KR20200011355A - 크리프 피드 연삭 방법 - Google Patents

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사토시 야마나카
히로키 미야모토
히로키 아베
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

크리프 피드 연삭 방법에 있어서, 워크의 피연삭면을 테어링이 적은 고운 면으로 한다.
연삭 수단(7)의 회전축(70)은, 테이블(30)의 유지면(300a)에 대하여 Z축 방향으로부터 기울어져, 연삭 지석(741) 하면과 유지면(300a)의 거리가 최소가 되는 쪽을 연삭 휠(74)의 전방으로 하고, 연삭 지석(741) 하면과 유지면(300a)의 거리가 최대가 되는 쪽을 연삭 휠(74)의 후방으로 하고, Z축 방향 이동 수단(5)을 이용하여, 전방의 연삭 지석(741)의 하면을 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W) 상면보다 낮게 위치 부여하며, Y축 방향 이동 수단(14)을 이용하여, 전방의 연삭 지석(741)보다 후방측에 유지된 판형 워크(W)를 위치 부여하는 공정과, 위치 부여 공정 후, Y축 방향 이동 수단(14)을 이용하여, 연삭 수단(7)에 대하여 테이블(30)을 연삭 휠(74)의 후방으로부터 전방을 향하는 방향으로 이동시켜, 전방의 연삭 지석(741)의 하면과 내측면으로 판형 워크(W)를 연삭하는 공정을 포함하는 크리프 피드 연삭 방법이 제공된다.

Description

크리프 피드 연삭 방법{CREEP FEED GRINDING METHOD}
본 발명은 판형 워크를 연삭하는 크리프 피드 연삭 방법에 관한 것이다.
전극을 구비한 판형 워크를 유지 테이블에 흡인 유지하고, 상기 판형 워크의 상면을 연삭 지석을 환형으로 배치한 연삭 휠을 회전시켜 크리프 피드 연삭하는 경우, 정해진 높이에 연삭 지석을 위치 부여하고, 연삭 지석을 향하여 유지 테이블의 유지면의 방향과 평행한 Y축 방향으로, 판형 워크를 유지한 유지 테이블을 이동시키면서 연삭 지석의 외주면(외측면)으로 연삭하면, 큰 연삭력을 확보할 수 있다(예컨대, 특허문헌 1 또는 2 참조).
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2010-016181호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2009-69759호 공보
그러나, 연삭 지석의 외주면에서 판형 워크를 얕게 연삭하면, 워크의 피연삭면에 테어링 등이 발생하여, 피연삭면이 거칠어지는 경우가 있다. 따라서, 크리프 피드 연삭 방법에 있어서는, 워크의 연삭 후의 피연삭면을 고운 면으로 한다고 하는 과제가 있다.
또한, 외형이 장척인 판형 워크를 크리프 피드 연삭하면, 연삭 지석의 소모에 의해, 연삭 지석이 워크에 진입하기 시작한 곳의 두께와 연삭 종료 후에 연삭 지석이 워크로부터 이반하는 곳의 두께에서 큰 두께차가 발생하여 버리는 경우가 있다.
따라서, 크리프 피드 연삭을 장척의 판형 워크에 실시하는 경우에는, 피연삭면의 두께차를 작게 한다고 하는 과제가 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 판형 워크를 유지하는 유지면을 갖는 유지 테이블과, 회전축의 선단에 연결한 마운트에 연삭 지석을 환형으로 배치한 연삭 휠을 장착하여 상기 회전축을 회전시켜 상기 연삭 지석으로 판형 워크를 연삭하는 연삭 수단과, 상기 유지 테이블과 상기 연삭 수단을 상대적으로 상기 유지면의 방향과 평행한 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 방향 이동 수단과, Y축 방향과 직교하며 상기 유지면에 대하여 수직인 Z축 방향으로 상기 연삭 수단을 이동시키는 Z축 방향 이동 수단을 구비한 연삭 장치를 이용하여, 상기 판형 워크의 상면보다 낮은 위치에 위치 부여된 상기 연삭 지석으로 판형 워크를 연삭하는 크리프 피드 연삭 방법으로서, 상기 회전축은, 상기 유지면에 대하여 Z축 방향으로부터 기울어져 있고, 상기 연삭 지석의 하면과 상기 유지면의 거리가 최소가 되는 쪽을 상기 연삭 휠의 전방으로 하고, 상기 연삭 지석의 하면과 상기 유지면의 거리가 최대가 되는 쪽을 상기 연삭 휠의 후방으로 하고, 상기 Z축 방향 이동 수단을 이용하여, 상기 전방의 연삭 지석의 하면을 상기 유지 테이블에 유지된 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, 상기 Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 상기 전방의 연삭 지석보다 후방측에 상기 유지 테이블에 유지된 판형 워크를 위치 부여하는 위치 부여 공정과, 상기 위치 부여 공정 후, 상기 Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 상기 연삭 수단에 대하여 상기 유지 테이블을 상기 연삭 휠의 상기 후방으로부터 상기 전방을 향하는 방향으로 이동시켜 가면서, 상기 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크를 연삭하는 연삭 공정을 포함하는 크리프 피드 연삭 방법이다.
본 발명에 따른 크리프 피드 연삭 방법에 있어서는, 크리프 피드 연삭 개시 직후의 판형 워크의 상면 높이를 상기 환형의 연삭 지석의 외측에 배치되는 상면 높이 측정 수단으로 측정하는 측정 공정과, 상기 측정 공정로 측정한 측정값에 따라 상기 연삭 수단을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크의 두께차를 작게 하는 보정 공정을 포함하면 바람직하다.
본 발명에 따른 크리프 피드 연삭 방법에 있어서는, 상기 위치 부여 공정에 있어서, 상기 후방의 연삭 지석의 하면을 상기 유지 테이블에 유지된 판형 워크의 상면보다 낮은 위치에 위치 부여하면 바람직하다.
