JP3592077B2 - 基板処理装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示器用基板等のFPD(Flat Panel Display)用基板、フォトマスク用ガラス基板、半導体基板等の基板を処理する基板処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、液晶表示器用のガラス基板等の製造プロセスにおいて、表面にレジスト膜が形成された基板にエッチング液を供給してエッチング処理を施し、その後、剥離液を基板に供給して上記レジスト膜を剥離することが行われている。
【0003】
このような処理を行う装置として、例えば、インデクサ部、エッチング処理部、剥離処理部、水洗処理部および乾燥部等を備え、インデクサ部に対して各処理部をU字型に接続された装置が一般に知られている。この装置によれば、基板は、インデクサ部にセットされたカセットから取り出され、所定の順序でエッチング処理、剥離処理等が施された後、再びインデクサ部に戻されてもとのカセットに収納される。
【0004】
ところで、基板にエッチング処理を施す方法としては、基板に対してノズルから薬液を吹き付けたり、あるいはエッチング液を貯留した処理槽に基板を浸漬する、いわゆるウエットエッチングの方法と、エッチングガスを充填したチャンバー内に基板を配置するドライエッチングの方法とがあり、上記のような装置においては、通常、エッチング処理部としてウエットエッチング処理部およびドライエッチング処理部のいずれか一方の処理部が装置に組み込まれるようになっている。
【0005】
そのため、基板の種類に応じてウエットエッチング処理とドライエッチング処理とを使い分ける場合には、ウエットエッチング処理部を備えた基板処理装置とドライエッチング処理部を備えた基板処理装置の双方を用いて基板を処理するようにしていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記各装置は、エッチング処理部を除けばその他の構成は基本的に同一あり、エッチング方法が異なるだけで2種類の基板処理装置をそのまま設置するのでは工場内で過大なスペースが占有されるばかりでなく、コストも嵩むこととなり望ましくない。
【0007】
そのため、例えば、ノズルから薬液を吹き付けるウエットエッチング処理部を備えた基板処理装置と、ドライエッチングのみを行うドライエッチング装置とを設け、ドライエッチング装置によるエッチング処理後の基板を上記基板処理装置のインデクサ部に搬入して順次搬送しつつ、エッチング処理部での処理を施すことなく通過させて剥離処理部等で処理を施すことが考えられている。つまり、基板処理装置のエッチング処理部以外の剥離処理部や水洗処理部等を共用することにより、占有スペースの縮小化とコストの節約を図ることが考えられている。しかし、この場合には、基板がウエットエッチング処理部を通過する際に悪影響を受ける、すなわち、処理槽内に存在しているミスト状のエッチング液や、ノズル、あるは処理槽内に付着したエッチング液の液滴が落下して基板に付着して基板が侵食される虞れがあり、基板の品質を確保する上で好ましくない。
【0008】
そこで、基板の搬送方向において、エッチング処理部の下流側に基板の搬入部を設け、ドライエッチング処理後の基板をこの搬入部から装置に搬入し、エッチング処理以外の処理を施してインデクサ部に搬出することも考えられる。しかし、この場合には、インデクサ部以外に基板(ドライエッチング処理後の基板)の搬入部を設けるため、例えば、無人搬送装置を用いて基板(カセット)を搬送する場合には、別途、搬送装置の走行経路を設けて制御する必要があり、装置自体の構成はもとより搬送システムの構成をも複雑化することになる。しかも、ユーザ側での装置の設置スペースとの関係で、上記搬入部を設けることができない場合には全く役に立たず、必ずしも得策とはいえない。
【0009】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、エッチング処理部を含む複数種の処理部を備えた基板処理装置において、基板に悪影響を与えることなく、エッチング処理部以外の処理部を有効に活用することができる基板処理装置を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、エッチング処理部およびこれとは別に設けられる水洗処理部を含む複数種の処理部を備え、搬入された基板を順次搬送しながら各処理部で所定の処理を施すようにした基板処理装置において、上記エッチング処理部が複数の単位処理部から構成され、これら単位処理部にそれぞれ基板にエッチング液を供給可能なエッチング液供給手段と基板に不活性液体を供給可能な不活性液供給手段とが設けられ、さらに、搬入された基板に対するエッチング処理の必要性を判別する判別手段と、上記判別手段による判別結果に基づいて上記エッチング液供給手段および不活性液供給手段を制御する制御手段とが設けられこの制御手段が、上記判別手段による基板の判別結果に応じ、エッチング処理を行う場合には、上記エッチング処理部の各単位処理部のうち少なくとも一つの単位処理部においてエッチング液を供給するとともに残りの単位処理部においては基板を保護すべく不活性液体を供給する一方、エッチング処理を行わない場合には、全ての単位処理部において基板を保護すべく不活性液体を供給するように前記エッチング液供給手段および不活性液供給手段を制御するように構成されているものである(請求項1)。
