KR102344210B1 - 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 대한 것이다. 개시되는 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서, 장비 안착 패널 부재와, 덮개 부재와, 테두리 부재를 포함하고, 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 관통 홀 중 일부에는 상기 덮개 부재가 덮이고, 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀 중 상기 덮개 부재에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부에는 상기 테두리 부재가 장착됨으로써, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 파손을 보호할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성되는 상기 관통 유입 홀 및 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 상기 관통 홀로 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 전도되거나 상기 클린룸 내에서 작업하던 작업자가 낙하되는 사고가 방지될 수 있는 장점이 있다.
Description
본 발명은 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 관한 것이다.
반도체 또는 디스플레이 장비는 반도체와 엘씨디, 오엘이디 등의 디스플레이 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 장비를 말하는 것으로, 클린룸 내의 바닥면 상에 설치된다.
상기 클린룸의 바닥은 정사각형 형태로 형성되고 그 내부에 복수 개의 관통 홀이 형성된 클린룸 바닥용 다공 패널이 복수 개 서로 연결되어 이루어진다.
이러한 클린룸 바닥용 다공 패널의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것들이다.
상기 반도체 또는 디스플레이 장비를 작동하기 위해서는 복수 개의 케이블 및 여러 가지 반응 가스 등의 유체를 유동시키기 위한 복수 개의 진공 배관들이 필요하고, 이러한 복수 개의 상기 케이블 및 복수 개의 상기 진공 배관들이 하부에서부터 상기 클린룸 내로 유입될 때는 상기 클린룸 바닥용 다공 패널을 통해 유입되어야 하고, 그에 따라 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에는 요구되는 면적으로 관통 형성된 관통 유입 홀이 형성되어야 한다.
그러나, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에서 상기 관통 유입 홀의 크기가 소정 면적을 가지면서 상대적으로 크게 형성되면, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 강도가 상대적으로 약해짐으로써 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 모서리 등이 파손되는 현상이 발생되었다.
또한, 상기 관통 유입 홀에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 일부가 빠지면서 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 전도되거나, 상기 클린룸 내에서 작업하던 작업자가 빠지는 등의 사고가 발생되었다.
본 발명은 클린룸의 바닥을 이루면서 그 내부에 관통 유입 홀이 형성된 클린룸 바닥용 다공 패널의 파손을 보호할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 관통 유입 홀로 반도체 또는 디스플레이 장비의 전도되거나, 상기 클린룸 내에서 작업하던 작업자가 낙하되는 사고가 미리 방지될 수 있는 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조는 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에서 복수 개가 서로 이웃하면서 배치되어 일정 면적의 평판 형태를 이루고, 그 상측에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 안착될 수 있고, 일정 면적을 가진 관통 홀이 형성되는 장비 안착 패널 부재; 서로 이웃하는 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재를 함께 연결시키는 장비 안착측 연결 부재; 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀 중 일부의 개방된 상부를 각각 덮을 수 있는 덮개 부재; 및 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀 중 상기 덮개 부재에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부의 가장자리부에 각각 연결되되, 상기 장비 안착 패널 부재의 상측으로 돌출되면서 복수 개의 상기 관통 홀 중 상기 덮개 부재에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부의 테두리를 이루게 되는 테두리 부재;를 포함하고, 상기 장비 안착 패널 부재에는 그 상면에서 일정 깊이 함몰된 테두리측 삽입홀이 형성되고, 상기 테두리 부재는 상기 관통 홀의 일 면을 따라 일정 길이 길게 형성된 테두리 몸체와, 상기 테두리 몸체의 양측 말단부에서 동일한 방향으로 각각 절곡되는 한 쌍의 절곡 몸체와, 한 쌍의 상기 절곡 몸체 중 하나에서 외측으로 절곡되면서 연장되는 절곡 연장체와, 상기 테두리 몸체와, 상기 절곡 몸체 및 상기 절곡 연장체의 저면에서 돌출되어 상기 테두리측 삽입홀에 삽입되는 테두리측 삽입부와, 그 양측 말단이 한 쌍의 상기 절곡 몸체에 각각 연결되어 한 쌍의 상기 절곡 몸체가 서로 근접되는 방향으로 휘어지는 것이 방지되도록 하는 휨 방지체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 의하면, 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서, 장비 안착 패널 부재와, 덮개 부재와, 테두리 부재를 포함하고, 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 관통 홀 중 일부에는 상기 덮개 부재가 덮이고, 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀 중 상기 덮개 부재에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부에는 상기 테두리 부재가 장착됨으로써, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 파손을 보호할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성되는 상기 관통 유입 홀 및 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 상기 관통 홀로 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 전도되거나 상기 클린룸 내에서 작업하던 작업자가 낙하되는 사고가 방지될 수있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조의 모습을 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재의 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조의 모습을 보이는 사시도.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 7은 도 6의 B 부분을 확대한 확대도.
도 8은 도 6의 C 부분을 확대한 확대도.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 장비 안착 패널 부재에 적용된 테두리측 삽입홀과, 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도.
도 10은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 장비 안착 패널 부재에 적용된 테두리측 삽입홀과, 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도.
도 11은 도 10의 테두리측 삽입부가 테두리측 삽입홀에 삽입된 모습을 보이는 확대도.
도 12는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재의 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조의 모습을 보이는 사시도.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 7은 도 6의 B 부분을 확대한 확대도.
도 8은 도 6의 C 부분을 확대한 확대도.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 장비 안착 패널 부재에 적용된 테두리측 삽입홀과, 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도.
도 10은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 장비 안착 패널 부재에 적용된 테두리측 삽입홀과, 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도.
도 11은 도 10의 테두리측 삽입부가 테두리측 삽입홀에 삽입된 모습을 보이는 확대도.
도 12는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조의 모습을 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재의 모습을 보이는 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조(100)는 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서, 장비 안착 패널 부재(110)와, 덮개 부재(120)와, 테두리 부재(130)를 포함한다.
