KR20210097192A - 광학식 로터리 인코더, 서보모터 및 액추에이터 - Google Patents

광학식 로터리 인코더, 서보모터 및 액추에이터 Download PDF

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Abstract

광학식 로터리 인코더(1)에 있어서, 발광소자(2)로부터 사출된 검출광(7)은 회전디스크(3)의 검출트랙(11∼16)에 조사된다. 검출트랙(11∼16)의 슬릿(11a∼16a)을 통하여 얻어지는 광신호는, 고정슬릿판(4)의 슬릿패턴을 통과하여 수광소자(5)의 각 수광면(5a)에 의하여 수광된다. 검출광(7)의 유효스폿(7a)의 범위 내에 수용되도록 고정슬릿판(4)의 슬릿패턴이 형성되어 있다. 유효스폿지름이 작은 LED 등의 발광소자를 사용할 수 있어, 코스트의 저감, 장치의 소형화에 유리하다.

Description

광학식 로터리 인코더, 서보모터 및 액추에이터
본 발명은, 서보모터(servo motor)의 회전정보와, 감속기 및 모터로 구성되는 액추에이터(actuator)의 출력축의 회전정보를 검출하기 위하여 사용하는 광학식 로터리 인코더(光學式 rotary encoder)에 관한 것이다.
광학식 로터리 인코더로서는, 투과형(透過型) 및 반사형(反射型)의 광학식 로터리 인코더가 알려져 있다. 특허문헌1(도3)에 기재되어 있는 것과 같이 투과형의 광학식 로터리 인코더에서는, 측정대상인 회전축에 부착된 회전디스크의 일방(一方)의 측에 발광소자가 배치되고, 타방(他方)의 측에 수광소자가 배치된다. 발광소자로부터 사출(射出)되는 검출광(檢出光)이, 회전디스크에 형성된 슬릿패턴 및 고정슬릿판에 형성된 슬릿패턴을 통과함으로써 복수의 광신호(光信號)가 생성된다. 이들 광신호가 수광소자에 의하여 수광되어 광전변환(光電變換)된 후에 신호처리회로에 공급되어, 90° 위상이 다른 A상 및 B상의 2상 신호 등이 형성된다. 특허문헌2에 기재되어 있는 광학식 로터리 인코더에서는, 2조(2組)의 발광소자 및 수광소자를 구비하고, 회전디스크 및 고정슬릿판에 형성되어 있는 2열의 슬릿패턴을 통하여 광신호를 생성하고 있다. 이에 따라 슬릿패턴을 미세화하지 않고 검출정밀도를 높이도록 되어 있다.
: 일본국 공개특허 특개2011―172358호 공보 : 일본국 공개특허 특개2007―147396호 공보
광학식 로터리 인코더의 검출정밀도를 높임과 아울러 그 소형화, 저코스트화를 도모하기 위해서는, 1조의 발광소자 및 수광소자를 사용하여 복수 열의 슬릿패턴을 검출할 수 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 도3(a)∼도3(c)에 나타내는 광학식 로터리 인코더(100)에 있어서 발광 다이오드(LED)(101)를 광원(光源)으로 하는 경우에, LED(101)로부터 사출되는 검출광(102)의 유효스폿의 형상은 원형(圓形)이 된다. 회전디스크(103)에는 복수 열의 슬릿패턴(106)(검출트랙)이 형성되어 있고, 고정슬릿판(105)에도 복수 열의 슬릿패턴(107)이 형성되어 있다.