【0011】
この装置によれば、エッチング処理が必要な基板についてはエッチング処理部の少なくとも一つの単位処理部においてエッチング液が供給され、これによって基板にエッチング処理が施される。そして、それ以外の単位処理部(エッチング液が供給される単位処理部)では基板に不活性液体が供給されることにより基板が不活性液体により保護され、その結果、エッチング液の供給時にエッチング部において発生したミスト状のエッチング液が基板に付着することが阻止される。一方、エッチング処理が不要な基板に対してはエッチング部の各単位処理部において不活性液体が基板に供給される。すなわち、エッチング処理を行わない単位処理部では基板が不活性液体により保護されることにより、エッチング液の供給時に各単位処理部において発生したミスト状のエッチング液が基板に付着することが阻止される。また、液滴化したエッチング液が基板上に落下した場合でも不活性液体によってエッチング液が希釈される。そのため、エッチング処理を行わない単位処理部を通じて基板を搬送しつつ他の処理部で処理するようにしても、基板に悪影響を与えることがない。なお、請求項1の記載において「不活性液体」とは、基板との反応性に乏しく基板の品質に影響を与えない液体を意味するものである。
【0014】
なお、上記の構成においてそれぞれ異なる種類のエッチング液を各単位処理部において供給するようにすれば(請求項3)、複数の単位処理部を順次通過させながら選択的に複数種のエッチング処理を施し得るようにしながらも、必要なエッチング処理だけを適切に基板に施すことができる。
【0015】
また、上記課題を解決するために、本発明は、エッチング処理部を含む複数の処理部を備え、搬入された基板を搬送手段により順次搬送しながら各処理部で所定の処理を施すようにした基板処理装置において、搬入された基板に対するエッチング処理の必要性を判別する判別手段と、エッチング処理部に設けられるエッチング液の貯留槽と、この貯留槽における液面高さを搬送中の基板に対して相対的に変更可能とする液面高さ調整手段と、判別手段による基板の判別結果に基づいて液面高さ調整手段を制御する制御手段とを備え、エッチング処理が必要な基板に対しては基板がエッチング液に浸漬するようにエッチング液の液面高さを基板に対して調整する一方、エッチング処理が不要な基板に対しては基板がエッチング液に非浸漬となるようにエッチング液の液面高さを基板に対して調整するように上記制御手段を構成したものである(請求項4)。
【0016】
この装置によれば、エッチング処理が必要な基板については、基板がエッチング液に浸漬され、エッチング処理が不要な基板については、エッチング液に基板が浸漬されること無く搬送される。浸漬タイプの装置では、ノズル等からエッチング液を吹き付ける装置のようにエッチング処理部にミスト状のエッチング液が多量に存在することは殆どない。そのため、エッチング処理を必要としない基板を搬送しつつエッチング処理部を通じてその他の処理部で処理するようにしても、エッチング処理部において基板に悪影響を与えることがない。
【0017】
なお、基板の処理過程において、エッチング処理後には通常エッチング処理で利用したレジスト膜を剥離する工程があり、剥離工程でのレジスト膜の剥離方法は、エッチング方法に拘らず通常は共通しているため、処理部として、エッチング処理された基板に剥離液を与えてエッチング処理の際に利用したレジスト膜を剥離する剥離処理部を備えている装置に上記構成を採用するのが有効である(請求項5)。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態について図面を用いて説明する。
図1は、本発明に係る基板処理装置の第1の実施の形態を示している。この図に示す基板処理装置は、例えば、液晶表示器用のガラス基板の処理において、基板表面に所定パターンのレジスト膜が形成された基板に対してエッチング処理及び剥離処理を施す装置である。
【0019】
この装置は、同図に示すように、インデクサー10、エッチングユニット12、方向転換ユニット14および剥離ユニット16によって構成されており、インデクサー10から供給される基板を順次搬送しながら各ユニットで処理を施した後、再度、インデクサー10に基板を戻すように、他のユニット12,14,16がインデクサー10に対してU字型に接続されたレイアウト構成となっている。
【0020】
上記インデクサー10には、基板を収納したカセット2を載置するカセット載置部と、基板搬送用のロボット4が設けられ、上記カセット載置部にセットされたカセット2からロボット4により基板を取り出し、この基板を受渡し部11にセットするとともに、処理済の基板を受入れ部17から受け取ってもとのカセット2に収納するように構成されている。なお、上記受渡し部11および受入れ部17は後述のローラコンベア18a,18bにより構成されている。
【0021】
また、各カセット載置部には図示を省略するが、カセット2に付された基板識別用のバーコードを読み取るバーコードリーダーが設置されており、このバーコードの読み取りに基づいて後述のコントローラにより、当該カセット2に収納された基板の処理内容、例えば、エッチング処理の必要性等が判別されるようになっている。つまり、バーコードリーダおよびコントローラ等により本発明の判別手段が構成されている。
