KR20210050515A - 스프레이 측정 장치용 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

스프레이 노즐의 스프레이 분포 패턴을 결정하고 하나 이상의 노즐의 스프레이 출력을 허용하는 지그 장치를 갖는 스프레이 측정 시스템의 다양한 실시예가 개시된다.

Description

스프레이 측정 장치용 시스템 및 방법
본 발명은 일반적으로, 스프레이 측정 장치에 관한 것으로, 특히 스프레이 분포 패턴을 이해하기 위하여 배치 화학 공정 챔버 내에서 하나 이상의 스프레이 노즐의 액체 포획 레벨을 검출할 수 있는 스프레이 측정 장치용 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 습식 화학 처리를 위한 배치 화학 처리 챔버는 균일한 방식으로 처리 챔버 내부에 어레이로 적층된 다수의 웨이퍼에 화학 물질을 분사하기 위해 복수의 스프레이 노즐이 필요로 한다. 하나 이상의 스프레이 노즐의 오작동 또는 오조정된 스프레이 노즐(들)은 스프레이 분포의 불균일성을 초래하여 일관된 또는 사양에 맞는 배치 공정 완료를 방지할 수 있다. 또한 스프레이 노즐 조립체의 문제가 확인되면 배치 공정 챔버를 분해하여 오작동하는 노즐을 식별하고 수정 조치를 취하는 것이 어렵고 시간이 많이 소요될 수 있다. 따라서 배치 화학 공정 챔버 내에서 스프레이 분포를 쉽고 정확하게 모니터링하고 측정할 수 있는 시스템이 부족하다.
특히, 본 개시 내용의 다양한 양태가 고려되고 개발된 것이 염두에 둔다.
본 개시 내용은 일반적으로 스프레이 측정 장치에 관한 것으로, 특히 스프레이 분포 패턴을 이해하기 위해 배치 화학 공정 챔버 내에서 하나 이상의 스프레이 노즐의 액체 포획 수준을 검출할 수 있는 스프레이 측정 장치를 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
도 1은 어레이 또는 스프레이 노즐에 정렬되고 로터 및 배치 공정 챔버 내에 배열된 스프레이 측정 장치의 사시도.
도 2는 스프레이 분포를 측정하는데 사용하기 위한 지그 장치를 도시하는 케이싱을 갖는 스프레이 측정 장치의 사시도.
도 3은 내부 구성요소를 도시하기 위해 제거된 근위 단부 플레이트를 갖는 스프레이 측정 장치의 단부도.
도 4는 지그 장치의 차단기 플레이트를 도시하는 스프레이 측정 장치의 상면도.
도 5는 내부 구성요소를 도시하기 위해 케이싱을 도시하는 스프레이 측정 장치의 저면도.
도 6은 내부 구성요소를 도시하기 위해 케이싱을 도시하는 스프레이 측정 장치의 측면도.
도 7은 스프레이 측정 장치의 분해도.
도 8은 지그 장치를 도시하는 스프레이 측정 장치의 확대된 분해도.
도 9는 압력 변환기의 어레이를 도시하는 스프레이 측정 장치의 확대된 분해도.
도 10은 제어기, 압력 변환기 및 배터리를 도시하는 스프레이 측정 장치의 확대된 분해도.
도 11은 스프레이 측정 장치용 케이싱의 하부의 확대된 사시도.
도 12는 케이싱의 탱크를 도시하는 스프레이 측정 장치용 케이싱의 상면도.
도 13은 스프레이 측정 시스템에 의해 측정된 스프레이 노즐의 배열을 도시하는 도면.
해당 도면부호는 도면 중 해당 요소를 나타낸다. 도면에 사용된 표제는 청구항의 범위를 제한하지 않는다. 도면은 본 발명의 일 실시예의 일례이다.
