KR20190121841A - 다공질 소결 시트 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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KR20190121841A
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아사히 가세이 가부시키가이샤
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Abstract

수지를 함유하고, 또한 연속 기공을 갖는 다공질 소결 시트로서, 해당 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값이 10% 이상이고, 또한 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 위치가, 상기 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내인, 다공질 소결 시트.

Description

다공질 소결 시트 및 그의 제조 방법
본 발명은 다공질 소결 시트 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
액정용 유리판이나 적층 세라믹 콘덴서용의 그린 시트 등, 박막 혹은 판상, 필름상인 것을 고정 또는 반송하기 위한 수단 중 하나로, 감압 흡인에서의 흡착 스테이지에서 흡착 고정 또는 흡착 반송하는 방법이 있다. 이 흡착 스테이지에서는, 피흡착 부재에 흠집이나 접촉 자국이 발생하는 것을 방지하기 위해, 흡착면에 흡착 완충재로서 통기성을 갖는 수지 다공질체를 장착하는 것이 행해지고 있다. 이러한 수지 다공질체로서는, 강성이나 쿠션성 등의 관점에서, 폴리에틸렌 분말을 소결 성형하여 얻어지는 소결 성형체가 사용되는 경우가 있다.
최근 몇년간, 액정이나 적층 세라믹 콘덴서는 소형화 및 고성능화가 급격하게 진행되고 있으며, 그의 원료인 유리판이나 세라믹 그린 시트의 박형화가 진행되고 있다. 이 때문에 매우 정밀한 흡착 고정 또는 흡착 반송을 행할 필요가 발생하고 있다. 따라서, 감압 흡인에서의 흡착 스테이지에 장착하는 흡착 완충재로서도, 우수한 표면 평활성이나 강도 강성 등이 요구되고 있다.
표면 평활성이 우수한 치밀한 구조를 갖는 다공질 소결 시트로서, 전체의 두께 방향의 통기도가 높고, 표면의 개공률이 작고, 표면 조도가 작은 시트가 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
또한, 여과 정밀도가 우수하고, 강성이 높고, 취급이 우수한 다공질 복합체로서, 연속 기공을 형성하고 있는 수지 다공체와 미다공막이 실질적으로 일체화되어 있는 다공질 복합체가 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).
또한, 무단 벨트 상에 원료 수지를 퇴적한 후 가열함으로써 연속 기공의 다공질체를 형성할 수 있는 성형법이 개시되어 있다(예를 들어, 특허문헌 3 참조).
일본 특허 공개 제2001-28390호 공보 일본 특허 공개 제2000-177040호 공보 일본 특허 공개 평3-143821호 공보
그러나, 특허문헌 1에 있어서는, 시트의 표면 평활성을 향상시키기 위해, 표면 평활성이 높은 PET 시트 등을 피흡착 부재가 접하는 면에 접촉시키고, 일정 이상의 압력을 가한 상태에서 가열 처리를 행한다. 표면 평활성을 높이기 위해 강하게 압축하면, 두께 방향 전체의 공극률이 작아진다. 이 때문에, 높은 통기도를 얻기 위해 시트의 두께를 얇게 해야 한다는 문제가 발생한다. 이 경우, 얇아진 시트를 보강하기 위해, 다른 통기성이 높은 시트를 피흡착 부재가 접촉하는 면과 반대측에 적층해야 된다는 문제가 발생한다.
또한, 특허문헌 2에 있어서도, 여과 정밀도가 우수한 시트를 얻기 위해, 공극률이 작고 투과성이 떨어지는 얇은 시트, 및 공극률이 크고 투과성이 우수한 두꺼운 시트의 2종류의 시트를 각각 제작한 후, 첩합할 필요가 있다. 나아가, 각각의 시트를 맞대기 위해 열 프레스를 행할 때에, 공극률이 저하되거나, 맞댐면의 구멍이 찌그러지거나 한다는 문제가 발생한다.
특허문헌 3에 있어서는, 연속 기공의 두께 방향의 구조 제어에 대해서는 개시도 시사도 되어 있지 않다.
그래서 본 발명에 있어서는, 상술한 종래 기술의 문제점을 감안하여, 적어도 한쪽의 면(예를 들어, 표면 및/또는 표면과 반대측의 면) 근방의 공극률이 작음에도 불구하고, 기체 또는 액체의 투과성이 우수하고, 나아가 기계 강도가 크고, 압력 손실이 작음으로써 장기간에 걸친 내구성이 우수한 다공질 소결 시트 및 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토를 행한 결과, 수지를 함유하고, 또한 연속 기공을 갖는 다공질 소결 시트로서, 해당 다공질 소결 시트의 공극률의 최솟값을 특정값 이상으로 하고, 공극률의 최솟값이 존재하는 위치를 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 특정한 범위 내로 하면, 상기한 목적을 달성한다는 것을 알아내어, 본 발명에 이르렀다.
즉, 본 발명은 이하와 같다.
(1)
수지를 함유하고, 또한 연속 기공을 갖는 다공질 소결 시트로서,
상기 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값이 10% 이상이고, 또한 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 위치가, 상기 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내인, 다공질 소결 시트.
(2)
상기 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률과, 상기 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값의 차가 10% 이상 50% 이하인, (1)의 다공질 소결 시트.
(3)
상기 다공질 소결 시트의 통기량과, 상기 다공질 소결 시트의 두께의 곱이 0.2cm3/cm/sec 이상인, (1) 또는 (2)의 다공질 소결 시트.
(4)
상기 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률이 20% 이상 80% 이하인, (1) 내지 (3) 중 어느 하나의 다공질 소결 시트.
