CN111836968B - 真空泵 - Google Patents

Abstract

提供能够使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。在具有从外部吸入气体的吸气口（11b）和将被吸入的气体向外部排出的排气口（11a）的壳（11）内，设置有涡轮分子泵机构（PA）、螺纹槽泵机构（PB）、第1温度调整机构（39）、第2温度调整机构（40），前述涡轮分子泵机构（PA）具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼（23）及固定翼（31），前述螺纹槽泵机构（PB）被与涡轮分子泵机构（PA）的排气口（18a）侧连续设置，前述第1温度调整机构（39）将涡轮分子泵机构（PA）的温度冷却调整，前述第2温度调整机构（40）将涡轮分子泵机构（PA）加热调整。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵，特别地，涉及用于半导体制造装置、分析装置等的真空泵。

背景技术

制造存储器、集成电路等半导体装置时的绝缘膜、金属膜及半导体膜等的进行成膜的处理、进行蚀刻的处理为了避免由于空气中的灰尘等的影响，在高真空状态的处理腔内进行。此外，处理中为了将被向处理腔内导入的气体(gas)排出而使处理腔内呈既定的高真空度，例如使用将涡轮分子泵与螺纹槽泵组合的复合泵等真空泵。

将涡轮分子泵与螺纹槽泵组合的真空泵在具有将处理腔内产生的反应产物(气体)吸入的吸气口、将被吸入的反应产物向外部排出的排气口的壳内，具备具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼的排气功能部、与前述排气功能部的排气侧连续设置的螺纹槽机构、将前述固定翼彼此的位置间隔固定的间隔件。

容纳于壳的内部的排气功能部列举如下排气功能部：将固定翼安装于定子，且使各级的旋转翼在固定翼间分别与旋转翼面对地安装于转子，使转子与旋转翼一同旋转，由此在旋转翼与固定翼之间形成气体被移送的气体移送部。并且，借助电动马达等驱动机构使转子定速旋转，将气体移送部内的反应产物向排气侧移送，由此将外部的气体抽吸。

作为反应产物一般是氯系、硫化氟系的气体。这些气体真空度越低、压力越高则升华温度越高，在真空泵内部气体容易固化而堆积。若反应产物在真空泵内部堆积，则有使反应产物的流路变窄而真空泵的压缩性能、排气性能下降的可能。另一方面，对于旋转翼、固定翼使用铝、不锈钢材料等的气体移送部中，若温度过高，则有旋转翼、固定翼的强度下降而运转中发生断裂的可能。此外，使设置于真空泵内的电装品、转子旋转的电动马达在温度变高时有不发挥所希望的性能的可能等。因此，真空泵需要温度控制来维持既定的温度。

因此，作为抑制反应产物堆积的真空泵，也已知在定子的周围设置冷却装置或加热装置来控制气体流路内的温度，能够在气体流路内的气体不会固化的情况下移送的构造(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平10-205486号公报。

发明内容

如上所述，真空泵内的被吸入的气体有真空度越增加、压力越变高则升华温度越变高而真空泵内部气体越容易固化而堆积的特性。另一方面，由旋转翼、固定翼等构成的气体移送部有若温度过高则强度下降的问题、对真空泵内的电装品、电动马达的性能造成不良影响的情况。因此，优选地进行温度控制，使得能够在不对真空泵内的电装品、电动马达的性能造成不良影响的情况下、且在不使气体移送部的强度下降的情况下，使真空泵正常运转的同时抑制真空泵内部的气体的固化。

然而专利文献1所记载的那样的真空泵中，虽然进行温度控制，但未采用能够充分满足的温度控制对策，需要进一步的改良。

因此，产生为了使泵正常运转的同时进一步抑制气体的固化所要解决的技术问题，本发明的目的在于解决该问题。

发明内容

本发明是为了实现上述目的而被提出的，技术方案1所述的发明提供一种真空泵，前述真空泵在具有从外部吸入气体的吸气口和将被吸入的前述气体向外部排出排气口的壳内具备涡轮分子泵机构、螺纹槽泵机构、轴承及马达部，前述涡轮分子泵机构具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼，前述螺纹槽泵机构被与前述涡轮分子泵机构的排气侧连续设置，前述轴承将前述涡轮分子泵机构的旋转部及前述螺纹槽泵机构的旋转部能够旋转地保持，前述马达部使它们旋转驱动，具备第1温度调整机构和第2温度调整机构，前述第1温度调整机构将前述涡轮分子泵机构冷却调整，前述第2温度调整机构将前述螺纹槽泵机构加热调整。

