CN115769353A - 封闭室 - Google Patents

Abstract

一种封闭室，包括：基板；所述基板上的多个支撑框架；多个连接块，所述多个连接块用于连接所述多个支撑框架；多个面板，所述多个面板用于覆盖所述多个支撑框架之间的开口区域；以及第一封闭构件，所述第一封闭构件设置在所述多个支撑框架和所述多个连接块之间。

Description

封闭室

技术领域

实施方式涉及一种封闭室。

背景技术

应用于半导体或显示器的制造工艺的手套箱或封闭室必须被密封，使得其与外部隔绝，并且其内部的空间保持在一定的气体气氛中。

制造封闭室的常规方法包括切割方法、铸造方法等。

切割方法产生尺寸大于封闭室的锭，然后切割锭的内部以产生封闭室。该铸造方法使用对应于封闭室的模具进行铸造。

另一方面，随着半导体和OLED显示器近来变得大容量和大面积，封闭室的尺寸也变大。

因此，制造封闭室变得越来越困难。

特别地，传统的封闭室在制造后由于其重量而难以移动，并且还存在需要高生产成本的问题。

发明内容

技术问题

实施方式旨在解决上述问题和其他问题。

实施方式提供易于移动的封闭室。

实施方式提供易于组装的封闭室。

实施方式提供制造单价低的封闭室。

实施方式提供易于修改尺寸的封闭室。

技术方案

根据实现以上或其他目的的实施方式的一个方面，一种封闭室包括：基板；所述基板上的多个支撑框架；多个连接块，所述多个连接块用于连接所述多个支撑框架；多个面板，所述多个面板用于覆盖所述多个支撑框架之间的开口区域；以及第一密封构件，所述第一密封构件设置在所述多个支撑框架和所述多个连接块之间。

有利效果

根据该实施方式的封闭室的效果描述如下。

根据至少一个实施方式，通过使用由轻质材料形成的基板、多个支撑框架和多个连接块制造封闭室，减小了封闭室的负荷，从而使其易于移动。

根据至少一个实施方式，多个预制的子板、多个支撑框架和多个连接块根据规定的规格和程序组装，从而具有易于组装的优点。

根据至少一个实施方式，除了组装之外，不需要诸如焊接的单独工艺，使得制造单价低。

根据至少一个实施方式，适合于预先设计尺寸的基板被处理和制造，使用多个支撑框架和多个连接块在基板上形成边缘骨架，然后将预制的面板紧固到支撑框架。因此，其优点是可以容易地响应客户所需尺寸的修改。

从下面的详细描述中，实施方式的进一步的适用范围将是显而易见的。然而，由于在实施方式的思想和范围内的各种改变和修改可以被本领域技术人员清楚地理解，某些实施方式(诸如详细说明和优选实施方式)应当被理解为仅作为示例给出。

附图说明

图1是示出根据实施方式的封闭室的立体图。

图2是示出根据实施方式的封闭室的分解立体图。

图3示出了在图1中安装面板之前的状态。

图4a是示出根据实施方式的封闭室的立体图。

图4b是图4a的封闭室的区域A中示出的连接块的第一示例。

图5是示出包括第一示例图的连接块的封闭室的正视图。

图6是示出图5中的A区域的放大图。

图7是沿图6中的线X-X'截取的截面图。

图8示出了第一密封构件。

图9a是示出根据实施方式的封闭室的立体图。

图9b是图9a的封闭室的区域B中示出的连接块的第二示例。

图10a是示出根据实施方式的封闭室的立体图。

图10b是图10a的封闭室的区域C中示出的连接块的第三示例。

图11是示出包括第三示例的连接块的封闭室的正视图。

图12是示出图11的区域D的放大图。

图13示出了基板。

图14是分解图13的第二子板和第三子板的分解立体图。

图15是示出支撑板、基板和支撑框架的紧固关系的截面图。

图16示出了密封测试的结果。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述本发明的优选实施方式。然而，本发明的技术精神不限于所描述的一些实施方式，而是可以以各种不同的形式来实现，并且在本发明的技术精神的范围内，其一个或多个部件可以在实施方式之间选择性地组合、替换和使用。此外，在本发明的实施方式中使用的术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员通常可理解的意义来解释，除非明确且具体地定义和描述，并且诸如预定义术语的常用术语可以考虑相关技术的上下文含义来解释。此外，在本发明的实施方式中使用的术语旨在描述实施方式，而不旨在限制本发明。在本说明书中，除非在短语中另有说明，否则单数形式还可包括复数形式，并且当其被描述为“B和C中的至少一个(或多于一个)”时，其可包括可与A、B和C组合的所有组合中的一个或多个。此外，在描述本发明的实施方式的部件时，可以使用诸如第一、第二、A、B、(a)、(b)等术语。这样的术语仅旨在将该部件与其他部件区分开，并且不受术语对部件的性质、顺序或次序的限制。并且，如果一个部件被描述为“连接”、“组合”或“紧固”到另一部件，则该部件不仅可以包括到该另一部件的直接连接、链接或连接，而且可以包括由于该部件和该另一部件之间的又一部件而使得该部件被“连接”、“组合”或“紧固”的情况。此外，当描述为形成或设置在每个部件的“上部(顶部)或下部(底部)”中时，上部(顶部)或下部(底部)包括其中两个元件彼此直接接触的情况，以及其中一个或多个其他元件形成或设置在两个元件之间的情况。另外，当表述为“向上(up)或向下(down)”时，基于一个部件，它不仅可以包括向上方向，而且可以包括向下方向的含义。

