KR20220124729A

KR20220124729A - 밀폐 챔버

Info

Publication number: KR20220124729A
Application number: KR1020227026256A
Authority: KR
Inventors: 송동욱
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2020-06-11
Filing date: 2020-06-11
Publication date: 2022-09-14
Also published as: CN115769353A; WO2021251527A1

Abstract

밀폐 챔버는 베이스 플레이트와, 베이스 플레이트 상에 복수의 지지 프레임과, 복수의 지지 프레임을 연결하는 복수의 연결 블록과, 복수의 지지 프레임 사이의 개방 영역을 덮는 복수의 판넬과, 복수의 지지 프레임과 복수의 연결 블록 사이에 배치된 제1 밀폐 부재를 포함한다.

Description

밀폐 챔버

실시예는 밀폐 챔버에 관한 것이다.

반도체나 디스플레이의 제조 공정에 적용되는 글로브박스 또는 밀폐 챔버는 외부와 차단되어 그 내부 공간을 특정 가스 분위기로 유지되도록 밀폐해야 한다.

종래의 밀폐 챔버를 제작하는 방법에는 절삭법, 주조법 등이 있다.

절삭법은 밀폐 챔버 이상의 크기를 갖는 잉곳을 제작한 후, 잉곳의 내부를 절삭하여 밀폐 챔버를 제작한다. 주조법은 밀폐 챔버에 대응하는 금형을 이용하는 주조한다.

한편, 최근 반도체나 OLED 디스플레이가 대용량화, 대면적화 되면서 그에 따라 밀폐 챔버의 크기도 대형화되고 있다.

따라서, 점차 밀폐 챔버의 제작이 어려워지고 있다.

특히, 종래의 밀폐 챔버는 한번 제작이 되면 그 무게 때문에 이동이 어려우며, 또한 높은 제작 비용이 요구되는 문제점이 있다.

실시예는 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.

실시예는 이동이 용이한 밀폐 챔버를 제공한다.

실시예는 조립이 용이한 밀폐 챔버를 제공한다.

실시예는 제조 단가가 저렴한 밀폐 챔버를 제공한다.

실시예는 사이즈의 변형이 용이한 밀폐 챔버를 제공한다.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 실시예의 일 측면에 따르면, 밀폐 챔버는, 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 복수의 지지 프레임: 상기 복수의 지지 프레임을 연결하는 복수의 연결 블록; 상기 복수의 지지 프레임 사이의 개방 영역을 덮는 복수의 판넬; 및 상기 복수의 지지 프레임과 상기 복수의 연결 블록 사이에 배치된 제1 밀폐 부재를 포함한다.

실시예에 따른 밀폐 챔버의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 경량 재질로 형성된 베이스 플레이트, 복수의 지지 프레임 및 복수의 연결 블록을 사용하여 밀폐 챔버를 제작함으로써, 밀폐 챔버의 하중이 감소하여 이동이 용이한 장점이 있다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 미리 만들어진 복수의 서브 플레이트, 복수의 지지 프레임 및 복수의 연결 블록을 정해진 규격 및 절차에 따라 조립항으로써, 조립이 용이한 장점이 있다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 조립 이외에 용접과 같은 별도의 공정이 필요 없어 제조 단가가 저렴한 장점이 있다.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 미리 설계된 사이즈에 맞는 베이스 플레이트가 가공 제작되고, 그 베이스 플레이트 상에 복수의 지지 프레임과 복수의 연결 블록을 이용하여 테두리 골격을 형성한 후, 미리 만들어진 판넬을 지지 프레임에 체결함으로써, 고객이 요구하는 사이즈의 변형에도 용이하게 대응할 수 있다는 장점이 있다.

실시예의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 실시예의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이다.
도 2는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 분해 사이도이다.
도 3은 도 1에서 판넬이 장착되기 전의 모습을 도시한다.
도 4a는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 밀폐 챔버의 A 영역에 보여진 연결 블록의 제1 예시도이다.
도 5는 제1 예시도의 연결 블록을 포함한 밀폐 챔버를 도시한 정면도이다.
도 6은 도 5에서 A 영역을 도시한 확대도이다.
도 7은 도 6에서 X-X'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 8은 제1 밀폐 부재를 도시한다.
도 9a는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 밀폐 챔버의 B 영역에 보여진 연결 블록의 제2 예시도이다.
도 10a는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이다.
도 10b는 도 10a의 밀폐 챔버의 C 영역에 보여진 연결 블록의 제3 예시도이다.
도 11은 제3 예시도의 연결 블록을 포함한 밀폐 챔버를 도시한 정면도이다.
도 12는 도 11에서 D 영역을 도시한 확대도이다.
도 13은 베이스 플레이트를 도시한다.
도 14는 도 13의 제2 서브 플레이트와 제3 서브 플레이트를 분해한 분해 사시도이다.
도 15는 지지 플레이트, 베이스 플레이트 및 지지 프레임의 체결 관계를 보여주는 단면도이다.
도 16은 밀폐 테스트 결과를 보여준다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “B 및(와) C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우 뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속＇되는 경우도 포함할 수 있다. 또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐만아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

도 1은 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이고, 도 2는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 분해 사이도이며, 도 3은 도 1에서 판넬이 장착되기 전의 모습을 도시한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 밀폐 챔버(100)는 지지 플레이트(105), 베이스 플레이트(110), 복수의 지지 프레임(120), 복수의 연결 블록(130) 및 판넬(140)을 포함할 수 있다. 실시예에 따른 밀폐 챔버(100)는 이보다 더 많은 구성 요소를 포함할 수도 있다.

실시예에 따른 지지 플레이트(105)는 밀폐 챔버 전체를 지지하는 역할을 할 수 있다. 지지 플레이트(105)는 우수한 강도를 갖는 경량 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 지지 플레이트(105)는 스테인레스 스틸 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

지지 플레이트(105)의 하측에 복수의 이동체(미도시)가 장착되어, 밀폐 챔버(100)의 이동이 가능할 수 있다. 이동체는 예컨대, 상하좌우 방향으로 회전 이동이 가능한 바퀴일 수 있다. 도시되지 않았지만, 이동체의 일측에는 이동을 고정시키기 위한 고정 부재가 장착될 수 있다. 이러한 고정 부재에 의해 특정 장소로 이동된 밀폐 챔버가 고정될 수 있다.