도3(c)에 있어서, 테두리 안을 비워둔 직사각형은 회전디스크(103)의 복수 열의 슬릿패턴(106)을 구성하고 있는 슬릿(103a)을 나타내고, 회색의 마름모꼴은 고정슬릿판(105)의 슬릿패턴(107)을 구성하고 있는 슬릿(105a)을 나타내고, 사선이 그려진 직사각형은 수광소자(104)의 수광면 패턴(108)을 구성하고 있는 수광면(104a)을 나타낸다. LED(101)로부터의 검출광(102)은, 회전디스크(103)의 슬릿패턴(106) 및 고정슬릿판(105)의 슬릿패턴(107)을 통과하여, 수광소자(104)의 각 수광면(104a)에 의하여 수광된다. 도3(c)에 나타내는 바와 같이 LED(101)로부터의 검출광(102)의 유효스폿(有效spot)(109)은, 복수 개의 마름모꼴의 슬릿(105a)으로 이루어지는 고정슬릿판(105)의 슬릿패턴을 포함하는 크기로 할 필요가 있다.
예를 들면 LED(101)의 유효스폿(109)을, 도3(c)에 있어서 가상선으로 나타내는 바와 같이 작은 지름의 유효스폿(7a)으로 하면, 고정슬릿판(105)의 슬릿패턴에 있어서의 1쌍의 슬릿(105a(1), 105a(2))이 부분적으로 유효스폿(7a)으로부터 밀려난 상태가 된다. 이 결과, 1쌍의 슬릿(105a(1), 105a(2))을 통하여 얻어지는 2상의 광신호의 수광량이 저하되어, S/N비가 높은 2상 신호를 얻을 수 없다. 유효스폿의 범위 내에 고정슬릿판(105)의 슬릿패턴을 구성하는 각 슬릿(105a)이 완전하게 수용되도록 큰 유효스폿(109)을 구비한 대형의 LED(101)를 선정할 필요가 있다. 필요한 LED(101)의 유효스폿지름을 작게 할 수 있으면, 설계자유도가 증가하여 코스트의 저감, 장치의 소형화에 유리하다.
본 발명의 목적은, 검출광의 유효스폿의 범위 내에 배치하는 데에 적합한 슬릿패턴이 형성된 고정슬릿판을 구비하고, 설계자유도의 향상, 코스트의 저감 및 소형화에 유리한 광학식 로터리 인코더를 제공하는 것에 있다.
또한 본 발명의 목적은, 이 새로운 광학식 로터리 인코더가 조립된 서보모터와, 감속기 및 모터로 구성되는 액추에이터를 제공하는 것에 있다.
상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 광학식 로터리 인코더는,
동심 모양으로 형성된 복수 열의 검출트랙을 구비하는 회전디스크와,
상기 검출트랙에 검출광을 조사하는 발광소자와,
상기 검출트랙의 각각에 있어서의 상기 검출광의 조사영역으로부터 얻어지는 광신호를 통과시키는 슬릿패턴을 구비하는 고정슬릿판과,
상기 슬릿패턴을 통과한 상기 광신호의 각각을 수광하는 수광소자를
구비하고 있고,
상기 검출트랙의 각각은, 일정한 각도 간격으로 배열된 슬릿 혹은 반사대로 구성되고,
상기 고정슬릿판의 상기 슬릿패턴은, 상기 검출트랙의 수에 대응하는 수의 슬릿열로 구성되고,
상기 슬릿열에는 복수의 제1슬릿열과 복수의 제2슬릿열이 포함되고, 상기 제1, 제2슬릿열은 상기 회전디스크의 반경방향으로 배열되어 있고,
상기 제1슬릿열은, 슬릿 배열방향의 길이가 상기 제2슬릿열보다 짧고,
상기 슬릿패턴은, 슬릿열 열방향인 상기 반경방향의 양측에 상기 제1슬릿열이 각각 위치하도록 형성되어, 상기 슬릿패턴이 상기 고정슬릿판에 있어서의 상기 검출광의 유효조사영역 내에 위치하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
예를 들면, 슬릿 배열방향의 길이가 짧은 상기 제1슬릿열은, 상기 회전디스크의 원주방향으로 2개의 제1슬릿이 제1간격으로 배열되어 있다. 이에 대하여 슬릿 배열방향의 길이가 긴 상기 제2슬릿열은, 상기 원주방향으로 상기 제1슬릿열의 상기 제1슬릿과 동일한 슬릿폭의 2개의 제2슬릿이, 상기 제1간격보다 넓은 제2간격으로 배열되어 있다.