(5)
상기 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이에 있어서, 상기 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률에 달한 깊이 위치보다도 깊고, 또한 상기 평균 공극률보다도 20% 이상 큰 단면 공극률을 갖는 깊이 위치가 존재하지 않는, (1) 내지 (4) 중 어느 하나의 다공질 소결 시트.
(6)
1m2 이상의 상기 다공질 소결 시트를 100cm2 이하로 구획함으로써 얻어지는 각 구획이, 하기 조건 A를 만족하는 (1) 내지 (5) 중 어느 하나의 다공질 소결 시트.
(조건 A)
X≤Y×0.2
X: 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 깊이 위치와, 단면 공극률의 최댓값이 존재하는 깊이 위치의 차
Y: 구획의 두께
(7)
상기 다공질 소결 시트의 두께가 0.05mm 이상 5.0mm 이하인, (1) 내지 (6) 중 어느 하나의 다공질 소결 시트.
(8)
무단 컨베이어 벨트 상에 수지를 공급하고, 시트상의 성형체로 성형한 후, 상기 성형체를 가열, 가압하여, (1) 내지 (7) 중 어느 하나의 시트상의 다공질 소결 시트를 제조하는 방법.
(9)
상기 성형체를 가열한 후, 상기 수지의 융점±30℃의 온도 범위 내에서, 가열한 상기 성형체를 가압 수단에 의해 압축하는, (8)의 다공질 소결 시트의 제조 방법.
(10)
상기 가압 수단에 의해 압축하는 압축률이, 0.5% 이상 2% 이하인 (9)의 다공질 소결 시트의 제조 방법.
(11)
(1) 내지 (7) 중 어느 하나의 다공질 소결 시트를 갖는, 흡착 고정 반송용 시트.
(12)
(1) 내지 (7) 중 어느 하나의 다공질 소결 시트를 갖는, 면역 크로마토그래피법에 의한 신속 검사 키트의 지지체용 시트.
본 발명에 따르면, 적어도 한쪽의 면(예를 들어, 표면 및/또는 표면과 반대측의 면) 근방의 공극률이 작고 치밀한 구조를 갖기 때문에, 기체 또는 액체의 투과성이 우수하고, 기계 강도가 크고, 압력 손실이 작음으로써 장기간에 걸친 내구성이 우수한 다공질 소결 시트 및 그의 제조 방법을 제공 가능하다. 본 발명의 다공질 소결 시트는, 적어도 한쪽의 면 근방의 공극률이 작고, 투과성이 우수하기 때문에, 시트로서 사용할 때에, 투과성을 높이기 위해 다른 투과성이 높은 시트를 맞댈 필요가 없다.
도 1은 실시예 1의 다공질 소결 시트 X선 CT 측정 차트를 나타낸다.
도 2는 비교예 1의 다공질 소결 시트 X선 CT 측정 차트를 나타낸다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 「본 실시 형태」라 한다.)에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은, 이하의 본 실시 형태로 한정되는 것은 아니며, 그의 요지의 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
[다공질 소결 시트]
본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 수지를 함유하고, 또한 연속 기공을 갖는 다공질 소결 시트로서, 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값이 10% 이상이고, 또한 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 위치가, 상기 소결 시트의 한쪽의 면(예를 들어, 표면 또는 표면과 반대측의 면)으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내이다. 이에 의해, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 기체 또는 액체의 투과성이 우수하고, 기계 강도가 크고, 또한 압력 손실이 작음으로써 장기간에 걸친 내구성이 우수하다.
다공질 소결 시트(예를 들어, 다공질 시트)를 구성하는 수지로서는, 열가소성 수지, 열경화성 수지 중 어느 것이어도 된다. 열가소성 수지로서는, 폴리올레핀계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리아릴레이트, 액정 폴리에스테르, 폴리염화비닐, 폴리비닐알코올, 폴리스티렌, 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌 공중합체 수지, 아크릴로니트릴-스티렌 공중합체 수지, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아미드계 수지, 폴리아세탈, 폴리카르보네이트, 불소계 수지, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 폴리페닐렌술피드 등을 들 수 있다. 또한, 열경화성 수지로서는, 페놀 수지, 우레아 수지, 멜라민 수지, 알릴 수지, 에폭시 수지 등을 들 수 있다. 이들 수지는, 1종을 단독으로, 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.
이들 중에서도, 부형성 및 2차 가공성이 우수하다는 관점에서 열가소성 수지가 바람직하다. 또한 열가소성 수지 중에서도, 저렴하고, 내약품성 및 가공성, 그리고 소재의 저흡습성 및 저흡수성이 우수하다는 관점에서, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀계 수지가 바람직하다. 폴리올레핀계 수지로서는, 에틸렌의 단독 중합체, 또는 에틸렌과, 프로필렌, 부텐-1, 헥센-1, 옥텐-1 등의 1종 이상의 α-올레핀계 모노머의 에틸렌계 공중합체, 에틸렌과, 아세트산비닐, 아크릴산, 메타아크릴산, 아크릴산에스테르, 메타아크릴산에스테르 등의 α-올레핀계 이외의 모노머와의 에틸렌계 공중합체, 프로필렌의 단독 중합체, 또는 프로필렌과, 에틸렌, 부텐-1 등의 1종 이상의 α-올레핀계 모노머의 프로필렌계 공중합체 등을 들 수 있다.
폴리올레핀계 수지 입자 중에서도, 저렴하고, 소결 성형이 용이하고, 성형 후의 가공성 및 내약품성이 우수하고, 소재 자신의 흡습성 및 흡수성이 낮다는 관점에서, 폴리에틸렌 입자가 가장 바람직하다.
