KR20210023685A

KR20210023685A - 플랜지 기구

Info

Publication number: KR20210023685A
Application number: KR1020200090122A
Authority: KR
Inventors: 다카아키 이노우에
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2019-08-22
Filing date: 2020-07-21
Publication date: 2021-03-04
Also published as: TW202108298A; JP7446067B2; JP2021030348A; CN112405290B; CN112405290A

Abstract

[과제] 절삭 부스러기가 오염물로서 나사 결합부에 침입하여 고착되고, 절삭 블레이드를 고정시키는 고정구를 떼어낼 수 없게 될 우려를 방지하는 플랜지 기구를 제공한다.
[해결 수단] 중앙에 삽입 통과공 (201) 이 형성된 절삭 블레이드 (20) 를 협지하여 스핀들 (11) 의 선단에 장착하는 플랜지 기구 (30) 로서, 절삭 블레이드 (20) 의 삽입 통과공 (201) 에 삽입 통과되어 선단에 수나사 (311b) 가 형성된 보스부 (311) 와, 보스부 (311) 의 후단부로부터 직경 방향으로 돌출되어 전면에 절삭 블레이드 (20) 가 맞닿는 맞닿음면 (313a) 을 가진 플랜지부 (313) 를 구비한 후측 플랜지 (31) 와, 보스부 (311) 의 수나사 (311b) 에 나사 결합하는 암나사 (521a) 를 내주에 가진 나사공 (521) 이 형성되고, 후측 플랜지 (31) 에 대해서 절삭 블레이드 (20) 를 고정시키는 고정구 (50) 를 구비하고, 고정구 (50) 의 나사공 (521) 은 막힘공인, 플랜지 기구 (30) 로 한다.

Description

플랜지 기구{FLANGE MECHANISM}

본 발명은 절삭 블레이드를 협지하여 스핀들의 선단에 장착하는 플랜지 기구에 관한 것이다.

종래, 특허문헌 1 에 개시되는 바와 같이, 1 쌍의 플랜지로 블레이드를 협지하여 절삭 장치의 스핀들에 블레이드를 장착하는 구성은 알려져 있다.

구체적으로는, 스핀들측에 고정되는 고정 플랜지의 보스부에 수나사가 형성되고, 보스부가 블레이드와, 전측 플랜지에 삽입된 상태에 있어서, 고정 너트의 암나사를 보스부의 수나사에 체결함으로써, 고정 플랜지와 전측 플랜지 사이에서 블레이드를 협지 고정시키는 구성으로 하는 것이다.

일본 공개특허공보 2015-85466호

특허문헌 1 에 개시되는 절삭 장치에 있어서는, 피가공물의 절삭에 의해서 발생된 절삭 부스러기가 혼입된 절삭수는 오수가 되고, 이 오수가 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 절삭 블레이드에 따라 돌고, 고정 너트, 플랜지, 절삭 블레이드에 부착된다.

그리고, 고정 너트와 고정 플랜지의 나사 결합부에 오수가 침입하고, 그 후 수분이 건조되면, 절삭 부스러기가 나사 결합부의 나사 사이에 고착되고 오염물이 발생되어, 고정 너트를 후측 플랜지로부터 떼어낼 수 없게 되는 것이 우려된다.

본 발명은 이상의 문제를 감안하여, 절삭 부스러기가 오염물로서 나사 결합부에 침입하고 고착되어, 절삭 블레이드를 고정시키는 고정구를 떼어낼 수 없게 될 우려를 방지하는 플랜지 기구를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 양태에 의하면,

중앙에 삽입 통과공이 형성된 절삭 블레이드를 협지하여 스핀들의 선단에 장착하는 플랜지 기구로서,

그 절삭 블레이드의 그 삽입 통과공에 삽입 통과되어 선단에 수나사가 형성된 보스부와,

그 보스부의 후단부로부터 직경 방향으로 돌출되어 전면 (前面) 에 그 절삭 블레이드가 맞닿는 맞닿음면을 가진 플랜지부를 구비한 후측 플랜지와,

그 보스부의 그 수나사에 나사 결합하는 암나사를 내주에 가진 나사공이 형성되고, 그 후측 플랜지에 대해서 그 절삭 블레이드를 고정시키는 고정구를 구비하고, 그 고정구의 그 나사공은 막힘공인, 플랜지 기구로 하는 것이다.

