KR20190119846A - Vehicle set up device and method of setting up vehicle using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 낮은 높이에서 천장 반송 장치에 사용되는 비히클을 설정하기 위한 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vehicle setting apparatus and a vehicle setting method using the same, and more particularly, to a vehicle setting apparatus and a vehicle setting method using the same for setting the vehicle used in the ceiling conveying apparatus at a low height.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물이 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being stored in a cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.
상기 카세트는 천장 반송 장치에 의해 이송된다. 상기 천장 반송 장치는 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The cassette is conveyed by the ceiling conveying apparatus. The ceiling conveying apparatus includes a travel rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line, and a vehicle that grips the cassette and travels along the travel rail.
상기 비히클을 상기 주행 레일에 장착하는 경우, 상기 비히클에 대한 다양한 설정이 필요하다. 예를 들면, 상기 비히클의 장애물 감지 센서 및 버퍼 감지 센서의 위치 설정이 필요하다. When mounting the vehicle to the travel rails, various settings for the vehicle are required. For example, positioning of the obstacle detection sensor and the buffer detection sensor of the vehicle is required.
상기 비히클의 설정 작업은 상기 주행 레일이 구비된 천장에서 이루어지므로, 상기 비히클의 설정 작업에 적어도 3명의 작업자가 필요하고, 상기 비히클의 설정 작업시 사고 발생 가능성이 높다.Since the setting work of the vehicle is performed on the ceiling provided with the travel rails, at least three workers are required to set the vehicle, and an accident may occur during the setting work of the vehicle.
본 발명은 비히클 설정 작업의 효율성과 안전성을 높일 수 있는 비히클 설정 장치를 제공한다.The present invention provides a vehicle setting device that can increase the efficiency and safety of the vehicle setting operation.
본 발명은 상기 비히클 설정 장치를 이용한 비히클 설정 방법을 제공한다.The present invention provides a vehicle setting method using the vehicle setting device.
본 발명에 따른 비히클 설정 장치는, 지면에 구비되는 프레임과, 상기 프레임에 고정되고, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행을 위해 상기 비히클의 주행 휠들과 접촉하며, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들을 갖는 주행 레일과, 상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클의 조향 휠들과 선택적으로 접촉하는 조향 레일 및 상기 주행 휠들이 상기 홈들에 위치할 때 상기 주행 휠들과 상기 홈들 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 게이지를 포함할 수 있다. A vehicle setting apparatus according to the present invention is in contact with the driving wheels of the vehicle for driving the frame provided on the ground, and the vehicle fixed to the frame, the wafer carrying the wafer is loaded, the horizontal state of the driving wheels A travel rail having grooves of a constant depth for confirming that, a steering rail fixed to the frame and selectively contacting the steering wheels of the vehicle to adjust the driving direction of the vehicle, and the travel wheels positioned in the grooves The gauge may include a gauge inserted between the driving wheels and the grooves to measure the height of the driving wheels.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 주행 휠들의 높이를 교대로 측정하기 위해 상기 홈들은 상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the grooves may be arranged to be staggered with each other on the travel rail to alternately measure the height of the travel wheels.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 장치는, 상기 비히클의 주행 방향 전방에 위치하도록 상기 프레임 또는 상기 주행 레일에 고정되며, 상기 비히클에 구비된 장애물 감지 센서의 위치를 조절하기 위해 개구를 갖는 개구 부재를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting device is fixed to the frame or the driving rail so as to be located ahead of the driving direction of the vehicle, the opening for adjusting the position of the obstacle detection sensor provided in the vehicle It may further include an opening member having a.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 장치는, 상기 비히클의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 위치하도록 상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클에 구비된 버퍼 감지 센서의 위치를 조절하기 위해 반사판을 갖는 버퍼 부재를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting device is fixed to the frame so as to be located on the side or bottom perpendicular to the driving direction of the vehicle, to adjust the position of the buffer detection sensor provided in the vehicle It may further include a buffer member having a reflecting plate.
