KR20200064104A - Cvd-반응기의 내부 하우징의 적재 개구를 폐쇄하기 위한 폐쇄 부재 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공화 가능한 기밀성 반응기 하우징(1) 및 상기 반응기 하우징 내에 배치된 내부 하우징(2)을 구비한 CVD-반응기에 관한 것으로, 상기 내부 하우징은 공정 가스를 공급하기 위한 수단들(3, 4) 및 이러한 내부 하우징 내에서 상기 공정 가스에 의해 처리될 기판(6)을 고정하기 위한 수단들(5)을 포함하고, 이때 상기 내부 하우징(2)은 폐쇄 부재(10)의 밀봉 부재(11)에 의해 폐쇄 가능한 적재 개구(loading opening)(7)를 포함하고, 그리고 상기 밀봉 부재(10)는 자체 폐쇄 위치에서 주변을 둘러싸는 밀봉 구역(10')에 의해 상기 내부 하우징(2)의 외측에서 상기 적재 개구(7)를 둘러싸는 대응 밀봉 구역(7)에 인접하며, 이때 상기 밀봉 부재(11)는 하나 이상의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 경사 조정 및/또는 선회 운동 가능하고, 그리고/또는 상기 공간 축들(X, Y, Z) 중 하나의 공간 축 방향으로 탄성적으로 편향 가능하게 캐리어(12)에 고정되어 있다.
Description
본 발명은 진공화 가능한 기밀성 반응기 하우징 및 상기 반응기 하우징 내에 배치된 내부 하우징을 구비한 CVD-반응기에 관한 것으로, 상기 내부 하우징은 공정 가스를 공급하기 위한 수단들 및 이러한 내부 하우징 내에서 상기 공정 가스에 의해 처리될 기판을 고정하기 위한 수단들을 포함하고, 이때 상기 내부 하우징은 폐쇄 부재의 밀봉 부재에 의해 폐쇄 가능한 적재 개구(loading opening)를 포함하고, 그리고 상기 밀봉 부재는 자체 폐쇄 위치에서 주변을 둘러싸는 밀봉 구역에 의해 상기 내부 하우징의 외측에서 상기 적재 개구를 둘러싸는 대응 밀봉 구역에 인접한다.
US 2013/0101372 A1호로부터, 그 내부에 가스 유입 부재 및 기판을 지지하는 서셉터가 위치한 공정 챔버가 이러한 공정 챔버를 둘러싸는 공간에 대해 하우징에 의해 차폐되어 있는 CVD-반응기가 공지되어 있다. 상기 하우징은 폐쇄 부재에 의해 폐쇄 가능한 적재 개구를 구비한다.
6,273,664 B1호로부터 공정 챔버의 선회 가능한 폐쇄 부재가 사전 공지되어 있다.
DE 10 2014 106 467 A1호는 밀봉 부재를 구비한 폐쇄 부재를 공개하고, 상기 밀봉 부재는 선회축을 중심으로 선회 운동 가능하게 캐리어에 고정될 수 있다.
CVD-반응기, 특히 MOCVD-반응기 내에서 코팅 단계들이 실시된다. 예를 들어 실리콘 또는 Ⅲ-Ⅴ-화합물로 구성된 기판들이 상기 CVD-반응기의 공정 챔버 내에서 하나 또는 복수의 층에 의해 코팅된다. 기판은 바람직하게, 그 표면상에 하나 또는 복수의 단결정 층, 특히 Ⅲ-Ⅴ-층이 증착되는 단결정 고체이다. 이를 위해, 상기 기판을 지지하는 서셉터는 공정 온도로 가열된다. 공정 온도들은 1000℃ 내지 1,200℃의 범위 내에 놓일 수 있고, 이때 특히 질화물들의 증착시 높은 온도들에 도달한다. 이와 같은 공정시 공정 가스로서 특히 Ⅲ-주족 원소들의 금속 유기 화합물들이 상기 공정 챔버 내로 공급된다. Ⅴ-주족 원소들은 수소화물들로서 상기 공정 챔버 내로 공급된다. 질소는 예를 들어 NH3로서 상기 공정 챔버 내로 공급된다. 증착시 기상에서 가스 형태의 출발 물질들이 상기 기판 위에서, 그리고 상기 기판의 표면상에서 분해된다. 상기 서셉터의 표면뿐만 아니라 상기 공정 챔버를 둘러싸는 벽의 표면상에도 기생 층들이 생성된다. 이와 같은 기생 층들은 간혹 제거되어야 한다. 상기 기생 층들의 제거는 건식 에칭 공정에 의해 이루어질 수 있다. 이를 위해, 에칭 가스가 상기 공정 챔버 내로 공급된다. 상승한 온도들에서 상기 기생 층들은 상기 에칭 가스에 의해 휘발성 생성물들로 변환되고, 상기 휘발성 생성물들은 캐리어 가스에 의해 상기 공정 챔버로부터 제거될 수 있다. 에칭 가스로서 Cl2 또는 다른 할로겐 화합물 또는 다른 할로겐이 사용될 수 있다. HCl도 사용될 수 있다.
본 발명의 과제는, 세척 가스의 에칭 작용을 단지 공정 챔버의 영역 상으로만 제한하는 조치들을 제시하는 것이다.
상기 과제는 청구항들에 제시된 본 발명에 의해 해결되고, 이때 종속 청구항들은 제1항에 제시된 본 발명의 바람직한 개선예들을 나타낼 뿐만 아니라, 상기 과제의 독립적인 해결책들도 나타낸다. 종속 청구항들의 개별적인 특징들은 다른 종속 청구항들의 개별적인 특징들과 임의의 방식으로 조합될 수 있다.
우선적으로 그리고 실질적으로, 공정 챔버를 반응기 하우징 내에 배치된 내부 하우징이 둘러싸도록 제안된다. 상기 내부 하우징은 폐쇄 부재의 밀봉 부재에 의해 폐쇄 가능한 적재 개구를 구비한다. 상기 밀봉 부재는 밀봉면 및 상기 밀봉면을 둘러싸는 밀봉 구역을 구비한다. 상기 밀봉 부재가 상기 적재 개구를 폐쇄하는 폐쇄 위치에서 상기 밀봉 구역은 상기 내부 하우징의 대응 밀봉 구역에 인접한다. 상기 대응 밀봉 구역은 상기 적재 개구의 가장자리 영역에 의해 형성된다. 상기 대응 밀봉 구역은 외부로 향하는, 다시 말해 상기 공정 챔버를 둘러싸는 영역으로 향하는 상기 내부 하우징의 벽 표면에 의해 형성된다. 상기 폐쇄 위치에서 상기 밀봉 부재는 외부에서 상기 대응 밀봉 구역에 인접한다. 상기 밀봉 부재는 캐리어에 의해 고정되고, 상기 캐리어는 기계적 구동 수단들을 통해, 상기 밀봉 부재가 상기 폐쇄 위치에서 개방 위치로 제공되도록 변위 될 수 있다. 이 경우, 상기 밀봉 부재는 상기 적재 개구로부터 제거됨으로써, 결과적으로 이와 같은 적재 개구는 상기 공정 챔버의 적재- 및 하적을 위해 개방되어 있다. 상기 캐리어 및 상기 밀봉 부재는 상기 공정 챔버, 다시 말해 상기 내부 하우징을 둘러싸는 상기 반응기 하우징의 영역 내에 배치되어 있다. 진공 펌프가 제공되어 있고, 상기 진공 펌프에 의해 상기 반응기 하우징 및 상기 공정 챔버는 진공화될 수 있다. 특히 상기 밀봉 부재의 양측에서 압력이 균등한 경우, 상기 밀봉 부재는 상기 적재 개구를 기밀 방식으로 폐쇄한다.