根据该方案，由第1温度调整机构进行涡轮分子泵机构的冷却调整，由将螺纹槽泵机构加热调整的第2温度调整机构进行，能够将涡轮分子泵机构的温度调整与螺纹槽泵机构的温度控制分别地控制。因此，穿过气体移送部的气体的温度也能够在壳内针对各部分精细地控制。即，能够在不对设置于真空泵内的电装品、使转子旋转的电动马达造成不利影响的范围、及不对转子、定子的强度下降造成影响的范围，将温度精细地控制。结果，能够将气体的固化高效率地抑制的同时实现泵的正常运转。

技术方案2所述的发明提供一种真空泵，在技术方案1所述的结构中，在前述涡轮分子泵机构的定子与前述螺纹槽泵机构的定子之间、前述螺纹槽泵机构的定子与前述马达部的定子之间设置有隔热机构。

根据该方案，在涡轮分子泵机构的定子与前述螺纹槽泵机构的定子之间、螺纹槽泵机构的定子与马达部的定子之间分别设置有隔热机构，所以能够在不对马达部造成影响的情况下，将涡轮分子泵机构的温度调整与螺纹槽泵机构的温度控制分别控制。

技术方案3所述的发明提供一种真空泵，在技术方案1或2所述的结构中，前述轴承及马达部的定子始终被冷却。

根据该方案，通过始终将轴承及马达部冷却，能够在不对轴承及马达部造成影响的情况下，将涡轮分子泵机构的温度调整与螺纹槽泵机构的温度控制分别地控制。

技术方案4所述的发明提供一种真空泵，在技术方案1、2或3所述的结构中，其特征在于，前述涡轮分子泵机构的定子具备温度传感器与冷却构造，并且前述螺纹槽泵机构的定子具备温度传感器与加热构造，前述第1温度调整机构基于由前述涡轮分子泵机构的前述温度传感器感测的温度进行前述涡轮分子泵机构的前述冷却构造的温度调整，第2温度调整机构基于由前述螺纹槽泵机构的前述温度传感器感测的温度进行前述螺纹槽泵机构的前述加热构造的温度调整。

根据该方案，涡轮分子泵机构的定子的温度调整为，将涡轮分子泵机构的冷却构造由第1温度调整机构通过基于涡轮分子泵机构的温度传感器感测的温度进行控制从而被调整，螺纹槽泵机构的定子的温度调整为，将螺纹槽泵机构的加热构造由第2温度调整机构基于螺纹槽泵机构的温度传感器感测的温度控制从而被调整。即，能够将涡轮分子泵机构的温度调整与螺纹槽泵机构的温度控制分别地控制。

技术方案5所述的发明提供一种真空泵，在技术方案1、2、3或4所述的结构中，前述涡轮分子泵机被分为上级组气体移送部和下级组气体移送部，前述上级组气体移送部将被多级排列的前述旋转翼及前述固定翼配置于前述吸气口侧，被前述第1温度调整机构冷却，前述下级组气体移送部被配置于前述螺纹槽泵机构侧，被前述第2温度调整机构加热，前述下级组气体移送部被第2温度调整机构经由前述螺纹槽泵机构调整温度。

根据该方案，借助第2温度调整机构，能够将涡轮分子泵机构的下级组气体移送部的温度调整与螺纹槽泵机构的温度调整一体化地控制。

技术方案6所述的发明提供一种真空泵，在技术方案5所述的结构中，在前述上级组气体移送部与前述下级组气体移送部之间设置有隔热机构。

根据该方案，在上级组气体移送部与下级组气体移送部之间设置隔热机构，切断两气体移送部间的热干涉。由此，能够将上级组气体移送部的温度控制与下级组气体移送部的温度控制分别地控制。因此，穿过气体移送部的气体的温度也能够针对每个气体移送部地精细地控制。即，在不对设置于真空泵内的电装品、使转子旋转的电动马达造成不利影响的范围内、及不对转子、定子的强度下降造成影响的范围内，能够将温度精细地控制。结果，能够将气体的固化高效率地抑制的同时实现泵的正常运转。