수지(예를 들어, 열가소성 수지, 특히 폴리에틸렌)의 밀도는, 890 내지 970kg/m3인 것이 바람직하다. 밀도가 890kg/m3 이상임으로써, 다공질 소결 시트(예를 들어, 다공질 시트)에 한층 더 충분한 강성을 부여할 수 있는 경향이 있다. 마찬가지의 관점에서, 밀도는 920kg/m3 이상인 것이 보다 바람직하고, 930kg/m3 이상인 것이 더욱 바람직하고, 특히 940kg/m3 이상이다. 또한, 밀도가 970kg/m3 이하임으로써, 취급 용이성이 한층 더 우수한 경향이 있다. 마찬가지의 관점에서, 밀도는 960kg/m3 이하인 것이 보다 바람직하다.
수지의 밀도는, 상이한 종류의 각 공중합체 성분의 양을 조절하거나, 분자량을 조절하거나, 동일한 종류이지만 밀도가 상이한 2종류 이상의 공중합체 성분을 혼합하거나 함으로써 조정할 수 있다. 예를 들어, 수지가 폴리에틸렌인 경우, 폴리에틸렌의 밀도는, 에틸렌과 공중합하는 다른 모노머(예를 들어, α-올레핀계 모노머)의 양을 조절하거나, 분자량을 조절하거나, 밀도가 상이한 2종 이상의 폴리에틸렌을 혼합하거나 함으로써 조정할 수 있다. 또한, 폴리에틸렌의 밀도는, JIS K 7112:1999에 준거하여, 밀도 구배관법(23℃)에 의해 측정할 수 있다.
또한, 수지(예를 들어, 열가소성 수지, 특히 폴리에틸렌)는, 소결 성형시에 공공의 형성을 저해하는 요인이 되는 수지의 유동이 적고, 또한 인접하는 수지 입자의 융착성이 우수하다는 관점에서, 점도 평균 분자량이 1000 내지 1000만인 것이 바람직하고, 1만 이상인 것이 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 10만 이상이다.
수지 입자(예를 들어, 열가소성 수지 입자, 특히 폴리에틸렌 입자)의 점도 평균 분자량(Mv)은, 중합 조건 등을 적절히 조정함으로써 제어할 수 있다. 구체적으로는, 중합계에 수소를 존재시키거나, 중합 온도를 변화시키거나 함으로써 점도 평균 분자량을 조절할 수 있다.
점도 평균 분자량은, 예를 들어 이하에 나타내는 방법에 의해 구할 수 있다. 우선, 수지(예를 들어, 폴리에틸렌)를 데칼린(데카히드로나프탈렌)에 용해시켜, 농도가 상이한 복수의 용액을 제작한다. 이들 용액을 135℃의 항온조에서, 우벨로데 타입의 점도계를 사용하여, 각각의 환원 점도(ηsp/C)를 구한다. 농도(C)와 폴리머의 환원 점도(ηsp/C)의 직선식을 유도하고, 농도 0에 외삽한 극한 점도([η])를 구한다. 이 극한 점도([η])로부터 이하의 식에 따라, 점도 평균 분자량(Mv)을 구할 수 있다.
Mv=5.34×104×[η]1.49
다공질 소결 시트(예를 들어, 다공질 시트)는, 원료인 수지가 밀도 및/또는 점도 평균 분자량이 상이한 동일 종류의 수지(예를 들어, 폴리에틸렌)의 혼합 원료여도 되고, 상이한 종류의 수지와의 혼합 원료여도 된다.
이들 수지(예를 들어, 폴리올레핀계 수지)는, 친수기를 갖는 모노머와 공중합하거나, 친수기를 갖는 모노머와 그래프트 공중합하거나, 계면 활성제를 첨가하거나 함으로써 친수화해도 된다. 또한, 친수화는, 분말의 형태로 친수화된 것을 다공질체로 성형하여, 친수성 다공질 소결 시트를 얻어도 되고, 미리 다공질 소결체로 성형한 것을 공지된 방법으로 친수화해도 된다. 본 발명에서 말하는 「친수화」란, 예를 들어 성형품에 약 50마이크로리터의 물방울을 낙하시켰을 때에, 30초 이내에 물방울이 성형품 내부에 흡수되는 상태를 말한다.
[다공질 소결 시트의 제조 방법]
본 실시 형태의 다공질 소결 시트를 제조하는 방법으로서는, 공지된 방법이 사용된다. 공지된 방법으로서는, 예를 들어, 소결 성형법 등의 방법이 주로 사용되지만, 그 밖에는, 예를 들어 추출 가능한 성분과 함께 용융시킨 수지로 성형체를 성형한 후, 추출 가능한 성분을 추출하여 연속 기공의 다공질 소결 시트를 형성하는 방법도 사용된다. 소결 성형법의 구체예로서는, 금형에 원료(예를 들어, 파우더상의 수지)를 충전하고, 융점 이상에서 온도 유지된 가열로 내에 투입하여 소결시키고, 그 후 냉각하고, 금형으로부터 성형체를 취출해도 연속 기공의 다공질 소결 시트를 형성할 수 있다.
시트상의 다공질 소결체를 제조하는 방법으로서는, 특별히 한정되지 않으며, 금형에서의 소결 성형법, 압출 성형법, 혹은 상기한 성형법을 사용하여 성형한 다공질 소결체를 슬라이스 가공하거나, 또는 스카이브 가공하거나 함으로써 시트상으로 성형하는 방법 등이 적합하게 사용된다.
특히, 무단 컨베이어 벨트 상에 원료인 수지를 공급(퇴적)하고, 시트상으로 성형(부형)한 후, 가열함으로써 시트상의 다공질 소결체를 제조하는 것이, 연속 생산성 및 두께의 자유도가 우수하다는 관점에서 바람직하다.