상기 장비 안착 패널 부재(110)는 상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에서 복수 개가 서로 이웃하면서 배치되어 일정 면적의 평판 형태를 이루고, 그 내부에는 일정 면적을 가진 관통 홀(111)이 복수 개 형성되며, 그 상측에는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 안착될 수 있는 것이다.
상세히, 상기 장비 안착 패널 부재(110)는 그 두께에 비해 상면과 저면이 상대적으로 넓은 소정 면적의 패널 형태로 형성되고, 복수 개가 행과 열을 따라 서로 이웃하도록 나열되어 연결된 상태에서 상기 클린룸의 바닥에 설치된 상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 배치된다.
상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성되는 상기 관통 유입 홀은 외부 또는 다른 층으로부터 상기 클린룸 내부로 케이블 또는 배관이 유입되도록 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 내부에서 일정 면적을 가지면서 관통 형성되는 것이다.
상기 관통 유입 홀은 상기 케이블 또는 배관의 개수 및 위치 등에 따라 복수 개가 이격되어 형성될 수도 있고, 소정 크기를 가지되, 하나로 형성될 수도 있다.
상기 장비 안착 패널 부재(110)는 복수 개가 서로 연결되는 형태로 이루어짐으로써, 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 크기와 대응되는 형태로 배치되면서 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 하부에 안착될 수도 있고, 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에 비해 상대적으로 크게 형성되어 상기 클린룸 내에서 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위해 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 이동될 때 외부에서 케이블 또는 배관이 상기 클린룸 바닥용 다공 패널을 통해 유입될 수 있도록 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성된 상기 관통 유입 홀을 덮을 수도 있다.
상기 관통 홀(111)은 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(110) 중 요구되는 위치에서 상기 장비 안착 패널 부재(110)를 상하 방향으로 관통하는 것이다.
상세히, 상기 관통 홀(111)은 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 작동을 위한 구성품, 예를 들어 외부 또는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치된 상기 클린룸과 다른 층으로부터 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성된 상기 관통 유입 홀을 통해 유입된 복수 개의 케이블 또는 복수 개의 가스 배관이 상기 반도체 또는 디스플레이 장비 또는 상기 클린룸 내의 다른 장비와 연결되기 위해 상기 장비 안착 패널 부재(110)를 통과할 수 있도록 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 관통 형성된 것이다.
상기 관통 홀(111)은 복수 개의 상기 장비 안착 패널 중 각각 형성될 수도 있고, 복수 개의 상기 장비 안착 패널 중 필요한 위치에서 각각 형성될 수도 있다.
또한, 상기 관통 홀(111)은 원형 또는 다각형 형태로 형성될 수도 있다.
상기 장비 안착 패널 부재(110)의 상측 표면은 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치 시 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 임의 미끄러짐이 방지될 수 있도록 상기 장치 안착 부재의 하측 표면에 비해 상대적으로 거칠게 가공되고, 이러한 표면 거칠기 가공으로는 헤어라인(hairline) 가공 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 장비 안착 패널 부재(110)에는 상기 테두리 부재(130)와의 연결을 위해 후술될 테두리측 삽입부(135)가 삽입되는 테두리측 삽입홀(113)이 형성된다.
본 실시예에서 상기 테두리측 삽입홀(113)은 복수 개가 일정 간격 이격되고, 상기 테두리측 삽입부와 동일하게 일정 두께를 가지면서 사각 단면 형태로 형성된다.
상기 장비 안착 패널 부재(110)의 상면에는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에 부설되는 구성품들, 예를 들어 복수 개의 케이블 및 복수 개의 가스 배관 등이 배치되어야 할 미리 지정된 위치를 표시해 주는 복수 개의 위치 표시체(125)가 미리 설정된 위치에 각각 형성될 수 있다.
상기 반도체 또는 디스플레이 장비에는 다양한 종류의 구성품들이 구비되고, 이러한 구성품들은 상기 반도체 또는 디스플레이 장비 중 복수 개의 위치에서 서로 연결되거나 장착되는데, 상기와 같이 상기 위치 표시체(125)가 미리 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 표시됨으로써 상기 반도체 또는 디스플레이 장비 설치 시 상기 구성품들의 설치 위치를 별도로 확인할 필요가 없게 됨으로써 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있게 된다.
상기 덮개 부재(120)는 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 일부의 개방된 상부를 각각 덮을 수 있는 것이다.
상세히, 상기 덮개 부재(120)는 일정 면적을 가지면서 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 일부와 대응되는 형태로 형성된다.
본 실시예에서 상기 덮개 부재(120)는 원형 또는 사각 단면 형태로 형성되나, 이는 단지 하나의 예시일 뿐 본 발명이 이에 국한되지는 않는다.
상기 테두리 부재(130)는 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 상기 덮개 부재(120)에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부의 가장자리부에 각각 연결되되, 상기 장비 안착 패널 부재(110)의 상측으로 돌출되면서 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 상기 덮개 부재(120)에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부의 테두리를 이루게 되는 것으로, 테두리 몸체(131)와, 한 쌍의 절곡 몸체(132)와, 절곡 연장체(133)와, 상기 테두리측 삽입부(135)와, 휨 방지체(134)를 포함한다.
상기 테두리 몸체(131)는 상기 관통 홀(111)의 일 면을 따라 일정 길이 길게 형성된 것이다.
한 쌍의 상기 절곡 몸체(132)는 상기 테두리 몸체(131)의 양측 말단부에서 대면되도록 동일한 방향으로 각각 절곡되는 것이다.
상기 절곡 연장체(133)는 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132) 중 하나에서 외측으로 절곡되면서 연장되는 것이다.
상기 테두리측 삽입부(135)는 상기 테두리 몸체(131)와, 상기 절곡 몸체(132) 및 상기 절곡 연장체(133)의 저면에서 돌출되어 상기 테두리측 삽입홀(113)에 삽입되는 것으로, 상기 테두리 몸체(131)와, 상기 절곡 몸체(132) 및 상기 절곡 연장체(133)의 두께와 동일한 두께를 가지면서 사각 단면 형태로 형성된다.