일 양태에서, 스프레이 출력을 측정하고 복수의 개별 스프레이 노즐의 스프레이 분포를 결정할 수 있는 지그 장치(jig device)를 갖는 스프레이 측정 장치가 개시된다. 또 다른 양태에서, 스프레이 측정 장치는 스프레이 분포 패턴을 이해하기 위해 각각의 스프레이 노즐과 관련된 다수의 액체 포획 채널의 액체 레벨을 측정하도록 작동 가능하다. 또 다른 양태에서, 스프레이 측정 장치는 배치 시스템과 통신하는 제어기를 포함하며, 제어기는 스프레이 측정 장치가 다른 분석 모델의 검사 및 활용을 위해 배치 화학 공정 챔버 내의 특정 방향으로 수평 축을 중심으로 회전할 수 있게 한다. 추가 양태에서, 스프레이 측정 시스템은 전체 반도체 웨이퍼 부하에 걸쳐 스프레이의 균일성을 검증하여 모든 반도체 웨이퍼에서 일관된 공정 완료를 보장한다. 일부 실시예에서, 스프레이 측정 장치는 스프레이 관리 장치의 작동 동안 하나 이상의 오작동 스프레이 노즐의 식별을 허용하는 특정 웨이퍼 위치에 대응하는 각각의 슬롯 내에 배치된 복수의 차단기 플레이트를 갖는 지그 장치를 포함한다. 도면을 참조하면, 스프레이 측정 시스템의 실시예가 예시되고 일반적으로 도 1 내지 도 13에서 100으로 표시된다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 일부 실시예에서 스프레이 측정 시스템(100)은 로터(10), 로터(10) 내에 배치된 스프레이 측정 장치(101), 및 스프레이 측정 시스템(100)의 작동을 제어하고 모니터링하도록 작동 가능한 제어기(131)를 포함한다. 일부 실시예에서, 스프레이 측정 장치(101)는 보다 상세히 논의되는 바와 같이 배치 화학 공정 챔버(도시되지 않음)에서 스프레이 출력을 측정하고 다중 스프레이 노즐(12)의 스프레이 분포를 결정하기 위해 작동 가능한 지그 장치(102)를 수용하도록 구성된 케이싱(103)을 포함한다. 또한, 케이싱(103)은 스프레이 측정 장치(100)가 로터(10) 내에 배치될 수 있도록 구성되며, 로터(10)는 스프레이 출력을 측정할 때 작동 중에 배치 화학 공정 챔버 내에 배치된다. 스프레이 측정 장치(100)는 분무 분포를 결정하기 위해 분무 노즐 어레이(12)로부터 분무 출력을 특정 회전 각도로 수집하기 위해 수평 축(Z)을 따라 특정 회전 각도로 로터(10)에 의해 회전되도록 작동 가능하다.
도 1-5에 도시된 바와 같이, 일부 실시예에서 케이싱(103)은 케이싱(103)의 상부 부분(107), 제1 측면 부분(108), 제2 측면 부분(109) 및 하부 부분(110)을 형성하는 외부 표면(105) 및 내부 표면(106)을 형성한다. 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 케이싱(103)의 상부 부분(107)은 상부 챔버(128)(도 6 및 11)와 연통하는 상부 개구(127)를 형성하며, 여기서 지그 장치(102)는 상부 개구(127) 내에 부분적으로 배치되고 이를 통해 접근된다. 특히 도 4에 도시된 바와 같이, 케이싱(103)은 스프레이 측정 장치(100)가 제1 및 제2 측면 바 부분(143 및 144)을 따라 배치 화학 공정 챔버 내의 로터(10)에 결합되고 이에 고정되도록 허용하는 구조적 표면을 제공하는 케이싱(103)의 마주보는 측면에 제1 측면 바 부분(143) 및 마주보는 제2 측면 바 부분(144)을 형성한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 케이싱(103)은 케이싱(103) 내에 형성된 하부 챔버(129)의 대향 단부와 연통하는 근위 개구(111) 및 원위 개구(112)를 추가로 형성한다. 도시된 바와 같이, 근위 단부 플레이트(114)는 근위 개구와 결합하고 밀봉하도록 구성되며 원위 단부 플레이트(115)는 원위 개구(112)와 결합하고 밀봉하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 나사와 같은 고정 부재(142)는 근위 단부 플레이트(114) 및 원위 단부 플레이트(115)를 케이싱(103)에 결합시키는 데 사용된다. 일부 실시예에서, 핸들(141)은 스프레이 측정 장치(101)의 취급을 위해 근위 단부 플레이트(114)에 고정된다.
