JP2003083273A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- casing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポンプ内の温度を適切な温度に調整すること
ができ、ポンプの性能を最大限に発揮することができる
ドライ真空ポンプを提供する。 【解決手段】 ロータ２がケーシング１内に配置され、
ロータ２の回転により気体を排気するドライ真空ポンプ
において、冷却水を流通させる冷却パイプ５ａ，５ｂ，
５ｃをケーシング１内に複数設け、冷却水供給源８から
冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃに供給される冷却水の流量
を調節する流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃを冷却パイプ５
ａ，５ｂ，５ｃ毎に設けた。
ができ、ポンプの性能を最大限に発揮することができる
ドライ真空ポンプを提供する。 【解決手段】 ロータ２がケーシング１内に配置され、
ロータ２の回転により気体を排気するドライ真空ポンプ
において、冷却水を流通させる冷却パイプ５ａ，５ｂ，
５ｃをケーシング１内に複数設け、冷却水供給源８から
冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃに供給される冷却水の流量
を調節する流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃを冷却パイプ５
ａ，５ｂ，５ｃ毎に設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ドライ真空ポン
プ、特に半導体製造装置等の真空チャンバを真空に排気
するために用いるドライ真空ポンプに関するものであ
る。
プ、特に半導体製造装置等の真空チャンバを真空に排気
するために用いるドライ真空ポンプに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置などにおいて使用される
真空ポンプは、清浄雰囲気を維持するために、ポンプ内
部のガス通路に油を使用しないドライポンプであること
が必要とされる。ドライ式の２軸容積式真空ポンプに
は、ルーツ型、スクリュー型などのポンプがある。
真空ポンプは、清浄雰囲気を維持するために、ポンプ内
部のガス通路に油を使用しないドライポンプであること
が必要とされる。ドライ式の２軸容積式真空ポンプに
は、ルーツ型、スクリュー型などのポンプがある。
【０００３】例えば、ルーツ式ドライ真空ポンプは、一
対のロータが同期しながら反対方向に回転して吸入排気
を行う。この一対のロータは、ケーシング内面及びロー
タ同士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向
に回転する。この種の真空ポンプは、ロータを多段にす
ることにより、吸込側では約１０−３Ｔｏｒｒ、排気側
では大気圧となるように設計される。このような形式の
真空ポンプは、半導体製造装置におけるチャンバ内の排
気などに広く用いられている。
対のロータが同期しながら反対方向に回転して吸入排気
を行う。この一対のロータは、ケーシング内面及びロー
タ同士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向
に回転する。この種の真空ポンプは、ロータを多段にす
ることにより、吸込側では約１０−３Ｔｏｒｒ、排気側
では大気圧となるように設計される。このような形式の
真空ポンプは、半導体製造装置におけるチャンバ内の排
気などに広く用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなドライ真空ポンプを用いて例えば半導体製造装置用
のチャンバを排気する場合には、排気対象の反応ガス中
に固化する成分が含まれており、温度が低いと反応副生
成物がポンプの内部において固形化する場合がある。一
方、ポンプの温度が高くなりすぎると、ポンプに用いら
れているＯリングやシール材の耐熱性に影響が出たり、
ロータとケーシングとの間のクリアランスを適切に維持
できなかったりする。従って、ポンプを適切な温度、例
えば２００℃〜２５０℃に維持する必要がある。
うなドライ真空ポンプを用いて例えば半導体製造装置用
のチャンバを排気する場合には、排気対象の反応ガス中
に固化する成分が含まれており、温度が低いと反応副生
成物がポンプの内部において固形化する場合がある。一
方、ポンプの温度が高くなりすぎると、ポンプに用いら
れているＯリングやシール材の耐熱性に影響が出たり、
ロータとケーシングとの間のクリアランスを適切に維持
できなかったりする。従って、ポンプを適切な温度、例
えば２００℃〜２５０℃に維持する必要がある。