본 실시예에서 상기 테두리측 삽입부(135)는 복수 개가 일정 간격 이격되면서 형성되어 복수 개의 상기 테두리측 삽입홀(113)에 각각 삽입되고, 상기와 같이 상기 테두리측 삽입홀(113)에 상기 테두리측 삽입부(135)가 삽입됨으로써 상기 테두리 부재(130)가 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 연결될 수 있게 된다.
본 실시예에서는 상기 테두리 몸체(131)와, 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132)와 상기 절곡 연장체(133)가 일체형으로 형성된다.
상기 휨 방지체(134)는 그 양측 말단이 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132)에 각각 연결되어 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132)가 서로 근접되는 방향으로 휘어지는 것이 방지되도록 하는 것이다.
상기 절곡 몸체(132)는 그 길이에 비해 그 두께가 상대적으로 얇게 형성됨으로써, 상기 테두리 몸체(131)의 양측 말단에서 각각 임의로 휘어질 수 있게 되는데, 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132) 중 일측 말단부가 상기 테두리 몸체(131)에 의해 연결된 상태에서 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132) 중 타측 말단부가 상기 휨 방지체(134)에 의해 연결되면, 한 쌍의 상기 절곡 몸체(132)가 이격되는 두 개의 부분에서 지지됨으로써 임의로 휘어지는 것이 방지될 수 있게 된다.
또한, 본 실시예에서 상기 휨 방지체(134)는 상기 테두리 부재(130)를 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 연결시키거나, 상기 테두리 부재(130)를 이동시킬 때 작업자가 손으로 잡을 수 있는 손잡이 역할도 함께 하게 된다.
상기 휨 방지체(134)가 형성됨으로써, 상기 테두리 부재(130)는 원래의 형태를 유지할 수 있게 되고, 이러한 상태로 상기 작업자가 상기 휨 방지체(134)를 잡고 복수 개의 상기 테두리측 삽입홀(113)의 상공에서 상기 테두리 부재(130)를 하강시키면 복수 개의 상기 테두리측 삽입부(135)가 복수 개의 상기 테두리측 삽입홀(113)에 동시에 삽입될 수 있고, 그에 따라, 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 대한 상기 테두리 부재(130)의 연결이 간단하게 이루어지게 된다.
도면 번호 136은 상기 테두리 부재(130)가 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 연결된 후 그 고정된 상태를 유지할 수 있도록 상기 테두리 부재(130)를 관통하여 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 결합되는 고정 유지 수단으로, 볼트 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 테두리 부재(130)는 상기 고정 유지 수단(136)에 의해 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 대해 탈부착될 수 있다.
상기 테두리 부재(130)가 상기와 같이 형성됨으로써, 상기 클린룸 내에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치될 때에는 상기 테두리 부재(130)가 상기 관통 홀(111)에 일정 높이의 테두리를 형성하게 되어 상기 관통 홀(111)을 통해 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 바퀴 등이 낙하되면서 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 전도되는 것이 방지될 수 있게 되고, 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치 후에는 상기 테두리 부재(130)를 상기 장비 안착 패널 부재(110)로부터 분리하여 회수함으로써 상기 테두리 부재(130)를 반복적으로 사용할 수 있게 된다.
본 실시예에서 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 상기 덮개 부재(120)에 의해 덮인 것과 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 상기 테두리 부재(130)가 배치되는 것은 복수 개의 상기 케이블 또는 배관 중 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되기 전 미리 상기 클린룸 내부로 유입된 것과 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치된 후 상기 클린룸 내부로 유입되는 것에 따라 분류될 수 있다.
예를 들어, 복수 개의 상기 케이블 또는 배관 중 일부는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비와 별도로 상기 클린룸 내에서 사용되는 것은 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성된 상기 관통 유입 홀을 통해 상기 클린룸 내부로 유입된 다음 상기 관통 홀(111)을 경유한 후 상기 장비 안착 패널 부재(110) 상에 배치되어야 함으로써, 상기 관통 홀(111)이 개방된 상태를 유지하여야 함으로써 상기 테두리 부재(130)가 장착된다.
반면, 복수 개의 상기 케이블 또는 배관 중 나머지 일부는 상기 장비 안착 패널 부재(110)가 설치되고, 상기 장비 안착 패널 부재(110) 상에 반도체 또는 디스플레이 장비가 안착된 후 상기 반도체 또는 디스플레이 장비와 연결됨으로써, 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 안착되기 전에는 막힌 상태를 유지하여야 함으로써 상기 덮개 부재(120)가 장착된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조(100)의 설치 방법에 대하여 설명한다
먼저, 상기 클린룸 내에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치될 곳을 선정한 후 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 크기에 대응되도록 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(110)를 상기 클린룸의 바닥면 상에 놓는다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 일부를 상기 덮개 부재(120)를 이용하여 덮는다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 상기 덮개 부재(120)가 장착된 것을 제외한 나머지 일부에 상기 테두리 부재(130)를 연결한 후 상기 고정 유지 수단(136)을 이용해 고정시킨다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(110) 상에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비를 설치한다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(110)의 상면 중 미리 설정된 위치에 형성된 복수 개의 상기 위치 표시체(125)(125)에 따라 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에 부설되는 구성품들, 예를 들어 복수 개의 케이블 및 배관 등을 각각 배치한다.
상기와 같이, 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조(100)가 상기 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 상기 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 상기 관통 유입 홀이 형성되는 상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서, 상기 장비 안착 패널 부재(110)와, 상기 덮개 부재(120)와, 상기 테두리 부재(130)를 포함하고, 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 관통 홀(111) 중 일부에는 상기 덮개 부재(120)가 덮이고, 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(111) 중 상기 덮개 부재(120)에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부에는 상기 테두리 부재(130)가 장착됨으로써, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 파손을 보호할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성되는 상기 관통 유입 홀 및 상기 장비 안착 패널 부재(110)에 형성된 상기 관통 홀(111)로 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 전도되거나 상기 클린룸 내에서 작업하던 작업자가 낙하되는 사고가 방지될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예들에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조의 모습을 보이는 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 7은 도 6의 B 부분을 확대한 확대도이고, 도 8은 도 6의 C 부분을 확대한 확대도이다.
