KR20210027097A - 표시 장치 - Google Patents

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KR20210027097A
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야스히로 가나야
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가부시키가이샤 재팬 디스프레이
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Abstract

표시면으로부터의 광 취출 효율이 높은 구조를 갖는 표시 장치를 제공하는 것이다.
표시 장치는, 기판과, 기판 상의 층간 절연층과, 층간 절연층 상의 금속층과, 금속층 상의 발광 소자를 포함하고, 층간 절연층은, 복수의 제1 오목부를 포함하고, 금속층은, 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고, 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 오목부가, 복수의 제1 오목부를 따라 마련되어 있다. 또한, 표시 장치는, 기판과, 기판 상의 층간 절연층과, 층간 절연층 상의 금속층과, 금속층 상의 발광 소자를 포함하고, 층간 절연층은, 복수의 제1 볼록부를 포함하고, 금속층은, 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고, 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 볼록부가, 복수의 제1 볼록부를 따라 마련되어 있다.

Description

표시 장치 {DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치, 특히 마이크로 LED를 사용한 표시 장치, 및 표시 장치의 제작 방법에 관한 것이다.
스마트폰 등의 중소형 디스플레이에 있어서는, 액정이나 OLED(Organic Light Emitting Diode)를 사용한 디스플레이가 이미 제품화되어 있다. 그 중에서도, 자발광형 소자인 OLED를 사용한 OLED 디스플레이는, 액정 디스플레이와 비교하여, 고 콘트라스트이며 백라이트가 불필요하다고 하는 이점을 갖는다. 그러나, OLED는 유기 화합물로 구성되기 때문에, 유기 화합물의 열화에 의해 OLED 디스플레이의 고신뢰성을 확보하기가 어렵다.
한편, 차세대 디스플레이로서, 매트릭스형으로 배열된 화소 내에 미소한 마이크로 LED를 배치한, 소위 마이크로 LED 디스플레이의 개발이 진행되고 있다. 마이크로 LED는, OLED와 마찬가지의 자발광형 소자이지만, OLED와 달리, 갈륨(Ga) 또는 인듐(In) 등을 포함하는 안정된 무기 화합물로 구성되기 때문에, OLED 디스플레이와 비교하면, 마이크로 LED 디스플레이는 고신뢰성을 확보하기 쉽다. 또한, 마이크로 LED는, 발광 효율이 높아, 고휘도를 실현할 수 있다. 따라서, 마이크로 LED 디스플레이는, 고신뢰성, 고휘도 및 고 콘트라스트를 갖는 차세대 디스플레이로서 기대되고 있다.
마이크로 LED는, 일반적인 LED와 마찬가지로 사파이어 등의 기판 상에 형성되고, 기판을 다이싱함으로써 개개의 마이크로 LED로 분리된다. 상술한 바와 같이, 마이크로 LED 디스플레이에서는, 디스플레이 기판의 화소 내에 다이싱된 마이크로 LED가 배치된다.
화소 내에 배치된 마이크로 LED는, 디스플레이의 표시면에 대응하는 마이크로 LED의 상면으로부터 뿐만 아니라, 마이크로 LED의 측면이나 하면으로부터도 광이 출사된다. 상면으로부터 출사된 광뿐만 아니라, 측면 또는 하면으로부터 출사된 광도 이용할 수 있다면, 마이크로 LED 디스플레이의 발광 효율을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, OLED에서는, 발광 소자의 하방에 요철 형상의 반사층을 마련하여, OLED 디스플레이의 광 취출 효율을 향상시키는 방법이 알려져 있다(예를 들어, 일본 특허 공개 제2008-234928호 공보 참조).
한편, 마이크로 LED는, 고굴절률 재료로 이루어지는 층을 많이 포함하기 때문에, 마이크로 LED의 측면으로부터 출사되는 광도 많다. 그 때문에, 마이크로 LED의 측면으로부터 출사되는 광을 이용하여, 표시 장치의 표시면으로부터의 광 취출 효율을 향상시킬 필요가 있다.
본 발명은 상기 문제를 감안하여, 표시면으로부터의 광 취출 효율이 높은 구조를 갖는 표시 장치를 제공하는 것을 과제의 하나로 한다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치는, 기판과, 기판 상의 층간 절연층과, 층간 절연층 상의 금속층과, 금속층 상의 발광 소자를 포함하고, 층간 절연층은, 복수의 제1 오목부를 포함하고, 금속층은, 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고, 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 오목부가, 복수의 제1 오목부를 따라 마련되어 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치는, 기판과, 기판 상의 층간 절연층과, 층간 절연층 상의 금속층과, 금속층 상의 발광 소자를 포함하고, 층간 절연층은, 복수의 제1 볼록부를 포함하고, 금속층은, 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고, 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 볼록부가, 복수의 제1 볼록부를 따라 마련되어 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치는, 기판과, 기판 상의 층간 절연층과, 층간 절연층 상의 금속층과, 금속층 상의 발광 소자를 포함하고, 층간 절연층은, 복수의 제1 홈부를 포함하고, 금속층은, 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고, 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 홈부가, 복수의 제1 홈부를 따라 마련되어 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 단면도이다.
도 2a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 2b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 평면도이다.
도 2c는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 3a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 3b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 평면도이다.
도 4a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 4b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 평면도이다.
도 5a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 5b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 개략 평면도이다.
도 6a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 6b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 6c는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 6d는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 6e는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 7a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 7b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 7c는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 8a는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
도 8b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치의 개략 부분 확대도이다.
이하, 본 발명에 관한 각 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 각 실시 형태는 어디까지나 일례에 지나지 않으며, 당업자가, 발명의 주지를 유지하면서 적절히 변경함으로써 용이하게 상도할 수 있는 것에 대해서도, 당연히 본 발명의 범위에 함유된다. 또한, 도면은 설명을 보다 명확히 하기 위해, 실제의 양태에 비하여, 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 표현되는 경우가 있다. 그러나, 도시된 형상은 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다.
본 명세서에 있어서 「α는 A, B 또는 C를 포함한다」, 「α는 A, B 및 C 중 어느 것을 포함한다」, 「α는 A, B 및 C로 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나를 포함한다」와 같은 표현은, 특별히 명시가 없는 한, α가 A 내지 C의 복수의 조합을 포함하는 경우를 배제하지 않는다. 또한, 이들 표현은, α가 다른 요소를 포함하는 경우도 배제하지 않는다.