【０００５】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたもので、ポンプ内の温度を適切な温度に
調整することができ、ポンプの性能を最大限に発揮する
ことができるドライ真空ポンプを提供することを目的と
する。
鑑みてなされたもので、ポンプ内の温度を適切な温度に
調整することができ、ポンプの性能を最大限に発揮する
ことができるドライ真空ポンプを提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような従来技術にお
ける問題点を解決するために、本発明の一態様は、ロー
タがケーシング内に配置され、上記ロータの回転により
気体を排気するドライ真空ポンプにおいて、冷却水を流
通させる冷却パイプを上記ケーシング内に設け、冷却水
供給源から上記冷却パイプに供給される冷却水の流量を
調節する流量調整弁を設けたことを特徴とする。
ける問題点を解決するために、本発明の一態様は、ロー
タがケーシング内に配置され、上記ロータの回転により
気体を排気するドライ真空ポンプにおいて、冷却水を流
通させる冷却パイプを上記ケーシング内に設け、冷却水
供給源から上記冷却パイプに供給される冷却水の流量を
調節する流量調整弁を設けたことを特徴とする。
【０００７】また、本発明の他の一態様は、ロータがケ
ーシング内に配置され、上記ロータの回転により気体を
排気するドライ真空ポンプにおいて、冷却水を流通させ
る冷却パイプを上記ケーシング内に複数設け、冷却水供
給源から上記冷却パイプに供給される冷却水の流量を調
節する流量調整弁を上記冷却パイプ毎に設けたことを特
徴とする。
ーシング内に配置され、上記ロータの回転により気体を
排気するドライ真空ポンプにおいて、冷却水を流通させ
る冷却パイプを上記ケーシング内に複数設け、冷却水供
給源から上記冷却パイプに供給される冷却水の流量を調
節する流量調整弁を上記冷却パイプ毎に設けたことを特
徴とする。
【０００８】上記場合において上記ケーシングに設置さ
れた温度センサ又はポンプ吸気側に設置された圧力セン
サ若しくは流量計の測定結果に基づいて流量の調整を行
うことができる。
れた温度センサ又はポンプ吸気側に設置された圧力セン
サ若しくは流量計の測定結果に基づいて流量の調整を行
うことができる。
【０００９】このような構成により、発生した圧縮熱に
応じて冷却を行うことができるので、ポンプ内の温度
を、反応副生成物が生成されず、且つ、シール材等に影
響を与えない適切な温度にすることが可能となる。従っ
て、ポンプ内を適切な温度に維持して、ロータとケーシ
ングとの間のクリアランスを適切なものとし、ポンプの
性能を最大限に発揮することが可能となる。また、ポン
プ内の位置に応じて冷却を行うことができるので、ポン
プ内の温度を均一且つ適切な温度にして、ポンプの性能
を最大限に発揮することが可能となる。
応じて冷却を行うことができるので、ポンプ内の温度
を、反応副生成物が生成されず、且つ、シール材等に影
響を与えない適切な温度にすることが可能となる。従っ
て、ポンプ内を適切な温度に維持して、ロータとケーシ
ングとの間のクリアランスを適切なものとし、ポンプの
性能を最大限に発揮することが可能となる。また、ポン
プ内の位置に応じて冷却を行うことができるので、ポン
プ内の温度を均一且つ適切な温度にして、ポンプの性能
を最大限に発揮することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るドライ真空ポ
ンプの一実施形態について図１及び図２を参照して詳細
に説明する。図１は本発明の一実施形態におけるドライ
真空ポンプを示す縦断面図、図２は図１の側断面図であ
る。なお、図１及び図２の一部は模式的に示されてい
る。
ンプの一実施形態について図１及び図２を参照して詳細
に説明する。図１は本発明の一実施形態におけるドライ
真空ポンプを示す縦断面図、図２は図１の側断面図であ
る。なお、図１及び図２の一部は模式的に示されてい
る。
【００１１】本実施形態におけるドライ真空ポンプはル
ーツ式ドライ真空ポンプであり、図１及び図２に示すよ
うに、ケーシング１内に一対のルーツロータ（図１では
一方のルーツロータのみ示す）２，２が収容されてい
る。各ルーツロータ２は、両端部近傍で軸受３，３によ
って支承されており、２軸ブラシレス直流モータＭによ
って回転駆動されるようになっている。また、各ルーツ
ロータ２の反モータ側の軸端には、互いに噛み合う一対
のタイミングギヤ１１，１１（図１では一方のギヤのみ
示す）が固定されており、突発的な外部要因による一対
のルーツロータ２，２の同期のずれを防ぐようになって
いる。
ーツ式ドライ真空ポンプであり、図１及び図２に示すよ
うに、ケーシング１内に一対のルーツロータ（図１では
一方のルーツロータのみ示す）２，２が収容されてい
る。各ルーツロータ２は、両端部近傍で軸受３，３によ
って支承されており、２軸ブラシレス直流モータＭによ
って回転駆動されるようになっている。また、各ルーツ
ロータ２の反モータ側の軸端には、互いに噛み合う一対