LED 등의 발광소자로부터 사출되는 검출광의 유효스폿의 형상은 일반적으로 원형이다. 검출트랙수가 증가하면, 고정슬릿판의 슬릿패턴은 슬릿열이 증가하기 때문에 그 열방향의 사이즈가 커진다. 본 발명에서는, 슬릿열 열방향의 양측에 슬릿 배열방향의 길이가 짧은 제1슬릿열이 배치된다. 슬릿열 열방향의 양측에 슬릿 배열방향의 길이가 긴 제2슬릿열이 배치되는 경우에 비하여, 슬릿패턴의 전체를 보다 작은 유효스폿의 범위 내에 수용할 수 있다. 따라서 사이즈가 작은 LED 등의 발광소자를 사용할 수 있어, 광학식 로터리 인코더의 소형화에 유리하다.
[도1] (a)는 본 발명을 적용한 투과형의 광학식 로터리 인코더의 일례를 나타내는 설명도이고, (b)는 회전디스크의 검출트랙, 고정슬릿판의 슬릿패턴 및 수광소자의 수광면 패턴을 나타내는 설명도이고, (c)는 검출트랙, 슬릿패턴 및 수광면 패턴을 검출광의 유효스폿과 함께 확대하여 나타내는 설명도이다.
[도2] (a)는 본 발명을 적용할 수 있는 반사형의 광학식 로터리 인코더의 구성예를 나타내는 설명도이고, (b)는 본 발명의 광학식 로터리 인코더가 조립된 서보모터를 나타내는 설명도이고, (c)는 본 발명의 광학식 로터리 인코더가 조립된 액추에이터를 나타내는 설명도이다.
[도3] (a)는 투과형의 광학식 로터리 인코더의 일례를 나타내는 설명도이고, (b)는 회전디스크의 검출트랙, 고정슬릿판의 슬릿패턴 및 수광소자의 수광면 패턴을 나타내는 설명도이고, (c)는 검출트랙, 슬릿패턴 및 수광면 패턴을 검출광의 유효스폿과 함께 확대하여 나타내는 설명도이다.
이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명을 적용한 광학식 로터리 인코더(光學式 rotary encoder)의 실시형태를 설명한다.
도1(a)는 본 실시형태에 관한 투과형(透過型)의 광학식 로터리 인코더의 개략적인 구성을 나타내는 설명도이다. 광학식 로터리 인코더(1)는, 발광소자(2), 회전디스크(3), 고정슬릿판(4) 및 수광소자(5)를 구비하고 있다. 본 예에서는 발광소자(2)로서 LED를 사용하고 있다. 회전디스크(3)는, 측정대상인 회전축(6)에 부착되어, 회전축(6)과 일체(一體)로 회전한다. 발광소자(2)와 수광소자(5)는 고정된 위치에 배치되어 있고, 이들은 회전디스크(3)를 사이에 두고 회전디스크(3)의 회전중심선(3a)을 따르는 방향으로 대치(對峙)하고 있다. 고정슬릿판(4)은 수광소자(5)와 회전디스크(3)의 사이에 배치되어 있다.