본 명세서에 있어서, 설명의 편의상, 「상」 또는 「상방」 혹은 「하」 또는 「하방」이라고 하는 어구를 사용하여 설명하는데, 원칙으로서, 구조물이 형성되는 기판을 기준으로 하여, 기판으로부터 구조물을 향하는 방향을 「상」 또는 「상방」으로 한다. 반대로, 구조물부터 기판을 향하는 방향을 「하」 또는 「하방」으로 한다. 따라서, 기판 상의 발광 소자라고 하는 표현에 있어서, 기판과 마주 향하는 방향의 발광 소자의 면이 발광 소자의 하면으로 되고, 그 반대측의 면이 발광 소자의 상면으로 된다. 또한, 기판 상의 발광 소자라고 하는 표현에 있어서는, 기판과 발광 소자의 상하 관계를 설명하고 있는 것에 지나지 않으며, 기판과 발광 소자의 사이에 다른 부재가 배치되어 있어도 된다. 또한, 「상」 또는 「상방」 혹은 「하」 또는 「하방」의 어구는, 복수의 층이 적층된 구조에 있어서의 적층순을 의미하는 것이며, 평면으로 보아 중첩되는 위치 관계가 아니어도 된다.
본 명세서에 있어서, 「표시 장치」란, 발광 소자를 사용하여 영상을 표시하는 장치를 폭넓게 포함하는 것이며, 표시 패널이나 표시 모듈뿐만 아니라, 다른 광학 부재(예를 들어, 편광 부재, 백라이트, 터치 패널 등)가 설치된 장치도 포함하는 경우가 있다.
이하의 각 실시 형태는, 기술적인 모순이 생기지 않는 한, 서로 조합할 수 있다.
<제1 실시 형태>
도 1 내지 도 2c를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)에 대하여 설명한다.
[표시 장치(10)의 구성]
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 개략 단면도이다. 구체적으로는, 도 1은, 표시 장치(10)의 화소를 포함하도록 절단된 단면도이다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 표시 장치(10)는, 기판(100), 제1 배선층(110), 제2 배선층(120), 제1 절연층(130), 제2 도전층(140), 제2 절연층(150), 제1 도전층(160), 층간 절연층(170), 제1 접속 전극(180), 금속층(190), 발광 소자(200) 및 제2 접속 전극(210)을 포함한다.
기판(100) 상에는, 제1 배선층(110) 및 제2 배선층(120)이 마련되어 있다. 제1 배선층(110) 및 제2 배선층(120) 상에는, 제1 절연층(130), 제2 도전층(140), 제2 절연층(150) 및 제1 도전층(160)이 순서대로 적층되어 있다. 제1 배선층(110) 상에서는, 제1 절연층(130) 및 제2 절연층(150)이 개구되고, 제1 도전층(160)은, 제1 절연층(130) 및 제2 절연층(150)의 개구를 통하여 제1 배선층(110)과 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 제2 배선층(120) 상에서는, 제1 절연층(130)이 개구되고, 제2 도전층(140)은, 제1 절연층(130)의 개구를 통하여 제2 배선층(120)과 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 제2 절연층(150) 및 제1 도전층(160) 상에는, 개구를 포함하는 층간 절연층(170)이 마련되어 있다. 층간 절연층(170)의 개구에는 제1 접속 전극(180)이 마련되어 있다. 제1 접속 전극(180)은, 층간 절연층(170)의 개구를 통하여 제1 도전층(160)과 전기적으로 접속되어 있다. 제1 접속 전극(180) 상에는, 금속층(190)이 마련되어 있다. 금속층(190)은, 제1 접속 전극(180)과 전기적으로 접속되어 있다. 금속층(190) 상에는 발광 소자(200)가 마련되어 있다. 발광 소자(200) 상에는, 제2 접속 전극(210)이 마련되어 있다. 도시하지 않지만, 제2 접속 전극(210)은, 제2 배선층(120)과 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 층간 절연층(170)과 제2 접속 전극(210)의 사이의 공간 내에는, 평탄화층(250)으로서 유기 수지가 충전되어 있어도 된다.
기판(100)은, 기판(100) 상의 각 층을 지지할 수 있다. 기판(100)으로서, 예를 들어 폴리이미드 기판, 아크릴 기판, 실록산 기판 또는 불소 수지 기판 등의 가요성 수지 기판을 사용할 수 있다. 기판(100)의 내열성을 향상시키기 위해, 상기 가요성 수지 기판에는 불순물이 도입되어 있어도 된다. 기판(100)이 투명할 필요가 없는 경우에는, 기판(100)의 투명도가 저하되는 불순물이 도입되어도 된다. 한편, 기판(100)이 가요성을 가질 필요가 없는 경우에는, 기판(100)으로서, 유리 기판, 석영 기판 또는 사파이어 기판 등의 투광성을 갖는 강성 기판을 사용할 수 있다. 또한, 기판(100)이 투광성을 가질 필요가 없는 경우에는, 기판(100)으로서, 실리콘 기판, 탄화실리콘 기판, 또는 화합물 반도체 기판 등의 반도체 기판, 혹은 스테인리스 기판 등의 도전성 기판 등을 사용할 수 있다. 또한, 기판(100)으로서, 표면에 산화실리콘막 또는 질화실리콘막 등의 무기 절연막이 성막된 기판을 사용할 수도 있다.
제1 배선층(110), 제2 배선층(120), 제1 도전층(160), 제2 도전층(140) 및 제1 접속 전극(180)의 각각에는, 금속 재료를 사용할 수 있다. 금속 재료는, 예를 들어 구리(Cu), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 코발트(Co), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 하프늄(Hf), 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 비스무트(Bi) 및 이들의 합금 또는 화합물이지만, 이것에 한하지 않는다. 또한, 제1 배선층(110), 제2 배선층(120), 제1 도전층(160), 제2 도전층(140) 또는 제1 접속 전극(180)은, 상기 금속 재료가 적층된 구조여도 된다.
제1 절연층(130) 및 제2 절연층(150)의 각각에는, 절연성 재료를 사용할 수 있다. 절연성 재료는, 예를 들어 산화실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiOxNy), 질화실리콘(SiNx), 질화산화실리콘(SiNxOy), 산화알루미늄(AlOx), 산화질화알루미늄(AlOxNy), 질화산화알루미늄(AlNxOy) 또는 질화알루미늄(AlNx) 등의 무기 절연 재료이지만, 이것에 한하지 않는다. 여기서, SiOxNy 및 AlOxNy는, 산소(O)보다 적은 양의 질소(N)를 함유하는 실리콘 화합물 및 알루미늄 화합물이다. 또한, SiNxOy 및 AlNxOy는, 질소보다 적은 양의 산소를 함유하는 실리콘 화합물 및 알루미늄 화합물이다. 또한, 제1 절연층(130) 및 제2 절연층(150)의 각각에는, 상기 무기 절연 재료뿐만 아니라, 유기 절연 재료를 사용할 수도 있다. 유기 절연 재료는, 예를 들어 폴리이미드 수지, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지, 불소 수지, 또는 실록산 수지 등의 수지이지만, 이것에 한하지 않는다. 제1 절연층(130) 및 제2 절연층(150)의 각각은, 무기 절연 재료 또는 유기 절연 재료가 각각 단독으로 사용된 구조여도 되고, 무기 절연 재료 또는 유기 절연 재료가 적층된 구조여도 된다.