のタイミングギヤ１１，１１（図１では一方のギヤのみ
示す）が固定されており、突発的な外部要因による一対
のルーツロータ２，２の同期のずれを防ぐようになって
いる。
【００１２】直流モータＭを駆動すると、一対のルーツ
ロータ２，２は、ケーシングの内面及びロータ２，２同
士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向に回
転する。一対のルーツロータ２，２の回転につれて、吸
込側のガスはロータ２とケーシング１間に閉じこめられ
て吐出側に移送される。図２に示すように、３葉ロータ
では、１つのルーツロータに３カ所谷部があるため、ロ
ータ１回転あたり６回排気されることになる。このよう
にして、吸込ポート４から導入されたガスが３段のルー
ツロータにより圧縮移送されて吐出ポート（図示せず）
から排出される。
ロータ２，２は、ケーシングの内面及びロータ２，２同
士の間にわずかな隙間を保持して、非接触で逆方向に回
転する。一対のルーツロータ２，２の回転につれて、吸
込側のガスはロータ２とケーシング１間に閉じこめられ
て吐出側に移送される。図２に示すように、３葉ロータ
では、１つのルーツロータに３カ所谷部があるため、ロ
ータ１回転あたり６回排気されることになる。このよう
にして、吸込ポート４から導入されたガスが３段のルー
ツロータにより圧縮移送されて吐出ポート（図示せず）
から排出される。
【００１３】各ルーツロータ２，２を取り囲むケーシン
グ１の壁面には、冷却水を流通させる冷却パイプ５ａ，
５ｂ，５ｃ（図２では図示を省略した）が各段のルーツ
ロータ２，２毎に設けられている。これらの冷却パイプ
５ａ，５ｂ，５ｃには、冷却水供給用の流路６ａ，６
ｂ，６ｃ及び冷却水排出用の流路７ａ，７ｂ，７ｃがそ
れぞれ接続されている。冷却水供給用流路６ａ，６ｂ，
６ｃは冷却水供給源８に接続されており、冷却水供給源
８から冷却水が図示しないポンプによって冷却パイプ５
ａ，５ｂ，５ｃに供給されるようになっている。これに
よって冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃの周囲が冷却される
が、このような冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃはケーシン
グ１との接触面積が大きいため冷却効果が大きい。な
お、これらの冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃは鋳包みによ
りケーシング１内に形成されている。
グ１の壁面には、冷却水を流通させる冷却パイプ５ａ，
５ｂ，５ｃ（図２では図示を省略した）が各段のルーツ
ロータ２，２毎に設けられている。これらの冷却パイプ
５ａ，５ｂ，５ｃには、冷却水供給用の流路６ａ，６
ｂ，６ｃ及び冷却水排出用の流路７ａ，７ｂ，７ｃがそ
れぞれ接続されている。冷却水供給用流路６ａ，６ｂ，
６ｃは冷却水供給源８に接続されており、冷却水供給源
８から冷却水が図示しないポンプによって冷却パイプ５
ａ，５ｂ，５ｃに供給されるようになっている。これに
よって冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃの周囲が冷却される
が、このような冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃはケーシン
グ１との接触面積が大きいため冷却効果が大きい。な
お、これらの冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃは鋳包みによ
りケーシング１内に形成されている。
【００１４】冷却水供給用流路６ａ，６ｂ，６ｃには、
各流路６ａ，６ｂ，６ｃを流れる冷却水の流量を調整す
る流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃが設けられている。ま
た、ポンプ内にガスを導入するための吸込ポート４には
ガス圧力を測定する圧力センサ１０（図２参照）が設置
されている。上記流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃは、この
圧力センサ１０の測定結果に基づいて冷却水の流量を調
整する。
各流路６ａ，６ｂ，６ｃを流れる冷却水の流量を調整す
る流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃが設けられている。ま
た、ポンプ内にガスを導入するための吸込ポート４には
ガス圧力を測定する圧力センサ１０（図２参照）が設置
されている。上記流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃは、この
圧力センサ１０の測定結果に基づいて冷却水の流量を調
整する。
【００１５】ガスの圧縮熱は圧力差及び流量に比例する
ので、ガスの流量が変化すると発生する圧縮熱も変化す