실시예에 따른 베이스 플레이트(110)는 지지 플레이트(105) 상에 배치될 수 있다. 베이스 플레이트(110)는 밀폐 챔버(100)에서 하측을 밀폐시키는 역할을 할 수 있다.

베이스 플레이트(110)는 우수한 강도를 갖는 경량 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 베이스 플레이트(110)는 알루미늄이나 알루미늄 합금으로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 베이스 플레이트(110)의 사이즈는 지지 플레이트(105)의 사이즈와 동일할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 베이스 플레이트(110)는 복수의 체결 부재(미도시)를 이용하여 지지 플레이트(105)에 체결될 수 있다.

베이스 플레이트(110)에 대해서는 나중에 상세히 설명한다.

실시예에 따른 복수의 지지 프레임(120)은 밀폐 챔버(100)의 골격을 형성하여 밀폐 챔버(100)를 지지하는 역할을 할 수 있다.

지지 프레임(120)은 우수한 강도를 갖는 경량 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 지지 프레임(120)은 알루미늄이나 알루미늄 합금을 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 복수의 지지 프레임(120)이 사용되더라도, 지지 프레임(120)이 경량 재질로 형성되므로, 밀폐 챔버(100)의 무게가 크게 증가되지 않을 수 있어, 밀폐 챔버(100)의 이동이 용이할 수 있다.

예컨대, 복수의 지지 프레임(120)을 서로 연결하여 x축 방향에 따른 골격을 형성할 수 있다. 예컨대, 복수의 지지 프레임(120)을 서로 연결하여 y축 방향에 따른 골격을 형성할 수 있다. 예컨대, 복수의 지지 프레임(120)을 서로 연결하여 z축 방향에 따른 골격을 형성할 수 있다. 예컨대, x축 방향에 따른 골격을 형성한 지지 프레임(120)은 y축 방향에 따른 골격을 형성한 지지 프레임(120) 및/또는 x축 방향에 따른 골격을 형성한 지지 프레임(120)에 연결될 수 있다.

예컨대, 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 밀폐 챔버(100)의 제1 측 영역이 형성되고, 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 밀폐 챔버(100)의 제2 측 영역이 형성될 수 있다. 예컨대, 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 밀폐 챔버(100)의 제3 측 영역이 형성되고, 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 밀폐 챔버(100)의 제4 측 영역이 형성될 수 있다. 제1 측 영역과 제3 측 영역은 서로 공간 상으로 이격되며 서로 마주볼 수 있다. 제2 측 영역과 제4 측 영역은 서로 공간 상으로 이격되며 서로 마주볼 수 있다. 예컨대, 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 밀폐 챔버(100)의 상측 영역이 형성될 수 있다.

실시예에서는 제1 내지 제4 측 영역이 도시되고 있지만, 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 5개 이상의 측 영역이 형성될 수도 있다.

따라서, 복수의 지지 프레임(120)이 서로 연결됨으로써, 밀폐 챔버(100)의 내부 공간을 형성하기 위한 골격이 형성될 수 있다.

복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 서로 상이한 사이즈를 갖는 개방 영역(191 내지 194)이 형성될 있다. 하나의 개방 영역(191 내지 194)을 형성하기 위해 적어도 4개 이상의 지지 프레임(120)이 필요하다. 이러한 경우, 4개의 지지 프레임(120)에 의해 형성된 개방 영역(191 내지 194)의 사이즈와 8개의 지지 프레임(120) 또는 16개의 지지 프레임(120)에 의해 형성된 개방 영역(191 내지 194)의 사이즈는 상이할 수 있다.

밀폐 챔버(100)는 밀폐 챔버(100)의 하중이나 지지 강도 또는 외부의 장치, 예컨대 가스 배관 설비와의 연결 등을 고려하여, 서로 상이한 개방 영역(191 내지 194)을 갖도록 설계될 수 있다.

실시예에 따른 복수의 연결 블록(130)은 복수의 지지 프레임(120)을 서로 연결시킬 수 있는 매개체일 수 있다. 즉, 연결 블록(130)을 통해 적어도 2개 이상의 지지 프레임(120)이 연결 블록(130)에 연결되어 서로 상이한 방향, 즉 x축, y축 및 z축으로 배치될 수 있다.

연결 블록(130)은 우수한 강도를 갖는 경량 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 연결 블록(130)은 알루미늄이나 알루미늄 합금으로 형성될 수 있다.

예컨대, 연결 블록(130)은 적어도 2개 이상의 지지 프레임(120)을 연결시킬 수 있다. 실시예에 따른 연결 블록(130)은 도 4b에 도시된 연결 블록(131), 도 9b에 도시된 연결 블록(132) 및 도 10b에 도시된 연결 블록(133)을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 도 4b에 도시된 연결 블록(131)은 3개의 지지 프레임(1201내지 1203)을 서로 연결시킬 수 있다. 예컨대, 도 9b 및 도 10b에 도시된 연결 블록(132, 133)은 4개의 지지 프레임(1211 내지 1214)을 서로 연결시킬 수 있다.

연결 블록(130)과 복수의 지지 프레임(120)을 연결할 때, 연결 블록(130)의 복수의 연결부(도 4b의 221 내지 223, 도 9b의 231 내지 233, 도 10b의 241 내지 243)와 복수의 지지 프레임(120) 사이에 제1 밀폐 부재(도 8의 150)이 배치될 수 있다. 제1 밀폐 부재(150)는 가스켓일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 연결 블록(130)의 복수의 연결부(221 내지 223, 231 내지 233, 241 내지 243)와 복수의 지지 프레임(120) 사이에 제1 밀폐 부재(150)가 개재된 채, 체결 부재(미도시)를 이용하여 복수의 지지 프레임(120)이 연결 블록(130)의 복수의 연결부(221 내지 223, 231 내지 233, 241 내지 243)에 체결될 수 있다. 체결 부재에 의해 복수의 지지 프레임(120)과 연결 블록(130)의 복수의 연결부(221 내지 223, 231 내지 233, 241 내지 243)가 서로를 향해 압착될 수 있다. 이러한 경우, 지지 프레임(120)이 제1 밀폐 부재(150)의 일 면을 압착하고, 연결 블록(130)의 연결부(221 내지 223, 231 내지 233, 241 내지 243)가 제1 밀폐 부재(150)의 타면을 압착하므로, 연결 블록(130)과 지지 프레임(120) 사이가 완벽하게 밀폐될 수 있다.