또, 그 보스부가 삽입되는 삽입 통과공이 중앙에 형성되고, 그 절삭 블레이드가 맞닿는 전측 맞닿음면을 갖고, 그 후측 플랜지와 함께 그 절삭 블레이드를 협지하는 전측 플랜지를 추가로 구비한 것으로 하는 것이다.

본 발명의 구성에 의하면, 후측 플랜지에 대해서 절삭 블레이드를 고정시키는 고정구는, 후측 플랜지의 보스부의 수나사에 나사 결합하는 암나사를 내주에 갖는 나사공이 형성되고, 나사공은 막힘공이기 때문에, 나사공이 관통공으로는 되지 않는다. 이로써, 암나사와 수나사 간에 오수가 침입하기 어려워, 고정구가 후측 플랜지에 고착되어 버리는 문제를 회피할 수 있다.

도 1 은, 실시형태에 관련된 절삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 플랜지 기구의 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 3 은, 제 1 실시형태에 관련된 플랜지 기구의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4 는, 제 1 실시형태에 관련된 플랜지 기구의 구성예를 나타내는 분해 단면도이다.
도 5 는, 제 2 실시형태에 관련된 플랜지 기구의 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 6 은, 제 2 실시형태에 관련된 플랜지 기구의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 7 은, 제 2 실시형태에 관련된 플랜지 기구의 구성예를 나타내는 분해 단면도이다.
도 8 은, 실시형태에 관련된 착탈 지그를 나타내는 사시도이다.
도 9 는, 실시형태에 관련된 착탈 지그의 사용 양태를 나타내는 사시도이다.
도 10 은, 실시형태에 관련된 플랜지 기구를 구비한 절삭 장치의 절삭 수단에 의한 피가공물의 절삭 가공 상황을 나타내는 모식도이다.

이하, 적절히 도면을 참조하여, 본원 발명의 일 실시형태에 대해서 설명한다.

도 1 에 나타내는 절삭 장치 (1) 는, 도 3 에 나타내는 플랜지 기구 (30) 가 협지하여 고정시키는 절삭 블레이드 (20) 에 의해서, 피가공물을 절삭하는 가공 장치이다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (1) 는, 척 테이블 (2) 과, 이동 수단 (3) 과, 촬상 수단 (4) 과, 절삭 수단 (5) 을 포함하여 구성되어 있다. 피가공물은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼, 판상의 무기 재료 기판, 판상의 연성 재료 등, 판상의 각종 가공 재료이다. 본 실시형태에서는, 피가공물의 표면과 서로 직교하는 분할 예정 라인이 복수 형성되어 있는 경우에 대해서 설명한다.

척 테이블 (2) 은, 피가공물을 흡인 유지하는 것이다. 척 테이블 (2) 은, 원반상으로 형성되어 있고, 상면이 수평 방향으로 평행이 되는 평면에 형성되어 있다. 척 테이블 (2) 은, 포러스 세라믹으로 구성되어 있고, 도시되지 않은 진공 흡인원에 접속되어 있다.

이동 수단 (3) 은, X 축 방향, Y 축 방향 및 Z 축 방향에 있어서, 척 테이블 (2) 과 절삭 수단 (5) 을 상대 이동시키는 것이다. 이동 수단 (3) 은, X 축 이동 수단 (3a) 과, Y 축 이동 수단 (3b) 과, Z 축 이동 수단 (3c) 을 포함하여 구성되어 있다. X 축 이동 수단 (3a) 은, 척 테이블 (2) 을 본체부 (6) 에 대해서 X 축 방향 (절삭 이송 방향에 상당) 으로 상대 이동 가능하게 지지하고 있다. Y 축 이동 수단 (3b) 은, 절삭 수단 (5) 을 본체부 (6) 에 대해서 Y 축 방향 (산출 이송 방향에 상당) 으로 상대 이동 가능하게 지지하고 있다. Z 축 이동 수단 (3c) 은, 절삭 수단 (5) 을 본체부 (6) 에 대해서 Z 축 방향 (절입 이송 방향에 상당) 으로 상대 이동 가능하게 지지하고 있다. 각 이동 수단 (3a ∼ 3c) 은, 예를 들어, 모터, 볼 나사, 너트 등으로 구성되어 있다.