추가로 도 7 및 도 12에 도시된 바와 같이, 케이싱(103)의 상부 챔버(128)는 케이싱(103) 내에 배치된 탱크(121)와 연통하고 케이싱(103)의 구조 또는 별도의 구성 요소와 통합될 수 있다. 탱크(121)는 복수의 내부 채널(122) 및 케이싱(103)의 종축을 따라 연장되는 어레이로 형성된 한 쌍의 단부 채널(123)을 형성한다. 탱크(121)의 내부 채널(122) 및 단부 채널(123)은 하나 이상의 스프레이 노즐(12)에 대응하는 각각의 액체 포획 부위를 제공하여 특정 스프레이 노즐(12)로부터의 액체 스프레이가 아래에서 더 상세히 논의되는 바와 같이 측정을 위해 각각의 내부 채널(122) 또는 단부 채널(123) 내에 포획될 수 있다.
도 4-8에 도시된 바와 같이, 지그 장치(102)는 특정 스프레이 노즐(12)의 활성화가 이러한 스프레이 노즐(12)로부터 수집된 액체의 측정을 허용하도록 특정 웨이퍼 위치를 격리하는 수단을 제공하여 스프레이 노즐(12)이 오작동하거나 또는 조절을 필요로 하는지의 여부를 포함하는 스프레이 분포 패턴을 결정한다. 일부 실시예에서, 지그 장치(102)는 어레이로 정렬된 복수의 차단기 플레이트(116)를 포함하며, 여기서 각 차단기 플레이트(116)는 배치 화학 공정 챔버 내의 스프레이 노즐 어레이(12)의 복수의 가능한 섹션 중 스프레이 노즐 어레이(12)의 섹션에 대응한다.
일부 실시예에서, 지그 장치(102)는 개별 차단기 플레이트(116)가 각각의 슬롯(113) 내에 위치되는 복수의 슬롯(113)을 형성하는 슬롯 조립체(104)를 추가로 포함한다. 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 슬롯 조립체(104)는 슬롯 플레이트(117)의 양 단부에 배열된 각각의 슬롯 블록(119) 사이에 개재된 복수의 슬롯 플레이트(117)를 포함하며, 슬롯 조립체(104)가 제조 중에 조립될 때 근위 플레이트(124)와 근위 플레이트(124) 사이의 어레이에 형성된 복수의 슬롯(113) 각각을 집합적으로 형성한다. 도시된 바와 같이, 각각의 슬롯 플레이트(117)는 조립 중에 로드(126)를 수용하도록 구성된 정렬된 플레이트 개구(155)를 형성하는 반면, 슬롯 블록(118)의 각각의 세트는 조립 중에 로드(126)도 수용하도록 구성된 정렬된 블록 개구(156)를 형성한다. 슬롯 조립체(104)가 조립될 때, 각각의 로드(126)는 슬롯 조립체(104)의 각각의 슬롯(113)을 조립하기 위해 정렬된 블록 개구(156)의 각각의 세트 및 정렬된 플레이트 개구(155) 각각을 통해 삽입된다. 또한 지그 조립체(104)는 케이싱(103)의 상부 챔버(128) 내에 지그 장치(102)를 고정하기 위해 제1 지지 부재(119) 및 제2 지지 부재(120)에 결합된다.
