KR20160031813A - Method for Investigating Article in Multi and Continuous Mode and Apparatus for the Same - Google Patents

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KR20160031813A
KR20160031813A KR1020140122005A KR20140122005A KR20160031813A KR 20160031813 A KR20160031813 A KR 20160031813A KR 1020140122005 A KR1020140122005 A KR 1020140122005A KR 20140122005 A KR20140122005 A KR 20140122005A KR 20160031813 A KR20160031813 A KR 20160031813A
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김형철
장용한
최봉진
신기훈
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Abstract

The present invention relates to a plurality of continuous X-ray inspection method and a device for the same and, more specifically, relates to the plurality of continuous X-ray inspection method and a device for the same capable of improving an efficiency of inspection by continuously and automatically inspecting an inspection subject transferred from at least two trays. The plurality of continuous X-ray inspection method comprises: a step wherein at least two inspection objects are arranged; a step wherein one among at least two inspection objects is inspected; a step wherein one in which the inspection is completed is discharged, and an other one among the at least two inspection objects is inspected; a step wherein the other one in which the inspection is completed is discharged; and a step wherein one or the other inspection object among the at least two inspection objects is arranged on a position of one or the other one in which the inspection is completed. At least two steps among the step wherein the inspection object is discharged, the step wherein the inspection object is arranged, and the step wherein the inspection proceeds proceed at the same time.

Description

다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치{Method for Investigating Article in Multi and Continuous Mode and Apparatus for the Same} TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for inspecting multiple continuous x-rays,

본 발명은 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이고, 구체적으로 적어도 2개의 트레이로부터 이송되는 검사 대상을 연속적으로 자동으로 검사가 되도록 하는 것에 의하여 검사 효율일 향상되도록 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a multiple continuous X-ray inspection method and apparatus therefor, and more particularly, to a multi-continuous X-ray inspection method for continuously inspecting an object to be inspected transferred from at least two trays, And a device for this.

비파괴 검사의 하나에 해당되는 엑스레이 검사는 건축, 토목, 자동차 부품, 전자 부품, 농산물, 전자 또는 의료 분야에서 결함 관리 또는 생산품의 품질 관리에 적용되고 있다. 예를 들어 비파괴 검사는 부품실장 과정에서 인쇄회로기판의 생산 라인에 적용되어 부품의 납땜 상태를 실시간으로 검사하기 위하여 사용될 수 있다. 엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 따라 다수 개의 검사 대상이 연속적으로 검사되도록 하거나 또는 각각의 검사 대상이 차례대로 검사되도록 하는 구조를 가질 수 있다. X-ray inspection, which is one of the nondestructive tests, is applied to defect management or quality control of products in the fields of architecture, civil engineering, automobile parts, electronic parts, agricultural products, electronic or medical. For example, nondestructive testing can be applied to the production line of printed circuit boards during component mounting and can be used to inspect the solder condition of components in real time. The X-ray inspection apparatus may have a structure in which a plurality of inspection objects are continuously inspected according to the inspection object, or each inspection object is inspected sequentially.

특허공개번호 10-2012-0066414는 검사 대상을 엑스레이 검사 영역으로 이동시키는 적어도 하나의 컨베이어; 상기 컨베이어에서 이송되는 검사 대상의 이송 경로를 변경하여 검사 대상을 검사 영역으로 투입하기 위한 이송 가이드; 상기 검사 대상에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 튜브; 상기 엑스레이 튜브로 조사된 엑스레이로부터 이미지를 검출하는 디텍터; 상기 검사 영역의 방사선을 차폐하기 위하여 컨베이어에서 검사 대상이 이송되는 제1 이송 경로에 위치하는 제1 차폐 판; 및 상기 컨베이어에서 상기 이송 가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로에 위치하는 제2 차폐 판을 포함하는 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다. Patent Publication No. 10-2012-0066414 discloses at least one conveyor for moving an object to be examined to an x-ray inspection area; A conveyance guide for changing the conveyance path of the inspection object conveyed from the conveyor and inputting the inspection object into the inspection area; An X-ray tube for irradiating the object to be examined with an X-ray; A detector for detecting an image from the x-ray irradiated by the x-ray tube; A first shielding plate located in a first conveying path through which the object to be inspected is conveyed in the conveyor for shielding radiation in the inspection area; And a second shielding plate located on a second conveyance path changed by the conveyance guide on the conveyor.