층간 절연층(170)은, 층간 절연층(170)의 하방의 층의 단차를 평탄하게 할 수 있다. 층간 절연층(170)의 재료로서, 예를 들어 감광성 아크릴 수지 또는 감광성 폴리이미드 수지 등의 감광성 유기 재료를 사용할 수 있다. 또한, 층간 절연층(170)의 재료는, 제1 절연층(130) 및 제2 절연층(150)에서 사용되는 무기 절연 재료여도 된다. 또한, 층간 절연층(170)은 적층 구조여도 된다. 예를 들어, 층간 절연층(170)은, 감광성 유기 재료와 무기 절연 재료의 적층 구조여도 되고, 유기 절연 재료와 무기 절연 재료의 적층 구조여도 된다.
금속층(190)은, 발광 소자(200)로부터의 발광을 반사할 수 있다. 또한, 금속층(190)은, 발광 소자(200)의 전극과, 제1 접속 전극(180)을 전기적으로 접속하기 위해 도전성을 갖는다. 금속층(190)의 재료로서, 예를 들어 알루미늄(Al), 은(Ag) 또는 백금(Pt) 등의 높은 반사율을 갖는 금속 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 금속층(190)의 재료는, 제1 배선층(110), 제2 배선층(120), 제1 도전층(160), 제2 도전층(140) 및 제1 접속 전극(180)에서 사용되는 금속 재료를 사용할 수도 있다.
층간 절연층(170) 및 금속층(190)의 구성의 상세에 대해서는, 후술한다.
발광 소자(200)는, 예를 들어 발광 다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD)이다. 또한, 발광 다이오드에는, 미니 LED 또는 마이크로 LED가 포함된다.
발광 소자(200)는, 표시 장치(10)의 각 화소에 마련되는데, 각 화소에는 적색 발광 소자, 녹색 발광 소자 및 청색 발광 소자 중 어느 하나가 마련된다. 적색 발광 소자의 적색 발광, 녹색 발광 소자의 녹색 발광, 및 청색 발광 소자의 청색 발광을 조합함으로써, 표시 장치(10)는 풀컬러 표시가 가능하게 된다. 또한, 각 화소의 발광 소자(200)를 백색 발광 소자로 하고, 컬러 필터를 통하여 백색 발광 소자의 백색 발광으로부터 적색 발광, 녹색 발광 및 청색 발광을 취출하는 것이라도, 표시 장치(10)는 풀컬러 표시가 가능하게 된다. 또한, 각 화소의 발광 소자(200)를 자외 발광 소자로 하고, 적색 형광체, 녹색 형광체 및 청색 형광체를 통하여 자외 발광 소자의 자외 발광을 변환시켜, 적색 발광, 녹색 발광 및 청색 발광을 취출하는 것이라도, 표시 장치(10)는 풀컬러 표시가 가능하게 된다.
표시 장치(10)에 있어서, 복수의 발광 소자(200)는, 매트릭스형으로 배치되어도 되고, 지그재그형 또는 스트라이프형으로 배치되어도 된다.
발광 소자(200)의 구조는, 전극이 수직 방향으로 배치되는 수직 전극 구조에 한하지 않는다. 발광 소자(200)의 구조로서, 전극이 수평 방향으로 배치되는 수평 전극 구조도 가능하다. 도 1에 도시하는 발광 소자(200)는 수직 전극 구조를 갖고, 발광 소자(200)의 전극의 한쪽이 금속층(190)과 전기적으로 접속되고, 발광 소자(200)의 전극의 다른 쪽이 제2 접속 전극(210)과 전기적으로 접속되어 있다.
발광 소자(200)는 금속층(190) 상에 마련되는데, 금속층(190)과 발광 소자(200)는, 주석(Sn) 또는 주석을 포함하는 합금 등의 땜납, 은(Ag) 페이스트, 혹은 ACF 등의 도전 재료에 의해 접합되어, 전기적으로 접속되어 있다.
제2 접속 전극(210)은, 발광 소자(200)로부터의 발광을 투과시킬 수 있다. 또한, 제2 접속 전극(210)은 도전성이 높은 것이 바람직하다. 제2 접속 전극(210)의 재료로서, 예를 들어 인듐ㆍ주석 산화물(ITO) 또는 인듐ㆍ아연 산화물(IZO) 등의 투명 도전성 산화물을 사용할 수 있다.
계속해서, 도 2a 및 도 2b를 참조하여, 발광 소자(200)가 마련되는 영역에 있어서의 층간 절연층(170) 및 금속층(190)의 구성의 상세에 대하여 설명한다.
도 2a 및 도 2b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 개략 부분 확대도 및 개략 평면도이다. 구체적으로는, 도 2a는, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)을 확대한 단면도이다. 또한, 도 2b는, 도 2a의 영역(11)에 대응하는 평면도이다. 또한, 도 2b에서는, 편의상, 발광 소자(200) 상의 제2 접속 전극(210)이 생략되어 있다.
도 2a에 도시하는 바와 같이, 층간 절연층(170)에는, 층간 절연층(170)의 상면으로부터 움푹 패인 복수의 제1 오목부(171)가 마련되어 있다. 금속층(190)에는, 층간 절연층(170)의 복수의 제1 오목부(171)를 덮도록 마련되고, 복수의 제1 오목부(171)와 중첩하여 복수의 제2 오목부(191)가 마련되어 있다. 즉, 금속층(190)은, 발광 소자(200)와 접합하는 제1 영역(190-1)과, 제1 영역(190-1)의 외측에 위치하고, 복수의 제2 오목부(191)가 마련된 제2 영역(190-2)을 포함한다. 또한, 도 2b에 도시하는 바와 같이, 제2 오목부(191)가 마련된 제2 영역(190-2)은, 제1 영역(190-1)을 둘러싸도록 마련되어 있다.