技术方案7所述的发明提供一种真空泵，在技术方案5或6所述的结构中，前述隔热机构与前述下级组气体移送部紧贴，且被配置成在前述上级组气体移送部之间设置间隙。

根据该方案，在隔热机构与下级组气体移送部之间设置有隔热用的既定的间隙，由此，基于隔热机构的上级组气体移送部与下级组气体移送部之间的隔热效果更加增加，能够更简单地进行上级组气体移送部所必要的适当温度的控制与下级组气体移送部所必要的适当温度的控制。

技术方案8所述的发明提供一种真空泵，在技术方案5、6或7所述的结构中，前述涡轮分子泵机构在前述上级组气体移送部与前述下级组气体移送部之间设置有在轴向上离开既定量的隔热用的间隙。

根据该方案，在上级组气体移送部与下级组气体移送部之间，设置有沿轴向离开既定量的隔热用的间隙，由此，进一步实现上级组气体移送部与下级组气体移送部之间的隔热效果，能够将上级组气体移送部所必要的适当温度的控制与下级组气体移送部所必要的适当温度的控制更简单地进行。

技术方案9所述的发明提供一种真空泵，在技术方案5、6、7或8所述的结构中，前述隔热机构是不锈钢材料的。

根据该方案，使用热传导率低、即难以传热的不锈钢材料，进行上级组气体移送部与下级组气体移送部之间的隔热，所以容易得到所希望的隔热效果。

技术方案10所述的发明提供一种真空泵，在技术方案5、6、7、8或9所述的结构中，前述第1温度调整机构基于感测前述上级组气体移送部的温度的第1温度传感器感测的温度调整前述上级组气体移送部的温度，前述第2温度调整机构基于感测前述螺纹槽泵机构侧的温度的第2温度传感器感测的温度调整前述螺纹槽泵机构侧的温度。

根据该方案，基于感测上级组气体移送部的温度的第1温度传感器所感测的温度调整上级组气体移送部侧的温度，基于感测前述螺纹槽泵机构的温度的第2温度传感器所感测的温度经由螺纹槽泵机构调整下级组气体移送部侧的温度，能够将涡轮分子泵机构侧的适当的温度调整与螺纹槽泵机构侧的适当的温度调整容易地进行。

技术方案11所述的发明提供一种真空泵，在技术方案1、2、3、4、5、6、7、8、9或10所述的结构中，前述轴承与前述马达部的轴承部为磁轴承。

根据该方案，能够将轴承与马达部的轴承部构成为磁轴承而成的真空马达的涡轮分子泵机构的温度调整与螺纹槽泵机构的温度控制分别地控制。

技术方案12所述的发明提供一种真空泵，在技术方案1、2、3、4、5、6、7、8、9、10或11所述的结构中，前述第2温度调整机构参照基于前述气体的温度与压力的关系的升华曲线控制前述温度。

根据该方案，将处理的气体的温度参照基于处理的气体的温度与压力的关系的升华曲线地控制，能够将气体的反应产物的气化状态容易地维持。

发明效果

根据本发明，能够在不对设置于真空泵内的电装品、使转子旋转的电动马达的性能造成不良影响的范围、及不对转子、定子的强度下降造成影响的范围将温度精细地控制，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。