图1是示出根据实施方式的封闭室的立体图，图2是示出根据实施方式的封闭室的分解图，并且图3示出在图1中安装面板之前的外观。

参照图1至图3，根据实施方式的封闭室100可包括支撑板105、基板110、多个支撑框架120、多个连接块130和面板140。根据实施方式的封闭室100可以包括比这些更多的部件。

根据该实施方式的支撑板105可以用作整个封闭室的支撑件。支撑板105可以由具有优异强度的轻质材料形成。例如，支撑板105可以由不锈钢材料形成，但不限于此。

多个移动体(未示出)可以安装在支撑板105的下侧，其可以使封闭室100移动。移动体可以是例如能够在上、下、左和右方向上旋转移动的轮子。尽管未示出，但是移动体的一侧可以装备有用于固定移动的固定构件。封闭构件可以通过这种固定构件移动并固定到特定位置。

根据实施方式的基板110可以设置在支撑板105上。基板110可用于密封封闭室100中的下侧。

基板110可以由具有优异强度的轻质材料形成。例如，基板110可以由铝或铝合金形成，但不限于此。

例如，基板110的尺寸可以与支撑板105的尺寸相同，但不限于此。

例如，基板110可以使用多个紧固构件(未示出)紧固到支撑板105。

下面将详细描述基板110。

根据实施方式的多个支撑框架120可以形成封闭室100的骨架以用作支撑封闭室100。

支撑框架120可以由具有优异强度的轻质材料形成。例如，支撑框架120可以由铝或铝合金形成，但不限于此。即使使用多个支撑框架120，由于支撑框架120由轻质材料形成，封闭室100的重量也不会大大增加。因此，封闭室100的移动可以很容易。

例如，多个支撑框架120可以彼此连接以在x轴方向上形成骨架。例如，多个支撑框架120可以彼此连接以在y轴方向上形成骨架。例如，多个支撑框架120可以彼此连接以在z轴方向上形成骨架。例如，根据x轴方向形成骨架的支撑框架120可以紧固到根据y轴方向形成骨架的支撑框架120和/或根据x轴方向形成骨架的支撑框架120。

例如，封闭室100的第一侧区域可以通过多个支撑框架120的连接而形成，并且封闭室100的第二侧区域可以通过多个支撑框架120的连接而形成。例如，封闭室100的第三侧区域可以通过多个支撑框架120的连接而形成，并且封闭室100的第四侧区域可以通过多个支撑框架120的连接而形成。第一侧区域和第三侧区域彼此空间隔开并且面向彼此。第二侧区域和第四侧区域彼此空间隔开并且面向彼此。例如，通过多个支撑框架120的连接，可以形成封闭室100的上部区域。

在该实施方式中，示出了第一侧区域至第四侧区域，但是可以通过多个支撑框架120的连接来形成五个或更多个侧区域。

因此，通过将多个支撑框架120彼此连接，可以形成用于形成封闭室100的内部空间的骨架。

通过多个支撑框架120的连接，可以形成具有彼此不同尺寸的开口区域191-194。需要至少四个支撑框架120来形成一个开口区域191-194。在这种情况下，由四个支撑框架120形成的开口区域191-194的尺寸和由八个支撑框架120或十六个支撑框架120形成的开口区域191-194的尺寸可以不同。

考虑到封闭室100或外部装置(例如与气体管道设施的连接部分等)的负荷或支撑强度，封闭室100可设计成具有不同的开口区域191-194。

根据实施方式的多个连接块130可以是能够将多个支撑框架120彼此连接的介质。也就是说，至少两个或更多个支撑框架120可以经由连接块130连接到连接块130，并且设置在不同的方向上，即x轴、y轴和z轴。

连接块130可以由具有优异强度的轻质材料形成。例如，连接块130可以由铝或铝合金形成。

例如，连接块130可以连接至少两个或更多个支撑框架120。根据该实施方式的连接块130可以包括但不限于图4b所示的连接块131、图9b所示的连接块132和图10b所示的连接块133。