지그 장치(102)가 조립될 때, 각각의 차단기 플레이트(116)는 슬롯 조립체(104)를 따라 각각의 슬롯(113) 내에 배치되고 원하는 대로 슬롯(113)으로 인출되거나 삽입될 수 있다. 추가로 도시된 바와 같이, 각각의 차단기 플레이트(116)는 차단기 플레이트(116)의 에지를 따라 각각의 돌출부(148)를 형성하고 사용자가 돌출부(148)를 파지하여 각각의 슬롯(113)에 대해 개별 차단기 플레이트(116)을 인출하거나 삽입할 수 있도록 구성된다. 이와 같이, 후술된 바와 같이 스프레이 노즐 출력을 측정하고 개별 스프레이 노즐(12) 또는 스프레이 노즐 그룹(12)에 대한 스프레이 분포를 결정할 때 임의의 개수의 차단기 플레이트(116)가 지그 장치(102)의 슬롯 조립체(104)로부터 인출될 수 있다.
도 2, 12 및 13에 도시된 바와 같이, 지그 장치(102)는 하나 이상의 스프레이 노즐(12)에 의해 특정 위치로 분사되는 액체를 포획하기 위해 탱크(121)에 의해 형성된 복수의 내부 채널(122) 및 단부 채널(123)과 유체 유동 연통하고, 상기 특정 위치에서 하나 이상의 차단기 플레이트(116)가 지그 장치(102)로부터 제거된다. 이러한 방식으로, 단일 스프레이 노즐(12) 또는 함께 그룹화된 스프레이 노즐(12)의 배치에 대한 스프레이 측정 출력 및 스프레이 분포 패턴은 각각의 채널(122) 내에 수집된 액체의 양을 측정함으로써 결정될 수 있다. 일부 실시예에서, 단부 채널(123)은 모든 스프레이 노즐(12)의 스프레이 측정 출력 및 스프레이 분포 패턴을 집합적으로 측정하기 위해 사용될 수 있는 반면, 단부 채널(123) 사이에 형성된 내부 채널(122)은 이들 스프레이 노즐(12)에 대응하는 특정 차단기 플레이트(116)가 스프레이 노즐(12)의 시험 중에 지그 장치(102)로부터 제거될 때 개별 또는 특정 스프레이 노즐 그룹(12)의 스프레이 측정 출력 및 스프레이 분포 패턴을 측정하는데 사용될 수 있다. 도 12에 도시된 바와 같이, 상부 챔버(128)는 케이싱(103)에 삽입될 때 지그 장치(102)에 접하도록 구성된 숄더(154)를 형성한다.
일부 실시예에서, 스프레이 측정 장치(101)는 스프레이 노즐(12)이 활성화된 후 특정 채널(122 및 123) 내에 침착된 액체의 양을 측정하기 위해 하나 이상의 채널(122 및 123)과 유체 유동 연통하는 복수의 압력 변환기(130)를 더 포함한다. 일부 실시예에서, 각각의 압력 변환기(130)는 대기와 연통하는 제1 포트(157) 및 채널(122 또는 123) 중 하나와 유체 유동 연통하는 각각의 호스(145)를 통해 각각의 채널(122 또는 123)과 연통하는 제2 포트(158)를 포함한다. 일부 실시예에서, 각각의 호스(145)는 도 12에 도시된 바와 같이 각각의 채널(122 및 123)의 바닥에 형성된 개구(153)를 통해 각각의 채널(122 및 123)과 유체 유동 연통을 형성하기 위해 호스 커넥터(146)에 연결된다. 작동 시, 각 압력 변환기(130)는 특정 채널(122 및 123)로부터 수집된 액체의 양을 나타내는 압력 데이터를 수집한다.
도 12에 도시된 바와 같이, 채널(122 및 123)의 개수가 액체 수집을 측정하기 위한 목적으로 하나 이상의 스프레이 노즐에 대응할 수 있는 복수의 채널(122 및 123) 중 임의의 것일 수 있지만, 탱크(121)는 2개의 단부 채널(123A 및 123B) 및 내부 채널(122A-122G)을 형성할 수 있다. 일 실시예에서, 지그 장치(102)는 각 차단기 플레이트(116A-116X)가 처리 동안 특정 웨이퍼 위치에 대응하는 차단기 플레이트(116A-116X)를 포함하지만 임의의 개수의 차단기 플레이트(116)가 덮일 웨이퍼 위치의 개수를 수용하기 위해 사용될 수 있다.