특허공개번호 10-2014-0021438은 에스레이 차폐를 위한 캐비넷을 형성하는 공간의 제1 측벽에 형성된 제1 개구에 배치되면서 제1 개구를 개폐할 수 있는 입구 도어; 상기 제1 개구를 개폐하도록 상기 입구 도어를 구동하는 입구 도어 구동부; 상기 캐비넷의 상기 제1 측벽에 대향한 제2 측벽에 형성된 제2 개구에 배치되고 그리고 상기 제2 개구를 개폐할 수 있는 출구 도어; 상기 제2 개구를 개폐하도록 상기 출구 도어를 구동하는 출구 도어 구동부; 내부에 엑스-레이 차폐 공간을 형성하도록 상기 캐비넷의 상기 제1 개구에서 상기 제2 개구까지 연장되어 상기 제1 개구 및 제2 개구와 직렬되고 그리고 일면에 상기 엑스-레이 차폐 공간을 개폐할 수 있는 차폐 커버를 구비하는 차폐 챔버; 상기 엑스-레이 차폐 공간을 개폐하도록 상기 차폐 커버를 구동하는 차폐 커버 구동부; 및 외부 명령 또는 제어 프로그램의 제어 프로세서에 따라 상기 입구 도어 구동부, 상기 출구 도어 구동부 및 상기 차폐 커버 구동부를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 엑스-레이 차폐 유닛에 대하여 개시한다. Patent Publication No. 10-2014-0021438 discloses an entrance door capable of opening and closing a first opening while being disposed in a first opening formed in a first sidewall of a space forming a cabinet for shielding SES; An entrance door driving unit for driving the entrance door to open and close the first opening; An outlet door disposed in a second opening formed in a second sidewall opposite the first sidewall of the cabinet and capable of opening and closing the second opening; An outlet door driving unit for driving the outlet door to open and close the second opening; Ray shielding space extending from the first opening to the second opening of the cabinet so as to form an X-ray shielding space therein and being in series with the first opening and the second opening, A shielding chamber having a shielding cover; A shield cover driving unit for driving the shield cover to open and close the X-ray shielded space; And an controller for controlling the entrance door driving unit, the exit door driving unit and the shielding cover driving unit in accordance with a control processor of an external command or control program.

상기 선행기술은 엑스레이 검사 과정에서 컨베이어를 따라 이송되고 그리고 엑스레이의 차폐와 관련된 방법에 대하여 개시한다. 검사 대상에 따라 엑스레이 검사 장치는 각각의 장치에 투입 및 배출이 반복되면서 검사되는 구조를 가질 필요가 있다. 그리고 그와 같은 검사 과정에서 검사 효율을 높일 수 있는 방법 및 장치가 요구된다. The prior art discloses a method of transferring along a conveyor during X-ray inspection and related to the shielding of X-rays. Depending on the subject to be inspected, the X-ray examination apparatus needs to have a structure that is inspected by repeatedly injecting and discharging into each apparatus. And a method and apparatus for increasing the inspection efficiency in such inspection process are required.

상기 선행기술은 그와 같은 검사 대상에 대한 검사 방법에 대하여 개시하지 않는다. The prior art does not disclose such an inspection method for an object to be inspected.

본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

선행문헌1: 특허공개번호 10-2012-0066414((주)자비스, 2012년06월22일 공개) 차폐 수단을 구비하고, 엑스레이 조사 위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사 장치Prior Art Document 1: Patent Publication No. 10-2012-0066414 (published by Jarvis Co., Ltd., Jun. 22, 2012) An X-ray inspection apparatus having a shielding means and capable of changing an X- 선행문헌2: 특허공개번호 10-2014-0021438(주식회사 쎄크, 2014년02월20일 공개) 인라인 엑스-레이 차폐 도어 유닛 및 이를 구비한 엑스-레이 검사시스템Prior Art Document 2: Patent Publication No. 10-2014-0021438 (disclosed by Seek Co., Ltd., February 20, 2014) In-line X-ray shielding door unit and X-ray inspection system

본 발명의 목적은 차례대로 투입 및 배출이 반복적으로 이루어지는 검사 대상에 대하여 2개의 서로 다른 검사 공간 또는 검사 유닛으로 검사를 진행하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법 및 이를 위한 장치를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a multi-continuous x-ray inspection method and a device therefor, in which inspection efficiency is improved by conducting inspection with two different inspection spaces or inspection units for an inspection object to be repeatedly inserted and discharged in sequence .

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 다중 연속 엑스레이 검사 방법은 적어도 2개의 검사 대상이 배치되는 단계; 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 하나가 배출되고 그리고 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 다른 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 다른 하나가 배출되는 단계; 및 상기 검사가 완료된 하나 또는 다른 하나의 위치에 적어도 2개의 검사 대상 중 어느 하나 또는 다른 검사 대상이 배치되는 단계를 포함하고, 상기 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 상기 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행된다. According to a preferred embodiment of the present invention, a method for inspecting multiple continuous x-rays comprises the steps of: arranging at least two inspection targets; Checking one of the at least two inspection objects; Wherein one of the inspected objects is discharged and the other of the at least two inspected objects is inspected; Discharging the other one after the inspection is completed; And arranging at least one of the at least two inspection objects or one inspection object at one or the other of the positions where the inspection is completed, wherein the discharge of the inspection object, the arrangement of the inspection object, At least two of the steps proceed simultaneously.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 적어도 2개의 검사 대상은 서로 다른 검사 공간에 배치된다. According to another preferred embodiment of the present invention, at least two inspection objects are arranged in different inspection spaces.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 적어도 하나의 검사 공간; 검사 공간에서 이동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 검사 유닛; 적어도 하나의 검사 공간으로 투입 및 배출이 가능하도록 배치되는 적어도 2개의 트레이; 및 상기 검사 공간에 설치되는 차폐 유닛을 포함하고, 상기 트레이는 상기 검사 영역에서 각각 정해진 위치로 이동되고 그리고 상기 검사 유닛은 상기 정해진 위치로 이동되어 상기 트레이를 검사하고 최초 위치로 또는 다른 검사 영역으로 이동이 된다. According to another preferred embodiment of the present invention, the x-ray examination apparatus comprises at least one examination space; At least one inspection unit movably arranged in an inspection space; At least two trays arranged so as to be able to be inserted and discharged into at least one inspection space; And a shielding unit installed in the inspection space. The tray is moved to a predetermined position in the inspection area, and the inspection unit is moved to the predetermined position to inspect the tray and to the initial position or another inspection area Move.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 검사 유닛은 서로 다른 검사 공간사이를 이동한다. According to another preferred embodiment of the present invention, the inspection unit moves between different inspection spaces.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 적어도 하나의 검사 유닛은 서로 다른 검사 영역을 가진다. According to another preferred embodiment of the present invention, said at least one inspection unit has a different inspection area.

