KR20190120236A - 진공 펌프의 배기 시스템, 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 진공 펌프, 퍼지 가스 공급 장치, 온도 센서 유닛, 및 진공 펌프의 배기 방법 - Google Patents

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Abstract

[과제] 정밀도 좋게 회전부의 온도를 측정하는 진공 펌프의 배기 시스템, 진공 펌프, 퍼지 가스 공급 장치, 온도 센서 유닛, 및 진공 펌프의 배기 방법을 실현한다.
[해결 수단] 본 실시 형태에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템에서는, 진공 펌프는, 적어도 회전부의 온도 측정시에, 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에서 역류하는 가스의 유속보다 퍼지 가스의 유속이 빨라지는 양, 또는, 온도 센서 유닛 주위의 가스 압력이 중간류 또는 점성류가 되는 양 중 어느 한쪽의 양의 퍼지 가스를 공급한다. 또한, 본 실시 형태의 배기 시스템은, 진공 펌프에 도입하는 퍼지 가스의 유량을 제어할 수 있는 퍼지 가스 공급 장치를 갖는다. 이 구성에 의해, 온도 측정시에 온도 센서 유닛 주위에 있어서, 프로세스 가스의 역류를 방지하여 성분 구성이 변화해 버리는 것을 방지하고, 정밀도 좋게 회전부의 온도를 측정할 수 있다.

Description

진공 펌프의 배기 시스템, 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 진공 펌프, 퍼지 가스 공급 장치, 온도 센서 유닛, 및 진공 펌프의 배기 방법
본 발명은, 진공 펌프의 배기 시스템, 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 진공 펌프, 퍼지 가스 공급 장치, 온도 센서 유닛, 및 진공 펌프의 배기 방법에 관한 것이고, 보다 상세하게는, 진공 펌프의 회전부의 온도를 정밀도 좋게 측정하는 구조에 관한 것이다.
회전부를 고속 회전시킴으로써 배기를 행하는 진공 펌프의 배기 시스템에서는, 진공 펌프의 회전부는 100도를 넘는 고온에 달하는 경우가 있다. 이와 같이 회전부가 고온이 된 상태로 계속 고속 회전시키면, 크리프 현상에 의한 회전부의 내구성이 문제가 된다.
이러한 크리프 상태를 미리 방지하는 관점에서, 회전부의 온도를 측정·감시하는 것이 필요하게 되어 있다. 또, 회전부는 고속 회전을 하고 있기 때문에, 비접촉식의 온도 센서(온도 센서 유닛)를 사용하여 측정할 필요가 있다.
도 7은, 종래의 진공 펌프의 배기 시스템(2000)을 설명하기 위한 도면이다.
종래의 진공 펌프의 배기 시스템(2000)에 구비되는 진공 펌프에서는, 스테이터 칼럼(2020)에 있어서의 하류측의 외경부에 온도 센서 유닛(2019)을 배치하여 회전부(10)의 내경부의 온도를 계측하고 있다.
WO2010/021307 일본국 특허공개 평11-37087호 일본국 특허 3201348호
특허문헌 1에는, 온도 센서를 복수 배치하고, 각각의 온도 센서의 온도차로부터 회전 날개(회전부)의 온도를 추정하는 방법이 기재되어 있다. 보다 상세하게는, 진공 펌프(터보 분자 펌프)의 회전 날개의 내측에 형성된 퍼지 가스의 경로에 온도 센서를 2개소에 설치하고, 퍼지 가스를 개재하여 전달하는 열량에서 생기는 온도차로부터, 회전 날개의 온도를 추측하는 방법이 개시되어 있다. 이 측정 방법의 경우, 정밀도 좋게 온도를 측정하기 위해서, 온도 센서의 주위의 분위기는 퍼지 가스 100%인 것이 바람직하다.
여기서, 일반적으로, 퍼지 가스의 유량은 20sccm(1분 사이에 20cc) 정도이기 때문에, 퍼지 가스가 흐르는 속도(유속)는 작다. 예를 들어, 회전 날개의 내경이 200mm, 퍼지 가스의 유로의 폭이 5mm, 압력이 2Torr인 경우, 퍼지 가스의 평균 속도는, 매초 4cm 정도의 매우 느린 유속으로 흐르고 있다.
그로 인해, 반도체 제조 장치 등에서 사용되는, 열전도가 좋지 않은 프로세스 가스가 역류해 온 경우, 퍼지 가스가 그 프로세스 가스를 흘러가게 하는(되밀어내는) 것은 불가능하다. 그 결과, 온도 센서 주위에 프로세스 가스가 혼입되어 버리는 경우가 있다.
이 경우, 가스의 조성이 변화함으로써, 온도 센서에 의한 측정 오차가 늘어나 버린다고 하는 과제가 있었다.
한편, 상술한 반도체 제조시와 같이 다량의 가스를 진공 펌프로 배기하는 것이 아니라, 증착 작업시와 같이 가스의 유량이 매우 적은 경우는, 온도 센서 주위의 가스 압력은 낮다.
이 경우, 온도 센서 주위의 퍼지 가스의 압력이 낮은 채이면, 바람직한 점성류가 아닌 중간류나 분자류의 상태가 되어 버린다. 그로 인해, 충분한 열량이 전달되지 않고, 온도 센서의 측정 오차가 증가해 버린다고 하는 과제가 있었다.
특허문헌 2에는, 가스의 유량이 적기 때문에 가스 압력이 낮은 경우에도 전열량이 얻어지도록, 코팅 등에 의해서 피측정 대상인 회전 날개와 온도 센서의 일부인 수열부의 양방의 복사율을 높이는 기술이 기재되어 있다.
그러나, 회전 날개의 온도는 최고 150℃ 정도까지 상승하지만, 복사 전열만으로는 충분한 열량이 얻어지지 않는다. 그 결과, 온도 센서의 측정 정밀도가 낮아져 버린다고 하는 과제가 있었다.