본 발명에 따른 비히클 설정 방법은, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행 휠들을 프레임에 고정된 주행 레일에 안착시키는 단계와, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계 및 상기 주행 휠들이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들의 높이를 조절하는 단계를 포함할 수 있다. The vehicle setting method according to the present invention comprises the steps of seating the driving wheels of the vehicle for transporting the cassette loaded with wafers to the traveling rail fixed to the frame, checking the horizontal state of the driving wheels and the driving wheels are the same Adjusting the height of the driving wheels to have a height.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계는, 상기 비히클의 조향 휠들을 상기 프레임에 고정된 조향 레일의 양측면 중 제1 측면에 접촉시키는 단계와, 상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치된 홈들 중 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면과 대응하도록 위치한 제2 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계와, 게이지를 이용하여 상기 제2 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계와, 상기 비히클의 조향 휠들을 상기 조향 레일의 제2 측면에 접촉시키는 단계와, 상기 홈들 중 상기 제1 측면과 대응하도록 위치한 제1 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계 및 상기 게이지를 이용하여 상기 제1 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the determining of the horizontal state of the driving wheels may include contacting steering wheels of the vehicle with a first side of both sides of a steering rail fixed to the frame, and the driving rails. Positioning the driving wheel in a second groove corresponding to a second side opposite to the first side among the grooves disposed to cross each other in the groove; and using a gauge to adjust the height of the driving wheel in the second groove. Measuring, contacting the steering wheels of the vehicle with a second side of the steering rail, positioning the driving wheel in a first groove positioned to correspond to the first side of the grooves and the gauge The method may include measuring a height of the driving wheel in the first groove.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 방법은, 상기 비히클에 구비된 장애물 감지 센서가 상기 비히클의 주행 방향 전방에 구비된 개구 부재의 개구를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서의 위치를 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the invention, the vehicle setting method, the obstacle detection sensor provided in the vehicle to adjust the position of the obstacle detection sensor to detect the opening of the opening member provided in front of the driving direction of the vehicle It may further comprise a step.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 방법은, 상기 비히클에 구비된 버퍼 감지 센서가 상기 비히클의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 구비된 버퍼 부재의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서의 위치를 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting method, the buffer detection sensor so that the buffer detection sensor provided in the vehicle detects the reflection plate of the buffer member provided on the side or bottom perpendicular to the driving direction of the vehicle. It may further comprise adjusting the position of.
본 발명에 따른 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법은 비히클의 주행 휠들의 수평 상태를 확인하고, 상기 주행 휠들이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들의 높이를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 비히클이 주행 레일이 분리된 분기 구간을 주행할 때 상기 주행 휠들의 높이 차이로 인해 상기 주행 휠들이 주행 레일과 다시 접촉하면서 발생하는 충격과 소음을 줄일 수 있다. The vehicle setting apparatus and the vehicle setting method using the same according to the present invention can check the horizontal state of the driving wheels of the vehicle and adjust the height of the driving wheels so that the driving wheels have the same height. Accordingly, when the vehicle travels in a branch section in which the travel rail is separated, the impact and noise generated when the driving wheels come into contact with the travel rail again due to the height difference of the travel wheels may be reduced.
또한, 상기 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법은 개구 부재를 이용하여 장애물 감지 센서의 위치를 조절할 수 있고, 버퍼 부재를 이용하여 버퍼 감지 센서의 위치를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 장애물 감지 센서 및 상기 버퍼 감지 센서의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. In addition, the vehicle setting apparatus and the vehicle setting method using the same may adjust the position of the obstacle detecting sensor using the opening member, and may adjust the position of the buffer detecting sensor using the buffer member. Therefore, the position of the obstacle detection sensor and the buffer detection sensor can be set accurately.
그리고, 상기 비히클 설정 장치는 지면에 구비되므로, 상기 비히클 설정 작업을 1명의 작업자가 수행할 수 있고, 상기 비히클 설정 작업의 사고 발생 가능성이 낮다. 따라서, 상기 비히클 설정 작업의 효율성과 안전성을 높일 수 있다. In addition, since the vehicle setting device is provided on the ground, one vehicle operator may perform the vehicle setting operation, and the probability of an accident occurring in the vehicle setting operation is low. Therefore, the efficiency and safety of the vehicle setting operation can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 설정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 주행 레일을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 주행 휠들의 높이 측정을 설명하기 위한 정면도들이다.