도 2b에 도시하는 금속층(190)의 복수의 제2 오목부(191)는, 발광 소자(200)를 둘러싸도록 매트릭스형으로 배치되어 있지만, 복수의 제2 오목부(191)의 배치는 이것에 한하지 않는다. 복수의 제2 오목부(191)는, 예를 들어 지그재그형으로 배치할 수도 있다. 또한, 복수의 제2 오목부(191)는 랜덤하게 배치할 수도 있다.
복수의 제2 오목부(191)가 매트릭스형 또는 지그재그형과 같이 규칙적으로 배치되는 경우, 복수의 제2 오목부(191)의 피치(인접하는 2개의 제2 오목부간의 거리)는, 0.5㎛ 이상 50㎛ 이하이고, 바람직하게는 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다. 또한, 복수의 제2 오목부(191)의 피치는, 발광 소자(200)로부터 이격됨에 따라 작게 할 수도 있다. 즉, 제2 영역(190-2)의 발광 소자(200)에 가까운 영역에서는 제2 오목부(191)의 밀도가 작고, 제2 영역(190-2)의 발광 소자(200)로부터 먼 영역에서는 제2 오목부(191)의 밀도를 크게 할 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다.
금속층(190)의 두께는, 예를 들어 0.2㎛ 이상 3㎛ 이하, 바람직하게는 0.5㎛ 이상 2㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 0.75㎛ 이상 1.5㎛ 이하이다. 제2 오목부(191)의 깊이(금속층(190)의 상면에서부터 제2 오목부(191)의 저면까지의 거리) 및 개구 직경은, 층간 절연층(170)의 제1 오목부(171)의 형상뿐만 아니라, 금속층(190)의 두께에 의해서도 조절할 수 있다. 금속층(190)의 두께가 작은 경우, 제2 오목부(191)의 형상은, 제1 오목부(171)의 형상에 가까워진다. 한편, 금속층(190)의 두께가 큰 경우, 제2 오목부(191)의 깊이 및 개구 직경은 작아진다. 또한, 금속층(190)의 두께가 작으면, 금속층(190)의 저항이 높아진다. 한편, 금속층(190)의 두께가 크면, 금속층(190)의 성막 및 가공에 시간을 필요로 하기 때문에, 표시 장치(10)의 제조 택트가 길어진다. 그 때문에, 금속층(190)의 두께는, 상기 범위인 것이 바람직하다.
제2 오목부(191)의 깊이는, 예를 들어 0.2㎛ 이상 10㎛ 이하이며, 금속층(190)의 두께의 1/2 이상의 깊이, 나아가 금속층(190)의 두께보다 큰 깊이인 것이 바람직하다. 또한, 제2 오목부(191)의 측면은 테이퍼를 가져도 된다. 즉, 제2 오목부(191)의 측면은, 금속층(190)의 상면에 대하여 수직이 아니어도 된다. 금속층(190)의 상면과 제2 오목부(191)의 측면이 이루는 각은, 예를 들어 20도 이상 90도 이하, 바람직하게는 30도 이상 80도 이하, 더욱 바람직하게는 30도 이상 70도 이하이다.
도 2b에 도시하는 제2 오목부(191)의 단면 형상은 원형이지만, 제2 오목부(191)의 단면 형상은 이것에 한하지 않는다. 제2 오목부(191)의 단면 형상은, 타원형 또는 다각형으로 할 수도 있다. 또한, 제2 오목부의 개구 직경은, 0.1㎛ 이상 50㎛ 이하이고, 바람직하게는 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다.
도 2c는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 개략 부분 확대도이다. 구체적으로, 도 2c는, 발광 소자(200)로부터의 발광의 광로 및 금속층(190)에 있어서의 반사를 도시한 부분 확대도이다.
발광 소자(200)로부터의 발광은, 상면으로부터 출사되는 광 L1뿐만 아니라, 측면으로부터 출사되는 광 L2를 포함한다. 측면으로부터 출사되는 광 L2는, 금속층(190)에서 반사되어, 발광 소자(200)의 상면 방향으로 진행한다. 금속층(190)의 상면에서는, 광의 입사각과 반사각이 동등한 반사가 일어난다. 본 실시 형태에 관한 표시 장치(10)에서는, 금속층(190)에 제2 오목부(191)가 마련되고, 금속층(190)의 제2 오목부(191)에 의해, 입사각과 반사각을 바꿀 수 있다. 구체적으로는, 금속층(190)의 제2 오목부(191)에 의해, 반사각을 입사각보다 크게 할 수 있다. 그 때문에, 제2 오목부(191)가 마련되어 있지 않은 금속층(190)과 비교하면, 측면으로부터 출사되는 광 L2가 제2 오목부(191)에서 반사되어, 발광 소자(200)의 상면 방향으로 진행하는 광 L3이 증가한다. 따라서, 표시 장치(10)는, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다.
이상, 본 실시 형태의 표시 장치(10)에 따르면, 금속층(190)에 제2 오목부(191)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10)의 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다. 바꾸어 말하면, 금속층(190)에 제2 오목부(191)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10)는, 표시면으로부터의 광 취출 효율이 향상된다. 또한, 금속층(190)의 제2 오목부(191)는, 층간 절연층(170)의 제1 오목부(171)를 따라 마련되기 때문에, 금속층(190)을 가공하지 않고 제2 오목부(191)를 형성할 수 있다. 따라서, 표시 장치(10)는, 비용이 억제된 표시 장치로 된다.
표시 장치(10)는 여러 가지 변형 또는 수정이 가능하다. 그래서, 도 3a 내지 도 5b를 참조하여, 표시 장치(10)의 변형예인 표시 장치(10A), 표시 장치(10B) 및 표시 장치(10C)에 대하여 설명한다. 이하에서는, 상술한 표시 장치(10)와 마찬가지의 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 주로, 표시 장치(10)와 다른 구성에 대하여 설명한다. 또한, 표시 장치(10)의 변형예는, 이들에 한하지 않는다.
[변형예 1]
도 3a 및 도 3b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10A)의 개략 부분 확대도 및 개략 평면도이다. 구체적으로는, 도 3a는, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)에 대응하는 표시 장치(10A)의 영역(11A)을 확대한 단면도이다. 또한, 도 3b는, 도 3a의 영역(11A)에 대응하는 평면도이다. 또한, 도 3b에서는, 편의상, 발광 소자(200) 상의 제2 접속 전극(210)이 생략되어 있다.