도 5 내지 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조(200)는 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서, 장비 안착 패널 부재(210)와, 장비 안착측 연결 부재(221)와, 덮개 부재(220)와, 테두리 부재(230)를 포함한다.
상기 장비 안착 패널 부재(210)는 상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에서 복수 개가 서로 이웃하면서 배치되어 일정 면적의 평판 형태를 이루고, 그 내부에는 일정 면적을 가진 관통 홀(211)이 복수 개 나열되며, 그 상측에는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 안착될 수 있는 것이다.
상세히, 상기 장비 안착 패널 부재(210)는 그 두께에 비해 상면과 저면이 상대적으로 넓은 소정 면적의 패널 형태로 형성되고, 복수 개가 행과 열을 따라 서로 이웃하면서 나열된 상태로 연결되어 상기 클린룸의 바닥에 설치된 상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 배치된다.
본 실시예에서 상기 장비 안착 패널 부재(210)는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치를 위해 상기 클린룸 내에서 이동될 때에도 그 이동이 용이할 수 있도록 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 바닥 크기에 비해 상대적으로 더 넓은 면적으로 이루어진다.
또한, 상기 장비 안착 패널 부재(210)는 서로 이웃하는 것으로부터 자유롭게 탈부착될 수 있어 상기 클린룸 내에서 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치가 완료된 후 상기 장비 안착 패널 부재(210) 중 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에서 돌출되는 부분은 별도로 분리시킬 수도 있다.
상기 관통 홀(211)은 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210) 중 요구되는 위치에사 상기 장비 안착 패널 부재(210)를 상하 방향으로 관통하는 것이다.
상세히, 상기 관통 홀(211)은 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 작동을 위한 구성품, 예를 들어 케이블 또는 가스 배관이 외부 또는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치된 층과 다른 층으로부터 유입될 때, 상기 장비 안착 패널 부재(210)에는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 작동을 위한 구성품인 상기 케이블 또는 가스 배관이 통과될 수 있도록 관통 형성되는 것이다.
또한, 상기 관통 홀(211)은 복수 개의 상기 장비 안착 패널 중 각각 형성될 수도 있고, 복수 개의 상기 장비 안착 패널 중 필요한 위치에서 각각 형성될 수도 있다.
또한, 상기 관통 홀(211)은 원형 또는 다각형 형태로 형성될 수도 있다.
상기 장비 안착 패널 부재(210)의 상측 표면은 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치 시 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 임의 미끄러짐이 방지될 수 있도록 상기 장치 안착 부재의 하측 표면에 비해 상대적으로 거칠게 가공되고, 이러한 표면 거칠기 가공은 헤어라인(hairline) 가공 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 장비 안착 패널 부재(210)에는 상기 테두리 부재(230)와의 연결을 위해 후술되는 테두리측 삽입부(235)가 삽입되는 테두리측 삽입홀(213)이 형성된다.
본 실시예에서 상기 테두리측 삽입홀(213)은 복수 개가 일정 간격 이격되고, 상기 테두리측 삽입부(235)와 동일하게 일정 두께를 가지면서 사각 단면 형태로 형성된다.
상기 장비 안착 패널 부재(210)의 상면에는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에 부설되는 구성품들, 예를 들어 복수 개의 케이블 및 복수 개의 가스 배관 등이 배치되어야 할 미리 지정된 위치를 표시해 주는 복수 개의 위치 표시체(225)가 미리 설정된 위치에 각각 형성될 수 있다.
상기 반도체 또는 디스플레이 장비에는 다양한 종류의 구성품들이 구비되고, 이러한 구성품들은 상기 반도체 또는 디스플레이 장비 중 다양한 위치에서 서로 연결되거나 장착되는데, 상기와 같이 상기 위치 표시체(225)가 미리 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 표시됨으로써 상기 반도체 또는 디스플레이 장비 설치 시 상기 구성품들의 설치 위치를 별도로 확인할 필요가 없게 됨으로써 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있게 된다.
상기 장비 안착측 연결 부재(221)는 서로 이웃하는 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210)를 함께 연결시키는 것이다.
상기 장비 안착측 연결 부재(221)는 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되고, 도 8에 도시된 바와 같이, 서로 이웃하는 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210)에서 일정 깊이로 각각 함몰되어 상기 장비 안착측 연결 부재(221)와 대응되는 형태로 형성되는 장비 안착측 함몰홈(212)에 삽입된다.
상세히, 상기 장비 안착측 함몰홈(212)은 복수 개의 상기 장비 안착측 연결 부재(221)에 각각 함몰 형성된 상태에서 복수 개의 상기 장비 안착측 연결 부재(221)를 서로 이웃하도록 배치시킴으로써 형성되는 것이고, 상기 장비 안착측 연결 부재(221)는 상기 장비 안착측 함몰홈(212)의 상측을 덮은 상태에서 볼트 등의 연결 수단에 의해 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 연결된다.
그러면, 하나의 상기 장비 안착측 연결 부재(221)로도 서로 이웃하는 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210)를 함께 연결시킬 수 있게 된다.
그러면, 상기 연결 수단이 상기 장비 안착측 연결 부재(221)를 관통한 후 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 삽입됨으로써 상기 장비 안착측 연결 부재(221)와 상기 장비 안착 패널 부재(210)가 연결되고, 그에 따라 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210)가 고정된 상태로 유지될 수 있게 된다.
상기와 같이 형성되면, 상기 장비 안착측 연결 부재(221)에 의해 서로 이웃하는 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210)가 서로 연결되면서 그 위치가 고정될 수 있고, 상기 장비 안착 패널 부재(210)와 상기 클린룸의 바닥은 서로 연결되지 아니하기에 상기 클린룸의 바닥 손상이 방지될 수 있게 된다.
상기 덮개 부재(220)는 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(211) 중 일부의 개방된 상부를 각각 덮을 수 있는 것이다.