도 5는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 비히클 설정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6은 도 5에 도시된 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 1 is a schematic side view for explaining a vehicle setting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating the traveling rail illustrated in FIG. 1.
3 and 4 are front views for explaining the height measurement of the driving wheels using the vehicle setting device shown in FIG.
FIG. 5 is a flowchart illustrating a vehicle setting method using the vehicle setting apparatus shown in FIG. 1.
FIG. 6 is a flowchart for describing a method for checking a horizontal state of driving wheels illustrated in FIG. 5.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a vehicle setting apparatus and a vehicle setting method using the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 설정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 주행 레일을 설명하기 위한 평면도이며, 도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 주행 휠들의 높이 측정을 설명하기 위한 정면도들이다. FIG. 1 is a schematic side view for explaining a vehicle setting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view for explaining a traveling rail shown in FIG. 1, and FIGS. 3 and 4 are shown in FIG. 1. Front view for explaining the height measurement of the driving wheels using the vehicle setting device.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 비히클 설정 장치(100)는 비히클(10)을 전장 반송 장치에 장착하기 전에 미리 설정한다. 상기 비히클(10)은 대상물들이 적재된 카세트(20)를 이송한다. 상기 대상물의 예로는 웨이퍼, 인쇄회로기판, 마스크 등을 들 수 있다. 1 to 4, the
상기 비히클 설정 장치(100)는 프레임(110), 주행 레일(120), 조향 레일(130), 게이지(140), 개구 부재(150), 측면 버퍼 부재(160) 및 하부 버퍼 부재(170)를 포함한다. The
상기 프레임(110)은 대략 육면체 형상을 갖는다. 상기 프레임(110)은 지면 또는 상기 지면과 인접하도록 구비된다. The
상기 주행 레일(120)은 한 쌍이 상기 프레임(110)에 고정된다. 예를 들면, 상기 주행 레일(120)은 턴 버클 등과 같은 체결 부재에 의해 상기 프레임(110)에 고정될 수 있다. 상기 주행 레일(120)은 상기 비히클(10)의 주행을 위해 상기 비히클(10)의 주행 휠들(11)과 접촉하며, 상기 주행 휠들(11)을 지지한다. The pair of running
상기 조향 레일(130)은 하나가 상기 프레임(110)에 고정된다. 상기 조향 레일(130)은 턴 버클 등과 같은 체결 부재에 의해 상기 프레임(110)에 고정될 수 있다. 구체적으로, 상기 조향 레일(130)은 상기 한 쌍의 주행 레일(120) 사이의 상방에 위치할 수 있다. 상기 조향 레일(130)은 상기 비히클(10)의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클(10)의 조향 휠들(12)과 선택적으로 접촉할 수 있다. One
상기 주행 레일(120)에는 상기 주행 휠들(11)의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들(122)이 구비된다. 홈들(122)은 상기 한 쌍의 주행 레일(120)에 각각 구비될 수 있다. 즉, 상기 주행 레일들(120) 각각에 제1 홈(122a) 및 제2 홈(122b)이 구비될 수 있다. 이때, 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)은 상기 주행 레일(120)에 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에 교대로 위치할 수 있으므로, 상기 주행 휠들(11)의 높이를 교대로 측정할 수 있다. The
상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131)과 접촉한 상태에서 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이가 측정될 수 있다. 이때, 상기 조향 레일(130)을 기준으로 상기 제1 측면(131)과 상기 제2 홈(122b)은 서로 반대 방향에 위치한다. The height of the driving
상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제2 홈(122b)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다. 따라서, 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 정확하게 측정할 수 있다. Since the