실시예에 따른 복수의 판넬(140)은 복수의 지지 프레임(120)의 연결에 의해 형성된 복수의 개방 영역(191 내지 194)을 덮을 수 있다. 예컨대, 복수의 판넬(140)은 복수의 지지 프레임(120)에 체결될 수 있다. 즉, 체결 부재를 이용하여 복수의 판넬(140)이 복수의 지지 프레임(120)에 체결될 수 있다.

예컨대, 판넬(140)은 우수한 강도를 갖는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 판넬(140)은 무정전 PC(polycarbonate) 계열이나 PVC(poly vinyl chloride) 계열 재질로 형성될 수 있다.

복수의 판넬(140)이 복수의 지지 프레임(120)에 체결될 때, 복수의 판넬(140)과 복수의 지지 프레임(120) 사이에 제2 밀폐 부재(161 내지 164)가 배치될 수 있다. 제2 밀폐 부재(161 내지 164)는 오링(O-ring)일 수 있다.

예컨대, 복수의 판넬(140)과 복수의 지지 프레임(120) 사이에 제2 밀폐 부재(161 내지 164)가 개재된 채, 체결 부재(미도시)를 이용하여 복수의 판넬(140)이 복수의 지지 프레임(120)에 체결될 수 있다. 체결 부재에 의해 복수의 판넬(140)과 복수의 지지 프레임(120)이 서로를 향해 압착될 수 있다. 이러한 경우, 판넬(140)이 제2 밀폐 부재(161 내지 164)의 일측을 압착하고, 지지 프레임(120)이 제2 밀폐 부재(161 내지 164)의 타측을 압착하므로, 판넬(140)과 지지 프레임(120) 사이가 완벽하게 밀폐될 수 있다.

도시되지 않았지만, 지지 프레임(120)에 그루브가 형성되고, 이 그루브에 제2 밀폐 부재(161 내지 164)가 삽입될 수 있다.

예컨대, 각 지지 프레임(120)에 2개의 제2 밀폐 부재(161 내지 164)가 위치될 수 있다. 예컨대, 제2-1 밀폐 부재(161)는 특정 지지 프레임을 포함한 적어도 4개의 지지 프레임(이하, 제1 지지 프레임 군이라 함) 상에 위치될 수 있다. 예컨대, 제2-2 밀폐 부재(162)는 특정 지지 프레임을 포함한 또 다른 적어도 4개의 지지 프레임(이하 제2 지지 프레임 군이라 함) 상에 위치될 수 있다. 이러한 경우, 제1 판넬은 제2-1 밀폐 부재(161)을 매개로 하여 제1 지지 프레임 군의 적어도 4개의 지지 프레임에 체결되고, 제1 판넬과 인접한 제2 판넬은 제2-2 밀폐 부재(162)을 매개로 하여 제2 지지 프레임 군의 적어도 4개의 지지 프레임에 체결될 수 있다.

이와 같은 방식으로, 복수의 지지 프레임(120)에 의해 형성되는 복수의 지지 프레임 군 모두 제2 밀폐 부재(161 내지 164)를 이용하여 복수의 판넬(140)과 체결되어, 판넬(140)과 지지 프레임(120) 사이가 밀폐될 수 있다.

이하, 밀폐 챔버(100)의 조립을 설명한다.

먼저, 복수의 지지 프레임(120)과 복수의 연결 블록(130)을 이용하여 밀폐 챔버(100)의 골격을 형성할 수 있다. 예컨대, 지지 프레임(120) 사이에 연결 블록(130)을 배치한 후, 체결 부재를 이용하여 지지 프레임(120)을 연결 블록(130)에 체결할 수 있다.

예컨대, 복수의 지지 프레임(120)과 복수의 연결 블록(130)을 이용하여 x축 방향 및 y축 방향을 따라 밀폐 챔버(100)의 최하측의 테두리 골격을 형성할 수 있다. 이어서, 최하측 테두리 골격으로 형성된 각 연결 블록(130)에 z축 방향을 따라 배치된 지지 프레임(120)을 체결할 수 있다. 이어서, z축 방향을 따라 배치된 복수의 지지 프레임(120)의 각 끝단에 연결 블록(130)을 배치하고, 또한 x축 방향과 y축 방향을 따라 복수의 지지 프레임(120)을 배치한 후, 이들 복수의 지지 프레임(120)을 해당 연결 블록(130)에 체결하여 밀폐 챔버(100)의 최하측 테두리로부터 상측으로 이격된 두번째 테두리 골격이 형성될 수 있다. 이와 같은 방식으로 원하는 높이까지 세번째, 네번째 테두리 골격이 형성될 수 있다. 원하는 높이까지 테두리 골격이 형성된 후, 마지막 테두리 골격, 즉 최상측 테두리 골격 내에 x축 방향과 y축 방향으로 배치된 복수의 지지 프레임(120)과 복수의 연결 블록(130)을 서로 체결하여, 천장에 해당하는 골격을 형성할 수 있다.

이와 별개로, 베이스 플레이트(110)가 제작되어, 지지 플레이트(105) 상에 배치될 수 있다.

아울러, 이상과 같이 복수의 지지 프레임(120)과 연결 블록(130)의 체결에 의해 형성된 테두리 골격이 베이스 플레이트(110) 상에 배치될 수 있다.