도 3a 및 도 3b에 도시하는 바와 같이, 표시 장치(10A)는, 층간 절연층(170A), 금속층(190A) 및 발광 소자(200)를 포함한다. 층간 절연층(170A)에는, 층간 절연층(170A)의 상면으로부터 돌출된 복수의 제1 볼록부(171A)가 마련되어 있다. 금속층(190A)은, 층간 절연층(170A)의 복수의 제1 볼록부(171A)를 덮도록 마련되고, 복수의 제1 볼록부(171A)와 중첩하여 복수의 제2 볼록부(191A)가 마련되어 있다. 즉, 금속층(190A)은, 발광 소자(200)와 접합하는 제1 영역(190A-1)과, 제1 영역(190A-1)의 외측에 위치하고, 복수의 제2 볼록부(191A)가 마련된 제2 영역(190A-2)을 포함한다. 또한, 도 3b에 도시하는 바와 같이, 제2 볼록부(191A)가 마련된 제2 영역(190A-2)은, 제1 영역(190A-1)을 둘러싸도록 마련되어 있다.
제2 볼록부(191A)의 높이(금속층(190A)의 상면에서부터 제2 볼록부(191A)의 상면까지의 거리)는, 예를 들어 0.2㎛ 이상 10㎛ 이하이다. 또한 제2 볼록부(191A)의 높이는, 금속층(190A)의 두께의 1/2 이상, 나아가 금속층(190A)의 두께보다 큰 높이인 것이 바람직하다. 또한, 제2 볼록부(191A)의 측면은 테이퍼를 가져도 된다. 즉, 제2 볼록부(191A)의 측면은, 금속층(190A)의 상면에 대하여 수직이 아니어도 된다. 금속층(190A)의 상면과 제2 볼록부(191A)의 측면이 이루는 각은, 예를 들어 20도 이상 90도 이하, 바람직하게는 30도 이상 80도 이하, 더욱 바람직하게는 40도 이상 70도 이하이다.
제2 볼록부(191A)의 단면 형상은, 원형, 타원형 또는 다각형으로 할 수 있다. 또한, 제2 볼록부(191A)의 직경(또는 한 변의 길이)은, 0.1㎛ 이상 50㎛ 이하이고, 바람직하게는 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다. 또한, 복수의 제2 볼록부(191A)의 피치는, 0.5㎛ 이상 50㎛ 이하이고, 바람직하게는 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다.
복수의 제2 볼록부(191A)의 피치는, 발광 소자(200)로부터 이격됨에 따라 작게 할 수도 있다. 즉, 제2 영역(190A-2)의 발광 소자(200)에 가까운 영역에서는 제2 볼록부(191A)의 밀도가 작고, 제2 영역(190A-2)의 발광 소자(200)로부터 먼 영역에서는 제2 볼록부(191A)의 밀도를 크게 할 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다.
또한, 복수의 제2 볼록부의 높이를, 발광 소자(200)로부터 이격됨에 따라 크게 할 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 더 향상된다.
도 3a 및 도 3b에 도시하는 표시 장치(10A)에 있어서도, 발광 소자(200)의 측면으로부터 출사되는 광이 제2 볼록부(191A)에서 반사되어, 발광 소자(200)의 상면 방향으로 진행하는 광이 증가한다. 따라서, 표시 장치(10A)는, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 증가한다.
이상, 변형예 1의 표시 장치(10A)에 따르면, 금속층(190A)에 제2 볼록부(191A)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10A)의 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다. 바꾸어 말하면, 금속층(190A)에 제2 볼록부(191A)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10A)는, 표시면으로부터의 광 취출 효율이 향상된다. 또한, 금속층(190A)의 제2 볼록부(191A)는, 층간 절연층(170A)의 제1 볼록부(171A)를 따라 마련되기 때문에, 금속층(190A)을 가공하지 않고 제2 볼록부(191A)를 형성할 수 있다. 따라서, 표시 장치(10A)는, 비용이 억제된 표시 장치로 된다.
[변형예 2]
도 4a 및 도 4b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10B)의 개략 부분 확대도 및 개략 평면도이다. 구체적으로는, 도 4a는, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)에 대응하는 표시 장치(10B)의 영역(11B)을 확대한 단면도이다. 또한, 도 4b는, 도 4a의 영역(11B)에 대응하는 평면도이다. 또한, 도 4b에서는, 편의상, 발광 소자(200) 상의 제2 접속 전극(210)이 생략되어 있다.
도 4a 및 도 4b에 도시하는 바와 같이, 표시 장치(10B)는, 층간 절연층(170B), 금속층(190B) 및 발광 소자(200)를 포함한다. 층간 절연층(170B)에는, 층간 절연층(170B)의 상면으로부터 움푹 패인 복수의 제1 홈부(171B)가 마련되어 있다. 금속층(190B)은, 층간 절연층(170B)의 복수의 제1 홈부(171B)를 덮도록 마련되고, 복수의 제1 홈부(171B)와 중첩하여 복수의 제2 홈부(191B)가 마련되어 있다. 즉, 금속층(190B)은, 발광 소자(200)와 접합하는 제1 영역(190B-1)과, 제1 영역(190B-1)의 외측에 위치하고, 복수의 제2 홈부(191B)가 마련된 제2 영역(190B-2)을 포함한다. 또한, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 제2 홈부(191B)가 마련된 제2 영역(190B-2)은, 제1 영역(190B-1)을 둘러싸도록 마련되어 있다.
제2 홈부(191B)의 깊이(금속층(190B)의 상면에서부터 제2 홈부(191B)의 저면까지의 거리)는, 예를 들어 0.2㎛ 이상 10㎛ 이하이다. 제2 홈부(191B)의 깊이는, 금속층(190B)의 두께의 1/2 이상의 깊이, 나아가 금속층(190B)의 두께보다 큰 깊이인 것이 바람직하다. 또한, 제2 홈부(191B)의 측면은 테이퍼를 가져도 된다. 즉, 제2 홈부(191B)의 측면은, 금속층(190B)의 상면에 대하여 수직이 아니어도 된다. 금속층(190B)의 상면과 제2 홈부(191B)의 측면이 이루는 각은, 예를 들어 20도 이상 90도 이하, 바람직하게는 30도 이상 80도 이하, 더욱 바람직하게는 40도 이상 70도 이하이다.
제2 홈부(191B)의 저면의 형상은, 직선 또는 곡선이어도 되고, 각을 포함하고 있어도 된다. 또한, 제2 홈부(191B)의 폭은, 0.1㎛ 이상 50㎛ 이하이고, 바람직하게는 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다. 또한, 복수의 제2 홈부(191B)의 피치는, 0.5㎛ 이상 50㎛ 이하이고, 바람직하게는 1㎛ 이상 10㎛ 이하이다.