본 발명에 따른 크리프 피드 연삭은, 회전축은, 유지면에 대하여 Z축 방향으로부터 기울어져 있고, 연삭 지석의 하면과 유지면의 거리가 최소가 되는 쪽을 연삭 휠의 전방으로 하고, 연삭 지석의 하면과 유지면의 거리가 최대가 되는 쪽을 연삭 휠의 후방으로 하고, Z축 방향 이동 수단을 이용하여, 전방의 연삭 지석의 하면을 유지 테이블에 유지된 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 전방의 연삭 지석보다 후방측에 유지 테이블에 유지된 판형 워크를 위치 부여하는 위치 부여 공정과, 위치 부여 공정 후, Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 연삭 수단에 대하여 유지 테이블을 연삭 휠의 후방으로부터 전방을 향하는 방향으로 이동시켜 가면서, 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크를 연삭하는 연삭 공정을 포함함으로써, 연삭 후의 판형 워크의 상면을, 테어링 등이 발생하지 않은 고운 피연삭면으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 크리프 피드 연삭은, 크리프 피드 연삭 개시 직후의 판형 워크의 상면 높이를 환형의 연삭 지석의 외측에 배치되는 상면 높이 측정 수단으로 측정하는 측정 공정과, 측정 공정에서 측정한 측정값에 따라 연삭 수단을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크의 두께차를 작게 하는 보정 공정을 포함함으로써, 연삭 후의 판형 워크(W)의 두께차를 작게 하는 것이 가능해진다.
위치 부여 공정에 있어서, 후방의 연삭 지석의 하면을 유지 테이블에 유지된 판형 워크의 상면보다 낮은 위치에 위치 부여함으로써, 판형 워크를 후방의 연삭 지석의 외측면과 하면으로 먼저 크게 연삭하며, 후방의 연삭 지석의 외측면과 하면으로 연삭된 판형 워크의 상면을 전방의 연삭 지석의 내측면과 하면으로 더욱 연삭함으로써, 연삭 후의 판형 워크의 상면을 테어링 등이 발생하지 않은 고운 피연삭면으로 할 수 있다.
도 1은 연삭 장치의 일례를 나타내는 사시도.
도 2는 전방의 연삭 지석의 하면을 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 전방의 연삭 지석보다 후방측에 판형 워크를 위치 부여한 상태를 설명하는 측면도.
도 3은 Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 연삭 수단에 대하여 유지 테이블을 연삭 휠의 후방으로부터 전방을 향하는 방향으로 이동시켜 가면서, 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크를 연삭하기 시작한 상태를 설명하는 측면도.
도 4는 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크의 상면을 다 연삭한 상태를 설명하는 측면도.
도 5는 전방의 연삭 지석의 하면을 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 전방의 연삭 지석보다 후방측에 판형 워크를 위치 부여한 상태를 설명하는 측면도.
도 6은 Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 연삭 수단에 대하여 유지 테이블을 연삭 휠의 후방으로부터 전방을 향하는 방향으로 이동시켜 가면서, 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크를 연삭하기 시작한 상태를 설명하는 측면도.
도 7은 연삭 수단을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크의 두께차를 작게 하는 보정을 행하는 경우를 설명하는 측면도.
도 8은 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크의 상면을 다 연삭한 상태를 설명하는 측면도.
도 9는 전방의 연삭 지석의 하면을 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, 후방의 연삭 지석의 하면을 판형 워크의 상면보다 낮은 위치에 위치 부여하고, 또한, Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 전방의 연삭 지석보다 후방측에 판형 워크를 위치 부여한 상태를 설명하는 측면도.
도 10은 후방의 연삭 지석의 하면과 외측면으로 판형 워크의 상면을 연삭하면서, 또한 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크의 상면을 연삭하는 상태를 설명하는 측면도.
도 11은 종래의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서, 전방의 연삭 지석의 하면을 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 전방의 연삭 지석보다 전방측에 판형 워크를 위치 부여한 상태를 설명하는 측면도.
도 12는 종래의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서, 연삭 수단에 대하여 유지 테이블을 연삭 휠의 전방에서 후방을 향하는 방향으로 이동시켜 가면서, 전방의 연삭 지석의 하면과 외측면으로 판형 워크를 연삭하기 시작한 상태를 설명하는 측면도.
도 13은 종래의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서, 전방의 연삭 지석의 하면과 외측면으로 판형 워크의 상면의 연삭을 마친 상태를 설명하는 측면도.
도 1에 나타내는 연삭 장치(1)는, 유지 테이블(30) 상에 유지된 판형 워크(W)를, 회전하는 연삭 휠(74)로 연삭하는 장치로서, Y축 방향으로 연장되는 장치 베이스(10)와, 장치 베이스(10) 상의 후방(+Y 방향측)에 세워서 설치된 칼럼(11)을 구비하고 있다.
연삭 장치(1)의 장치 베이스(10) 상의 전방(-Y 방향측)은, 유지 테이블(30) 상에 대하여 판형 워크(W)의 착탈이 행해지는 착탈 영역이고, 장치 베이스(10) 상의 후방은, 연삭 수단(7)에 의해 유지 테이블(30) 상에 유지된 판형 워크(W)의 연삭이 행해지는 연삭 영역이다.
도 2에 자세히 나타내는 판형 워크(W)는, 예컨대 PCB 등으로 이루어지는 직사각 형상의 기판(W1)과, 모재가 실리콘 등인 직사각 형상의 칩(W2)을 가지고 있다. 기판(W1)의 상면에는 칩(W2)의 하면이 접합되어 있다.