【0022】
上記エッチングユニット12は、ウエットエッチング処理部20(以下、単にエッチング処理部20という)、水洗処理部22および乾燥処理部24を有するとともに、基板の搬送手段としてローラコンベア18aを備えており、インデクサー10から供給される基板を例えば水平姿勢で搬送しながらエッチング処理、水洗処理および乾燥処理を順次施すように構成されている。
【0023】
各エッチング処理部20および水洗処理部22は、それぞれ処理槽を有しているとともにその内部にエッチング液や純水を供給するための多数のノズルを備えており、稼働中は、各ノズルから基板に向けてエッチング液や純水を吹き付けることにより基板にエッチング処理や水洗処理を施すように構成されている。特に、エッチング処理部20は、後に詳述するように、第1および第2の2つのエッチング部20a,20bからなり、これらエッチング部20a,20bを選択的に用いて基板にエッチング処理を施すように構成されている。なお、乾燥処理部24も同様に処理槽を有しており、例えば、その内部に備えられたスリット状のノズルから基板に向けて気体を吹き付けることにより基板に付着した液体を除去して乾燥させるように構成されている。
【0024】
上記剥離ユニット16は、剥離処理部30、水洗処理部32および乾燥処理部34を有しているとともに、ローラコンベア18bを備えており、エッチングユニット12での処理を終えた基板を搬送しながら剥離処理、水洗処理および乾燥処理を順次施すように構成されている。なお、ローラコンベア18bは、エッチングユニット12同様に基板を水平姿勢で搬送するように構成されている。
【0025】
図示を省略するが、剥離ユニット16の各処理部も基本的にはエッチングユニット12の各処理部同様に処理槽を有しており、剥離処理部30および水洗処理部32においては各処理槽内で基板に向けて剥離液や純水を吹き付けることにより剥離処理や水洗処理を施し、また、乾燥処理部34では、スリット状のノズルから基板に向けて気体を吹き付けることにより基板に付着した液体を除去して乾燥させるように各処理部が構成されている。
【0026】
上記方向転換ユニット14は、詳しく図示していないが、エッチングユニット12での処理を終えた基板を水平姿勢に保持したまま、ローラコンベア18aによる搬送方向と水平面上で直交する方向(図示の例では上方向)に移動させて剥離ユニット16に基板を搬入するように構成されている。
【0027】
図2は、上記エッチングユニット12の構成、特に、エッチング処理部20の構成を模式的に示している。
【0028】
エッチングユニット12には、同図に示すように、区画形成された複数の処理槽40が備えられている。具体的には、第1エッチング部20a(単位処理部)、第2エッチング部20b(単位処理部)、水洗処理部22および乾燥処理部24の各処理槽40が直列に備えられており、第1エッチング部20aに形成された導入口42を通じてエッチングユニット12内に基板Wを導入し、各槽間壁に形成された連絡口44を通じて基板Wを順次搬送しながら、乾燥処理部24の処理槽40に形成された導出口(図示せず)を介して上記方向転換ユニット14に基板Wを送り出すように構成されている。
【0029】
各エッチング部20a,20bは、それぞれ異なるエッチング液を基板Wに吹き付けて異なる種類の金属薄膜をエッチングするように構成されており、例えば当実施の形態においては、第1エッチング部20aにおいてアルミ(Al)膜をエッチングし、第2エッチング部20bではクロム(Cr)膜をエッチングするように構成されている。
【0030】
第1エッチング部20aの処理槽40には、同図に示すように、基板Wの搬送経路上方にエッチング液供給用の複数のノズル50が該搬送方向に並設されており、これらノズル50がエッチング液供給管54を介してタンク52に接続されている。これらノズル50は例えばコーン型のノズルで、エッチング液を基板Wに向かって円錐状に噴出するように構成されている。
【0031】
また、第1エッチング部20aの処理槽40には、エッチング液回収管58が接続され、このエッチング液回収管58がタンク52に至っているとともに、図外の廃液タンクに至る廃液管62がエッチング液回収管58から分岐され、これらエッチング液回収管58及び廃液管62にそれぞれ開閉バルブ60,64が介設されている。そして、当該第1エッチング部20aでの処理の際には、バルブ60が全開、バルブ64が全閉されることにより上記エッチング液供給管54に介設されたポンプ56の作動によりタンク52のエッチング液がノズル50に供給されるとともに、処理に供されたエッチング液がエッチング液回収管58を通じて第1液タンク52に戻され、これによってエッチング液が循環使用されるようになっている。すなわち、上記ノズル50やエッチング液供給管54等により本発明のエッチング液供給手段が構成されている。
【0032】
そして、エッチング液の入替えを行う場合等には、バルブ60が全閉、バルブ64が全開とされることによりエッチング液がエッチング液回収管58および廃液管62を通じて廃液タンクに導出されるようになっている。
【0033】