촬상 수단 (4) 은, 절삭 수단 (5) 을 피가공물의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 대해서 얼라인먼트 조정하기 위해서, 스트리트를 절삭 가공 전에 촬상하는 것이다. 촬상 수단 (4) 은, 예를 들어, CCD (Charge Coupled Device) 이미지 센서를 사용한 카메라 등이다.

절삭 수단 (5) 은, 피가공물에 대해서 절삭 가공을 실시하는 것이다. 절삭 수단 (5) 은, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 회전 구동 수단 (10) 과, 절삭 블레이드 (20) 와, 플랜지 기구 (30) 와, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 을 포함하여 구성되어 있다.

회전 구동 수단 (10) 은, 절삭 블레이드 (20) 를 고속으로 회전 구동시키는 것이다. 회전 구동 수단 (10) 은, 스핀들 (11) 과, 스핀들 하우징 (12) 과, 도시되지 않은 모터를 구비하고 있다. 스핀들 (11) 은, 그 선단에 착탈 가능하게 플랜지 기구 (30) 를 고정시키는 것으로서, 스핀들 하우징 (12) 에 대해서 회전 가능하게 지지되어 있다.

도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (11) 은, 그 선단에 후측 플랜지 고정 수단 (40) 과 나사 결합하는 암나사 (11b) 가 형성된 나사공 (11a) 을 갖고 있다. 스핀들 하우징 (12) 은, 통상으로 형성되어 있고, 래디얼 에어 베어링 및 트러스트 에어 베어링에 의해서, 내삽된 스핀들 (11) 을 회전 가능하게 지지한다.

다음으로, 플랜지 기구의 제 1 실시형태에 대하여, 도 2 ∼ 도 4 에 기초하여 설명한다. 또한, 설명의 편의를 위해서, 도 2 의 지면에 있어서의 좌측을 전측, 우측을 후측, 상측을 위, 하측을 아래로 한다.

도 2 내지 도 4 에 나타내는 바와 같이, 허브 블레이드 (22) 는, 원반상의 허브 기대 (21) 의 외주부에, 판상물을 절삭하기 위한 절삭 블레이드 (20) 를 일체적으로 형성하여 구성되는 것이다. 절삭 블레이드 (20) 는, 환상의 판상 부재에 절삭 지석을 구비하여 구성되는 것으로서, 예를 들어, 이른바 메탈 본드 블레이드, 레진 본드 블레이드, 비드 본드 블레이드 등이다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 (20) 와 허브 기대 (21) 에는, 각각 삽입 통과공 (201, 211) 이 동심 상에 형성되어 있다. 각 삽입 통과공 (201, 211) 의 내주 (201, 211a) 는, 보스부 (311) 의 블레이드 장착부 (311a) 가 삽입 가능한 내경으로 구성된다.

도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 플랜지 기구 (30) 의 후측 플랜지 (31) 는, 스핀들 (11) 의 선단에 허브 블레이드 (22) 를 착탈 가능하게 협지하여 고정시키는 것이다. 플랜지 기구 (30) 는, 후측 플랜지 (31) 외에, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 과, 고정구 (50) 를 포함하여 구성된다.