스프레이 측정 시스템(100)을 사용하여 스프레이 출력을 측정하고 스프레이 분포 패턴을 결정하는 하나의 방법에서, 스프레이 측정 장치(101)는 수직으로부터 떨어진 특정 시험 각도로 수평 축(Z)를 중심으로 회전한다. 정지된 상태로 유지되는 스프레이 노즐(12)은 액체를 스프레이하고 액체는 복수의 채널(122 및 123) 중 어느 하나로 수집된다. 스프레이 측정 시스템(100)은 이어서 수직으로부터 0도까지 수평 축(Z)를 중심으로 회전하고, 여기서 압력 변환기(130)는 각 채널(122, 123)의 압력을 측정하고, 각 채널(122, 123)의 압력은 각 채널(122, 123)에 수집된 액체의 양에 대응한다. 시험 공정이 지속됨에 따라 다른 테스트 각도가 이후에 선택되고 공정이 반복된다.
스프레이 측정 시스템(100)을 사용하여 스프레이 출력을 측정하고 스프레이 분포 패턴을 결정하는 또 다른 방법에서, 사용자는 지그 장치(102)로부터 하나 이상의 차단기 플레이트(116), 예를 들어 차단기 플레이트(116J-116M)를 제거하여 차단기 플레이트(116J-116M)의 위치(들)와 연계된 특정 스프레이 노즐(12)이 적절히 기능을 하고 균일한 스프레이 분포 패턴을 적용할지를 결정할 수 있다. 차단기 플레이트(116J-116M)의 위치(들)와 관련하여 적절하게 기능하고 균일 한 스프레이 분포 패턴을 적용합니다. 액체 수집 데이터가 채널(122D)로부터 수집되면, 차단기 플레이트(116J-116M)의 위치와 관련된 모든 스프레이 노즐(12)이 적절하게 기능하고 있는지 또는 하나 이상의 스프레이 노즐(12)이 교체 또는 조정이 필요한지 확인한다.
도 1, 2, 3, 5-7, 9 및 10에 도시된 바와 같이, 스프레이 측정 시스템(100)은 또한 각각의 압력 변환기(130)와 작동 통신하는 제어기(131)를 포함한다. 또한, 제어기(131)는 데이터를 수집하거나 사용자가 제어기(131)와 상호 작용하여 스프레이 측정 시스템(100)을 작동할 수 있는 수단을 제공하는 데이터 연결 인터페이스(미도시)를 포함한다. 예를 들어, 데이터 연결 인터페이스는 2개의 단부 채널(123A 및 123B) 및 내부 채널(122A-122G)에 수집된 액체의 양과 관련된 각 압력을 기록하도록 작동할 수 있다. 일부 실시예에서, 제어기(131)는 특정 채널(122 및 123)로부터 수집된 액체의 양에 관한 데이터뿐만 아니라 배치 화학 공정 챔버 내의 상이한 시험 각도에서 상이한 스프레이 측정에 대해 수집된 데이터를 수집하고 저장한다. 일부 실시예에서, 제어기(131)는 스프레이 측정 시스템(100)의 작동을 제어하기 위해 외부 장치(도시되지 않음)와 무선 또는 유선 통신할 수 있다. 일부 실시예에서, 제어기(131)는 전체 배치 화학 공정 챔버와 통합될 수 있고 로터(10)에 의한 스프레이 측정 장치(100)의 회전을 제어할 수 있다.