る。従って、ポンプ内の温度を適切な温度に調整するた
めには、ガスの流量に応じてポンプを冷却する必要が生
じる。ポンプに導入されるガスの圧力が分かればガスの
流量を導き出すことができるので、本実施形態では、上
述したように圧力センサ１０によって測定されたガス圧
力に基づいて冷却水の流量を流量調整弁９ａ，９ｂ，９
ｃによって調整し、発生した圧縮熱に応じた冷却を行っ
ている。
ので、ガスの流量が変化すると発生する圧縮熱も変化す
る。従って、ポンプ内の温度を適切な温度に調整するた
めには、ガスの流量に応じてポンプを冷却する必要が生
じる。ポンプに導入されるガスの圧力が分かればガスの
流量を導き出すことができるので、本実施形態では、上
述したように圧力センサ１０によって測定されたガス圧
力に基づいて冷却水の流量を流量調整弁９ａ，９ｂ，９
ｃによって調整し、発生した圧縮熱に応じた冷却を行っ
ている。
【００１６】このように、本発明によれば、発生した圧
縮熱に応じて冷却を行うことができるので、ポンプ内の
温度を、反応副生成物が生成されず、且つ、シール材等
に影響を与えない適切な温度にすることが可能となる。
従って、ポンプ内を適切な温度に維持して、ロータ２と
ケーシング１との間のクリアランスを適切なものとし、
ポンプの性能を最大限に発揮することが可能となる。
縮熱に応じて冷却を行うことができるので、ポンプ内の
温度を、反応副生成物が生成されず、且つ、シール材等
に影響を与えない適切な温度にすることが可能となる。
従って、ポンプ内を適切な温度に維持して、ロータ２と
ケーシング１との間のクリアランスを適切なものとし、
ポンプの性能を最大限に発揮することが可能となる。
【００１７】また、図１に示すような多段ポンプにおい
ては各段２ａ，２ｂ，２ｃにおいて圧力が異なるため、
ポンプ内の位置によって発生する圧縮熱が異なり、下流
側の方が発生熱が大きい。従って、本実施形態では、各
段２ａ，２ｂ，２ｃ毎に冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃを
設けると共に、各冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃに供給さ
れる冷却水をそれぞれの流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃに
よって調整している。
ては各段２ａ，２ｂ，２ｃにおいて圧力が異なるため、
ポンプ内の位置によって発生する圧縮熱が異なり、下流
側の方が発生熱が大きい。従って、本実施形態では、各
段２ａ，２ｂ，２ｃ毎に冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃを
設けると共に、各冷却パイプ５ａ，５ｂ，５ｃに供給さ
れる冷却水をそれぞれの流量調整弁９ａ，９ｂ，９ｃに
よって調整している。
【００１８】このように、本発明によれば、ポンプ内の
位置に応じて冷却を行うことができるので、ポンプ内の
温度を均一且つ適切な温度にして、ポンプの性能を最大
限に発揮することが可能となる。
位置に応じて冷却を行うことができるので、ポンプ内の
温度を均一且つ適切な温度にして、ポンプの性能を最大
限に発揮することが可能となる。
【００１９】なお、圧力センサ１０の代わりに流量計を
用いて該流量計の測定結果に基づいて冷却水の流量を調
整することとしてもよく、あるいは、ケーシング１に温
度センサを取り付けて該温度センサの測定結果に基づい
て冷却水の流量を調整することとしてもよい。この場合
において、温度センサによって測定された温度が低いと
きには冷却水の供給を停止することとすれば、暖機運転
時にポンプが冷却されることもない。
用いて該流量計の測定結果に基づいて冷却水の流量を調
整することとしてもよく、あるいは、ケーシング１に温
度センサを取り付けて該温度センサの測定結果に基づい
て冷却水の流量を調整することとしてもよい。この場合
において、温度センサによって測定された温度が低いと
きには冷却水の供給を停止することとすれば、暖機運転
時にポンプが冷却されることもない。
【００２０】上述の実施形態においては、冷却パイプが
鋳包みによりケーシング１内に形成されている例を説明
したが、ケーシング１に溝を形成して、この溝に冷却パ
イプを嵌め込んで固定してもよい。
鋳包みによりケーシング１内に形成されている例を説明
したが、ケーシング１に溝を形成して、この溝に冷却パ
イプを嵌め込んで固定してもよい。
【００２１】また、上述した冷却パイプを設ける位置は
図示の位置に限られるものではなく、例えば図３に示す
ように、ケーシング１の外周壁１ａに設けることとして
もよい。また、上述の実施形態においては、ルーツ式ド
ライ真空ポンプを例として説明したが、これに限られず
他のドライ真空ポンプに本発明を適用できることは言う
までもない。図４は、スクリュー式ドライ真空ポンプに
本発明を適用した例を示す図である。
図示の位置に限られるものではなく、例えば図３に示す
