JP6385734B2 - 研削方法 - Google Patents
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Description
粗研削量=板状ワークの厚み−仕上げ厚み目標値−仕上げ研削量
の式から、該粗研削手段による粗研削量を算出する粗研削量算出工程と、該厚み測定工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該粗研削位置に移動させ該上面高さ測定手段で板状ワークの上面高さを測定する上面高さ測定工程と、該上面高さ測定工程で測定した上面高さから該粗研削量算出工程で算出された粗研削量だけ低い上面高さまで、該上面高さ測定手段で板状ワークの上面高さを測定しながら該粗研削手段で粗研削する粗研削工程と、該粗研削工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該仕上げ研削位置に移動させ該厚み測定手段で板状ワークの厚みを測定しながら該仕上げ研削手段で予め設定される仕上げ厚み目標値に仕上げ研削する仕上げ研削工程と、を有し、該仕上げ研削位置に位置付けられた該チャックテーブルで板状ワークに対して仕上げ工程が実施されている間は、該粗研削位置及び該搬入出位置に位置付けられた該チャックテーブルで板状ワークが待機している。
粗研削量=該第2の板状ワークの厚み−該第2の板状ワークの仕上げ厚み目標値−仕上げ研削量
の式から、該粗研削手段による粗研削量を算出する粗研削量算出工程と、該厚み測定工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該粗研削位置に移動させ該上面高さ測定手段で該第2の板状ワークの上面高さを測定する上面高さ測定工程と、該上面高さ測定工程で測定した上面高さから該粗研削量算出工程で算出された粗研削量だけ低い上面高さまで、該上面高さ測定手段で該第2の板状ワークの上面高さを測定しながら該粗研削手段で粗研削する粗研削工程と、該粗研削工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該仕上げ研削位置に移動させ該厚み測定手段で該第2の板状ワークの厚みを測定しながら該仕上げ研削手段で予め設定される仕上げ厚み目標値に仕上げ研削する仕上げ研削工程と、を有し、該仕上げ研削位置に位置付けられた該チャックテーブルで該第2の板状ワークに対して仕上げ工程が実施されている間は、該粗研削位置及び該搬入出位置に位置付けられた該チャックテーブルで貼り合せワークが待機している。
(1) 粗研削量E=板状ワークの厚みB1−仕上げ厚み目標値D−仕上げ研削量C
すなわち、仕上げ厚み目標値Dから逆算して仕上げ研削時に一定の仕上げ研削量Cを残すように、板状ワーク91の裏面93からの粗研削量Eが算出される。
(2) 粗研削量E=第2の板状ワークの厚みB1−第2の板状ワークの仕上げ厚み目標値D−仕上げ研削量C
すなわち、仕上げ厚み目標値Dから逆算して仕上げ研削時に一定の仕上げ研削量Cを残すように、第2の板状ワーク97の裏面98からの粗研削量Eが算出される。
30 搬入手段
35 搬出手段
40 ターンテーブル
41 チャックテーブル
42 保持面
60 粗研削手段
63 粗研削砥石
80 仕上げ研削手段
83 仕上げ研削砥石
85 上面高さ測定手段
88 厚み測定手段
91 板状ワーク
92 保護テープ
95 貼り合わせワーク
96 第1の板状ワーク
97 第2の板状ワーク
Claims (2)
- 板状ワークを保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持する板状ワークの上面に粗研削砥石を当接させて粗研削する粗研削手段と、該粗研削手段に隣接し板状ワークの上面の高さを測定する上面高さ測定手段と、該粗研削砥石より細かい粒径の砥粒で形成される仕上げ研削砥石を当接させて仕上げ研削する仕上げ研削手段と、該仕上げ研削手段に隣接し板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段と、該チャックテーブルに板状ワークを搬入する搬入手段と、該チャックテーブルから板状ワークを搬出する搬出手段と、均等間隔で複数配設する該チャックテーブルを該粗研削手段による粗研削位置と該仕上げ研削手段による仕上げ研削位置と板状ワークの搬入および搬出をする搬入出位置とに位置づけるターンテーブルと、を備える研削装置を用いた研削方法であって、
該ターンテーブルで該搬入出位置に位置づけられた該チャックテーブルに該搬入手段を用いて該チャックテーブルに板状ワークを搬入する搬入工程と、
