그를 포함하는 배터리 검사 장치에 대하여 개시한다. Another prior art related to x-ray inspection apparatus is Patent Registration No. 1133048, 'Battery Inspection Apparatus'. The prior art includes a chamber having a partition wall and an outer wall for blocking rays emitted during a battery inspection process; A loading portion and an unloading portion for transferring the battery; And a conveying portion, and the conveying portion includes a conveying path portion and a conveying jig.

엑스레이에 의한 검사 장치 또는 검사 방법에서 엑스선의 차폐 및 신뢰성이 고려되어야 하는 한편 검사의 신속성이 고려되어야 할 주요한 인자가 된다. 개시된 선행기술에서 각각의 부품 또는 제품에 대한 검사는 차례대로 순차적으로 이루어진다. 그러나 제품 또는 부품에 따라 다수 개의 부품에 대한 검사가 동시에 이루어질 필요가 있다. 선행기술은 이와 같은 기술에 대하여 개시하지 않는다. The X-ray shielding and reliability should be considered in the inspection apparatus or inspection method by X-ray, and the speed of inspection should be considered as a main factor to be considered. In the disclosed prior art, the inspection of each part or product is carried out sequentially one by one. However, depending on the product or part, it may be necessary to simultaneously inspect multiple parts. The prior art does not disclose such techniques.

본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

본 발명의 목적은 다수 개의 부품의 동시 검사가 가능하도록 하는 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide an x-ray inspection apparatus which enables simultaneous inspection of a plurality of parts.

본 발명의 목적은 다수 개의 엑스레이 튜브에 의한 다수 개의 부품의 동시 검사가 가능하도록 하는 엑스레이 검사 방법을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide an X-ray inspection method which enables simultaneous inspection of a plurality of components by a plurality of X-ray tubes.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개의 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 방법은 적어도 2개의 검사 부품이 대기가 되는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 부품이 검사 스테이지로 이송이 되는 단계; 하나의 엑스레이 튜브에 의하여 상기 적어도 2개의 검사 부품의 정해진 부분에 대한 검사가 이루어지는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 부품이 이송이 되면서 다른 엑스레이 튜브에 의하여 상기 적어도 2개의 검사 부품의 다른 부분에 대한 검사가 이루어지는 단계; 및 검사가 완료된 적어도 2개의 검사 부품이 대기가 되는 단계를 포함하고, 상기 검사 과정에서 서로 다른 적어도 2개의 검사 부품이 대기 상태로 된다. According to a preferred embodiment of the present invention, an x-ray inspection method for simultaneous inspection of a plurality of parts comprises: at least two inspection parts waiting; The at least two inspection parts being transferred to an inspection stage; A step of inspecting a predetermined portion of the at least two inspection parts by one x-ray tube; The at least two inspected parts being inspected by another x-ray tube while the at least two inspected parts are being transferred; And a step of waiting at least two inspection parts for which inspection has been completed, wherein at least two inspection parts different from each other in the inspection process are in a standby state.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 대기가 되는 단계는 차폐 구조에서 진행이 되고 그리고 상기 검사 과정은 대기가 되는 단계에 위치하는 다른 2개의 부품에 대한 차폐가 완료된 이후 진행이 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the waiting step proceeds in the shielding structure and the inspection process proceeds after the shielding of the other two parts located at the standby stage is completed.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개의 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 장치는 다수 개의 부품이 투입이 되는 투입 모듈; 투입 모듈로부터 선택된 적어도 2개의 부품이 대기되도록 하는 대기 모듈; 대기 모듈로부터 이송된 상기 적어도 2개의 부품을 동시에 검사하는 적어도 2개의 엑스레이 튜브; 적어도 2개의 엑스레이 튜브 각각으로부터 투사된 엑스레이를 탐지하는 적어도 2개의 디텍터; 및 검사가 완료된 적어도 2개의 부품이 이송되는 배출 대기 모듈을 포함하고, 상기 적어도 2개의 엑스레이 튜브는 상기 적어도 2개의 부품의 서로 다른 부분을 순차적으로 동시에 검사한다. According to another preferred embodiment of the present invention, an X-ray inspection apparatus for simultaneous inspection of a plurality of components includes an input module in which a plurality of components are input; A waiting module for waiting at least two components selected from the input module; At least two x-ray tubes simultaneously inspecting said at least two parts transferred from said atmospheric module; At least two detectors for detecting x-rays projected from each of at least two x-ray tubes; And a discharge waiting module to which at least two components inspected have been transferred, said at least two x-ray tubes sequentially inspecting different parts of said at least two parts in sequence.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 대기 모듈과 배출 대기 모듈은 차폐 터널을 가진다. According to another preferred embodiment of the present invention, the standby module and the discharge standby module have a shielding tunnel.

본 발명에 따른 검사 장치는 다수 개의 부품이 동시에 검사될 수 있도록 하는 것에 의하여 검사 효율성이 향상될 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 투입, 대기, 차폐, 검사 및 배출과 같은 일련의 작동이 관련성을 가지면서 작동이 되도록 하는 것에 의하여 검사의 안전성이 확보될 수 있도록 한다는 장점을 가진다.The inspection apparatus according to the present invention has an advantage that inspection efficiency can be improved by allowing a plurality of parts to be simultaneously inspected. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage that the safety of inspection can be ensured by allowing a series of operations such as input, air, shielding, inspection, and discharge to be performed with relevance.