이후, 체결 부재(미도시)를 이용하여 지지 플레이트(105), 베이스 플레이트(110) 및 복수의 지지 프레임(120)이 체결될 수 있다. 예컨대, 도 15에 도시한 바와 같이, 복수의 체결 부재(미도시) 각각이 지지 프레임(120)과 베이스 플레이트(110)를 관통하여 지지 프레임(120)에 체결될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

이후, 복수의 판넬(140)이 복수의 지지 프레임(120)에 체결됨으로써, 밀폐 챔버(100)가 제작될 수 있다.

다른 예로서, 복수의 판넬(140)은 복수의 지지 프레임(120)에 의해 형성된 테두리 골격이 베이스 플레이트(110) 상으로 이동되기 전에, 해당 테두리 골격의 복수의 지지 프레임(120)에 체결될 수도 있다.

또 다른 예로서, 테두리 골격이 베이스 플레이트(110) 상에서 직접 형성될 수도 있다. 베이스 플레이트(110)가 지지 플레이트(105) 상에 배치된 후, 베이스 플레이트(110) 상에서 복수의 지지 프레임(120)과 복수의 연결 블록(130)을 연결하여 테두리 골격이 형성될 수도 있다.

이하에서, 서로 상이한 형상의 연결 블록(130)을 이용하여 지지 프레임(120)을 연결하는 방법을 설명한다.

도 4a는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이고, 도 4b는 도 4a의 밀폐 챔버의 A 영역에 보여진 연결 블록의 제1 예시도이다. 도 5는 제1 예시도의 연결 블록을 포함한 밀폐 챔버를 도시한 정면도이다. 도 6은 도 5에서 A 영역을 도시한 확대도이고, 도 7은 도 6에서 X-X'라인을 따라 절단한 단면도이다.

도 4a 내지 도 7을 참조하면, 연결 블록(131)은 3개의 지지 프레임(1201 내지 1203)을 연결할 때 사용될 수 있다.

연결 블록(131)은 홈부(220), 제1 연결부(221), 제2 연결부(222) 및 제3 연결부(223)를 포함할 수 있다.

예컨대, 홈부(220)는 내부로 들어간 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 연결부(221)는 제1 축 상에 배치되어 제1 지지 프레임(1201)에 연결될 수 있다. 예컨대, 제2 연결부(222)는 제2 축 상에 배치되어 제2 지지 프레임(1202)에 연결될 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(223)는 제3 축 상에 배치되어 제3 지지 프레임(1203)에 연결될 수 있다. 제1 축은 x축이고, 제2 축은 제1 축과 수직인 y축이며, 제3 축은 제1 축 및 제2 축 각각과 수직인 z축일 수 있다.

제1 내지 제3 연결부(221 내지 223)는 일체로 형성될 수 있다. 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223)는 홈부(220)에 접할 수 있다. 예컨대, 제2 연결부(222)의 제1 측(222a)은 제1 연결부(221)의 제1 측(221a)과 접할 수 있다. 제3 연결부(223)의 제1 측(223a)은 제1 연결부(221)의 제2 측(221b)과 접하고, 제3 연결부(223)의 제2 측(223b)은 제2 연결부(222)의 제2 측(222b)과 접할 수 있다.

제1 연결부(221)는 제2 연결부(222) 및 제3 연결부(223) 각각에 수직인 일 면을 가질 수 있다. 제2 연결부(222)는 제1 연결부(221) 및 제3 연결부(223) 각각에 수직인 일 면을 가질 수 있다. 제3 연결부(223)는 제1 연결부(221) 및 제2 연결부(222) 각각에 수직인 일 면을 가질 수 있다.

예컨대, 제1 연결부(221)는 제1 지지 프레임(1201)과 접하는 일 면을 가지고, 제2 연결부(222)는 제2 지지 프레임(1202)과 접하는 일 면을 가지며, 제3 연결부(223)는 제3 지지 프레임(1203)과 접하는 일 면을 가질 수 있다. 따라서, 제1 지지 프레임(1201)은 제1 연결부(221)의 일 면과 면대면으로 접하고, 제2 지지 프레임(1202)은 제2 연결부(222)의 일 면과 면대면으로 접하며, 제3 지지 프레임(1203)은 제3 연결부(223)의 일 면과 면대면으로 접할 수 있다.

예컨대, 연결 블록(131)의 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 각각과 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203) 사이에 제1 밀폐 부재(150)가 배치될 수 있다. 따라서, 체결 부재에 의해 연결 블록(131)의 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 각각과 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)이 체결되는 경우, 체결 부재에 의해 연결 블록(131)의 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 각각과 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)에 의해 제1 밀폐 부재(150)가 압착되어, 체결 부재에 의해 연결 블록(131)의 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 각각과 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203) 사이가 밀폐될 수 있다.

예컨대, 제1 연결부(221)와 제1 지지 프레임(1201) 사이에 제1-1 밀폐 부재가 배치되고, 제2 연결부(222)와 제2 지지 프레임(1202) 사이에 제1-2 밀폐 부재가 배치되며, 제3 연결부(223)와 제3 지지 프레임(1203) 사이에 제1-3 밀폐 부재가 배치될 수 있다.

예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 가스켓일 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 시트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 우수한 탄성 특성을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 실리콘 계열 재질로 형성될 수 있다.

예컨대, 가스켓의 일 면은 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 각각의 일 면에 접하고, 가스켓의 타 면은 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)의 일 면에 접할 수 있다. 따라서, 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 및 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203) 모두 가스켓을 면대 면으로 압착하여 줌으로써, 밀폐 성능이 더욱 더 향상될 수 있다.

예컨대, 제1 내지 제3 판넬과 체결되는 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203) 상에는 제2 밀폐 부재(171, 172)가 배치될 수 있다. 체결 부재를 이용하여 제1 내지 제3 판넬이 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)에 체결될 때, 제1 내지 제3 판넬과 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)에 의해 제2 밀폐 부재(171, 172)가 압착됨으로써, 제1 내지 제3 판넬과 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203) 사이가 밀폐될 수 있다. 제2 밀폐 부재(171, 172)는 오링일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 연결 블록(131)의 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 각각에는 복수의 홀(251 내지 254)가 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150), 즉 가스켓에는 복수의 홀(261 내지 264)가 형성될 수 있다.