본 발명에 따른 검사 방법 및 장치는 검사 대상의 특성에 의하여 투입 및 배출이 반복적으로 이루어져야하는 검사 공정에서 검사 과정과 투입 과정이 연속적으로 이루어지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다. The inspection method and apparatus according to the present invention improve the inspection efficiency by continuously performing the inspecting process and the inserting process in the inspecting process in which the injecting and discharging are repeatedly performed depending on the characteristics of the inspecting object.

도 1은 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다. 1 shows an embodiment of the inspection method according to the present invention.
Fig. 2 shows an embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.
Fig. 3 shows another embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1은 본 발명에 따른 검사 방법의 실시 예를 도시한 것이다.1 shows an embodiment of the inspection method according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 검사 방법은 적어도 2개의 검사 대상이 배치되는 단계(P11); 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 하나가 검사되는 단계; 상기 검사가 완료된 하나가 배출되고 그리고 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 다른 하나가 검사되는 단계(P12); 상기 검사가 완료된 다른 하나가 배출되는 단계(P13); 및 상기 검사가 완료된 하나 또는 다른 하나의 위치에 적어도 2개의 검사 대상 중 어느 하나 또는 다른 검사 대상이 배치되는 단계(P15)를 포함하고, 상기 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 상기 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행된다. Referring to FIG. 1, an inspection method according to the present invention includes a step P11 in which at least two inspection objects are disposed; Checking one of the at least two inspection objects; (P12) in which one of the inspection is completed and the other of the at least two inspection objects is inspected; A step (P13) in which the other inspected is discharged; And a step (P15) in which one or at least two inspection targets are disposed at one or the other of the positions where the inspection is completed, wherein the discharge of the inspection target, the arrangement of the inspection target, At least two of the proceeding steps proceed at the same time.

본 발명에 따른 검사 방법은 검사 대상이 적재가 된 트레이가 검사 공간 또는 검사실 내부로 투입 및 배출이 되는 구조에 적용될 수 있다. 이와 같은 검사 대상은 다수 개의 검사 부위를 가지거나 또는 검사를 위하여 많은 시간을 필요로 한다. 그러므로 검사 대상은 검사 공간에 일정 개수로 투입이 되어 검사되고 그리고 검사가 완료되면 새로운 검사 대상이 투입되어 검사될 수 있다. 이와 같이 다수 개의 검사 대상은 차례대로 투입 및 배출이 되면서 검사가 될 수 있고 예를 들어 컨베이어와 같은 장치에 의하여 연속적으로 검사되기 어렵다. 본 발명에 따른 검사 방법은 이와 같이 트레이와 같이 이동 가능한 수단에 의하여 적어도 하나의 검사 대상을 검사 공간으로 투입 및 배출시키면서 다수 개의 검사 대상이 차례대로 검사되는 과정을 전제로 한다. 다만 적절한 구조 변경을 통하여 다수 개의 트레이가 차례대로 공급 및 배출이 되는 구조로 만들어질 수 있고 이와 같은 경우 본 발명에 따른 검사 방법이 적용될 수 있다. The inspection method according to the present invention can be applied to a structure in which a tray on which an inspection object is loaded is inserted into and discharged from an inspection space or an inspection room. Such an object to be inspected may have a plurality of inspection sites or require a long time for inspection. Therefore, the object to be inspected is inserted into the inspection space with a certain number of inputs, and when the inspection is completed, a new object to be inspected can be inserted and inspected. As described above, a plurality of objects to be inspected can be inspected while being sequentially introduced and discharged, and it is difficult to continuously inspect them by, for example, a device such as a conveyor. The inspection method according to the present invention is premised on a process in which a plurality of inspection objects are sequentially inspected while at least one inspection object is put into and discharged from the inspection space by a movable means such as a tray. However, a structure in which a plurality of trays are sequentially supplied and discharged through appropriate structural changes can be made, and in such a case, the inspection method according to the present invention can be applied.