마찬가지로, 상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제2 측면(132)과 접촉한 상태에서 상기 제1 홈(122a)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이가 측정될 수 있다. 이때, 상기 조향 레일(130)을 기준으로 상기 제2 측면(132)과 상기 제1 홈(122a)은 서로 반대 방향에 위치한다. Similarly, the heights of the driving
상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제2 측면(132)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다. 따라서, 상기 제1 홈(122a)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 정확하게 측정할 수 있다. Since the
한편, 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)은 상기 주행 레일(120)에 동일 선상에 배치되는 경우, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에 동시에 위치할 수 있다. 상기 조향 휠들(12)이 상기 비히클(10)의 주행 방향에 대해 수직하는 방향으로 왕복 이동하므로, 상기 조향 휠들(12)이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131) 및 제2 측면(132) 중 어느 하나에 의해 지지될 뿐 동시에 지지되지 않는다. 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에 동시에 위치하는 경우, 상기 비히클(10)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b) 중 어느 하나를 향해 기울어질 수 있다. 따라서, 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 정확하게 측정하기 어렵다. On the other hand, when the
상기 게이지(140)는 상기 주행 휠들(11)이 상기 홈들(122)에 위치할 때 상기 주행 휠들(11)과 상기 홈들(122) 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들(11)의 높이를 측정한다. 상기 게이지(140)의 예로는 틈새 게이지를 들 수 있다. The
상기 개구 부재(150)는 상기 프레임(110) 또는 상기 주행 레일(120)에 고정되며, 상기 비히클(10)의 주행 방향 전방에 위치한다. 상기 개구 부재(150)는 상기 비히클(10)에 구비된 장애물 감지 센서(13)의 위치를 조절하기 위한 개구(152)가 형성된다. 상기 장애물 감지 센서(13)가 상기 개구 부재(150)의 개구(152)를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 조절한다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. The opening
상기 장애물 감지 센서(13)에서 조사된 광이 진행할수록 상기 광의 면적이 증가한다. 따라서, 상기 개구 부재(150)의 개구(152)의 크기를 조절하여 상기 장애물 감지 센서(13)와 상기 개구 부재(150) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들면, 상기 개구 부재(150)의 개구(152)의 크기를 감소시켜 상기 장애물 감지 센서(13)와 상기 개구 부재(150) 사이의 간격을 좁힐 수 있다. 그러므로, 상기 비히클 설정 장치(100)의 크기를 줄일 수 있다. As the light irradiated from the
상기 측면 버퍼 부재(160)는 상기 프레임(100)에 고정되며, 상기 비히클(10)의 주행 방향과 수직하는 측방에 위치한다. 상기 측면 버퍼 부재(160)는 상기 비히클(10)에 구비된 버퍼 감지 센서(14)에서 조사된 광을 반사하기 위한 반사판(166)을 갖는다. The
상기 하부 버퍼 부재(170)는 상기 프레임(100)에 고정되며, 상기 비히클(10)의 주행 방향과 수직하는 하방에 위치한다. 상기 하부 버퍼 부재(170)는 상기 버퍼 감지 센서(14)에서 조사된 광을 반사하기 위한 반사판(미도시)을 갖는다. The lower buffer member 170 is fixed to the
상기 버퍼 감지 센서(14)가 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. The
상기 측면 버퍼 부재(160) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)가 상기 프레임(100)에 고정되므로, 상기 비히클(10)에 의해 이송되는 카세트(20)의 종류에 따라 상기 측면 버퍼 부재(160) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)가 교체될 수 있다. 따라서, 상기 비히클 설정 장치(100)는 다양한 종류의 비히클(10)에 대해 상기 버퍼 감시 센서(14)의 위치를 설정할 수 있다. Since the
상기 비히클 설정 장치(100)는 상기 지면 또는 상기 지면과 인접하도록 구비되므로, 상기 비히클(10)의 설정 작업을 1명의 작업자가 수행할 수 있고, 상기 비히클(10)의 설정 작업시 낙상 사고 발생 가능성을 줄일 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)의 설정 작업의 효율성과 안전성을 높일 수 있다. Since the
도 5는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 비히클 설정 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 6은 도 5에 도시된 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. FIG. 5 is a flowchart for describing a vehicle setting method using the vehicle setting apparatus illustrated in FIG. 1, and FIG. 6 is a flowchart for explaining a method for checking a horizontal state of driving wheels illustrated in FIG. 5.