복수의 제2 홈부(191B)의 피치는, 발광 소자(200)로부터 이격됨에 따라 작게 할 수도 있다. 즉, 제2 영역(190B-2)의 발광 소자(200)에 가까운 영역에서는 제2 홈부(191B)의 밀도가 작고, 제2 영역(190B-2)의 발광 소자(200)로부터 먼 영역에서는 제2 홈부(191B)의 밀도를 크게 할 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다.
도 4a 및 도 4b에 도시하는 표시 장치(10B)에 있어서도, 발광 소자(200)의 측면으로부터 출사되는 광이 제2 홈부(191B)에서 반사되어, 발광 소자(200)의 상면 방향으로 진행하는 광이 증가한다. 따라서, 표시 장치(10B)는, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 증가한다.
이상, 변형예 2의 표시 장치(10B)에 따르면, 금속층(190B)에 제2 홈부(191B)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10B)의 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다. 바꾸어 말하면, 금속층(190B)에 제2 홈부(191B)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10B)는, 표시면으로부터의 광 취출 효율이 향상된다. 또한, 금속층(190B)의 제2 홈부(191B)는, 층간 절연층(170B)의 제1 홈부(171B)를 따라 마련되기 때문에, 금속층(190B)을 가공하지 않고 제2 홈부(191B)를 형성할 수 있다. 따라서, 표시 장치(10B)는, 비용이 억제된 표시 장치로 된다.
[변형예 3]
도 5a 및 도 5b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10C)의 개략 부분 확대도 및 개략 평면도이다. 구체적으로는, 도 5a는, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)에 대응하는 표시 장치(10C)의 영역(11C)을 확대한 단면도이다. 또한, 도 5b는, 도 5a의 영역(11C)에 대응하는 평면도이다. 또한, 도 5b에서는, 편의상, 발광 소자(200) 상의 제2 접속 전극(210)이 생략되어 있다.
도 5a 및 도 5b에 도시하는 바와 같이, 표시 장치(10C)는, 층간 절연층(170C), 금속층(190C) 및 발광 소자(200)를 포함한다. 층간 절연층(170C)에는, 층간 절연층(170C)의 상면으로부터 움푹 패인 복수의 제1 오목부(171C) 및 층간 절연층(170C)의 상면으로부터 돌출된 복수의 제3 볼록부(172C)가 마련되어 있다. 금속층(190C)은, 층간 절연층(170C)의 복수의 제1 오목부(171C) 및 복수의 제3 볼록부(172C)를 덮도록 마련되고, 복수의 제1 오목부(171C)와 중첩하여 복수의 제2 오목부(191C) 및 복수의 제3 볼록부(172C)와 중첩하여 복수의 제4 볼록부(192C)가 마련되어 있다. 즉, 금속층(190C)은, 발광 소자(200)와 접합하는 제1 영역(190C-1)과, 제1 영역(190C-1)의 외측에 위치하고, 복수의 제2 오목부(191C)가 마련된 제2 영역(190C-2)과, 제2 영역(190C-2)의 외측에 위치하고, 복수의 제4 볼록부(192C)가 마련된 제3 영역(190C-3)을 포함한다. 또한, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 제2 오목부(191C)가 마련된 제2 영역(190C-2)은, 제1 영역(190C-1)을 둘러싸도록 마련되고, 제4 볼록부(192C)가 마련된 제3 영역(190C-3)은, 제2 영역(190C-2)을 둘러싸도록 마련되어 있다.
제2 오목부(191C)의 깊이 및 제4 볼록부(192C)의 높이는, 각각 상술한 제2 오목부(191)의 깊이 및 제2 볼록부(191A)의 높이와 마찬가지로 할 수 있다. 또한, 제2 오목부(191C)의 측면 및 제4 볼록부(192C)의 측면은 테이퍼를 가져도 된다. 즉, 제2 오목부(191C)의 측면 및 제4 볼록부(192C)는, 금속층(190C)의 상면에 대하여 수직이 아니어도 된다. 금속층(190C)의 상면과 제2 오목부(191C)의 측면 또는 제4 볼록부(192C)가 이루는 각은, 각각 상술한 제2 오목부(191) 또는 제2 볼록부(191A)와 마찬가지로 할 수 있다.
제2 오목부(191C)의 단면 형상 및 제4 볼록부(192C)의 단면 형상도, 각각, 상술한 제2 오목부(191) 및 제2 볼록부(191A)와 마찬가지로 할 수 있다. 또한, 제2 오목부(191C)의 개구 직경 및 제4 볼록부(192C)의 직경도, 상술한 제2 오목부(191) 및 제2 볼록부(191A)와 마찬가지로 할 수 있다. 또한, 복수의 제2 오목부(191C)의 피치 및 복수의 제4 볼록부(192C)의 피치도, 각각 상술한 제2 오목부(191) 및 제2 볼록부(191A)와 마찬가지로 할 수 있다. 또한, 복수의 제4 볼록부(192C)의 피치를, 제2 오목부(191C)의 피치보다 작게 할 수도 있다.
도 5에 도시하는 표시 장치(10C)에 있어서도, 발광 소자(200)의 측면으로부터 출사되는 광이 제2 오목부(191C) 및 제4 볼록부(192C)에서 반사되어, 발광 소자(200)의 상면 방향으로 진행하는 광이 증가한다. 따라서, 표시 장치(10C)는, 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 증가한다.
이상, 변형예 3의 표시 장치(10C)에 따르면, 금속층(190C)에 제2 오목부(191C) 및 제4 볼록부(192C)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10C)의 발광 소자(200)의 상면 방향에 있어서, 발광 효율이 향상된다. 바꾸어 말하면, 금속층(190C)에 제2 오목부(191C)가 마련되어 있음으로써, 표시 장치(10C)는, 표시면으로부터의 광 취출 효율이 향상된다. 또한, 금속층(190C)의 제2 오목부(191C) 및 제4 볼록부(192C)는, 각각 층간 절연층(170C)의 제1 오목부(171C) 및 제3 볼록부(172C)를 따라 마련되기 때문에, 금속층(190C)을 가공하지 않고 제2 오목부(191C) 및 제4 볼록부(192C)를 형성할 수 있다. 따라서, 표시 장치(10C)는, 비용이 억제된 표시 장치로 된다.
<제2 실시 형태>
도 6a 내지 도 6e를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 제작 방법에 대하여 설명한다.
도 6a 내지 도 6e는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치(10)의 개략 부분 확대도이다. 구체적으로는, 도 6a 내지 도 6e는, 제작 방법의 각 스텝에 있어서, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)의 부분 확대도를 도시한다. 또한, 도 6a 내지 도 6e에서는, 층간 절연층(170)보다 하방의 층을 생략하고 있다. 층간 절연층(170)보다 하방의 층은, 통상의 방법으로 제작할 수 있다.