도 2 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 후측 플랜지 (31) 는, 전체적으로 대략 원반상으로 구성되고, 보스부 (311) 와, 스핀들 장착부 (312) 와, 플랜지부 (313) 를 포함하여 구성된다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 보스부 (311) 는, 플랜지부 (313) 로부터 축 방향 전측으로 돌출되어 원통상으로 형성되어 있고, 외주에는 블레이드 장착부 (311a) 와 수나사 (311b) 가 형성되어 있다. 블레이드 장착부 (311a) 는, 허브 블레이드 (22) 의 삽입 통과공 (211) 의 내주면 (211a) 을 지지한다. 수나사 (311b) 는, 보스부 (311) 의 축 방향 선단부에 형성되어 있고, 고정구 (50) 의 암나사 (521a) 와 나사 결합한다. 수나사 (311b) 의 외주는, 블레이드 장착부 (311a) 의 외주보다 소직경으로 형성된다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 장착부 (312) 는, 후측 플랜지 (31) 의 축 방향에 있어서, 보스부 (311) 의 반대측에 형성된다. 스핀들 장착부 (312) 에는, 스핀들 끼워 맞춤공 (312a) 이 동축 상에 형성되고, 스핀들 끼워 맞춤공 (312a) 이 스핀들 (11) 에 끼워 맞추어진다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 플랜지부 (313) 는, 보스부 (311) 와 스핀들 장착부 (312) 사이의 위치에 형성되어 있고, 플랜지부 (313) 의 외주부의 가장자리부에는, 절삭 블레이드 (20) 의 후면 (201a) 과 맞닿는 맞닿음면 (313a) 이 전측으로 돌출되도록 형성된다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 보스부 (311) 의 선단측에는, 스핀들 끼워 맞춤공 (312a) 보다 내경을 크게 한 대직경 구멍부 (314) 가 형성되고, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 의 볼트 헤드부 (42) 를 수용하면서, 볼트 헤드부 (42) 가 대직경 구멍부 (314) 의 경계면 (314a) 에 맞닿도록 구성된다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 은, 후측 플랜지 (31) 를 스핀들 (11) 의 선단에 착탈 가능하게 고정시키는 것이다. 후측 플랜지 고정 수단 (40) 은, 볼트상으로 구성되고, 그 볼트 헤드부 (42) 는, 보스부 (311) 의 대직경 구멍부 (314) 에 삽입 가능한 크기로 형성되고, 경계면 (314a) 에 맞닿도록 구성된다. 후측 플랜지 고정 수단 (40) 의 수나사 (41) 가, 스핀들 (11) 의 암나사 (11b) 와 나사 결합됨과 함께, 볼트 헤드부 (42) 가 경계면 (314a) 을 가압함으로써, 후측 플랜지 (31) 가 스핀들 (11) 에 고정된다. 볼트 헤드부 (42) 에는, 육각봉 스패너 등의 공구가 삽입되는 육각공 (42a) 이 형성된다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 허브 블레이드 (22) 에는, 허브 기대 (21) 를 보강하기 위해서 리브부 (212) 가 형성되어 있다. 리브부 (212) 는, 허브 블레이드 (22) 의 절삭 블레이드 (20) 와는 반대측에 삽입 통과공 (211) 의 주위에 환상으로 후방으로 돌출되어 형성되고, 리브부 (212) 의 전면 (212a) 에 대하여, 고정구 (50) 의 후면 (50a) 이 맞닿을 수 있도록 구성된다. 이로써, 고정구 (50) 를 보스부 (311) 의 수나사 (311b) 에 체결했을 때, 전면 (212a) 과 후면 (50a) 끼리가 압착되도록 구성된다.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 고정구 (50) 는, 허브 블레이드 (22) 를 후측 플랜지 (31) 에 착탈 가능하게 고정시키는 것이다. 고정구 (50) 는 원반상의 부재로 구성되고, 고정구 (50) 의 두께 방향으로 나사공 (521) 이 동축 상에 구성되며, 나사공 (521) 의 전측이 덮개부 (51) 에 의해서 폐쇄된다. 나사공 (521) 에는, 후측 플랜지 (31) 의 보스부 (311) 의 수나사 (311b) 에 나사 결합하는 암나사 (521a) 가 형성된다. 이와 같은 구성에 의해서, 나사공 (521) 은, 일방이 덮개부 (51) 에 의해서 폐쇄되고, 타방이 개방되는 소위 「막힘공」으로서 구성된다.

도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 고정구 (50) 의 덮개부 (51) 의 표면에는, 후술하는 착탈 지그 (60) (도 9) 와 걸어 맞추기 위한 걸어 맞춤공 (511) 이 복수 지점 (본 실시예에서는 4 개 지점) 에 형성되어 있고, 고정구 (50) 를 회전시킴으로써, 후측 플랜지 (31) 에 대한 착탈을 행할 수 있도록 되어 있다.

이상의 구성으로 하여, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (11) 에 후측 플랜지 (31) 를 삽입 부착하고, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 으로 양자를 고정시킨다. 이어서 후측 플랜지 (31) 에 허브 블레이드 (22) 를 장착하고, 고정구 (50) 로 고정시킨다. 이상과 같이 하여, 도 2 에 나타내는 상태가 실현된다.

다음으로, 플랜지 기구의 제 2 실시형태에 대하여, 도 5 ∼ 7 에 기초하여 제 1 실시형태와 상이한 점에 대해서 설명한다.

도 5 내지 도 7 에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태는, 절삭 블레이드 (20) 와 전측 플랜지 (32) 가 별체로 구성되는 것이고, 이 점에 있어서, 절삭 블레이드 (20) 와 허브 기대 (21) 를 일체 구성으로 하는 제 1 실시형태의 허브 블레이드 (22) 와 다른 것이다.