일부 실시예에서, 배터리(147)는 제어기(131) 및 압력 변환기(130)와 같은 스프레이 측정 시스템(100)의 모든 구성 요소에 전력을 제공할 수 있다. 일부 실시예에서, 배터리(147)는 재충전 가능할 수 있다. 다른 실시예에서, 전력은 전력 케이블(미도시)을 통해 제공될 수 있다.
일부 실시예에서, 압력 변환기(130A-130D)의 제1 어레이는 제2 측면 플레이트(136)에 고정될 수 있고 압력 변환기(103E-130H)의 제2 어레이는 도 9에 도시된 바와 같이 제1 측면 플레이트(135)에 고정될 수 있다. 또한, 압력 변환기(130I)는 또한 도 12에 도시된 실시예 또는 케이싱(103)을 위한 9개의 단부 채널(122) 및 내부 채널(123)을 수용하기 위해 사용될 수 있다. 추가로 도시된 바와 같이, 제1 측면 플레이트(135)는 케이싱(103)의 내부 표면(106)에 장착된 제1 레일 부재(133)에 결합되는 제1 브래킷(139)을 포함하고, 제2 측면 플레이트(136)는 케이싱(103)의 내부 표면(106) 상에 장착된 제2 레일 부재(134)에 결합되는 제2 브래킷(140)을 포함한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 케이싱(103)의 바닥 부분(110)은 각각의 플러그(151)를 수용하도록 각각 구성된 복수의 개구(153)를 형성한다. 일부 실시예에서, 케이싱(103)의 바닥 부분(110)은 케이싱(103)을 배치 화학 공정 챔버의 로터(10) 내부에 고정할 때 마운트로서 작용하도록 구성된 오목부(152)를 추가로 형성한다.
전술한 바로부터, 특정 실시예가 예시되고 설명되었지만, 당업자에게 명백한 바와 같이 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 수정이 이루어질 수 있다는 것을 이해해야 한다. 이러한 변경 및 수정은 여기에 첨부된 청구 범위에 형성된 본 발명의 범위 및 교시 내에 있다.

Claims (20)

  1. 스프레이 측정 시스템(100)으로서,
    배치 화학 공정 챔버 내에 배열된 로터(10)를 포함하고, 상기 로터(10)는 수평 축(Z) 주위에서 회전하도록 작동가능하고, 로터(10)는 시계 방향 또는 반시계 방향(A) 및 시계 방향 또는 반시계 방향(B)으로 회전하도록 작동가능하고,
    로터(10)와 작동가능하게 연계된 스프레이 측정 장치(101)를 포함하고, 스프레이 측정 장치(101)는 복수의 슬롯(113)을 포함하는 지그 장치(102)를 포함하고, 복수의 슬롯(113)은 차단기 플레이트(116)를 수용하도록 작동가능하고, 스프레이 측정 장치(101)는 복수의 채널(113)에 대응하는 하나 이상의 채널(122, 123)을 포함하고, 하나 이상의 채널(122, 123)은 하나 이상의 채널(122, 123)에 수집된 액체의 양을 측정하기 위하여 각각의 압력 변환기(130)와 작동가능하게 연계되고, 스프레이 측정 장치(101)는 로터(10)에 의해 미리정해진 시험 각도 및 수직 배열 위치 사이에서 회전하도록 작동가능하고,
    로터(10)와 작동가능하게 연계된 제어기(131)를 포함하고, 제어기(131)는 수평 축(Z) 주위에서 로터(10)를 회전하도록 작동가능하고, 제어기(131)는 미리정해진 시험 각도 및 수직 배열 위치 사이에서 시계 방향 또는 반시계 방향(A) 및 시계 방향 또는 반시계 방향(B)으로 로터(10)를 회전하도록 작동가능하고,
    스프레이 측정 장치(101)는 미리정해진 시험 각도로 회전하도록 작동가능하고 하나 이상의 채널(122, 123) 내로 스프레이 노즐 어레이(12)에 의해 분사된 액체를 수용하고, 데이터 수집 인터페이스는 하나 이상의 채널(122, 123) 내에 수집된 액체의 양을 기록하도록 작동가능한 스프레이 측정 시스템(100).