본 발명의 또 다른 하나의 양상은, 폐쇄 위치에서 밀봉 부재의 밀봉도를 증가시키는 것이다. 이를 위해, 특히 상기 밀봉 부재 및 하나 이상의 공간 축이 선회 운동 가능하게 캐리어에 고정되어 있다. 공간 축들은 서로 수직으로 놓인 X-, Y- 및 Z-축들로 이해되고, 상기 축들은 3개의 공간 축을 지시한다. 특히 Y-축은 적재 방향으로 적재 개구를 통해 향해 있다. 특히 내부 하우징은 원통형 외벽을 갖는다. 이와 같은 원통형 외벽은 상기 적재 개구를 형성함으로써, 결과적으로 대응 밀봉 구역들은 구부러져 있다. 내부 하우징의 상기 유형의 형성예에서 상기 밀봉 부재는 원통형 외벽의 내부면을 형성하는 밀봉면을 포함할 수 있다. 상기 내부 하우징의 원통을 규정하는 축은 바람직하게 Z-축이다. 그러나 적재 개구는 평면 외벽 내에 배치될 수도 있다. 밀봉 작용을 증폭시키기 위해, 하나 또는 복수의 탄성 부재를 포함하는 고정 시스템이 제공되어 있다. 본 발명에 따르면, 밀봉 부재는 하나 이상의 공간 방향으로 탄성적으로 편향 가능하게 캐리어에 의해 지지 된다. 상기 밀봉 부재는 밀봉 플레이트의 형태를 가질 수 있다. 이와 같은 밀봉 플레이트는 구부러져 있을 수 있는 연장면을 구비한다. 변위 방향은 바람직하게 상기 밀봉 부재의 표면 중심 내 접선 곡면(tangent surface)의 표면 법선 방향이다. 상기 고정 시스템은 한 쌍씩 제공될 수 있다. 하나 이상, 바람직하게 두 개의 고정 시스템은 각각 탄성 부재를 포함하고, 상기 탄성 부재는 폐쇄 위치에서 밀봉력을 가한다. 상기 밀봉력에 의해 밀봉 구역은 평면으로 대응 밀봉 구역에 접촉한다. 그에 따라 제1 탄성 부재는 바람직하게 Y-축 방향으로 작용한다. 상기 제1 탄성 부재의 스프링 작용에 반해 스프링 작용을 가하는 제2 탄성 부재가 제공될 수 있다. 두 개의 탄성 부재는 Y-축 방향으로 축 방향으로 연속적으로 배치될 수 있고 상기 밀봉 부재를 양측에서 완충 처리된 중간의 중립 위치에 고정할 수 있다. 상기 중간의 중립 위치에서는 압축 응력을 받은 상기 제1 탄성 부재로부터 상기 밀봉 부재 상으로 제공되는 제1 힘이 상기 제2 탄성 부재로부터 상기 밀봉 부재 상으로 제공되는 제2 힘에 상응한다. 상기 밀봉 부재를 상기 중간의 중립 위치에 고정하기 위해, 상기 두 개의 힘은 서로 반대로 향해 있다. 내부 하우징이 팽창하는 경우, 또는 상기 내부 하우징에 상기 밀봉 부재가 접근하는 경우, 밀봉력이 형성되거나, 또는 밀봉력이 증가한다. 이 경우, 상기 제1 탄성 부재에 의해 생성된 힘이 증가한다. 상기 제2 탄성 부재에 의해 생성된 힘은 감소한다. 바람직하게 두 개의 탄성 부재는 동일한 스프링 특성, 다시 말해 동일한 스프링 강성을 갖는다. 바람직하게 상기 두 개의 고정 시스템은 X-축 방향으로 서로 변위 되어 배치되어 있고 Y-축 방향으로 평행하게 작용한다. 고정 시스템은 헤드 및 샤프트를 포함할 수 있다. 상기 샤프트는 나선 샤프트로서 형성될 수 있다. 홀더가 제공될 수 있고, 상기 홀더에 상기 헤드가 고정되어 있다. 상기 헤드는 특히 접촉면에 인접한다. 상기 홀더는 특히 상기 밀봉 부재를 고정하기 위해 제공되어 있다. 고정 보어가 제공될 수 있고, 상기 고정 보어를 통해 상기 샤프트가 연장되어 있다. 상기 고정 시스템은 조인트 헤드(joint head)에 고정될 수 있고, 이때 이와 같은 조인트 헤드는 바람직하게 하나 이상의 공간 축을 중심으로 캐리어에 대해 조정될 수 있다. 상기 고정 보어는 서로 등지는 두 개의 접촉면을 서로 연결할 수 있다. 상기 접촉면들은 지지면들에 의해 형성될 수 있고 바람직하게 상기 고정 보어의 가장자리들에 의해 형성된다. 이와 같은 가장자리들에 상기 탄성 부재들이 지지 될 수 있다. 상기 제1 탄성 부재는 상기 고정 보어의 일 측에서 제1 지지면에 지지 될 수 있고, 상기 제2 탄성 부재는 상기 고정 보어의 다른 측에서 제2 지지면에 지지 될 수 있다. 더 나아가 상기 제1 탄성 부재는 바람직하게 상기 홀더에도 지지 됨으로써, 결과적으로 상기 홀더가 조인트 바디(joint body)의 방향으로 변위 되는 경우, 상기 홀더는 압축된다. 상기 제2 탄성 부재는 추가로 상기 샤프트에 단단하게 연결된 바디에 지지 될 수 있고, 이때 이와 같은 바디는 상기 헤드에 마주 놓인 측에서 상기 샤프트에 고정되어 있다. 상기 바디로는 상기 조인트 바디의 가이드부 내에서 이동 가능하게 배치되어 있는 슬라이딩 슬리브(sliding sleeve)가 고려될 수 있다.