본 발명에 따른 검사 방법의 적용을 위하여 적어도 2개의 검사 대상이 배치될 수 있다(P11). 검사 대상은 예를 들어 자동차 배터리 모듈, 전자기판 또는 기계 부품과 같이 결함 검사가 요구되는 임의의 제품이 될 수 있다. 적어도 2개의 검사 대상은 적어도 2개의 서로 다른 트레이에 적재될 수 있다. 그리고 2개의 서로 다른 트레이는 동일하거나 또는 서로 다른 검사 공간에 배치될 수 있다. 검사 공간에 엑스레이 튜브 및 디텍터를 포함하는 검사 유닛이 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브 및 디텍터는 이 분야에서 공지된 임의의 형태가 될 수 있고 검사 대상의 검사가 가능한 적절한 위치에 배치될 수 있다. 각각의 트레이는 검사 공간의 정해진 위치에 배치될 수 있고 예를 들어 정해진 위치에 검사 스테이지가 배치될 수 있다. For the application of the inspection method according to the present invention, at least two inspection objects can be arranged (P11). The object to be inspected may be any product requiring defect inspection such as, for example, an automobile battery module, an electronic board, or a mechanical part. At least two inspection objects can be loaded in at least two different trays. And two different trays may be placed in the same or different inspection spaces. An inspection unit including an x-ray tube and a detector may be disposed in the inspection space. The x-ray tube and detector can be of any shape known in the art and can be placed in a suitable position where inspection of the object to be inspected is possible. Each tray may be disposed at a predetermined position of the inspection space, and for example, the inspection stage may be disposed at a predetermined position.

검사 공간은 적어도 하나가 될 수 있고 만약 서로 다른 2개의 검사 공간이 배치되는 경우 검사 유닛이 서로 다른 2개의 검사 공간으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 이에 비하여 만약 하나의 검사 공간에 적어도 2개의 트레이가 배치된다면 서로 다른 2개의 트레이를 검사하기 위한 적어도 2개의 검사 유닛이 배치될 수 있다. 각각의 경우 검사 유닛은 트레이의 검사를 위하여 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 또한 서로 다른 검사 공간이 형성된다면 서로 다른 검사 공간을 밀폐시키기 위한 차폐 유닛이 배치될 수 있다. 차폐 유닛은 예를 들어 개폐 도어 부분에 설치될 수 있다. The inspection space may be at least one, and if two different inspection spaces are arranged, the inspection unit may be arranged to be movable to two different inspection spaces. In contrast, if at least two trays are disposed in one inspection space, at least two inspection units for inspecting two different trays may be disposed. In each case, the inspection unit may be arranged to be movable for inspection of the tray. Also, if different inspection spaces are formed, a shielding unit for sealing different inspection spaces may be disposed. The shielding unit may be installed, for example, in the opening / closing door portion.

검사 공간에 적어도 2개의 트레이가 배치되면 어느 하나의 트레이에 적재된 검사 대상이 검사 유닛에 의하여 검사가 될 수 있다. 검사 유닛은 엑스레이 튜브와 디텍터를 포함하고 엑스레이 튜브와 디텍터는 일체로 이동되거나 독립적으로 이동될 수 있다. 트레이의 검사 위치는 미리 결정될 수 있고 제어 유닛은 정해진 위치에서 트레이가 탐지되면 엑스레이 튜브와 디텍터를 이동시킬 수 있다. When at least two trays are disposed in the inspection space, the inspection objects loaded on any one of the trays can be inspected by the inspection unit. The inspection unit includes an x-ray tube and a detector, and the x-ray tube and the detector can be moved integrally or independently. The inspection position of the tray can be predetermined and the control unit can move the x-ray tube and the detector when the tray is detected at a predetermined position.

검사 유닛이 제1 트레이로 이동되어 검사 대상에 대한 검사가 완료되면(P12) 검사 유닛은 이동될 수 있다(P12). 만약 다수 개의 검사 유닛이 설치되고 각각의 검사 위치가 결정되어 있다면 검사 유닛은 원래의 위치로 되돌아가거나 또는 다른 검사 위치로 이동될 수 있다. 이에 비하여 하나의 검사 유닛이 설치되어 있고 각각의 트레이가 서로 다른 검사 공간에 배치되어 있다면 검사 유닛은 다른 검사 공간으로 이동될 수 있다. 그리고 검사가 완료된 트레이는 외부로 배출될 수 있고 그리고 검사 결과에 따라 정상/불량이 표시될 수 있다. 그리고 다른 검사 대상이 투입 준비가 되거나 투입될 수 있다. 이와 함께 제2 트레이에 대한 엑스레이 검사가 진행될 수 있다(P14). 제2 트레이에 대한 엑스레이 검사는 제1 트레이를 검사한 검사 유닛에 의하여 진행되거나 다른 검사 유닛에 의하여 진행될 수 있다. 그리고 검사 과정에서 제1 검사 공간으로 새로운 검사 대상이 투입될 수 있다. When the inspection unit is moved to the first tray and inspection of the inspection object is completed (P12), the inspection unit can be moved (P12). If a plurality of inspection units are installed and each inspection position is determined, the inspection unit can be returned to its original position or moved to another inspection position. On the other hand, if one inspection unit is installed and each tray is disposed in a different inspection space, the inspection unit can be moved to another inspection space. And, the trays that have been inspected can be discharged to the outside, and normal / defective may be displayed according to the inspection result. And other inspection objects may be ready for input or input. At the same time, the X-ray inspection for the second tray can be performed (P14). The x-ray inspection for the second tray may be performed by an inspection unit inspecting the first tray or may be performed by another inspection unit. In the inspection process, a new inspection object can be inserted into the first inspection space.