第1エッチング部20aの処理槽40には、さらに、上記ノズル50の上方に、不活性液体として純水を供給するための複数のノズル70が基板Wの搬送方向に並設されており、これらノズル70が純水供給管72を介して図外の純水供給源に接続されているとともに、この純水供給管72に開閉バルブ74が介設されている。これらノズル70もエッチング液供給用の上記ノズル50と同様コーン型のノズルで、上記開閉バルブ74の開操作に応じて円錐状に純水を噴出するように構成されており、これらノズル70や純水供給管72等により本発明の不活性液供給手段が構成されている。なお、ノズル70は、水平面上でノズル50に対してオフセットされ、これにより純水が各ノズル50の間を介して基板Wに吹き付けられるようになっている。
【0034】
以上は、第1エッチング部20aの構成であるが、第2エッチング部20bも同図に示すように第1エッチング部20aと同一の構成となっている。但し、ノズル70に接続される純水供給管76は上記純水供給管72から分岐しており、第2エッチング部20bでは、この純水供給管76に介設された開閉バルブ78の開操作によりノズル70から純水を噴出させるようになっている。
【0035】
ところで、上記のような基板処理装置は、図示を省略しているがコンピュータを構成要素とするコントローラを備えており、ローラコンベア18a、18bや方向転換ユニット14による基板Wの搬送、あるいはエッチングユニット12および剥離ユニット16の各処理部の処理動作がこのコントローラにより統括的に制御されるようになっている。
【0036】
以下、上記基板処理装置による基板Wの処理動作について説明する。
上記の基板処理装置において、図外の移載機構等によりインデクサー10のカセット載置部に基板Wを収納したカセット2が載置されると、まず、カセット2のバーコード表示が読み取られて処理内容の判別が行われる。
【0037】
つまり、エッチング処理が必要な基板Wか否かが判別され、必要な場合にはさらに、アルミ(Al)膜のエッチング処理またはクロム(Cr)膜のエッチング処理のいずれのエッチング処理が必要かが判別される。そして、各判別結果に応じて次のようにして基板Wの処理が行われる。
【0038】
▲1▼ アルミ(Al)膜のエッチング処理を行う場合
インデクサー10から受渡し部11に基板Wがセットされると、まず、ローラコンベア18aの駆動により基板Wが第1エッチング部20aの処理槽40内に搬送される。処理槽40内では、ポンプ56の駆動によりノズル50からエッチング液が供給され、これにより基板Wにエッチング処理(アルミ(Al)膜のエッチング処理)が施される。この際、例えば、ローラコンベア18aの駆動により基板Wが搬送方向に一定の範囲内で進退移動させられ、これによりエッチング処理が促進される。
【0039】
なお、エッチング液の供給中は、エッチング液回収管58のバルブ60が全開、廃液管62のバルブ64が全閉され、これによりエッチング液が循環されながら基板Wに吹き付けられる。また、純水供給管72のバルブ74は全閉され、これによりノズル70からの純水の供給は停止されている。
【0040】
こうして第1エッチング部20aにおいてエッチング処理が終了すると、ローラコンベア18aの駆動により、例えば、基板Wが第2エッチング部20bの処理槽40内を速やかに通過させられる。この際、第2エッチング部20bにおいては、ポンプ56が停止され、純水供給管76のバルブ78が全開とされる。また、エッチング液回収管58のバルブ60が全閉、廃液管62のバルブ64が全開とされ、これにより通過中の基板Wに対して純水のみが吹き付けられつつ、吹き付けられた純水がエッチング液回収管58および廃液管62を介して廃液タンクに導出されることとなる。つまり、液供給時に発生したミスト状のエッチング液が処理槽40内に存在していても、上述のように純水が基板Wに吹き付けられることにより基板Wが純水で保護されてエッチング液(第2エッチング部20bにおいて供給されるエッチング液)の基板Wへの付着が防止され、また、ノズル50や処理槽40の天井部分からエッチング液の液滴が基板W上に落下するような場合でも、純水によってエッチング液が希釈される。そのため、第2エッチング部20bにおいてエッチング液が基板Wに付着して悪影響を与えるという事態の発生が防止される。
【0041】
第2エッチング部20bの処理槽40を通過した基板Wは、さらに水洗処理部22の処理槽40に搬入される。処理槽40内では、例えば、基板Wの表裏両面に純水が吹き付けられ、これによりエッチング処理残渣等が除去される。そして、水洗処理部22での処理が終了すると、乾燥処理部24の処理槽40へと基板Wが搬送され、ここで乾燥処理が施される。
【0042】
エッチングユニット12での全ての処理が終了すると、方向転換ユニット14を介して剥離ユニット16に基板Wが送られる。そして、詳しい説明を省略するが、剥離処理部30、水洗処理部32及び乾燥処理部34を経ることにより基板Wに所定の剥離処理等が施されて受入れ部17にセットされる。
【0043】
こうして基受入れ部17にセットされた基板Wは、ロボット4によりピックアップされ、もとのカセットへと収納される。
【0044】
▲2▼ クロム(Cr)膜のエッチング処理を行う場合