상세히, 상기 덮개 부재(220)는 일정 면적을 가지면서 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀(211) 중 일부와 대응되는 형태로 형성된다.
상기 테두리 부재(230)는 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 형성된 상기 관통 홀(211)의 가장자리부에 연결되되, 상기 장비 안착 패널 부재(210)의 상측으로 돌출되면서 상기 관통 홀(211)의 테두리를 이루게 되는 것으로, 테두리 몸체(231)와, 한 쌍의 절곡 몸체(232)와, 절곡 연장체(233)와, 상기 테두리측 삽입부(235)와, 휨 방지체(234)를 포함한다.
상기 테두리 몸체(231)는 상기 관통 홀(211)의 일 면을 따라 일정 길이 길게 형성된 것이다.
한 쌍의 상기 절곡 몸체(232)는 상기 테두리 몸체(231)의 양측 말단부에서 대면되도록 동일한 방향으로 각각 절곡되는 것이다.
상기 절곡 연장체(233)는 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232) 중 하나에서 외측으로 절곡되면서 연장되는 것이다.
상기 테두리측 삽입부(235)는 상기 테두리 몸체(231)와, 상기 절곡 몸체(232) 및 상기 절곡 연장체(233)의 저면에서 돌출되어 상기 테두리측 삽입홀(213)에 삽입되는 것으로, 상기 테두리 몸체(231)와, 상기 절곡 몸체(232) 및 상기 절곡 연장체(233)의 두께와 동일한 두께를 가지면서 사각 단면 형태로 형성된다.
본 실시예에서 상기 테두리측 삽입부(235)는 복수 개가 일정 간격 이격되면서 형성되어 복수 개의 상기 테두리측 삽입홀(213)에 각각 삽입되고, 상기와 같이 상기 테두리측 삽입홀(213)에 상기 테두리측 삽입부(235)가 삽입됨으로써 상기 테두리 부재(230)가 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 연결될 수 있게 된다.
본 실시예에서는 상기 테두리 몸체(231)와, 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232)와 상기 절곡 연장체(233)가 일체형으로 형성된다.
상기 휨 방지체(234)는 그 양측 말단이 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232)에 각각 연결되어 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232)가 서로 근접되는 방향으로 휘어지는 것이 방지되도록 하는 것이다.
상기 절곡 몸체(232)는 그 길이에 비해 그 두께가 상대적으로 얇게 형성됨으로써, 상기 테두리 몸체(231)의 양측 말단에서 각각 임의로 휘어질 수 있게 되는데, 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232) 중 일측 말단부가 상기 테두리 몸체(231)에 의해 연결된 상태에서 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232) 중 타측 말단부가 상기 휨 방지체(234)에 의해 연결되면, 한 쌍의 상기 절곡 몸체(232)가 이격되는 두 개의 부분에서 지지됨으로써 임의로 휘어지는 것이 방지될 수 있게 된다.
또한, 본 실시예에서 상기 휨 방지체(234)는 상기 테두리 부재(230)를 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 연결시키거나, 상기 테두리 부재(230)를 이동시킬 때 작업자가 손으로 잡을 수 있는 손잡이 역할도 함께 하게 된다.
상기 휨 방지체(234)가 형성됨으로써, 상기 테두리 부재(230)는 원래의 형태를 유지할 수 있게 되고, 이러한 상태로 상기 작업자가 상기 휨 방지체(234)를 잡고 복수 개의 상기 테두리측 삽입홀(213)의 상공에서 상기 테두리 부재(230)를 하강시키면 복수 개의 상기 테두리측 삽입부(235)가 복수 개의 상기 테두리측 삽입홀(213)에 동시에 삽입될 수 있고, 그에 따라, 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 대한 상기 테두리 부재(230)의 연결이 간단하게 이루어지게 된다.
도면 번호 236은 상기 테두리 부재(230)가 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 연결된 후 그 고정된 상태를 유지할 수 있도록 상기 테두리 부재(230)를 관통하여 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 결합되는 고정 유지 수단으로, 볼트 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 테두리 부재(230)는 상기 고정 유지 수단(236)에 의해 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 대해 탈부착될 수 있다.
상기 테두리 부재(230)가 상기와 같이 형성됨으로써, 상기 클린룸 내에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치될 때에는 상기 테두리 부재(230)가 상기 관통 홀(211)에 일정 높이의 테두리를 형성하게 되어 상기 관통 홀(211)을 통해 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 바퀴 등이 낙하되는 것이 방지될 수 있게 되고, 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치 후에는 상기 테두리 부재(230)를 상기 장비 안착 패널 부재(210)로부터 분리하여 회수함으로써 상기 테두리 부재(230)를 반복적으로 사용할 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조(200)의 설치 방법에 대하여 설명한다
먼저, 상기 클린룸 내에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치될 곳을 선정한 후 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 크기에 대응되도록 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재(210)를 상기 클린룸의 바닥면 상에 놓는다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(210)에 형성된 상기 관통 홀(211)의 가장자리에 상기 테두리 부재(230)를 연결한 후 상기 고정 유지 수단(236)을 이용해 고정시킨다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(210) 상에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비를 설치한다.
그런 다음, 상기 장비 안착 패널 부재(210)의 상면 중 미리 설정된 위치에 형성된 복수 개의 상기 위치 표시체(225)에 따라 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에 부설되는 구성품들, 예를 들어 복수 개의 케이블 및 가스 배관 등을 각각 배치한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 및 제 2 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 장비 안착 패널 부재에 적용된 테두리측 삽입홀과, 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도이다.
도 9를 참조하면, 본 실시예에서는, 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재가 장비 안착 패널 부재(310)에 형성된 관통 홀의 가장자리부에 연결되되, 상기 장비 안착 패널 부재(310)의 상측으로 돌출되면서 상기 관통 홀의 테두리를 이루게 되는 것이다.