칩(W2)의 상면에는, 도시하지 않는 디바이스가 형성되어 있다. 이 디바이스의 표면에는 각각 복수의 원주형의 전극(E)이 세워져 설치되어 있다. 전극(E)은, 예컨대 구리를 주(主)요소로 하여 구성되어 있다.
칩(W2)의 상면은, 에폭시 수지 등의 수지층(J)에 의해 밀봉되어 있고, 각 전극(E)의 상단부는 수지층(J)에 의해 덮여 있다.
수지층(J)의 상면은, 판형 워크(W)의 상면(Wa)이 되고, 기판(W1)의 하면은 판형 워크(W)의 하면(Wb)이 된다. 판형 워크(W)의 하면(Wb)은, 예컨대 도시하지 않는 보호 테이프가 접착되어 보호되어 있어도 좋다.
직사각 형상의 판형 워크(W)의 사이즈의 일례로서는, 세로 600 ㎜×가로 300 ㎜이다.
예컨대, 도 1에 나타내는 유지 테이블(30)은, 포러스 부재 등으로 이루어져 판형 워크(W)를 흡착하는 흡착부(300)와, 흡착부(300)를 지지하는 프레임체(301)를 구비한다. 흡착부(300)는, 진공 발생 장치 등의 도시하지 않는 흡인원에 연통하여, 흡인원이 흡인함으로써 만들어진 흡인력이, 흡착부(300)의 노출면인 유지면(300a)에 전달됨으로써, 유지 테이블(30)은 유지면(300a) 상에서 판형 워크(W)를 흡인 유지할 수 있다.
또한, 유지 테이블(30)은, 커버(39)에 의해 주위를 둘러싸면서, 유지 테이블(30)의 하방에 배치된 회전 수단(34)에 의해 Z축 방향의 축심 둘레로 회전 가능하게 되어 있다.
또한, 회전 수단(34)은, 연삭 가공 중은 정지시키고 있기 때문에, 구비하지 않아도 좋다.
유지 테이블(30), 커버(39) 및 커버(39)에 연결된 주름잡힌 커버(39a)의 하방에는, 유지 테이블(30)을 유지면(300a) 방향과 평행한 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 방향 이동 수단(14)이 배치되어 있다. Y축 방향 이동 수단(14)은, Y축 방향의 축심을 갖는 볼나사(140)와, 볼나사(140)와 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(141)과, 볼나사(140)에 연결되어 볼나사(140)를 회동시키는 모터(142)와, 내부에 구비하는 너트가 볼나사(140)에 나사 결합하며 바닥부가 가이드 레일(141) 상을 슬라이딩하는 가동판(143)을 구비하고 있고, 모터(142)가 볼나사(140)를 회동시키면, 이에 따라 가동판(143)이 가이드 레일(141)에서 가이드되어 Y축 방향으로 이동하고, 가동판(143) 상에 회전 수단(34)을 통해 배치된 유지 테이블(30)이 Y축 방향으로 이동한다. 주름잡힌 커버(39a)는 유지 테이블(30)의 이동에 따라 Y축 방향으로 신축한다.
칼럼(11)의 전면에는 연삭 수단(7)을 Y축 방향과 직교하여 유지 테이블(30)의 유지면(300a)에 대하여 수직인 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 방향 이동 수단(5)이 배치되어 있다. Z축 방향 이동 수단(5)은, Z축 방향의 축심을 갖는 볼나사(50)와, 볼나사(50)와 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(51)과, 볼나사(50)의 상단에 연결되어 볼나사(50)를 회동시키는 모터(52)와, 내부의 너트가 볼나사(50)에 나사 결합하며 측부가 가이드 레일(51)에 미끄럼 접촉하는 승강판(53)을 구비하고 있고, 모터(52)가 볼나사(50)를 회동시키면, 이에 따라 승강판(53)이 가이드 레일(51)에서 가이드되고 Z축 방향으로 왕복 이동하여, 승강판(53)에 고정된 연삭 수단(7)이 Z축 방향으로 연삭 이송된다.
연삭 수단(7)은, 축 방향이 유지 테이블(30)의 유지면(300a)에 대하여 Z축 방향으로부터 기울어져 있는 회전축(70)과, 회전축(70)을 회전 가능하게 지지하는 하우징(71)과, 회전축(70)을 회전 구동하는 모터(72)와, 회전축(70)의 선단에 연결된 원형 판형의 마운트(73)와, 마운트(73)의 하면에 장착된 연삭 휠(74)과, 하우징(71)을 지지하며 Z축 방향 이동 수단(5)의 승강판(53)에 그 측면이 고정된 홀더(75)를 구비한다.
회전축(70)이 Z축 방향으로부터 기울어져 있음으로써, 환형의 연삭 지석(741)도 Z축 방향으로부터 기운 상태가 된다. 그리고, 도 2에 나타내는 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 거리가 최소가 되는 쪽(-Y 방향측)을 연삭 휠(74)의 전방[즉, 연삭 지석(741)의 전방]으로 한다. 또한, 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지면(300a)의 거리가 최대가 되는 쪽(도 2에 있어서의 +Y 방향측)을 연삭 휠(74)의 후방[연삭 지석(741)의 후방]으로 한다.
또한, 도 2에 있어서는, 연삭 장치(1)의 각 구성 요소의 일부를 간략화 및 생략하여 나타내고 있다.
회전축(70)의 Z축 방향으로부터의 기울기 각도는 근소한 각도로 되어 있고, 상기 각도는, 예컨대 연삭 휠(74)의 직경에 대응하여 정해진 값이 설정된다.
회전축(70)의 Z축 방향으로부터의 기울기 각도는, 예컨대 연삭 휠(74)의 직경(㎜)이 Φ300인 경우에는, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 높이 위치와 후방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 높이 위치의 차(L0)가 예컨대 20 ㎛∼30 ㎛가 되는 각도로 설정된다.
