JP4051881B2 - 制動機構および電子顕微鏡用試料ステージ - Google Patents
制動機構および電子顕微鏡用試料ステージ Download PDFInfo
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【発明の属する技術分野】
本発明は電子顕微鏡用の試料ステージにかかわり、特に半導体素子製造分野における検査観察に用いて好適な電子顕微鏡の試料ステージに関する。
【0002】
【従来の技術】
電子顕微鏡用の試料ステージにはナノメータオーダの低振動性および低ドリフト性が必要とされる。このため、特開昭59−60854号公報、特開平3−159048号公報などに防振あるいはドリフト低減を目的とした技術が提案されている。
【0003】
たとえば、特開昭59−60854号公報では電子レンズ下端をステージ上面に接触させたままステージをXY方向に位置決めする方法が開示されている。この方法によれば、電子レンズとステージの相対移動が抑圧されるため、振動やドリフトによる画像の乱れを低減することができる。
【0004】
また、特開平3−159048号公報では、観察時に試料台の移動部分を電気式のロック機構を用いて固定部分に強く押しつける方法が開示されている。この方法によれば、試料台の移動に必要な推力が増大するなどの問題点を生ずることなしに、試料を低振動かつ低ドリフトで観察位置に固定することが可能となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子顕微鏡は半導体素子の製造分野において検査・観察用途に多く用いられている。これらの用途に用いる電子顕微鏡は、シリコンウェハを切断せずに全面を観察する目的で、直径300ミリメートルのウェハを支持可能で、さらにウェハの直径を上回る可動範囲を持つ試料ステージを備えている。
【0006】
しかし、このように大型の試料ステージは、重量に対する機械剛性を高くとることが難しく、機械共振周波数が低下するため、外部からの振動を拾いやすくなる。半導体製造ラインは一般にクリーンルーム環境であるため、空調から生ずる50〜200Hz程度の振動のレベルが高く、その影響は深刻なものとなる。
【0007】
また、高倍率で試料を観察する際に、試料ステージにドリフト(時間の経過とともに停止位置が微小にずれていく現象)が存在すると、微細パターンの寸法測定などを行う際に測定精度が低下する。
【0008】
ところで、半導体の検査・観察に用いる電子顕微鏡の試料ステージを低振動化あるいは低ドリフト化する場合、(1)観察対象であるウェハの径が大きく、しかもそのウェハ全面を観察できなければならない、(2)観察するウェハ面を電子レンズでこすることは許されない、という制約があるため、特開昭59−60854号公報に開示された方法では電子レンズが接触する部位をウェハの移動範囲の外に設けなければならず、その実現にはきわめて大きな試料ステージが必要になってしまう。また、特開平3−159048号に開示された方法は、試料ステージ各軸の駆動機構が試料室側面に集中して設置される小型の電子顕微鏡には適するが、半導体用の電子顕微鏡に適用しようとすると、真空室内に設置されたステージの各軸の移動部分にリモートコントロールのロック機構を設けなければならないため、制御が複雑で信頼性が低いという問題点がある。
【0009】
本発明の目的は、これらの問題点を解決し、半導体用のシリコンウェハの全面を観察できる移動ストロークを持ちながら、しかも低振動、低ドリフトである制動機構およびそれを有する電子顕微鏡用試料ステージ構造を実現することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明では、ベースとの間に滑り摩擦を生じさせるための、移動テーブルに固定した制動機構を用い、その制動機構をテーブルに固定された2つの平行板バネ機構とそれぞれの平行板バネのうちの1つの板バネに固定された2つの与圧部材と、その与圧部材の片方に固定された滑りパッドと、2つの与圧部材の間隔を調整する調整手段で構成する。
【0011】
また、本発明の別の一形態では、上記の制動機構において各板バネをベースに設けた滑り面と平行に設置する。
【0012】
また、本発明の別の一形態では、上記の制動機構において与圧部材Bに固定された板バネの面のうち、ベースの滑り面に近い側の面を与圧部材の滑りパッド取付け面と同一の面とする。
【0013】
