KR20220085471A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR20220085471A
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Abstract

기판 처리 장치가 제공된다. 기판 처리 장치는 기판이 제공된 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 잉크젯 헤드, 하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징, 및 상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{Apparatus for treating substrate and method for treating substrate}
본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판 상으로 약액을 공급하는 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 증착 그리고 세정의 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들 중 포토리소그라피 공정은 기판 상에 원하는 패턴을 형성시킨다.
포토리소그라피 공정은 기판 상에 포토 레지스트과 같은 감광액을 도포하는 도포공정, 도포된 감광막 위에 특정 패턴을 형성하는 노광공정, 그리고 노광된 감광막에서 특정 영역을 제거하는 현상공정을 포함한다. 이러한 공정들 중에 도포 공정은 기판이 일방향으로 반송하는 도중에 노즐로부터 기판으로 약액이 토출된다.
기판의 이동은 지지부재가 기판의 저면으로 가스압 및 진공압을 제공하여 그 기판을 공중 부양시킨 상태에서 이루어진다. 이 경우, 가스압 및 진공압에 의해 노즐이 건조되어 노즐 막힘에 의한 잉크젯 헤드의 수명 저하 및 공정 불량이 발생하는 문제가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판이 스테이지 상에 위치되는 경우에만 선택적으로 노즐을 개방시킴으로써, 잉크젯 헤드가 건조되어 잉크젯 헤드 막힘에 의한 잉크젯 헤드의 수명 저하 및 공정 불량이 발생하는 것을 방지하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 약액 배출홈이 폐쇄된 상태에서 잉크젯 헤드를 통해 배출되는 소량의 약액을 드레인 배관을 통해 드레인 저장부에 저장함으로써, 잉크젯 헤드가 막히는 것을 방지하여 잉크젯 헤드의 수명 저하 및 공정 불량이 발생하는 것을 방지하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 기판이 제공된 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 잉크젯 헤드, 하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징, 및 상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함한다.
상기 커버는 평판 형상을 갖고, 수평 방향으로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시킬 수 있다.
상기 커버는 상기 하우징의 내부에 삽입될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드는 제1 잉크젯 헤드 및 제2 잉크젯 헤드를 포함하고, 상기 약액 배출홈은 상기 제1 잉크젯 헤드가 삽입되는 제1 약액 배출홈 및 상기 제2 잉크젯 헤드가 삽입되는 제2 약액 배출홈을 포함할 수 있다.
상기 커버는, 상기 제1 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 제1 약액 배출홈을 폐쇄시키는 제1 커버와, 상기 제2 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 제2 약액 배출홈을 폐쇄시키는 제2 커버를 포함할 수 있다.
상기 하우징에 설치되고, 약액을 저장하는 드레인 저장부와, 상기 하우징을 관통하여 상기 약액 배출홈과 상기 드레인 저장부 사이를 연결하는 드레인 배관을 더 포함할 수 있다.
상기 약액 배출홈에 노출된 상기 드레인 배관은 상기 잉크젯 헤드와 상기 커버 사이에 배치될 수 있다.
상기 드레인 배관은 상기 드레인 저장부에 인접할수록 상기 하우징의 하면에 인접하게 형성되는 경사 프로파일을 가질 수 있다.
상기 커버는 상기 하우징의 하면과 예각을 갖도록 배치될 수 있다.
상기 커버는 상기 하우징의 하면에 설치되고, 상기 하우징의 하면을 따라 수평 방향으로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시킬 수 있다.
상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 가스압을 제공하는 가스홀과, 상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 진공압을 제공하는 흡기홀을 더 포함하되, 상기 가스압 및 상기 진공압을 이용하여 상기 스테이지 상에 상기 기판을 부상시킬 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 면은, 가스압 및 진공압을 이용하여 기판을 부상시키고, 상기 기판이 로딩되는 반입부, 상기 기판에 약액이 제공되는 도포부 및 상기 기판이 언로딩되는 반출부를 포함하는 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되어 상기 기판에 상기 약액을 제공하고, 상기 기판이 상기 스테이지 상에 배치되는 경우 개방되고, 상기 기판이 상기 스테이지 상에 배치되지 않는 경우 폐쇄되는 노즐, 상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 상기 가스압을 제공하는 가스홀, 및 상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 상기 진공압을 제공하는 흡기홀을 포함한다.