또한, 회전축(70)의 Z축 방향으로부터의 기울기 각도는, 예컨대 연삭 휠(74)의 직경(㎜)이 Φ500인 경우에는, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 높이 위치와 후방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 높이 위치의 차(L0)가, 예컨대 30 ㎛∼50 ㎛가 되는 각도로 설정된다.
또한, 유지 테이블(30)의 유지면(300a)이, 회전축(70)이 기울어진 상태로, 연삭 지석(741)의 하면(741b)으로 연삭되어 하면(741b)과 유지면(300a)이 평행해진 후, 유지면(300a)에 판형 워크(W)를 유지시켜 연삭 지석(741)의 하면(741b)으로 연삭하고 있다.
연삭 휠(74)은, 원환형의 휠 베이스(740)를 구비하고 있고, 휠 베이스(740)의 바닥면의 외주측의 영역에는, 대략 직방체 형상의 복수의 연삭 지석(741)이 환형으로 배치되어 있다. 연삭 지석(741)은, 정해진 본드제로 다이아몬드 지립 등이 고착되어 성형되어 있다. 또한, 연삭 지석(741)은, 예컨대 구리 등으로 구성되는 전극(E)을 구비하는 판형 워크(W)를 연삭하기 위한 지석이고, 지석 중의 빈 구멍의 비율이나 크기가 통상의 연삭 지석과 비교하여 큰 것이다. 연삭 지석(741) 중의 빈 구멍의 비율이나 크기가 크게 설정되어 있는 이유는, 전극(E)을 통상의 연삭 지석으로 연삭하면 전극(E)을 구성하는 구리가 연삭 지석의 빈 구멍에 차기 쉽기 때문에, 이 막힘을 막기 위해서다. 한편, 연삭 지석(741)은 빈 구멍의 비율이나 크기가 크게 설정되어 있는 지석이기 때문에, 판형 워크(W)의 연삭에 따른 마모량도 통상의 연삭 지석에 비해서 크다.
예컨대, 회전축(70)의 내부에는, 연삭수 공급원에 연통하여 연삭수의 통로가 되는 도시하지 않는 유로가, 회전축(70)의 축 방향으로 관통하여 형성되어 있고, 유로는 연삭 휠(74)의 바닥면에 있어서 연삭 지석(741)을 향하여 연삭수를 분출할 수 있게 개구하고 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 유지 테이블(30)의 이동 경로 상방에는, 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이를 접촉식으로 측정하는 상면 높이 측정 수단(38)이 배치되어 있다. 상면 높이 측정 수단(38)은, 그 선단에, 상하 방향으로 승강하여 피측정면에 접촉하는 컨택트(380)를 구비하고 있고, 상기 컨택트(380)는, 예컨대 하방을 향하여 점차 직경 축소하는 예두형으로 형성되어 있다. 컨택트(380)는 아암부(381)에 의해 지지되어 있고, 아암부(381)는, 그 내부에 내장한 스프링이 만들어내는 압박력에 의해, 컨택트(380)를 피측정면에 대하여 적절한 힘으로 압박할 수 있다. 크리프 피드 연삭이 실시되고 있는 중간에, 상면 높이 측정 수단(38)은, 연삭 수단(7)의 환형의 연삭 지석(741)의 외측에서 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이를 측정한다.
또한, 상면 높이 측정 수단은, 측정광을 판형 워크(W)의 상면(Wa)에 조사하는 비접촉식의 것이어도 좋다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 연삭 장치(1)는, CPU와 메모리 등의 기억부(91)를 포함하여 장치 전체의 제어를 행하는 제어 수단(9)을 구비하고 있다. 제어 수단(9)은, 도시하지 않는 배선에 의해, Z축 방향 이동 수단(5), Y축 방향 이동 수단(14) 등에 전기적으로 접속되어 있고, 제어 수단(9)의 제어 하에서, Z축 방향 이동 수단(5)에 의한 연삭 수단(7)의 Z축 방향으로의 이동 동작 및 위치 부여 높이 및 Y축 방향 이동 수단(14)에 의한 유지 테이블(30)의 이동 속도 등이 제어된다.
예컨대, 전술한 Z축 방향 이동 수단(5)의 모터(52)는, 도시하지 않는 펄스 발진기로부터 공급되는 구동 펄스에 의해 동작하는 펄스 모터이다. 제어 수단(9)은, Z축 방향 이동 수단(5)에 공급되는 구동 펄스수를 카운트하여, 연삭 수단(7)의 높이 위치를 인식한다.
또한, Z축 방향 이동 수단(5)의 모터(52)를 서보 모터로 하고, 서보 모터에 로터리 인코더가 접속된 구성으로 하여도 좋다. 로터리 인코더는, 서보 앰프로서의 기능도 갖는 제어 수단(9)에 접속되어 있고, 제어 수단(9)으로부터 서보 모터에 대하여 동작 신호가 공급된 후, 인코더 신호(서보 모터의 회전수)를 제어 수단(9)에 대하여 출력한다. 제어 수단(9)은 수취한 인코더 신호에 의해, 연삭 수단(7)의 Z축 방향에 있어서의 이동량을 산출하여 그 높이 위치를 인식한다.
(크리프 피드 연삭 방법의 실시형태 1)
이하에, 도 1∼도 4를 이용하여, 연삭 장치(1)에 의해 판형 워크(W)를 크리프 피드 연삭하는 경우의 각 공정에 대해서 설명한다.
(1) 위치 부여 공정
먼저, 도 1, 2에 나타내는 판형 워크(W)가, 장치 베이스(10) 상의 착탈 영역에 있어서, 수지층(J)을 상측을 향하게 하여 유지 테이블(30)의 유지면(300a) 상에 배치된다. 그리고, 유지 테이블(30)에 접속된 도시하지 않는 흡인원이 작동하여 만들어낸 흡인력이 유지면(300a)에 전달됨으로써, 유지 테이블(30)에 의해 판형 워크(W)가 흡인 유지된다.