도1(b)는 회전디스크(3)의 검출트랙, 고정슬릿판(4)의 슬릿패턴 및 수광소자(5)의 수광면 패턴을 나타내는 설명도이고, 도1(c)는 그 부분 확대도이다. 발광소자(2)로부터 사출(射出)되는 검출광(檢出光)(7)은, 회전디스크(3)에 수직으로 입사하여, 회전디스크(3)에 형성되어 있는 복수 열의 검출트랙에 조사(照射)된다. 본 예에서는, 회전디스크(3)의 회전중심을 중심으로 하여 동심(同心) 모양으로 6열의 검출트랙(11∼16)이 형성되어 있다. 외주측의 2열의 검출트랙(11, 12)은, 예를 들면 직사각형의 슬릿(11a, 12a)이 일정한 각도 간격으로 255개 형성되어 있는 버니어 캘리퍼스 신호 검출트랙(vernier callipers 信號 檢出track)이다. 이들 내측의 2열의 검출트랙(13, 14)은, 예를 들면 직사각형의 슬릿(13a, 14a)이 일정한 각도 간격으로 256개 형성되어 있는 주신호 검출트랙이다. 회전중심 측의 2열의 검출트랙(15, 16)은, 예를 들면 동일한 형상(동일한 폭 및 동일한 길이)의 직사각형의 슬릿(15a, 16a)이 일정한 각도 간격으로 240개 형성되어 있는 보정신호 검출트랙이다. 슬릿(11a∼16a)은, 회전디스크(3)에 형성된 광통과부(光通過部) 혹은 광투과부(光透過部)이다.
고정슬릿판(4)에는, 검출트랙(11∼16)에 대응하여 6열의 슬릿열(slit列)(21∼26)로 이루어지는 슬릿패턴이 형성되어 있다. 슬릿열(21∼26)은, 각각 회전디스크(3)의 반경방향(y)(슬릿열의 열방향)으로 배열되어 있다. 슬릿열(21∼26)은, 회전디스크(3)의 원주방향(x)(슬릿의 배열방향)으로 일정한 간격으로 배치된 1쌍의 슬릿(21a), 1쌍의 슬릿(22a), 1쌍의 슬릿(23a), 1쌍의 슬릿(24a), 1쌍의 슬릿(25a) 및 1쌍의 슬릿(26a)으로 구성되어 있다. 각 슬릿(21a∼26a)은 동일한 형상(본 예에서는 마름모꼴)의 광통과부 혹은 광투과부이다.
검출트랙(11∼16)에 조사된 검출광(7)은, 회전디스크(3)의 표면 상에 유효조사영역으로서 원형(圓形)의 유효스폿(有效spot)(7a)을 형성한다. 유효스폿(7a)의 범위 내에 위치하는 각 검출트랙(11∼16)의 슬릿(11a∼16a)을 통과한 검출광(7)은, 각 검출트랙(11∼16)의 각각에 대응하는 광신호(光信號)가 되어 고정슬릿판(4)에 조사된다. 고정슬릿판(4)의 슬릿패턴을 통과한 각 광신호는, 수광소자(5)의 각 수광면(5a)에 의하여 수광된다.
도1(c)에 있어서, 실선의 원은 유효스폿(7a)을 나타내고, 테두리 안을 비워둔 직사각형은 회전디스크(3)에 형성된 6열의 검출트랙(11∼16)의 슬릿(11a∼16a)을 나타내고, 회색의 마름모꼴은 고정슬릿판(4)에 형성된 6열의 슬릿열(21∼26)의 각 슬릿(21a∼26a)을 나타내고, 사선이 그려진 직사각형은 수광소자(5)의 수광면(5a)을 나타낸다.
고정슬릿판(4)에 있어서는, 버니어 캘리퍼스 신호발생용의 슬릿열(21, 22)에 있어서 일방(一方)의 슬릿열(21)에는, 원주방향(x)(슬릿의 배열방향)으로 슬릿(21a)(제1슬릿)이 좁은 제1각도간격(p1)으로 배열되어 있다. 회전디스크(3)의 회전에 따라, 일방의 슬릿(21a)을 통하여 얻어지는 광신호로부터 A상 신호가 생성되고, 타방(他方)의 슬릿(21a)을 통하여 얻어지는 광신호로부터 B상 신호가 생성되도록 되어 있다. 슬릿열(22)에는, 슬릿(22a)(제2슬릿)이 넓은 제2각도간격(p2)으로 배열되어 있고, 또한 슬릿(21a)에 대하여 원주방향(x)(슬릿의 배열방향)으로 소정 각도만큼 오프셋되어 있다. 이에 따라 일방의 슬릿(22a)을 통하여 얻어지는 광신호로부터 A상의 반전신호가 생성되고, 타방의 슬릿(22a)을 통하여 얻어지는 광신호로부터 B상의 반전신호가 생성되도록 되어 있다.