상기 노즐은, 상기 기판에 상기 약액을 제공하는 잉크젯 헤드와, 하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징과, 상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함할 수 있다.
상기 커버는 평판 형상을 갖고, 수평 방향으로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시킬 수 있다.
상기 하우징에 설치되고, 상기 약액 배출홈이 폐쇄된 상태에서 상기 약액을 저장하는 드레인 저장부와, 상기 하우징을 관통하여 상기 약액 배출홈과 상기 드레인 저장부 사이를 연결하는 드레인 배관을 더 포함할 수 있다.
상기 약액 배출홈에 노출된 상기 드레인 배관은 상기 잉크젯 헤드와 상기 커버 사이에 배치될 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 방법의 일 면은, 스테이지 상에 기판이 로딩시키고, 상기 스테이지 상에 배치된 노즐을 개방하고, 상기 노즐을 통해 상기 기판에 약액을 도포하고, 상기 노즐을 폐쇄하는 것을 포함하되, 상기 노즐은, 상기 기판에 상기 약액을 제공하는 잉크젯 헤드와, 하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징과, 상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함한다.
상기 스테이지는 상기 기판이 로딩되는 반입부, 상기 기판에 상기 약액이 제공되는 도포부 및 상기 기판이 언로딩되는 반출부를 포함하되, 상기 커버는 상기 기판이 상기 반입부에 로딩된 후에 상기 노즐을 개방시키고, 상기 커버는 상기 기판이 상기 반출부로부터 언로딩된 후에 상기 노즐을 폐쇄시킬 수 있다.
상기 스테이지는 상기 기판이 로딩되는 반입부, 상기 기판에 상기 약액이 제공되는 도포부 및 상기 기판이 언로딩되는 반출부를 포함하되, 상기 커버는 상기 기판이 상기 도포부 상으로 이동된 후에 상기 노즐을 개방시키고, 상기 커버는 상기 기판이 상기 반출부 상으로 이동되기 전에 상기 노즐을 폐쇄시킬 수 있다.
상기 노즐은, 상기 하우징에 설치되고, 상기 약액 배출홈이 폐쇄된 상태에서 상기 약액을 저장하는 드레인 저장부와, 상기 하우징을 관통하여 상기 약액 배출홈과 상기 드레인 저장부 사이를 연결하는 드레인 배관을 더 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 2의 A-A' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 4의 B-B' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 6은 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 6의 B-B' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면들이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 12의 C-C' 선을 따라 절단한 단면도들이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 12의 C-C' 선을 따라 절단한 단면도들이다.
도 17은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 도 17의 D-D' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 19 및 도 20은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 19는 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이고, 도 20은 도 19의 D-D' 선을 따라 절단한 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참고하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참고 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참고하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참고하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참고번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하에서, 도 1 내지 7을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 도 2의 A-A' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 도 4의 B-B' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 6 및 도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 6은 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 6의 B-B' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치는 스테이지(100), 복수의 홀(110), 파지부(120), 제1 가이드 레일(125), 노즐(130), 제2 가이드 레일(141), 수직 프레임(142), 지지대(143), 가스 제공부(150), 가스 제공 라인(155), 가스 흡기부(160) 및 가스 흡기 라인(165)을 포함한다.
스테이지(100)는 제1 수평 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 기판(W)은 스테이지(100) 상에 제공될 수 있다. 스테이지(100)는 기판(W)을 부상시킬 수 있다.
스테이지(100)는 예를 들어, 반입부(101), 도포부(102) 및 반출부(103)를 포함할 수 있다. 반입부(101), 도포부(102) 및 반출부(103)는 제1 수평 방향(DR1)으로 순차적으로 인접하도록 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 몇몇 실시예에서, 반입부(101), 도포부(102) 및 반출부(103) 각각은 별도의 스테이지로 구성될 수 있다.
반입부(101)에는 기판(W)이 로딩될 수 있다. 도포부(102)에서는 기판(W)에 약액(10)을 제공할 수 있다. 기판(W)은 반출부(103)를 통해 스테이지(100)로부터 언로딩될 수 있다. 반출부(103)로 이동된 기판(W)은 별도의 반송 유닛을 이용하여 이동될 수 있다.