Y축 방향 이동 수단(14)이, 판형 워크(W)를 흡인 유지한 유지 테이블(30)을 장치 베이스(10) 상의 착탈 영역으로부터 연삭 영역 내의 +Y 방향의 정해진 위치까지 이동시킴으로써, 유지 테이블(30)이 Y축 방향 이송의 개시 위치에 위치 부여된다. 즉, 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 거리가 최소가 되는 전방측(-Y 방향측)의 연삭 지석(741)보다 후방측에 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)가 위치 부여된다.
또한, 연삭 수단(7)이 Z축 방향 이동 수단(5)에 의해 -Z 방향으로 보내지고, 제어 수단(9)에 의한 Z축 방향 이동 수단(5)의 제어 하에서, 연삭 지석(741)의 최하단이 되는 전방의 연삭 지석(741)이 판형 워크(W)의 상면(Wa)에 절입되는 정해진 높이 위치에 연삭 수단(7)이 위치 부여된다. 즉, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여된 상태가 된다. 또한, 연삭 수단(7)이 위치 부여되는 높이 위치는, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)이 수지층(J) 및 전극(E)에 정해진 양 절입되는 높이 위치이다.
또한, 연삭 가공하기 전에, 유지 테이블(30)의 유지면(300a)에 전방(-Y 방향측)의 상기 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 접촉하는 연삭 수단(7)의 높이 위치를 기억하는 셋업을 실시하고 있고, 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여되는 상기 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 위치는, 셋업으로 기억한 연삭 수단(7)의 높이 위치로부터 판형 워크(W)의 마무리 두께 상의 위치이다.
(2) 연삭 공정
도 1에 나타내는 모터(72)가 회전축(70)을, 예컨대 +Z 방향에서 보아 반시계 방향으로 회전 구동하고, 이에 따라 연삭 휠(74)이 회전한다.
도 3에 나타내는 바와 같이, Y축 방향 이동 수단(14)이, 판형 워크(W)를 흡인 유지한 유지 테이블(30)을 -Y 방향으로 정해진 이송 속도로 이동시킨다. 즉, 연삭 수단(7)에 대하여 유지 테이블(30)을 연삭 휠(74)의 후방(+Y 방향측)으로부터 전방(-Y 방향측)을 향하는 방향으로 이동시킨다. 그리고 회전하는 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)에서 판형 워크(W)의 수지층(J) 및 전극(E)의 원형 상면이 연삭되어 간다. 또한, 연삭되는 판형 워크(W)의 상면(Wa)에 나타나는 수지층(J)의 면적과 전체 전극(E)의 원형 상면의 면적의 합계의 비율의 일례는, 예컨대 수지층(J):전전극(E)의 원형 상면=20:80이다.
또한, 회전하는 후방(+Y 방향측)의 연삭 지석(741)은 판형 워크(W)를 연삭하지 않는다.
그리고, 도 4에 나타내는 바와 같이, -Y 방향의 정해진 위치까지 유지 테이블(30)을 이동시켜, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)에 의해 판형 워크(W)의 상면(Wa) 전체면을 연삭한 후, 연삭 수단(7)이 +Z 방향으로 인상되어 판형 워크(W)로부터 이격된다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 크리프 피드 연삭 방법은, 회전축(70)은, 유지 테이블(30)의 유지면(300a)에 대하여 Z축 방향으로부터 기울어져 있고, 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 거리가 최소가 되는 쪽을 연삭 휠(74)의 전방으로 하고, 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 거리가 최대가 되는 쪽을 연삭 휠(74)의 후방으로 하고, Z축 방향 이동 수단(5)을 이용하여, 상기 전방(-Y 방향측)의 연삭 지석(741)의 하면(741b)을 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여하며, Y축 방향 이동 수단(14)을 이용하여, 전방의 연삭 지석(741)보다 후방측(+Y 방향측)에 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)를 위치 부여하는 위치 부여 공정과, 위치 부여 공정 후, Y축 방향 이동 수단(14)을 이용하여, 연삭 수단(7)에 대하여 유지 테이블(30)을 연삭 휠(74)의 후방(+Y 방향)으부터 전방(-Y 방향)을 향하도록 이동시켜 가면서, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)으로 판형 워크(W)를 연삭하는 연삭 공정을 포함함으로써, 연삭 후의 판형 워크(W)의 피연삭면인 상면(Wa)을, 테어링 등이 거의 발생하지 않는 고운 피연삭면으로 하는 것이 가능하다.
(크리프 피드 연삭 방법의 실시형태 2)
이하에, 도 1 및 도 5∼도 8을 이용하여, 연삭 장치(1)에 의해 판형 워크(W)를 크리프 피드 연삭하는 경우의 각 공정에 대해서 설명한다.
(1) 위치 부여 공정
위치 부여 공정이, 실시형태 1에 있어서의 경우와 동일하게 행해져, 도 5에 나타내는 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 거리가 최소가 되는 전방측(-Y 방향측)의 연삭 지석(741)보다 후방측에 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)가 위치 부여된다. 또한, 전방(-Y 방향측)의 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여된 상태가 된다. 또한, 연삭 수단(7)이 위치 부여되는 높이 위치는, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b) 및 내측면(741c)이 수지층(J) 및 전극(E)에 정해진 양 절입되는 높이 위치이고, 연삭된 판형 워크(W)를 원하는 두께(마무리 두께)로 하기 위한 높이 위치(Z0)[초기 높이 위치(Z0)]이다.
또한, 본 실시형태 2에 있어서도, 연삭 수단(7)의 높이 위치를 기억하는 셋업은 사전에 행해지고 있고, 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여되는 상기 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 위치는, 셋업으로 기억한 연삭 수단(7)의 높이 위치로부터 판형 워크(W)의 마무리 두께 상의 위치이다.