附图说明

图1是表示本发明的一实施例的真空泵的剖视图。

图2是图1所示的真空泵的局部放大剖视图。

图3是表示反应产物的温度与压力的关系的升华温度特性图。

图4是图1所示的真空泵的结构框图。

图5是说明本发明的一变形例的真空泵的示意图。

具体实施方式

本发明为了实现使泵正常运转的同时抑制气体的固化的目的，通过如下真空泵来实现：在具有从外部吸入气体的吸气口和将被吸入的前述气体向外部排出排气口的壳内具备涡轮分子泵机构、螺纹槽泵机构、轴承及马达部，前述涡轮分子泵机构具有沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼，前述螺纹槽泵机构被连续设置于前述涡轮分子泵机构的排气侧，前述轴承将前述涡轮分子泵机构的旋转部及前述螺纹槽泵机构的旋转部能够旋转地保持，前述马达部使它们旋转驱动，前述真空泵具备第1温度调整机构和第2温度调整机构，前述第1温度调整机构将前述涡轮分子泵机构冷却调整，前述第2温度调整机构将前述螺纹槽泵机构加热调整。

以下，基于附图详细说明用于实施本发明的方式。另外，以下的说明中，上下、左右等表示方向的表述并非绝对的，应解释成，与描述本发明的真空泵的各部分的姿势的情况相适合，但该姿势变化的情况下能够与姿势的变化对应地改变。

实施例

图1是作为本发明的一实施例表示的真空泵10的纵剖视图，图2是图1所示的真空泵10的局部放大剖视图。图1及图2中，真空泵10为，由容纳于大致圆筒状的壳11内的作为排气功能部12的、涡轮分子泵机构PA与螺纹槽泵机构PB构成的复合泵。

真空泵10具有壳11、具有被能够旋转地支承于壳11内的转子轴14的转子15、使转子轴14旋转的电动马达16、设置有容纳转子轴14的一部分及电动马达16的定子柱18B的基部18等。

壳11形成为有底圆筒状。壳11具有涡轮分子泵机构PA的定子的功能，具有管状部11A与水冷间隔件11B。此外，在水冷间隔件11B的内侧下部配设有圆管状的加热器间隔件11C。水冷间隔件11B被与管状部11A用螺栓20连结固定，与壳11一同形成真空泵外壳。并且，在水冷间隔件11B的下部侧方设置有排气口11a，在壳11的上部中央设置有吸气口11b。

壳11在其间夹有隔热件42地将水冷间隔件11B固定于基部18的基部主体18A上，加热器间隔件11C相同地在其间夹有隔热件42地固定于基部18的基部主体18A。因此，水冷间隔件11B及加热器间隔件11C经由隔热件42被与基部18分别隔热。此外，在水冷间隔件11B与加热器间隔件11C之间设置隔热用的间隙S3，水冷间隔件11B与加热器间隔件11C之间也被间隙S3隔热。另外，水冷间隔件11B与加热器间隔件11C之间的隔热也可以在水冷间隔件11B与加热器间隔件11C之间配置隔热件来隔热。

在水冷间隔件11B埋设有水冷管22与第1温度传感器37。冷却水被向水冷管22内通水，由此调整水冷间隔件11B的温度。该水冷间隔件11B的温度的变化被作为水冷阀温度传感器的第1温度传感器37感测。

第1温度传感器37与第1温度调整机构39连接。第1温度调整机构39与上述未图示的控制单元连接，进行在水冷管22内流动的冷却水的阀(无图示)的开闭，调整冷却水的流量来控制水冷间隔件11B的温度，水冷间隔件11B被维持成既定的温度(例如50℃~100℃)。

基部18具备加热器间隔件11C与水冷间隔件11B被经由隔热件42地安装的基部主体18A、从基部主体18A的中央向上方突出地设置的作为电动马达16的定子的定子柱18B。在基部主体18A埋设水冷管17，水冷管17构成为借助在内部流动的冷却水将基部主体18A及后述的磁轴承24、触底轴承27、电动马达16始终冷却。另外，本实施例中，不进行基于水冷管17的温度控制，冷却水始终流动，保持25~70℃的温度。

管状部11A经由凸缘11c安装于未图示的腔等真空容器。吸气口11b以与真空容器连通的方式连接，排气口11a以与未图示的辅助泵连通的方式连接。

转子15具备转子轴14、固定于转子轴14的上部而被相对于转子轴14的轴心同心圆状地并列设置的旋转翼23。

转子轴14被磁轴承24非接触支承。磁轴承24具备径向电磁铁25、轴向电磁铁26。径向电磁铁25及轴向电磁铁26与未图示的控制单元连接。

控制单元基于径向方向变位传感器25a及轴向方向变位传感器26a的检测值，控制径向电磁铁25、轴向电磁铁26的励磁电流，由此以转子轴14在既定的位置悬浮的状态下被支承。