우선, 층간 절연층(170)을 형성한다. 층간 절연층(170)의 재료는, 감광성 아크릴 수지 또는 감광성 폴리이미드 수지 등의 감광성 유기 수지를 사용할 수 있다. 층간 절연층(170)은, 스핀 코트, 슬릿 코트, 인쇄 또는 잉크젯 등을 사용하여 형성할 수 있다. 다음에, 포토마스크(400)를 마스크로 하여 노광하면, 층간 절연층(170)은, 포토마스크(400)가 개구되어 있는 부분(310)이 감광된다(도 6a). 다음에, 층간 절연층(170)을 현상하면, 층간 절연층(170)의 감광된 부분에 개구(320)가 형성된다(도 6b). 다음에, 층간 절연층(170)에 열을 가하여 리플로우 처리를 행하면, 개구(320)의 저면은 메워지지만, 개구(320)의 상면이 메워지지 않기 때문에, 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)가 형성된다(도 6c). 다음에, 금속층(190)을 성막한다. 금속층(190)은, 스퍼터링 또는 CVD 등을 사용하여 성막할 수 있다. 금속층(190)은, 제1 오목부(171)가 형성된 층간 절연층(170)을 덮도록 성막되기 때문에, 금속층(190)에는, 제1 오목부(171)와 중첩하는 제2 오목부(191)가 형성된다(도 6d). 다음에, 제2 오목부(191)가 형성되어 있지 않은 제1 영역(190-1) 상에는, 땜납, 은 페이스트, 또는 ACF 등의 접합 재료(220)를 도포하여, 발광 소자(200)를 접합한다(도 6e). 또한, 접합 시에 열처리를 행할 수 있다.
표시 장치(10)의 제작에 있어서, 이후의 스텝은 통상의 방법으로 제작할 수 있기 때문에, 여기서는 설명을 생략한다.
이상, 본 실시 형태의 표시 장치(10)의 제작 방법에 따르면, 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)를 형성하고, 제1 오목부(171)를 덮도록 금속층(190)을 성막함으로써, 금속층(190)에 제2 오목부(191)를 형성할 수 있다. 그 때문에, 비용을 증가시키지 않고, 금속층(190)에 제2 오목부(191)를 포함하는 표시 장치(10)를 제작할 수 있다.
표시 장치(10)의 제작 방법은 여러 가지 변형 또는 수정이 가능하다. 그래서, 도 7a 내지 도 8b를 참조하여, 표시 장치(10)의 제작 방법의 변형예에 대하여 설명한다.
<변형예 1>
도 7a 내지 도 7c는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치(10)의 개략 부분 확대도이다. 구체적으로는, 도 7a 내지 도 7c는, 제작 방법의 각 스텝에 있어서, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)의 부분 확대도를 도시한다. 또한, 도 7a 내지 도 7c에서는, 층간 절연층(170)보다 하방의 층을 생략하고 있다. 층간 절연층(170)보다 하방의 층은, 통상의 방법으로 제작할 수 있다.
우선, 제1 층간 절연층(170-1) 및 제2 층간 절연층(170-2)을 형성한다. 제1 층간 절연층(170-1)의 재료는 아크릴 수지 또는 폴리이미드 수지 등의 유기 수지를, 제2 층간 절연층의 재료는 감광성 아크릴 수지 또는 감광성 폴리이미드 수지 등의 감광성 유기 수지를 사용할 수 있다. 제1 층간 절연층(170-1) 및 제2 층간 절연층(170-2)은, 스핀 코트, 슬릿 코트, 인쇄 또는 잉크젯 등에 의해 형성할 수 있다. 다음에, 포토마스크(400)를 마스크로 하여 노광하면, 제2 층간 절연층(170-2)은, 포토마스크(400)가 개구되어 있는 부분(330)이 감광된다(도 7a). 다음에, 제2 층간 절연층(170-2)을 현상하면, 제2 층간 절연층(170-2)의 감광된 부분에 개구(340)가 형성된다(도 7b). 다음에, 제2 층간 절연층(170-2)에 열을 가하여, 제1 층간 절연층(170-1)과 제2 층간 절연층(170-2)의 계면에서 재료를 혼합하여, 제1 층간 절연층(170-1)과 제2 층간 절연층(170-2)이 일체화된 층간 절연층(170)이 형성됨과 함께, 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)가 형성된다(도 7c).
변형예 1에 있어서의 표시 장치(10)의 제작에 있어서, 이후의 스텝은, 상술한 제작 방법과 마찬가지이기 때문에, 여기서는 설명을 생략한다.
이상, 변형예 1의 표시 장치(10)의 제작 방법에 따르면, 제2 층간 절연층(170-2)의 두께에 의해 제1 오목부(171)의 개구 직경 및 깊이가 결정되기 때문에, 금속층(190)의 제2 오목부(191)의 개구 직경 및 깊이를 조정할 수 있다. 따라서, 금속층(190)의 제2 오목부(191)가 조정되어, 표시면으로부터 광 취출 효율이 제어된 표시 장치(10)를 제작할 수 있다.
<변형예 2>
도 8a 및 도 8b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 표시 장치(10)의 제작 방법의 각 스텝에 있어서의 표시 장치(10)의 개략 부분 확대도이다. 구체적으로는, 도 8a 및 도 8b는, 제작 방법의 각 스텝에 있어서, 도 1에 도시하는 파선으로 둘러싸인 영역(11)의 부분 확대도를 도시한다. 또한, 도 8a 및 도 8b에서는, 층간 절연층(170)보다 하방의 층을 생략하고 있다. 층간 절연층(170)보다 하방의 층은, 통상의 방법으로 제작할 수 있다.
우선, 층간 절연층(170)을 형성한다. 층간 절연층(170)의 재료는, 산화실리콘 또는 질화실리콘 등의 무기 절연 재료를 사용할 수 있다. 층간 절연층(170)은, 스퍼터링 또는 CVD 등을 사용하여 형성할 수 있다. 다음에, 층간 절연층(170) 상에 포토레지스트(350)를 도포한다. 다음에, 포토마스크(400)를 마스크로 하여 노광하면, 포토레지스트(350)는, 포토마스크(400)가 개구되어 있는 부분(360)이 감광된다(도 8a). 또한, 여기서는, 포토레지스트(350)를 포지티브형 레지스트로서 설명하였지만, 포토레지스트(350)는 네가티브형 레지스트여도 된다. 포토레지스트(350)가 네가티브형 레지스트인 경우에는, 감광된 부분이 에칭에 의해 남기 때문에, 네가티브형 레지스트용의 포토마스크의 개구부는 도 8a에 도시한 포토마스크(400)의 개구부와는 반대로 된다.