  2. 제1항에 있어서, 스프레이 노즐 어레이(12)는 스프레이 측정 장치(101) 위에서 기울어진 고정 위치에 배열되고, 스프레이 노즐 어레이(12)는 스프레이 측정 장치(101)에 액체를 분사하도록 작동되는 스프레이 측정 시스템(100).
  3. 제1항에 있어서, 복수의 차단기 플레이트(116)는 액체가 복수의 슬롯(113)의 대응 슬롯(113)에 유입되는 것을 방지하고, 차단기 플레이트(116)의 수동 제거에 따라 액체가 복수의 슬롯(113)의 대응 슬롯에 유입되는 것을 허용하는 스프레이 측정 시스템(100).
  4. 제1항에 있어서, 스프레이 측정 장치(101)는 케이싱의 각각의 마주보는 측면을 따라 형성된 제1 및 제2 측면 바 부분을 사용하여 로터(10) 내에 고정되는 스프레이 측정 시스템(100).
  5. 제1항에 있어서, 제어기(131)는 데이터 수집 인터페이스에 의해 수집된 정보를 기록 및 분석하도록 작동가능한 스프레이 측정 시스템(100).
  6. 제1항에 있어서, 스프레이 노즐 어레이(12)의 오작동은 복수의 채널(122, 123) 내에 수집된 액체의 양을 측정함으로써 식별되는 스프레이 측정 시스템(100).
  7. 스프레이 측정 장치(101)로서,
    상부 부분(107), 하부 부분(110) 및 마주보는 제1 및 제2 측면 부분(108, 109)을 형성하는 케이싱(103)을 포함하고, 상부 부분은 케이싱(103) 내에 배열된 탱크(121)에 의해 형성된 상부 챔버(128)와 연통하는 상부 개구(127)를 형성하고, 탱크(121)는 복수의 채널(122, 123)을 형성하며,
    상부 챔버(128) 내에 배열된 지그 장치(102)를 포함하고, 지그 장치(102)는 슬롯 조립체(104)를 포함하고, 상기 슬롯 조립체(104)는 각각의 슬롯(113)을 형성하기 위해 복수의 슬롯 블록(119)들 사이에 개재된 복수의 슬롯 플레이트(117) 및 슬롯 조립체(104) 내에 배열된 복수의 차단기 플레이트(116)를 포함하고, 복수의 차단기 플레이트(116)는 슬롯 조립체(104)의 각각의 슬롯(113) 내에 배열되도록 구성되고, 각각의 슬롯(113)은 각각의 슬롯(113)에서 하나 이상의 스프레이 노즐(12)에 의해 분사된 액체가 복수의 채널(122, 123)들 중 하나에서 수집되도록 복수의 채널(122, 123)들 중 하나와 연계되고,
    하나 이상의 차단기 플레이트(116)가 제거되는 각각의 슬롯(113)에서 하나 이상의 스프레이 노즐(12)의 스프레이 출력을 측정하기 위하여 복수의 채널(122, 123)과 작동가능하게 연통하는 복수의 압력 변환기(130)를 포함하고, 각각의 채널(122, 123)은 복수의 압력 변환기(130)와 연계되고,
    복수의 채널(122, 123)에 수집된 액체의 양을 측정하기 위하여 복수의 압력 변환기와 작동가능하게 통신하는 데이터 수집 인터페이스를 포함하는 스프레이 측정 장치(101).
  8. 제7항에 있어서, 복수의 압력 변환기(130)들 중 하나에 의해 결정된 압력 값은 복수의 채널(122, 123)들 중 하나 내의 액체의 체적을 계산하기 위해 사용되는 스프레이 측정 장치(101).
  9. 제7항에 있어서, 데이터 수집 인터페이스는 제어기(131)와 작동가능하게 통신하고, 제어기(131)는 데이터 수집 인터페이스에 의해 수집된 정보를 기록 및 분석하도록 작동가능한 스프레이 측정 장치(101).