转子轴14的上部及下部被向触底轴承27内插通。转子轴14不能控制的情况下，高速旋转的转子轴14与触底轴承27接触而防止真空泵10的损伤。

旋转翼23在将转子轴14的上部向凸台孔28插通的状态下，将螺栓29向转子凸缘30插通并且与转子凸缘30螺纹接合，由此被与转子轴14一体地安装。以下，将转子轴14的轴线方向称作“转子轴向A”，将转子轴14的径向称作“转子径向R”。

电动马达16由安装于转子轴14的外周的旋转件16A、以包围旋转件16A的方式配置的固定件16B构成。固定件16B与上述未图示的控制单元连接，由控制单元控制转子轴14的旋转。

接着，对配置于真空泵10的大致上半部分的作为排气功能部12的涡轮分子泵机构PA进行说明。

涡轮分子泵机构PA由配置于吸气口11b侧的上级组气体移送部PA1、在螺纹槽泵机构PB侧与螺纹槽泵机构PB连续设置地配置的下级组气体移送部PA2构成。上级组气体移送部PA1与下级组气体移送部PA2分别由转子15的旋转翼23、在该旋转翼23之间隔开既定的间隙地配置的固定翼31构成。在旋转翼23与固定翼31被沿转子轴向A交替地且多级地排列的本实施例中，上级组气体移送部PA1分别排列成旋转翼23为7级而固定翼31为6级。另一方面，下级组气体移送部PA2分别排列成旋转翼23为4级而固定翼31为3级。此外，在上级组气体移送部PA1的最终级的旋转翼23与下级组气体移送部PA2的起始级的旋转翼23之间，用于隔热而设置有既定的间隙S1。

旋转翼23由以既定的角度倾斜的板构成，与转子15的上部外周面一体地形成。此外，旋转翼23绕转子15的轴线放射状地设置多个。

固定翼31由向与旋转翼23相反的方向倾斜的板构成，被在管状部11A的内壁面层叠地设置，被以借助间隔件41在转子轴向A上将固定翼31彼此的位置间隔固定的方式夹持，上级组气体移送部PA1的固定翼31被固定于水冷间隔件11B，下级组气体移送部PA2的固定翼31被与圆环状的隔热间隔件32一同固定于加热器间隔件11C的上端部。

另外，隔热间隔件32为将加热器间隔件11C与水冷间隔件11B之间隔热的隔热机构。该隔热间隔件32用热传导率低、即难以传热的材料、例如铝材料、不锈钢材料(本实施例中为不锈钢材料)形成。此外，隔热间隔件32被与下级组气体移送部PA2紧贴地配置，并且与和上级组气体移送部PA1连续设置的水冷间隔件11B的内周面之间分离。并且，与隔热间隔件32的内周面之间分离而在水冷间隔件11B与隔热间隔件32之间，以穿过形成于上级组气体移送部PA1的最终级的旋转翼23与下级组气体移送部PA2的起始级的旋转翼23之间的隔热用的间隙S1内的方式，同样地形成有隔热用的间隙S2。即，上级组气体移送部PA1与下级组气体移送部PA2之间，分别设置隔热间隔件32、隔热用的间隙S1、S2，由此，使上级组气体移送部PA1与下级组气体移送部PA2之间分别独立化，各移送部PA1、PA2的温度不会互相影响。

旋转翼23与固定翼31之间的间隙设定成从转子轴向A的上方向下方逐渐变窄。此外，旋转翼23及固定翼31的长度设定成从转子轴向A的上方向下方逐渐变短。

如上所述的涡轮分子泵机构PA通过旋转翼23的旋转将被从吸气口11b吸入的气体从转子轴向A的上方向下方(螺纹槽泵机构PB侧)移送。

接着，对配置于真空泵10的大致下半部分的螺纹槽泵机构PB进行说明。

螺纹槽泵机构PB由设置于转子15的下部而沿转子轴向A延伸的转子圆筒部33、包围转子圆筒部33的外周面33a地配置的作为螺纹槽泵机构PB的定子的大致圆筒状的上述加热器间隔件11C构成。