例如，图4b所示的连接块131可以将三个支撑框架1201-1203彼此连接。例如，图9b和图10b中所示的连接块132和133可以将四个支撑框架1211至1214彼此连接。

当连接块130与多个支撑框架120连接时，第一密封构件(图8的150)可设置在连接块130的多个连接部分(图4b的221-223、图9b的231-233、图10b的241-243)和多个支撑框架120之间。第一密封构件150可以是垫圈，但不限于此。

例如，在第一密封构件150插入连接块130的多个连接部分221-223、231-233、241-243和多个支撑框架120之间的情况下，可以使用紧固构件(未示出)将多个支撑框架120紧固到连接块130的多个连接部分221-223、231-233、241-243。通过紧固构件，多个支撑框架120和连接块130的多个连接部分221-223、231-233、241-243可朝向彼此挤压。在这种情况下，由于支撑框架120挤压第一密封构件150的一侧，并且连接块130的连接部分221-223、231-233、241-243挤压第一密封构件150的另一侧，所以连接块130和支撑框架120可以被完全密封。

根据实施方式的多个面板140可以覆盖通过多个支撑框架120的连接形成的多个开口区域191-194。例如，多个面板140可以紧固到多个支撑框架120。即，可使用紧固构件将多个面板140紧固到多个支撑框架120。

例如，面板140可以由具有优异强度的材料形成。例如，面板140可以由不间断的基于PC(聚碳酸酯)或基于PVC(聚氯乙烯)的材料形成。

当多个面板140紧固到多个支撑框架120时，第二密封构件161-164可以设置在多个面板140和多个支撑框架120之间。第二密封构件161-164可以是O形环。

例如，在第二密封构件161-164插入多个面板140和多个支撑框架120之间的情况下，可以使用紧固构件(未示出)将多个面板140紧固到多个支撑框架120。通过紧固构件，多个面板140和多个支撑框架120可以朝向彼此挤压。在这种情况下，由于面板140挤压第二密封构件161-164的一侧，并且支撑框架120挤压第二密封构件161-164的另一侧，所以面板140和支撑框架120可以被完全密封。

虽然未示出，但是在支撑框架120中形成有凹槽部分，第二密封构件161-164可以插入到该凹槽部分中。

例如，两个第二密封构件161-164可以位于每个支撑框架120中。例如，2-1密封构件161可位于包括特定支撑框架的至少四个支撑框架(以下称为第一支撑框架组)上。例如，2-2密封构件162可以位于包括特定支撑框架的另一个至少四个支撑框架(以下称为第二支撑框架组)上。在这种情况下，第一面板通过2-1密封构件161紧固到第一支撑框架组的至少四个支撑框架，并且邻近第一面板的第二面板可通过2-2密封构件162紧固到第二支撑框架组的至少四个支撑框架。

以此方式，由多个支撑框架120形成的多个支撑框架组的全部可以使用第二密封构件161-164与多个面板140紧固，使得面板140和支撑框架120可以被密封。

在下文中，将描述封闭室100的组装。

首先，可通过使用多个支撑框架120和多个连接块130形成封闭室100的骨架。例如，在连接块130设置在支撑框架120之间之后，可以使用紧固构件将支撑框架120紧固到连接块130。

例如，可以通过使用多个支撑框架120和多个连接块130在x轴方向和y轴方向上形成封闭室100的最低边缘骨架。沿z轴方向布置的支撑框架120可以紧固到形成为最低边缘骨架的每个连接块130。连接块130可以设置在沿z轴方向设置的多个支撑框架120的每个端部处，并且多个支撑框架120可以沿x轴方向和y轴方向设置。此后，多个支撑框架120可以紧固到相应的连接块130以形成向上与封闭室100的最低边缘间隔开的第二边缘骨架。这样，第三边缘骨架和第四边缘骨架可以形成为所需的高度。在将边缘骨架形成到所需高度之后，可将设置在最后边缘骨架(即，最上部边缘骨架)中的x轴方向和y轴方向上的多个支撑框架120和多个连接块130彼此紧固以形成对应于顶板的骨架。

单独地，基板110可以被制造并设置在支撑板105上。

此外，如上所述，通过紧固多个支撑框架120和连接块130而形成的边缘骨架可设置在基板110上。

此后，可以使用紧固构件(未示出)紧固支撑板105、基板110和多个支撑框架120。例如，如图15所示，多个紧固构件(未示出)中的每一个均可以通过支撑框架120和基板110紧固到支撑框架120，但不限于此。

此后，将多个面板140紧固到多个支撑框架120，从而可以制造封闭室100。

作为另一示例，在由多个支撑框架120形成的边缘骨架移动到基板110上之前，多个面板140可以紧固到对应的边缘骨架的多个支撑框架120。

作为另一示例，边缘骨架可以直接形成在基板110上。在将基板110设置在支撑板105上之后，可以通过将多个支撑框架120和多个连接块130连接在基板110上来形成边缘骨架。