도 1은 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예에 대한 평면도 및 정면도를 각각 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 따른 검사 방법이 진행되는 과정에 대한 실시 예를 순서도로 도시한 것이다.
1 shows an embodiment of the inspection method according to the present invention.
2A and 2B are a plan view and a front view, respectively, of an embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 3 is a flowchart showing an embodiment of a process of the inspection method according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1은 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다. 1 shows an embodiment of the inspection method according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 검사 방법은 적어도 2개의 검사 부품이 대기가 되는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 부품이 검사 스테이지로 이송이 되는 단계; 하나의 엑스레이 튜브에 의하여 상기 적어도 2개의 검사 부품의 정해진 부분에 대한 검사가 이루어지는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 부품이 이송이 되면서 다른 엑스레이 튜브에 의하여 상기 적어도 2개의 검사 부품의 다른 부분에 대한 검사가 이루어지는 단계; 및 검사가 완료된 적어도 2개의 검사 부품이 대기가 되는 단계를 포함하고, 상기 검사 과정에서 다른 적어도 2개의 검사 부품이 대기 상태로 된다. Referring to FIG. 1, an inspection method according to the present invention includes: a step of waiting at least two inspection parts; The at least two inspection parts being transferred to an inspection stage; A step of inspecting a predetermined portion of the at least two inspection parts by one x-ray tube; The at least two inspected parts being inspected by another x-ray tube while the at least two inspected parts are being transferred; And a step of waiting at least two inspection parts which have been inspected, wherein at least two other inspection parts are in a standby state in the inspection process.

본 발명에 따른 검사 방법 또는 검사 장치는 비파괴 검사에 의한 결함 탐지가 요구되는 임의의 제품 또는 부품에 적용될 수 있고 예를 들어 자동차용 배터리와 같은 제품의 검사에 적용될 수 있다. 검사는 엑스선을 발생시키는 엑스레이 튜브 및 피검사 대상을 투과한 엑스선을 탐지하는 디텍터를 포함한다. 그리고 검사 과정에서 검사 스테이지는 예를 들어 납 또는 강철과 같은 소재에 의하여 차폐가 될 수 있다. 디텍터에서 탐지된 엑스선은 이미지 처리가 되어 적절한 디스플레이 유닛에 의하여 표시가 되어 결함의 존재 유무가 검사될 수 있다. The inspection method or inspection apparatus according to the present invention can be applied to any product or part for which defect detection by nondestructive inspection is required and can be applied to inspection of products such as automobile batteries, for example. The inspection includes an X-ray tube for generating X-rays and a detector for detecting X-rays transmitted through the object to be inspected. In the inspection process, the inspection stage may be shielded by a material such as lead or steel, for example. The X-rays detected by the detector are subjected to image processing and displayed by an appropriate display unit so that the presence or absence of defects can be checked.

본 명세서에서 엑스레이 검사 방법 및 장치에서 사용되는 공지된 모듈, 유닛 또는 부품에 대하여 구체적으로 설명이 되지 않는다. 이는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 이와 같은 공지 요소가 본 발명에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. 또한 검사 효율을 높이기 위한 다양한 장치가 본 발명에 따른 장치 또는 방법에 추가될 수 있다. 그러나 이와 같은 구성요소의 추가 또는 부가에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. The known modules, units or parts used in the X-ray inspection method and apparatus are not specifically described herein. This is for a clear understanding of the present invention and should not be understood as excluding such known elements from the present invention. Also, various apparatuses for increasing the inspection efficiency can be added to the apparatus or method according to the present invention. However, the present invention is not limited by the addition or addition of such components.

투입 모듈(12)로 검사가 요구되는 다수 개의 부품이 공급이 될 수 있다. 투입 모듈(12)은 검사 장치의 일부가 되거나 또는 별도의 독립된 모듈이 될 수 있고 피검사 대상의 공급은 이 분야에서 공지된 임의의 방법으로 이루어질 수 있다. A plurality of parts requiring inspection by the input module 12 can be supplied. The input module 12 may be part of the inspection apparatus or may be a separate and independent module and the supply of the object to be inspected may be done by any method known in the art.

투입 모듈(12)로 공급된 피검사 대상은 피검사 그룹으로 구분이 될 수 있고, 피검사 그룹은 예를 들어 2 내지 5개의 부품을 포함할 수 있고 검사는 피검사 그룹 단위로 이루어질 수 있다. 공급 모듈(12)의 부품은 피검사 그룹으로 분류가 되어 대기 모듈(13)로 투입이 될 수 있다. 투입 모듈(12)과 대기 모듈(13) 사이에 제1 도어(D1)가 설치될 수 있고 예를 들어 2개가 하나의 피검사 그룹이 된다면 2개의 부품이 대기 모듈(13)로 이송이 될 수 있다. 그리고 제1 도어(D1)가 닫힐 수 있다. The subject to be inspected supplied to the input module 12 may be classified into a group to be inspected, the group to be inspected may include, for example, two to five parts, and the inspection may be performed on a group basis. The components of the supply module 12 can be classified into a group to be inspected and put into the standby module 13. [ The first door D1 may be installed between the input module 12 and the standby module 13 and two parts may be transferred to the standby module 13 if two, have. And the first door D1 can be closed.

대기 모듈(13)은 예를 들어 납과 같은 소재로 형성된 차폐 커튼에 의하여 차폐가 된 터널 구조로 형성될 수 있다. 대기 모듈(13)은 제1 도어(D1), 차폐 터널 및 제2 도어(D2)에 의하여 외부 또는 검사 모듈(14)로부터 차폐가 될 수 있다. 제1 도어(D1), 차폐 터널 및 제2 도어(D2)는 엑스선의 차폐에 적합한 소재 또는 구조로 만들어질 수 있고 본 발명에 특정한 소재 또는 구조에 의하여 제한되지 않는다. The standby module 13 may be formed in a tunnel structure which is shielded by a shielding curtain made of, for example, lead. The standby module 13 may be shielded from the outside or the inspection module 14 by the first door D1, the shielding tunnel and the second door D2. The first door D1, the shielding tunnel, and the second door D2 may be made of a material or structure suitable for shielding the X-ray, and are not limited by the material or structure specific to the present invention.