또, 특허문헌 3에는, 회전 날개의 하단에 회전 날개와 고정부의 간극이 작은 부분을 설치하고, 그 간극에 퍼지 가스를 공급함으로써, 베어링 부근에 프로세스 가스의 침입을 방지하는 기술에 대해 기재되어 있다.
그러나, 이 기술은 프로세스 가스의 베어링 부근으로의 침입을 방지하는 것이 목적이며, 온도 센서 주위의 가스 성분의 관리나 온도 센서의 정밀도를 향상시키는 것에 대해서는 어떤 언급도 되어 있지 않다.
그래서, 본 발명에서는, 회전부(회전 날개)의 온도를 정밀도 좋게 측정하는 진공 펌프의 배기 시스템, 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 진공 펌프, 퍼지 가스 공급 장치, 온도 센서 유닛, 및 진공 펌프의 배기 방법을 실현하는 것을 목적으로 한다.
청구항 1에 기재된 발명에서는, 퍼지 가스 유로에 있어서, 회전부의 온도를 측정하는 온도 센서 유닛이 배치된 진공 펌프와, 상기 진공 펌프에서 이용하는 퍼지 가스를 저장하는 퍼지 가스 저장 장치와, 상기 퍼지 가스 저장 장치에 저장된 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 퍼지 가스 공급 장치를 구비하는 진공 펌프의 배기 시스템으로서, 적어도 상기 온도 센서 유닛이 상기 회전부의 상기 온도를 측정할 때에, 상기 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에 있어서 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 배기 가스가 역류하는 유속보다, 상기 퍼지 가스의 유속이 빨라지는 양, 또는, 상기 온도 센서 유닛 주위에 있어서 상기 퍼지 가스의 압력이 중간류 또는 점성류가 되는 양 중 어느 한쪽의 조건을 만족하는 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 2에 기재된 발명에서는, 상기 온도 센서 유닛 주위에 있어서의 상기 퍼지 가스의 평균 자유 행정이, 상기 온도 센서 유닛과 상기 회전부의 거리보다 작아지는 양의 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급함으로써, 상기 진공 펌프에 공급하는 상기 퍼지 가스의 상기 압력을 중간류 또는 점성류로 하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 3에 기재된 발명에서는, 상기 진공 펌프는, 상기 회전부를 회전시키는 전장부를 수용하는 스테이터 칼럼과, 상기 스테이터 칼럼을 고정하는 베이스를 구비하고, 상기 스테이터 칼럼이, 상기 퍼지 가스 유로에 있어서의 상기 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에, 상기 베이스보다 외경이 큰 조임부를 구비함으로써, 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 상기 배기 가스가 역류하는 유속보다 유속이 빠른 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 4에 기재된 발명에서는, 상기 진공 펌프는, 상기 회전부를 회전시키는 전장부를 수용하는 스테이터 칼럼과, 상기 스테이터 칼럼을 고정하는 베이스를 구비하고, 상기 베이스가, 상기 퍼지 가스 유로에 있어서의 상기 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에, 상기 스테이터 칼럼보다 외경이 큰 조임부를 구비함으로써, 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 상기 배기 가스가 역류하는 유속보다 유속이 빠른 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 5에 기재된 발명에서는, 상기 퍼지 가스 공급 장치는, 상기 진공 펌프에 공급하는 상기 퍼지 가스의 유량을, 상기 온도 센서 유닛에 의한 온도 측정시와 그 이외의 적어도 2가지 설정 가능한 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 6에 기재된 발명에서는, 상기 온도 센서 유닛은, 상기 회전부에 대향하는 수열부와, 상기 수열부를 지지하는 단열부와, 상기 단열부를 상기 진공 펌프에 장착하는 장착부와, 상기 수열부에 고정된 제1 온도 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 7에 기재된 발명에서는, 상기 온도 센서 유닛의 상기 수열부와 상기 단열부는 일체 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 6에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 8에 기재된 발명에서는, 상기 온도 센서 유닛은, 상기 단열부 또는 상기 장착부 또는 상기 온도 센서 유닛을 장착하는 부품에 제2 온도 센서를 구비하고, 상기 제1 온도 센서와 상기 제2 온도 센서의 온도차로부터 상기 회전부의 상기 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 청구항 6 또는 청구항 7에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템을 제공한다.
청구항 9에 기재된 발명에서는, 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 진공 펌프를 제공한다.
청구항 10에 기재된 발명에서는, 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 퍼지 가스 공급 장치를 제공한다.
청구항 11에 기재된 발명에서는, 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 온도 센서 유닛을 제공한다.
청구항 12에 기재된 발명에서는, 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 있어서, 적어도 상기 온도 센서 유닛이 상기 회전부의 상기 온도를 측정할 때에, 상기 온도 센서 유닛 주위에 있어서, 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 배기 가스가 역류하는 유속보다, 상기 퍼지 가스의 유속이 빨라지는 양, 또는, 상기 퍼지 가스의 압력이 중간류 또는 점성류가 되는 양 중 어느 한쪽의 조건을 만족하는 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 방법을 제공한다.
본 발명에 의하면, 온도 측정시에 있어서 공급하는 퍼지 가스를 조정함으로써, 회전부(회전 날개)의 온도를 정밀도 좋게 측정할 수 있다.
또, 진공 펌프로 배기하고 있는 배기 가스가 온도 센서의 주위에 침입하여, 온도 센서를 부식시키거나, 반응 생성물이 퇴적함으로써 생기는 측정 오차를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 각 실시 형태에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에 따르는 진공 펌프의 개략 구성예를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태 2에 따르는 진공 펌프의 개략 구성예를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태 4에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템에 배치되는 퍼지 가스 공급 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태 5에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템에 배치되는 퍼지 가스 공급 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 1, 실시 형태 2에 따르는 역류 속도에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 종래 기술에 따르는 진공 펌프를 설명하기 위한 도면이다.