상기 테두리 부재는 상기 관통 홀의 일 면을 따라 일정 길이 길게 형성된 테두리 몸체와, 상기 테두리 몸체의 양측 말단부에서 동일한 방향으로 각각 절곡되는 한 쌍의 절곡 몸체와, 한 쌍의 상기 절곡 몸체 중 하나에서 외측으로 절곡되면서 연장되는 절곡 연장체와, 상기 테두리 몸체와, 상기 절곡 몸체 및 상기 절곡 연장체의 저면에서 돌출되어 상기 장비 안착 패널 부재(310)에 형성된 테두리측 삽입홀(313)에 삽입되는 테두리측 삽입부(335)와, 그 양측 말단이 한 쌍의 상기 절곡 몸체에 각각 연결되어 한 쌍의 상기 절곡 몸체가 서로 근접되는 방향으로 휘어지는 것이 방지되도록 하는 휨 방지체를 포함한다.
본 실시예에서 상기 테두리측 삽입부(335)에는 상기 테두리 몸체와, 상기 절곡 몸체 및 상기 절곡 연장체에서 멀어질수록 그 단면적이 점진적으로 작아지도록 경사지게 형성된 삽입부측 경사면(336)이 형성된다.
그러면, 상기 테두리측 삽입부(335)는 전체적으로 사다리꼴 형태로 형성되고, 상기 테두리측 삽입부(335) 중 최외곽부(337)의 길이는 상기 테두리 몸체와, 상기 절곡 몸체 및 상기 절곡 연장체와 근접된 쪽에 비해 상대적으로 짧은 길이로 형성된다.
또한, 본 실시예에서 상기 테두리측 삽입홀(313)에는 상기 테두리측 삽입홀(313)의 상면에서 저면으로 갈수록 점진적으로 가까워지는 삽입홀측 경사면(314)이 형성된다.
즉, 상기 테두리측 삽입홀(313) 중 상기 장비 안착 패널 부재(310)의 상면과 근접된 쪽의 길이는 상기 테두리측 삽입홀(313)의 내측 저면(315)의 길이에 비해 상대적으로 크게 형성되어 전체적으로는 사다리꼴 형태를 가지게 된다.
만약, 상기 테두리측 삽입부(335) 및 상기 테두리측 삽입홀(313)이 사각 형태로 형성되면, 상기 테두리측 삽입홀(313)에 상기 테두리측 삽입부(335)를 정확하게 위치시킨 후 삽입시켜야 하고, 상기 테두리 부재에는 상기 테두리측 삽입부(335)가 이격되면서 복수 개 형성됨에 따라, 상기 각 테두리측 삽입홀(313)에 상기 각 테두리측 삽입부(335)를 각각 순차적으로 삽입시키게 된다.
그러나 상기 테두리측 삽입홀(313) 및 상기 테두리측 삽입부(335)가 본 실시예에서와 같이 형성되면, 상기 테두리 부재와 상기 장비 안착 패널 부재(310)의 연결을 위해 상기 테두리측 삽입부(335)가 상기 테두리측 삽입홀(313)에 삽입될 때, 상기 테두리측 삽입홀(313)에 먼저 삽입되는 상기 최외곽부(337)의 길이가 상기 테두리측 삽입홀(313) 중 상기 장비 안착 패널 부재(310)의 상면과 근접된 쪽의 길이에 비해 상대적으로 작게 형성됨으로써, 상기 테두리측 삽입홀(313) 및 상기 테두리측 삽입부(335)가 복수 개 형성되더라도 상기 각 테두리측 삽입홀(313)에 대한 상기 각 테두리측 삽입부(335)의 삽입이 동시에 이루어질 수 있게 된다.
또한, 상기 테두리측 삽입부(335)의 일부가 상기 테두리측 삽입홀(313)에 삽입된 이후에는 상기 삽입부측 경사면(336)과 상기 삽입홀측 경사면(314)이 서로 밀착되면서 삽입됨으로써 상기 테두리측 삽입홀(313)에 대한 상기 테두리측 삽입부(335)의 위치가 정렬될 수 있게 되고, 그에 따라 상기 장비 안착 패널 부재(310)에 대한 상기 테두리 부재의 연결이 용이하게 이루어질 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 내지 제 3 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 10은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 장비 안착 패널 부재에 적용된 테두리측 삽입홀과, 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도이고, 도 11은 도 10의 테두리측 삽입부가 테두리측 삽입홀에 삽입된 모습을 보이는 확대도이다.
도 10 및 도 11을 함께 참조하면, 본 실시예에서는 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 장비 안착 패널 부재(410)와, 장비 안착측 연결 부재와, 테두리 부재 및 임의 분리 방지 부재(440)를 포함한다.
상기 임의 분리 방지 부재(440)는 상기 장비 안착 패널 부재(410)에 상기 테두리 부재가 연결될 때, 상기 테두리 부재가 상기 장비 안착 패널 부재(410)로부터 임의로 분리되는 것이 방지되도록 하는 것으로, 돌출체(441)와, 한 쌍의 함몰홈(442)과, 돌출체측 삽입홀(443)과, 공기 분지 배관(444)과, 공기 유입홀(445)과, 탄성 확장체(446)를 포함한다.
상기 돌출체(441)는 상기 장비 안착 패널 부재(410)의 상면에서 일정 깊이 함몰되어 형성된 테두리측 삽입홀(413)의 내측 저면부에서 사각 단면 형태로 일정 길이 돌출된 것이다.
한 쌍의 상기 함몰홈(442)은 상기 테두리측 삽입홀(413) 중 상기 장비 안착 패널 부재(410)의 상면에서 상대적으로 멀리 배치되고, 서로 대면되는 내측면에서 반구 형태로 함몰 형성된 것이다.
상기 돌출체측 삽입홀(443)은 상기 테두리측 삽입부(435)의 저면에서 내측으로 일정 깊이 함몰되고, 상기 돌출체(441)가 삽입될 수 있는 것이다.
상기 공기 분지 배관(444)은 상기 테두리측 삽입부(435)에서 상기 돌출체측 삽입홀(443)과 수직되는 방향으로 관통되되 상기 돌출체측 삽입홀(443)과 연통되어, 상기 돌출체(441)가 상기 돌출체측 삽입홀(443)에 삽입될 때 상기 돌출체측 삽입홀(443)에 있던 공기를 유동시키는 것이다.