受渡し部11に基板Wがセットされると、まず、ローラコンベア18aの駆動により、基板Wが第1エッチング部20aの処理槽40内を速やかに通過させられる。この際、第1エッチング部20aではポンプ56が停止され、純水供給管72のバルブ74が全開とされるとともに、エッチング液回収管58のバルブ60が全閉、廃液管62のバルブ64が全開とされる。これにより第1エッチング部20aの処理槽40を通過する基板Wに対して純水のみが吹き付けられるとともに、基板Wに吹き付けられた純水がエッチング液回収管58および廃液管62を介して廃液タンクに導出される。つまり、純水が基板Wに吹き付けられることにより基板Wが純水で保護され、処理槽40内に存在するミスト状のエッチング液(第1エッチング部20aにおいて供給されるエッチング液)の付着等が防止される。これにより第1エッチング部20aにおいてエッチング液が基板Wに付着して悪影響を与えるという事態の発生が防止される。
【0045】
第1エッチング部20aの処理槽40を通過した基板Wは、第2エッチング部20bの処理槽40に搬入される。この処理槽40内では、ポンプ56の駆動によりノズル50からエッチング液が供給され、これにより基板Wにエッチング処理(クロム(Cr)膜のエッチング処理)が施される。この際、例えば、ローラコンベア18aの駆動により基板Wが搬送方向に一定の範囲内で進退移動させられ、これによりエッチング処理が促進される。
【0046】
なお、エッチング液の供給中は、エッチング液回収管58のバルブ60が全開、廃液管62のバルブ64が全閉され、これによりエッチング液が循環されながら基板Wに吹き付けられる。また、純水供給管76のバルブ78は全閉され、これによりノズル70からの純水の供給は停止される。
【0047】
こうして第2エッチング部20bでのエッチング処理が終了すると、次いで、水洗処理部22、乾燥処理部24へと順次基板Wが搬送され、エッチングユニット12での処理が終了すると、アルミ(Al)膜のエッチング処理の場合同様に剥離ユニット16へと基板Wが搬送され、ここで剥離処置等が施され後、ロボット4により基受入れ部17からカセットへと基板Wが収納される。
【0048】
▲3▼ エッチング処理が不要な場合
このような場合としては、例えば、他の装置でエッチング処理を施した基板、具体的にはドライエッチング処理を施した基板の剥離処理をこの装置で行うような場合がある。
【0049】
この場合、受渡し部11に基板Wがセットされると、まず、ローラコンベア18aの駆動により、基板Wが第1エッチング部20aおよび第2エッチング部20bの各処理槽40内を速やかに通過させられる。この際、上記第1エッチング部20aおよび第2エッチング部20bの各ポンプ56は停止され、純水供給管72,76のバルブ74,78は全開とされる。また、各エッチング液回収管58のバルブ60が全閉、各廃液管62のバルブ64が全開とされ、これにより各エッチング部20a,20bにおいては、処理槽40を通過する基板Wに対して純水のみが吹き付けられるとともに、基板Wに吹き付けられた純水がエッチング液回収管58および廃液管62を介して廃液タンクに導出される。つまり、純水が基板Wに吹き付けられることによって基板Wが純水で保護され、各エッチング部20a,20bの処理槽40内に存在するミスト状のエッチング液等の付着が防止される。これにより各エッチング部20a,20bにおいて、エッチング液が基板Wに付着して悪影響を与えるという事態の発生が防止される。
【0050】
そして、水洗処理部22、乾燥処理部24へと順次基板Wが搬送され、さらに剥離ユニット16へと基板Wが搬送されると、ここで剥離処置等が施された後、受入れ部17にセットされてカセットへと基板Wが収納される。
【0051】
以上のように、上記装置では、基板Wの処理内容を判別し、エッチング処理を施す場合にはエッチング処理部20のいずれかのエッチング部20a,20bにおいてエッチング液を吹き付ける一方(上記▲1▼、▲2▼の場合)、エッチング処理が不要な場合には、エッチング処理部20において基板Wに純水を吹き付け、これによりエッチング液の付着等に起因して基板Wに悪影響が生じるのを防止するようにしているため(上記▲3▼の場合)、上述のように、別の装置でドライエッチング処理を施した基板Wをこの装置のインデクサー10に搬入し、ここから順次基板Wを搬送しながら剥離ユニット16でのみ処理を施した後、再度インデクサー10から搬出するという処理形態を採用した場合でも、基板Wにエッチング液による影響を与えることなく適切に剥離処理等を施すことができる。従って、エッチング処理部20以外の処理部を共通化することができ当該処理部を有効に活用することができる。
【0052】
なお、インデクサに対してエッチング処理部および剥離処理部をU字型に接続した従来のこの種の装置において、エッチング処理部と剥離処理部との間に基板の搬入部を設け、エッチング処理部を通過させることなく剥離処理部へ基板を搬入できるようにする構成も考えられる。しかし、この場合には、無人搬送装置を用いて基板(カセット)を搬送する場合には、別途、搬送装置の走行経路を設けて制御する必要があり、装置自体の構成や搬送システムの構成を複雑化したり、また、ユーザ側での装置設置スペースとの関係で搬入部を設けることができない場合も考えられ、必ずしも有効でない。これに対し、上記実施の形態の装置によれば、当該装置でのエッチング処理の必要性の有無に拘らず基板W(カセット2)の搬入出をインデクサー10に対して行うことができるので、装置自体の構成や搬送システムの構成を複雑化したり、あるいは装置の設置スペース等が問題となることがなく極めて有効である。