제2 트레이에 대한 검사가 완료되면 다시 검사 유닛이 이동될 수 있고 그리고 제2 트레이가 배출되어 정상/불량 표시가 될 수 있다(P15). 하나의 검사 유닛이 서로 다른 검사 영역에서 검사 대상을 검사하는 구조에서 검사 유닛은 다시 새로이 투입되는 검사 공간으로 이동될 수 있다. 그리고 다수 개의 검사 유닛이 정해진 영역에서 트레이를 검사하는 경우 검사 유닛은 최초의 위치로 이동될 수 있다. When the inspection of the second tray is completed, the inspection unit can be moved again and the second tray can be discharged and become a normal / bad indication (P15). In a structure in which one inspection unit inspects an object to be inspected in different inspection areas, the inspection unit can be moved to a newly inserted inspection space. When the plurality of inspection units inspect the tray in the predetermined area, the inspection unit can be moved to the initial position.

제1 트레이의 투입 및 배출 위치와 제2 트레이의 투입 및 배출 위치는 서로 다를 수 있고 검사 유닛의 이동 과정 또는 이동이 완료된 이후 제1 트레이 또는 제2 트레이가 투입 또는 배출이 될 수 있다. 엑스레이 튜브로부터 조사되는 엑스선의 차폐를 위하여 투입 및 배출은 엑스레이 튜브의 위치와 서로 다른 쪽에서 이루어질 수 있다. 그리고 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행이 될 수 있다. 이와 같은 동시 진행은 서로 다른 영역에서 서로 다른 트레이에 대한 검사가 진행되면서 엑스레이 튜브의 서로 다른 검사 위치로 이동시키는 방법으로 검사하는 것에 의하여 가능하다. 이와 같은 동시 진행에 의하여 검사 효율이 향상될 수 있도록 한다. The input and discharge positions of the first tray may be different from the input and discharge positions of the second tray and the first tray or the second tray may be inserted or discharged after the inspection process or movement of the inspection unit is completed. In order to shield the x-rays emitted from the x-ray tube, the insertion and ejection can be made at different positions from the position of the x-ray tube. At least two of the steps of discharging the object to be inspected, arranging the object to be inspected, and inspecting the object may be simultaneously performed. This simultaneous progression is possible by inspecting different trays for different trays and moving them to different inspection positions of the x-ray tube. Such a simultaneous process makes it possible to improve the inspection efficiency.

제시된 실시 예에서 2개의 트레이가 차례대로 검사가 되고 배출이 되는 과정에 대하여 설명이 되었지만 다수 개의 검사 위치가 설정될 수 있고 그리고 다수 개의 검사 위치로 검사 유닛을 이동시키면서 다수 개의 트레이가 차례대로 검사되도록 할 수 있다. 그러므로 본 발명은 검사 공간의 수, 트레이의 검사 위치의 수, 검사 유닛의 수 또는 검사 유닛의 이동 형태에 의하여 제한되지 않는다. Although two trays are sequentially tested and discharged in the illustrated embodiment, a plurality of inspection positions may be set, and a plurality of trays may be sequentially inspected while moving the inspection unit to a plurality of inspection positions. can do. Therefore, the present invention is not limited by the number of inspection spaces, the number of inspection positions of the trays, the number of inspection units or the movement form of the inspection unit.

아래에서 본 발명에 따른 검사 장치에 대하여 설명된다. The inspection apparatus according to the present invention will be described below.

도 2는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예를 도시한 것이다. Fig. 2 shows an embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 검사 장치는 적어도 하나의 검사 공간(22a, 22b); 검사 공간에서 이동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 검사 유닛(26); 적어도 하나의 검사 공간(22a, 22b)으로 투입 및 배출이 가능하도록 배치되는 적어도 2개의 트레이(27); 및 상기 검사 공간(22a, 22b)에 설치되는 차폐 유닛(24a, 24b, 25)을 포함하고, 상기 트레이(27)는 상기 검사 영역에서 각각 정해진 위치로 이동되고 그리고 상기 검사 유닛(26)은 상기 정해진 위치로 이동되어 상기 트레이를 검사하고 최초 위치로 또는 다른 검사 영역으로 이동이 된다. Referring to FIG. 2, the inspection apparatus according to the present invention includes at least one inspection space 22a, 22b; At least one inspection unit (26) movably disposed in the inspection space; At least two trays (27) arranged to be able to be inserted into and discharged from at least one inspection space (22a, 22b); And a shielding unit (24a, 24b, 25) provided in the inspection space (22a, 22b), the tray (27) is moved to a predetermined position in the inspection area, and the inspection unit The tray is inspected and moved to the initial position or to another inspection area.