도 5를 참조하면, 먼저, 상기 비히클(10)의 주행 휠들(11)을 상기 비히클 설정 장치(100)의 주행 레일(120)에 안착시킨다.(S110)Referring to FIG. 5, first, the driving
상기 비히클(10)의 주행 휠들(11)이 상기 주행 레일(120)에 의해 지지되고, 상기 비히클(10)이 상기 주행 레일(120)을 따라 주행할 수 있다. The driving
다음으로, 상기 주행 휠들(11)의 수평 상태를 확인한다.(S120)Next, the horizontal state of the driving
구체적으로, 상기 주행 휠들(11)의 수평 상태를 확인하기 위해 먼저, 상기 비히클(10)의 조향 휠들(12)을 상기 조향 레일(130)의 양측면, 즉 상기 제1 측면(131) 및 상기 제2 측면(132) 중 상기 제1 측면(131)에 접촉시킨다.(S121)Specifically, in order to check the horizontal state of the driving
다음으로, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠(11)을 상기 제2 홈(122b) 상에 위치시킨다.(S122)Next, the
이때, 상기 제1 측면(131)과 상기 제2 홈(122b)은 서로 반대 방향에 위치한다. 상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제2 홈(122b)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다.In this case, the
이후, 상기 게이지(140)를 이용하여 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다.(S123)Thereafter, the height of the
구체적으로, 상기 게이지(140)를 상기 주행 휠(11)과 상기 제2 홈(122b) 사이에 삽입하여 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다. Specifically, the
상기 비히클(10)에서 상기 주행 휠들(11)이 여러 쌍인 경우, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠들(11)을 상기 제2 홈(122b) 상에 순차적으로 위치시키면서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 측정할 수 있다. When the driving
다음으로, 상기 비히클(10)의 조향 휠들(12)을 상기 조향 레일(130)의 상기 제2 측면(132)에 접촉시킨다.(S124)Next, the
다음으로, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠(11)을 상기 제1 홈(122a) 상에 위치시킨다.(S125)Next, the
이때, 상기 제2 측면(132)과 상기 제1 홈(122a)은 서로 반대 방향에 위치한다. 상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 상기 제2 측면(132)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다.In this case, the
이후, 상기 게이지(140)를 이용하여 상기 제1 홈(122a)에서 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다.(S126)Thereafter, the height of the
구체적으로, 상기 게이지(140)를 상기 주행 휠(11)과 상기 제1 홈(122a) 사이에 삽입하여 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다. Specifically, the
상기 비히클(10)에서 상기 주행 휠들(11)이 여러 쌍인 경우, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠들(11)을 상기 제1 홈(122a) 상에 순차적으로 위치시키면서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 측정할 수 있다. When the driving
상기 주행 휠들(11)의 높이 측정이 완료되면, 상기 주행 휠들(11)이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들(11)의 높이를 조절한다.(S130)When the height measurement of the driving
구체적으로, 상기 주행 휠들(11)의 높이를 개별적으로 높이거나 낮추어 상기 주행 휠들(11)의 높이를 동일하게 한다. 따라서, 상기 비히클(10)이 상기 주행 레일(120)이 분리된 분기 구간을 주행할 때 상기 주행 휠들(11)의 높이 차이로 인해 상기 주행 휠들(11)이 상기 주행 레일(120)과 다시 접촉하면서 발생하는 충격과 소음을 줄일 수 있다. Specifically, the heights of the driving
다음으로, 상기 장애물 감지 센서(13)가 상기 개구 부재(150)의 개구(152)를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 조절한다.(S140)Next, the
구체적으로, 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 변경하면서 상기 개구 부재(150)의 상기 개구(152)를 감지한다. 상기 장애물 감지 센서(13)가 상기 개구(152)를 정확하게 감지할 때 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 확인한다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. Specifically, the
다음으로, 상기 버퍼 감지 센서(14)가 상기 비히클(10)의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 구비된 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 조절한다.(S150)Next, the
구체적으로, 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 변경하면서 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 감지한다. 상기 버퍼 감지 센서(14)가 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 정확하게 감지할 때 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 확인한다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. Specifically, while changing the position of the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
100 : 비히클 설정 장치
110 : 프레임
120 : 주행 레일
130 : 조향 레일
140 : 게이지
150 : 개구 부재
160 : 측면 버퍼 부재
170 : 하부 버퍼 부재
10 : 비히클
11 : 주행 휠
12 : 조향 휠
13 : 장애물 감지 센서
14 : 버퍼 감지 센서100: vehicle setting device 110: frame
120: running rail 130: steering rail
140: gauge 150: opening member
160: side buffer member 170: lower buffer member
10
12: steering wheel 13: obstacle detection sensor
14: buffer detection sensor
Claims (8)
상기 프레임에 고정되고, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행을 위해 상기 비히클의 주행 휠들과 접촉하며, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들을 갖는 주행 레일;