또한, 본 명세서에서 말하는 「연속 기공」이란, 성형체의 어느 면으로부터 다른 면으로 기공이 연속되고 있는 것을 말한다. 이 기공은, 직선적이어도 곡선적이어도 된다. 또한, 기공의 치수는, 예를 들어 표층과 내부, 또는 하나의 표층과 다른 표층에서 기공의 치수를 바꾸어도 된다.
상기한 다양한 성형 방법으로 얻은 다공질 소결 시트를, 또한 가압 수단에 의해 압축해도 된다. 보다 상세하게는, 가압판에 다공질 소결 시트를 끼워, 가압 압축해도 되고, 가압 롤러, 무단 컨베이어 벨트의 가압 장치 등에 의해, 가압 압축해도 된다. 가압 압축할 때의 온도는 융점±30℃의 온도 범위 내인 것이 바람직하다. 융점보다도 30℃를 초과하여 낮은 경우에는 수지 입자의 경화가 이미 시작되었으며 가압 압축의 효과가 얻어지지 않는 경향이 있고, 융점보다도 30℃를 초과하여 높은 경우에는 가압판, 가압 롤러에 다공질 소결 시트가 부착될 우려가 있으며, 또한 한쪽의 면(예를 들어, 표면)의 기공이 파산되어버리거나 할 우려가 있다. 다공질 소결 시트를 가압 압축하는 경우의 압축률은, 압축 전의 두께에 대하여 0.5% 이상 2% 이하가 바람직하고, 0.7% 이상 1% 이하가 더욱 바람직하다. 압축률이 0.5% 미만이면 표면의 분말 낙하성이나 내마모성이 떨어지고, 2% 이하임으로써, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 투과도(예를 들어, 통기도)가 한층 더 우수한 경향이 있다. 여기에서 말하는 압축률이란, 원래의 두께로부터 최종 두께를 뺀 값을 원래의 두께로 나눈 비율을 말한다.
다공질 소결 시트를 소결 성형에 의해 얻는 경우에는, 원료 수지는 분말상의 형태가 적합하게 사용된다. 이 경우, 다공질 소결 시트에 있어서, 충분한 투과성(예를 들어, 통기성)을 가지면서도, 충분한 기계 강도와 적당한 강성을 얻기 위해, 원료 수지의 평균 입경은 10 내지 300㎛인 것이 바람직하고, 20 내지 250㎛인 것이 보다 바람직하고, 30 내지 200㎛인 것이 더욱 바람직하고, 특히 50 내지 180㎛이다. 원료 수지의 평균 입경은, 누적 중량이 50%가 되는 입자 직경, 즉 메디안 직경이며, 레이저 회절식 입도 분포 측정 장치(가부시키가이샤 시마즈 세이사쿠쇼사제 「SALD-2100」)를 사용하여, 메탄올을 분산매로서 측정하여 얻을 수 있다.
「단면 공극률」이란, 다공질 소결 시트의 표면에 평행한 단면의 공극률을 말한다. 단면 공극률은, X선 CT 장치를 사용하여 측정할 수 있다. 다공질 소결 시트의 한쪽의 면으로부터, 두께 방향으로 단계마다 단면 화상을 얻고, 각 층의 공극 화상을 2치화함으로써 구할 수 있다. 이 방법에 의해, 다공질 소결 시트의 두께 방향의 단면 공극률의 프로파일을 얻을 수 있다.
평균 공극률이란, 모든 층의 단면 공극률의 평균값이며, 다공질 소결 시트의 두께는, X선 CT 측정에 있어서 공극률이 100%(다공질 소결 시트에 접하지 않은 상태) 이하가 되는 최초의 측정점으로부터 반대측을 향해 100%를 초과하기 전의 최후의 측정점까지의 거리를 말한다.
본 실시 형태에 있어서의 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 위치는, 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내이고, 바람직하게는 18% 이내이고, 보다 바람직하게는 16% 이내이다. 통상, 다공질 소결 시트는, 한쪽의 면으로부터 두께 방향으로 깊어짐에 따라, 공극률이 서서히 감소해 가고, 어떤 깊이에서 거의 일정한 공극률이 된 후, 두께의 중앙 부근(한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 50% 부근)에서 최소의 공극률이 되는 경향이 있다. 한편, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 한쪽의 면으로부터 두께 방향으로 깊어짐에 따라, 공극률이 서서히 감소해 가서, 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내에 공극률이 최소가 되고, 더욱 깊어짐에 따라, 공극률이 커져 가서, 그 후에 거의 일정한 공극률이 된다. 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내에 공극률의 최솟값이 존재함으로써, 예를 들어 다공질 소결 시트 내부에서 결핍된 분말상의 수지(예를 들어, 파우더 등)가 외부로 방출되기 어려운 경향이 있다. 또한, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트를 필터나 흡인 반송판으로서 사용할 때에, 다공질 소결 시트의 구멍을 통과하는 물체가 구멍에 막혀도, 압력 손실을 작게 할 수 있다. 또한, 다공질 소결 시트의 한쪽의 면의 기계 강도가 우수하고, 외부로부터의 응력에 대하여, 한쪽의 면이 깎이거나, 찌그러지거나, 변형되거나 하기 어렵다. 이 때문에, 장기간에 걸쳐서, 투과 능력(예를 들어, 통기 능력) 및 여과 능력을 유지할 수 있으며, 찌꺼기가 발생하기 어려운 경향이 있다.
