KR20170105196A - Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating - Google Patents

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Abstract

A transfer device for manufacturing an integrated circuit (IC) device includes: a rail portion including a running rail provided on a manufacturing line for manufacturing an integrated circuit (IC) device; a vehicle portion including a running wheel configured to run along the running rail of the rail portion, a body portion coupled to the running wheel and transporting an object necessary for manufacturing the IC device in a manufacturing line by the running of the running wheel, and a driving portion coupled to the body portion and configured to drive the running wheel; and a steering portion including a steering rail disposed between the running rails, and a steering wheel configured to adjust a running direction of the vehicle portion by forcibly changing its position by a forcible contact caused by entrance to the steering rail. Accordingly, the present invention aims to provide a transfer device for manufacturing an IC device provided with a steering portion capable of adjusting a running direction of a vehicle portion without reducing a speed of the vehicle portion.

Description

집적회로 소자 제조용 이송 장치{Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a transfer device for an integrated circuit device,

본 발명은 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되는 구조로 이루어지는 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for manufacturing integrated circuit devices, and more particularly to a transfer device for manufacturing integrated circuit devices having a structure disposed on a ceiling within a manufacturing line for manufacturing integrated circuit devices.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.Integrated circuit devices such as semiconductor devices, display devices and the like are manufactured by performing various processes such as a thin film forming process, a photolithigraphy process, an etching process, a metal wiring process and the like. Therefore, in the manufacture of the integrated circuit device, a transfer process for transferring an object necessary for manufacturing the integrated circuit device is always performed.

언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.In the case of using the robot arm or the like as a transfer device, there is a disadvantage that space utilization in the manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device is lowered. Particularly, when the manufacturing line is a clean room, since the clean room itself is expensive, there is a problem that economical loss due to a reduction in the space utilization of the clean room occurs.

따라서 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다. 상기 오에이치티로 이루어지는 이송 장치는 직선 구간, 곡선 구간 및 분기 구간 등을 포함하는 주행 레일로 이루어지는 레일부를 포함할 수 있고, 상기 레일부를 주행하는 주행휠 등으로 이루어지는 차량부를 포함할 수 있다. 그리고 상기 이송 장치는 상기 직선 구간의 주행 레일을 주행하다가 상기 곡선 구간 또는 상기 분기 구간의 주행 레일로 주행할 경우 상기 차량부의 주행 방향을 조정할 필요가 있고, 이에 언급한 이송 장치는 상기 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있는 조향 부재를 더 포함할 수 있다.Therefore, recently, the overhead hoist transfer (OHT) in which the transfer device is disposed on the ceiling of the clean room is utilized for the transfer process of the integrated circuit device. The transporting device of the present invention may include a rail portion including a running rail including a straight section, a curved section, and a branch section, and may include a vehicle section including a traveling wheel or the like running on the rail section. When the traveling device runs on the running rail of the straight section and runs on the running rail of the curved section or the branch section, the traveling direction of the vehicle section needs to be adjusted. And a steering member capable of adjusting the steering angle.

그러나 상기 이송 장치를 이용한 종래에는 상기 차량부를 고속으로 주행하다가 상기 조향이 필요한 구간에 진입시 상기 차량부를 감속시켜 주행하면서 상기 조향 부재를 솔레노이드(solenoid) 등과 같은 부재를 사용하여 조정하고, 아울러 상기 조향 부재의 조정 상태를 최종적으로 확인한 이후에 상기 차량부를 주행시키는 구성을 갖는다.However, in the related art using the transfer device, when the vehicle travels at a high speed while the vehicle travels in a section requiring steering, the vehicle is decelerated while traveling to adjust the steering member using a member such as a solenoid, After the adjustment state of the vehicle is finally confirmed.

이에, 종래의 상기 이송 장치를 사용할 경우 상기 제조 라인에서의 목적물의 이송에 따른 시간이 지연되는 문제점이 있다.Accordingly, when the conventional transfer apparatus is used, there is a problem that the time for transferring the object in the manufacturing line is delayed.

그리고 상기 차량부를 감속하지 않은 상태로 상기 조향이 필요한 구간을 주행할 경우에는 진동이 심하게 발생할 수 있고, 심할 경우 상기 차량부가 파손되는 상황까지 발생하는 문제점이 있다.In addition, when the vehicle travels in a section requiring the steering without decelerating the vehicle, vibration may occur severely, and in a severe case, the vehicle may be damaged.