본 발명의 하나의 개선예에서, 캐리어의 헤드는 X-방향으로 연장되는 베어링 보어(bearing bore)를 포함한다. 이와 같은 베어링 보어 내에 베어링 축이 지지 되고, 상기 베어링 축의 서로 등지는 두 개의 단부는 상기 베어링 보어로부터 외부로 돌출한다. 상기 베어링 축, 특히 상기 베어링 축의 서로 등지는 두 개의 단부는 조인트 바디를 지지함으로써, 결과적으로 상기 조인트 바디는 X-축을 중심으로 선회할 수 있다. X-축을 중심으로 상기 조인트 바디의 선회각을 제한하기 위해, 바람직하게 선회 제한 수단들이 제공되어 있다. 상기 선회 제한 수단들은 조절 수단들을 포함할 수 있거나, 또는 조절 수단들에 의해 형성될 수 있다. 이와 같은 조절 수단들은 조절 나사를 포함할 수 있다. 그러나 상기 조절 수단들은 스프링 부재들을 포함할 수도 있음으로써, 결과적으로 상기 조인트 바디는 정지부에서 제한될 뿐만 아니라, 스프링력을 받아 조절 가능한 중간 중립 위치로부터 X-축을 중심으로 선회 조정될 수 있다. 상기 베어링 보어로부터 외부로 돌출하는 상기 베어링 축의 두 개의 단부에는 이와 같은 조절 수단들 또는 다른 조절 수단들이 맞물릴 수 있다. 이 경우, 조절 나사가 고려될 수 있다. 상기 조절 나사는 -베어링 축을 기준으로- 방사 방향으로 조정될 수 있다. 그럼으로써 상기 조인트 바디는 Z-축 방향으로 조정된다. 상기 두 개의 조정점이 -Y-축을 기준으로- 서로 변위 되어 있기 때문에, 두 개의 조절 나사에 의해 Y-축에 대해 상기 조인트 바디의 경사각도 조절된다. 특히 바람직하게 상기 조절 나사에는 탄성적인 압축 부재가 공간적으로 할당되어 있고, 이때 상기 탄성적으로 작용하는 압축 부재는 -베어링 축을 기준으로- 상기 조절 나사의 정반대에 마주 놓인다. 상기 탄성적인 압축 부재는 스프링 부재에 압축 응력을 가하는 압축 나사를 포함할 수 있고, 상기 스프링 부재는 상기 조절 나사의 마주 놓인 측에서 상기 베어링 축에 지지 된다. Z-축 방향으로 상기 조인트 바디의 선형 조정 또는 -Y-축을 기준으로- 상기 조인트 바디의 경사 위치 조정을 위한 조정 수단들은 상기 조인트 바디의 레그들에 할당될 수 있고, 이때 상기 캐리어의 캐리어 헤드가 상기 레그들 사이에 배치되어 있다. 더 나아가 상기 조인트 바디는 홀더의 캐리어이다. 상기 홀더는 고정 시스템에 의해 Y-축 방향으로 상기 조인트 바디에 대해 탄성적으로 변위 될 수 있다. -Y-축을 기준으로- 각각 X-방향으로 Y-축으로부터 간격을 두고 있는 두 개의 고정 시스템이 제공되어 있기 때문에, Y-방향으로 상기 고정 시스템들의 서로 다른 선형 변위에 의해 Z-축을 중심으로 상기 홀더의 경사 조정이 달성된다.
본 발명의 하나의 개선예에서, 밀봉 부재는 홀더 상으로, 또는 상기 홀더에 의해 고정된 중간 캐리어 상으로 설치될 수 있다. 상기 밀봉 부재는 바람직하게 높은 온도들을 견디는 제작 재료, 예를 들어 코팅된 흑연으로 구성된다. 조인트 바디 및 홀더는 금속으로 구성될 수 있다. 상기 홀더에 단단하게 연결된 상기 중간 캐리어는 상기 홀더를 상기 밀봉 부재에 대해 열적으로 분리하는 분리 바디일 수 있다. 래칭 연결부가 제공될 수 있고, 상기 래칭 연결부에 의해 상기 밀봉 부재는 캐리어- 또는 홀더 시스템에 고정되어 있다. 이를 위해, 상기 밀봉 부재는 래칭 돌출부를 구비한 진입 사면을 포함할 수 있다. 상기 진입 사면은 바람직하게 밀봉면을 등지는 상기 밀봉 부재의 측에 위치한다. 상기 홀더 또는 상기 홀더에 고정된 브래킷(bracket)은 스프링 응력을 받은 래칭 핀(latching pin)을 포함할 수 있고, 상기 래칭 핀의 래칭 헤드는 상기 중간 캐리어 상에 상기 밀봉 부재의 설치시 상기 진입 사면을 따라서 미끄러지고 상기 래칭 돌출부 위로 스쳐 지나간다. 상기 중간 캐리어 상으로 상기 밀봉 부재의 설치는 Z-축 방향으로, 다시 말해 상기 밀봉면을 기준으로 접선 방향으로 이루어진다.
본 발명의 하나의 개선예에서, 조절 수단들 중 적어도 소수의 조절 수단은 조절 공구, 예를 들어 스크루드라이버(screwdriver)를 통해 조정될 수 있다. 조정은, 일반적으로 밀봉 부재에 의해 덮여 있는 홀더 또는 중간 캐리어의 측으로부터 이루어질 수 있다. 상기 조절 수단들의 조정을 구현하기 위해, 상기 밀봉 부재는 스크루드라이버-관통 개구들을 포함하는 실질적으로 동일한 구성의 조절 부재로 교체될 수 있고, 조인트 바디 또는 홀더의 경사 위치를 조절하거나, 또는 스프링 부재들을 팽팽하게 당기거나, 또는 이완시키기 위해, 상기 스크루드라이버-관통 개구들을 통해 조절 공구들이 맞물릴 수 있다.
본 발명의 하나의 실시예는 다음에서 첨부된 도면들에 의해 설명된다.
도 1은 MOCVD-반응기의 구조의 개략도를 보여주고,
도 2는 도 1의 섹션 Ⅱ의 부분 확대 단면도를 보여주며,
도 3은 내부 하우징(2)의 적재 개구(7)를 폐쇄할 수 있는, 캐리어(12)에 고정된 밀봉 부재(11)를 포함하는 폐쇄 부재(10)의 사시도를 보여주고,
도 4는 부분적으로 개방된 폐쇄 부재(10)의 사시도를 보여주며,
도 5a는 폐쇄 부재(10)의 주요 부재들의 제1 분해도를 보여주고,
도 5b는 폐쇄 부재(10)의 주요 부재들의 제2 분해도를 보여주며,
도 6은 폐쇄 부재의 평면도를 보여주고,
도 7은 도 6의 선 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 8은 부분적으로 개방된 폐쇄 부재(10)의 후방 사시도를 보여주고,
도 9는 도 6의 선 Ⅸ-Ⅸ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 10은 부분적으로 개방된 폐쇄 부재(10)의 사시도를 보여주고,
도 11은 도 6의 선 ⅩⅠ-ⅩⅠ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 12는 밀봉 부재(11)가 단지 파선으로만 표시되어 있는, 다르게 개방된 도 10에 따른 사시도를 보여주고,
도 13은 도 6의 선 ⅩⅢ-ⅩⅢ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 14는 다르게 개방된 도 10에 따른 사시도를 보여주고,
도 15는 파선으로 도시된 조인트 바디(14)를 구비한 도 8에 따른 사시도를 보여주며, 그리고
도 16은 밀봉 부재(11)로 교체 가능한 조절 부재(15)의 사시도를 보여준다.