また、本発明の別の一形態では、上記の制動機構において与圧部材に固定された板バネの面のうち、ベースの滑り面に近い側の面と滑りパッド取付け面との段差を1ミリメートル以下とする。
【0014】
また、本発明の別の一形態では、上記の制動機構において与圧部材に固定された板バネの面のうち、ベースの滑り面に近い側の面と滑りパッドの滑り面の段差を、板バネが平面をなす条件において1ミリメートル以下とする。
【0015】
また、本発明の別の一形態では、上記の制動機構において2つの与圧部材の間隔を固定する間隔固定手段を設ける。
【0016】
また、本発明の別の一形態では、ベースとX方向に移動可能に支持されたX移動テーブルと、X移動テーブルに対しY方向に移動可能に支持されたY移動テーブルを備えた電子顕微鏡用試料ステージにおいて、X移動テーブルとベースの間に少なくとも2つの上記制動機構を設ける。
【0017】
また、本発明の別の一形態では、ベースとX方向に移動可能に支持されたX移動テーブルと、X移動テーブルに対しY方向に移動可能に支持されたY移動テーブルを備えた電子顕微鏡用試料ステージにおいて、Y移動テーブルとX移動テーブルの間に少なくとも2つの上記制動機構を設ける。
【0018】
一般に、ステージ機構を低振動・低ドリフトにするための一方法として、テーブルの移動方向を拘束する送りガイド機構とは別に、テーブルとベースの間に滑りを用いた制動機構を付加する方法がある。この方法では、停止時には静止摩擦を利用してテーブルを安定に固定する一方、移動時には静止摩擦力を超える力をかけることにより滑りが生じ、テーブルの移動が可能となるという特徴がある。
【0019】
上記の方法に用いる制動機構には、送り方向の剛性が高いことが必要となる。静止時には、送り軸方向にテーブルを固定する剛性は制動機構自体の剛性に依存するので、この方向の固定剛性が弱いとテーブル質量との間で形成される振動系の共振周波数が低下してしまうためである。また、制動機構の送り方向剛性が低いと、移動に伴って摩擦力により発生する変形が大きく、停止後にこの変形が徐々に開放されることによりドリフトの原因になってしまう。
【0020】
一方で、制動機構には摩擦を発生する面に安定に面圧がかかるようにする必要性から、この面を押しつける方向の剛性を低くする必要もある。ステージを構成する部材の機械加工の精度には限界があるため、摺動に伴ってテーブルとベースの滑り面の間隔は微小に変化するから、面の押し付け剛性が高いと面圧が大きく変動し、これに伴って摩擦力も変動してしまう。送り中におけるこのような摩擦力変動は、位置決め精度の低下をもたらす結果となる。
【0021】
本発明ではこれらの要求を同時に実現するために、図1に示すように板バネ22,23,24,25を用いる。図において、2は移動テーブル、10は固定部材、11は貫通穴、20は平行板バネ手段A、21は平行板バネ手段B、22は板バネA1、23は板バネA2、24は板バネB1、25は板バネB2、30は与圧部材A、31は与圧部材B、40は滑りパッド、41は間隔調整手段である。
【0022】
一般に板バネは、面と垂直な曲げ方向には剛性が低い一方で、面内の引っ張り圧縮には剛性が高いという性質を有するため、滑り面と平行に配置することによって、上記のような特性を実現することができる。
【0023】
さらに、本発明では与圧をかける方法として図4に示すように間隔調整手段41を用いる。ここで、図において50は滑り面、70は滑り面に近い板バネ面、71は滑りパッド取付け面、72はパッドの滑り面を指す。同図(A)は初期の状態で、間隔調整手段であるネジ41を用いて2つの与圧部材30、31の間隔を押し広げることによって同図(B)に示すように与圧部材30、31はそれぞれ上下に変位する。同図(C)に示すようにベースの滑り面50に押しつけることで与圧をかけることができるが、このとき与圧部材の押し付け方向に関する支持剛性は各平行板バネの剛性の和となる。本実施例ではネジ41を回すことにより、取付け状態で与圧を調整することが可能である。このように、押し付け方向の剛性を低く保ちながら、自由に与圧を調整できることが本発明の利点の1つである。
【0024】
滑りパッド40には、磨耗性や凝着性、相手の滑り面を傷つけないなどの観点からフッ素樹脂系の材料を用いるのが望ましい。その厚みは、磨耗寿命の観点から極端に薄くすることはできないが、樹脂材料の材料弾性率は金属材料と比較すると10倍以上低いので、せん断変形によるテーブル滑り面と与圧部材の間の剛性低下を避けるため、0.5ミリメートル以下の厚みとすることが望ましい。
【0025】