在加热器间隔件11C的内周面18b刻设有螺纹槽部35。此外，在加热器间隔件11C，设置有作为加热机构的筒式加热器36、作为检测加热器间隔件11C内的温度的加热器温度传感器的第2温度传感器38。

筒式加热器36容纳于加热器间隔件11C的加热器容纳部43内，被通电则发热，借助其发热来调整加热器间隔件11C的温度。该加热器间隔件11C的温度的变化被第2温度传感器38感测。

筒式加热器36及第2温度传感器38与第2温度调整机构40连接。筒式加热器36与第2温度调整机构40连接。第2温度调整机构40与上述未图示的控制单元连接，控制向筒式加热器36的电力供给，加热器空间被维持既定的温度(例如100℃~150℃)。

接着，对这样地构成的真空泵10的动作进行说明。真空泵10如上所述，设置有吸气口11b的壳11的凸缘11c被安装于未图示的腔等真空容器。该状态下，若真空泵10的电动马达16被驱动，则旋转翼23与转子15一同高速旋转。由此，来自吸气口11b的气体流入真空泵10内，该气体在涡轮分子泵机构PA的上级组气体移送部PA1、下级组气体移送部PA2及螺纹槽泵机构PB的螺纹槽部35内被按顺序移送，被从壳11的排气口11a排出。即，真空容器内被抽真空。

这样，被从真空泵10的吸气口11b抽吸气体而使其在壳11内移送从而从排气口11a排出的真空泵10中，随着被从吸气口11b向排气口11a移送，气体逐渐被压缩而压力被提高。

这里若观察气体的反应产物的温度与压力的关系，则一般有以如图3所示那样的升华曲线f描绘的特性。即，图2中横轴为温度(℃)，纵轴为压力(Torr)。升华曲线f的下侧表示气体状态，曲线f的上侧表示液体或固体状态。另外，升华曲线f也根据气体的种类改变。

从图3可知，同一温度的话，压力越高则气体分子越容易液化或固化。换言之，气体分子容易在真空泵10内堆积。即，被吸入真空泵10内的气体在吸气口11b侧(上级组气体移送部PA1侧)压力低所以即使温度较低气体分子也容易呈气体状态，但排气口11a侧(下级组气体移送部PA2、螺纹槽泵机构PB侧)压力高所以不为高温的话难以变为气体状态。

此外，若考虑旋转翼23与固定翼31的温度与强度的关系，则一般涡轮分子泵机构PA中若变得温度过高，则有旋转翼23、固定翼31的强度下降而运转中发生断裂的可能。进而，若考虑真空泵10内的电装品、电动马达与温度的关系，则一般电装品、电动马达中若变得温度过高则有发生性能下降的可能。

因此，该实施例的真空泵中，上级组气体移送部PA1的最终级的旋转翼23与下级组气体移送部PA2的起始级的旋转翼23之间设置作为隔热机构的隔热间隔件32，使其以被以50~100℃进行温度调整的中温部即上级组气体移送部PA1、被以100~150℃进行温度调整的高温部即下级组气体移送部PA2之间的温度不会互相影响的发生分别独立化。此外，上级组气体移送部PA1的温度控制与下级组气体移送部PA2的温度控制为，作为中温部的上级组气体移送部PA1由第1温度调整机构39控制，作为高温部的下级组气体移送部PA2及螺纹槽泵机构PB由第2温度调整机构40控制。进而，基于第1温度调整机构39与第2温度调整机构40的控制例如将图3的升华曲线f作为图表，各部分的温度被分别调整成升华曲线f的下侧的温度。冷却水在水冷管17流动，由此始终被保持为25~70℃的将磁轴承24、触底轴承27、电动马达16冷却的低温部即基部主体18A等的温度调整不被特别地进行。另外，在中温部、高温部及水冷管17流动的冷却水的温度不限于上述值。