도 1은 MOCVD-반응기의 구조의 개략도를 보여주고,
도 2는 도 1의 섹션 Ⅱ의 부분 확대 단면도를 보여주며,
도 3은 내부 하우징(2)의 적재 개구(7)를 폐쇄할 수 있는, 캐리어(12)에 고정된 밀봉 부재(11)를 포함하는 폐쇄 부재(10)의 사시도를 보여주고,
도 4는 부분적으로 개방된 폐쇄 부재(10)의 사시도를 보여주며,
도 5a는 폐쇄 부재(10)의 주요 부재들의 제1 분해도를 보여주고,
도 5b는 폐쇄 부재(10)의 주요 부재들의 제2 분해도를 보여주며,
도 6은 폐쇄 부재의 평면도를 보여주고,
도 7은 도 6의 선 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 8은 부분적으로 개방된 폐쇄 부재(10)의 후방 사시도를 보여주고,
도 9는 도 6의 선 Ⅸ-Ⅸ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 10은 부분적으로 개방된 폐쇄 부재(10)의 사시도를 보여주고,
도 11은 도 6의 선 ⅩⅠ-ⅩⅠ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 12는 밀봉 부재(11)가 단지 파선으로만 표시되어 있는, 다르게 개방된 도 10에 따른 사시도를 보여주고,
도 13은 도 6의 선 ⅩⅢ-ⅩⅢ을 따라 절단한 단면도를 보여주며,
도 14는 다르게 개방된 도 10에 따른 사시도를 보여주고,
도 15는 파선으로 도시된 조인트 바디(14)를 구비한 도 8에 따른 사시도를 보여주며, 그리고
도 16은 밀봉 부재(11)로 교체 가능한 조절 부재(15)의 사시도를 보여준다.
도 1은 MOCVD-반응기의 구조의 개략도를 보여주고, 상기 MOCVD-반응기는 도어(9)에 의해 폐쇄 가능한 적재 개구(8)를 포함하는 기밀성 반응기 하우징(1)을 포함한다. 상기 도어(9) 외부에는 대기압이 존재한다. 상기 반응기 하우징(1) 내부에는 조절 가능한 부압이 주도할 수 있다. 이를 위해, 도면들에는 도시되지 않은 진공 펌프가 제공되어 있다.
상기 반응기 하우징(1) 내부에는 내부 하우징(2)이 위치하고, 상기 내부 하우징은 이러한 내부 하우징 내에 위치하는 공정 챔버를 상기 내부 하우징(2)의 주변에 대해 기밀 방식으로 폐쇄한다. 상기 내부 하우징(2) 내부에는 공정 가스들을 유입시키기 위한 가스 유입 부재(4)가 위치하고, 상기 공정 가스들은 외부로부터 가스 공급 라인(3)을 통해 공급된다. 더 나아가 상기 공정 챔버 내부에는 가열 가능한 서셉터(5)가 위치하고, 상기 서셉터는 코팅될 기판을 지지한다.
도 2는 상기 내부 하우징(2)의 원통형 벽 내에 있는 적재 개구(7)의 부분 확대 단면도를 보여준다. 상기 적재 개구(7)는 상기 내부 하우징(2)의 외부로 향하는 측에서 대응 밀봉 구역(7')에 의해 둘러싸여 있다. 이와 같은 대응 밀봉 구역(7')에는 폐쇄 위치에서 폐쇄 부재(10)의 밀봉 부재(11)의 밀봉 구역(10')이 인접한다. 밀봉 연결부(10', 7')는 적어도, 상기 내부 하우징(2)을 둘러싸는 상기 반응기 하우징(1)의 볼륨 내에서 주도하는 동일한 압력이 상기 내부 하우징(2) 내에서도 주도하는 경우에 실질적으로 기밀성을 갖는다. S에 의해 상기 가스 유입 부재(4) 및 상기 서셉터(5)의 중심을 통해 진행하는 대칭 축이 표시되어 있다. 이와 같은 대칭 축(S)을 중심으로 상기 내부 하우징(2)은 원통형 외벽을 형성하고, 상기 원통형 외벽 내에 상기 적재 개구(7)가 배치되어 있다.
상기 밀봉 부재(11)는 캐리어(12)에 의해 지지 된다. 상기 캐리어(12)는 도시되지 않은 기계적 고정 장치에 의해 상기 반응기 하우징(1) 내부에서 두 개의 위치 사이에서 조정될 수 있다. 폐쇄 위치에서는 상기 밀봉 부재(11)가 상기 적재 개구(7)를 폐쇄한다. 개방 위치에서는 상기 서셉터(5)에 기판(6)을 적재 또는 하적하기 위해 상기 적재 개구(7)가 개방되어 있다. 상기 폐쇄 부재(10) 및 상기 도어(9)가 각각 자체 개방 위치를 취하는 경우, 도시되지 않은 그리퍼 등이 서로 같은 높이에 있는 적재 개구들(7, 8)을 통해 맞물릴 수 있다. 개방시 상기 폐쇄 부재(10) 및 특히 상기 폐쇄 부재(10)에 의해 형성된 밀봉 부재(11)는 상기 대칭 축(S)으로부터 멀어진다.