도 2에 제시된 실시 예에서 2개의 검사 공간(22a, 22b)이 배치될 수 있고 그리고 각각의 검사 공간(22a, 22b)에 검사 대상(271)이 적재된 트레이(27)를 투입 및 배출하기 위한 대기 영역(21a, 21b)이 배치될 수 있다. 검사 공간(22a, 22b)과 대기 영역(21a, 21b) 사이에 개폐 도어(23)가 설치될 수 있고 그리고 개폐 도어(23)에 차폐 유닛(24a, 24b)이 배치될 수 있다. 각각의 트레이(27)은 화살표 방향(A, B)으로 투입 및 배출될 수 있고 검사 공간(22a, 22b)의 정해진 위치에 배치될 수 있다. 검사 공간(22a, 22b)의 정해진 위치에 트레이(27)가 배치되면 차폐 유닛(24a, 24b)에 의하여 검사 공간(22a, 22b)이 차폐될 수 있다. 그리고 제1 검사 공간(22a)의 검사 위치로 검사 유닛(26)이 이동될 수 있다. 2개의 검사 공간(22a, 22b) 사이에 차폐 유닛(25)이 설치될 수 있고 검사 과정에서 차폐 유닛(25)에 의하여 검사 공간(22a, 22b)이 서로 차폐될 수 있다. 제1 트레이에 대한 검사가 완료되면 차폐 유닛(25)이 개방되면서 화살표 방향(C)을 따라 검사 유닛(26)이 제2 검사 공간(22b)으로 이동될 수 있다. 트레이(27)의 이동, 검사 유닛(26)의 이동 또는 차폐 유닛(24a, 24b, 25)의 작동은 제어 유닛에 의하여 제어되거나 수동으로 제어될 수 있다. 예를 들어 작동 버튼이 설치될 수 있고 그리고 각각의 유닛의 이동 위치는 미리 프로그램으로 설정될 수 있다. 필요에 따라 각각의 위치에 탐지 센서가 설치될 수 있고 그리고 탐지 센서의 탐지에 의하여 제어 유닛은 각각의 장치를 작동시킬 수 있다. 제어 유닛의 검사 장치 전체의 작동을 제어할 수 있다. In the embodiment shown in FIG. 2, two inspection spaces 22a and 22b can be disposed, and the tray 27 having the inspection object 271 loaded therein is inserted into each of the inspection spaces 22a and 22b The waiting areas 21a and 21b can be arranged. The opening and closing door 23 can be installed between the inspection spaces 22a and 22b and the waiting areas 21a and 21b and the shielding units 24a and 24b can be disposed on the opening and closing door 23. [ Each of the trays 27 can be inserted and discharged in the directions of the arrows A and B and can be disposed at predetermined positions of the inspection spaces 22a and 22b. The inspection spaces 22a and 22b can be shielded by the shielding units 24a and 24b when the tray 27 is disposed at a predetermined position of the inspection spaces 22a and 22b. And the inspection unit 26 can be moved to the inspection position of the first inspection space 22a. The shielding unit 25 can be installed between the two inspection spaces 22a and 22b and the inspection spaces 22a and 22b can be shielded from each other by the shielding unit 25 during the inspection process. When the inspection for the first tray is completed, the inspection unit 26 can be moved to the second inspection space 22b along the arrow direction C while the shielding unit 25 is opened. Movement of the tray 27, movement of the inspection unit 26, or operation of the shielding units 24a, 24b, 25 can be controlled or manually controlled by the control unit. For example, an operation button may be installed and the movement position of each unit may be set in advance by a program. Detection sensors can be installed at each position as needed and the detection unit can detect the detection unit so that the control unit can operate each device. The operation of the entire inspection apparatus of the control unit can be controlled.

검사 유닛(26)이 제2 검사 공간(22b)으로 이동되면 차폐 유닛(24b, 25)에 의하여 제2 검사 공간(22b)이 차폐될 수 있다. 그리고 검사 유닛(26)에 의하여 제2 트레이(27)에 적재된 검사 대상(271)이 검사될 수 있다. 이와 동시에 제1 검사 공간(22a)에 위치하는 제1 트레이가(27)가 배출될 수 있다. 그리고 제1 트레이(27)에 적재된 검사 대상(271)에 대한 정상 또는 불량 표시가 될 수 있다. 이후 제1 트레이(27) 또는 다른 트레이가 제1 검사 공간(22a)으로 투입될 수 있다. When the inspection unit 26 is moved to the second inspection space 22b, the second inspection space 22b can be shielded by the shielding units 24b and 25. Then, the inspection object 271 loaded on the second tray 27 by the inspection unit 26 can be inspected. At the same time, the first tray 27 located in the first inspection space 22a can be discharged. Then, the inspection object 271 loaded on the first tray 27 may be normal or defective. Thereafter, the first tray 27 or another tray may be inserted into the first inspection space 22a.

제2 검사 공간(22b)에서 검사가 완료되면 검사 유닛(26)이 다시 화살표 방향(C)을 따라 제1 검사 공간(22a)으로 이동될 수 있다. 그리고 차폐 유닛(24a, 25)에 의하여 제1 검사 공간(22a)에 위치하는 트레이(27)에 대한 검사가 진행될 수 있다. 이와 동시에 제2 검사 영역(22b)에 위치하는 검사가 완료된 트레이가 제2 대기 영역(21b)으로 배출되어 검사 대상(271)에 대한 정상 또는 불량 여부가 표시될 수 있다. 그리고 제2 트레이(27) 또는 다른 트레이(27)가 제2 검사 영역(22b)으로 투입될 수 있다. 그리고 제1 검사 영역(22a)에서 검사 유닛(26)에 의하여 검사가 완료되면 동일 또는 유사한 과정이 반복될 수 있다. When the inspection is completed in the second inspection space 22b, the inspection unit 26 can be moved to the first inspection space 22a along the direction of arrow C again. The inspection of the tray 27 located in the first inspection space 22a by the shielding units 24a and 25 can proceed. At the same time, the tray having been inspected located in the second inspection area 22b is discharged to the second waiting area 21b, and whether the inspection target 271 is normal or not can be displayed. And the second tray 27 or another tray 27 can be inserted into the second inspection area 22b. When the inspection is completed by the inspection unit 26 in the first inspection area 22a, the same or similar process can be repeated.