주신호발생용의 슬릿열(23, 24)에 있어서도 동일하다. 슬릿열(23)에는, 슬릿(23a)(제1슬릿)이 제1각도간격(p1)으로 배열되고, A상 및 B상의 2상 신호가 생성된다. 슬릿열(24)에는, 슬릿(24a)(제2슬릿)이 제2각도간격(p2)으로 배열되고, A상의 반전신호 및 B상의 반전신호가 생성된다.
이에 대하여 보정신호발생용의 슬릿열(25, 26)에 있어서는, 반경방향(y)의 외측에 위치하는 슬릿열(25)에는, 원주방향(x)으로 넓은 제2각도간격(p2)으로 슬릿(25a)(제2슬릿)이 배열되어 있다. 타방의 슬릿열(26)에는, 원주방향(x)으로 좁은 제1각도간격(p1)으로 슬릿(26a)(제1슬릿)이 배열되어 있다. 후술하는 바와 같이 수광소자(5) 측에 있어서 배선을 변경하는 등으로, 슬릿열(25)의 슬릿(25a)으로부터 얻어지는 광신호로부터 A상 및 B상의 2상 신호가 생성되고, 슬릿열(26)의 슬릿(26a)으로부터 얻어지는 광신호로부터 A상의 반전신호 및 B상의 반전신호가 얻어지도록 되어 있다.
수광소자(5)의 수광면 패턴은, 각 슬릿(21a∼26a)에 대응시켜서 12개의 수광면(5a)을 포함하고 있다. 각 수광면(5a)에 의하여 수광된 광신호는 전기신호로 변환되어 신호처리유닛(8)에 공급된다. 신호처리유닛(8)에 있어서, 공지의 신호처리에 의하여 2조의 2상 신호로 이루어지는 주신호, 2조의 2상 신호로 이루어지는 버니어 캘리퍼스 신호 및 2조의 2상 신호로 이루어지는 보정신호가 생성된다.
본 예의 광학식 로터리 인코더(1)에서의 고정슬릿판(4)의 슬릿패턴에 있어서, 반경방향(y)(슬릿열의 열방향)의 외단(外端) 및 내단(內端)에 위치하는 슬릿열(21, 26)은, 1쌍의 슬릿(21a) 및 1쌍의 슬릿(26a)이 좁은 제1각도간격(p1)으로 각각 배열되어 있다. 이에 따라 검출광(7)의 원형의 유효스폿(7a)의 범위 내에 이들 슬릿(21a, 26a)의 전체가 수용되어 있다. 도3(c)에 나타내는 고정슬릿판(105)의 슬릿패턴의 경우에는, 유효스폿(7a)보다 큰 지름의 유효스폿(109)의 LED(101)를 사용하여, 슬릿패턴을 유효스폿의 범위 내에 수용할 필요가 있다. 본 예에서는, 보다 작은 유효스폿지름의 발광소자(2)를 사용할 수 있다.
본 예에서는, 고정슬릿판(4)에 있어서 슬릿열(25, 26)의 슬릿패턴이, 다른 슬릿열(21, 22) 및 슬릿열(23, 24)의 경우와는 반대로 되어 있다. 좁은 제1각도간격(p1)의 슬릿으로부터 A상, B상의 2상 신호를 생성하고, 넓은 제2각도간격(p2)의 슬릿으로부터 2상 신호의 반전신호를 생성하도록 설계되어 있다. 이 경우에는, 넓은 제2각도간격(p2)으로 배치되어 있는 슬릿(25a)을 통하여 얻어지는 광신호를 수광하는 수광면(5a)으로부터의 출력과, 좁은 제1각도간격(p1)으로 배치되어 있는 슬릿(26a)을 통하여 얻어지는 광신호를 수광하는 수광면(5a)으로부터의 출력을 교체하여 신호처리유닛(8)에 공급되도록, 배선을 변경하면 좋다. 혹은 프로그래머블형(programmable型)의 수광소자이면, 신호배선을 변경하지 않고 내부 레지스터(신호의 할당)만을 변경하는 것으로도 충분하다. 따라서 회전디스크(3)의 검출트랙(11∼16), 수광소자(5)의 수광면 패턴 등을 변경하지 않고 고정슬릿판(4)의 슬릿패턴을 변경하여, 각 슬릿(21a∼26a)을 유효스폿(7a)의 범위 내에 수용하는 것이 용이하다.