스테이지(100)에는 그 내부를 관통하는 복수의 홀(110)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 반입부(101), 도포부(102) 및 반출부(103) 각각에는 그 내부를 관통하는 복수의 홀(110)이 형성될 수 있다. 복수의 홀(110) 각각은 제1 수평 방향(DR1) 및 제1 수평 방향(DR1)과 수직인 제2 수평 방향(DR2)에 의해 정의되는 평면 상에서 서로 이격되어 배열될 수 있다.
복수의 홀(110)은 가스홀(111), 흡기홀(112) 및 배기홀(113)을 포함할 수 있다. 가스홀(111)을 통해 스테이지(100)의 상부를 향해 가스압이 제공될 수 있다. 흡기홀(112)을 통해 스테이지(100)의 상부에 진공압을 제공할 수 있다. 즉, 흡기홀(112)을 통해 스테이지(100)의 상부에 존재하는 가스가 흡기될 수 있다. 배기홀(113)을 통해 스테이지(100)의 상부에 존재하는 가스가 스테이지(100)의 하부로 배기될 수 있다.
가스홀(111)은 반입부(101), 도포부(102) 및 반출부(103) 각각에 형성될 수 있다. 기판(W)이 스테이지(100) 상에 로딩되기 전부터 스테이지(100)로부터 언로딩될 때까지 가스홀(111)을 통해 지속적으로 가스압이 스테이지(100)의 상부를 향해 제공될 수 있다.
흡기홀(112)은 도포부(102)에 형성될 수 있다. 흡기홀(112)은 예를 들어, 반입부(101) 및 반출부(103) 각각에는 형성되지 않을 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 몇몇 실시예에서, 흡기홀(112)은 반입부(101) 및 반출부(103) 각각에도 형성될 수 있다.
기판(W)이 스테이지(100) 상에 로딩된 후부터 스테이지(100)로부터 언로딩될 때까지 흡기홀(112)을 통해 진공압이 스테이지(100)의 상부에 제공될 수 있다. 즉, 기판(W)이 스테이지(100) 상에 로딩된 후부터 스테이지(100)로부터 언로딩될 때까지 흡기홀(112)을 통해 스테이지(100)의 상부에 존재하는 가스가 흡기될 수 있다.
배기홀(113)은 반입부(101) 및 반출부(103) 각각에 형성될 수 있다. 기판(W)이 스테이지(100) 상에 로딩되기 전부터 스테이지(100)로부터 언로딩될 때까지 배기홀(113)을 통해 지속적으로 스테이지(100)의 상부에 존재하는 가스가 스테이지(100)의 하부로 배기될 수 있다.
제1 가이드 레일(125)은 스테이지(100)의 제2 수평 방향(DR2)의 양 측에 배치될 수 있다. 제1 가이드 레일(125)은 제1 수평 방향(DR1)으로 연장될 수 있다.
파지부(120)는 제1 가이드 레일(125)에 연결될 수 있다. 파지부(120)는 스테이지(100)의 제2 수평 방향(DR2)의 양 측에 배치될 수 있다. 파지부(120)는 제1 가이드 레일(125)을 따라 제1 수평 방향(DR1)으로 이동될 수 있다. 파지부(120)는 스테이지(100)의 제2 수평 방향(DR2)의 양 측에 배치될 수 있다.
파지부(120)는 제1 가이드 레일(125)에 연결된 제1 부분(121) 및 제1 부분(121)으로부터 스테이지(100)를 향해 돌출된 제2 부분(122)을 포함할 수 있다. 스테이지(100) 상에 로딩된 기판(W)은 파지부(120)에 의해 스테이지(100) 상에 파지될 수 있다. 기판(W)은 파지부(120)에 의해 파지된 상태로 제1 수평 방향(DR1)으로 이동될 수 있다.
제2 가이드 레일(141)은 스테이지(100)의 제2 수평 방향(DR2)의 양 측에 배치될 수 있다. 제1 가이드 레일(125)은 제2 가이드 레일(141)과 스테이지(100) 사이에 배치될 수 있다. 제2 가이드 레일(141)은 제1 수평 방향(DR1)으로 연장될 수 있다.