在下文中，将描述使用不同形状的连接块130连接支撑框架120的方法。

图4a是示出根据实施方式的封闭室的立体图，并且图4b是在图4a的封闭室的区域A中示出的连接块的第一示例。图5是示出包括第一示例图的连接块的封闭室的正视图。图6是示出图5中的区域A的放大图，并且图7是沿图6中的X-X'线截取的截面图。

参照图4a至图7，连接块131可用于连接三个支撑框架1201-1203。

连接块131可以包括凹槽部分220、第一连接部分221、第二连接部分222和第三连接部分223。

例如，凹槽部分220可以具有已经插入内部的形状。例如，第一连接部分221可设置在第一轴线上并连接到第一支撑框架1201。例如，第二连接部分222可设置在第二轴线上并连接到第二支撑框架1202。例如，第三连接部分223可设置在第三轴线上并连接到第三支撑框架1203。第一轴线是x轴，第二轴线是垂直于第一轴线的y轴，并且第三轴线可以是分别垂直于第一轴线和第二轴线的z轴。

第一连接部分221至第三连接部分223可以一体地形成。第一连接部分221至第三连接部分223可以与凹槽部分220接触。例如，第二连接部分222的第一侧222a可以与第一连接部分221的第一侧221a接触。第三连接部分223的第一侧223a可以与第一连接部分221的第二侧221b接触，并且第三连接部分223的第二侧223b可以与第二连接部分222的第二侧222b接触。

第一连接部分221可以具有垂直于第二连接部分222和第三连接部分223中的每一个的一侧。第二连接部分222可以具有垂直于第一连接部分221和第三连接部分223中的每一个的一侧。第三连接部分223可以具有垂直于第一连接部分221和第二连接部分222中的每一个的一侧。

例如，第一连接部分221可以具有与第一支撑框架1201接触的一侧，第二连接部分222具有与第二支撑框架1202接触的一侧，并且第三连接部分223可以具有与第三支撑框架1203接触的一侧。因此，第一支撑框架1201可以以面对面的方式与第一连接部分221的一个表面接触，第二支撑框架1202可以以面对面的方式与第二连接部分222的一个表面接触，并且第三支撑框架1203可以以面对面的方式与第三连接部分223的一个表面接触。

例如，第一密封构件150可以设置在连接块131的第一连接部分221至第三连接部分223中的每一个与第一支撑框架1201至第三支撑框架1203之间。因此，当连接块131的第一连接部分221至第三连接部分223中的每一个和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203由紧固构件紧固时，连接块131的第一连接部分221至第三连接部分223和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203被紧固构件挤压。因此，通过紧固构件，连接块131的第一连接部分221至第三连接部分223和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203可以被密封。

例如，1-1密封构件可设置在第一连接部分221和第一支撑框架1201之间，1-2密封构件可设置在第二连接部分222和第二支撑框架1202之间，并且1-3密封构件可设置在第三连接部分223和第三支撑框架1203之间。

例如，第一密封构件150可以是垫圈。例如，第一密封构件150可以具有片状形状。例如，第一密封构件150可以由具有优异弹性特性的材料形成。例如，第一密封构件150可以由基于硅树脂的材料形成。

例如，垫圈的一侧可以与第一连接部分221至第三连接部分223的每一个的一侧接触，并且垫圈的另一侧可以与第一支撑框架1201至第三支撑框架1203的一侧接触。因此，第一连接部分221至第三连接部分223和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203都可以被挤压成面对面的面，以进一步提高密封性能。

例如，第二密封构件171、172可以设置在与第一面板至第三面板紧固的第一支撑框架1201至第三支撑框架1203上。当使用紧固构件将第一面板至第三面板紧固到第一支撑框架1201至第三支撑框架1203时，第一面板至第三面板和第二密封构件171、172被第一支撑框架1201至第三支撑框架1203挤压。因此，第一面板至第三面板和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203可以被密封。第二密封构件171、172可以是O形环，但不限于此。

例如，在连接块131的第一连接部分221至第三连接部分223的每一个中，可以形成多个孔251-254。例如，多个孔261-264可以形成在第一密封构件150(即垫圈)中。

当第一密封构件150设置在连接块131的第一连接部分221至第三连接部分223上时，第一密封构件150的多个孔261-264可以与第一连接部分221至第三连接部分223的多个孔251-254相同地定位。因此，在紧固构件穿过第一连接部分221至第三连接部分223的多个孔251至254和第一密封构件150的多个孔261至264之后，可以将其紧固到支撑框架1201至1203。