상기 공기 분지 배관(444)은 상기 테두리측 삽입부(435)의 양측 말단부를 관통하면서 원형 실린더 형태로 형성되고, 그 중앙부에서 상기 돌출체측 삽입홀(443)과 연통된다.
상기 공기 유입홀(445)은 상기 공기 분지 배관(444)의 말단과 각각 연결되고, 상기 테두리측 삽입부(435)의 외곽에서 외부를 향해 개방된 형태로 형성되고, 상기 공기 분지 배관(444)에 비해 상대적으로 확장된 형태로 이루어짐으로써, 상기 테두리측 삽입부(435)가 상기 테두리측 삽입홀(413)에 삽입됨에 의해 상기 돌출체(441)가 상기 돌출체측 삽입홀(443)에 삽입될 때 상기 돌출체측 삽입홀(443)에 있다가 상기 공기 분지 배관(444)을 통해 유동된 상기 공기가 유입되는 것이다.
상기 탄성 확장체(446)는 상기 공기 유입홀(445)의 개방된 외곽을 덮도록 설치되고, 탄성 재질로 이루어지는 것이다.
상기 탄성 확장체(446)는 고무 등의 탄성이 있는 재질로 이루어짐으로써, 상기 돌출체측 삽입홀(443)에 있던 상기 공기가 상기 공기 유입홀(445)로 유입되어 상기 공기 유입홀(445)의 내부 압력이 상대적으로 증가되면, 상기 공기 유입홀(445)의 증가된 내부 압력에 의해 밀리면서 상기 함몰홈(442) 쪽으로 탄성 변형되면서 부풀어오르게 된다.
상기와 같이, 상기 테두리 부재가 상기 장비 안착 패널 부재(410)에 연결되도록 상기 테두리측 삽입홀(413)에 상기 테두리측 삽입부(435)가 삽입되면, 상기 돌출체(441)가 상기 돌출체측 삽입홀(443)에 삽입되고, 상기 돌출체측 삽입홀(443) 내에 있던 상기 공기가 상기 공기 분지 배관(444)을 통해 상기 공기 유입홀(445)로 유동되면서 상기 공기 유입홀(445)의 내부 압력이 상대적으로 증가되고, 상기 공기 유입홀(445)의 내부 압력 증가에 의해 상기 탄성 확장체(446)가 탄성 변형되면서 상기 함몰홈(442) 쪽으로 부풀어 올라 상기 함몰홈(442)의 내측 공간을 채우게 되고, 그에 따라 상기 테두리측 삽입홀(413)에 대한 상기 테두리측 삽입부(435)의 임의 분리가 방지됨으로써 상기 장비 안착 패널 부재(410)에 대한 상기 테두리 부재의 임의 분리가 방지될 수 있다.
본 실시예에서 상기 탄성 확장체(446)는 상기 공기 유입홀(445)의 외곽에 한 쌍으로 형성되고, 한 쌍의 상기 탄성 확장체(446)가 한 쌍의 상기 함몰홈(442) 쪽으로 각각 부풀어 올라 상기 테두리측 삽입홀(413)에 대한 상기 테두리측 삽입부(435)의 고정이 더 안정적으로 유지될 수 있게 된다.
상기와 같이 상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 상기 임의 분리 방지 부재(440)를 더 포함함에 따라, 상기 테두리측 삽입홀(413)에 대한 상기 테두리측 삽입부(435)의 삽입만으로도 상기 테두리측 삽입홀(413)로부터 상기 테두리측 삽입부(435)가 임의 분리되는 것이 방지될 수 있고, 그에 따라, 상기 장비 안착 패널 부재(410)에 대한 상기 테두리 부재의 연결된 상태가 유지될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 내지 제 4 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 12는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조를 구성하는 테두리 부재에 적용된 테두리측 삽입부를 확대한 확대도이다.
도 12를 참조하면, 본 실시예에서는 임의 분리 방지 부재(540)가 내부 수집체(547)와, 이중 확장체(548)를 더 포함한다.
상기 내부 수집체(547)는 반구 형태로 형성되고, 공기 유입홀(545)의 내부에 고정되되, 공기 분지 배관(544)과 소정 간격 이격되면서 상기 공기 분지 배관(544)과 대면되도록 배치되고, 테두리측 삽입부(535)가 테두리측 삽입홀에 삽입되면서 이루어지는 돌출체측 삽입홀에 대한 돌출체의 삽입에 의해 상기 돌출체측 삽입홀에 있다가 상기 공기 분지 배관(544)으로 유동되는 공기 중의 일부를 포집하는 것이다.
상기 이중 확장체(548)는 상기 내부 수집체(547)의 중앙부와 연통되고, 그 내부가 비어 있되 외부에 대하여 밀폐된 형태로 형성되고, 고무 등의 탄성이 있는 재질로 이루어짐으로써, 상기 돌출체측 삽입홀에 있다가 상기 공기 분지 배관(544)으로 유동된 후 상기 내부 수집체(547)에 의해 포집된 상기 공기에 의해 부풀어오를 수 있는 것이다.