대기 모듈(13)에서 대기 상태로 있는 피검사 그룹은 제2 도어(D2)가 개방이 되면서 검사 모듈(14)로 이송이 될 수 있고 이와 동시에 또는 피검사 그룹이 이송이 된 이후 제1 도어(D1)가 개방이 되면서 다른 피검사 그룹이 대기 모듈(13)로 이송이 될 수 있다. The inspected group in the waiting state in the standby module 13 can be transferred to the inspection module 14 while the second door D2 is opened and at the same time or after the inspected group is transferred, D1 may be opened and another inspected group may be transferred to the standby module 13. [

검사 모듈(14)은 적어도 2개의 엑스레이 튜브(141)와 각각의 엑스레이 튜브(141)에 대응되는 디텍터(142)를 포함할 수 있다. 적어도 2개의 엑스레이 튜브(141)는 검사 스테이지의 아래쪽 또는 위쪽에 설치될 수 있고 그리고 일련의 순서로 배치가 될 수 있다. 다른 한편으로 디텍터(142)는 적어도 2개의 엑스레이 튜브(141) 각각에서 투사되어 피검사 그룹을 투과한 엑스선을 탐지할 수 있는 임의의 위치에 배치가 될 수 있다. 예를 들어 디텍터(142)는 엑스레이 튜브(141)의 개수에 대응되는 개수가 될 수 있고 검사 스테이지의 위쪽에 설치될 수 있다. The inspection module 14 may include at least two x-ray tubes 141 and a detector 142 corresponding to each x-ray tube 141. At least two x-ray tubes 141 may be installed below or above the inspection stage and may be arranged in a series of orders. On the other hand, the detector 142 may be arranged at any position that can detect the X-rays projected from the at least two X-ray tubes 141 and transmitted through the inspected group. For example, the detector 142 may have a number corresponding to the number of the X-ray tubes 141 and may be installed above the inspection stage.

검사 모듈(14)에서 피검사 그룹은 먼저 제1 엑스레이 튜브(141)에 의하여 검사가 될 수 있다. 예를 들어 피검사 그룹에 속하는 각각의 부품의 아래쪽 부분이 제1 엑스레이 튜브(141)에 의하여 검사가 될 수 있다. 이후 피검사 그룹은 제2 엑스레이 튜브(141)의 검사 위치로 이동이 될 수 있다. 그리고 피검사 그룹은 제2 엑스레이 튜브(14)에 의하여 검사가 될 수 있다. 예를 들어 피검사 그룹에 속하는 각각의 부품의 위쪽 부분이 제2 엑스레이 튜브(141)에 의하여 동시에 검사가 될 수 있다. 이와 같이 다수 개의 엑스레이 튜브(141)의 각각에 의하여 피검사 그룹에 속하는 부품의 정해진 부분이 동시에 검사될 수 있다. 구체적으로 제1 엑스레이 튜브(141)에 의하여 피검사 그룹에 속하는 전체 부품의 제1 위치가 검사되고, 피검사 그룹이 이동이 되어 제2 엑스레이 튜브(141)에 의하여 피검사 그룹에 속하는 전체 부품의 제2 위치가 검사될 수 있다. 그리고 다시 피검사 그룹이 이동이 되어 제3 엑스레이 튜브(141)에 의하여 피검사 그룹에 속하는 전체 부품의 제3 위치가 검사될 수 있다. 이와 같이 피검사 그룹은 각각의 엑스레이 튜브(141)에 의하여 정해진 부분이 동시에 탐지가 되어 검사가 될 수 있다. In the inspection module 14, the inspected group may first be inspected by the first x-ray tube 141. For example, the lower portion of each component belonging to the inspected group can be inspected by the first x-ray tube 141. Thereafter, the inspected group can be moved to the inspection position of the second x-ray tube 141. And the inspected group can be inspected by the second x-ray tube 14. [ For example, the upper portion of each component belonging to the inspected group can be inspected simultaneously by the second x-ray tube 141. As described above, each of the plurality of X-ray tubes 141 can simultaneously inspect predetermined portions of the parts belonging to the inspected group. Specifically, the first position of all the components belonging to the inspected group is inspected by the first X-ray tube 141, the inspected group is moved, and the second component The second position can be inspected. Then, the inspected group is moved again, and the third position of all the components belonging to the inspected group can be inspected by the third x-ray tube 141. As described above, the portions to be inspected can be inspected at the same time by the portions determined by the respective X-ray tubes 141.

엑스레이 튜브(141)에 의하여 투사된 엑스선은 디텍터(142)에 의하여 탐지되어 이미지 처리가 되어 영상 모듈(16)로 전달이 될 수 있다. 영상 모듈(16)은 독립된 별도의 공간에 설치가 될 수 있다. 영상 모듈(16)은 디스플레이 유닛을 포함할 수 있고 그리고 표시된 이미지에 기초하여 피검사 그룹의 부품에 대한 검사가 이루어질 수 있다. The X-ray projected by the X-ray tube 141 can be detected by the detector 142, processed by the image processing, and transmitted to the image module 16. The video module 16 may be installed in a separate and independent space. The imaging module 16 may include a display unit and may be inspected for the components of the inspected group based on the displayed image.