상기 캐리어(12)는 베어링 보어를 포함하는 캐리어 헤드(13)를 구비한다. 상기 베어링 보어(18')는 X-방향으로 연장된다. 상기 베어링 보어(18') 내에는 베어링 샤프트를 형성하는 베어링 축(18)이 삽입된다. 상기 베어링 축(18)은 두 개의 자유 단부를 구비하고, 상기 자유 단부들은 각각 상기 베어링 보어(18')의 단부 섹션으로부터 외부로 돌출한다. 상기 베어링 축(18)의 두 개의 단부 각각은 조인트 바디(14)의 레그(14')의 장형 개구 내에 삽입된다. 도 7이 보여주는 것처럼, 상기 베어링 축(18)의 자유 단부들에 상기 레그들(14') 내에 배치된 조정 가능한 고정 부재들이 맞물린다. X-축에 대해 횡 방향으로, 본 실시예에서 Z-축 방향으로 형성되어 있는 보어 내에는 조절 나사(20)가 삽입된다. 이 경우, 스터드 스크루(stud screw)가 고려되고, 상기 샤프트의 자유 단부는 상기 베어링 축(18)에 인접한다. 상기 조절 나사(20)의 조정에 의해 베어링 지점은 Sz 방향으로, Z-축 방향으로 조정된다. 그 내부에 조절 나사(20)가 삽입된 상기 보어와 같은 높이에 있는 보어 내에는 스프링 부재(22)가 삽입되고, 상기 스프링 부재는 압축 나사(21)에 의해 응력을 받는다. 상기 스프링 부재(22)는 상기 조절 나사(20)에 마주 놓인 측에서 상기 베어링 축(18)에 지지 된다. 상기 조절 나사(20) 또는 상기 압축 나사(21)는 Z-축 방향으로 조정될 수 있다. 상기 조절 나사(20)의 조정에 의해 상기 레그(14')의 장형 홀(19) 내에서 상기 베어링 축(18)의 단부 섹션의 위치가 조정되고, 그에 따라 Z-방향으로 서로 다른 두 개의 위치에서 상기 조인트 바디(14)의 위치가 조정된다. 조절 경로(Sz)의 다양한 확대 또는 축소에 의해 경사각은 Y-축을 중심으로 조정될 수 있다.
상기 조인트 바디(14) 내에서 대략 중심에는 도 13 및 도 14에 도시된 두 개의 조절 부재(24, 26)가 위치하고, 상기 조절 부재들에 의해 X-축을 중심으로 상기 조인트 바디(14)의 선회 제한이 조절될 수 있다. 정지 태핏(24)은 상기 캐리어 헤드(13)에 지지 될 수 있는 정지 단부(24')를 구비한다. 나선형 압축 스프링으로서 형성되어 있는 스프링 부재(25)의 하나의 단부는 상기 캐리어 헤드(13)의 정지면(13')에 지지 되고, 제2 단부는 상기 정지 태핏(24)의 압축 단부(24'')에 지지 된다. 더 나아가 상기 압축 단부(24'')에는 압축 나사(26)의 샤프트 단부(26'')가 맞물리고, 상기 압축 나사의 헤드(26')는 스크루드라이버-삽입 개구를 구비하며, 상기 스크루드라이버-삽입 개구에 의해 상기 압축 나사(26) 및 그에 따라 상기 정지면(13')으로부터 상기 정지 단부(24')의 간격이 조정될 수 있다. 간격들은 도 13에서 a 및 a'에 의해 도시되어 있다. 두 개의 스프링 부재(25)에 의해 상기 조인트 바디(14)는 중간 위치에 고정된다. 이와 같은 중간 위치로부터 상기 조인트 바디(14)는 X-축을 중심으로 선회할 수 있는데, 정지 단부들(24')이 정지면(13')을 접촉할 때까지 선회할 수 있다.
도 14는 추가로 홀더(15)의 보어들(27) 및 상기 홀더에 의해 지지 된 중간 캐리어(16)의 보어들(28)을 보여준다. 압축 나사들(26)을 조정하기 위해, 상기 보어들(27, 28)을 통해 스크루드라이버가 연장될 수 있다.
상기 홀더(15)는 상기 조인트 바디(14)에 대해 Y-방향으로 선형으로 변위 될 수 있다. 이를 위해, XY-평면 내에서 평행하게 서로 변위 되어 배치된 두 개의 스프링- 또는 고정 시스템(30)이 제공되어 있다. 상기 스프링- 또는 고정 시스템들(30)은 Y-축으로 연장된다. 상기 스프링- 또는 고정 시스템들(30) 각각은 샤프트(31'')를 구비하고, 상기 샤프트에 의해 상기 홀더(15)는 상기 조인트 바디(14)에 이동 가능하게 연결되어 있다. 스프링- 또는 고정 시스템(30)의 헤드(31')는 상기 홀더(15)에 지지 된다. 상기 헤드(31')에 연결된 상기 샤프트(31'')는 상기 조인트 바디(14)의 고정 보어(34)를 통해 맞물린다. 본 실시예에서 상기 샤프트(31'')는 상기 홀더(15)의 고정 보어(32)를 통해서도 맞물리고, 이때 상기 고정 보어(32)의 양측에는 각각 디스크(33, 33')가 제공되어 있다. 상기 디스크(33') 또는 상기 홀더(15)에는 제1 탄성 부재(38)가 지지 되는데, 상기 제1 탄성 부재로는 고무 버퍼 또는 나선형-압축 스프링이 고려될 수 있다. 더 나아가 상기 탄성 부재(38)는 상기 조인트 바디(14)에 지지 된다. 본 실시예에서 상기 제1 탄성 부재(38)는 상기 홀더(15) 쪽으로 향하는 상기 고정 보어(34)의 가장자리에 지지 된다. 이와 같은 가장자리에 마주 놓인 상기 고정 보어(34)의 가장자리는 지지면을 형성하고, 상기 지지면에 제2 탄성 부재(39)가 지지 되며, 상기 제2 탄성 부재는 다른 측에서 슬라이딩 슬리브(35)에 의해 스러스트 베어링(thrust bearing) 방식으로 지지 된다. 상기 슬라이딩 슬리브(35)는 암나사를 포함할 수 있고, 상기 암나사 내로 상기 샤프트(31'')의 수나사가 조여진다. 상기 헤드(31') 및 상기 샤프트(31'')는 나사(31)에 의해 형성될 수 있다.
상기 슬라이딩 슬리브(35)는 상기 조인트 바디(14)의 베어링 리세스(37) 내에서 Y-축 방향으로 이동 가능하다. 상기 슬라이딩 슬리브(35)의 회전을 방지하기 위해, 상기 슬라이딩 슬리브(35)의 리세스 내로 맞물리는 가이드 나사(36)가 제공되어 있다.
서로 반대 방향으로 작용하는 상기 두 개의 탄성 부재(38, 39)로 인해, 상기 밀봉 부재(11), 상기 밀봉 부재의 홀더(15) 및/또는 상기 슬라이딩 슬리브(35)는 상기 조인트 바디(14)에 대해 유동적으로(floatingly) 지지 되어 있다. 그에 따라 본 발명은, 조절 가능한 중간 위치로부터 각각의 탄성 부재(38, 39)의 탄성적인 복원력에 반해 상기 캐리어(12)에 대해 밀봉 방향으로 변위 될 수 있는, 상기 캐리어(12)에 대해 유동적으로 지지 된 밀봉 부재(11)에 관한 것이기도 하며, 이때 상기 밀봉 방향은 특히 도 1의 축 S에서 방사 방향이다. 바람직한 하나의 개선예에서 유동적 이중 베어링이 제공되어 있음으로써, 결과적으로 상기 밀봉 부재(10)는 상기 밀봉 방향이 진행하는 평면 내에서 약간의 선회 운동도 실시할 수 있다.