다음에, 포토레지스트(350)를 현상한다. 포토레지스트(350)의 감광된 부분(360)에 개구가 형성된다. 다음에, 개구된 포토레지스트(350)를 마스크로 하여 층간 절연층(170)을 에칭한다. 에칭은, 습식 에칭이어도 되고, 건식 에칭이어도 된다. 층간 절연층(170)의 에칭에 의해, 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)가 형성된다(도 8b). 다음에, 포토레지스트(350)를 박리한다.
변형예 2에 있어서의 표시 장치(10)의 제작에 있어서, 이후의 스텝은, 상술한 제작 방법과 마찬가지이기 때문에, 여기서는 설명을 생략한다.
이상, 변형예 2의 표시 장치(10)의 제작 방법에 따르면, 층간 절연층(170)의 재료가 무기 절연 재료라도, 포토리소그래피를 사용하여, 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)를 형성할 수 있다. 제1 오목부(171)를 덮도록 금속층(190)을 성막함으로써, 금속층(190)에 제2 오목부(191)를 형성할 수 있기 때문에, 비용을 증가시키지 않고, 금속층(190)에 제2 오목부(191)를 포함하는 표시 장치(10)를 제작할 수 있다.
이상은, 주로, 포토리소그래피를 사용하여 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)를 형성하는 방법에 대하여 설명하였지만, 금형을 사용하여 층간 절연층(170)에 제1 오목부(171)를 형성할 수도 있다.
본 발명의 실시 형태로서 상술한 각 실시 형태는, 서로 모순되지 않는 한, 적절히 조합하여 실시할 수 있다. 또한, 각 실시 형태의 표시 장치를 기초로 하여, 당업자가 적절히 구성 요소의 추가, 삭제 혹은 설계 변경을 행한 것, 또는 공정의 추가, 생략 혹은 조건 변경을 행한 것도, 본 발명의 요지를 구비하고 있는 한, 본 발명의 범위에 포함된다.
상술한 각 실시 형태의 양태에 의해 초래되는 작용 효과와는 상이한 다른 작용 효과라도, 본 명세서의 기재로부터 명확한 것, 또는 당업자에게 있어서 용이하게 예측될 수 있는 것에 대해서는, 당연히 본 발명에 의해 초래되는 것이라고 이해된다.
10, 10A, 10B, 10C: 표시 장치
11, 11A, 11B, 11C: 영역
100: 기판
110: 제1 배선층
120: 제2 배선층
130: 제1 절연층
140: 제2 도전층
150: 제2 절연층
160: 제1 도전층
170, 170A, 170B, 170C: 층간 절연층
170-1: 제1 층간 절연층
170-2: 제2 층간 절연층
171: 제1 오목부
171A: 제1 볼록부
171B: 제1 홈부
171C: 제1 오목부
172C: 제3 볼록부
180: 제1 접속 전극
190: 금속층
190A, 190B, 190C 190-1, 190A-1, 190B-1, 190C-1: 제1 영역
190-2, 190A-2, 190B-2, 190C-2: 제2 영역
190C-3: 제3 영역
191: 제2 오목부
191A: 제2 볼록부
191B: 제2 홈부
191C: 제2 오목부
192C: 제4 볼록부
200: 발광 소자
210: 제2 접속 전극
220: 접합 재료
250: 평탄화층
310: 부분
320: 개구
330: 부분
340: 개구
350: 포토레지스트
360: 부분
400: 포토마스크

Claims (19)

  1. 기판과,
    상기 기판 상의 층간 절연층과,
    상기 층간 절연층 상의 금속층과,
    상기 금속층 상의 발광 소자를 포함하고,
    상기 층간 절연층은, 복수의 제1 오목부를 포함하고,
    상기 금속층은, 상기 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고,
    상기 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 오목부가, 상기 복수의 제1 오목부를 따라 마련되어 있는, 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 오목부의 단면 형상은 원형, 타원형 또는 다각형인, 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 오목부의 개구 직경은 1㎛ 이상 10㎛ 이하인, 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제2 오목부의 피치는 1㎛ 이상 10㎛ 이하인, 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제2 오목부의 피치는, 발광 소자로부터 이격됨에 따라 작아지는, 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 층간 절연층은 복수의 제1 볼록부를 더 포함하고,
    상기 금속층은 상기 제2 영역을 둘러싸는 제3 영역을 더 포함하고,
    상기 제3 영역에 있어서, 복수의 제2 볼록부가, 상기 복수의 제1 볼록부를 따라 마련되어 있는, 표시 장치.
  7. 기판과,
    상기 기판 상의 층간 절연층과,
    상기 층간 절연층 상의 금속층과,
    상기 금속층 상의 발광 소자를 포함하고,
    상기 층간 절연층은, 복수의 제1 볼록부를 포함하고,
    상기 금속층은, 상기 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고,
    상기 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 볼록부가, 상기 복수의 제1 볼록부를 따라 마련되어 있는, 표시 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2 볼록부의 단면 형상은 원형, 타원형 또는 다각형인, 표시 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제2 볼록부의 높이는 0.2㎛ 이상 10㎛ 이하인, 표시 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제2 오목부의 피치는 1㎛ 이상 10㎛ 이하인, 표시 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제2 볼록부의 사이의 피치는, 발광 소자로부터 이격됨에 따라 작아지는, 표시 장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 제2 볼록부의 높이는, 발광 소자로부터 이격됨에 따라 커지는, 표시 장치.
  13. 기판과,
    상기 기판 상의 층간 절연층과,
    상기 층간 절연층 상의 금속층과,
    상기 금속층 상의 발광 소자를 포함하고,
    상기 층간 절연층은, 복수의 제1 홈부를 포함하고,
    상기 금속층은, 상기 발광 소자와 접합하는 제1 영역과, 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하고,
    상기 제2 영역에 있어서, 복수의 제2 홈부가, 상기 복수의 제1 홈부를 따라 마련되어 있는, 표시 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제2 홈부의 측면은 테이퍼를 갖는, 표시 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제2 홈부의 깊이는 0.2㎛ 이상 10㎛ 이하인, 표시 장치.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 복수의 제2 홈부의 피치는, 발광 소자로부터 이격됨에 따라 작아지는, 표시 장치.
  17. 제1항, 제7항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 층간 절연층의 재료는 감광성 유기 수지인, 표시 장치.
  18. 제1항, 제7항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 층간 절연층의 재료는 무기 절연 재료인, 표시 장치.
  19. 제1항, 제7항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발광 소자는 마이크로 LED인, 표시 장치.
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