이와 같이 본 발명에 따른 검사 장치는 하나의 트레이(27)에 대한 검사 과정에서 다른 트레이(27)에 대하여 필요한 공정이 진행되도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. As described above, the inspection apparatus according to the present invention has an advantage that the inspection efficiency is improved by allowing the other trays 27 to perform necessary processes in the inspection process of one tray 27. [

도 3은 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다. Fig. 3 shows another embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

도 3을 참조하면, 하나의 검사 공간(32)에 적어도 2개의 검사 영역이 설정될 수 있고 그리고 각각의 검사 영역으로 이동 가능한 적어도 2개의 검사 유닛(36a, 36b)이 배치될 수 있다. 검사 공간(32)의 한쪽에 대기 공간(31)이 형성될 수 있고 그리고 별도로 공정 테이블(39)이 배치될 수 있다. 공정 테이블(39)은 대기 공간에 비하여 낮은 높이를 가지도록 계단식으로 배치될 수 있지만 반드시 요구되는 것은 아니다. 그리고 검사 공간(32)과 대기 영역(31) 사이에 차폐 벽(33)이 설치될 수 있고 그리고 차폐 벽(33)에 트레이(37a, 37b)의 개폐를 위한 차폐 유닛(34)이 설치될 수 있다. 차폐 유닛(34)은 각각의 트레이(37a, 37b)의 위치에 대응되도록 독립적으로 설치되거나 일체형으로 설치될 수 있다. Referring to FIG. 3, at least two inspection areas can be set in one inspection space 32 and at least two inspection units 36a and 36b movable to each inspection area can be arranged. An atmospheric space 31 may be formed on one side of the inspection space 32 and a process table 39 may be disposed separately. The process table 39 may be arranged stepwise so as to have a lower height than the atmosphere space, but is not necessarily required. A shielding wall 33 may be provided between the inspection space 32 and the atmosphere region 31 and a shielding unit 34 may be installed in the shielding wall 33 for opening and closing the trays 37a and 37b. have. The shielding units 34 may be installed independently or integrally so as to correspond to the positions of the respective trays 37a and 37b.

엑스레이 검사를 위하여 화살표 방향(D)을 따라 검사 대상이 적재된 제1 트레이(37a)가 제1 검사 영역으로 투입될 수 있다. 그리고 제1 검사 유닛(36a)이 화살표 방향(E)을 따라 제1 검사 영역으로 이동되어 제1 트레이(37a)를 검사할 수 있다. 그리고 검사가 완료되면 다시 화살표 방향(E)을 따라 원래의 위치로 되돌아 갈 수 있다. 그리고 차폐 유닛(34)이 개방되면서 제1 트레이(37a)가 배출될 수 있다. 그리고 이와 동시에 제2 트레이(37b)가 제2 검사 영역으로 이동될 수 있다. 그리고 제2 검사 유닛(36b)이 제2 검사 영역으로 화살표 방향(F)을 따라 이동될 수 있다. 다른 한편으로 대기 영역(31)에서 제1 트레이(37a)에 적재된 검사가 완료된 검사 대상에 대한 정상 또는 불량 여부가 표시될 수 있다. 그리고 제1 트레이(37a)에 검사 대상이 적재되거나 또는 새로운 검사 대상을 가진 새로운 트레이가 준비될 수 있다. The first tray 37a on which an object to be inspected is loaded along the direction of arrow D may be inserted into the first inspection area for X-ray inspection. Then, the first inspection unit 36a is moved to the first inspection area along the arrow direction E to inspect the first tray 37a. When the inspection is completed, it is possible to return to the original position along the arrow direction E again. And the first tray 37a can be discharged while the shielding unit 34 is opened. At the same time, the second tray 37b can be moved to the second inspection area. And the second inspection unit 36b can be moved along the arrow direction F to the second inspection area. On the other hand, the normal or bad state of the inspection object loaded on the first tray 37a in the waiting area 31 can be displayed. A new tray having a new inspection object can be prepared or loaded on the first tray 37a.

제2 검사 유닛(36b)에 의하여 제2 트레이(37b)에 대한 검사가 완료되면 다시 화살표 방향(F)을 따라 제2 검사 유닛(36b)이 이동될 수 있다. 그리고 제2 트레이(37b)가 배출되면서 이와 동시에 제1 트레이(37a)가 제1 검사 영역으로 이동될 수 있다. 이후 위에서 설명이 된 것과 동일 또는 유사한 과정이 반복될 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 검사 장치는 투입과 배출이 동시에 이루어지도록 하거나 또는 검사 과정에서 불량 여부의 표시 또는 투입 준비가 이루어지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다. When the inspection of the second tray 37b is completed by the second inspection unit 36b, the second inspection unit 36b can be moved along the arrow direction F again. At the same time as the second tray 37b is discharged, the first tray 37a can be moved to the first inspection area. Then, the same or similar process as described above can be repeated. As described above, the inspection apparatus according to the present invention enhances the inspection efficiency by allowing the input and the discharge to be performed at the same time, or by preparing for display or insertion of the defect in the inspection process.