また、一般に板バネは、曲がった状態では、平面をなす状態に比較して面内の引っ張り圧縮に対する剛性が低下するので、摺動方向に高い剛性を得るには、使用状態では図4(C)のごとく下側の板バネ23、25が極力曲がっていない状態となるように取付け位置を工夫することが望ましい。このためには、滑りパッドの取付け面71と板バネの図中下側の面70を同一面とするか、あるいは両者の段差を1ミリメートル以下とするとともに、ベースの滑り面50と板バネ下側の面70の間隔も1ミリメートル以下とすることが望ましい。
【0026】
図5は、制動機構に摺動摩擦力が加わった際の変形を示す断面図である。同図(A)に示すように、摺動摩擦力により与圧部材31に回転モーメントが働き、板バネ23,25の曲げが発生する結果、摺動方向の剛性が低下するだけでなく、滑りパッド40の片当たりや偏磨耗を引き起こす。上記のように、ベースの滑り面1と板バネ下側の面70を近接させることにより、回転モーメントはかなり低減できるが、0にすることはできない。
【0027】
そこで本発明では、同図(B)に示すように与圧部材30、31を連結して固定する間隔固定手段42を設け、間隔調整手段41により調整を行った後で固定を行う。この方法により、上記の板バネ23,25の曲げを低減することができる。
【0028】
図6および7は上記本発明の制動機構を備えたXYステージを示す斜視図である。同図において1はベース、5はXテーブル、6はYテーブル、45は取付け穴、50は滑り面、55は制動機構、60はXレール、61はYレール、62はスライダーである。
【0029】
図のように、Yテーブル6およびXテーブル5は、それぞれXテーブル5およびベース1上に設けた滑り面50に対し、制動機構55の作用により振動やドリフトなく停止することができる。Yテーブル6およびXテーブル5に各2個ずつ制動機構55を設けることにより、水平面内の回転、いわゆるヨーイングの方向の振動やドリフトも低減することができる。
【0030】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施例である制動機構を示す断面図、図2は同制動機構の分解図である。なお、図2においては部品中でネジ類は省略してある。固定部材10の図中における下面2ヶ所に板バネ22、23、24、25の端部が結合した部材がネジにより固定される。これらの板バネ22と23、24と25はそれぞれ平行板バネ機構20、21を構成する。また、板バネ22と24、23と25はそれぞれ固定された端部と反対側の端部で与圧部材30および31を支持している。与圧部材30にはタップ穴が設けられ、間隔調整手段であるネジ41が坩合されている。また、与圧部材31の下面には滑りパッド40が接着により固定されている。
【0031】
固定部材10の中央部には貫通穴11を設け、上部よりレンチ等を用いてネジ41を回転させることが可能となっている。また、与圧部材30および31の側面、すなわち図中手前側および奥側の面にはタップ穴が設けられており、間隔固定手段42がネジにより固定される。この構造により、本制動機構をテーブルに取り付けた後でも、ネジ41を用いた与圧調整が可能で、さらに間隔固定手段42により与圧部材30および31を相対的に固定することにより、摺動摩擦力による傾きの発生を防ぐことができる。
【0032】
なお、本実施例においては、図2に示す通り、与圧部材30と板バネ22、24およびそれが結合する端部の部材、また、与圧部材31と板バネ23、25およびそれが結合する端部の部材をそれぞれ一個の部品とする部品構成となっているが、上に述べた各機能部分を含むような部品構成はこの他にも可能である。
【0033】
図6および7は本発明の別の実施例であるXYステージを示す斜視図および分解図を示し、図3は制動機構の取付け方法を示す取付け分解図である。
【0034】
本実施例では、ベース1上に固定されたXレール60の上を摺動可能な4つのスライダー62にXテーブル5が固定されて、X方向に移動可能に支持されている。さらに、Xテーブル5上に固定されたYレール61の上を摺動可能な4つのスライダー62にYテーブル6が固定されて、Y方向に移動可能に支持されている。Xテーブル5およびYテーブル6には、それぞれ2つの取付け穴45を設け、各取付け穴45に前の実施例である制動機構55が固定され、ベース1およびXテーブル5に設けられた滑り面50に摩擦接触をしている。
【0035】