(i) 실시 형태의 개요
본 실시 형태에서는, 진공 펌프의 배기 시스템은, 진공 펌프가, 이하 (1) 또는 (2)에 설명하는, 퍼지 가스의 유량을 조정할 수 있는 퍼지 가스 공급 기구를 갖는다. (1) 적어도 회전부의 온도 측정시에, 온도 센서 유닛 주위에 있어서, 역류하는 가스의 유속보다, 퍼지 가스의 유속이 커지는 양의 퍼지 가스를 공급한다.
(2) 적어도 회전부의 온도 측정시에는, 온도 센서 유닛 주위의 가스 압력이 중간류(중간류 영역) 또는 점성류(점성류 영역)가 되는 양의 퍼지 가스를 공급한다.
또한, 본 실시 형태의 진공 펌프의 배기 시스템은, 진공 펌프에 퍼지 가스를 도입하는 퍼지 가스 유량 제어 수단으로서, 퍼지 가스의 유량을 제어할 수 있는 퍼지 가스 공급 장치를 갖는다.
이 구성에 의해, 본 실시 형태에서는, 온도 측정시에 온도 센서 유닛 주위에 있어서, 프로세스 가스의 역류를 방지하여 성분 구성이 변화해 버리는 것을 방지할 수 있으므로, 정밀도 좋게 회전부의 온도를 측정할 수 있다.
(ii) 실시 형태의 상세
이하, 본 발명의 적절한 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명한다.(배기 시스템(1000)의 구성)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템(1000)을 설명하기 위한 도면이다.
진공 펌프의 배기 시스템(1000)은, 진공 펌프(1), 퍼지 가스 공급 장치(100), 레귤레이터(200), 그리고 가스 봄베(300)에 의해 구성된다.
진공 펌프(1)의 구성은 후술한다.
퍼지 가스 공급 장치(100)는, 진공 펌프(1)에 공급되는 퍼지 가스가 적절한 양이 되도록 유량을 제어하는 유량 조정 기기이며, 밸브(50)를 개재하여 진공 펌프(1)의 퍼지 포트(후술하는 퍼지 포트(18))에 연결된다.
여기서, 퍼지 가스는, 질소 가스(N2)나 아르곤 가스(Ar) 등의 불활성 가스이다. 당해 퍼지 가스를 전기 부품 수납부에 공급함으로써, 진공 펌프(1)가 접속된 진공 용기로부터 배기하는 가스에 포함될 우려가 있는 부식성 가스(프로세스 가스로서 이용된 가스)로부터, 전기 부품을 보호하기 위해서 이용된다.
이하의 실시 형태에서는, 퍼지 가스는, 일례로서, 열전도율이 비교적 좋고, 염가의 질소 가스를 이용하여 설명한다.
레귤레이터(200)는, 가스 봄베(300)로부터 보내져 오는 가스를 이용하기 쉬운 기압으로 내리기 위한 장치이다.
가스 봄베(300)는, 본 실시 형태의 퍼지 가스인 질소 가스가 저장되어 있는 장치이다.
(진공 펌프(1)의 구성)
다음으로, 상술한 배기 시스템(1000)에 배치되는 진공 펌프(1)의 구성에 대해 설명한다.
도 2는, 본 발명의 실시 형태에 따르는 진공 펌프(1)를 설명하기 위한 도면이고, 진공 펌프(1)의 축선 방향의 단면을 도시한 도면이다.
본 실시 형태의 진공 펌프(1)는, 터보 분자 펌프부와 나사 홈 펌프부를 구비한, 이른바 복합형 타입의 분자 펌프이다.
진공 펌프(1)의 외장체를 형성하는 케이싱(2)은, 대략 원통형의 형상을 하고 있고, 케이싱(2)의 하부(배기구(6)측)에 설치된 베이스(3)와 더불어 진공 펌프(1)의 하우징을 구성하고 있다. 그리고, 이 진공 펌프(1)의 하우징의 내부에는 진공 펌프(1)에 배기 기능을 발휘시키는 구조물인 기체 이송 기구가 수납되어 있다.
이 기체 이송 기구는, 크게 나누어, 회전 가능하게 지지된 회전부와, 진공 펌프(1)의 하우징에 대해서 고정된 고정부로 구성되어 있다.
케이싱(2)의 단부에는, 진공 펌프(1)에 기체를 도입하기 위한 흡기구(4)가 형성되어 있다. 또, 케이싱(2)의 흡기구(4)측의 단면에는, 외주측으로 내뻗은 플랜지부(5)가 형성되어 있다.
베이스(3)에는, 진공 펌프(1) 내의 기체를 배기하기 위한 배기구(6)가 형성되어 있다.
회전부는, 회전축인 샤프트(7), 이 샤프트(7)에 배치된 로터(8), 로터(8)에 설치된 복수의 회전 날개(9)(흡기구(4)측) 및 회전 원통체(10)(배기구(6)측) 등으로 구성되어 있다. 또한, 샤프트(7) 및 로터(8)에 의해서 로터부가 구성되어 있다.
회전 날개(9)는, 샤프트(7)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져서 샤프트(7)로부터 방사형으로 신장된 복수의 블레이드로 이루어진다.
또, 회전 원통체(10)는, 회전 날개(9)의 하류측에 위치하고, 로터(8)의 회전 축선과 동심의 원통 형상을 한 원통 부재로 이루어진다. 본 실시 형태에서는, 이 회전 원통체(10)에 있어서의 하류측이, 후술하는 온도 센서 유닛(19)이 온도를 측정하는 피측정 대상이 된다.
샤프트(7)의 축선 방향 중간 정도에는, 샤프트(7)를 고속 회전시키기 위한 모터부(11)가 설치되어 있다.
또한, 샤프트(7)의 모터부(11)에 대해서 흡기구(4)측, 및 배기구(6)측에는, 샤프트(7)를 래디얼 방향(경방향)으로 비접촉으로 지지하기 위한 경방향 자기베어링 장치(12, 13)가, 또, 샤프트(7)의 하단에는, 샤프트(7)를 축선 방향(액시얼 방향)으로 비접촉으로 지지하기 위한 축방향 자기베어링 장치(14)가 각각 설치되어 있으며, 스테이터 칼럼(20)에 내포되어 있다.