상기 헤드(31')는 스크루드라이버-삽입 개구를 구비하고, 상기 스크루드라이버-삽입 개구에 의해 상기 나사(31)는 회전할 수 있다. 그럼으로써 상기 탄성 부재들(38, 39)의 장력이 증가 또는 감소한다. 상기 나사(31)의 회전에 의해 상기 홀더(15)는 서로 다른 두 개의 위치에서 Sy 방향으로 선형으로 변위 될 수 있다. 상기 두 개의 고정 시스템(30)에 의한 상기 홀더(15)의 다양한 조정에 의해 Z-축을 중심으로 상기 홀더(15)의 경사 위치가 조절된다. 이 경우, 양측에서 완충 처리된, 상기 조인트 바디(14)에 대해 유동적인 상기 홀더(15)의 베어링이 고려된다. 상기 제1 탄성 부재(38)는 상기 밀봉 부재(11)에 의해 상기 적재 개구(7)가 폐쇄되는 최종 단계에서 인장 될 수 있음으로써, 결과적으로 상기 밀봉 부재는 밀봉력을 가하고, 상기 밀봉력에 의해 상기 밀봉 구역(10')이 상기 대응 밀봉 구역(7')에 인접한다.
상기 중간 캐리어(16)는 열 분리 재료로 제조되었고 상기 홀더(15)에 단단하게 연결되어 있다. 두 개의 브래킷(17)도 마찬가지로 상기 홀더(15)에 단단하게 연결되어 있다. 이를 위해 상기 브래킷들(17)은 상기 홀더(15)의 레그(15')에 나사 연결되어 있다.
상기 브래킷들(17) 내부에는 도 9에 도시된 래칭 수단들이 위치하고, 상기 래칭 수단들에 의해 상기 중간 캐리어(16) 상에 설치된 상기 밀봉 부재(11)가 래칭 연결부 내에 고정된다. 이 경우, 상기 밀봉 부재(11)의 고정 웨브(40)가 상기 중간 캐리어(16)의 고정 니쉐(41) 내로 삽입되고, 이때 상기 고정 웨브(40)는 진입 사면(44) 및 상기 진입 사면에 연결되는 래칭 돌출부(43)를 형성한다. 브래킷(17) 내부에는 가이드 섹션(48')을 형성하는 베어링 보어(48)가 위치한다. 상기 가이드 섹션(48') 내에서 래칭 핀(46)의 피스톤 섹션(47)이 변위 될 수 있다. 상기 래칭 핀(46)은 래칭 헤드(46')를 형성하고, 상기 래칭 헤드는 잠금 위치에서 상기 래칭 돌출부(43)를 뒤에서 고정한다. 상기 피스톤 섹션(47)은 압축 나사(50)에 지지 된 스프링 부재(49)에 의해 응력을 받는다.
상기 중간 캐리어(16)는 상기 고정 웨브(40)가 지지 될 수 있는 태핏 형태의 정지 구역(42)을 형성하고, 이때 상기 정지 구역(42)은 상기 래칭 핀(46)에 마주 놓인다.
상기 밀봉 부재(11)에 할당되어 있고 상기 중간 캐리어(16)에 지지 될 수 있는 정지 연장부(52)가 제공되어 있다.
상기 밀봉 부재(11)는 밀봉 구역(10')에 의해 둘러싸여 있는 폐쇄된 밀봉면을 구비한다.
상기 밀봉 부재(11)로 교체 가능한, 그 밖에 상기 밀봉 부재(11)와 동일한 구성의 조절 부재(55)는 베어링 보어들과 같은 높이에 있는 스크루드라이버-삽입 개구들(56, 57)을 구비하고, 상기 스크루드라이버-삽입 개구들에 의해 상기 조절 나사들(26 및 31)이 조정될 수 있다. 다양한 경사각 또는 경사각 제한을 조절하기 위해, 상기 밀봉 부재(11) 대신에 상기 조절 부재(55)가 사용된다.
상기 밀봉면을 등지는 상기 밀봉 부재(11)의 측에서 상기 밀봉 부재(11)는 센터링 리브(centering rib)(54)를 구비한다. 상기 센터링 리브(54)는 상기 홀더(15)의 대략 중심에 배치되어 있는 센터링 리세스(centering recess)(53) 내로 맞물린다.
전술된 실시예들은 본 출원서에 의해 전체적으로 기술된 발명들을 설명하기 위해 이용되고, 상기 발명들은 선행 기술을 적어도 다음 특징 조합들에 의해 각각 독립적으로도 개선하며, 이때 2개, 복수의 또는 모든 이와 같은 특징 조합은 조합될 수도 있다.
상기 밀봉 부재(11)는 하나 이상의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 경사 조정 및/또는 선회 운동 가능하고, 그리고/또는 상기 공간 축들(X, Y, Z) 중 하나의 공간 축 방향으로 탄성적으로 편향 가능하게 캐리어(12)에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 밀봉 부재(11)는 두 개 이상의 공간 축(X, Y, Z) 및/또는 세 개의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 적어도 경사 조정 및/또는 선회 운동 가능하게 상기 캐리어(12)에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
스프링- 및/또는 고정 시스템(30)의 하나 이상의 제1 탄성 부재(38)를 포함하고, 상기 제1 탄성 부재는 폐쇄 위치에서 밀봉력을 가하며, 상기 밀봉력에 의해 밀봉 구역(10')은 평면으로 대응 밀봉 구역(7')에 접촉하는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 밀봉력은 상기 제1 탄성 부재(38)에 의해 생성된 제1 힘과 제2 탄성 부재(39)에 의해 생성된 제2 힘의 총합이고, 이때 상기 제1 힘은 상기 제2 힘과 반대로 향해 있고 두 개의 탄성 부재(38, 39)는 중립 위치에서 서로 압축 응력을 받는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 적재 개구(7)는 상기 내부 하우징(2)의 구부러진 섹션 내에 배치되어 있고, 상기 밀봉 부재(11)는 구부러진 밀봉면을 포함하며, 상기 밀봉면의 가장자리는 상기 밀봉 구역(10')을 형성하고, 그리고/또는 상기 적재 개구(7)는 상기 내부 하우징(2)의 원통형 벽에 할당되어 있고, 이때 상기 캐리어(12)는 상기 원통형 하우징 벽의 윤곽 축이 수직으로 놓이는 평면 내에서 변위 될 수 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 스프링- 및/또는 고정 시스템(30)은 제2 탄성 부재(39)를 포함하고, 상기 제2 탄성 부재의 스프링 방향은 상기 제1 탄성 부재(38)의 스프링 방향과 반대로 향해 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 스프링- 및/또는 고정 시스템(30)은 헤드(31') 및 샤프트(31'')를 포함하고, 이때 상기 헤드(31')는 홀더(15)에 고정되어 있고, 상기 샤프트(31'')는 조인트 헤드(14)의 고정 보어(34) 내에 삽입되며, 그리고 상기 탄성 부재들(38, 39)은 특히 상기 고정 보어(34)의 가장자리들에 의해 형성된 서로 등지는 지지면들(34', 34'')에 지지 되고, 이때 특히 상기 제1 탄성 부재(38)는 상기 홀더(15)에 지지 되고, 상기 제2 탄성 부재(39)는 상기 샤프트(31'') 및 특히 상기 샤프트(31'')에 연결된 바디, 예를 들어 슬라이딩 슬리브(35)에 지지 되는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
베어링 축(18)을 포함하고, 상기 베어링 축에 의해 상기 폐쇄 부재(10)는 X-축을 중심으로 선회할 수 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