即使在第一密封构件150中形成多个孔261-263并且穿过紧固构件，由于第一密封构件150形成为片状形状并且第一连接部分221至第三连接部分223和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203以面对面的方式彼此接触，所以第一连接部分221至第三连接部分223和第一支撑框架1201至第三支撑框架1203可以被完全密封。

尽管未示出，但是用于将第一密封构件150固定到第一连接部分221至第三连接部分223的多个孔可以形成在第一密封构件150中。

图9a是示出根据实施方式的封闭室的立体图，并且图9b是在图9a的封闭室的区域B中示出的连接块的第二示例。

参照图9a和图9b，连接块132可用于连接四个支撑框架1211-1214。

连接块132可以包括凹槽部分230、第一连接部分231、第二连接部分232、第三连接部分233和第四连接部分234。

例如，凹槽部分230可以具有已经插入内部的形状。例如，第一连接部分231可设置在第一轴线上并连接到第一支撑框架1211。第一轴线可以是x轴。例如，第二连接部分232可设置在第二轴线上并连接到第二支撑框架1212。第二轴线可以是y轴。例如，第三连接部分233可设置在第三轴线上并连接到第三支撑框架1213。第三轴线可以是z轴。第一轴线、第二轴线和第三轴线可以彼此垂直。例如，第四连接部分234可设置成面向第一连接部分231并连接到第四支撑框架1214。第四连接部分234可以设置成与第一连接部分231间隔开，凹槽部分230插入其间。

第一连接部分231至第四连接部分234可以一体地形成。第一连接部分231至第四连接部分234可以与凹槽部分230接触。例如，第二连接部分232的第一侧可以与第一连接部分231的第一侧接触。第三连接部分233的第一侧可以与第一连接部分231的第二侧接触，并且第三连接部分233的第二侧可以与第二连接部分232的第二侧接触。第四连接部分234的第一侧可以与第二连接部分232的第三侧接触，并且第四连接部分234的第二侧可以与第三连接部分233的第三侧接触。

第一连接部分231可以具有垂直于第二连接部分232和第三连接部分233中的每一个并且平行于第四连接部分234的一侧。第二连接部分232可以具有垂直于第一连接部分231和第三连接部分233中的每一个的一侧。第三连接部分233可以具有垂直于第一连接部分231和第二连接部分232中的每一个的一侧。

例如，第一连接部分231可以具有与第一支撑框架1211接触的一侧，并且第二连接部分232可以具有与第二支撑框架1212接触的一侧。例如，第三连接部分233可以具有与第三支撑框架1213接触的一侧，并且第四连接部分234可以具有与第四支撑框架1214接触的一侧。因此，第一支撑框架1211可以以面对面的方式与第一连接部分231的一侧接触，并且第二支撑框架1212可以以面对面的方式与第二连接部分232的一侧接触。此外，第三支撑框架1213可以以面对面的方式与第三连接部分233的一侧接触，并且第四支撑框架1214可以以面对面的方式与第四连接部分234的一侧接触。

例如，第一密封构件150可以设置在连接块132的第一连接部分231至第四连接部分234中的每一个与第一支撑框架1211至第四支撑框架1214之间。因此，当连接块132的第一连接部分231至第四连接部分234中的每一个和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214由紧固构件紧固时，连接块132的第一连接部分231至第四连接部分234和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214被紧固构件挤压。因此，连接块132的第一连接部分231至第四连接部分234中的每一个和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214可以被紧固构件密封。

例如，可以在第一连接部分231和第一支撑框架1211之间设置1-1密封构件，并且可以在第二连接部分232和第二支撑框架1212之间设置1-2密封构件。例如，可以在第三连接部分233和第三支撑框架1213之间设置1-3密封构件，并且可以在第四连接部分234和第四支撑框架1214之间设置1-4密封构件。

例如，第一密封构件150可以是垫圈。该垫圈可以具有与图8所示的垫圈相同的形状，但不限于此。

例如，第一密封构件150可以具有片状形状。例如，第一密封构件150可以由具有优异弹性特性的材料形成。例如，第一密封构件150可以由基于硅树脂的材料形成。

例如，垫圈的一侧可以与第一连接部分231至第四连接部分234中的每一个的一侧接触，并且垫圈的另一侧可以与第一支撑框架1211至第四支撑框架1214的一侧接触。因此，第一连接部分231至第四连接部分234和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214两者可以被挤压成面对面的面，由此进一步改进密封性能。

例如，第二密封构件(图7的171、172)可以布置在与第一面板1511至第四面板1514紧固的第一支撑框架1211至第四支撑框架1214上。当使用紧固构件将第一面板1511至第四面板1514紧固到第一支撑框架1211至第四支撑框架1214时，第二密封构件171和172被第一面板1511至第四面板1514和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214挤压。因此，第一面板1511至第四面板1514和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214可以被密封。第二密封构件171、172可以是O形环，但不限于此。

例如，可以在连接块132的第一连接部分231至第四连接部分234的每一个中形成多个孔271-274。例如，多个孔(图8的261-264)可以形成在第一密封构件150(即垫圈)中。

当第一密封构件150设置在连接块132的第一连接部分231至第四连接部分234上时，第一密封构件150的多个孔261-264可以与第一连接部分231至第四连接部分234的多个孔271-274相同地定位。因此，在紧固构件穿过第一连接部分231至第四连接部分234的多个孔271-274和第一密封构件150的多个孔261-264之后，可以将其紧固到第一支撑框架1211至第四支撑框架1214。

即使在第一密封构件150中形成多个孔261-263并且穿过紧固构件，由于第一密封构件150形成为片状形状并且第一连接部分231至第四连接部分234和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214以面对面的方式彼此接触，第一连接部分231至第四连接部分234和第一支撑框架1211至第四支撑框架1214可以被完全密封。

尽管未示出，但是用于将第一密封构件150固定到第一连接部分231至第四连接部分234的多个孔可以形成在第一密封构件150中。

图10a是示出根据实施方式的封闭室的立体图，并且图10b是在图10a的封闭室的区域C中示出的连接块的第三示例。图11是示出包括第三示例图的连接块的封闭室的正视图，并且图12是示出图11中的区域D的放大视图。

参照图10a至图12，连接块133可用于连接四个支撑框架1221-1224。

连接块133可以包括凹槽部分240、第一连接部分241、第二连接部分242、第三连接部分243、第四连接部分244和虚设部分245。

例如，凹槽部分240可以具有已经插入内部的形状。例如，第一连接部分241可设置在第一轴线上并连接到第一支撑框架1221。第一轴线可以是y轴。例如，第二连接部分242可设置在第二轴线上并连接到第二支撑框架1222。第二轴线可以是z轴。例如，第三连接部分243可以设置成面向第一连接部分241。第四连接部分244可以设置成面向第二连接部分242。第一轴线和第二轴线可以彼此垂直。

第一连接部分241至第四连接部分244可以一体地形成。第一连接部分241至第四连接部分244可以与凹槽部分240接触。例如，第二连接部分242的第一侧242a可以与第一连接部分241的第一侧241a接触，并且第三连接部分243的第一侧243a可以与第二连接部分242的第二侧242b接触。第四连接部分244的第一侧244a可以与第三连接部分243的第二侧243b接触，并且第四连接部分244的第二侧244b可以与第一连接部分241的第二侧241b接触。

第一连接部分241可以具有垂直于第二连接部分242和第四连接部分244中的每一个并且平行于第三连接部分243的一侧。第二连接部分242可以具有垂直于第一连接部分241和第三连接部分243中的每一个并且平行于第四连接部分244的一侧。

例如，第一连接部分241可以具有与第一支撑框架1221接触的一侧，并且第二连接部分242可以具有与第二支撑框架1222接触的一侧。例如，第三连接部分243可以具有与第三支撑框架1223接触的一侧，并且第四连接部分244可以具有与第四支撑框架1224接触的一侧。因此，第一支撑框架1221可以以面对面的方式与第一连接部分241的一侧接触，并且第二支撑框架1222可以以面对面的方式与第二连接部分242的一侧接触。此外，第三支撑框架1223可以以面对面的方式与第三连接部分243的一侧接触，并且第四支撑框架1224可以以面对面的方式与第四连接部分244的一侧接触。

虚设部分245可以与第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个接触。凹槽部分240可以由第一连接部分241至第四连接部分244和虚设部分245形成。虚设部分245可以是凹槽部分240的底部。虚设部分245可以与封闭室100的内部空间接触。即，封闭室100的内部可以被虚设部分245从外部阻挡。

虚设部分245可以具有正方形形状，其具有第一侧至第三侧。在这种情况下，虚设部分245的第一侧可以与第一连接部分241的第三侧接触，并且虚设部分245的第二侧可以与第二连接部分242的第三侧接触。虚设部分245的第三侧可以与第三连接部分243的第三侧接触，并且虚设部分245的第四侧可以与第四连接部分244的第三侧接触。

例如，第一密封构件150可设置在连接块133的第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个与第一支撑框架1221至第四支撑框架1224之间。因此，当连接块133的第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224被紧固构件紧固时，连接块133的第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224被紧固构件挤压。因此，连接块133的第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224可以被密封。

例如，可以在第一连接部分241和第一支撑框架1221之间设置1-1密封构件，并且可以在第二连接部分242和第二支撑框架1222之间设置1-2密封构件。例如，可以在第三连接部分243和第三支撑框架1223之间设置1-3密封构件，并且可以在第四连接部分244和第四支撑框架1224之间设置1-4密封构件。