수직 프레임(142)은 스테이지(100)의 제2 수평 방향(DR2)의 양 측에 배치될 수 있다. 수직 프레임(142)은 제2 가이드 레일(141)에 연결될 수 있다. 수직 프레임(142)은 제2 가이드 레일(141)을 따라 제1 수평 방향(DR1)으로 이동될 수 있다. 지지대(143)는 2개의 수직 프레임(142) 사이를 연결할 수 있다. 지지대(143)는 스테이지(100) 상에서 제2 수평 방향(DR2)으로 연장될 수 있다.
가스 제공부(150)는 가스 제공 라인(155)을 통해 가스홀(111)에 연결될 수 있다. 가스 제공부(150)는 가스홀(111)을 통해 스테이지(100)의 상부에 가스압을 제공할 수 있다.
가스 흡기부(160)는 가스 흡기 라인(165)을 통해 흡기홀(112)에 연결될 수 있다. 가스 흡기부(160)는 흡기홀(112)을 통해 스테이지(100)의 상부에 진공압을 제공할 수 있다.
스테이지(100)는 가스 제공부(150)로부터 제공되는 가스압 및 가스 흡기부(160)로부터 제공되는 진공압을 이용하여 기판(W)을 부상시킬 수 있다.
노즐(130)은 스테이지(100) 상에 수직 방향(DR3)으로 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 노즐(130)은 도포부(102) 상에 배치될 수 있다. 노즐(130)은 지지대(143)에 연결될 수 있다. 노즐(130)은 지지대(143)를 따라 제2 수평 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 노즐(130)은 지지대(143)에 연결되어 제2 가이드 레일(141)을 따라 제1 수평 방향(DR1)으로 이동될 수 있다.
노즐(130)은 도포부(102) 상에 위치된 기판(W)에 약액(10)을 제공할 수 있다. 약액(10)은 예를 들어, 포토 레지스트 공정에 이용되는 감광액일 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
노즐(130)은 하우징(131), 약액 배출홈(132), 잉크젯 헤드(133) 및 커버(134)를 포함할 수 있다.
하우징(131)은 지지대(143)에 연결될 수 있다. 하우징(131)은 그 내부에 복수의 구성이 배치되는 외곽 프레임의 기능을 수행할 수 있다.
약액 배출홈(132)은 스테이지(100)와 마주보는 하우징(131)의 하면(131a)에 형성될 수 있다. 약액 배출홈(132)은 하우징(131)의 하면(131a)으로부터 수직 방향(DR3)으로 만입되도록 형성될 수 있다.
약액 배출홈(132)은 복수 개가 형성될 수 있다. 약액 배출홈(132) 각각은 예를 들어, 제1 수평 방향(DR1) 및 제2 수평 방향(DR2)으로 서로 이격될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
예를 들어, 약액 배출홈(132)은 제1 약액 배출홈(132_1) 및 제1 약액 배출홈(132_1)과 제2 수평 방향(DR2)으로 이격된 제2 약액 배출홈(132_2)을 포함할 수 있다. 제1 약액 배출홈(132_1)은 제1 수평 방향(DR1)으로 서로 이격되어 정렬될 수 있다. 제2 약액 배출홈(132_2)은 제1 수평 방향(DR1)으로 서로 이격되어 정렬될 수 있다.
잉크젯 헤드(133)는 약액 배출홈(132) 각각에 삽입될 수 있다. 잉크젯 헤드(133)는 1개의 약액 배출홈(132)에 복수 개가 삽입될 수 있다. 도 4 및 도 5에는 1개의 약액 배출홈(132)에 5개의 잉크젯 헤드(133)가 삽입되는 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적인 것이고, 1개의 약액 배출홈(132)에 삽입되는 잉크젯 헤드(133)의 개수는 제한되지 않는다.
예를 들어, 잉크젯 헤드(133)는 제1 잉크젯 헤드(133_1) 및 제2 잉크젯 헤드(133_2)를 포함할 수 있다. 제1 잉크젯 헤드(133_1)는 제1 약액 배출홈(132_1)에 삽입될 수 있다. 제2 잉크젯 헤드(133_2)는 제2 약액 배출홈(132_2)에 삽입될 수 있다.