선회 제한 수단들(24, 25)을 포함하고, 상기 선회 제한 수단들에 의해 X-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 선회각이 제한될 수 있고, 그리고/또는 상기 선회 제한 수단들에 의해 상기 폐쇄 부재(10)는 탄성적으로 조정 가능하게 출발 위치에 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
Y-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 경사 위치를 조절하기 위한 조절 수단들(20)을 포함하고, 이때 특히 상기 조절 수단들(20)은 상기 베어링 축(18)의 단부 섹션들 상에 지지 된 조절 나사들인 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 조절 수단들(20)에 탄성적인 압축 부재들(21, 22)이 공간적으로 할당되어 있고, 이때 특히 상기 탄성적인 압축 부재들(21, 22)은 -베어링 축(18)을 기준으로- 상기 조절 수단들(20)에 마주 놓이고 Y-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 경사 위치의 탄성적인 조정을 허용하는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 스프링- 및/또는 고정 시스템(30)은 Z-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 경사 조정을 허용하고, 그리고/또는 상기 밀봉 부재(11)는 상기 캐리어(12)에 대해 밀봉 방향으로 유동적으로 지지 된 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 밀봉 부재(11)는 해제 가능한 연결부(43, 44, 46)를 통해 중간 캐리어(16)에 연결되어 있고, 이때 특히 상기 중간 캐리어(16)는 분리 바디이고 홀더(15)에 연결되어 있으며, 상기 홀더는 상기 캐리어(12)에 대해 하나 이상의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 선회 운동 가능한 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
상기 밀봉 부재(11)는 실질적으로 동일한 구성의 조절 부재(55)로 교체될 수 있고, 이때 상기 조절 부재(55)는 조절 나사들을 작동시키기 위한 스크루드라이버-삽입 개구들(56, 57)을 포함하고, 상기 조절 나사들에 의해 상기 캐리어(12)에 대해 중간 캐리어(16) 및/또는 홀더(15)의 경사 위치가 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는 CVD-반응기.
공개된 모든 특징들은 (그 자체로, 그러나 서로 조합된 상태로도) 본 발명에 있어서 중요하다. 그에 따라, 우선권 서류들의 특징들을 본 출원서의 청구항들에 함께 수용할 목적으로도, 본 출원서의 공개 내용에는 관련된/첨부된 우선권 서류들(예비 출원서의 사본)의 공개 내용도 전체적으로 함께 포함된다. 특히 종속 청구항들을 기초로 부분 출원을 실시하기 위해, 종속 청구항들은 인용된 청구항의 특징들 없이도 자체 특징들에 의해 선행 기술의 독립적이고도 진보적인 개선예들을 특징짓는다. 각각의 청구항에 제시된 본 발명은 추가로, 전술된 설명에서 특히 도면 부호들이 제공되어 있고, 그리고/또는 도면 부호 목록에 제시된 하나 또는 복수의 특징을 포함할 수 있다. 본 발명은, 특히 특징들이 개별적인 사용 목적을 위해 명백히 불필요하거나, 또는 기술적으로 동일하게 작용하는 다른 수단들에 의해 대체될 수 있는 경우에 한해서, 전술된 설명에 언급된 개별적인 특징들이 구현되어 있지 않은 형상들에 관한 것이기도 하다.
1 반응기 하우징
2 내부 하우징
3 가스 공급 라인
4 가스 유입 부재
5 서셉터
6 기판
7 적재 개구
7' 대응 밀봉 구역
8 적재 개구
9 도어
10 폐쇄 부재
10' 밀봉 구역
11 밀봉 부재
12 캐리어
13 캐리어 헤드
13' 접촉면
14 조인트 바디
14' 레그
15 홀더
15' 레그
16 중간 캐리어/분리 바디
17 브래킷
18 베어링 축
18' 베어링 보어
19 장형 홀
20 조절 나사
21 압축 나사
22 스프링 부재
23 압축 핀
24 정지 태핏
24' 정지 단부
24'' 압축 단부
25 스프링 부재
26 압축 나사
26' 헤드
26'' 샤프트 단부
27 보어
28 보어
29 고정 나사
30 고정 시스템
31 나사
31' 헤드
31'' 샤프트
32 고정 보어
33 숄더
33' 디스크
34 고정 보어
34' 지지면
34'' 지지면
35 슬라이딩 슬리브
35' 가이드 그루우브
36 가이드 나사
37 베어링 리세스
38 제1 탄성 부재
39 제2 탄성 부재
40 고정 웨브
41 고정 니쉐
42 접촉 구역
43 래칭 돌출부
44 진입 사면
45 고정 숄더
46 래칭 핀
46' 래칭 헤드
47 피스톤 섹션
48 베어링 보어
48' 가이드 섹션
49 스프링 부재
50 압축 나사
51 스프링 부재
52 정지 연장부
53 센터링 리세스
54 센터링 리브
55 조절 부재
56 스크루드라이버-삽입 개구
D 회전 운동
S 대칭 축
Sy 조절 경로
Sz 조절 경로
X 축
Y 축
Z 축
2 내부 하우징
3 가스 공급 라인
4 가스 유입 부재
5 서셉터
6 기판
7 적재 개구
7' 대응 밀봉 구역
8 적재 개구
9 도어
10 폐쇄 부재
10' 밀봉 구역
11 밀봉 부재
12 캐리어
13 캐리어 헤드
13' 접촉면
14 조인트 바디
14' 레그
15 홀더
15' 레그
16 중간 캐리어/분리 바디
17 브래킷
18 베어링 축
18' 베어링 보어
19 장형 홀
20 조절 나사
21 압축 나사
22 스프링 부재
23 압축 핀
24 정지 태핏
24' 정지 단부
24'' 압축 단부
25 스프링 부재
26 압축 나사
26' 헤드
26'' 샤프트 단부
27 보어
28 보어
29 고정 나사
30 고정 시스템
31 나사
31' 헤드
31'' 샤프트
32 고정 보어
33 숄더
33' 디스크
34 고정 보어
34' 지지면
34'' 지지면
35 슬라이딩 슬리브
35' 가이드 그루우브
36 가이드 나사
37 베어링 리세스
38 제1 탄성 부재
39 제2 탄성 부재
40 고정 웨브
41 고정 니쉐
42 접촉 구역
43 래칭 돌출부
44 진입 사면
45 고정 숄더
46 래칭 핀
46' 래칭 헤드
47 피스톤 섹션
48 베어링 보어
48' 가이드 섹션
49 스프링 부재
50 압축 나사
51 스프링 부재
52 정지 연장부
53 센터링 리세스
54 센터링 리브
55 조절 부재
56 스크루드라이버-삽입 개구
D 회전 운동
S 대칭 축
Sy 조절 경로
Sz 조절 경로
X 축
Y 축
Z 축
Claims (16)
- 진공화 가능한 기밀성 반응기 하우징(1) 및 상기 반응기 하우징 내에 배치된 내부 하우징(2)을 구비한 CVD-반응기로서,