제1 밀폐 부재(150)가 연결 블록(131)의 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 상에 배치될 때, 제1 밀폐 부재(150)의 복수의 홀(261 내지 264)은 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223)의 복수의 홀(251 내지 254)와 동일하게 위치될 수 있다. 따라서, 체결 부재가 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223)의 복수의 홀(251 내지 254) 및 제1 밀폐 부재(150)의 복수의 홀(261 내지 264)를 관통한 후, 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)에 체결될 수 있다.

제1 밀폐 부재(150)에 복수의 홀(261 내지 263)이 형성되어 체결 부재가 관통되더라도 제1 밀폐 부재(150)가 시트 형상으로 형성되어 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223) 그리고 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203)에 면대면으로 접하므로, 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223)와 제1 내지 제3 지지 프레임(1201 내지 1203) 사이가 완벽하게 밀폐될 수 있다.

도시되지 않았지만, 제1 밀폐 부재(150)에는 제1 밀폐 부재(150)를 제1 내지 제3 연결부(221 내지 223)에 고정하기 위한 복수의 홀이 형성될 수도 있다.

도 9a는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이고, 도 9b는 도 9a의 밀폐 챔버의 B 영역에 보여진 연결 블록의 제2 예시도이다.

도 9a 및 도 9b를 참조하면, 연결 블록(132)은 4개의 지지 프레임(1211 내지 1214)을 연결할 때 사용될 수 있다.

연결 블록(132)은 홈부(230), 제1 연결부(231), 제2 연결부(232), 제3 연결부(233) 및 제4 연결부(234)를 포함할 수 있다.

예컨대, 홈부(230)는 내부로 들어간 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 연결부(231)는 제1 축 상에 배치되어 제1 지지 프레임(1211)에 연결될 수 있다. 제1 축은 y축일 수 있다. 예컨대, 제2 연결부(232)는 제2 축 상에 배치되어 제2 지지 프레임(1212)에 연결될 수 있다. 제2 축은 y축일 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(233)는 제3 축 상에 배치되어 제3 지지 프레임(1213)에 연결될 수 있다. 제3 축은 x축일 수 있다. 제1 축, 제2 축 및 제3 축은 서로 수직일 수 있다. 예컨대, 제4 연결부(234)는 제1 연결부(231)와 마주보도록 배치되어 제4 지지 프레임(1214)에 연결될 수 있다. 제4 연결부(234)는 홈부(230)를 사이에 두고 제1 연결부(231)와 이격되어 배치될 수 있다.

제1 내지 제4 연결부(231 내지 234)는 일체로 형성될 수 있다. 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234)는 홈부(230)에 접할 수 있다. 예컨대, 제2 연결부(232)의 제1 측은 제1 연결부(231)의 제1 측과 접할 수 있다. 제3 연결부(233)의 제1 측은 제1 연결부(231)의 제2 측과 접하고, 제3 연결부(233)의 제2 측은 제2 연결부(232)의 제2 측과 접할 수 있다. 제4 연결부(234)의 제1 측은 제2 연결부(232)의 제3 측과 접하고, 제4 연결부(234)의 제2 측은 제3 연결부(233)의 제3 측과 접할 수 있다.

제1 연결부(231)는 제2 연결부(232) 및 제3 연결부(233) 각각에 수직이고 제4 연결부(234)에 평행한 일 면을 가질 수 있다. 제2 연결부(232)는 제1 연결부(231) 및 제3 연결부(233) 각각에 수직인 일 면을 가질 수 있다. 제3 연결부(233)는 제1 연결부(231) 및 제2 연결부(232) 각각에 수직인 일 면을 가질 수 있다.

예컨대, 제1 연결부(231)는 제1 지지 프레임(1211)과 접하는 일 면을 가지고, 제2 연결부(232)는 제2 지지 프레임(1212)과 접하는 일 면을 가질 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(233)는 제3 지지 프레임(1213)과 접하는 일 면을 가지고, 제4 연결부(234)는 제4 지지 프레임(1214)과 접하는 일 면을 가질 수 있다. 따라서, 제1 지지 프레임(1211)은 제1 연결부(231)의 일 면과 면대면으로 접하고, 제2 지지 프레임(1212)은 제2 연결부(232)의 일 면과 면대면으로 접할 수 있다. 아울러, 제3 지지 프레임(1213)은 제3 연결부(233)의 일 면과 면대면으로 접하고, 제4 지지 프레임(1214)은 제4 연결부(234)의 일 면과 면대면으로 접할 수 있다.

예컨대, 연결 블록(132)의 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214) 사이에 제1 밀폐 부재(150)가 배치될 수 있다. 따라서, 체결 부재에 의해 연결 블록(132)의 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)이 체결되는 경우, 체결 부재에 의해 연결 블록(132)의 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)에 의해 제1 밀폐 부재(150)가 압착되어, 체결 부재에 의해 연결 블록(132)의 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214) 사이가 밀폐될 수 있다.

예컨대, 제1 연결부(231)와 제1 지지 프레임(1211) 사이에 제1-1 밀폐 부재가 배치되고, 제2 연결부(232)와 제2 지지 프레임(1212) 사이에 제1-2 밀폐 부재가 배치될 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(233)와 제3 지지 프레임(1213) 사이에 제1-3 밀폐 부재가 배치되고, 제4 연결부(234)와 제4 지지 프레임(1214) 사이에 제1-4 밀폐 부재가 배치될 수 있다.

예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 가스켓일 수 있다. 이 가스켓은 도 8에 도시된 가스켓과 동일한 형상을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 시트 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 우수한 탄성 특성을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150)는 실리콘 계열 재질로 형성될 수 있다.

예컨대, 가스켓의 일 면은 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 각각의 일 면에 접하고, 가스켓의 타 면은 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)의 일 면에 접할 수 있다. 따라서, 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 및 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214) 모두 가스켓을 면대 면으로 압착하여 줌으로써, 밀폐 성능이 더욱 더 향상될 수 있다.