잉크젯 헤드(133)의 하면은 하우징(131)의 하면(131a)보다 높게 형성될 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드(133)의 하면은 하우징(131)의 하면(131a)보다 지지대(143)에 인접하게 형성될 수 있다. 잉크젯 헤드(133)는 약액(10)을 배출할 수 있다. 잉크젯 헤드(133)로부터 배출된 약액(10)은 기판(W)에 제공될 수 있다.
커버(134)는 하우징(131)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 커버(134)는 하우징(131)의 내부에 삽입될 수 있다. 커버(134)는 제2 수평 방향(DR2)의 역방향 또는 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 개폐시킬 수 있다. 커버(134)는 예를 들어, 평판 형상을 가질 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
예를 들어, 커버(134)는 제1 커버(134_1) 및 제2 커버(134_2)를 포함할 수 있다. 제1 커버(134_1)는 제1 수평 방향(DR1)으로 서로 이격되어 정렬될 수 있다. 제2 커버(134_2)는 제1 수평 방향(DR1)으로 서로 이격되어 정렬될 수 있다.
제1 커버(134_1)는 제1 잉크젯 헤드(133_1)의 하부로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 폐쇄시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 커버(134_1)는 제2 수평 방향(DR2)의 역방향으로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 폐쇄시킬 수 있다. 제1 커버(134_1)는 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 개방시킬 수 있다.
제2 커버(134_2)는 제2 잉크젯 헤드(133_2)의 하부로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 폐쇄시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 커버(134_2)는 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 폐쇄시킬 수 있다. 제2 커버(134_2)는 제2 수평 방향(DR2)의 역방향으로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 개방시킬 수 있다.
커버(134)는 기판(W)이 스테이지(100) 상에 배치되는 경우, 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 개방시킬 수 있다. 또한, 커버(134)는 기판(W)이 스테이지(100) 상에 배치되는 않는 경우, 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 폐쇄시킬 수 있다.
이하에서, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법을 설명한다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법은 스테이지(100)의 반입부(101) 상에 기판(W)이 로딩될 수 있다(S110). 이어서, 노즐(130)의 커버(134)가 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 개방시킬 수 있다(S120). 이로 인해, 잉크젯 헤드(133)가 약액 배출홈(132)으로 통해 노출될 수 있다.
이어서, 기판(W)이 스테이지(100)의 도포부(102) 상으로 이동될 수 있다(S130). 이어서, 스테이지(100)의 도포부(102) 상에 위치된 기판(W)에 잉크젯 헤드(133)로부터 배출된 약액(10)이 도포될 수 있다(S140).
이어서, 약액(10)이 도포된 기판(W)이 스테이지(100)의 반출부(103) 상으로 이동될 수 있다(S150). 이어서, 약액(10)이 도포된 기판(W)이 스테이지(100)의 반출부(103)로부터 언로딩될 수 있다(S160). 이어서, 노즐(130)의 커버(134)가 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 폐쇄시킬 수 있다(S170).
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 기판(W)이 스테이지(100) 상에 위치되는 경우에만 선택적으로 노즐(130)을 개방시킴으로써, 잉크젯 헤드(133)가 건조되어 잉크젯 헤드(133) 막힘에 의한 잉크젯 헤드(133)의 수명 저하 및 공정 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이하에서, 도 1 내지 도 7, 도 9를 참조하여 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법을 설명한다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 내지 도 7, 도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 방법은 스테이지(100)의 반입부(101) 상에 기판(W)이 로딩될 수 있다(S210). 이어서, 기판(W)이 스테이지(100)의 도포부(102) 상으로 이동될 수 있다(S220).
이어서, 노즐(130)의 커버(134)가 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 개방시킬 수 있다(S230). 이로 인해, 잉크젯 헤드(133)가 약액 배출홈(132)으로 통해 노출될 수 있다.
이어서, 스테이지(100)의 도포부(102) 상에 위치된 기판(W)에 잉크젯 헤드(133)로부터 배출된 약액(10)이 도포될 수 있다(S240). 이어서, 노즐(130)의 커버(134)가 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 폐쇄시킬 수 있다(S250).
이어서, 약액(10)이 도포된 기판(W)이 스테이지(100)의 반출부(103) 상으로 이동될 수 있다(S260). 이어서, 약액(10)이 도포된 기판(W)이 스테이지(100)의 반출부(103)로부터 언로딩될 수 있다(S270).