这样，本实施例的真空泵10中，将涡轮分子泵机构PA的冷却调整由第1温度调整机构39进行，将螺纹槽泵机构PB的加热调整由第2温度调整机构40进行，将涡轮分子泵机构PA的温度调整与螺纹槽泵机构PB的温度控制分别地控制。因此，穿过气体移送部PA1、PA2的气体的温度也能在壳11内针对各部分精细地控制。即，在不对设置于真空泵10内的电装品、使转子旋转的电动马达16造成不良影响的范围、及不对转子15、定子的强度下降造成影响的范围内，能够将温度精细地控制。结果，能够在高效率地抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。

此外，如图4示意地所示，在中温部C的涡轮分子泵机构PA的水冷间隔件(定子)11B与高温部H的螺纹槽泵机构PB的加热器间隔件(定子)11C之间、高温部H的螺纹槽泵机构PB的加热器间隔件(定子)11C与低温部L的电动马达16的定子柱(定子)18B之间分别设置有隔热机构D(隔热间隔件32、隔热件42、间隙S1、S2、S3)，所以能够在互相不造成不良影响的情况下将涡轮分子泵机构PA的温度调整与螺纹槽泵机构PB的温度控制分别控制。

此外，磁轴承24、触底轴承27及马达部的定子(定子柱)构造成，在基部主体18A埋设水冷管17，借助在水冷管17的内部流动的冷却水始终将基部主体18A、磁轴承24、触底轴承27、电动马达16冷却，所以能够在不对磁轴承24、触底轴承27及电动马达16造成影响的情况下，将涡轮分子泵机构PA的温度调整与螺纹槽泵机构PB的温度控制分别控制。

此外，涡轮分子泵机构PA的定子(加热器间隔件)的温度调整为，将涡轮分子泵机构PA的冷却构造由第1温度调整机构39基于涡轮分子泵机构PA的第1温度传感器37感测的温度精细控制来调整，螺纹槽泵机构PB的定子的温度调整为，将螺纹槽泵机构PB的加热构造(筒式加热器36)由第2温度调整机构40基于螺纹槽泵机构PB的第2温度传感器38感测的温度控制，所以能够将涡轮分子泵机构PA的温度调整与螺纹槽泵机构PB的温度控制分别控制。

另外，上述实施例中，表示了不将涡轮分子泵机构PA的压缩级(下级组气体移送部PA2)与螺纹槽泵机构PB加温时气体固化(或液化)的情况下，在上级组气体移送部PA1与下级组气体移送部PA2之间设置有隔热间隔件32的结构。但是，若仅将螺纹槽泵机构PB加温则气体就不固化(或液化)的情况下，也能够将涡轮分子泵机构PA不分成上级组气体移送部PA1与下级组气体移送部PA2地实施。

图5表示了不将涡轮分子泵机构PA分成上级组气体移送部PA1与下级组气体移送部PA2的情况的一例。图5中，在中温部C即水冷间隔件11B连结有涡轮分子泵机构PA的旋转翼23。并且，构成为，在水冷间隔件11B与高温部H即加热器间隔件11C之间、低温部L即基部18与高温部H即加热器间隔件11C之间、基部18与水冷间隔件11B之间分别设置隔热机构D，中温部C、高温部H、低温部L互相不会造成热的影响。另外，图5中，标注有与图1、图2、图4所标注的附图标记相同的附图标记的部件是与图1、图2、图4所示的真空泵10对应的部件。

图5所示的真空泵10中，作为低温部L的基部主体18A不具有温度调整机构，始终被冷却，电动马达16及轴承被以既定的温度以下(例如25~70℃)保持。在作为中温部C的水冷间隔件11B的水冷管22流动的冷却水基于由第1温度传感器37感测的温度被第1温度调整机构39调整。作为高温部H的加热器间隔件34的筒式加热器(加热机构)36基于由第2温度传感器38感测的温度被第2温度调整机构40调整。并且，该构造中，基于第1温度调整机构39与第2温度调整机构40的温度控制也将图3的升华曲线f作为图表来以各部分的温度分别为升华曲线f的下侧的温度的方式调整。