도 5 내지 도 7 에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태에서는 플랜지 기구 (30) 는, 후측 플랜지 (31) 와, 전측 플랜지 (32) 와, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 과, 고정구 (50) 를 포함하여 구성되어 있다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 전측 플랜지 (32) 는, 후측 플랜지 (31) 와의 사이에서 절삭 블레이드 (20) 를 협지하는 것이다. 전측 플랜지 (32) 는, 환상의 원판상으로 구성되고, 삽입공 (321) 과, 플랜지부 (322) 와, 리브부 (324) 를 구비하고 있다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 전측 플랜지 (32) 의 삽입공 (321) 은, 플랜지부 (322) 와 동축상으로 관통하여 구성되고, 삽입공 (321) 의 내주 (321a) 는, 보스부 (311) 의 블레이드 장착부 (311a) 의 외주에 대응하는 크기의 내경을 갖는다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 전측 플랜지 (32) 의 플랜지부 (322) 의 외주부의 가장자리부에는, 후측으로 돌출되도록 맞닿음면 (322a) 이 형성된다. 이 전측 플랜지 (32) 의 맞닿음면 (322a) 은, 후측 플랜지 (31) 의 맞닿음면 (313a) 에 대향하도록 형성된다. 전측 플랜지 (32) 의 맞닿음면 (322a) 은, 절삭 블레이드 (20) 의 전면 (201b) 에 맞닿고, 후측 플랜지 (31) 의 맞닿음면 (313a) 은, 절삭 블레이드 (20) 의 후면 (201a) 에 맞닿는 것으로, 양 맞닿음면 (322a, 313a) 사이에 절삭 블레이드 (20) 가 협지되도록 되어 있다.

도 7 에 나타내는 바와 같이, 전측 플랜지 (32) 의 리브부 (324) 의 전면 (324a) 에 대하여, 고정구 (50) 의 후면 (50a) 이 맞닿게 되어 있고, 고정구 (50) 를 보스부 (311) 의 수나사 (311b) 에 체결했을 때, 전면 (324a) 과 후면 (50a) 끼리가 압착되도록 구성된다.

이상의 구성으로 하여, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (11) 에 후측 플랜지 (31) 를 삽입 부착하고, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 으로 양자를 고정시킨다. 이어서 후측 플랜지 (31) 에 대하여, 절삭 블레이드 (20), 전측 플랜지 (32) 의 순으로 장착하고, 고정구 (50) 를 후측 플랜지 (31) 에 체결함으로써, 후측 플랜지 (31) 와 전측 플랜지 (32) 사이에 절삭 블레이드 (20) 가 협지된 상태로 고정된다. 이상과 같이 하여 도 5 에 나타내는 상태가 실현된다.

다음으로, 절삭 장치 (1) 에 있어서의 절삭 블레이드 (20) 의 착탈 작업에 대해서 설명한다.

도 8 은, 고정구 (50) 의 착탈에 사용하는 착탈 지그 (60) 를 나타낸다. 또, 도 9 는, 토크 드라이버 (70) 를 사용한 착탈 지그 (60) 의 사용 양태를 나타낸다.

도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 착탈 지그 (60) 는, 전체가 원주 형상으로 구성되고, 전단부에는 고정구 (50) 의 덮개부 (51) 와 서로 마주 대하는 바닥면을 갖는 원형 오목부 (61) 가 형성되며, 원형 오목부 (61) 의 내주부에는 둘레 방향으로 등간격 이격하여 4 개의 파지 후크 (62) 가 배치되어 있다. 파지 후크 (62) 는 반경 방향으로 탄성 변형 가능하고, 원형 오목부 (61) 에 고정구 (50) 가 삽입되면 압축되어, 고정구 (50) 의 덮개부 (51) 의 외주를 파지한다.