예컨대, 제1 내지 제4 판넬(1511 내지 1514)과 체결되는 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214) 상에는 제2 밀폐 부재(도 7의 171, 172)가 배치될 수 있다. 체결 부재를 이용하여 제1 내지 제4 판넬(1511 내지 1514)이 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)에 체결될 때, 제1 내지 제4 판넬(1511 내지 1514)과 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)에 의해 제2 밀폐 부재(171, 172)가 압착됨으로써, 제1 내지 제4 판넬(1511 내지 1514)과 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214) 사이가 밀폐될 수 있다. 제2 밀폐 부재(171, 172)는 오링일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 연결 블록(132)의 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 각각에는 복수의 홀(271 내지 274)가 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150), 즉 가스켓에는 복수의 홀(도 8의 261 내지 264)가 형성될 수 있다.

제1 밀폐 부재(150)가 연결 블록(132)의 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 상에 배치될 때, 제1 밀폐 부재(150)의 복수의 홀(261 내지 264)은 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234)의 복수의 홀(271 내지 274)와 동일하게 위치될 수 있다. 따라서, 체결 부재가 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234)의 복수의 홀(271 내지 274) 및 제1 밀폐 부재(150)의 복수의 홀(261 내지 264)를 관통한 후, 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)에 체결될 수 있다.

제1 밀폐 부재(150)에 복수의 홀(261 내지 263)이 형성되어 체결 부재가 관통되더라도 제1 밀폐 부재(150)가 시트 형상으로 형성되어 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234) 그리고 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214)에 면대면으로 접하므로, 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234)와 제1 내지 제4 지지 프레임(1211 내지 1214) 사이가 완벽하게 밀폐될 수 있다.

도시되지 않았지만, 제1 밀폐 부재(150)에는 제1 밀폐 부재(150)를 제1 내지 제4 연결부(231 내지 234)에 고정하기 위한 복수의 홀이 형성될 수도 있다.

도 10a는 실시예에 따른 밀폐 챔버를 도시한 사시도이고, 도 10b는 도 10a의 밀폐 챔버의 C 영역에 보여진 연결 블록의 제3 예시도이다. 도 11은 제3 예시도의 연결 블록을 포함한 밀폐 챔버를 도시한 정면도이며, 도 12는 도 11에서 D 영역을 도시한 확대도이다.

도 10a 내지 도 12를 참조하면, 연결 블록(133)은 4개의 지지 프레임(1221 내지 1224)을 연결할 때 사용될 수 있다.

연결 블록(133)은 홈부(240), 제1 연결부(241), 제2 연결부(242), 제3 연결부(243), 제4 연결부(244) 및 더미부(245)를 포함할 수 있다.

예컨대, 홈부(240)는 내부로 들어간 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 연결부(241)는 제1 축 상에 배치되어 제1 지지 프레임(1221)에 연결될 수 있다. 제1 축은 y축일 수 있다. 예컨대, 제2 연결부(242)는 제2 축 상에 배치되어 제2 지지 프레임(1222)에 연결될 수 있다. 제2 축은 z축일 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(243)는 제1 연결부(241)와 마주보도록 배치될 수 있다. 제4 연결부(244)는 제2 연결부(242)와 마주보도록 배치될 수 있다. 제1 축 및 제2 축은 서로 수직일 수 있다.

제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)는 일체로 형성될 수 있다. 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)는 홈부(240)에 접할 수 있다. 예컨대, 제2 연결부(242)의 제1 측(242a)은 제1 연결부(241)의 제1 측(241a)과 접하고, 제3 연결부(243)의 제1 측(243a)은 제2 연결부(242)의 제2 측(242b)과 접할 수 있다. 제4 연결부(244)의 제1 측(244a)은 제3 연결부(243)의 제2 측(243b)과 접하고, 제4 연결부(244)의 제2 측(244b)은 제1 연결부(241)의 제2 측(241b)과 접할 수 있다.

제1 연결부(241)는 제2 연결부(242) 및 제4 연결부(244) 각각에 수직이고 제3 연결부(243)에 평행한 일 면을 가질 수 있다. 제2 연결부(242)는 제1 연결부(241) 및 제3 연결부(243) 각각에 수직이고 제4 연결부(244)에 평행한 일 면을 가질 수 있다.

예컨대, 제1 연결부(241)는 제1 지지 프레임(1221)과 접하는 일 면을 가지고, 제2 연결부(242)는 제2 지지 프레임(1222)과 접하는 일 면을 가질 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(243)는 제3 지지 프레임(1223)과 접하는 일 면을 가지고, 제4 연결부(244)는 제4 지지 프레임(1224)과 접하는 일 면을 가질 수 있다. 따라서, 제1 지지 프레임(1221)은 제1 연결부(241)의 일 면과 면대면으로 접하고, 제2 지지 프레임(1222)은 제2 연결부(242)의 일 면과 면대면으로 접할 수 있다. 아울러, 제3 지지 프레임(1223)은 제3 연결부(243)의 일 면과 면대면으로 접하고, 제4 지지 프레임(1224)은 제4 연결부(244)의 일 면과 면대면으로 접할 수 있다.

더미부(245)는 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각에 접할 수 있다. 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)와 더미부(245)에 의해 홈부(240)가 형성될 수 있다. 더미부(245)는 홈부(240)의 바닥부일 수 있다. 더미부(245)는 밀폐 챔버(100)의 내부 공간에 접할 수 있다. 즉, 더미부(245)에 의해 밀폐 챔버(100)의 내부가 외부와 차단될 수 있다.

더미부(245)는 제1 내지 제3 측을 갖는 사각 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우, 더미부(245)의 제1 측은 제1 연결부(241)의 제3 측과 접하고, 더미부(245)의 제2 측은 제2 연결부(242)의 제3 측과 접할 수 있다. 더미부(245)의 제3 측은 제3 연결부(243)의 제3 측과 접하고, 더미부(245)의 제4 측은 제4 연결부(244)의 제3 측과 접할 수 있다.

예컨대, 연결 블록(133)의 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224) 사이에 제1 밀폐 부재(150)가 배치될 수 있다. 따라서, 체결 부재에 의해 연결 블록(133)의 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)이 체결되는 경우, 체결 부재에 의해 연결 블록(133)의 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)에 의해 제1 밀폐 부재(150)가 압착되어, 체결 부재에 의해 연결 블록(133)의 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각과 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224) 사이가 밀폐될 수 있다.