【0053】
また、上記実施の形態の装置では、エッチング処理部20として第1及び第22つのエッチング部20a,20bを直列的に備え、それぞれ異なる内容のエッチング処理を選択的に行い得るようにするとともに、一方のエッチング部20a(又はエッチング部20b)においてエッチング処理を施す場合には、他方のエッチング部20b(又はエッチング部20a)において基板Wに純水を吹き付けるようにし(上記▲1▼,▲2▼の場合)、これによりエッチング処理を行わないエッチング部を通過する際に不要なエッチング液が基板Wに付着等するのを防止するようにしているので、上記のようにエッチング部20a,20bを直列的に備えて、選択的にエッチング処理を行うようにしながらも、必要な処理だけを適切に基板Wに施すことができ、合理的な装置構成が達成されるという特徴がある。
【0054】
次に、本発明の第2の実施の形態について図面を用いて説明する。
図3は、第2の実施の形態に係る基板処理装置を示している。なお、第2の実施の形態に係る基板処理装置は、エッチングユニット12におけるエッチング処理部を除けば基本的には第1の実施の形態の装置と同一の構成を有しており、そのため、第1の実施の形態の装置と同一の部分については同一符号を付して説明を省略し、以下に相違点について詳述することにする。
【0055】
第2の実施の形態に係る基板処理装置は、上記エッチングユニット12のエッチング処理部20に代えて同図に示すようなエッチング処理部20′を備えた構成となっている。
【0056】
具体的に説明すると、第2の実施の形態のエッチング処理部20′は、アルミ(Al)膜のエッチング処理のみを行う単一の処理部であって、その処理槽40内には、図4(a)に示すように、ローラコンベア18aによる基板搬送路の一部を囲むように上部開口を有した薬液の浸漬槽80が設けられている。浸漬槽80の前後側壁、すなわち基板Wの搬送方向における前後側壁には、開口部82a,82bが形成されており、この開口部82a,82bを介して基板Wが浸漬槽80内を通過できるように構成されているとともに、これら開口部82a,82bがシャッター84により開閉可能となっている。開口部82a,82bは、ローラコンベア18aによる基板Wの搬入、搬出を可能とする必要最小限度の大きさとされており、通常は、同図に示すように開口部82a,82bの下側縁部までエッチング液が貯留されている。
【0057】
浸漬槽80には、タンク88から導出されたエッチング液供給管90が接続されており、このエッチング液供給管90に介設されたポンプ92の作動によりタンク88から浸漬槽80にエッチング液が供給されるようになっている。
【0058】
そして、基板Wの処理時には、シャッター84やポンプ92等が上記コントローラにより統括的に制御され、以下のようにして基板Wの処理が行われる。
【0059】
この装置の場合にもインデクサー10にカセット2が載置されると、まず、カセット2に付されたバーコードが読み取られて処理内容の判別が行われる。つまり、エッチング処理が必要な基板Wか否かが判別される。そして、各判別結果に応じて次のようにして基板Wの処理が行われる。
【0060】
▲4▼ エッチング処理が必要な場合
インデクサー10から受渡し部11に基板Wがセットされると、まず、ローラコンベア18aの駆動により基板Wがエッチング処理部20′の処理槽40内に搬送され、開口部82aを通じてエッチング処理部20′の浸漬槽80内に配置される(図4(a)参照)。その後、開口部82a,82bが閉じられ、エッチング液供給管90を介して浸漬槽80内にエッチング液が供給され、これにより、図4(b)に示すように、基板Wがエッチング液に浸漬される。この際、ローラコンベア18aの各ローラが正逆回転駆動されることにより基板Wが一定の範囲で搬送方向に進退させられ、これによりエッチング処理が促進される。
【0061】
そして、エッチング処理が終了すると開口部82a,82bが開かれて、基板Wが開口部82bを通じて搬出される。なお、図3中、符号94は、エッチング処理部20′の処理槽40内のエッチング液をタンク88に回収するためのエッチング液回収管で、浸漬槽80からオーバーフローしたエッチング液をこのエッチング液回収管94を介してタンク88に回収し、再度、エッチング液供給管90を介して浸漬槽80に供給するようになっている。これによりエッチング液が循環使用される。
【0062】
そして、エッチング処理部20′での処理が終了すると、第1の実施の形態の装置同様に、エッチングユニット12において水洗処理部22、乾燥処理部24へと順次基板Wが搬送され、さらに剥離ユニット16へと基板Wが搬送されてここで剥離処置等が施される。そして、受入れ部17に基板Wがセットされた後、ロボット4により基板Wがピックアップされてもとのカセットへと収納される。
【0063】
▲5▼ エッチング処理が不要な場合