도 8 및 도 9 에 나타내는 바와 같이, 원형 오목부 (61) 의 바닥면에는, 스프링 등의 탄성 부재에 의해서 바닥면으로부터 자유롭게 돌출 함몰할 수 있는 자재인 걸어 맞춤 핀 (64) 이 4 개 지점 배치되어 있다. 걸어 맞춤 핀 (64) 은, 고정구 (50) 의 덮개부 (51) 에 형성된 걸어 맞춤공 (511) 에 삽입되어, 걸어 맞춤 가능한 형상으로 구성된다. 또한, 바닥면에 형성되는 걸어 맞춤 핀은 원형 오목부 (61) 의 바닥면에 고정적으로 형성되는 구성으로 해도 된다.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 착탈 지그 (60) 의 원형 오목부 (61) 의 바닥면 중심에는, 토크 드라이버 (70) 를 꽂아 넣기 위한 관통공 (63) 이 형성되어 있다. 관통공 (63) 에는 도시하지 않는 육각형의 걸어 맞춤부가 걸어 맞추어져 있고, 이것에 대응하도록, 토크 드라이버 (70) 의 선단부에는, 단면 육각 형상의 걸어 맞춤부 (71) 가 형성되어 있다. 또, 토크 드라이버 (70) 의 후단부측에는, 회전 작업에 사용하는 핸들 (72) 이 형성되어 있다.

이상과 같이 구성한 착탈 지그 (60), 및, 토크 드라이버 (70) 를 사용하여 고정구 (50) 의 체결을 행한다. 아래에서는, 도 2 내지 도 4 에 나타내는 제 1 실시형태에 대해서 설명하지만, 도 5 내지 도 7 에 나타내는 제 2 실시형태에 대해서도 동일하다.

먼저, 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 스핀들 (11) 에 후측 플랜지 (31) 를 삽입 부착하고, 후측 플랜지 고정 수단 (40) 으로 양자를 고정시킨다. 이 후측 플랜지 고정 수단 (40) 을 고정시킬 때에도, 토크 드라이버 (70) (도 9) 가 사용되는 것으로 해도 된다.

이어서, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 후측 플랜지 (31) 의 보스부 (311) 에 허브 블레이드 (22) 를 장착하고, 후측 플랜지 (31) 의 맞닿음면 (313a) 에 대하여, 절삭 블레이드 (20) 의 후면 (201a) 을 맞닿게 한 상태로 한다.

이어서, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 후측 플랜지의 보스부 (311) 에 형성된 수나사 (311b) 에 대하여, 고정구 (50) 의 암나사 (521a) 를 나사 결합시켜 임시 체결한 후, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 착탈 지그 (60) 의 원형 오목부 (61) 에 고정구 (50) 의 덮개부 (51) 를 마주 대하게 하여 삽입하고, 걸어 맞춤 핀 (64) 을 걸어 맞춤공 (511) 에 삽입하여, 착탈 지그 (60) 와 고정구 (50) 를 일체화시킨다.

이어서, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 토크 드라이버 (70) 의 선단의 걸어 맞춤부 (71) 를 착탈 지그 (60) 의 관통공 (63) 에 삽입하고, 핸들 (72) 에 회전력을 부여하여 회전시킴으로써, 소정의 토크로 고정구 (50) 를 단단히 조여 고정시킬 수 있다. 고정구 (50) 의 체결 후에는, 착탈 지그 (60) 가 떼어내어진다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 고정구 (50) 의 장착이 완료되면, 고정구 (50) 의 후면 (50a) 과, 허브 블레이드 (22) (허브 기대 (21)) 의 전면 (212a) 끼리가 압착되고, 고정구 (50) 와 허브 블레이드 (22) 의 경계 (S) 가 닫혀져 밀폐 상태가 형성된다.

이상과 같이 하여 고정구 (50) 의 고정을 완료시키고, 도 10 에 나타내는 바와 같은 절삭 가공이 행해진다. 절삭 가공시에는, 절삭 블레이드 (20) 를 고속 회전시켜, 척 테이블 (2) 에 유지된 웨이퍼 (7) 의 절삭 가공이 행해진다. 이 때, 절삭 블레이드 (20) 의 하부 및 가공점을 향하여 절삭액이 연속 공급되어, 절삭 블레이드 (20) 및 웨이퍼 (7) 의 냉각이 행해진다.

이 절삭에 의해서 발생된 절삭 부스러기는 절삭액에 혼입되어 오수가 발생되지만, 고정구 (50) 에는 덮개부 (51) 가 형성되고, 나사공 (521) (도 2) 은 막힘공으로 구성되기 때문에, 나사공 (521) 으로의 오수의 침입이 방지된다.

또, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 경계 (S) 가 닫혀져 밀폐 상태가 형성되기 때문에, 당해 경계 (S) 를 통과하여 나사공 (521) 에 오수가 침입해 버리는 것도 방지된다.