ように、ケーシング１の外周壁１ａに設けることとして
もよい。また、上述の実施形態においては、ルーツ式ド
ライ真空ポンプを例として説明したが、これに限られず
他のドライ真空ポンプに本発明を適用できることは言う
までもない。図４は、スクリュー式ドライ真空ポンプに
本発明を適用した例を示す図である。
【００２２】図４に示す例では、円筒状のケーシング２
０の内部にシャフト２２が軸受２３，２３を介して支持
されており、このシャフト２２にはねじ溝を有するロー
タ２４が固着されている。このロータ２４は、その外周
とケーシング２０との間に形成されるわずかな隙間を介
して回転可能に構成されている。シャフト２２の一端に
はモータＭが接続されており、このモータＭによってシ
ャフト２２及びロータ２４が回転駆動される。ロータ２
４の回転により吸込口２８から吸い込まれた気体は、ね
じ溝の回転に伴って吐出側に移送され、吐出口３０より
排出される。
０の内部にシャフト２２が軸受２３，２３を介して支持
されており、このシャフト２２にはねじ溝を有するロー
タ２４が固着されている。このロータ２４は、その外周
とケーシング２０との間に形成されるわずかな隙間を介
して回転可能に構成されている。シャフト２２の一端に
はモータＭが接続されており、このモータＭによってシ
ャフト２２及びロータ２４が回転駆動される。ロータ２
４の回転により吸込口２８から吸い込まれた気体は、ね
じ溝の回転に伴って吐出側に移送され、吐出口３０より
排出される。
【００２３】ケーシング２０の壁面には、冷却水を流通
させる冷却パイプ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが各
段毎に設けられており、これらの冷却パイプ３２ａ，３
２ｂ，３２ｃ，３２ｄには、冷却水供給用の流路３４
ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ及び冷却水排出用の流路３
６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄがそれぞれ接続されてい
る。冷却水供給用流路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ
は冷却水供給源３７に接続されており、冷却水供給源３
７から冷却水が図示しないポンプによって冷却パイプ３
２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄに供給される。また、冷
却水供給用流路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄには、
各流路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄを流れる冷却水
の流量を調整する流量調整弁３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，
３８ｄが設けられている。このような構成により、発生
した圧縮熱に応じて冷却を行うことが可能となる。
させる冷却パイプ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが各
段毎に設けられており、これらの冷却パイプ３２ａ，３
２ｂ，３２ｃ，３２ｄには、冷却水供給用の流路３４
ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ及び冷却水排出用の流路３
６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄがそれぞれ接続されてい
る。冷却水供給用流路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ
は冷却水供給源３７に接続されており、冷却水供給源３
７から冷却水が図示しないポンプによって冷却パイプ３
２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄに供給される。また、冷
却水供給用流路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄには、
各流路３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄを流れる冷却水
の流量を調整する流量調整弁３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，
３８ｄが設けられている。このような構成により、発生
した圧縮熱に応じて冷却を行うことが可能となる。
【００２４】これまで本発明の一実施形態について説明
したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技
術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施され
てよいことは言うまでもない。
したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技
術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施され
てよいことは言うまでもない。
【００２５】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、発生
した圧縮熱に応じて冷却を行うことができるので、ポン
プ内の温度を、反応副生成物が生成されず、且つ、シー
ル材等に影響を与えない適切な温度にすることが可能と
なる。また、ポンプ内の位置に応じて冷却を行うことが
できるので、ポンプ内の温度を均一且つ適切な温度にし
て、ポンプの性能を最大限に発揮することが可能とな
る。従って、ポンプ内を適切な温度に維持して、ロータ
とケーシングとの間のクリアランスを適切なものとし、
ポンプの性能を最大限に発揮することが可能となる。
した圧縮熱に応じて冷却を行うことができるので、ポン
プ内の温度を、反応副生成物が生成されず、且つ、シー
ル材等に影響を与えない適切な温度にすることが可能と
なる。また、ポンプ内の位置に応じて冷却を行うことが
できるので、ポンプ内の温度を均一且つ適切な温度にし
て、ポンプの性能を最大限に発揮することが可能とな
る。従って、ポンプ内を適切な温度に維持して、ロータ
とケーシングとの間のクリアランスを適切なものとし、
ポンプの性能を最大限に発揮することが可能となる。
【図１】本発明の一実施形態におけるドライ真空ポンプ
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
【図２】図１の側断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態におけるドライ真空ポン
プを示す縦断面図である。
プを示す縦断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態におけるドライ真空ポン
プを示す縦断面図である。
プを示す縦断面図である。
１，２０ ケーシング
２，２４ ロータ
３，２３ 軸受
４ 吸込ポート
５ａ〜５ｃ，３２ａ〜３２ｄ 冷却パイプ
６ａ〜６ｃ，３４ａ〜３４ｄ 冷却水供給用流路
７ａ〜７ｃ，３６ａ〜３６ｄ 冷却水排出用流路
８，３７ 冷却水供給源
９ａ〜９ｃ，３８ａ〜３８ｄ 流量調整弁
１０ 圧力センサ
Claims (3)
- 【請求項１】 ロータがケーシング内に配置され、前記
ロータの回転により気体を排気するドライ真空ポンプに
おいて、 冷却水を流通させる冷却パイプを前記ケーシング内に設
け、 冷却水供給源から前記冷却パイプに供給される冷却水の
流量を調節する流量調整弁を設けたことを特徴とするド
ライ真空ポンプ。 - 【請求項２】 ロータがケーシング内に配置され、前記
ロータの回転により気体を排気するドライ真空ポンプに
おいて、 冷却水を流通させる冷却パイプを前記ケーシング内に複
数設け、 冷却水供給源から前記冷却パイプに供給される冷却水の
流量を調節する流量調整弁を前記冷却パイプ毎に設けた
ことを特徴とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記流量調整弁は、前記ケーシングに設
置された温度センサ又はポンプ吸気側に設置された圧力
センサ若しくは流量計の測定結果に基づいて流量の調整
を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のドライ
真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001276792A JP2003083273A (ja) | 2001-09-12 | 2001-09-12 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001276792A JP2003083273A (ja) | 2001-09-12 | 2001-09-12 | ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003083273A true JP2003083273A (ja) | 2003-03-19 |
Family
ID=19101442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001276792A Pending JP2003083273A (ja) | 2001-09-12 | 2001-09-12 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003083273A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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