  10. 제9항에 있어서, 제어기(131)는 스프레이 측정 장치(101)의 케이싱(103) 내에 배열되는 스프레이 측정 장치(101).
  11. 제9항에 있어서, 제어기(131)는 스프레이 측정 장치(101)의 외부에 배열되는 스프레이 측정 장치(101).
  12. 제7항에 있어서, 전력이 배터리에 의해 스프레이 측정 장치(101)에 공급되는 스프레이 측정 장치(101).
  13. 제7항에 있어서, 전력이 유선 연결에 의해 스프레이 측정 장치(101)에 공급되는 스프레이 측정 장치(101).
  14. 스프레이 측정 시스템(100)을 사용하여 스프레이 출력을 측정하는 방법으로서,
    복수의 채널(122, 123)을 갖는 스프레이 측정 장치(101)와 작동가능하게 연계된 로터(10)를 회전시키는 단계를 포함하고, 로터(10) 및 스프레이 측정 장치(101)는 수평 축(Z)을 따라 시계 방향 또는 반시계 방향(A)으로 회전하고, 로터(10) 및 스프레이 측정 장치(101)가 수직 위치에서 미리결정된 시험 각도로 회전하고,
    스프레이 측정 장치(101)에서 고정된 스프레이 노즐 어레이(12)로부터 액체를 분무하는 단계를 포함하고, 고정된 스프레이 노즐 어레이(12)로부터의 액체가 스프레이 측정 장치(101)의 복수의 채널(122, 123) 중 하나 이상으로 수집되고,
    수집된 액체를 갖는 스프레이 측정 장치(101)가 수직 위치로 복귀되도록 수평 축(Z)을 따라 시계 방향 또는 반시계 방향(B)으로 스프레이 측정 장치(101)와 작동가능하게 연계된 로터(10)를 회전시키는 단계를 포함하고,
    복수의 채널(122, 123) 내의 액체의 체적을 측정하는 단계를 포함하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, 복수의 차단기 플레이트(116)를 추가 또는 제거함으로써 하나 이상의 스프레이 노즐(12)을 시험하기 위한 하나 이상의 채널(122, 123)을 구성하는 단계를 추가로 포함하고, 복수의 차단기 플레이트(116)는 스프레이 측정 장치(101)의 슬롯 조립체(104)의 각각의 슬롯(113) 내에 배열되도록 구성되며 각각의 슬롯(113)에서 하나 이상의 스프레이 노즐(12)에 의해 분사된 액체가 복수의 채널(122, 123)들 중 하나 내에 수집되도록 각각의 슬롯(113)이 복수의 채널(122, 123)들 중 하나와 연계되는 방법.
  16. 제14항에 있어서, 스프레이 출력을 측정하기 위한 방법이 반복되고, 스프레이 출력을 측정하기 위한 방법의 각각의 반복이 상이한 시험 각도로 수행되는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 스프레이 노즐 어레이(12)의 오작동은 하나 이상의 시험 각도를 가로질러 복수의 채널(122, 123) 내에 수집된 액체의 체적을 측정함으로써 식별되는 방법.
  18. 제14항에 있어서, 스프레이 측정 장치(101)의 각각의 채널 내의 액체의 체적이 각각의 압력 변환기를 사용하여 각각의 채널 내의 압력의 크기를 측정함으로써 측정되고 채널 내의 압력의 크기는 채널 내에 수집된 액체의 체적에 대응하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 압력 변환기(130)와 작동가능하게 통신하는 압력 수집 인터페이스는 복수의 채널(122, 123) 내의 압력의 크기에 속한 데이터를 기록 및 분석하도록 작동가능한 방법.
  20. 제14항에 있어서, 로터(10)와 작동가능하게 통신하는 제어기(131)가 로터(10)를 회전시키도록 작동가능하고, 이에 따라 스프레이 측정 장치(101)가 회전하는 방법.
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