검사가 완료된 피검사 그룹은 제3 도어(D3)의 개방에 의하여 배출 대기 모듈(15)로 이송이 될 수 있다. 배출 대기 모듈(15)로 피검사 그룹이 이송이 되면 이와 동시에 대기 모듈(13)의 다른 피검사 그룹이 제2 도어(D2)의 개방과 함께 검사 모듈(14)로 이송이 될 수 있다. 배출 대기 모듈(15)의 제3 도어(D3)와 검사 모듈(14)의 제2 도어(D2)는 독립적으로 작동이 될 수 있지만 바람직하게 동시에 개방이 되고 그리고 동시에 닫힐 수 있다. 다른 한편으로 투입 모듈(12)에 위치하는 또 다른 피검사 그룹(12)이 제1 도어(D1)가 개방이 되면서 대기 모듈(13)로 공급이 될 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 투입 모듈(12), 대기 모듈(13), 검사 모듈(14) 및 배출 대기 모듈(15)에 위치하는 각각의 피검사 그룹은 서로 연관성을 가지면서 이송이 될 수 있다. 이와 동시에 각각의 도어(D1, D2, D3, D4)가 또한 서로 연관성을 가지고 작동이 될 수 있다. 이로 인하여 피검사 그룹의 이동 또는 이송에 따른 시간이 감소가 될 수 있고 검사 효율성이 향상될 수 있도록 한다. The inspected group to be inspected can be transferred to the discharge standby module 15 by opening the third door D3. At the same time, when the inspected group is transferred to the discharge waiting module 15, another inspection subject group of the waiting module 13 can be transferred to the inspection module 14 together with the opening of the second door D2. The third door D3 of the discharge standby module 15 and the second door D2 of the inspection module 14 can be operated independently but preferably simultaneously opened and closed at the same time. On the other hand, another inspected group 12 located in the input module 12 can be supplied to the standby module 13 while the first door D1 is opened. As described above, each of the groups to be inspected located in the input module 12, the standby module 13, the inspection module 14, and the discharge standby module 15 according to the present invention can be transferred while being correlated with each other. At the same time, each of the doors D1, D2, D3, and D4 can also operate in association with each other. This can reduce the time required for movement or transfer of the test group and improve the inspection efficiency.

배출 대기 모듈(15)로 이송된 피검사 그룹은 임의의 적절한 시간에 제4 도어(D4)의 개방에 의하여 제어 모듈(11)의 제어에 따라 배출이 될 수 있다. 예를 들어 검사 모듈(14)에서 검사가 진행이 되는 과정에서 제4 도어(D4)는 제1 도어(D1)와 함께 개방이 될 수 있고 그리고 함께 폐쇄가 될 수 있다. The inspected group transferred to the discharge waiting module 15 may be discharged under the control of the control module 11 by opening the fourth door D4 at any appropriate time. For example, the fourth door D4 may be opened together with the first door D1 and may be closed together during the inspection process of the inspection module 14.

제어 모듈(11)은 검사 장치 전체의 작동을 제어할 수 있다. 예를 들어 제어 모듈(11)은 각각의 도어(D1, D2, D3, D4)의 개폐, 피검사 그룹의 이송, 엑스레이 튜브(141)의 작동 및 디텍터(142)의 작동을 제어할 수 있다. 또한 영상 모듈(16)로 이미지의 전송을 제어하는 한편 영상 모듈(16)의 검사 결과를 저장할 수 있다. 제어 모듈(11)은 예를 들어 중앙 처리 장치를 포함할 수 있고 제어를 위한 다양한 입력 수단을 포함할 수 있다. The control module 11 can control the operation of the entire inspection apparatus. For example, the control module 11 can control the opening and closing of each of the doors D1, D2, D3 and D4, the transfer of a group to be inspected, the operation of the x-ray tube 141 and the operation of the detector 142. In addition, the image module 16 may control the transmission of images while storing the inspection results of the image module 16. The control module 11 may, for example, include a central processing unit and may include various input means for control.

아래에서 본 발명에 따른 검사 구조가 구체적으로 실행되는 검사 장치의 실시 예에 대하여 설명이 된다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a testing apparatus in which an inspection structure according to the present invention is practiced will be described.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예에 대한 평면도 및 정면도를 각각 도시한 것이다.2A and 2B are a plan view and a front view, respectively, of an embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명에 따른 검사 장치(20)는 다수 개의 부품이 투입이 되는 투입 모듈(21); 투입 모듈(21)로부터 선택된 적어도 2개의 부품이 대기되도록 하는 대기 모듈(22); 대기 모듈(22)로부터 이송된 상기 적어도 2개의 부품을 동시에 검사하는 적어도 2개의 엑스레이 튜브(231a, 231b); 적어도 2개의 엑스레이 튜브(231a, 231b) 각각으로부터 투사된 엑스레이를 탐지하는 적어도 2개의 디텍터(232a, 232b); 및 검사가 완료된 적어도 2개의 부품이 이송되는 배출 대기 모듈(24)을 포함하고, 상기 적어도 2개의 엑스레이 튜브(231a, 231b)는 상기 적어도 2개의 부품의 서로 다른 부분을 순차적으로 동시에 검사한다. Referring to FIGS. 2A and 2B, an inspection apparatus 20 according to the present invention includes an input module 21 into which a plurality of components are input; A waiting module (22) for waiting at least two components selected from the input module (21); At least two x-ray tubes (231a, 231b) simultaneously inspecting said at least two parts transferred from the standby module (22); At least two detectors (232a, 232b) for detecting x-rays projected from each of at least two x-ray tubes (231a, 231b); And at least two x-ray tubes (231a, 231b) sequentially examine different parts of the at least two parts at the same time.