상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클의 조향 휠들과 선택적으로 접촉하는 조향 레일; 및
상기 주행 휠들이 상기 홈들에 위치할 때 상기 주행 휠들과 상기 홈들 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 장치.A frame provided on the ground;
A traveling rail fixed to the frame and in contact with the driving wheels of the vehicle for driving the vehicle carrying the cassette loaded with wafers, the traveling rail having grooves of a constant depth for checking the horizontal state of the driving wheels;
A steering rail fixed to the frame, the steering rail selectively contacting steering wheels of the vehicle to adjust a driving direction of the vehicle; And
And a gauge inserted between the driving wheels and the grooves to measure the height of the driving wheels when the driving wheels are located in the grooves.
상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계; 및
상기 주행 휠들이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들의 높이를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 방법.Seating the traveling wheels of the vehicle carrying the cassette loaded with wafers on the traveling rail fixed to the frame:
Checking a horizontal state of the driving wheels; And
And adjusting the height of the driving wheels such that the driving wheels have the same height.
상기 비히클의 조향 휠들을 상기 프레임에 고정된 조향 레일의 양측면 중 제1 측면에 접촉시키는 단계;
상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치된 홈들 중 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면과 대응하도록 위치한 제2 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계;
게이지를 이용하여 상기 제2 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계;
상기 비히클의 조향 휠들을 상기 조향 레일의 제2 측면에 접촉시키는 단계;
상기 홈들 중 상기 제1 측면과 대응하도록 위치한 제1 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계; 및
상기 게이지를 이용하여 상기 제1 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 방법. The method of claim 5, wherein the checking of the horizontal state of the driving wheels comprises:
Contacting steering wheels of the vehicle with a first side of both sides of a steering rail fixed to the frame;
Positioning the travel wheels in a second groove that is disposed so as to correspond to a second side opposite to the first side among the grooves arranged to cross each other on the travel rail;
Measuring a height of the driving wheel in the second groove using a gauge;
Contacting steering wheels of the vehicle with a second side of the steering rail;
Positioning the travel wheel in a first groove corresponding to the first side of the grooves; And
And measuring a height of the driving wheel in the first groove by using the gauge.
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009115763A (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Method and device for detecting torsion of level plane |
KR20090087892A (en) * | 2007-07-19 | 2009-08-18 | 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 | Track-based traffic system |
KR101433516B1 (en) * | 2013-03-22 | 2014-08-27 | (주)에스티아이 | Apparatus and Method for transferring substrate and tray to transfer the substrate |
KR20170105196A (en) * | 2016-03-09 | 2017-09-19 | 세메스 주식회사 | Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating |
-
2018
- 2018-04-13 KR KR1020180043305A patent/KR102469667B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090087892A (en) * | 2007-07-19 | 2009-08-18 | 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 | Track-based traffic system |
JP2009115763A (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-28 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Method and device for detecting torsion of level plane |
KR101433516B1 (en) * | 2013-03-22 | 2014-08-27 | (주)에스티아이 | Apparatus and Method for transferring substrate and tray to transfer the substrate |
KR20170105196A (en) * | 2016-03-09 | 2017-09-19 | 세메스 주식회사 | Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210158552A (en) | 2020-06-24 | 2021-12-31 | 세메스 주식회사 | Sensor inspection apparatus, sensor inspection method and article transport facility |
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