일반적으로, 금형에 원료 파우더를 충전하고, 융점 이상으로 온도 유지된 가열로 내에 투입하여 소결시키는 금형법에 있어서는, 가열시에 원료 수지(예를 들어, 파우더상의 수지)가 팽창되지만 금형이 있음으로써 압축되는 상태가 된다. 또한, 금형법에서는, 가열 후, 공랭으로 서서히 다공질 소결 시트가 냉각되지만, 이 경우, 한쪽의 면으로부터 깊이 50% 부근에 공극률의 최솟값이 존재하는 다공질 소결 시트가 되는 경향이 있다.
이에 비해, 본 실시 형태의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내에 공극률의 최솟값이 존재하는 다공질 소결 시트를 제작하는 방법으로서는, 특별히 한정되지 않는다. 무단 컨베이어 벨트 상에 원료 수지를 퇴적한 후, 가열하여 소결하고, 그 후, 가압판에 끼워 가압하는 것이 바람직하다. 가열 소결시의 수지 온도를 180℃ 내지 230℃로 조정하는 것, 압축시의 온도는 해당 수지의 융점에 대하여 ±30℃로 설정하는 것 등의 방법에 의해, 다공질 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내에 공극률의 최솟값이 존재할 수 있도록 조정할 수 있다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트에 있어서, 단면 공극률의 최솟값은, 예를 들어 10% 이상 40% 이하이고, 바람직하게는 12% 이상 38% 이하이고, 보다 바람직하게는 15% 이상 36% 이하이다. 단면 공극률의 최솟값이 10% 이상임으로써, 충분한 투과성(예를 들어, 통기성 및 통수성)을 부여할 수 있다. 한편, 단면 공극률의 최솟값이 40% 이하임으로써, 기계 강도가 우수하고, 여과 정밀도가 우수한 다공질 소결 시트를 얻을 수 있다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률은, 바람직하게는 20% 이상 80% 이하이고, 보다 바람직하게는 25% 이상 75% 이하이고, 더욱 바람직하게는 30% 이상 70% 이하이다. 평균 공극률이 20% 이상임으로써, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 기체 또는 액체가 통과하거나, 유지되거나 하는 데 필요한 다공질 소결 시트 중의 공간을 한층 더 확보할 수 있고, 기계 강도가 한층 더 우수하고, 내구성이 한층 더 우수한 경향이 있다. 한편, 평균 공극률이 80% 이하임으로써, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 기계 강도가 한층 더 우수한 경향이 있다. 평균 공극률을 20% 이상 80% 이하로 조정하는 방법으로서는, 수지 입자의 평균 입자 직경, 성형체 제조시의 소성 온도, 소성 시간, 압축 온도, 압축 압력 및 압축 시간 등을 조정함으로써 제어할 수 있다. 본 명세서에서 말하는 「평균 공극률」이란, X선 CT에서 측정한 모든 층의 단면 공극률의 평균값을 말한다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트는 첩합 등을 하지 않고 깊이 방향의 공극 구조가 상이한 다공질 소결 시트를 얻는 것을 특징으로 하고 있다. 상이한 구조의 시트를 예를 들어 점착제 등으로 첩합한 경우, 점착층의 공극률이 극단적으로 상이하고, 전체의 평균 공극률보다 극단적으로 공극률이 낮은 위치가 깊이 방향에 존재한다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이에 있어서, 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률에 달한 깊이 위치보다도 깊고, 또한 평균 공극률보다도 20% 이상 큰 단면 공극률을 갖는 깊이 위치가 존재하지 않는 것이 바람직하다. 이에 의해, 박리의 원인이 되는 점착층을 개재하지 않고 표층 부분이 치밀한 구조를 갖는 다공질 소결 시트가 얻어진다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트에 있어서, 1m2 이상의 상기 다공질 소결 시트를 100cm2 이하로 구획함으로써 얻어지는 각 구획이, 하기 조건 A를 만족하는 것이 바람직하다.
(조건 A)
X≤Y×0.2
X: 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 깊이 위치와, 단면 공극률의 최댓값이 존재하는 깊이 위치의 차
Y: 구획의 두께
조건 A를 만족함으로써, 다공질 소결 시트는 보다 균일한 시트가 되고, 장소에 따라 액체나 기체의 투과성이 상이하거나, 균일한 흡인 척이나 여과를 할 수 없게 된다는 등의 문제가 한층 더 저감된다. 마찬가지의 관점에서, X는 Y×0.1 이하인 것이 보다 바람직하고, Y×0.05 이하인 것이 더욱 바람직하다.
본 실시 형태에 있어서의 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률과, 해당 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값의 차는, 예를 들어 10% 이상 50% 이하이고, 바람직하게는 12% 이상 40% 이하이고, 보다 바람직하게는 15% 이상 30% 이하이다. 평균 공극률과 단면 공극률의 최솟값의 차가 10% 이상임으로써, 기계 강도가 우수하고, 여과 정밀도가 우수한 다공질 소결 시트를 얻을 수 있다. 한편, 평균 공극률과 단면 공극률의 최솟값의 차가 50% 이하임으로써, 기체 또는 액체의 투과성이 우수하고, 압력 손실이 작아지는 경향이 있다.
