JP2017154238A - 研削装置 - Google Patents
研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017154238A JP2017154238A JP2016041985A JP2016041985A JP2017154238A JP 2017154238 A JP2017154238 A JP 2017154238A JP 2016041985 A JP2016041985 A JP 2016041985A JP 2016041985 A JP2016041985 A JP 2016041985A JP 2017154238 A JP2017154238 A JP 2017154238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- dressing
- grinding wheel
- dresser board
- wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Z1−Z2=L1・・・・・・・・・(式1)
つまり、ドレッシング前とドレッシング後においてドレッサボードの上面800の同じ部分に研削砥石740の研削面740aを接触させ、研削送り位置Z1,Z2の差をドレッシングによる砥石の消耗量としている。よって、基準面800aは、全く研削されない面ではなくてもよく、以前研削された上面を基準面とすることもできる。このように、ドレッシング前とドレッシング後とでドレッサボードの上面800の同じ部分に研削砥石740の研削面740aを接触させるため、移動手段83のY方向の位置を記憶する。
2:制御手段
30:チャックテーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
31:カバー
5:研削送り手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ
53:昇降板 54:ホルダ
55:位置認識部 550:スケール 551:読み取り部 552:ケーブル
7:研削手段 70:スピンドル 71:スピンドルハウジング
72:スピンドルモータ 73:マウント 74:研削ホイール 740:研削砥石
740a:研削面 741:ホイール基台
8:ドレッシング手段 80:ドレッサボード 800:ドレッサボードの上面
800a:ドレッサボードの基準面
81:保持テーブル 810:ドレッサボード載置部 811:AEセンサ配置部
82:AEセンサ 820:ケーブル 821:プリアンプ 822:AE信号処理部
83:移動手段 830:ボールネジ 831:ガイドレール 832:モータ
84:昇降手段 840:シリンダチューブ 841:ピストンロッド
85:ドレッサボード
850:ドレッサボードの上面 850a:ドレッサボードの基準面
86:保持テーブル 87:回転手段
9:算出手段
W:ウエーハ Wa:ウエーハの表面 Wb:ウエーハの裏面
Claims (1)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削砥石で研削する研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルに対して離間又は接近する上下方向に研削送りする研削送り手段と、該研削砥石の研削面をドレッシングするドレッサボードを備えたドレッシング手段と、該研削砥石の消耗量を算出する算出手段とを備えた研削装置であって、
該ドレッシング手段は、
該ドレッサボードを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに配設され該ドレッサボードの上面と該研削砥石の該研削面とが接触した瞬間を検出するAEセンサと、該研削砥石の該研削面の面方向に該保持テーブルを移動させる移動手段とを備え、
該ドレッサボードの上面には、該移動手段により該保持テーブルを移動させることでドレッシングによる該ドレッサボードの研削が行われない基準面を備え、
該研削送り手段は、該研削手段を研削送りした研削送り位置を認識する位置認識部を備え、
該算出手段は、
ドレッシング前に該研削手段を該ドレッシング手段に接近する方向に研削送りしAEセンサにより検出する該研削砥石の研削面と該ドレッサボードの基準面とが接触した研削送り位置から、ドレッシング後に該研削手段を該ドレッシング手段に接近する方向に研削送りしAEセンサにより検出する該研削砥石の該研削面と該ドレッサボードの該基準面とが接触した研削送り位置を差し引いて該研削砥石の消耗量を算出する研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016041985A JP6734667B2 (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016041985A JP6734667B2 (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017154238A true JP2017154238A (ja) | 2017-09-07 |
JP6734667B2 JP6734667B2 (ja) | 2020-08-05 |
Family
ID=59807786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016041985A Active JP6734667B2 (ja) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6734667B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019141949A (ja) * | 2018-02-20 | 2019-08-29 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボード及びドレッシング方法 |
JP2019217611A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 株式会社ディスコ | 研削砥石の目立て方法及び目立て用ウェーハ |
CN110757336A (zh) * | 2018-07-23 | 2020-02-07 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61175356U (ja) * | 1985-04-20 | 1986-10-31 | ||
JPS6328563A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非接触式砥石絶対位置検出方法 |
JP2002018712A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-22 | Amada Machinics Co Ltd | ツルーイング装置及び回転砥石の偏磨耗計測方法 |
JP2007175815A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Jtekt Corp | 砥石車の修正方法及び修正装置 |