(2) 연삭 공정
모터(72)가 회전축(70)을, 예컨대 +Z 방향에서 보아 반시계 방향으로 회전 구동하고, 이에 따라 연삭 휠(74)이 회전한다. 도 6에 나타내는 바와 같이, Y축 방향 이동 수단(14)이, 판형 워크(W)를 흡인 유지한 유지 테이블(30)을 -Y 방향으로 이동시키는, 즉 연삭 수단(7)에 대하여 유지 테이블(30)을 연삭 휠(74)의 후방(+Y 방향측)으로부터 전방(-Y 방향측)을 향하는 방향으로 이동시킨다. 그리고 회전하는 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)으로 판형 워크(W)의 수지층(J) 및 전극(E)의 원형 상면이 연삭되어 간다.
(3) 측정 공정
연삭 공정에 있어서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 크리프 피드 연삭 가공이 개시되며, 상면 높이 측정 수단(38)의 컨택트(380)가 하강하여, 환형의 연삭 지석(741)의 외측에서 판형 워크(W)의 연삭 개시 직후의 연삭된 상면(Wa)에 접촉하여 그 높이를 측정하기 시작한다. 그리고, 상면 높이 측정 수단(38)이, 측정한 판형 워크(W)의 연삭 개시 직후의 연삭된 상면(Wa)의 높이 및 그 후 연삭된 상면(Wa)의 높이에 대한 정보를 단위 시간마다 순차적으로 제어 수단(9)에 보낸다. 제어 수단(9)에 보내진 상기 정보는, 제어 수단(9)의 기억부(91)에 순차 기억되어 간다.
예컨대, 도 6에 나타내는 바와 같이, 상면 높이 측정 수단(38)이 측정한 판형 워크(W)의 연삭 개시 직후의 연삭된 상면(Wa)의 높이는, 예컨대 높이 Z1로서 기억부(91)에 기억된다. 또한, 기억부(91)가 높이 Z1를 기억하였을 때의 전방의 연삭 지석(741)의 Y축 방향에 있어서의 판형 워크(W) 상에 있어서의 위치는, 예컨대 위치 Y1이 된다. 또한, 연삭 수단(7)은, 연삭된 판형 워크(W)를 원하는 두께로 하기 위한 초기 높이 위치(Z0)에 위치하고 있다.
(4) 보정 공정
연삭 공정 중에 있어서는, 측정 공정에서 상면 높이 측정 수단(38)이 측정한 측정값에 따라 연삭 수단(7)을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크(W)의 두께차를 작게 하는 보정 공정을 실시한다. 구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 유지 테이블(30)이 -Y 방향으로 이동해 감으로써 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 연삭이 행해져 가며, 제어 수단(9)이 구비하는 도 1에 나타내는 산출부(92)가, 단위 시간마다 상면 높이 측정 수단(38)으로부터 제어 수단(9)에 보내오는 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이(측정값)로부터 판형 워크(W)의 연삭 개시 직후의 연삭된 상면(Wa)의 높이(Z1)를 뺀 차분을 산출한다. 즉, 예컨대 도 7에 나타내는 새롭게 측정된 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이(Z2)로부터 기억부(91)가 기억하는 판형 워크(W)의 연삭 개시 직후의 연삭된 상면(Wa)의 높이(Z1)를 뺀 차분(L1)이 산출된다.
산출된 차분(L1)은, 판형 워크(W)의 두께차이고, 전방의 연삭 지석(741)의 연삭 개시 당초부터의 마모량이다. 산출부(92)가 차분(L1)을 산출하면, 제어 수단(9)에 의한 제어 하에서, Z축 방향 이동 수단(5)이 연삭 수단(7)을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크(W)의 두께차를 작게 하는 제1회째의 보정이 행해진다. 즉, 초기 높이 위치(Z0)에 있는 연삭 수단(7)이, 차분(L1)의 거리만큼 유지 테이블(30)의 유지면(300a)에서 흡인 유지되고 있는 판형 워크(W)에 근접하여(하강하여) 연삭이 행해짐으로써, 본 보정 후에 연삭된 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이가 재차 높이(Z1)가 되어, 연삭된 판형 워크(W)가 원하는 두께가 된다.
더욱, 연삭이 행해지고, 또한 도 8에 나타내는 상면 높이 측정 수단(38)에 의해 새롭게 측정된 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이 위치(Z3)로부터 기억부(91)가 기억하는 판형 워크(W)의 연삭 개시 직후의 연삭된 상면(Wa)의 높이(Z1)를 뺀 차분(L2)이, 산출부(92)에 의해 산출된다. 산출된 차분(L2)은, 판형 워크(W)의 두께차이고, 전방의 연삭 지석(741)의 상기 제1회째의 보정이 행해진 후부터의 마모량이다. 그리고, 제어 수단(9)에 의한 제어 하에서, Z축 방향 이동 수단(5)이 연삭 수단(7)을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크(W)의 두께차를 작게 하는 제2회째의 보정이 행해진다. 즉, 차분(L2)의 거리만큼 연삭 수단(7)이 판형 워크(W)에 근접하여 연삭이 행해짐으로써, 제2회째의 보정 후에 연삭된 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이 위치가 재차 높이(Z1)가 되어, 연삭된 판형 워크(W)가 원하는 두께가 된다.
이와 같이 연삭 공정 중에, 환형의 연삭 지석(741)의 외측에 배치된 상면 높이 측정 수단(38)에 의한 판형 워크(W)의 상면(Wa)의 높이 측정과, 측정값에 따른 연삭 수단(7)의 Z축 방향으로의 이동에 의한 보정이 단위 시간마다 반복해서 행해지면서, -Y 방향의 정해진 위치까지 유지 테이블(30)이 이동하여, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)에 의해 판형 워크(W)의 상면(Wa) 전면이 연삭된 후, 연삭 수단(7)이 +Z 방향으로 인상되어 판형 워크(W)로부터 이격된다.