또한, 본 발명의 실시 형태 1에 따르는 스테이터 칼럼(20)은, 도 2에 점선 A로 나타낸 부분에, 퍼지 가스 조정 기구로서의 조임부를 구성하는 돌출 외경부(21)를 갖는다. 이 조임부에 대해서는 후술한다.
스테이터 칼럼(20)의 외경부 또한 배기구(6)측에, 회전부의 온도를 측정하기 위한 온도 센서 유닛(19)이 배치된다.
온도 센서 유닛(19)은, 원판형의 수열부(즉, 온도 센서부), 스테이터 칼럼(20)에 고정되는 장착부, 그리고, 수열부와 장착부를 연결하는 원통형의 단열부에 의해 구성된다. 수열부는, 피측정 대상인 회전 원통체(10)(회전부)로부터의 전열을 검지하기 위해서 단면적이 넓으면 넓을수록 바람직하다. 그리고, 회전 원통체(10)와 간극을 개재하여 대향하도록 배치된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 수열부는 알루미늄으로, 그리고 단열부는 수지로 구성되는데, 이것에 한정되는 것은 아니며, 수열부도 단열부도 수지로 일체 형성하는 구성으로 해도 된다.
또, 단열부 혹은 장착부 혹은 스테이터 칼럼(20)에 제2 온도 센서부를 배치하고, 이 제2 온도 센서부와, 상술한 수열부에 배치된 온도 센서부(제1 온도 센서부)의 온도차를 이용하여 피측정 대상(회전부)의 온도를 추정하는 구성으로 해도 된다.
진공 펌프(1)의 하우징(케이싱(2))의 내주측에는, 고정부(고정 원통부)가 형성되어 있다. 이 고정부는, 흡기구(4)측(터보 분자 펌프부)에 설치된 고정 날개(15)와, 케이싱(2)의 내주면에 설치된 나사 홈 스페이서(16)(나사 홈 펌프부) 등으로 구성되어 있다.
고정 날개(15)는, 진공 펌프(1)의 하우징의 내주면으로부터 샤프트(7)를 향해, 샤프트(7)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져서 신장되어 있는 블레이드로 구성되어 있다.
각 단의 고정 날개(15)는, 원통 형상을 한 스페이서(17)에 의해 서로 가로막혀 있다. 진공 펌프(1)에서는, 고정 날개(15)가 축선 방향으로, 회전 날개(9)와 서로 어긋나게 복수 단 형성되어 있다.
나사 홈 스페이서(16)에는, 회전 원통체(10)와의 대향면에 나선 홈이 형성되어 있다. 나사 홈 스페이서(16)는, 소정의 클리어런스(간극)를 사이에 두고 회전 원통체(10)의 외주면에 대면하도록 구성되어 있다. 나사 홈 스페이서(16)에 형성된 나선 홈의 방향은, 나선 홈 내를 로터(8)의 회전 방향으로 가스가 수송된 경우에, 배기구(6)를 향하는 방향이다. 또한, 나선 홈은, 회전부측과 고정부측의 대향면의 적어도 한쪽에 설치되어 있으면 된다.
또, 나선 홈의 깊이는, 배기구(6)에 가까워짐에 따라 얕아지도록 되어 있고, 그러므로, 나선 홈을 수송되는 가스는 배기구(6)에 가까워짐에 따라 서서히 압축되도록 구성되어 있다.
또, 베이스(3)의 외주면에 퍼지 포트(18)가 설치되어 있다. 퍼지 포트(18)는, 퍼지 가스 유로를 개재하여 베이스(3)의 내부 영역(즉, 전기 부품 수납부)과 연통하고 있다. 퍼지 가스 유로는, 베이스(3)의 외주 벽면으로부터 내주 벽면까지 경방향을 따라서 관통하여 형성된 관통 가로 구멍이며, 퍼지 포트(18)로부터 공급되는 퍼지 가스를, 전기 부품 수납부로 보내는 퍼지 가스의 공급로로서 기능한다.
또한, 이 퍼지 포트(18)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 가스 공급 장치(100)에 밸브(50)를 개재하여 접속되어 있다.
여기서, 퍼지 가스의 흐름에 대해 설명한다. 퍼지 포트(18)로부터 공급된 퍼지 가스는, 베이스(3) 및 스테이터 칼럼(20)의 내부에 도입된다. 그리고, 모터부(11)나 경방향 자기베어링 장치(12, 13), 로터(8)와 스테이터 칼럼(20)의 사이를 통과하여 샤프트(7)의 상부측으로 이동한다. 또한, 스테이터 칼럼(20)과 로터(8)의 내주면 사이를 통과하여 배기구(6)로 보내고, 걷어들인 기체(프로세스 가스로서 이용된 가스)와 더불어, 흡기구(4)로부터 진공 펌프(1)의 밖으로 배출된다.
이와 같이 구성된 진공 펌프(1)에 의해, 진공 펌프(1)에 배치되는, 도시하지 않은 진공실(진공 용기) 내의 진공 배기 처리가 행해진다. 진공실은, 예를 들어, 표면 분석 장치나 미세 가공 장치의 챔버 등으로서 이용되는 진공 장치이다.
다음으로, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 진공 펌프(1)에 구비되는, 퍼지 가스 조정 기구에 대해 설명한다.
또한, 진공 펌프(1)에 구비되는 퍼지 가스 조정 기구에 대해서는, 퍼지 가스의 유속을 조정하는 구성이 2가지(실시 형태 1 및 실시 형태 2), 그리고, 퍼지 가스의 압력을 조정하는 구성이 1가지(실시 형태 3)가 있다.
(실시 형태 1-유속)
도 2는, 실시 형태 1에 따르는 조임부를 설명하기 위한 도면이다.