JP2008302466A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Jtekt Corp | 研削盤 |
JP2013031910A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-02-14 | Jtekt Corp | 研削盤のツルーイング装置 |
US20140067321A1 (en) * | 2012-09-06 | 2014-03-06 | Schmitt Industries, Inc. | Systems and methods for monitoring machining of a workpiece |
-
2016
- 2016-03-04 JP JP2016041985A patent/JP6734667B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61175356U (ja) * | 1985-04-20 | 1986-10-31 | ||
JPS6328563A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-02-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非接触式砥石絶対位置検出方法 |
JP2002018712A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-22 | Amada Machinics Co Ltd | ツルーイング装置及び回転砥石の偏磨耗計測方法 |
JP2007175815A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Jtekt Corp | 砥石車の修正方法及び修正装置 |
JP2008302466A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Jtekt Corp | 研削盤 |
JP2013031910A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-02-14 | Jtekt Corp | 研削盤のツルーイング装置 |
US20140067321A1 (en) * | 2012-09-06 | 2014-03-06 | Schmitt Industries, Inc. | Systems and methods for monitoring machining of a workpiece |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019141949A (ja) * | 2018-02-20 | 2019-08-29 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボード及びドレッシング方法 |
JP7127994B2 (ja) | 2018-02-20 | 2022-08-30 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボード及びドレッシング方法 |
JP2019217611A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 株式会社ディスコ | 研削砥石の目立て方法及び目立て用ウェーハ |
CN110634737A (zh) * | 2018-06-22 | 2019-12-31 | 株式会社迪思科 | 磨削磨具的修锐方法和修锐用晶片 |
JP7154690B2 (ja) | 2018-06-22 | 2022-10-18 | 株式会社ディスコ | 研削砥石の目立て方法 |
TWI799605B (zh) * | 2018-06-22 | 2023-04-21 | 日商迪思科股份有限公司 | 研削磨石磨銳方法以及磨銳用晶圓 |
CN110634737B (zh) * | 2018-06-22 | 2024-03-19 | 株式会社迪思科 | 磨削磨具的修锐方法和修锐用晶片 |
CN110757336A (zh) * | 2018-07-23 | 2020-02-07 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6734667B2 (ja) | 2020-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6803187B2 (ja) | 研削砥石のドレッシング方法 | |
JP2008124292A (ja) | 加工装置のウエーハ位置調整治具 | |
JP2018083266A (ja) | 研削装置及び粗さ測定方法 | |
JP6734667B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2012135853A (ja) | 研削装置 | |
JP2017100254A (ja) | 研磨装置 | |
CN110842779A (zh) | 磨削装置的原点位置设定机构和原点位置设定方法 | |
JP5554601B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6751301B2 (ja) | 研削装置 | |
JP6424081B2 (ja) | 研削方法 | |
JP2015036170A (ja) | 研削装置 | |
CN110788753B (zh) | 缓进给磨削方法 | |
JP2017127936A (ja) | 研削装置 | |
JP7112273B2 (ja) | クリープフィード研削方法 | |
JP7127994B2 (ja) | ドレッシングボード及びドレッシング方法 | |
JP2017205810A (ja) | 切削装置 | |
JP2021146416A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2022187203A (ja) | 研削装置、及び研削砥石のドレス方法 | |
JP6487790B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2021146417A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2020199597A (ja) | 研削装置 | |
JP7222797B2 (ja) | クリープフィード研削方法 | |
TW202023753A (zh) | 研削裝置 | |
JP2019123046A (ja) | ドレッシング方法 | |
JP2017189844A (ja) | 研削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200616 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6734667 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |