JP6214946B2 - アクティブブレーキ、アクティブブレーキを備えた試料ステージ、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
アクティブブレーキ、アクティブブレーキを備えた試料ステージ、及び荷電粒子線装置 Download PDFInfo
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Description
12 真空チャンバ
101 トップテーブル
102 平面追従アクティブブレーキ
102c ブレーキパッド
103 中間テーブル(ステージ)
104 ブレーキレール
107 ステージ機構
110 試料
111 平面ミラー
112 レーザ干渉計
113 制御部
201 ウェハ
202 チャック
203 テーブル
204 リニアガイド
205 ベース
206 ブレーキレール
207 アクティブブレーキ
208 ブレーキパッド
209 ブレーキレール
301 圧電アクチュエータ
302 ブレーキレール
303 クランプ
304 フレーム
305 板バネ
307 ブレーキパッド
308 パッドベース
401 圧電アクチュエータ
402 ブレーキパッド
403 ブレーキレール
501 圧電アクチュエータ
502 ブレーキパッド
503 ブレーキレール
504 板バネ
505 圧電アクチュエータ先端
601 圧電アクチュエータ
602a、602b、603c、604d 先端部
603a、603b、603c、604d パッドベース
604 板バネ
605 ブレーキパッド
701 フレームの剛性が高い場合の点
702 フレームの剛性が低い場合の点
703 発生力
704 圧電アクチュエータ変位
801 弾性変形
802 押しつけ力
803 圧電アクチュエータ
804 フレーム
805 板バネ
806 ブレーキレール
807 ブレーキパッド
901 圧電アクチュエータ
902 フレーム
903 通し穴
904 板バネの避け
1001 圧電アクチュエータ
1002 先端
1003 板バネ
1004 パッドベース
1005 ブレーキパッド
1011 可動子
1012 固定子
1031a、1031b クサビ機構
1041 アーム
1042 軸受
1101a、1101b 振幅
1102a、1102b 減衰時間
1103a、1103b 位置ずれ
1104 位置
1105 時間
1106 ブレーキ動作開始時間
1201 電子線
1202 対物レンズ
1203 ウェハ
1204a、1204b テーブル
1205 平面追従アクティブブレーキ
1206 ブレーキレール
1207 ブレーキパッド
1208 電磁モータを使用したアクティブブレーキ
1301 レーザ干渉計
1302 ミラー
1303 Yテーブル
1304 Xテーブル
1310 交点
1311 Yテーブルの位置ずれ
1312 Yテーブル座標
1401 位置ずれ
1402 位置軌跡
1403 目標位置
1404 到達位置
1405 補正前目標位置
1406 補正後目標位置
1501 圧電アクチュエータ
1502 ブレーキパッド
1503 リニアガイド
1504 ブレーキパッドの軌跡
1505 ブレーキレール
1506 ベース
1507a、1507b パッド隙間
1508a 位置P
1508b 位置Q
1601 圧電アクチュエータ
1602 リニアガイド
1603 テーブル
1604 ブレーキレール
1605 ベース
1606 ブレーキパッド
1701 圧電アクチュエータ
1702 テーブル
1703 ガイドレール
1704 ベース
1706 キャリッジ
1707 ブレーキレール
1708a、1708b ブレーキパッド
1708c、1708d ブレーキパッド接触範囲
1709 板バネ
1710 パッドベース
Claims (13)
- ブレーキパッドと、当該ブレーキパッドをブレーキレールに押圧する押圧部材を備えたアクティブブレーキにおいて、
前記ブレーキパッドを支持する可撓性の板バネと、当該板バネの一端を第1の支持部で支持すると共に、当該板バネの他端を第2の支持部で支持する支持部材とを備え、前記ブレーキパッドの前記ブレーキレールとの接触面、及び前記ブレーキレールの前記ブレーキパッドの接触面は、それぞれ平面であって、前記ブレーキパッドの被押圧部、及び前記押圧部材の当該被押圧部との接触部の少なくとも一方に、前記ブレーキパッドの傾斜を許容する曲面、或いは斜面が設けられることを特徴とするアクティブブレーキ。 - 請求項1において、
前記板バネは、前記押圧部材による押圧時に、前記ブレーキレールに向かって撓むように構成されていることを特徴とするアクティブブレーキ。 - 請求項2において、
前記板バネは、前記押圧部材による非押圧時には、前記ブレーキレールに平行な面を有することを特徴とするアクティブブレーキ。 - 請求項1において、