실시 형태 1에 따르는 진공 펌프(1)는, 도 2에 점선 A로 나타낸 바와 같이, 퍼지 가스의 유량을 조정할 수 있는 퍼지 가스 공급 기구로서, 스테이터 칼럼(20)에, 돌출 외경부(21)(조임부)가 배치된다.
돌출 외경부(21)은, 스테이터 칼럼(20)에 있어서, 온도 센서 유닛(19)이 배치되는 하류측(배기구(6)측)인 적어도 일부에, 당해 스테이터 칼럼(20)의 외경을 늘림으로써 형성된다.
스테이터 칼럼(20)의 외경을 일부 넓혀 돌출 외경부(21)를 형성함으로써, 당해 돌출 외경부(21)와 회전 원통체(10)가 대향함으로써 형성되는 퍼지 가스 유로는 좁아진다. 또한, 퍼지 가스 유로란, 회전 원통체(10)의 내경면과 돌출 외경부(21)의 외경면으로 구성되는 간극이다.
흐르는 퍼지 가스의 체적이 동일한 상태로 퍼지 가스 유로의 단면적을 줄이면, 그만큼 퍼지 가스의 유속은 빨라진다. 이와 같이 퍼지 가스의 유속을 빠르게 하여, 역확산하는 배기 가스(프로세스 가스)보다 유속을 빠르게 함으로써, 온도 센서 유닛(19) 주위의 배기 가스의 역류(역확산)를 방지할 수 있다.
또한, 돌출 외경부(21)(조임부)는, 스테이터 칼럼(20)의 일부에만 형성되는 것이 바람직하고, 보다 구체적으로는, 돌출 외경부(21)의 퍼지 가스 유로의 축방향의 길이는, 최대 30mm 정도가 바람직하다.
또, 조임부가 배치되는 부분(도 2의 A)의 퍼지 가스 유로폭은, 진공 펌프(1)의 운전 중에 회전 원통체(10)(회전부)와 스테이터 칼럼(20)(고정부)이 접촉하지 않는 범위에서 가능한 한 작은 것이 좋고, 0.5mm 이하로 하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 회전 원통체(10)와 스테이터 칼럼(20)의 사이의 점성 저항이 증가하므로, 소비 전력이나 발열의 증가를 방지할 수 있다.
또, 온도 센서 유닛(19)보다 하류측에 있어서, 퍼지 가스로 배기 가스를 되밀어내는 구성에 의해, 진공 펌프(1)에서 배기 중의 프로세스 가스가 온도 센서 유닛(19)의 주위에 역류하여, 온도 센서 유닛(19) 주위의 가스 성분이 바뀌어 버리기 때문에 일어날 수 있는 측정 오차의 증가를 방지할 수 있다.
(실시 형태 2-유속)
실시 형태 1에서 설명한 조임부의 다른 실시 형태에 대해서, 도 3을 이용하여 설명한다.
도 3은, 실시 형태 2에 따르는 조임부를 설명하기 위한 도면이다.
실시 형태 2에 따르는 진공 펌프(1)는, 도 3에 점선 B로 나타낸 바와 같이, 퍼지 가스의 유량을 조정할 수 있는 퍼지 가스 공급 기구로서, 베이스(30)에, 대외경부(31)(조임부)가 배치된다.
대외경부(31)는, 베이스(30)에 있어서, 온도 센서 유닛(19)이 스테이터 칼럼(20)에 배치되는 위치보다 하류측(배기구(6))측의 적어도 일부에, 당해 베이스(30)의 외경을 늘림으로써 형성된다.
베이스(30)의 외경을 일부 넓혀 대외경부(31)를 형성함으로써, 당해 대외경부(31)와 회전 원통체(10)가 대향함으로써 형성되는 퍼지 가스 유로는 좁아진다. 흐르는 퍼지 가스의 체적이 동일한 상태로 퍼지 가스 유로의 단면적을 줄이면, 실시 형태 1과 동일하게 퍼지 가스의 유속은 빨라진다. 그리고, 이와 같이 퍼지 가스의 유속을 역확산하는 배기 가스보다 빠르게 함으로써, 온도 센서 유닛(19) 주위로의 배기 가스의 역류를 방지할 수 있다.
또한, 대외경부(31)(조임부)는, 베이스(30)의 일부에만 형성되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 대외경부(31)의 퍼지 가스 유로의 축방향의 길이는, 최대 30mm 정도가 바람직하다.
또, 조임부가 배치되는 부분(도 3의 B)의 퍼지 가스 유로폭은, 진공 펌프(1)의 운전 중에 회전 원통체(10)(회전부)와 베이스(30)(고정부)가 접촉하지 않는 범위에서 가능한 한 작은 것이 좋고, 0.5mm 이하로 하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의해, 회전 원통체(10)와 베이스(30)의 사이의 점성 저항이 증가하므로, 소비 전력이나 발열의 증가를 방지할 수 있다.
또, 온도 센서 유닛(19)보다 하류측에 있어서, 퍼지 가스로 배기 가스를 되밀어내는 구성에 의해, 진공 펌프(1)에서 배기 중의 프로세스 가스가 온도 센서 유닛(19)의 주위에 역류하여, 온도 센서 유닛(19) 주위의 가스 성분이 바뀌어 버리기 때문에 일어날 수 있는 측정 오차의 증가를 방지할 수 있다.
상술한 실시 형태 1, 실시 형태 2와 같이, 퍼지 가스 유로에 있어서의 온도 센서 유닛(19)의 배치 위치보다 하류측에, 조임부(퍼지 가스 공급 기구)를 배치하면, 퍼지 가스 유로의 단면적을 작게 할(즉, 조일) 수 있다.
그로 인해, 만일, 퍼지 가스의 공급량이 적은 경우(증착 작업 등)에도, 배기 가스가 온도 센서 유닛(19) 주위에 역류하는 것을 방지하기 위해서 필요한 퍼지 가스 유속을 소량의 퍼지 가스로 실현할 수 있다.