여기서, 종래의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서의 문제점에 대해서, 도 11∼도 13을 이용하여 간결하게 설명한다.
종래의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서는, 연삭 수단(7)이 Z축 방향 이동 수단(5)에 의해 -Z 방향으로 보내져, 전방(-Y 방향측)의 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 수지층(J) 및 전극(E)에 소정량 절입되는 높이 위치에 위치 부여된다. 그리고, Y축 방향 이동 수단(14)이, 판형 워크(W)를 흡인 유지한 유지 테이블(30)을, 연삭 휠(74)의 전방으로부터 후방을 향하는 방향인 +Y 방향으로 정해진 이송 속도로 이동시킨다. 그리고, 도 12에 나타내는 바와 같이, 회전하는 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 외측면(741d)으로 판형 워크(W)의 수지층(J) 및 전극(E)의 원형 상면이 연삭되어 간다.
도 13에 나타내는 바와 같이, -Y 방향의 정해진 위치까지 유지 테이블(30)을 이동시켜, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 외측면(741d)에 의해 판형 워크(W)의 상면(Wa) 전체면을 연삭한 후, 연삭 수단(7)이 +Z 방향으로 인상되어 판형 워크(W)로부터 이격한다.
도 13에 나타내는 바와 같이, 예컨대 장척의 판형 워크(W)에 대하여 종래의 크리프 피드 연삭을 실시하면, 연삭 지석(741)의 마모에 의해, 연삭 지석(741)이 판형 워크(W)에 진입하기 시작한 곳의 두께와 연삭 지석(741)이 판형 워크(W)로부터 이격하는 곳의 두께에 큰 두께차가 발생하여 버린다. 또한, 연삭 후의 판형 워크(W)의 피연삭면인 상면(Wa)에는, 테어링 등이 발생하여 버린다. 또한, 워크가, 판형 워크(W)와 같은 구리로 구성되는 전극(E)을 구비하는 것인 경우에는, 연삭 지석(741)은 빈 구멍의 비율이나 크기가 크게 설정되어 있는 지석이기 때문에, 판형 워크(W)의 연삭에 따른 마모량도 커져, 상기 두께의 차는 특히 커져 버린다.
한편, 본 발명에 따른 실시형태 2의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서는, 실시형태 1의 경우와 마찬가지로, 도 8에 나타내는 연삭 후의 판형 워크(W)의 피연삭면인 상면(Wa)은, 테어링 등이 거의 발생하지 않는 고운 피연삭면이 된다. 또한, 본 발명에 따른 크리프 피드 연삭은, 크리프 피드 연삭 개시 직후의 판형 워크(W)의 연삭된 상면(Wa)의 높이를 환형의 연삭 지석(741)의 외측에 배치되는 상면 높이 측정 수단(38)으로 측정하는 측정 공정과, 측정 공정에서 측정한 측정값에 따라 연삭 수단(7)을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크(W)의 두께차를 작게 하는 보정 공정을 포함함으로써, 도 8에 나타내는 바와 같이, 연삭 후의 판형 워크(W)의 두께차를 작게 하는 것이 가능해진다.
(크리프 피드 연삭 방법의 실시형태 3)
이하에, 도 1 및 도 9∼도 10을 이용하여, 연삭 장치(1)에 의해 판형 워크(W)를 크리프 피드 연삭하는 경우의 각 공정에 대해서 설명한다.
(1) 위치 부여 공정
도 9에 나타내는 바와 같이, Y축 방향 이동 수단(14)이, 판형 워크(W)를 흡인 유지한 유지 테이블(30)을 장치 베이스(10) 상의 착탈 영역으로부터 연삭 영역 내로 +Y 방향으로 이동시켜, 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 유지 테이블(30)의 유지면(300a)의 거리가 최소가 되는 전방(-Y 방향측)의 연삭 지석(741)보다 후방에서 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)가 위치 부여된다.
또한, 연삭 수단(7)이 Z축 방향 이동 수단(5)에 의해 -Z 방향으로 보내져, 제어 수단(9)에 의한 Z축 방향 이동 수단(5)의 제어 하에서, 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여된 상태가 된다. 동시에, 후방(+Y 방향측)의 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여된 상태가 된다. 연삭 수단(7)이 위치 부여되는 높이 위치는, 예컨대 후방의 연삭 지석(741)의 하면(741b) 및 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)이 수지층(J) 및 전극(E)에 정해진 양 절입되는 높이 위치이고, 전방의 연삭 지석(741)으로 연삭된 판형 워크(W)를 원하는 두께(마무리 두께)로 하기 위한 높이 위치(Z4)이다.
또한, 본 실시형태 3에 있어서도, 연삭 수단(7)의 높이 위치를 기억하는 셋업은 사전에 행해지고 있고, 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮게 위치 부여되는 상기 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)의 위치는, 셋업으로 기억한 연삭 수단(7)의 높이 위치로부터 판형 워크(W)의 완성 두께 상의 위치이다.
도 10에 나타내는 바와 같이, Y축 방향 이동 수단(14)이, 판형 워크(W)를 흡인 유지한 유지 테이블(30)을 -Y 방향으로 이동시킨다. 즉, 연삭 수단(7)에 대하여 유지 테이블(30)을 연삭 휠(74)의 후방(+Y 방향측)으로부터 전방(-Y 방향측)을 향하는 방향으로 이동시킨다.