투입 모듈(21)은 다수 개의 피검사 부품을 수용할 수 있는 적절한 구조를 가질 수 있고 예를 들어 자동차용 배터리와 같은 부품을 가이드 유닛(211)으로 이송이 되도록 하는 적절한 구조를 가질 수 있다. 부품은 검사 트레이에 수용되어 가이드 유닛(211)을 따라 정해진 경로를 따라 순차적으로 이송이 될 수 있다. 투입 모듈(21)은 이송을 위한 이송 컨베이어(C1) 및 이송 컨베이어(C2)의 구동을 위한 모터와 같은 구동 수단(212)을 포함할 수 있다. The insertion module 21 may have a suitable structure capable of accommodating a plurality of parts to be inspected and may have a suitable structure for allowing a component such as an automobile battery to be transferred to the guide unit 211, for example. The parts can be accommodated in the inspection tray and sequentially transferred along the guide path along the guide unit 211. The input module 21 may include a conveying conveyor C1 for conveying and a driving means 212 such as a motor for driving the conveying conveyor C2.

투입 모듈(21)의 앞쪽에 제1 도어(D1)가 설치될 수 있고 작동 링크(L1)에 의하여 제1 도어(D)의 개폐가 제어될 수 있다. 투입 모듈(21)의 제1 도어(D1)가 개방이 되면 위에서 설명이 된 적어도 2개의 부품(B)을 포함하는 피검사 그룹이 대기 모듈(22)로 이송이 될 수 있다. The first door D1 may be provided in front of the closing module 21 and the opening and closing of the first door D may be controlled by the operating link L1. When the first door (D1) of the loading module (21) is opened, a group to be inspected including at least two parts (B) described above can be transferred to the standby module (22).

대기 모듈(22)은 엑스선을 차폐하면서 피검사 그룹의 이송을 유도하는 차폐 터널(221) 및 검사 모듈(23)의 입구에 형성된 제2 도어(D2)를 포함할 수 있다. 차폐 터널(221)을 통한 부품(B)의 이송은 구동 수단에 의하여 작동하는 이송 컨베이어(C2)에 의하여 이루어질 수 있다. 차폐 터널(221)은 엑스선의 차폐가 가능한 임의의 구조를 가질 수 있고 양 끝은 도어(D1, D2)와 연결될 수 있다. The waiting module 22 may include a shielding tunnel 221 for guiding the conveyance of the inspected group while shielding the X-ray, and a second door D2 formed at the entrance of the inspection module 23. The conveyance of the component B through the shielding tunnel 221 can be carried out by the conveying conveyor C2 which is operated by the driving means. The shielding tunnel 221 may have any structure capable of shielding the X-ray and both ends may be connected to the doors D1 and D2.

검사 모듈(23)은 서로 나란하게 또는 일련의 순서로 배치된 적어도 2개의 엑스레이 튜브(231a, 231b), 각각의 엑스레이 튜브(231a, 231b)로부터 투사되어 부품(B)을 통과한 엑스레이를 감지하는 디텍터(232a, 232b) 및 각각의 부품(B)의 검사 위치를 설정하면서 정해진 검사 위치로 이동을 시키는 검사 스테이지(234)를 포함할 수 있다.The inspection module 23 includes at least two X-ray tubes 231a and 231b arranged side by side or in a sequential order, and an X-ray tube 322 projecting from each of the X-ray tubes 231a and 231b, And a test stage 234 for moving the detectors 232a and 232b and each component B to a predetermined inspection position while setting inspection positions.

검사 스테이지(234)에 적어도 2개의 부품(B)이 위치되면 검사 스테이지(234)는 예를 들어 모터와 같은 구동 장치(234a)에 의하여 검사 위치로 이동이 될 수 있다. 그리고 제1 엑스레이 튜브(231a)에 의하여 적어도 2개의 부품(B)에 대한 엑스레이 검사가 진행될 수 있다. 그리고 다시 검사 스테이지(234)는 제2 엑스레이 튜브(231b)의 검사 위치로 이동이 되고 그리고 부품의 다른 부분에 대한 검사가 진행될 수 있다. 예를 들어 제1 엑스레이 튜브(231a)에 의하여 각각의 부품(B)의 아래쪽 부분이 검사되고 그리고 제2 엑스레이 튜브(231b)에 의하여 각각의 부품(B)의 위쪽 부분이 검사될 수 있다. 그리고 각각의 엑스레이 튜브(231a, 231b)에서 투사되어 각각의 부품(B)을 투과한 엑스레이는 각각 서로 다른 디텍터(232a, 232b)에서 감지될 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따르면 적어도 2개의 부품이 제1 엑스레이 튜브(231a)에 의하여 제1 검사 부분이 검사되고 그리고 제2 엑스레이 튜브(231b)에 의하여 제2 검사 부분이 검사될 수 있다. 그리고 각각의 엑스레이 튜브(231a, 231b)에서 투사된 엑스레이는 서로 다른 디텍터(232a, 232b)에 의하여 감지되어 이미지 처리가 될 수 있고 이후 영상 모듈로 전송이 되어 검사가 될 수 있다. When at least two parts B are placed on the inspection stage 234, the inspection stage 234 can be moved to the inspection position by a drive device 234a, for example a motor. The first x-ray tube 231a can conduct x-ray inspection on at least two components (B). Then, the inspection stage 234 is moved to the inspection position of the second x-ray tube 231b, and inspection for other parts of the component can proceed. The lower portion of each component B can be inspected by the first x-ray tube 231a and the upper portion of each component B can be inspected by the second x-ray tube 231b, for example. The X-rays projected from the respective X-ray tubes 231a and 231b and transmitted through the respective parts B can be sensed by different detectors 232a and 232b, respectively. Thus, according to the present invention, at least two components can be inspected for the first inspection portion by the first x-ray tube 231a and for the second inspection portion by the second x-ray tube 231b. The X-rays projected from the respective X-ray tubes 231a and 231b may be sensed by the different detectors 232a and 232b and then subjected to image processing and then transmitted to the image module to be inspected.