상기 임의 분리 방지 부재(540)가 상기와 같이 형성됨으로써 상기 테두리 부재가 상기 장비 안착 패널 부재(510)에 연결되도록 상기 테두리측 삽입홀에 상기 테두리측 삽입부(535)가 삽입되면, 상기 돌출체가 상기 돌출체측 삽입홀에 삽입되고, 상기 돌출체측 삽입홀 내에 있다가 상기 돌출체의 삽입에 의해 상기 공기 분지 배관(544)을 통해 상기 공기 유입홀(545)로 유동되는 상기 공기 중의 일부가 상기 내부 수집체(547)에 포집된 후 상기 이중 확장체(548)로 유입되고, 그에 따라 상기 이중 확장체(548)가 부풀어오르게 됨으로써, 상기 이중 확장체(548)가 상기 탄성 확장체(546)의 내부에서 상기 탄성 확장체(546)를 밀어주게 되고, 그에 따라 상기 탄성 확장체(546)가 함몰홈(542)의 내측 공간에서 더욱 견고하게 유지될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예들에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조에 의하면, 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조가 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되어 상기 클린룸 바닥용 다공 패널의 파손을 보호할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 클린룸 바닥용 다공 패널에 형성되는 상기 관통 유입 홀 및 상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 관통 홀로 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 전도되거나 상기 클린룸 내에서 작업하던 작업자가 낙하되는 사고가 방지될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조
110 : 장비 안착 패널 부재
120 : 덮개 부재
130 : 테두리 부재
110 : 장비 안착 패널 부재
120 : 덮개 부재
130 : 테두리 부재
Claims (3)
- 반도체 또는 디스플레이 제조를 위한 반도체 또는 디스플레이 장비가 설치되는 클린룸의 바닥을 이루고, 그 내부에 관통 유입 홀이 형성되는 클린룸 바닥용 다공 패널 상에 적용되는 것으로서,
상기 클린룸 바닥용 다공 패널 상에서 복수 개가 서로 이웃하면서 배치되어 일정 면적의 평판 형태를 이루고, 그 상측에 상기 반도체 또는 디스플레이 장비가 안착될 수 있고, 일정 면적을 가진 관통 홀이 형성되는 장비 안착 패널 부재;
서로 이웃하는 복수 개의 상기 장비 안착 패널 부재를 함께 연결시키는 장비 안착측 연결 부재;
상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀 중 일부의 개방된 상부를 각각 덮을 수 있는 덮개 부재; 및
상기 장비 안착 패널 부재에 형성된 복수 개의 상기 관통 홀 중 상기 덮개 부재에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부의 가장자리부에 각각 연결되되, 상기 장비 안착 패널 부재의 상측으로 돌출되면서 복수 개의 상기 관통 홀 중 상기 덮개 부재에 의해 덮인 부분을 제외한 나머지 일부의 테두리를 이루게 되는 테두리 부재;를 포함하고,
상기 장비 안착 패널 부재에는 그 상면에서 일정 깊이 함몰된 테두리측 삽입홀이 형성되고,
상기 테두리 부재는
상기 관통 홀의 일 면을 따라 일정 길이 길게 형성된 테두리 몸체와,
상기 테두리 몸체의 양측 말단부에서 동일한 방향으로 각각 절곡되는 한 쌍의 절곡 몸체와,
한 쌍의 상기 절곡 몸체 중 하나에서 외측으로 절곡되면서 연장되는 절곡 연장체와,
상기 테두리 몸체와, 상기 절곡 몸체 및 상기 절곡 연장체의 저면에서 돌출되어 상기 테두리측 삽입홀에 삽입되는 테두리측 삽입부와,
그 양측 말단이 한 쌍의 상기 절곡 몸체에 각각 연결되어 한 쌍의 상기 절곡 몸체가 서로 근접되는 방향으로 휘어지는 것이 방지되도록 하는 휨 방지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조. - 제 1 항에 있어서,
상기 장비 안착 패널 부재의 상면에는 상기 반도체 또는 디스플레이 장비에 부설되는 구성품들의 미리 지정된 위치를 표시해 주는 복수 개의 위치 표시체가 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조. - 제 2 항에 있어서,
상기 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조는
상기 장비 안착 패널 부재에 상기 테두리 부재가 연결될 때, 상기 테두리 부재가 상기 장비 안착 패널 부재로부터 임의로 분리되는 것이 방지되도록 하는 임의 분리 방지 부재;를 포함하고,
상기 임의 분리 방지 부재는
상기 테두리측 삽입홀의 내부에서 상하 방향으로 일정 길이 돌출된 돌출체와,
상기 테두리측 삽입홀 중 서로 대면되는 내측면에서 반구 형태로 함몰 형성된 한 쌍의 함몰홈과,
상기 테두리측 삽입부의 저면에서 내측으로 일정 깊이 함몰되고, 상기 돌출체가 삽입될 수 있는 돌출체측 삽입홀과,
상기 테두리측 삽입부에서 상기 돌출체측 삽입홀과 수직되는 방향으로 관통되되 상기 돌출체측 삽입홀과 연통되어, 상기 돌출체가 상기 돌출체측 삽입홀에 삽입될 때 상기 돌출체측 삽입홀에 있던 공기를 유동시키는 공기 분지 배관과,
상기 공기 분지 배관의 말단과 각각 연결되고, 상기 테두리측 삽입부의 외곽에서 외부를 향해 개방된 형태로 형성되고, 상기 공기 분지 배관에 비해 상대적으로 확장된 형태로 이루어짐으로써, 상기 공기 분지 배관을 통해 유동된 상기 공기가 유입되는 공기 유입홀과,
상기 공기 유입홀의 개방된 외곽을 덮도록 설치되고, 탄성 재질로 이루어지는 탄성 확장체를 포함하고,
상기 테두리 부재가 상기 장비 안착 패널 부재에 연결되도록 상기 테두리측 삽입홀에 상기 테두리측 삽입부가 삽입되면, 상기 돌출체가 상기 돌출체측 삽입홀에 삽입되고, 상기 돌출체측 삽입홀 내에 있던 상기 공기가 상기 공기 분지 배관을 통해 상기 공기 유입홀로 유동되면서 상기 공기 유입홀의 내부 압력이 상대적으로 증가되고, 상기 공기 유입홀의 내부 압력 증가에 의해 상기 탄성 확장체가 탄성 변형되면서 상기 함몰홈 쪽으로 부풀어 올라 상기 함몰홈의 내측 공간을 채우게 되고, 그에 따라 상기 테두리측 삽입홀에 대한 상기 테두리측 삽입부의 임의 분리가 방지됨으로써 상기 장비 안착 패널 부재에 대한 상기 테두리 부재의 임의 분리가 방지될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 디스플레이 장비의 설치를 위한 바닥 패널 구조.
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