(실시 형태 3-압력)
다음으로, 퍼지 가스의 압력을 조정하는 실시 형태 3에 따르는 퍼지 가스 조정 기구에 대해 설명한다.
일반적으로, 온도 센서 유닛(19) 주위의 가스 압력이 분자류가 되면, 압력 비례로 온도 전달이 저하하여, 온도 센서 유닛(19)이 기능하지 않게 될 우려가 있다.
그래서, 실시 형태 3에 따르는 퍼지 가스 조정 기구는, 적어도 회전 원통체(10)의 온도 측정시에, 온도 센서 유닛(19) 주위의 가스 압력이, 분자류가 아닌 점성류에 가까운 압력 영역(점성류 영역)이 되는데 필요한 양의 퍼지 가스를 공급한다.
보다 구체적으로는, 퍼지 가스의 평균 자유 행정(λ)이, 온도 센서 유닛(19)과 회전 원통체(10)의 간격보다 작아지는 양의 퍼지 가스를 공급한다.
또한, 평균 자유 행정이란, 퍼지 가스의 분자가, 다른 분자에 충돌하여 진로를 바꾸지 않고 나아갈 수 있는 거리의 평균치이다.
이와 같이, 온도 센서 유닛(19) 주위의 압력을 올려, 가스에 의한 전열을 촉진한다. 이 구성에 의해, 진공 펌프(1) 내의 압력이 높아져, 전열이 촉진되고, 측정 오차의 증가를 방지할 수 있다.
(실시 형태 4)
다음으로, 본 발명의 배기 시스템(1000)의 다른 실시 형태에 대해서, 도 4를 이용하여 구체적으로 설명한다.
도 4는, 실시 형태 4에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템(1010)에 배치되는 퍼지 가스 공급 장치(100)를 설명하기 위한 도면이다.
상술한 실시 형태 1, 실시 형태 2, 및 실시 형태 3을 실현하기 위해서, 일정량 이상의 퍼지 가스를 계속 흐르게 하는 것은, 비용이 오르고 발열량도 늘어난다.
그래서, 실시 형태 4에서는, 온도 센서 유닛(19)에 의한 온도 측정시 이외의 퍼지 가스의 유량을 줄이기 위해서, 진공 펌프(1)에 퍼지 가스를 도입할 때의 유량을 적어도 2조건 설정할 수 있는 퍼지 가스 유량 제어 수단으로서 매스 플로우 컨트롤러(110)를 배치한다.
이 매스 플로우 컨트롤러(110)가 배치된 배기 시스템(1010)에서는, 온도 측정시에, 일시적으로 퍼지 가스의 유량을 늘릴 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태 4에서는, 매스 플로우 컨트롤러(110)가, 퍼지 가스의 유량을 조정하는 유량 조정기로서 기능하므로, 항상 일정량 이상의 퍼지 가스를 계속 흐르게 하는 것에 의한 비용 증가나 발열량의 증가를 방지할 수 있다.
(실시 형태 5)
본 발명의 배기 시스템(1000)의 다른 실시 형태에 대해서, 도 5를 이용하여 구체적으로 설명한다.
도 5는, 실시 형태 5에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템(1020)에 배치되는 퍼지 가스 공급 장치(100)를 설명하기 위한 도면이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 실시 형태 5에서는, 퍼지 가스 공급 장치(100)로서, 2개의 플로우 리스트릭터(flow restrictor)(121, 122)를 배치한다.
즉, 온도 센서 유닛(19)에 의한 온도 측정시 이외의 퍼지 가스의 유량을 줄이기 위해서, 진공 펌프(1)에 퍼지 가스를 도입할 때의 유량을 변경할 수 있는 퍼지 가스 유량 제어 수단으로서 플로우 리스트릭터(121, 122)를 배치한다.
이 플로우 리스트릭터(121, 122)가 배치된 배기 시스템(1020)에서는, 온도 측정시에, 일시적으로 퍼지 가스의 유량을 늘릴 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태 5에서는, 플로우 리스트릭터(121, 122)가, 퍼지 가스의 유량을 조정하는 유량 조정기로서 기능한다.
플로우 리스트릭터(121, 122)는 기압의 차를 이용한 유량 조정기이며, 퍼지 가스의 유량을 늘리고 싶을 때는 2개의 밸브(50)를 양방 열고 병행하여 퍼지 가스를 흐르게 한다.
이와 같이, 본 실시 형태 5에서는, 플로우 리스트릭터(121, 122)가, 퍼지 가스의 유량을 조정하는 유량 조정기로서 기능하므로, 일정량 이상의 퍼지 가스를 계속 흐르게 하는 것에 의한 비용 증가나 발열량의 증가를 방지할 수 있다.
도 6은, 본 발명의 실시 형태 1, 실시 형태 2에 따르는 역류하는 가스의 유속에 대해 설명하기 위한 도면이다.
이하에, 이론상, 어떤 조건이면 역류를 방지할 수 있을지(즉, 퍼지 가스 유로를 흐르는 가스의 유속을 얼마로 하면 배기 가스의 역류를 방지할 수 있을지)에 대해서, 도 6에 도시한 공간 1과 공간 2의 모델을 사용하여 계산의 흐름을 설명한다.
도 6에는, N2 가스가 도입되는 공간 1, Ar 가스가 도입되는 공간 2, 그리고, 공간 1과 공간 2를 연결하는 파이프가 도시되어 있다.
또한, 공간 1이 온도 센서 유닛(19)이 배치된 퍼지 가스 유로에 상당하고, 파이프가 퍼지 가스 유로에 상당하며, 그리고, 공간 2가 배기구(6)측의 배기 가스 유로에 상당한다.
파이프 치수는, 외경을 Do, 내경을 Di, 길이를 L로 한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 공간 1에는, 60sccm(0.1Pam3/s)의 N2 가스가 도입된다고 한다. 이때, 공간 1의 성분비는 N2 가스가 100%인데 비해 Ar 가스는 0%이다. 또, N2 가스의, 공간 1로부터 파이프를 통과하여 공간 2로 흐르는 유속을 Va로 한다.