다음에, 본 발명은 반사형(反射型)의 광학식 로터리 인코더에도 동일하게 적용할 수 있다. 도2(a)는, 반사형의 광학식 로터리 인코더의 개략적인 구성을 나타낸다. 광학식 로터리 인코더(51)의 기본구성은, 일반적인 반사형의 광학식 로터리 인코더와 동일하며, 발광소자(52), 회전디스크(53), 고정마스크(54) 및 수광소자(55)를 구비하고 있다. 회전디스크(53)는, 측정대상인 회전축(도시하지 않음)에 부착되어, 회전축과 일체로 회전한다. 발광소자(52)와 수광소자(55)는 고정된 위치에 배치되어 있고, 이들은 회전디스크(53)에 대하여 동일한 쪽에 배치되어 있다. 발광소자(52)로부터 사출되는 검출광(57)은, 회전디스크(53)의 표면에 동심 모양으로 배열되어 있는 반사대(反射帶)로 이루어지는 검출트랙(53a)에 의하여 반사되어, 고정마스크(54)에 형성되어 있는 슬릿패턴(54a)을 통하여 수광소자(55)의 수광면(55a)에 의하여 수광된다. 고정마스크(54)에 형성되어 있는 슬릿패턴은, 검출트랙(53a)에 의하여 반사되는 검출광의 유효스폿의 범위 내에 각 슬릿이 수용되도록 형성되어 있다.
도2(b)는, 본 발명을 적용한 서보모터를 나타내는 설명도이다. 서보모터(80)는, 모터본체부(81)와, 모터출력축(82)의 회전위치, 회전속도 등의 회전정보를 검출하기 위한 인코더(83)와, 모터제어유닛(84)을 구비하고 있다. 인코더(83)에는, 도1 또는 도2(a)에 나타내는 광학식 로터리 인코더(1, 51)가 사용되고 있다.
도2(c)는, 본 발명을 적용한 액추에이터(actuator)의 일례를 나타내는 설명도이다. 액추에이터(90)는, 모터(91)와, 모터(91)의 출력회전을 감속시켜서 출력하는 감속기(92)와, 감속기(92)의 출력축(93)의 회전위치, 회전속도 등의 회전정보를 검출하는 인코더(94)와, 제어유닛(95)을 구비하고 있다. 인코더(94)에는, 도1 또는 도2(a)에 나타내는 광학식 로터리 인코더(1, 51)가 사용되고 있다.
(그 이외의 실시형태)
상기의 광학식 로터리 인코더는, 캘리퍼스 방식에 의하여 슬릿패턴이 형성되어 있는 경우의 것이다. 본 발명은, 슬릿의 수가 서로 다른 복수의 슬릿열을 구비하고 있는 인크리멘털 방식(incremental 方式)의 광학식 로터리 인코더, 또는 복수의 슬릿열이 M계열의 배열패턴을 따라 형성되어 있는 광학식 로터리 인코더에도 동일하게 적용할 수 있다.