상기 내부 하우징은 공정 가스를 공급하기 위한 수단들(3, 4) 및 이러한 내부 하우징 내에서 상기 공정 가스에 의해 처리될 기판(6)을 고정하기 위한 수단들(5)을 포함하고, 상기 내부 하우징(2)은 폐쇄 부재(10)의 밀봉 부재(11)에 의해 폐쇄 가능한 적재 개구(loading opening)(7)를 포함하고, 그리고 상기 밀봉 부재(11)는 자체 폐쇄 위치에서 주변을 둘러싸는 밀봉 구역(10')에 의해 상기 내부 하우징(2)의 외측에서 상기 적재 개구(7)를 둘러싸는 대응 밀봉 구역(7)에 인접하는 CVD-반응기에 있어서,
상기 밀봉 부재(11)는 공간 축들(X, Y, Z) 중 하나의 공간 축 방향으로 탄성적으로 편향 가능하게 캐리어에 고정되어 있거나, 또는 복수의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 경사 조정 및/또는 선회 운동 가능하게 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항에 있어서,
상기 밀봉 부재(11)는 두 개 이상의 공간 축(X, Y, Z) 및/또는 세 개의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 적어도 경사 조정 및/또는 선회 운동 가능하게 상기 캐리어(12)에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
스프링- 및/또는 고정 시스템(30)의 하나 이상의 제1 탄성 부재(38)를 포함하고, 상기 제1 탄성 부재는 폐쇄 위치에서 밀봉력을 가하며, 상기 밀봉력에 의해 상기 밀봉 구역(10')은 평면으로 상기 대응 밀봉 구역(7')에 접촉하는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제3항에 있어서,
상기 밀봉력은 상기 제1 탄성 부재(38)에 의해 생성된 제1 힘과 제2 탄성 부재(39)에 의해 생성된 제2 힘의 총합이고, 상기 제1 힘은 상기 제2 힘과 반대로 향해 있고 두 개의 탄성 부재(38, 39)는 중립 위치에서 서로 압축 응력을 받는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적재 개구(7)는 상기 내부 하우징(2)의 구부러진 섹션 내에 배치되어 있고, 상기 밀봉 부재(11)는 구부러진 밀봉면을 포함하며, 상기 밀봉면의 가장자리는 상기 밀봉 구역(10')을 형성하고, 그리고/또는 상기 적재 개구(7)는 상기 내부 하우징(2)의 원통형 벽에 할당되어 있고, 상기 캐리어(12)는 상기 원통형 하우징 벽의 윤곽 축이 수직으로 놓이는 평면 내에서 변위 될 수 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제3항에 있어서,
상기 스프링- 및/또는 고정 시스템(30)은 제2 탄성 부재(39)를 포함하고, 상기 제2 탄성 부재의 스프링 방향은 상기 제1 탄성 부재(38)의 스프링 방향과 반대로 향해 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스프링- 및/또는 고정 시스템(30)은 헤드(31') 및 샤프트(31'')를 포함하고, 상기 헤드(31')는 홀더(15)에 고정되어 있고, 상기 샤프트(31'')는 조인트 헤드(joint head)(14)의 고정 보어(34) 내에 삽입되며, 그리고 상기 탄성 부재들(38, 39)은 특히 상기 고정 보어(34)의 가장자리들에 의해 형성된 서로 등지는 지지면들(34', 34'')에 지지 되고, 특히 상기 제1 탄성 부재(38)는 상기 홀더(15)에 지지 되고, 상기 제2 탄성 부재(39)는 상기 샤프트(31'') 및 특히 상기 샤프트(31'')에 연결된 바디, 예를 들어 슬라이딩 슬리브(sliding sleeve)(35)에 지지 되는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
베어링 축(18)을 포함하고, 상기 베어링 축에 의해 상기 폐쇄 부재(10)는 X-축을 중심으로 선회할 수 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
선회 제한 수단들(24, 25)을 포함하고, 상기 선회 제한 수단들에 의해 X-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 선회각이 제한될 수 있고, 그리고/또는 상기 선회 제한 수단들에 의해 상기 폐쇄 부재(10)는 탄성적으로 조정 가능하게 출발 위치에 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
Y-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 경사 위치를 조절하기 위한 조절 수단들(20)을 포함하고, 특히 상기 조절 수단들(20)은 상기 베어링 축(18)의 단부 섹션들 상에 지지 된 조절 나사들인 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제10항에 있어서,
상기 조절 수단들(20)에 탄성적인 압축 부재들(21, 22)이 공간적으로 할당되어 있고, 특히 상기 탄성적인 압축 부재들(21, 22)은 -베어링 축(18)을 기준으로- 상기 조절 수단들(20)에 마주 놓이고 Y-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 경사 위치의 탄성적인 조정을 허용하는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제3항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스프링- 및/또는 고정 시스템(30)은 Z-축을 중심으로 상기 폐쇄 부재(10)의 경사 조정을 허용하는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밀봉 부재(11)는 상기 캐리어(12)에 대해 밀봉 방향으로 유동적으로(floatingly) 지지 된 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밀봉 부재(11)는 해제 가능한 연결부(43, 44, 46)를 통해 중간 캐리어(16)에 연결되어 있고, 특히 상기 중간 캐리어(16)는 분리 바디이고 홀더(15)에 연결되어 있으며, 상기 홀더는 상기 캐리어(12)에 대해 하나 이상의 공간 축(X, Y, Z)을 중심으로 선회 운동 가능한 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밀봉 부재(11)는 실질적으로 동일한 구성의 조절 부재(55)로 교체될 수 있고, 상기 조절 부재(55)는 조절 나사들을 작동시키기 위한 스크루드라이버(screwdriver)-삽입 개구들(56, 57)을 포함하고, 상기 조절 나사들에 의해 상기 캐리어(12)에 대해 중간 캐리어(16) 및/또는 홀더(15)의 경사 위치가 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기. - 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항의 하나 또는 복수의 특징을 포함하는 것을 특징으로 하는, CVD-반응기.
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