검사가 완료가 된 부품(B)은 배출 대기 모듈(24)로 이송이 될 수 있다. The component B whose inspection has been completed can be transferred to the discharge standby module 24. [

배출 대기 모듈(24)로 이송이 되기 위하여 제3 도어(D3)가 개방될 수 있고 이와 동시에 제2 도어(D2)가 개방될 수 있다. 그리고 대기 모듈(22)의 부품(B)이 검사 모듈(23)로 이송이 되면서 이와 동시에 검사 모듈(23)의 부품(B)이 이송 컨베이어(C3)와 같은 적절한 이송 수단에 의하여 배출 대기 모듈(24)로 이송이 될 수 있다. 이후 다시 제2 도어(D2) 및 제3 도어(D3)가 닫힌다. 제2 도어(D2) 및 제3 도어(D3)가 닫히면 제1 도어(D1) 및 제4 도어(D4)가 개방될 수 있다. The third door D3 can be opened and the second door D2 can be opened at the same time in order to be transferred to the discharge waiting module 24. [ And at the same time the part B of the inspection module 23 is conveyed by the appropriate conveying means such as the conveying conveyor C3 to the discharge standby module 23 24). ≪ / RTI > Thereafter, the second door D2 and the third door D3 are closed again. The first door D1 and the fourth door D4 may be opened when the second door D2 and the third door D3 are closed.

배출 대기 모듈(24)은 엑스선이 차폐되면서 부품의 이송을 유도할 수 있는 차폐 터널(241), 이송 컨베이어(C4) 및 배출 모듈(25)의 앞쪽에 형성된 제4 도어(D4)를 포함할 수 있다. 이송 컨베이어(C4)를 통한 부품(B)의 이송은 이 분야에서 공지된 방법에 따라 이루어질 수 있고 본 발명은 이에 의하여 제한되지 않는다. 검사 모듈(23)에서 부품(B)의 검사가 이루어지면서 제2 도어(D2) 및 제3 도어(D3)가 닫힌 상태에서 제1 도어(D1) 및 제4 도어(D4)가 개방될 수 있다. 그리고 부품(B)이 각각 대기 모듈(22) 및 배출 모듈(25)로 이송이 될 수 있다. The discharge waiting module 24 may include a shielding tunnel 241 capable of guiding the conveyance of the part while the X-ray is shielded, a conveying conveyor C4 and a fourth door D4 formed in front of the discharge module 25 have. The conveyance of the part B through the conveying conveyor C4 can be performed according to a method known in the art, and the present invention is not limited thereto. The first door D1 and the fourth door D4 may be opened in a state where the second door D2 and the third door D3 are closed with the inspection of the component B by the inspection module 23 . And the component B can be transferred to the standby module 22 and the discharge module 25, respectively.

검사가 완료되어 배출 모듈(25)로 이송된 부품(B)은 정해진 위치로 이송이 될 수 있다. 배출 모듈(25)은 이송 컨베이어(C5)와 같은 적절한 이송 수단 및 모터와 같은 구동 장치에 의하여 부품(B)을 정해진 위치로 이송시킬 수 있다. The component B which has been inspected and transferred to the discharge module 25 can be transferred to a predetermined position. The discharge module 25 can transfer the part B to a predetermined position by a suitable conveying means such as a conveying conveyor C5 and a driving device such as a motor.

제시된 실시 예에서 투입 모듈(21), 대기 모듈(22), 검사 모듈(23), 배출 대기 모듈(24) 및 배출 모듈(25)은 각각의 이송 컨베이어(C1, C2, C3, C4, C5)을 가지고 그리고 독립적으로 작동하는 것으로 제시되어 있다. 설계에 따라 관련성을 가지는 이송 컨베이어(C1, C2, C3, C4, C5)는 함께 작동이 되는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어 적어도 대기 모듈(22)의 이송 컨베이어(C2) 및 검사 모듈(23)의 이송 컨베이어(C3)가 동시에 작동이 되도록 설계가 되거나 또는 제어가 될 수 있다. 이송 구조는 다양한 구조로 설계가 될 수 있고 그리고 각각의 도어(D1, D2, D3, D4)의 작동도 이와 유사한 방법으로 작동이 될 수 있다. C2, C3, C4, C5 in the illustrated embodiment, the input module 21, the standby module 22, the inspection module 23, the discharge standby module 24 and the discharge module 25, And is suggested to operate independently. The conveying conveyors C1, C2, C3, C4, and C5, which are related to each other according to the design, may have a structure that operates together. At least the conveying conveyor C2 of the standby module 22 and the conveying conveyor C3 of the inspection module 23 can be designed or controlled to be operated simultaneously. The transfer structure can be designed in a variety of structures, and the operation of each of the doors D1, D2, D3, D4 can be operated in a similar manner.

위에서 설명이 된 것처럼, 본 발명에 따른 검사 장치(20)는 제어 모듈에 의하여 검사 모듈(23)에 대한 부품(B)의 이송 및 대기 모듈(22)과 배출 모듈(25)에 대한 부품(B)의 이송이 서로 관련성을 가지도록 한다. 이와 동시에 적어도 2개의 부품(B)이 연속적으로 검사가 되도록 한다. 이와 같은 구조로 인하여 본 발명에 따른 검사 장치(20)는 엑스선의 누설을 효과적으로 차폐하면서 검사 효율이 향상되도록 한다. As described above, the inspection apparatus 20 according to the present invention controls the transfer of the component B to the inspection module 23 by the control module and the transfer of the component B to the standby module 22 and the discharge module 25 ) Are related to each other. At the same time, at least two parts B are inspected continuously. Due to such a structure, the inspection apparatus 20 according to the present invention effectively shields the leakage of the X-rays and improves inspection efficiency.

아래에서 이와 같은 장치에 의하여 검사가 진행되는 과정에 대하여 설명이 된다. Hereinafter, the process of inspection by such a device will be described.

도 3은 본 발명의 따른 검사 방법의 진행되는 과정에 대한 실시 예를 순서도로 도시한 것이다. FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of the progress of the inspection method according to the present invention.

도 3을 참조하면, 검사를 위하여 먼저 부품이 공급될 수 있다(S31). 위에서 설명이 된 것처럼 부품은 예를 들어 배터리와 같은 부품이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 부품이 공급이 되면 피검사 그룹의 부품 수가 결정될 수 있다(S32). 피검사 그룹의 부품 수는 예를 들어 2 내지 5개가 될 수 있고 부품의 구조 또는 엑스레이 튜브의 배치 구조에 의하여 결정이 될 수 있다. 피검사 그룹에 속하는 부품의 수 또는 한 번에 이동이 되어야 할 부품의 수가 결정이 되면(S32), 이동 상관성이 결정될 수 있다(S33). 이동 상관성은 공급 모듈, 대기 모듈, 검사 모듈, 배출 대기 모듈 및 배출 모듈에서 부품의 이송이 되는 상대적인 시각 관계를 의미한다. 예를 들어 대기 모듈에서 부품이 검사 모듈로 이송되는 시각과 검사 모듈에서 배출 대기 모듈로 부품이 이송이 되는 시각은 동일할 수 있다. 이동 상관성은 또한 각각의 모듈 사이에 설치된 도어 개폐 시간의 상관성을 결정하는 것을 포함한다. 이동 상관성은 미리 결정이 되어 제어 모듈에 설정이 될 수 있다. Referring to FIG. 3, a component may be supplied first for inspection (S31). As described above, a component can be, for example, a component such as a battery, but is not limited thereto. When the parts are supplied, the number of parts in the inspected group can be determined (S32). The number of parts of the inspected group can be, for example, 2 to 5, and can be determined by the structure of the part or the arrangement structure of the x-ray tube. When the number of parts belonging to the inspected group or the number of parts to be moved at one time is determined (S32), the mobile correlation can be determined (S33). The mobile correlation refers to the relative visual relationship in which the components are transferred from the supply module, the standby module, the inspection module, the discharge standby module and the discharge module. For example, the time at which the component is transferred from the standby module to the inspection module may be the same as the time at which the component is transferred to the discharge standby module in the inspection module. The mobile correlation also includes determining the correlation of door opening and closing times established between each module. The mobile correlation is predetermined and can be set in the control module.

이동 상관성이 결정되어 작동을 위한 제어 모듈에 설정이 되면 부품이 이송이 되어 각각의 모듈로 공급될 수 있다(S34). 그리고 엑스레이 튜브에 의하여 검사가 될 수 있다. 그리고 검사가 완료되었는지 여부가 제어 모듈에 의하여 판단이 될 수 있다(S35). 검사가 완료되었는지 여부의 판단은 예를 들어 각각의 모듈에서 진행이 되어야 하는 작업이 완료되었는지 여부를 판단하는 것을 의미한다. 예를 들어 검사 모듈에서 검사가 진행이 되는 과정에서 투입 모듈로부터 대기 모듈로 정해진 수의 부품이 이송이 되었는지 또는 정해진 시간 범위에서 이송이 되었는지 여부를 판단하는 것을 포함한다. 또한 도어의 개폐 여부에 대한 판단을 포함한다. When the mobile correlation is determined and set in the control module for operation, the component can be transferred and supplied to each module (S34). And can be examined by an x-ray tube. The control module may determine whether the inspection has been completed (S35). The determination as to whether or not the inspection has been completed means, for example, whether or not the operation to be performed in each module is completed. For example, determining whether a predetermined number of parts have been transferred from the input module to the standby module in the course of the inspection process in the inspection module, or whether the transfer has been performed within a predetermined time range. It also includes a judgment as to whether the door is open or closed.