この場合には、受渡し部11に基板Wがセットされると、ローラコンベア18aの駆動により、基板Wがエッチング処理部20の処理槽40内を速やかに通過させられる。この際、上記浸漬槽80の開口部82a,82bはいずれも開放されており、従って、基板Wはエッチング液に浸漬されることなく浸漬槽80を通過して水洗処理部22の処理槽40へと搬入される。これにより、基板Wは、エッチング処理されることなく水洗処理部22へと搬送されることとなる。なお、この装置の場合には、エッチング液をノズルから噴出させる装置と異なり、処理槽40内にミスト状のエッチング液が存在していることは殆どなく、そのため、第1の実施の形態の装置のように基板Wに積極的に純水を吹き付けながらエッチング処理部20′を通過させるようにしなくても基板Wがエッチング液の影響を受けることは殆どない。なお、ローラコンベア18aの各ローラを介して基板Wにエッチング液が付着することも考えられるが、この場合、エッチング液は基板Wの裏面にのみ付着し処理対象である基板表面に付着することはなく、そのため基板Wの品質に影響を与えることはない。
【0064】
そして、エッチング処理部20′を通過した基板Wは、以後、エッチング処理を行う場合と同様に、水洗処理部22、乾燥処理部24および剥離ユニット16へと順次搬送されつつ処理が施されて受入れ部17からもとのカセットへと収納される。
【0065】
以上のように、上記第2の実施の形態の装置では、エッチング処理を施す場合にはエッチング処理部20′において基板Wを浸漬槽80内に貯留したエッチング液に浸漬させる一方(上記▲4▼の場合)、エッチング処理が不要な場合には、浸漬槽80内のエッチング液の液面高さをローラコンベア18aによる基板の搬送経路よりも低くし、これにより基板Wをエッチング液に浸漬させることなく通過させるようにしているため(上記▲5▼の場合)、例えば、別の装置でドライエッチング処理を施した基板Wをこの装置のインデクサー10に搬入し、順次基板Wを搬送しながら剥離ユニット16でのみ処理を施した後、再度インデクサー10から搬出するという処理形態を採用しても基板Wに影響を与えることなく剥離ユニット16での処理のみを基板Wに適切に施すことができる。従って、第1の実施の形態の装置同様に、エッチングユニット12のエッチング処理部20′以外の処理部、あるいは剥離ユニット16を共通化することができ、これらエッチング処理部20′以外の各処理部を有効に活用することができる。
【0066】
ところで、第2の実施の形態では、開口部82a,82bを開閉することにより浸漬槽80に貯留されるエッチング液の液面高さを変更するように本発明の液面高さ調整手段を構成し、これによりローラコンベア18a上の基板Wをエッチング液に浸漬させ得るようにしているが、例えば、浸漬槽80に貯留されるエッチング液の液面高さをローラコンベア18aの下方の位置に保っておき、ローラコンベア18aの一部を昇降可能に構成し、基板Wを該部分で支持して下降させることにより基板Wに対するエッチング液の液面を相対的に変化させて基板Wをエッチング液に浸漬させるようにしてもよい。また、ローラコンベア18aに対して浸漬槽80自体を昇降可能に構成し、ローラコンベア18aの特定位置に基板Wを支持した状態で浸漬槽80を上昇させることにより基板Wをエッチング液に浸漬させるようにしてもよい。
【0067】
なお、第2の実施の形態の装置においてエッチング液として揮発性の高いものを用いると、浸漬槽80内のエッチング液に基板Wを浸漬させなくても、揮発したエッチング液により基板Wが影響を受けることが考えられる。そのため、第2の実施の形態の装置は無揮発性、あるいは低揮発性のエッチング液を用いる場合に有効であり、揮発性の高いエッチング液を用いる場合には第1の実施の形態の装置構成を採用するのが望ましい。
【0068】
ところで、上記第1および第2の実施の形態では、いずれもカセット2に表示されたバーコードを読み取ることにより、当該カセット2に収納された基板Wについてのエッチング処理の必要性を判別するようにしているが、例えば、受渡し部11等に投光部と受光部を有した反射型、あるいは透過型の光学センサを設置し、受光部での光の受光状態に基づいてエッチング処理の必要性を判別するようにしてもよい。勿論、バーコードリーダや光学センサを用いることなく、例えば、エッチング処理の必要な基板Wと不要な基板Wをオペレータがマニュアルで装置入力するようにしても構わない。
【0069】
また、各実施の形態では、インデクサー10に対してエッチングユニット12、方向転換ユニット14および剥離ユニット16をU字型に連結した装置構成となっているが、装置構成はこれに限られるものではなく、エッチングユニット12等を直線的に接続し、その前後両端にロード部およびアンロード部を設けるような装置構成を採用するようにしてもよい。
【0070】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、エッチング処理部の各単位処理部それぞれエッチング液供給手段と不活性液供給手段とを設け、判別手段による判別結果に応じて、エッチング処理が必要な基板についてはエッチング処理部の何れかの単位処理部においてエッチング液を供給するとともにそれ以外の単位処理部(エッチング液を供給しない単位処理部)では不活性液体を供給するようにする一方、エッチング処理が不要な基板に対してはエッチング処理部の各単位処理部において不活性液体を供給するようにしたので、エッチング処理を行わない単位処理部を通じて基板を搬送しつつ他の処理部で処理を施すようにしても、基板に悪影響を与えることがなく、基板の品質を適切に保つことができる。従って、エッチング処理部以外の処理部を共通化することができ、当該処理部をより有効に活用することができる。