그리고, 먼저, 회전하는 후방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 외측면(741d)으로 판형 워크(W)의 수지층(J) 및 전극(E)의 원형 상면이 연삭되어 간다. 또한, 회전하는 후방의 연삭 지석(741)으로 연삭된 판형 워크(W)의 상면(Wa)을, -Y 방향으로부터 +Y 방향을 향하여 뒤쫓도록 하여, 회전하는 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)으로 연삭해 나가, 판형 워크(W)를 원하는 두께로 해 간다.
그리고, -Y 방향의 정해진 위치까지 유지 테이블(30)을 이동시켜, 회전하는 전방의 연삭 지석(741)의 하면(741b)과 내측면(741c)에 의해 판형 워크(W)의 상면(Wa) 전면(全面)을 연삭한 후, 연삭 수단(7)이 +Z 방향으로 인상되어 판형 워크(W)로부터 이격된다.
본 발명에 따른 실시형태 3의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서는, 위치 부여 공정에 있어서, 후방(+Y 방향측)의 연삭 지석(741)의 하면(741b)을 유지 테이블(30)에 유지된 판형 워크(W)의 상면(Wa)보다 낮은 위치에 위치 부여함으로써, 판형 워크(W)를 후방의 연삭 지석(741)의 외측면(741d)과 하면(741b)으로 먼저 크게 연삭하며, 후방의 연삭 지석(741)의 외측면(741d)과 하면(741b)으로 연삭된 판형 워크(W)의 상면(Wa)을 전방의 연삭 지석(741)의 내측면(741c)과 하면(741b)으로 더욱 연삭함으로써, 연삭 후의 판형 워크(W)의 상면(Wa)을 테어링 등이 거의 발생하지 않는 고운 피연삭면으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 크리프 피드 연삭 방법은 전술한 실시형태 1∼3에 한정되지 않고, 그 기술적 사상의 범위 내에서 여러 가지 다른 형태로 실시되어도 좋은 것은 말할 필요도 없다. 또한, 첨부 도면에 도시되어 있는 연삭 장치(1)의 구성 요소에 대해서도, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절하게 변경 가능하다.
예컨대, 실시형태 3의 크리프 피드 연삭 방법에 있어서, 측정 공정과 보정 공정을 행하여도 좋다.
W: 판형 워크 W1: 기판
W2: 칩 E: 전극
J: 수지층 1: 연삭 장치
10: 장치 베이스 11: 칼럼
14: Y축 방향 이동 수단 140: 볼나사
141: 한 쌍의 가이드 레일 142: 모터
143: 가동판 30: 유지 테이블
300: 흡착부 300a: 유지면
301: 프레임체 34: 회전 수단
39: 커버 39a: 주름잡힌 커버
38: 상면 높이 측정 수단 380: 컨택트
381: 아암부 5: Z축 방향 이동 수단
50: 볼나사 51: 한 쌍의 가이드 레일
52: 모터 53: 승강판
7: 연삭 수단 70: 회전축
71: 하우징 72: 모터
73: 마운트 74: 연삭 휠
740: 휠 베이스 741: 연삭 지석
75: 홀더 9: 제어 수단
91: 기억부 92: 산출부

Claims (3)

  1. 판형 워크를 유지하는 유지면을 갖는 유지 테이블과, 회전축의 선단에 연결한 마운트에 연삭 지석을 환형으로 배치한 연삭 휠을 장착하고 상기 회전축을 회전시켜 상기 연삭 지석으로 판형 워크를 연삭하는 연삭 수단과, 상기 유지 테이블과 상기 연삭 수단을 상대적으로 상기 유지면의 방향과 평행한 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 방향 이동 수단과, Y축 방향과 직교하며 상기 유지면에 대하여 수직인 Z축 방향으로 상기 연삭 수단을 이동시키는 Z축 방향 이동 수단을 구비한 연삭 장치를 이용하여, 상기 판형 워크의 상면보다 낮은 위치에 위치 부여된 상기 연삭 지석으로 판형 워크를 연삭하는 크리프 피드 연삭 방법으로서,
    상기 회전축은, 상기 유지면에 대하여 Z축 방향으로부터 기울어져 있고, 상기 연삭 지석의 하면과 상기 유지면의 거리가 최소가 되는 쪽을 상기 연삭 휠의 전방으로 하고, 상기 연삭 지석의 하면과 상기 유지면의 거리가 최대가 되는 쪽을 상기 연삭 휠의 후방으로 하고,
    상기 Z축 방향 이동 수단을 이용하여, 상기 전방의 연삭 지석의 하면을 상기 유지 테이블에 유지된 판형 워크의 상면보다 낮게 위치 부여하며, 상기 Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 상기 전방의 연삭 지석보다 후방측에 상기 유지 테이블에 유지된 판형 워크를 위치 부여하는 위치 부여 공정과,
    상기 위치 부여 공정 후, 상기 Y축 방향 이동 수단을 이용하여, 상기 연삭 수단에 대하여 상기 유지 테이블을 상기 연삭 휠의 상기 후방으로부터 상기 전방을 향하는 방향으로 이동시켜 가면서, 상기 전방의 연삭 지석의 하면과 내측면으로 판형 워크를 연삭하는 연삭 공정
    을 포함하는 크리프 피드 연삭 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    크리프 피드 연삭 개시 직후의 판형 워크의 상면 높이를 상기 환형의 연삭 지석의 외측에 배치되는 상면 높이 측정 수단으로 측정하는 측정 공정과,
    상기 측정 공정에서 측정한 측정값에 따라 상기 연삭 수단을 Z축 방향으로 이동시켜 연삭 후의 판형 워크의 두께차를 작게 하는 보정 공정을 포함하는 크리프 피드 연삭 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 위치 부여 공정에 있어서, 상기 후방의 연삭 지석의 하면을 상기 유지 테이블에 유지된 판형 워크의 상면보다 낮은 위치에 위치 부여하는 것인 크리프 피드 연삭 방법.
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