평균 공극률과 단면 공극률의 최솟값의 차를 10% 이상으로 하는 방법으로서는, 다공질 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내의 공극률의 최솟값을 존재시키는 방법과 마찬가지의 방법에 의해 조정할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서의 다공질 소결 시트의 통기도와 두께의 곱은 0.2cm3/cm/sec 이상이고, 바람직하게는 0.3cm3/cm/sec 이상(예를 들어, 0.3 내지 1.0cm3/cm/sec)이고, 보다 바람직하게는 0.4cm3/cm/sec 이상이다. 통기도와 두께의 곱이 0.2cm3/cm/sec 이상임으로써, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는 투과성(예를 들어, 통기성 및 통수성)이 한층 더 우수하고, 기계 강도가 우수함으로써 내구성이 한층 더 우수한 경향이 있다. 또한, 통기도는, 통기도 측정기(TEXTEST사제 「FX3360PORTAIR」)를 사용하여, 측정 범위 20cm2, 측정차압 125Pa의 조건으로 측정할 수 있다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트의 두께는 바람직하게는 0.05mm 이상 5mm 이하이고, 보다 바람직하게는 0.1mm 내지 3mm이고, 더욱 바람직하게는 0.2mm 내지 2mm이다. 두께가 상기 범위 내에 있음으로써, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트는 자립성 및 취급성이 한층 더 우수하고, 투과성(예를 들어, 통기성 및 통수성)이 한층 더 우수하고, 또한 여과 정밀도가 한층 더 우수한 경향이 있다.
본 실시 형태의 다공질 소결 시트의 표면 조도(Ra)는 바람직하게는 0.1㎛ 이상 20㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 0.1㎛ 이상 10㎛ 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.1㎛ 이상 5㎛ 이하이다. 표면 조도가 상기 범위 내에 있음으로써, 본 실시 형태의 다공질 소결 시트를 흡착 완충재로서 사용할 때에 피흡착 부재에 흠집이나 접촉 자국이 발생하는 것을 한층 더 방지할 수 있다. 다공질 소결 시트의 표면 조도(Ra)를 상기 범위 내로 조정하는 방법으로서는, 특별히 한정되지 않으며, 퇴적법에 의해 다공질 소결 시트를 제작하는 방법, 얻어진 다공질 소결 시트를 프레스 성형하는 방법, 얻어진 다공질 소결 시트를 절삭하는 방법 등을 들 수 있다. 또한, 다공질 소결 시트의 표면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내에 단면 공극률의 최솟값이 존재함으로써, 해당 표면이 치밀한 구조가 되고, 표면 조도가 작아지는 경향이 있다. 또한, 표면 조도(Ra)는, 촉침식 표면 조도계(가부시키가이샤 도쿄 세이미츠사제 「핸디 서프 E-35B」)를 사용하여, 선단 직경 R: 5㎛, 속도: 0.6mm/s, 측정 길이: 12.5mm, 컷오프값 λc: 2.5mm, 측정 횟수: n=5의 조건으로 측정할 수 있다.
[용도]
본 실시 형태의 다공질 소결 시트는, 통기성이 우수하고, 예를 들어 표면 부근에 치밀 구조를 가짐으로써 표면 조도가 작기 때문에, 흡착 완충재로서 적합하게 사용할 수 있다. 흡착 완충재란, 흡착 고정 반송용 시트, 면역 크로마토그래피법에 의한 신속 검사 키트의 지지체용 시트, 액정용 유리판이나 적층 세라믹 콘덴서용의 시트 등, 박막 혹은 판상, 필름상인 것을 고정 또는 반송하기 위한 수단 중 하나로, 감압 흡인에서의 흡착 스테이지에서 흡착 고정 또는 흡착 반송하는 방법이 있지만, 이 흡착 스테이지의 흡착면에 장착하는 것이다.
박막으로서는, 세라믹 그린 시트를 들 수 있다. 세라믹 그린 시트는, 통상, 세라믹 분체, 결합제(아크릴계 수지, 부티랄계 수지 등), 가소제(프탈산에스테르류, 글리콜류, 아디프산, 인산에스테르류) 및 유기 용제(톨루엔, MEK, 아세톤 등)를 포함하는 세라믹 도료를 준비하고, 이 세라믹 도료를, 닥터 블레이드법 등에 의해 캐리어 시트 상에 도포하고, 가열 건조시킨 것이다.
또한, 한쪽의 면 부근에 치밀 구조가 있으면서 전체로서의 통기성이 높다는 점에서 여과 효율이 높은 여과재로서 사용할 수 있다.
실시예
이어서, 실시예 및 비교예를 들어 본 실시 형태를 보다 구체적으로 설명하지만, 본 실시 형태는 그의 요지를 초과하지 않는 한, 이하의 실시예로 한정되는 것은 아니다.
각 재료의 각 물성의 측정은 이하와 같이 행하였다.
(1) 단면 공극률
X선 CT 장치(마이크로 포커스 X선 CT 시스템 HPCinspeXioSMX-225CT: 시마즈 세이사쿠쇼제)를 사용하여, X선 조건을 160kV/40μA이며 금속 필터 무, 촬영 조건은, 노광 시간 0.33초 상당에서 1200매/360° 회전으로 1024×1024pix의 화상 사이즈에서 공간 해상도 5㎛/pix로 다공질 소결 시트의 삼차원 구조를 얻었다. 다공질 시트의 한쪽의 면으로부터, 두께 방향으로 단계마다 단면 화상을 얻고, 각 층의 공극을 화상의 Otsu의 방법에 의해 2치화하여, 단면 공극률을 구하였다. 이 방법에 의해, 다공질 소결 시트의 두께 방향의 공극률의 프로파일(예를 들어 도 1)을 얻을 수 있으며, 모든 층의 단면 공극률의 평균이 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률이 된다.
(2) 표면 조도(Ra)
표면 조도(Ra)의 측정은, 촉침식 표면 조도계(가부시키가이샤 도쿄 세이미츠사제 「핸디 서프 E-35B」)를 사용하여, 선단 직경 R: 5㎛, 속도: 0.6mm/s, 측정 길이: 12.5mm, 컷오프값 λc: 2.5mm의 조건으로 측정하였다. 측정 위치는, 피측정물의 면의 중심 1개소와, 면을 동일한 형상이 되도록 4등분했을 때, 이 4등분된 면의 중심 1개소씩, 합계 5개소를 측정하였다.