該搬入工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該仕上げ研削位置に位置づけ該厚み測定手段を用いて板状ワークの厚みを測定する厚み測定工程と、
該厚み測定工程で測定した板状ワークの厚みと、予め設定される仕上げ厚み目標値と、予め設定される該仕上げ研削手段による仕上げ研削量とを用いて、
粗研削量=板状ワークの厚み−仕上げ厚み目標値−仕上げ研削量
の式から、該粗研削手段による粗研削量を算出する粗研削量算出工程と、
該厚み測定工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該粗研削位置に移動させ該上面高さ測定手段で板状ワークの上面高さを測定する上面高さ測定工程と、
該上面高さ測定工程で測定した上面高さから該粗研削量算出工程で算出された粗研削量だけ低い上面高さまで、該上面高さ測定手段で板状ワークの上面高さを測定しながら該粗研削手段で粗研削する粗研削工程と、
該粗研削工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該仕上げ研削位置に移動させ該厚み測定手段で板状ワークの厚みを測定しながら該仕上げ研削手段で予め設定される仕上げ厚み目標値に仕上げ研削する仕上げ研削工程と、を有し、
該仕上げ研削位置に位置付けられた該チャックテーブルで板状ワークに対して仕上げ工程が実施されている間は、該粗研削位置及び該搬入出位置に位置付けられた該チャックテーブルで板状ワークが待機している研削方法。 - 基台となる第1の板状ワークと該第1の板状ワークの上面に貼付ける第2の板状ワークとにより少なくとも構成される貼り合せワークの該第1の板状ワークを保持面に接触させ保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持する貼り合せワークの該第2の板状ワークの上面に粗研削砥石を当接させて粗研削する粗研削手段と、該粗研削手段に隣接し該第2の板状ワークの上面の高さを測定する上面高さ測定手段と、該粗研削砥石より細かい粒径の砥粒で形成される仕上げ研削砥石を当接させて仕上げ研削する仕上げ研削手段と、該仕上げ研削手段に隣接し該第2の板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段と、該チャックテーブルに貼り合せワークを搬入する搬入手段と、該チャックテーブルから貼り合せワークを搬出する搬出手段と、均等間隔で複数配設する該チャックテーブルを該粗研削手段による粗研削位置と該仕上げ研削手段による仕上げ研削位置と貼り合せワークの搬入および搬出をする搬入出位置とに位置づけるターンテーブルと、を備える研削装置を用いた研削方法であって、
該ターンテーブルで該搬入出位置に位置づけられた該チャックテーブルに該搬入手段を用いて該チャックテーブルに貼り合せワークを搬入する搬入工程と、
該搬入工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該仕上げ研削位置に位置づけ該厚み測定手段を用いて該第2の板状ワークの厚みを測定する厚み測定工程と、
該厚み測定工程で測定した該第2の板状ワークの厚みと、予め設定される仕上げ厚み目標値と、予め設定される該仕上げ研削手段による仕上げ研削量とを用いて、
粗研削量=該第2の板状ワークの厚み−該第2の板状ワークの仕上げ厚み目標値−仕上げ研削量
の式から、該粗研削手段による粗研削量を算出する粗研削量算出工程と、
該厚み測定工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該粗研削位置に移動させ該上面高さ測定手段で該第2の板状ワークの上面高さを測定する上面高さ測定工程と、
該上面高さ測定工程で測定した上面高さから該粗研削量算出工程で算出された粗研削量だけ低い上面高さまで、該上面高さ測定手段で該第2の板状ワークの上面高さを測定しながら該粗研削手段で粗研削する粗研削工程と、
該粗研削工程の後、該ターンテーブルで該チャックテーブルを該仕上げ研削位置に移動させ該厚み測定手段で該第2の板状ワークの厚みを測定しながら該仕上げ研削手段で予め設定される仕上げ厚み目標値に仕上げ研削する仕上げ研削工程と、を有し、
該仕上げ研削位置に位置付けられた該チャックテーブルで該第2の板状ワークに対して仕上げ工程が実施されている間は、該粗研削位置及び該搬入出位置に位置付けられた該チャックテーブルで貼り合せワークが待機している研削方法。
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