另外，本发明只要不脱离本发明的精神则能够进行各种改变，并且本发明显然涉及该改变。

附图标记说明

10真空泵

11壳

11A管状部

11B水冷间隔件

11C加热器间隔件

11a排气口

11b吸气口

11c凸缘

12排气功能部

14转子轴

15转子

16电动马达

16A旋转件

16B固定件

17水冷管

18基部

18A基部主体

18B定子柱

19圆筒部

20螺栓

21里盖

22水冷管

23旋转翼

24磁轴承

25径向电磁铁

26轴向电磁铁

27触底轴承

28凸台孔

29螺栓

30转子凸缘

31固定翼

32隔热间隔件(隔热机构)

33转子圆筒部

33a外周面

34加热器间隔件

34a内周面

35螺纹槽部

36筒式加热器(加热机构)

37第1温度传感器(水冷阀温度传感器)

38第2温度传感器(加热器温度传感器)

39第1温度调整机构

40第2温度调整机构

41间隔件

42绝热体

43加热器容纳部

PA涡轮分子泵机构

PA1上级组气体移送部

PA2下级组气体移送部

PB螺纹槽泵机构

S1隔热用的间隙

S2隔热用的间隙

S3隔热用的间隙

A转子轴向

C中温部

D隔热机构

H高温部

L低温部

R转子径向

f升华曲线。

Claims (10)

1.一种真空泵，前述真空泵在具有从外部吸入气体的吸气口和将被吸入的前述气体向外部排出排气口的壳内具备涡轮分子泵机构、螺纹槽泵机构、轴承及马达部，前述涡轮分子泵机构具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼，前述螺纹槽泵机构被与前述涡轮分子泵机构的排气侧连续设置，前述轴承将前述涡轮分子泵机构的旋转部及前述螺纹槽泵机构的旋转部能够旋转地保持，前述马达部使它们旋转驱动，其特征在于，

具备第1温度调整机构和第2温度调整机构，

前述第1温度调整机构将前述涡轮分子泵机构冷却调整，

前述第2温度调整机构将前述螺纹槽泵机构加热调整，

前述涡轮分子泵机被分为上级组气体移送部和下级组气体移送部，

前述上级组气体移送部将被多级排列的前述旋转翼及前述固定翼配置于前述吸气口侧，被前述第1温度调整机构冷却，

前述下级组气体移送部被配置于前述螺纹槽泵机构侧，被前述第2温度调整机构加热，

在前述第1温度调整机构与前述下级组气体移送部之间设置有隔热机构。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在前述螺纹槽泵机构的定子与前述马达部的定子之间设置有 第2隔热机构。

3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述轴承及前述马达部的定子始终被冷却。

4.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述涡轮分子泵机构的定子具备温度传感器与冷却构造，并且前述螺纹槽泵机构的定子具备温度传感器与加热构造，前述第1温度调整机构基于由前述涡轮分子泵机构的前述温度传感器感测的温度进行前述涡轮分子泵机构的前述冷却构造的温度调整，第2温度调整机构基于由前述螺纹槽泵机构的前述温度传感器感测的温度进行前述螺纹槽泵机构的前述加热构造的温度调整。

5.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述隔热机构与前述下级组气体移送部紧贴，且被配置成在前述隔热机构与前述上级组气体移送部之间设置间隙。

6.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述涡轮分子泵机构在前述上级组气体移送部与前述下级组气体移送部之间设置有在轴向上离开既定量的隔热用的间隙。

7.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述隔热机构是不锈钢材料的。

8.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述第1温度调整机构基于感测前述上级组气体移送部的温度的第1温度传感器感测的温度调整前述上级组气体移送部的温度，

前述第2温度调整机构基于感测前述螺纹槽泵机构侧的温度的第2温度传感器感测的温度调整前述螺纹槽泵机构侧的温度。

9.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述轴承与前述马达部的轴承部为磁轴承。

10.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

前述第2温度调整机构参照基于前述气体的温度与压力的关系的升华曲线控制前述温度。

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