이상과 같이, 절삭 부스러기가 혼입된 오수가 나사공 (521) 에 침입하고, 암나사 (521a) 와 수나사 (311b) 의 나사 결합부에 침입해 버리는 것이 방지되어, 절삭 부스러기나 오수가 오염물로서 나사 결합부에 잔류, 고착되어, 고정구 (50) 가 잘 벗겨지지 않게 되는 등의 문제의 발생을 방지할 수 있다.

이상과 같이 하여 본 발명을 실시할 수 있다.

즉, 도 2 내지 도 7 에 나타내는 바와 같이,

중앙에 삽입 통과공 (201) 이 형성된 절삭 블레이드 (20) 를 협지하여 스핀들 (11) 의 선단에 장착하는 플랜지 기구 (30) 로서,

절삭 블레이드 (20) 의 삽입 통과공 (201) 에 삽입 통과되어 선단에 수나사 (311b) 가 형성된 보스부 (311) 와,

보스부 (311) 의 후단부로부터 직경 방향으로 돌출되어 전면에 절삭 블레이드 (20) 가 맞닿는 맞닿음면 (313a) 을 가진 플랜지부 (313) 를 구비한 후측 플랜지 (31) 와,

보스부 (311) 의 수나사 (311b) 에 나사 결합하는 암나사 (521a) 를 내주에 가진 나사공 (521) 이 형성되고, 후측 플랜지 (31) 에 대해서 절삭 블레이드 (20) 를 고정시키는 고정구 (50) 를 구비하고,

고정구 (50) 의 나사공 (521) 은 막힘공인, 플랜지 기구 (30) 로 하는 것이다.

이로써, 수나사 (311b) 와 암나사 (521a) 의 나사 결합부에 절삭 부스러기가 오염물로서 침입하여, 절삭 블레이드 (20) 를 고정시키는 고정구 (50) 를 후측 플랜지 (31) 로부터 떼어낼 수 없게 되는 것을 방지할 수 있다.

또, 도 5 내지 도 7 에 나타내는 바와 같이,

보스부가 삽입되는 삽입 통과공 (201) 이 중앙에 형성되고, 그 절삭 블레이드 (20) 가 맞닿는 전측 맞닿음면 (322a) 을 갖고, 후측 플랜지 (31) 와 함께 절삭 블레이드 (20) 를 협지하는 전측 플랜지 (32) 를 추가로 구비한 플랜지 기구 (30) 로 하는 것이다.

이와 같이, 절삭 블레이드 (20) 와 전측 플랜지 (32) 가 별체로 구성되는 구성에 있어서도 본원 발명을 적용할 수 있다.

10 : 회전 구동 수단
11 : 스핀들
11a : 나사공
11b : 암나사
12 : 스핀들 하우징
20 : 절삭 블레이드
21 : 허브 기대
22 : 허브 블레이드
30 : 플랜지 기구
31 : 후측 플랜지
32 : 전측 플랜지
40 : 후측 플랜지 고정 수단
41 : 수나사
50 : 고정구
51 : 덮개부
60 : 착탈 지그
70 : 토크 드라이버
311 : 보스부
311b : 수나사
511 : 걸어 맞춤공
521 : 나사공
521a : 암나사
S : 경계

Claims

중앙에 삽입 통과공이 형성된 절삭 블레이드를 협지하여 스핀들의 선단에 장착하는 플랜지 기구로서,
그 절삭 블레이드의 그 삽입 통과공에 삽입 통과되어 선단에 수나사가 형성된 보스부와,
그 보스부의 후단부로부터 직경 방향으로 돌출되어 전면에 그 절삭 블레이드가 맞닿는 맞닿음면을 가진 플랜지부를 구비한 후측 플랜지와,
그 보스부의 그 수나사에 나사 결합하는 암나사를 내주에 가진 나사공이 형성되고, 그 후측 플랜지에 대해서 그 절삭 블레이드를 고정시키는 고정구를 구비하고,
그 고정구의 그 나사공은 막힘공인, 플랜지 기구.
제 1 항에 있어서,
그 보스부가 삽입되는 삽입 통과공이 중앙에 형성되고, 그 절삭 블레이드가 맞닿는 전측 맞닿음면을 갖고, 그 후측 플랜지와 함께 그 절삭 블레이드를 협지하는 전측 플랜지를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 플랜지 기구.