이하에서, 도 10 및 도 11을 참조하여 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명한다. 도 1 내지 도 7에 도시된 기판 처리 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면들이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치는 1개의 커버(234_1)가 제1 약액 배출홈(132_1)을 개폐시키고, 1개의 커버(234_2)가 제2 약액 배출홈(132_2)을 개폐시킬 수 있다.
예를 들어, 노즐(230)에 2개의 커버(234_1, 234_2)가 배치될 수 있다. 커버(234)는 제1 커버(234_1) 및 제2 커버(234_2)를 포함할 수 있다. 1개의 제1 커버(234_1)는 제2 수평 방향(DR2)의 역방향으로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 폐쇄시킬 수 있다. 1개의 제1 커버(234_1)는 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 개방시킬 수 있다.
또한, 1개의 제2 커버(234_2)는 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 폐쇄시킬 수 있다. 1개의 제2 커버(234_2)는 제2 수평 방향(DR2)의 역방향으로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 개방시킬 수 있다.
이하에서, 도 12 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명한다. 도 1 내지 도 7에 도시된 기판 처리 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 12는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이다. 도 13 및 도 14는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 12의 C-C' 선을 따라 절단한 단면도들이다.
도 12 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치는 노즐(330)이 드레인 저장부(370) 및 드레인 배관(375)을 포함할 수 있다.
드레인 저장부(370)는 하우징(131)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 드레인 저장부(370)는 하우징(131)의 하부 측벽에 연결될 수 있다. 예를 들어, 드레인 저장부(370)는 하우징(131)의 제2 수평 방향(DR2)의 양 측벽에 각각 연결될 수 있다.
드레인 저장부(370)는 약액 배출홈(132)이 폐쇄된 상태에서 잉크젯 헤드(133)로부터 배출된 약액(10)을 저장할 수 있다. 예를 들어, 제1 약액 배출홈(132_1)에 인접한 하우징(131)의 측벽에 연결된 드레인 저장부(370)는 제1 잉크젯 헤드(133_1)로부터 배출된 약액(10)을 저장할 수 있다. 또한, 제2 약액 배출홈(132_2)에 인접한 하우징(131)의 측벽에 연결된 드레인 저장부(370)는 제2 잉크젯 헤드(133_2)로부터 배출된 약액(10)을 저장할 수 있다.
드레인 배관(375)은 하우징(131)의 측벽을 관통하여 약액 배출홈(132) 각각과 드레인 저장부(370) 사이를 연결할 수 있다. 예를 들어, 드레인 배관(375)은 제1 약액 배출홈(132_1)과 제1 약액 배출홈(132_1)에 인접한 하우징(131)의 측벽에 연결된 드레인 저장부(370) 사이를 연결할 수 있다. 또한, 드레인 배관(375)은 제2 약액 배출홈(132_2)과 제2 약액 배출홈(132_2)에 인접한 하우징(131)의 측벽에 연결된 드레인 저장부(370) 사이를 연결할 수 있다.
약액 배출홈(132)에 노출된 드레인 배관(375)의 일단은 잉크젯 헤드(133)와 커버(134) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 약액 배출홈(132_1)에 노출된 드레인 배관(375)의 일단은 제1 잉크젯 헤드(133_1)와 제1 커버(134_1) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 제2 약액 배출홈(132_2)에 노출된 드레인 배관(375)의 일단은 제2 잉크젯 헤드(133_2)와 제2 커버(134_2) 사이에 배치될 수 있다.
드레인 배관(375)은 경사 프로파일을 가질 수 있다. 예를 들어, 드레인 배관(375)은 드레인 저장부(370)에 인접할수록 하우징(131)의 하면(131a)에 인접하게 형성되는 경사 프로파일을 가질 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 다른 몇몇 실시예에서, 드레인 배관(375)은 하우징(131)의 하면(131a)과 평행하게 형성될 수 있다.
도 8 및 도 9에 도시된 기판 처리 방법들에서 노즐(130)이 폐쇄된 상태에서 잉크젯 헤드(133)로부터 배출된 약액(10)은 경사 프로파일을 갖는 드레인 배관(375)을 통해 드레인 저장부(370)에 효과적으로 저장될 수 있다.