한편, 공간 2에는, 1940sccm의 Ar 가스가 도입된다고 한다. Ar 가스의, 공간 2로부터 파이프를 통과하여 공간 1로 역류하는 유속을 Vb로 한다. 이때, 공간 2의 성분비는 N2 가스가 3%인데 비해 Ar 가스는 97%이다.
이와 같이, 공간 1과 공간 2에 있어서의 Ar 가스의 농도에 농도차가 생긴다.
이 농도차에 의해서 Ar 가스가 파이프 내를 얼마나 역류하는지(정상 상태에서의 확산 속도)에 대해서, 이론적으로는, 이하에 개시한 픽크의 제1 법칙의 식(수학식 1)으로 계산하여 구할 수 있다.
(수학식 1)
J=-D×(C2-C1)/L
여기서, J는 유속(mol/m2s), D는 확산 계수(m2s), C1은 공간 1의 Ar 가스 농도(mol/m3), C2는 공간 2의 Ar 가스 농도(mol/m3), 그리고 L은 거리(m)이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 공간 1의 Ar 가스는 0%이기 때문에 C1은 0이 되므로, 공간 2로부터 공간 1로 이동하는 Ar 가스의 유속(역류 속도) Vb는, 다음의 수학식 2로 계산할 수 있다.
(수학식 2)
Vb=-J/C2={D×(C2-C1)/L}/C2=D/L
즉, 확산 계수 D를 거리 L로 나눈 수치가 Vb가 된다.
또, 확산 계수 D는, 가스 분자의 평균 열운동 속도 ν와 평균 자유 행정 λ로부터, 다음의 수학식 3으로 산출할 수 있다.
(수학식 3)
D=1/3×ν×λ
따라서, 예를 들어, 압력이 266Pa, 거리 L이 0.01m인 경우, Ar 가스의 유속(역류 속도) Vb는, 이하의 수학식 4로 계산을 나타낸 바와 같이, Vb=0.35m/s가 얻어진다(도 6에 도시한 계산 조건을 참조).
(수학식 4)
Vb=D/L=(1/3×398×2.6E-5)/0.01=0.35(m/s) 즉, Vb가 0.35m/s이므로, 그것보다 Va의 유속이 크면, 공간 1로부터 공간 2로 Ar 가스가 역류해 오지 않도록 할 수 있는 것을 안다.
다음으로, 공간 1로부터 공간 2로 Ar 가스가 역류하지 않기 때문에, Va의 유속을 Vb보다 빠르게 하기 위한 유로의 폭에 대해서, 이하에 설명한다.
N2 가스를 60sccm(단위 변환하여 0.1Pam3/s) 흐르게 하는 경우의 체적 유량 Qv(m3/s)는, 이하의 수학식 5를 이용하여 산출할 수 있다.
(수학식 5)
Qv=0.1/266=3.8E-4(m3/s)
따라서, 이하에 예를 들어 설명하는 바와 같이, 유로의 폭을 좁게 함으로써(단면적을 작게 함으로써), 「N2 가스의 유속：Va＞Ar 가스의 역류 속도：Vb」가 되어, Ar 분자가 공간 2로부터 공간 1로 역류하는 것을 방지할 수 있는 것을 안다.
또한, 「유로(파이프)의 폭을 좁게 한다」란, 실시 형태 1이나 실시 형태 2에서 설명한 「퍼지 가스 유로에 조임부를 배치한다」와 동일 의미이다.
(예) 외경이 200mm이고, 폭이 1mm(즉, 내경이 198mm)인 경우, 유로의 단면적은 π/4×(0.22-0.1982)=0.00063m2가 되고, 유로를 통과하는 N2 가스의 속도 Va는, 3.8E-4/0.00063=0.60(m/s)이 된다.
즉, 이 경우, Va=0.60(m/s)에 대해서 Vb=0.35(m/s)이므로 Va＞Vb(N2 가스의 유속＞Ar 가스의 역류 속도)가 되기 때문에, Ar 가스는 공간 2로부터 공간 1로 역류하지 않는 것을 안다.
덧붙여서, 외경이 동일한 200mm이고, 유로의 폭이, 먼저 기술한 1mm보다 4mm 긴 5mm(즉, 내경이 190mm)인 경우, 유로의 단면적은 π/4×(0.22-0.192)=0.00306m2가 되어, 유로의 속도(Va)는, 3.8E-4/0.00306=0.12(m/s)가 된다.
즉, 종래와 같이 유로의 폭이 긴 5mm의 경우는, Va=0.12(m/s)에 대해서 Vb=0.35(m/s)가 되므로, Va＜Vb(N2 가스의 유속＜Ar 가스의 역류 속도)가 되기 때문에, Ar 가스가 공간 2로부터 공간 1로 역류해 버리는 것을 안다.
이상의 설명에 의해, 본 발명의 각 실시 형태에 따르는 진공 펌프의 배기 시스템(1000, 1010, 1020)에서는, 퍼지 가스로서 공급한 가스 성분 이외가 온도 센서 유닛(19) 주위에 역류하여, 가스 조성이 변화하고 전열량이 변화하는 것을 방지할 수 있다. 또, 온도 센서 유닛(19) 주위의 압력을 올려, 열전달을 촉진할 수 있다.
게다가, 진공 펌프로 배기하고 있는 배기 가스가 온도 센서의 주위에 침입하여, 온도 센서를 부식시키거나, 반응 생성물이 퇴적함으로써 생기는 측정 오차를 방지할 수 있다.
또한, 퍼지 가스의 유량을 온도 측정시만으로 함으로써, 퍼지 가스의 소비량을 절약할 수 있다.