검사 완료가 되지 않았다고 판단이 되면(NO), 이동 상관성이 다시 결정될 필요가 있다(S33). 예를 들어 부품이 이송 시간, 도어의 개폐 시간 또는 검사의 개시 시간이 다시 설정이 될 필요가 있다. 이에 비하여 검사와 완료되었으면(YES) 검사가 연속적으로 자동 진행이 될 수 있다(S36). 그리고 검사가 완료된 부품이 배출이 되고 그리고 새로운 부품이 검사를 위하여 투입이 될 수 있다(S37). 각각의 이송 과정 및 도어의 개폐 여부는 검사가 진행이 되는 과정에서 지속적으로 탐지가 될 수 있다(S38). 이와 같은 검사 과정의 지속적 탐지는 누적된 오차에 따른 오작동의 발생 또는 상관성 결정의 효율성을 위하여 요구된다. 모든 부품에 대한 검사가 완료되면 결과가 저장이 될 수 있다. 결과는 예를 들어 부품 검사의 결과, 작동 과정에서 발생된 오류 또는 각각의 단계에서 부품의 이송 시간과 같은 작동과 관련된 정보를 포함할 수 있다. If it is judged that the inspection has not been completed (NO), the mobile correlation needs to be determined again (S33). For example, the part needs to be set again for the transfer time, the door opening / closing time, or the inspection start time. On the other hand, if the test is completed (YES), the test can be continuously performed automatically (S36). Then, the inspected part is discharged and a new part can be input for inspection (S37). Each transport process and whether the door is opened or closed can be continuously detected in the course of the inspection (S38). Continuous detection of such an inspection process is required for the occurrence of malfunctions due to cumulative errors or the efficiency of correlation determination. Once all parts have been inspected, the results can be saved. The results may include, for example, information relating to the operation, such as a result of a part inspection, an error generated during the operation, or a transport time of the component at each stage.

다양한 과정을 통하여 본 발명에 따른 검사 과정을 진행이 될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The inspection process according to the present invention can be performed through various processes, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

본 발명에 따른 검사 장치는 다수 개의 부품이 동시에 검사될 수 있도록 하는 것에 의하여 검사 효율성이 향상될 수 있도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 방법은 투입, 대기, 차폐, 검사 및 배출과 같은 일련의 작동이 관련성을 가지면서 작동이 되도록 하는 것에 의하여 검사의 안전성이 확보될 수 있도록 한다는 장점을 가진다. The inspection apparatus according to the present invention has an advantage that inspection efficiency can be improved by allowing a plurality of parts to be simultaneously inspected. In addition, the inspection method according to the present invention has an advantage that the safety of inspection can be ensured by allowing a series of operations such as input, air, shielding, inspection, and discharge to be performed with relevance.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

11: 제어 모듈 12: 투입 모듈
13: 대기 모듈 14: 검사 모듈
15: 배출 대기 모듈 16: 영상 모듈
20: 검사 장치 21: 투입 모듈
22: 대기 모듈 23: 검사 모듈
24: 배출 대기 모듈 25: 배출 모듈
141: 엑스레이 튜브 142: 디텍터
231a, 231b: 엑스레이 튜브 232a, 232b: 디텍터
211: 가이드 유닛 212: 구동 수단
221: 차폐 터널 234: 검사 스테이지
234a: 구동 장치 241: 차폐 터널
11: Control module 12: Input module
13: standby module 14: inspection module
15: discharge waiting module 16: image module
20: Inspection device 21: Input module
22: standby module 23: inspection module
24: Discharge Standby Module 25: Discharge Module
141: X-ray tube 142: Detector
231a, 231b: X-ray tube 232a, 232b: Detector
211: guide unit 212: driving means
221: shield tunnel 234: inspection stage
234a: drive device 241: shielding tunnel

Claims (2)

검사를 위하여 공급되는 부품이 한 번에 이송되는 부품의 수를 기준으로 적어도 2개의 부품을 포함하는 피검사 그룹으로 분류되는 단계;
1 피검사 그룹이 공급 모듈에서 대기 모듈로 투입되어 대기 상태가 되는 단계;
상기 1 피검사 그룹이 검사 모듈로 이송되고, 2 피검사 그룹이 대기 모듈로 이송되어 차폐 상태로 대기하는 단계;
검사 모듈에 설치된 적어도 두 개의 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 상기 1 피검사 그룹의 부품이 검사되는 단계;
검사가 완료된 1 피검사 그룹이 배출 대기 모듈로 이송되면서 이와 동시에 상기 2 피검사 그룹이 상기 검사 모듈로 이송되는 단계;
투입 모듈에 위치하는 3 피검사 그룹이 상기 대기 모듈로 이송되는 단계; 및
상기 2 피검사 그룹의 부품이 검사되는 단계;를 포함하고,
상기 검사 모듈에서 서로 다른 엑스레이 튜브에 의하여 검사되는 동일 그룹의 부품의 검사 위치는 서로 다르고, 각각의 엑스레이 튜브에 의하여 상기 동일 그룹에 속하는 적어도 2개의 부품에 대해 동일한 검사 부분이 동시에 검사되고,
상기 공급 모듈과 대기 모듈 사이 그리고 상기 배출 대기 모듈에 각각 동시에 개폐되는 제1 도어 및 제4 도어가 배치되고, 상기 피검사 그룹에 포함되는 부품의 수는 각각의 모듈 사이에 부품이 이송되는 상대적인 시각 관계가 되는 이동 상관성에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 다수 개의 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 방법.

















The parts to be inspected are classified into inspection groups including at least two parts based on the number of parts to be delivered at one time;
A step in which the first test group is put into the standby module from the supply module,
The first inspected group is transferred to the inspection module, and the second inspection group is transferred to the standby module to wait in a shielded state;
Inspecting the components of the 1-inspected group by at least two X-ray tubes and detectors installed in the inspection module;
A first inspected group having been inspected is transferred to the discharge waiting module and simultaneously the second inspected group is transferred to the inspection module;
The three-subject inspection group located in the input module is transferred to the standby module; And
And inspecting the parts of the DUT inspection group,
The inspection positions of the same group of components inspected by different X-ray tubes in the inspection module are different from each other, and at the same time inspection of at least two parts belonging to the same group by the respective X-
A first door and a fourth door that are opened and closed at the same time are disposed between the supply module and the standby module and the discharge standby module, respectively, and the number of parts included in the group to be inspected is a relative time Wherein the plurality of components are determined by a related mobile correlation.

















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