例如，第一密封构件150可以是垫圈。该垫圈可以具有与图8所示的垫圈相同的形状，但不限于此。

例如，第一密封构件150可以具有片状形状。例如，第一密封构件150可以由具有优异弹性特性的材料形成。例如，第一密封构件150可以由基于硅树脂的材料形成。

例如，垫圈的一侧可以与第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个的一侧接触，而垫圈的另一侧可以与第一支撑框架1221至第四支撑框架1224的一侧接触。因此，第一连接部分241至第四连接部分244和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224都可以被挤压成面对面的面，以进一步提高密封性能。

例如，第二密封构件161-164可设置在与第一面板1521至第四面板1524紧固的第一支撑框架1221至第四支撑框架1224上。当使用紧固构件将第一面板1521至第四面板1524紧固到第一支撑框架1221至第四支撑框架1224时，由于第二密封构件161至164被第一面板1521至第四面板1524和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224压缩，所以第一面板1521至第四面板1524和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224可以被密封。第二密封构件161-164可以是O形环，但不限于此。

例如，可以在连接块133的第一连接部分241至第四连接部分244中的每一个中形成多个孔281-284。例如，可以在第一密封构件150(即垫圈)中形成多个孔(图8的261-264)。

当第一密封构件150设置在连接块133的第一连接部分241至第四连接部分244上时，第一密封构件150的多个孔261-264可以与第一连接部分241至第四连接部分244的多个孔281-284相同地定位。因此，在紧固构件穿过第一连接部分241至第四连接部分244的多个孔281-284和第一密封构件150的多个孔261-264之后，可以将其紧固到第一支撑框架1221至第四支撑框架1224。

即使在第一密封构件150中形成多个孔261-263并且穿过紧固构件，由于第一密封构件150形成为片状形状并且第一连接部分241至第四连接部分244和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224以面对面的方式彼此接触，第一连接部分241至第四连接部分244和第一支撑框架1221至第四支撑框架1224可以被完全密封。

尽管未示出，但是用于将第一密封构件150固定到第一连接部分241至第四连接部分244的多个孔可以形成在第一密封构件150中。

图13示出了基板，并且图14是分解图13的第二子板和第三子板的分解立体图。

如图13和图14所示，基板110可以包括多个子板111-115。

基板110可设置在支撑板105上以密封封闭室100的下侧。基板110可以由具有优异强度的轻质材料形成。例如，基板110可以由铝或铝合金形成，但不限于此。

多个子板111-115可以使用紧固构件(未示出)彼此紧固。

例如，子板111-115的一侧可具有第一延伸部分1110，其中下侧沿横向方向延伸，并且子板111-115的另一侧可具有第二延伸部分1120，其中上侧沿横向方向延伸。

在这种情况下，相邻的一个子板112的第一延伸部分1110和另一个子板113的第二延伸部分1120可以彼此竖直重叠。因此，可以形成第一延伸部分1110和第二延伸部分1120重叠的重叠区域。

紧固构件可用于紧固一个子板112的第一延伸部分1110和另一个子板113的第二延伸部分1120。此时，为了在一个子板112的第一延伸部分1110和另一个子板113的第二延伸部分1120之间进行密封，可以在一个子板112的第一延伸部分1110和另一个子板113的第二延伸部分1120之间设置第四密封构件180。也就是说，通过第四密封构件180，一个子板112的第一延伸部分1110和另一个子板113的第二延伸部分1120可以被密封。

例如，凹槽部分117可以形成在子板113的第二延伸部分1120上。第四密封构件180可以插入到凹槽部分117中。当第四密封构件180插入到凹槽部分117中时，第四密封构件180的上表面可以突出得高于第二延伸部分1120的上表面。通过使用紧固构件对一个子板112的第一延伸部分1110加压，第四密封构件180可以压靠一个子板112的第一延伸部分1110，使得一个子板112的第一延伸部分1110和另一个子板113的第二延伸部分1120可以被完全密封。

另一方面，可以沿着基板110的外缘形成凹槽部分116。第三密封构件(图15的170)可设置在凹槽部分116中。例如，第三密封构件170的一侧可以插入到凹槽部分116中，并且第三密封构件170的另一侧可以突出得高于基板110的上表面。

图15是示出支撑板、基板和支撑框架的紧固关系的截面图。

参照图15，构成最低骨架的多个支撑框架1332可与基板110和支撑板105紧固。

通过连接块131设置在不同轴向方向上的支撑框架1331和1332可以彼此连接。

例如，当使用紧固构件(未示出)紧固构成最低边缘骨架的多个支撑框架1332和基板110时，第三密封构件170可被多个支撑框架1332和基板110挤压以在多个支撑框架1332和基板110之间进行完全密封。