(3) 통기도
통기도의 측정은, 통기도 측정기(TEXTEST사제 「FX3360PORTAIR」)를 사용하여, 측정 범위 20cm2, 측정차압 125Pa의 조건으로 측정하였다.
(4) 두께
다공질 소결 시트의 두께의 측정은, X선 CT 측정에 있어서 공극률이 100% 이하가 되는 최초의 측정점부터 반대측을 향해 100%를 초과하기 전의 최후의 측정점까지의 거리를 두께로 하였다.
(5) 분말 낙하성 평가
폴리올레핀 다공질 소결 시트의 분말 낙하성의 평가는, 폴리올레핀 다공질 소결 시트의 원료 입자의 색과 반대색의 종이 상에서, 200mm×200mm 사이즈의 1매의 폴리올레핀 다공질 소결 시트를, 바이브레이터(신고 덴키 가부시키가이샤제 「바이브레이트 리피카 VP-15D」)를 사용하여 2분간 진동을 가한 후, 반대색의 종이 상에 원료 입자가 있는지 여부를 눈으로 보아 확인하고, 이하의 판정 기준에 기초하여 평가하였다.
○: 원료 파우더의 탈락이 거의 없었다.
×: 원료 파우더의 탈락이 다수 있었다.
(6) 압력 손실 평가
압력 손실의 측정은, 다공질 소결 시트를 여과 필터로서 실리카 분산액을 흡인 여과했을 때의 여과 속도와 여과액 중의 실리카 함유량에 의해 측정하였다. 유리제 필터 폴더 KG-47(도쿄 글래스 기카이 가부시키가이샤제)을 사용하여, 다공질 소결 시트를 폴더 사이즈에 맞추어 잘라내고, 폴더에 장착하여 클램프에 끼웠다. 아스피레이터로 -40kPa로 감압하고, 실리카 분산액 스노우텍스 MP-4540M(닛산 가가쿠 고교 가부시끼가이샤제)을 1L 흘려 넣어, 물이 통과할 때까지 걸리는 시간을 측정하였다. 이어서, 여과액 중의 실리카의 함유량을 건조 중량을 측정함으로써 구하고, 이하의 판정 기준에 기초하여 평가하였다.
◎: 20초 미만으로 통과하였다.
○: 20초 이상 40초 미만으로 통과하였다.
×: 40초 이상으로 통과하였다. 또는, 40초 미만으로 통과해도 실리카 함유량이 여과 전의 함유량의 50% 이상이 되어 있었다.
(7) 다공질 소결 시트 표면의 내찰상성 평가
#0000의 스틸 울을 사용하여 하중 100g으로 다공질 소결 시트의 표면을 50 왕복 문지르고, 절삭 찌꺼기의 발생 상황을 관찰하고, 이하의 판정 기준에 기초하여 평가하였다.
○: 절삭 찌꺼기의 발생량이 적고, 절삭 찌꺼기가 긴 직경 1mm 이하였다.
×: 절삭 찌꺼기의 발생량이 많고, 긴 직경 1mm 이상의 절삭 찌꺼기가 있었다.
[실시예 1]
점도 평균 분자량(Mv)이 40만, 평균 입경이 95㎛, 벌크 밀도가 0.53g/cc, 융점이 136℃인 초고분자량 폴리에틸렌 100중량부에 대하여, 폴리옥시소르비탄모노라우레이트 0.3중량부를 첨가하여, 블렌더로 혼합하였다. 해당 초고분자량 폴리에틸렌 조성물을 호퍼에 투입하여 공급하였다. 공급된 수지는, 이동 속도 10cm/min으로 회전하고 있는 금속제의 무단 컨베이어 벨트 상에 두께 0.505mm가 되도록 퇴적시켰다. 이어서 200℃로 세팅된 가열 존을 10분에 걸쳐서 통과시켰다. 가열 존의 출구의 수지 온도는 190℃였다. 가열 존 통과 후, 15초 후에 무단 컨베이어 벨트로부터 박리되며, 양면으로부터 공랭하고, 롤에 권취하여 다공질 소결 시트의 원단을 얻었다. 이어서 해당 다공질 소결 시트의 원단을 적당한 크기로 커트하고, 140℃에서 형 프레임 두께 0.500mm로 90초간 1MPa의 조건으로 가압 프레스함으로써, 두께 0.501mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다. 또한, 단면 공극률의 프로파일을 도 1에 도시한다.
또한, 얻어진 시트를 10cm 사방으로 커트한 것을 100매 준비하고, 각각의 최소 공극률을 나타내는 깊이 방향의 위치를 측정한 바, 최댓값이 0.075mm, 최솟값이 0.055mm이며, 그의 차는 전체의 두께의 4%가 되고, 전체에 균일한 시트가 되었다.
[실시예 2]
공급된 수지를 이동 속도 9cm/min으로 회전하고 있는 금속제의 무단 컨베이어 벨트 상에 두께 0.121mm가 되도록 퇴적시킨 것, 가압 프레스를 형 프레임 두께 0.120mm로 행한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.120mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[실시예 3]
점도 평균 분자량(Mv)이 100만, 평균 입경이 50㎛, 벌크 밀도가 0.50g/cc, 융점이 136℃인 초고분자량 폴리에틸렌을 사용한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.501mm의 다공질 소결체를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[실시예 4]
점도 평균 분자량(Mv)이 300만, 평균 입경이 50㎛, 벌크 밀도가 0.33g/cc, 융점이 136℃인 초고분자량 폴리에틸렌을 사용한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.500mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[실시예 5]
점도 평균 분자량(Mv)이 500만, 평균 입경이 80㎛, 벌크 밀도가 0.49g/cc, 융점이 136℃인 초고분자량 폴리에틸렌을 사용한 것, 두께 0.101mm가 되도록 퇴적시킨 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.100mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결체의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 1]
실시예 1에서 사용한 수지를 사용하고, 클리어런스 0.510mm로 조정된 알루미늄제의 금형에 30초간 바이브레이터로 진동을 부여하면서 수지를 충전하고, 금형 온도가 180℃가 될 때까지 가열, 냉각 후 이형하여, 두께 0.506mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다. 또한, 단면 공극률의 프로파일을 도 2에 도시한다.