前記板バネを支持するためのフレームを備え、当該フレームは、前記板バネの一端を支持する第1の支持部と、前記板バネの他端を支持する第2の支持部を備えたことを特徴とするアクティブブレーキ。 - 請求項1において、
前記押圧部材による押圧時に、前記被押圧部と前記接触部が点接触するように、当該被押圧部、及び前記被接触部が構成されていることを特徴とするアクティブブレーキ。 - 請求項1において、
前記板バネは、前記ブレーキパッドが、前記ブレーキレールの傾きに応じて、傾斜するように、前記ブレーキパッドを支持することを特徴とするアクティブブレーキ。 - 試料を搭載するためのテーブルと、当該テーブルを所定の方向に移動させる駆動機構と、前記テーブルの前記所定方向への移動を制限するブレーキ機構を備えた試料ステージにおいて、
前記ブレーキ機構は、ブレーキパッドと、当該ブレーキパッドをブレーキに押圧する押圧部材と、前記ブレーキパッドを支持する可撓性の板バネと、当該板バネの一端を第1の支持部で支持すると共に、当該板バネの他端を第2の支持部で支持する支持部材とを備え、前記ブレーキパッドの前記ブレーキレールとの接触面、及び前記ブレーキレールの前記ブレーキパッドの接触面は、それぞれ平面であって、前記ブレーキパッドの被押圧部、及び前記押圧部材の当該被押圧部との接触部の少なくとも一方に、前記ブレーキパッドの傾斜を許容する曲面、或いは斜面が設けられることを特徴とする試料ステージ。 - 請求項7において、
前記板バネは、前記押圧部材による押圧時に、前記ブレーキレールに向かって撓むように構成されていることを特徴とする試料ステージ。 - 請求項8において、
前記板バネは、前記押圧部材による非押圧時には、前記ブレーキレールに平行な面を有することを特徴とする試料ステージ。 - 請求項7において、
前記板バネを支持するためのフレームを備え、当該フレームは、前記板バネの一端を支持する第1の支持部と、前記板バネの他端を支持する第2の支持部を備えたことを特徴とする試料ステージ。 - 請求項7において、
前記押圧部材による押圧時に、前記被押圧部と前記接触部が点接触するように、当該被押圧部、及び前記被接触部が構成されていることを特徴とする試料ステージ。 - 請求項7において、
前記板バネは、前記ブレーキパッドが、前記ブレーキレールの傾きに応じて、傾斜するように、前記ブレーキパッドを支持することを特徴とする試料ステージ。 - 荷電粒子ビームを照射するための荷電粒子光学系と、前記荷電粒子ビームが照射される試料を搭載するためのテーブルと、当該テーブルを所定の方向に移動させる駆動機構と、前記テーブルの前記所定の方向への移動を制限するブレーキ機構を備えた荷電粒子線装置において、
前記ブレーキ機構は、ブレーキパッドと、当該ブレーキパッドをブレーキレールに押圧する押圧部材と、前記ブレーキパッドを支持する可撓性の板バネと、当該板バネの一端を第1の支持部で支持すると共に、当該板バネの他端を第2の支持部で支持する支持部材とを備え、前記ブレーキパッドの前記ブレーキレールとの接触面、及び前記ブレーキレールの前記ブレーキパッドの接触面は、それぞれ平面であって、前記ブレーキパッドの被押圧部、及び前記押圧部材の当該被押圧部との接触部の少なくとも一方に、前記ブレーキパッドの傾斜を許容する曲面、或いは斜面が設けられることを特徴とする荷電粒子線装置。
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JP2013145961A JP6214946B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | アクティブブレーキ、アクティブブレーキを備えた試料ステージ、及び荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013145961A JP6214946B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | アクティブブレーキ、アクティブブレーキを備えた試料ステージ、及び荷電粒子線装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015018978A JP2015018978A (ja) | 2015-01-29 |
JP6214946B2 true JP6214946B2 (ja) | 2017-10-18 |
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JP2013145961A Active JP6214946B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | アクティブブレーキ、アクティブブレーキを備えた試料ステージ、及び荷電粒子線装置 |
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