예컨대, 제1 연결부(241)와 제1 지지 프레임(1221) 사이에 제1-1 밀폐 부재가 배치되고, 제2 연결부(242)와 제2 지지 프레임(1222) 사이에 제1-2 밀폐 부재가 배치될 수 있다. 예컨대, 제3 연결부(243)와 제3 지지 프레임(1223) 사이에 제1-3 밀폐 부재가 배치되고, 제4 연결부(244)와 제4 지지 프레임(1224) 사이에 제1-4 밀폐 부재가 배치될 수 있다.

예컨대, 가스켓의 일 면은 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각의 일 면에 접하고, 가스켓의 타 면은 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)의 일 면에 접할 수 있다. 따라서, 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 및 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224) 모두 가스켓을 면대 면으로 압착하여 줌으로써, 밀폐 성능이 더욱 더 향상될 수 있다.

예컨대, 제1 내지 제4 판넬(1521 내지 1524)과 체결되는 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224) 상에는 제2 밀폐 부재(161 내지 164)가 배치될 수 있다. 체결 부재를 이용하여 제1 내지 제4 판넬(1521 내지 1524)이 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)에 체결될 때, 제1 내지 제4 판넬(1521 내지 1524)과 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)에 의해 제2 밀폐 부재(161 내지 164)가 압착됨으로써, 제1 내지 제4 판넬(1521 내지 1524)과 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224) 사이가 밀폐될 수 있다. 제2 밀폐 부재(161 내지 164)는 오링일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

예컨대, 연결 블록(133)의 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 각각에는 복수의 홀(281 내지 284)가 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 밀폐 부재(150), 즉 가스켓에는 복수의 홀(도 8의 261 내지 264)가 형성될 수 있다.

제1 밀폐 부재(150)가 연결 블록(133)의 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 상에 배치될 때, 제1 밀폐 부재(150)의 복수의 홀(261 내지 264)은 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)의 복수의 홀(281 내지 284)와 동일하게 위치될 수 있다. 따라서, 체결 부재가 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)의 복수의 홀(281 내지 284) 및 제1 밀폐 부재(150)의 복수의 홀(261 내지 264)를 관통한 후, 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)에 체결될 수 있다.

제1 밀폐 부재(150)에 복수의 홀(261 내지 263)이 형성되어 체결 부재가 관통되더라도 제1 밀폐 부재(150)가 시트 형상으로 형성되어 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244) 그리고 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224)에 면대면으로 접하므로, 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)와 제1 내지 제4 지지 프레임(1221 내지 1224) 사이가 완벽하게 밀폐될 수 있다.

도시되지 않았지만, 제1 밀폐 부재(150)에는 제1 밀폐 부재(150)를 제1 내지 제4 연결부(241 내지 244)에 고정하기 위한 복수의 홀이 형성될 수도 있다.

도 13은 베이스 플레이트를 도시하고, 도 14는 도 13의 제2 서브 플레이트와 제3 서브 플레이트를 분해한 분해 사시도이다.

도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이, 베이스 플레이트(110)는 복수의 서브 플레이트(111 내지 115)를 포함할 수 있다.

베이스 플레이트(110)는 지지 플레이트(105) 상에 배치되어, 밀폐 챔버(100)의 하측의 밀폐를 담당할 수 있다. 베이스 플레이트(110)는 우수한 강도를 갖는 경량 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 베이스 플레이트(110) 알루미늄이나 알루미늄 합금으로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.

복수의 서브 플레이트(111 내지 115)는 체결 부재(미도시)를 이용하여 서로 체결될 수 있다.

예컨대, 서브 플레이트(111 내지 115)의 일측은 하측이 측 방향으로 연장 형성되는 제1 연장부(1110)를 갖고, 서브 플레이트(111 내지 115)의 타측은 상측이 측 방향으로 연장 형성되는 제2 연장부(1120)를 가질 수 있다.

이러한 경우, 인접하는 서브 플레이트 중 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)와 다른 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120)는 서로 수직으로 중첩될 수 있다. 따라서, 제1 연장부(1110)와 제2 연장부(1120)가 중첩되는 중첩 영역이 형성될 수 있다.

체결 부재를 이용하여 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)와 다른 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120)를 체결할 수 있다. 이때, 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)와 다른 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120) 사이에 밀폐를 위해, 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)와 다른 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120) 사이에 제4 밀폐 부재(180)가 배치될 수 있다. 즉, 제4 밀폐 부재에 의해 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)와 다른 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120) 사이가 밀폐될 수 있다.

예컨대, 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120) 상에 그루브(117)이 형성될 수 있다. 제4 밀폐 부재는 그루브(117)에 삽입될 수 있다. 제4 밀폐 부재가 그루브(117)에 삽입되는 경우, 제4 밀폐 부재의 상부면은 제2 연장부(1120)의 상면보다 높게 돌출될 수 있다. 체결 부재를 이용하여 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)를 가압함으로써, 제4 밀폐 부재(180)가 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)에 눌려 하나의 서브 플레이트(112)의 제1 연장부(1110)와 다른 서브 플레이트(113)의 제2 연장부(1120) 사이가 완전하게 밀폐될 수 있다.

한편, 베이스 플레이트(110)의 외측 테두리를 따라 그루브(116)가 형성될 수 있다. 그루브(116)에 제3 밀폐 부재(도 15의 170)이 배치될 수 있다. 예컨대, 제3 밀폐 부재(170)의 일 측은 그루브(116)에 삽입되고, 제 밀폐 부재(170)의 타 측은 베이스 플레이트(110)의 상면보다 높게 돌출될 수 있다.

도 15는 지지 플레이트, 베이스 플레이트 및 지지 프레임의 체결 관계를 보여주는 단면도이다.

도 15를 참조하면, 최하측 골격을 구성하는 복수의 지지 프레임(1332)가 베이스 플레이트(110) 및 지지 플레이트(105)와 체결될 수 있다.

연결 블록(131)에 의해 서로 상이한 축 방향으로 배치된 지지 프레임(1331, 1332)가 서로 연결될 수 있다.