이로 인해, 온도 센서 유닛(19)에 의한 회전 원통체(10)의 온도의 측정 정밀도가 향상한다. 그 결과, 회전 원통체(10)의 온도를 정확하게 측정하는 것이 가능하게 되어, 과열에 의해서 생기는 문제점을 방지할 수 있다. 즉, 회전 원통체(10)의 온도가 상승하여 열팽창해, 다른 부품과 접촉하는 등 하여 파손되어 버리는 것이나, 고온의 상태가 계속되기 때문에 일어나는 크리프 변형에 의해서 회전부와 고정부가 접촉하여 파손되어 버리는 것, 또한, 과열에 의해 재료 강도가 저하하여, 회전 원통체(10)가 파손되어 버리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 형태 및 각 변형예는, 필요에 따라서 조합하는 구성으로 해도 된다. 온도 센서로서, 적외선식 온도 센서를 사용하는 구성으로 해도 된다.
또, 본 발명은, 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 한 여러 가지의 개변을 이룰 수 있고, 그리고, 본 발명이 당해 개변된 것에도 미치는 것은 당연하다.
1: 진공 펌프 2: 케이싱
3: 베이스 4: 흡기구
5: 플랜지부 6: 배기구
7: 샤프트 8: 로터
9: 회전 날개 10: 회전 원통체
11: 모터부 12, 13: 경방향 자기베어링 장치
14: 축방향 자기베어링 장치 15: 고정 날개
16: 나사 홈 스페이서 17: 스페이서
18: 퍼지 포트 19: 온도 센서 유닛
20: 스테이터 칼럼(실시 형태 1)
21: 돌출 외경부(실시 형태 1：조임부)
30: 베이스(실시 형태 2) 31: 대외경부(실시 형태 2：조임부)
50: 밸브 100: 퍼지 가스 공급 장치
110: 매스 플로우 컨트롤러(퍼지 가스 공급 장치)
121: 플로우 리스트릭터(제1 퍼지 가스 공급 장치)
122: 플로우 리스트릭터(제2 퍼지 가스 공급 장치)
200: 레귤레이터 300: 가스 봄베
1000: 진공 펌프의 배기 시스템 1010: 진공 펌프의 배기 시스템
1020: 진공 펌프의 배기 시스템 2000: 진공 펌프의 배기 시스템(종래)
2019: 온도 센서 유닛(종래) 2020: 스테이터 칼럼(종래)

Claims (12)

  1. 퍼지 가스 유로에 있어서, 회전부의 온도를 측정하는 온도 센서 유닛이 배치된 진공 펌프와,
    상기 진공 펌프에서 이용하는 퍼지 가스를 저장하는 퍼지 가스 저장 장치와,
    상기 퍼지 가스 저장 장치에 저장된 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 퍼지 가스 공급 장치를 구비하는 진공 펌프의 배기 시스템으로서,
    적어도 상기 온도 센서 유닛이 상기 회전부의 상기 온도를 측정할 때에,
    상기 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에 있어서 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 배기 가스가 역류하는 유속보다, 상기 퍼지 가스의 유속이 빨라지는 양,
    또는, 상기 온도 센서 유닛 주위에 있어서 상기 퍼지 가스의 압력이 중간류 또는 점성류가 되는 양 중 어느 한쪽의 조건을 만족하는 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 온도 센서 유닛 주위에 있어서의 상기 퍼지 가스의 평균 자유 행정이, 상기 온도 센서 유닛과 상기 회전부의 거리보다 작아지는 양의 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급함으로써, 상기 진공 펌프에 공급하는 상기 퍼지 가스의 상기 압력을 중간류 또는 점성류로 하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 펌프는, 상기 회전부를 회전시키는 전장부를 수용하는 스테이터 칼럼과, 상기 스테이터 칼럼을 고정하는 베이스를 구비하고,
    상기 스테이터 칼럼이, 상기 퍼지 가스 유로에 있어서의 상기 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에, 상기 베이스보다 외경이 큰 조임부를 구비함으로써, 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 상기 배기 가스가 역류하는 유속보다 유속이 빠른 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공 펌프는, 상기 회전부를 회전시키는 전장부를 수용하는 스테이터 칼럼과, 상기 스테이터 칼럼을 고정하는 베이스를 구비하고,
    상기 베이스가, 상기 퍼지 가스 유로에 있어서의 상기 온도 센서 유닛보다 하류측의 적어도 일부에, 상기 스테이터 칼럼보다 외경이 큰 조임부를 구비함으로써, 상기 진공 펌프로 배기하고 있는 상기 배기 가스가 역류하는 유속보다 유속이 빠른 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 퍼지 가스 공급 장치는, 상기 진공 펌프에 공급하는 상기 퍼지 가스의 유량을, 상기 온도 센서 유닛에 의한 온도 측정시와 그 이외의 적어도 2가지 설정 가능한 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 온도 센서 유닛은,
    상기 회전부에 대향하는 수열부와,
    상기 수열부를 지지하는 단열부와,
    상기 단열부를 상기 진공 펌프에 장착하는 장착부와,
    상기 수열부에 고정된 제1 온도 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 온도 센서 유닛의 상기 수열부와 상기 단열부는 일체 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  8. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 온도 센서 유닛은, 상기 단열부 또는 상기 장착부 또는 상기 온도 센서 유닛을 장착하는 부품에 제2 온도 센서를 구비하고,
    상기 제1 온도 센서와 상기 제2 온도 센서의 온도차로부터 상기 회전부의 상기 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 시스템.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 진공 펌프.
  10. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 퍼지 가스 공급 장치.
  11. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 구비되는 온도 센서 유닛.
  12. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 진공 펌프의 배기 시스템에 있어서,
    적어도 상기 온도 센서 유닛이 상기 회전부의 상기 온도를 측정할 때에, 상기 온도 센서 유닛 주위에 있어서,
    상기 진공 펌프로 배기하고 있는 배기 가스가 역류하는 유속보다, 상기 퍼지 가스의 유속이 빨라지는 양, 또는, 상기 퍼지 가스의 압력이 중간류 또는 점성류가 되는 양 중 어느 한쪽의 조건을 만족하는 상기 퍼지 가스를 상기 진공 펌프에 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프의 배기 방법.
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