在一个示例中，紧固构件可以通过支撑板105和基板110紧固到支撑框架1332。

在另一个示例中，支撑板105和基板110可以使用一个紧固构件来紧固，并且基板110和支撑框架1332可以使用另一个紧固构件来紧固。

当基板110被紧固构件加压时，设置在基板110上的第三密封构件170被基板110和支撑板105挤压，使得多个支撑框架1332和基板110可以被完全密封。

图16示出了密封测试的结果。

在制造根据本实施方式的封闭室100之后，执行加压测试。即，测量当封闭室100的内部以1kPa的压力加压1小时时的泄漏压力波动。

如图16所示，可以看出在1小时内泄漏压力波动在0.25kPa以内，表明其被完全密封。

上述详细说明在所有方面都不应被解释为限制性的，而应被认为是说明性的。实施方式的范围应当由所附权利要求的合理解释来确定，并且在实施方式的等效范围内的任何改变都包括在实施方式的范围内。

工业实用性

实施方式可以应用于与外界隔绝并保持在特定气体气氛中的领域。例如，实施方式可以应用于半导体或显示器领域，但不限于此。

Claims (18)

1.一种封闭室，所述封闭室包括：

基板；

所述基板上的多个支撑框架；

多个连接块，所述多个连接块用于连接所述多个支撑框架；

多个面板，所述多个面板用于覆盖所述多个支撑框架之间的开口区域；以及

第一密封构件，所述第一密封构件设置在所述多个支撑框架和所述多个连接块之间。

2.根据权利要求1所述的封闭室，其中，所述第一密封构件以面对面的方式与所述支撑框架和所述连接块中的每一个接触。

3.根据权利要求1所述的封闭室，其中，所述第一密封构件是垫圈。

4.根据权利要求1所述的封闭室，其中，所述第一密封构件具有片状形状。

5.根据权利要求1所述的封闭室，其中，所述第一密封构件由基于硅树脂的材料形成。

6.根据权利要求1所述的封闭室，其中，所述第一密封构件包括：

凹槽部分；以及

至少三个或更多个连接部分，所述至少三个或更多个连接部分面向所述凹槽部分并且连接到至少三个或更多个支撑框架。

7.根据权利要求6所述的封闭室，其中，所述至少三个或更多个连接部分中的每一个均通过所述第一密封构件连接到所述至少三个或更多个支撑框架。

8.根据权利要求6所述的封闭室，其中，所述至少三个或更多个连接部分包括第一连接部分、第二连接部分和第三连接部分，

所述第一连接部分设置在第一轴线上，

所述第二连接部分设置在垂直于所述第一轴线的第二轴线上，并且

所述第三连接部分设置在垂直于所述第一轴线和所述第二轴线中的每者的第三轴线上。

9.根据权利要求6所述的封闭室，其中，所述至少三个或更多个连接部分包括第一连接部分、第二连接部分、第三连接部分和第四连接部分，

所述第一连接部分设置在第一轴线上，

所述第二连接部分设置在垂直于所述第一轴线的第二轴线上，

所述第三连接部分设置在垂直于所述第一轴线和所述第二轴线中的每者的第三轴线上，并且

所述第四连接部分设置成面向所述第一连接部分。

10.根据权利要求6所述的封闭室，其中，所述至少三个或更多个连接部分包括第一连接部分、第二连接部分、第三连接部分和第四连接部分，

所述第一连接部分设置在第一轴线上，

所述第二连接部分设置在垂直于所述第一轴线的第二轴线上，

所述第三连接部分设置成面向所述第一连接部分，并且

所述第四连接部分设置成面向所述第二连接部分。

11.根据权利要求10所述的封闭室，所述第一密封构件还包括设置在第三轴线上的虚设部分，所述虚设部分与所述第一连接部分至所述第四连接部分中的每一个接触并且垂直于所述第一轴线和所述第二轴线中的每者。

12.根据权利要求1所述的封闭室，所述封闭室包括：

第二密封构件，所述第二密封构件设置在所述多个支撑框架和所述多个面板之间。

13.根据权利要求12所述的封闭室，所述封闭室包括：

第三密封构件，所述第三密封构件设置在所述多个支撑框架和所述基板之间。

14.根据权利要求13所述的封闭室，其中，所述基板包括沿上表面的周边设置的凹槽(116)，并且

所述第三密封构件设置在所述凹槽中。

15.根据权利要求13所述的封闭室，其中，所述基板包括多个子板，并且

所述封闭室包括：

第四密封构件，所述第四密封构件设置在所述多个子板之间。

16.根据权利要求15所述的封闭室，其中，所述子板包括沿与相邻子板重叠的重叠区域的纵向方向设置的凹槽，并且

所述第四密封构件设置在所述凹槽中。

17.根据权利要求15所述的封闭室，其中，所述第一密封构件至所述第三密封构件中的每一个均是O形环。

18.根据权利要求1所述的封闭室，所述封闭室包括：

在所述基板下方的支撑板。

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