예컨대, 체결 부재(미도시)를 이용하여 최하측 테두리 골격을 구성하는 복수의 지지 프레임(1332)과 베이스 플레이트(110)가 체결될 때, 복수의 지지 프레임(1332)과 베이스 플레이트(110)에 의해 제3 밀폐 부재(170)가 압착되어 복수의 지지 프레임(1332)과 베이스 플레이트(110) 사이가 완전하게 밀폐될 수 있다.

일 예로, 체결 부재가 지지 플레이트(105) 및 베이스 플레이트(110)를 관통하여 지지 프레임(1332)에 체결될 수 있다.

다른 예로, 하나의 체결 부재를 이용하여 지지 플레이트(105)와 베이스 플레이트(110)가 체결하고, 다른 체결 부재를 이용하여 베이스 플레이트(110)와 지지 프레임(1332)이 체결될 수 있다.

체결 부재에 의해 베이스 플레이트(110)가 가압되는 경우, 베이스 플레이트(110) 상에 배치된 제3 밀폐 부재(170)가 베이스 플레이트(110)와 지지 플레이트(105)에 의해 압착되어, 복수의 지지 프레임(1332)과 베이스 플레이트(110) 사이가 완전하게 밀폐될 수 있다.

도 16은 밀폐 테스트 결과를 보여준다.

실시예에 따른 밀폐 챔버(100)가 제작된 후, 가압 테스트를 진행하였다. 즉, 밀폐 챔버(100) 내부를 1kPa의 압력으로 1시간 동안 가압했을 때의 누설 압력 변동을 측정하였다.

도 16에 도시한 바와 같이, 1시간 내내 누설 압력 변동이 0.25kPa 이내로서 완벽하게 밀폐됨을 알 수 있다.

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.

실시예는 외부와 차단되어 특정 가스 분위기로 유지되어야 하는 분야에 적용될 수 있다. 예컨대, 실시예는 반도체나 디스플레이 분야에 적용될 수 있지만, 이에 한정하지는 않는다.

Claims

베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트 상에 복수의 지지 프레임:
상기 복수의 지지 프레임을 연결하는 복수의 연결 블록;
상기 복수의 지지 프레임 사이의 개방 영역을 덮는 복수의 판넬; 및
상기 복수의 지지 프레임과 상기 복수의 연결 블록 사이에 배치된 제1 밀폐 부재를 포함하는
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 제1 밀폐 부재는 상기 지지 프레임 및 상기 연결 블록 각각에 면대면으로 접하는
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 제1 밀폐 부재는 가스켓인
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 제1 밀폐 부재는 시트 형상을 갖는
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 제1 밀폐 부재는 실리콘 계열 재질로 형성되는
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 제1 밀폐 부재는,
홈부; 및
상기 홈부에 접하여 배치되어, 적어도 3개 이상의 지지 프레임과 연결하는 적어도 3개 이상의 연결부를 포함하는
밀폐 챔버.
제6항에 있어서,
상기 적어도 3개 이상의 연결부 각각은 상기 제1 밀폐 부재를 매개로 하여 상기 적어도 3개 이상의 지지 프레임에 연결되는
밀폐 챔버.
제6항에 있어서,
상기 적어도 3개 이상의 연결부는 제1 내지 제3 연결부를 포함하고,
상기 제1 연결부는 제1 축 상에 배치되고,
상기 제2 연결부는 상기 제1 축과 수직인 제2 축 상에 배치되며,
상기 제3 연결부는 상기 제1 축 및 상기 제2 축 각각에 수직인 제3 축 상에 배치되는
밀폐 챔버.
제6항에 있어서,
상기 적어도 3개 이상의 연결부는 제1 내지 제4 연결부를 포함하고,
상기 제1 연결부는 제1 축 상에 배치되고,
상기 제2 연결부는 상기 제1 축과 수직인 제2 축 상에 배치되고,
상기 제3 연결부는 상기 제1 축 및 상기 제2 축 각각에 수직인 제3 축 상에 배치되며,
상기 제4 연결부는 상기 제1 연결부와 마주보도록 배치되는
밀폐 챔버.
제6항에 있어서,
상기 적어도 3개 이상의 연결부는 제1 내지 제4 연결부를 포함하고,
상기 제1 연결부는 제1 축 상에 배치되고,
상기 제2 연결부는 상기 제1 축과 수직인 제2 축 상에 배치되고,
상기 제3 연결부는 상기 제1 연결부와 마주보도록 배치되며,
상기 제4 연결부는 상기 제2 연결부와 마주보도록 배치되는
밀폐 챔버.
제10항에 있어서,
상기 제1 밀폐 부재는,
상기 제1 내지 제4 연결부 각각에 접하고 상기 제1 축 및 상기 제2 축 각각에 수직인 제3 축 상에 배치되는 더미부를 더 포함하는
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 복수의 지지 프레임과 상기 복수의 판넬 사이에 배치된 제2 밀폐 부재를 포함하는
밀폐 챔버.
제12항에 있어서,
상기 복수의 지지 프레임과 상기 베이스 플레이트 사이에 배치된 제3 밀폐 부재를 포함하는
밀폐 챔버.
제13항에 있어서,
상기 베이스 플레이트는 상면의 둘레를 따라 배치된 그루브(116)를 포함하고,
상기 제3 밀폐 부재는 상기 그루브에 배치되는
밀폐 챔버.
제13항에 있어서,
상기 베이스플레이는 복수의 서브 플레이트를 포함하고,
상기 복수의 서브 플레이트 사이에 배치된 제4 밀폐 부재를 포함하는
밀폐 챔버.
제15항에 있어서,
상기 서브 플레이트는 인접하는 서브 플레이트와 중첩되는 중첩 영역의 길이 방향을 따라 배치된 그루브를 포함하고,
상기 제4 밀폐 부재는 상기 그루브에 배치되는
밀폐 부재.
제15항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 밀폐 부재는 오링인
밀폐 챔버.
제1항에 있어서,
상기 베이스 플레이트 아래에 지지 플레이트를 포함하는
밀폐 챔버.