제시된 실시 예에서 2개의 검사 유닛(36a, 36b)이 검사 영역(32)에서 각각 정해진 검사 영역으로 이동되는 것으로 설명되었다. 그러나 필요에 따라 하나의 검사 유닛(36a, 36b)이 배치되어 제1 검사 영역 및 제2 검사 영역으로 이동되도록 설계될 수 있다. 그리고 검사 유닛(36a, 36b) 자체에 차폐 유닛이 설치될 수 있다. 본 발명에 따른 검사 장치는 다양한 구조를 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. In the illustrated embodiment, two inspection units 36a and 36b have been described as being moved to the respective inspection areas in the inspection area 32. [ However, one inspection unit 36a or 36b may be arranged to be moved to the first inspection area and the second inspection area, if necessary. The shielding units may be installed in the inspection units 36a and 36b themselves. The inspection apparatus according to the present invention may have various structures and the present invention is not limited to the embodiments shown.

본 발명에 따른 검사 방법 및 장치는 검사 대상의 특성에 의하여 투입 및 배출이 반복적으로 이루어져야하는 검사 공정에서 검사 과정과 투입 과정이 연속적으로 이루어지도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다. The inspection method and apparatus according to the present invention improve the inspection efficiency by continuously performing the inspecting process and the inserting process in the inspecting process in which the injecting and discharging are repeatedly performed depending on the characteristics of the inspecting object.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

21a, 21b: 대기 영역 22a, 22b: 검사 공간
23: 개폐 도어 26: 검사 유닛
27: 트레이 24a, 24b, 24c: 차폐 유닛
25: 차폐 유닛 31: 대기 공간
32: 검사 공간 33: 차폐 벽
34: 차폐 유닛 36a, 36b: 검사 유닛
39: 공정 테이블 271: 검사 대상 21a and 21b: Waiting areas 22a and 22b: Inspection space
23: opening / closing door 26: inspection unit
27: trays 24a, 24b, 24c: shielding unit
25: shielding unit 31: standby space
32: Inspection space 33: Shielding wall
34: shielding unit 36a, 36b: inspection unit
39: Process table 271: Inspection target

Claims (5)

적어도 2개의 검사 대상이 배치되는 단계;
상기 적어도 2개의 검사 대상 중 하나가 검사되는 단계;
상기 검사가 완료된 하나가 배출되고 그리고 상기 적어도 2개의 검사 대상 중 다른 하나가 검사되는 단계;
상기 검사가 완료된 다른 하나가 배출되는 단계; 및
상기 검사가 완료된 하나 또는 다른 하나의 위치에 적어도 2개의 검사 대상 중 어느 하나 또는 다른 검사 대상이 배치되는 단계를 포함하고,
상기 검사 대상의 배출, 상기 검사 대상의 배치 및 상기 검사가 진행되는 단계 중 적어도 2개의 단계는 동시에 진행되는 것을 특징으로 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법.Arranging at least two inspection objects;
Checking one of the at least two inspection objects;
Wherein one of the inspected objects is discharged and the other of the at least two inspected objects is inspected;
Discharging the other one after the inspection is completed; And
Wherein at least one of the two or more inspection targets is disposed at one or the other of the positions where the inspection is completed,
Wherein at least two of the steps of discharging the inspection object, arranging the inspection object, and proceeding with the inspection are simultaneously performed. 청구항 1에 있어서, 적어도 2개의 검사 대상은 서로 다른 검사 공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 연속 엑스레이 검사 방법. The method according to claim 1, wherein at least two inspection objects are arranged in different inspection spaces. 적어도 하나의 검사 공간;
검사 공간에서 이동 가능하게 배치되는 적어도 하나의 검사 유닛;
적어도 하나의 검사 공간으로 투입 및 배출이 가능하도록 배치되는 적어도 2개의 트레이; 및
상기 검사 공간에 설치되는 차폐 유닛을 포함하고,
상기 트레이는 상기 검사 영역에서 각각 정해진 위치로 이동되고 그리고 상기 검사 유닛은 상기 정해진 위치로 이동되어 상기 트레이를 검사하고 최초 위치로 또는 다른 검사 영역으로 이동이 되는 것을 특징으로 하는 다중 연속 엑스레이 검사 장치. At least one inspection space;
At least one inspection unit movably arranged in an inspection space;
At least two trays arranged so as to be able to be inserted and discharged into at least one inspection space; And
And a shielding unit installed in the inspection space,
Wherein the tray is moved to a predetermined position in the inspection area and the inspection unit is moved to the predetermined position to inspect the tray and move to the initial position or to another inspection area. 청구항 3에 있어서, 상기 검사 유닛은 서로 다른 검사 공간사이를 이동하는 것을 특징으로 하는 다중 연속 엑스레이 검사 장치. The apparatus of claim 3, wherein the inspection unit moves between different inspection spaces. 청구항 3에서, 상기 적어도 하나의 검사 유닛은 서로 다른 검사 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 다중 연속 엑스레이 검사 장치. The apparatus of claim 3, wherein the at least one inspection unit has different inspection areas.
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