본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 약액 배출홈(132)이 폐쇄된 상태에서 잉크젯 헤드(133)를 통해 배출되는 소량의 약액(10)을 드레인 배관(375)을 통해 드레인 저장부(370)에 저장함으로써, 잉크젯 헤드(133)가 막히는 것을 방지하여 잉크젯 헤드(133)의 수명 저하 및 공정 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이하에서, 도 15 및 도 16을 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명한다. 도 12 내지 도 14에 도시된 기판 처리 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 12의 C-C' 선을 따라 절단한 단면도들이다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치는 노즐(430)에 설치된 커버(434_1, 434_2)가 하우징(131)의 하면과 예각을 갖도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 제1 커버(434_1)는 제1 약액 배출홈(132_1)의 일 측에 배치된 드레인 저장부(370)에 인접할수록 하우징(131)의 하면(131a)에 인접하게 형성되는 경사 프로파일을 가질 수 있다. 제1 커버(434_1)는 하우징(131)의 하면(131a)과 예각을 가질 수 있다.
또한, 제2 커버(434_2)는 제2 약액 배출홈(132_2)의 일 측에 배치된 드레인 저장부(370)에 인접할수록 하우징(131)의 하면(131a)에 인접하게 형성되는 경사 프로파일을 가질 수 있다. 제2 커버(434_2)는 하우징(131)의 하면(131a)과 예각을 가질 수 있다. 제1 커버(434_1) 및 제2 커버(434_2)는 서로 대칭으로 배치될 수 있다.
이하에서, 도 17 내지 도 20을 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명한다. 도 1 내지 도 7에 도시된 기판 처리 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 17은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이다. 도 18은 도 17의 D-D' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 19 및 도 20은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치의 노즐의 동작을 설명하기 위한 도면으로, 도 19는 노즐의 하면을 설명하기 위한 도면이고, 도 20은 도 19의 D-D' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 17 내지 도 20을 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치는 노즐(530)에 배치된 커버(534)가 하우징(131)의 하면(131a)에 설치될 수 있다. 커버(534)는 하우징(131)의 하면(131a)을 따라 수평 방향으로 이동하여 약액 배출홈(132)을 개폐시킬 수 있다.
예를 들어, 커버(534)는 제1 커버(534_1) 및 제2 커버(534_2)를 포함할 수 있다. 제1 커버(534_1)는 하우징(131)의 하면(131a)을 따라 제2 수평 방향(DR2)의 역방향으로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 폐쇄시킬 수 있다. 제1 커버(534_1)는 하우징(131)의 하면(131a)을 따라 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 제1 약액 배출홈(132_1)을 개방시킬 수 있다.
또한, 제2 커버(534_2)는 하우징(131)의 하면(131a)을 따라 제2 수평 방향(DR2)으로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 폐쇄시킬 수 있다. 제2 커버(534_2)는 하우징(131)의 하면(131a)을 따라 제2 수평 방향(DR2)의 역방향으로 이동하여 제2 약액 배출홈(132_2)을 개방시킬 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 스테이지 101: 반입부
102: 도포부 103: 반출부
111: 가스홀 112: 흡기홀
113: 배기홀 120: 파지부
125: 제1 가이드 레일 130: 노즐
131: 하우징 132: 약액 배출홈
133: 잉크젯 헤드 134: 커버
141: 제2 가이드 레일 150: 가스 제공부
155: 가스 제공 라인 160: 가스 흡기부
165: 가스 흡기 라인

Claims (20)

  1. 기판이 제공된 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 잉크젯 헤드;
    하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징; 및
    상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 커버는 평판 형상을 갖고, 수평 방향으로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 기판 처리 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 커버는 상기 하우징의 내부에 삽입되는 기판 처리 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 제1 잉크젯 헤드 및 제2 잉크젯 헤드를 포함하고,
    상기 약액 배출홈은 상기 제1 잉크젯 헤드가 삽입되는 제1 약액 배출홈 및 상기 제2 잉크젯 헤드가 삽입되는 제2 약액 배출홈을 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 커버는,
    상기 제1 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 제1 약액 배출홈을 폐쇄시키는 제1 커버와,
    상기 제2 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 제2 약액 배출홈을 폐쇄시키는 제2 커버를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 하우징에 설치되고, 약액을 저장하는 드레인 저장부와,
    상기 하우징을 관통하여 상기 약액 배출홈과 상기 드레인 저장부 사이를 연결하는 드레인 배관을 더 포함하는 기판 처리 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 약액 배출홈에 노출된 상기 드레인 배관은 상기 잉크젯 헤드와 상기 커버 사이에 배치되는 기판 처리 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 드레인 배관은 상기 드레인 저장부에 인접할수록 상기 하우징의 하면에 인접하게 형성되는 경사 프로파일을 갖는 기판 처리 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 커버는 상기 하우징의 하면과 예각을 갖도록 배치되는 기판 처리 장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 커버는 상기 하우징의 하면에 설치되고, 상기 하우징의 하면을 따라 수평 방향으로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 기판 처리 장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 가스압을 제공하는 가스홀과,
    상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 진공압을 제공하는 흡기홀을 더 포함하되,
    상기 가스압 및 상기 진공압을 이용하여 상기 스테이지 상에 상기 기판을 부상시키는 기판 처리 장치.