이러한 경우에는 광학식 로터리 인코더의 고정슬릿판에 형성되는 복수의 슬릿열은, 슬릿폭이 동일한 경우 혹은 슬릿폭이 다른 경우, 슬릿의 간격이 동일한 경우 혹은 슬릿의 간격이 다른 경우, 또는 슬릿의 수가 동일한 경우 혹은 슬릿의 수가 다른 경우가 있다. 어느 쪽의 경우에 있어서도, 슬릿의 배열방향의 길이가 상대적으로 긴 슬릿열을 슬릿열의 열방향에 있어서 그 중심측에 배치하고, 슬릿의 배열방향의 길이가 상대적으로 짧은 슬릿열을 슬릿열의 열방향의 양측에 배치한다. 이에 따라, 보다 작은 유효스폿지름의 범위 내에 슬릿열의 전체를 수용하는 것이 용이하게 된다.

Claims (6)

  1. 동심(同心) 모양으로 형성된 복수 열의 검출트랙을 구비하는 회전디스크와,
    상기 검출트랙에 검출광(檢出光)을 조사(照射)하는 발광소자와,
    상기 검출트랙의 각각에 있어서의 상기 검출광의 조사영역으로부터 얻어지는 광신호(光信號)를 통과시키는 슬릿패턴을 구비하는 고정슬릿판과,
    상기 슬릿패턴을 통과한 상기 광신호의 각각을 수광하는 수광소자를
    구비하고 있고,
    상기 검출트랙의 각각은, 일정한 각도 간격으로 배열된 슬릿 혹은 반사대(反射帶)로 구성되고,
    상기 고정슬릿판의 상기 슬릿패턴은, 상기 검출트랙의 수에 대응하는 수의 슬릿열(slit列)로 구성되고,
    상기 슬릿열에는 복수의 제1슬릿열과 복수의 제2슬릿열이 포함되고, 상기 제1, 제2슬릿열은 상기 회전디스크의 반경방향으로 배열되어 있고,
    상기 제1슬릿열은, 슬릿 배열방향의 길이가 상기 제2슬릿열보다 짧고,
    상기 슬릿패턴은, 슬릿열 열방향인 상기 반경방향의 양측에 상기 제1슬릿열이 각각 위치하도록 형성되어, 상기 슬릿패턴이 상기 고정슬릿판에 있어서의 상기 검출광의 유효조사영역 내에 위치하고 있는
    광학식 로터리 인코더(光學式 rotary encoder).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1슬릿열에 있어서는, 상기 회전디스크의 원주방향으로 2개의 제1슬릿이 제1간격으로 배열되어 있고,
    상기 제2슬릿열에 있어서는, 상기 원주방향으로 상기 제1슬릿열의 상기 제1슬릿과 동일한 슬릿폭의 2개의 제2슬릿이, 상기 제1간격보다 넓은 제2간격으로 배열되어 있는
    광학식 로터리 인코더.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 검출트랙은, 상기 원주방향으로 일정한 각도 간격으로 배열되며 상기 검출광을 통과시키는 슬릿을 구비하고 있고,
    상기 수광소자는, 상기 검출트랙의 상기 슬릿 및 상기 고정슬릿판의 상기 슬릿패턴을 통과하여 얻어지는 복수 조(組)의 2상의 광신호를 수광하는 복수의 수광면을 구비하고 있는
    광학식 로터리 인코더.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 회전디스크에는 6열의 상기 검출트랙이 배치되어 있고,
    상기 고정슬릿판의 상기 슬릿패턴은, 3개의 상기 제1슬릿열 및 3개의 상기 제2슬릿열을 구비하고 있고,
    상기 수광소자는, 6조의 2상의 광신호를 수광하는 12개의 수광면을 구비하고 있는
    광학식 로터리 인코더.
  5. 모터출력축의 회전정보를 검출하기 위한 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항의 광학식 로터리 인코더를 구비하고 있는 서보모터(servo motor).
  6. 모터와,
    상기 모터의 출력회전을 감속시키는 감속기와,
    상기 감속기의 출력축의 회전정보를 검출하기 위한 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항의 광학식 로터리 인코더를
    구비하고 있는 액추에이터(actuator).
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