図3に示す通り、制動機構55は上方より取付けが可能となっているので、ベースおよびテーブル等を組立て、移動精度等を調整した後に制動機構55を取付け、与圧を調整することができる。また、取付け穴45には制動機構55の長手に対し横側にスペースを設けてあり、与圧調整後に間隔固定手段42を固定することが可能である。
【0036】
制動機構55の静止摩擦を利用した停止安定化の作用により、本実施例においては、X、Y、水平面内の各方向について、テーブルを振動およびドリフト無しに静止させることが可能になっている。
【0037】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体用のシリコンウェハの全面が観察できる移動ストロークを持ちながら、低振動かつ低ドリフトな試料ステージが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の制動機構を示す断面図。
【図2】本発明の一実施例の制動機構を示す分解斜視図。
【図3】本発明の一実施例の制動機構を示す取付け分解斜視図。
【図4】与圧による板バネの変形を示す制動機構の断面図。
【図5】摺動摩擦力による板バネの変形を示す制動機構の断面図。
【図6】本発明の一実施例の試料ステージを示す斜視図。
【図7】本発明の一実施例の試料ステージを示す分解斜視図。
【符号の説明】
1…ベース、2…移動テーブル、5…Xテーブル、6…Yテーブル、10…固定部材、11…貫通穴、20…平行板バネ手段A、21…平行板バネ手段B、22…板バネA1、23…板バネA2、24…板バネB1、25…板バネB2、30…与圧部材A、31…与圧部材B、40…滑りパッド、41…間隔調整手段、42…間隔固定手段、45…取付け穴、50…滑り面、55…制動機構、60…Xレール、61…Yレール、62…スライダー、70…滑り面に近い板バネ面、71…滑りパッド取付け面、72…パッドの滑り面。
Claims (5)
- その上面に形成された一対のXレールと、当該一対のXレールと平行に形成された第1の滑り面とを備えたベースと、
前記一対のXレール上をX方向に移動可能に支持され、かつ一対のYレールと、当該一対のYレールと平行に形成された第2の滑り面とを備えたX移動テーブルと、
前記一対のYレール上をY方向に移動可能に支持されたY移動テーブルと、
前記X移動テーブルと前記第1の滑り面の間もしくは前記Y移動テーブルと前記第2の滑り面との間に設けられた制動機構とを備えた電子顕微鏡用試料ステージにおいて、
当該制動機構は、
前記第1の滑り面もしくは第2の滑り面に対して対向して配置され、底面に滑りパッドが形成された第1の与圧部材と、
当該第1の与圧部材の両側に第1の滑り面もしくは第2の滑り面に対して平行に固定された第1の平行板バネと、
前記第1の与圧部材の上方に配置され、該第1の与圧部材と間隔調整手段を介して固定された第2の与圧部材と、
当該第2の与圧部材の両側に、第1の平行板バネに対して平行に固定された第2の平行板バネと、
前記第1の平行板バネにおける前記第1の与圧部材との固定端とは逆側の端部と、前記第2の平行板バネにおける前記第2の与圧部材との固定端とは逆側の端部とを固定する固定部材とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡用試料ステージ。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡用試料ステージにおいて、
前記第1の平行板バネの下面と前記滑りパッドの前記第1の与圧部材に対する取付け面と同一の面であることを特徴とする電子顕微鏡用試料ステージ。 - 請求項1または2に記載の電子顕微鏡用試料ステージにおいて、
前記第1の平行板バネの下面と前記滑りパッドの前記第1の与圧部材に対する取付け面との高さの差が1ミリメートル以下であることを特徴とする電子顕微鏡用試料ステージ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の電子顕微鏡用試料ステージにおいて、
前記平行バネが金属材料により構成され、前記滑りパッドがフッ素樹脂により構成されたことを特徴とする電子顕微鏡用試料ステージ。 - 前記請求項1から4のいずれかに記載の電子顕微鏡用試料ステージにおいて、
前記第1の与圧部材と前記第2の与圧部材との間隔を固定する間隔固定手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡用試料ステージ。
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