  12. 가스압 및 진공압을 이용하여 기판을 부상시키고, 상기 기판이 로딩되는 반입부, 상기 기판에 약액이 제공되는 도포부 및 상기 기판이 언로딩되는 반출부를 포함하는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치되어 상기 기판에 상기 약액을 제공하고, 상기 기판이 상기 스테이지 상에 배치되는 경우 개방되고, 상기 기판이 상기 스테이지 상에 배치되지 않는 경우 폐쇄되는 노즐;
    상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 상기 가스압을 제공하는 가스홀; 및
    상기 스테이지에 형성되고, 상기 기판에 상기 진공압을 제공하는 흡기홀을 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 노즐은,
    상기 기판에 상기 약액을 제공하는 잉크젯 헤드와,
    하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징과,
    상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 커버는 평판 형상을 갖고, 수평 방향으로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 기판 처리 장치.
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 하우징에 설치되고, 상기 약액 배출홈이 폐쇄된 상태에서 상기 약액을 저장하는 드레인 저장부와,
    상기 하우징을 관통하여 상기 약액 배출홈과 상기 드레인 저장부 사이를 연결하는 드레인 배관을 더 포함하는 기판 처리 장치.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 약액 배출홈에 노출된 상기 드레인 배관은 상기 잉크젯 헤드와 상기 커버 사이에 배치되는 기판 처리 장치.
  17. 스테이지 상에 기판이 로딩시키고,
    상기 스테이지 상에 배치된 노즐을 개방하고,
    상기 노즐을 통해 상기 기판에 약액을 도포하고,
    상기 노즐을 폐쇄하는 것을 포함하되,
    상기 노즐은,
    상기 기판에 상기 약액을 제공하는 잉크젯 헤드와,
    하면에 상기 잉크젯 헤드가 삽입되는 약액 배출홈이 형성된 하우징과,
    상기 하우징에 설치되고, 상기 잉크젯 헤드의 하부로 이동하여 상기 약액 배출홈을 폐쇄시키는 커버를 포함하는 기판 처리 방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 기판이 로딩되는 반입부, 상기 기판에 상기 약액이 제공되는 도포부 및 상기 기판이 언로딩되는 반출부를 포함하되,
    상기 커버는 상기 기판이 상기 반입부에 로딩된 후에 상기 노즐을 개방시키고,
    상기 커버는 상기 기판이 상기 반출부로부터 언로딩된 후에 상기 노즐을 폐쇄시키는 기판 처리 방법.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 기판이 로딩되는 반입부, 상기 기판에 상기 약액이 제공되는 도포부 및 상기 기판이 언로딩되는 반출부를 포함하되,
    상기 커버는 상기 기판이 상기 도포부 상으로 이동된 후에 상기 노즐을 개방시키고,
    상기 커버는 상기 기판이 상기 반출부 상으로 이동되기 전에 상기 노즐을 폐쇄시키는 기판 처리 방법.
  20. 제 17항에 있어서,
    상기 노즐은,
    상기 하우징에 설치되고, 상기 약액 배출홈이 폐쇄된 상태에서 상기 약액을 저장하는 드레인 저장부와,
    상기 하우징을 관통하여 상기 약액 배출홈과 상기 드레인 저장부 사이를 연결하는 드레인 배관을 더 포함하는 기판 처리 방법.
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