【0071】
このような装置において、特に、異なる種類のエッチング液を各単位処理部において供給するようにすれば、必要なエッチング処理だけを適切に基板に施すことができ、合理的な装置構成を達成することができる。
【0072】
また、本発明は、エッチング処理部を含む複数の処理部を備え、搬入された基板を搬送手段により順次搬送しながら各処理部で所定の処理を施すようにした基板処理装置において、エッチング処理部にエッチング液の貯留槽を設け、エッチング処理が必要な基板に対しては基板がエッチング液に浸漬するようにエッチング液の液面高さを基板に対して調整する一方、エッチング処理が不要な基板に対しては基板がエッチング液に非浸漬となるようにエッチング液の液面高さを基板に対して調整するようにしたので、エッチング処理を必要としない基板をエッチング処理部を通じてその他の処理部で処理するようにしても、エッチング処理部において基板に悪影響を与えることなく、基板の品質を適切に保つことができる。従って、上記各装置同様に、エッチング処理部以外の処理部を共通化することができ当該処理部をより有効に活用することができる。
【0073】
なお、基板の処理過程において、エッチング処理後には通常エッチング処理で利用したレジスト膜を剥離する工程があり、剥離方法はエッチング方法に拘らず通常は共通しているため、処理部として、エッチング処理された基板に剥離液を与えてエッチング処理の際に利用したレジスト膜を剥離する剥離処理部を備えている装置に上記構成を採用するのが有効である。このようにすれば剥離処理部を共通化することがで、剥離処理部の有効利用は果たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板処理装置(第1の実施の形態)を示す平面模式図である。
【図2】基板処理装置の主にエッチング処理部の構成を示す側面模式図である。
【図3】本発明に係る基板処理装置(第2の実施の形態)を示す図2に対応する図である。
【図4】エッチング処理部における基板の処理動作を説明する図である。
【符号の説明】
2 カセット
4 ロボット
10 インデクサー
11 受渡し部
12 エッチングユニット
14 方向転換ユニット
16 剥離ユニット
17 受入れ部
18a,18b ローラコンベア
20,20′ エッチング処理部
20a 第1エッチング部
20b 第2エッチング部
22 水洗処理部
24 乾燥処理部
50 ノズル(エッチング液供給用)
70 ノズル(純水供給用)
W 基板

Claims (4)

  1. エッチング処理部およびこれとは別に設けられる水洗処理部を含む複数種の処理部を備え、搬入された基板を順次搬送しながら各処理部で所定の処理を施すようにした基板処理装置において、
    上記エッチング処理部が複数の単位処理部から構成され、
    これら単位処理部にそれぞれ基板にエッチング液を供給可能なエッチング液供給手段と基板に不活性液体を供給可能な不活性液供給手段とが設けられ、さらに、
    搬入された基板に対するエッチング処理の必要性を判別する判別手段と
    上記判別手段による判別結果に基づいて上記エッチング液供給手段および不活性液供給手段を制御する制御手段とが設けられ
    この制御手段は、上記判別手段による基板の判別結果に応じ、エッチング処理を行う場合には、上記エッチング処理部の各単位処理部のうち少なくとも一つの単位処理部においてエッチング液を供給するとともに残りの単位処理部においては基板を保護すべく不活性液体を供給する一方、エッチング処理を行わない場合には、全ての単位処理部において基板を保護すべく不活性液体を供給するように前記エッチング液供給手段および不活性液供給手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
  2. 各単位処理部は、それぞれ異なる種類のエッチング液を供給することを特徴とする請求項記載の基板処理装置。
  3. エッチング処理部を含む複数種の処理部を備え、搬入された基板を搬送手段により順次搬送しながら各処理部で所定の処理を施すようにした基板処理装置において、搬入された基板に対するエッチング処理の必要性を判別する判別手段と、上記エッチング処理部に設けられるエッチング液の貯留槽と、この貯留槽における液面高さを搬送中の基板に対して相対的に変更可能とする液面高さ調整手段と、上記判別手段による基板の判別結果に基づいて上記液面高さ調整手段を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、エッチング処理が必要な基板に対しては基板がエッチング液に浸漬するようにエッチング液の液面高さを基板に対して調整する一方、エッチング処理が不要な基板に対しては基板がエッチング液に非浸漬となるようにエッチング液の液面高さを基板に対して調整することを特徴とする基板処理装置。
  4. 処理部として、エッチング処理された基板に剥離液を与えてエッチング処理の際に利用したレジスト膜を剥離する剥離処理部を備えていることを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の基板処理装置。
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