[비교예 2]
실시예 5에서 사용한 수지를 사용하고, 메쉬상의 원통형 금형(내경 250mm, 높이 500mm)에 충전하고, 30초간 바이브레이터로 진동을 부여하면서 수지를 충전하였다. 이것을 내압 용기에 넣고, 수증기(160℃, 8기압)를 도입하고, 10시간 가열 소결하고, 그 후 25℃의 실온에 방치하여 냉각하였다. 얻어진 원통상의 다공질 소결체 블록을 절삭함으로써, 두께 0.101mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 3]
실시예 1에서 사용한 수지를 사용하고, 금속 무단 컨베이어 벨트 상에 두께 0.140mm가 되도록 퇴적시키고, 가압 프레스를 형 프레임 두께 0.120mm로 행한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.120mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 4]
실시예 1에서 사용한 수지를 사용하고, 가압 프레스 온도를 180℃로 조정한 것 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 5]
비교예 1에서 얻어진 다공질체를 95℃에서 형 프레임 두께 0.500mm로 90초간 1MP의 조건으로 가압 프레스함으로써, 두께 0.503mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 6]
실시예 1에서 사용한 수지를 사용하고, 형 프레임 두께 0.505mm로 가압 프레스하는 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.505mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 7]
실시예 1에서 사용한 수지를 사용하고, 가압 프레스를 행하지 않은 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 두께 0.505mm의 다공질 소결 시트를 얻었다. 해당 다공질 소결 시트의 특성을 표 1에 나타낸다.
[비교예 8]
비교예 4에서 얻어진 다공질 소결 시트에, 비교예 3에서 얻어진 다공질 소결 시트를, 스프레이 점착제(3M제 스프레이 점착제 55)로 접착층의 두께가 0.001mm가 되도록 접착하여, 평균 공극률 30%, 두께 0.621mm의 적층 다공질 시트를 얻었다. 해당 적층 다공질 시트의 평균 공극률에 달한 깊이는 비교예 3을 적층한 시트측으로부터 전체의 두께의 8% 위치(깊이 0.05mm)이고, 또한 깊은 위치인 전체의 두께의 20%의 위치(깊이 0.125mm)에서 공극률 69.3%가 되었다. 해당 적층 다공질 시트는 압력 손실 평가시에, 점착층이 박리되어버려 평가할 수 없었다.
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본 발명의 다공질 소결 시트는, 일렉트로닉스 분야나 의료 관련 분야 등에 있어서의 필터, 흡착 완충재, 흡착 고정 반송 용재, 산기관, 액체의 유도재 및 유지재, 지지재 등으로서, 산업상 이용 가능성을 갖고 있다.
본 출원은, 2017년 5월 9일 출원한 일본 특허 출원(특원2017-093107)에 기초한 것이며, 그의 내용은 여기에 참조로서 도입된다.

Claims (12)

  1. 수지를 함유하고, 또한 연속 기공을 갖는 다공질 소결 시트로서,
    상기 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값이 10% 이상이고, 또한 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 위치가, 상기 소결 시트의 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이 20% 이내인, 다공질 소결 시트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률과, 상기 다공질 소결 시트의 단면 공극률의 최솟값의 차가 10% 이상 50% 이하인, 다공질 소결 시트.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다공질 소결 시트의 통기량과, 상기 다공질 소결 시트의 두께의 곱이 0.2cm3/cm/sec 이상인, 다공질 소결 시트.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률이 20% 이상 80% 이하인, 다공질 소결 시트.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 한쪽의 면으로부터 두께 방향의 깊이에 있어서, 상기 다공질 소결 시트 전체의 평균 공극률에 달한 깊이 위치보다도 깊고, 또한 상기 평균 공극률보다도 20% 이상 큰 단면 공극률을 갖는 깊이 위치가 존재하지 않는, 다공질 소결 시트.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 1m2 이상의 상기 다공질 소결 시트를 100cm2 이하로 구획함으로써 얻어지는 각 구획이, 하기 조건 A를 만족하는 다공질 소결 시트.
    (조건 A)
    X≤Y×0.2
    X: 단면 공극률의 최솟값이 존재하는 깊이 위치와, 단면 공극률의 최댓값이 존재하는 깊이 위치의 차
    Y: 구획의 두께
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 소결 시트의 두께가 0.05mm 이상 5.0mm 이하인, 다공질 소결 시트.
  8. 무단 컨베이어 벨트 상에 수지를 공급하고, 시트상의 성형체로 성형한 후, 상기 성형체를 가열, 가압하여, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 시트상의 다공질 소결 시트를 제조하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 성형체를 가열한 후, 상기 수지의 융점±30℃의 온도 범위 내에서, 가열한 상기 성형체를 가압 수단에 의해 압축하는, 다공질 소결 시트의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 가압 수단에 의해 압축하는 압축률이, 0.5% 이상 2% 이하인 다공질 소결 시트의 제조 방법.
  11. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 다공질 소결 시트를 갖는, 흡착 고정 반송용 시트.
  12. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 다공질 소결 시트를 갖는, 면역 크로마토그래피법에 의한 신속 검사 키트의 지지체용 시트.
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