본 발명의 목적은 차량부의 속도를 감속시키지 않고도 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있는 조향부를 구비하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a conveying device for manufacturing an integrated circuit device having a steering portion capable of adjusting a traveling direction of a vehicle portion without reducing the speed of the vehicle portion.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 주행 레일로 이루어지는 레일부; 상기 레일부의 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행휠, 상기 주행휠과 결합되어 상기 주행휠의 주행에 의해 상기 제조 라인에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부, 및 상기 몸체부와 결합되어 상기 주행휠을 구동시키도록 구비되는 구동부로 이루어지는 차량부; 및 상기 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일, 및 상기 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부의 주행 방향을 조정하는 조향휠로 이루어지는 조향부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a transfer device for manufacturing an integrated circuit device, the transfer device comprising: a rail part including a traveling rail provided on a manufacturing line for manufacturing integrated circuit devices; A body portion coupled to the traveling wheel to transport an object necessary for manufacturing the integrated circuit element in the manufacturing line by traveling of the traveling wheel, A driving unit coupled to the body unit to drive the traveling wheel; And a steering unit that includes a steering wheel disposed between the traveling rails and a steering wheel that enters the steering rail and is forcedly changed in position by forced contact to adjust the traveling direction of the vehicle unit.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제조 라인은 클린룸일 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the manufacturing line may be a clean room.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 주행 레일은 직선 구간, 곡선 구간, 및 분기 구간을 포함할 수 있고, 상기 조향부는 주행 방향의 조정이 필요한 구간을 진입하는 진입 구간에 위치하도록 구비할 수 있다.The traveling rail may include a straight section, a curved section, and a branch section, and the steering section may include a section for entering a section requiring adjustment in the traveling direction And may be provided so as to be located in an entry section.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 조향휠은 상기 구동부의 상면에 구비될 수 있고, 상기 조향 레일은 상기 조향휠과 강제 접촉 가능하게 상기 구동부의 상측에 배치되도록 구비될 수 있다.The steering wheel may be provided on the upper surface of the driving unit, and the steering rail may be disposed on the upper side of the driving unit so as to be in contact with the steering wheel forcibly contact with the steering wheel. Respectively.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 조향 레일은 상기 주행 레일 사이에서 어느 하나의 주행 레일로부터 다른 하나의 주행 레일을 향하게 휘어진 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 휘어진 구조를 따라 주행함에 의해 위치가 강제적으로 변경되도록 구비될 수 있다.In the conveying device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the steering rail may be provided so as to have a structure in which the steering rail is bent from one running rail toward the other running rail between the running rails, The steering wheel may be provided to forcibly change its position by traveling along the curved structure of the steering rail.

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치의 경우 조향휠이 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경됨으로써 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있다. 특히, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 언급한 바와 같이 조향 레일과 조향휠 사이를 강제적인 접촉 구조를 갖도록 구비하기 때문에 차량부의 주행 속도를 감속시키지 않고도 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있다.In the case of the conveying device for manufacturing integrated circuit elements of the present invention, the steering wheel enters into the steering rail disposed between the traveling rails and is forcibly brought into contact with the steering rails, whereby the traveling direction of the vehicle portion can be adjusted. Particularly, since the conveying device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention has a forced contact structure between the steering wheel and the steering wheel as mentioned above, it is possible to adjust the traveling direction of the vehicle portion without reducing the running speed of the vehicle portion.

이에, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용할 경우 집적회로 소자 제조 라인에서의 목적물의 이송을 보다 신속하게 수행할 수 있어 목적물의 이송을 위한 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다.Accordingly, when the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention is used, the transfer of the object in the integrated circuit device manufacturing line can be performed more quickly, and the time for transferring the object can be shortened sufficiently.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 조향부를 보다 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic diagram showing a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view for explaining the steering unit of Fig. 1 in more detail.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 조향부를 보다 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram for explaining the steering unit of FIG. 1 in more detail.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하는 제조 라인에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물을 이송하는데 사용하는 것으로써, 제조 라인의 천장 쪽에 배치되도록 구비되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 포함할 수 있다.1 and 2, a transfer device 100 for manufacturing an integrated circuit device of the present invention is used for transferring an object such as a substrate, a mask, and the like in a manufacturing line for manufacturing a semiconductor device, a display device, And an overhead hoist transfer (OHT) arranged to be disposed on the ceiling of the vehicle.

상기 오에이치티로 이루어지는 본 발명의 이송 장치(100)는 레일부(11) 및 차량부(21)를 포함할 수 있다. 그리고 본 발명의 이송 장치(100)가 구비되는 상기 제조 라인은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하기 때문에 클린룸으로 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명의 경우 상기 클린룸에 오에이치티로 이루어지는 이송 장치(100)를 구비함으로써 클린룸의 공간 활용도를 보다 극대화할 수 있는 이점이 있다. 이는, 상기 이송 장치(100)를 상기 클린룸의 천장 쪽에 배치되도록 구비시킴으로써 상기 클린룸의 바닥 쪽의 공간을 보다 경제적으로 활용할 수 있기 때문이다.The conveying apparatus 100 of the present invention, which is made of the above-mentioned ointment, may include a rail part 11 and a vehicle part 21. [ The manufacturing line including the transfer device 100 of the present invention can be a clean room because it manufactures semiconductor devices, display devices, and the like. Accordingly, in the present invention, since the clean room has the transfer device 100 made of ouch tea, there is an advantage that the space utilization of the clean room can be maximized. This is because the space on the bottom side of the clean room can be more economically utilized by providing the transfer device 100 on the ceiling of the clean room.

상기 레일부(11)는 상기 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 차량부(21)는 상기 목적물을 상기 제조 라인 내에서 이송할 수 있도록 상기 레일부(11)를 따라 주행 가능하게 결합되도록 구비될 수 있다.The rail part 11 may be disposed on a ceiling in a manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device. The vehicle section 21 may be provided so as to be able to travel along the rail section 11 so as to be able to transport the object within the production line.

특히, 상기 레일부(11)는 상기 차량부(21)가 결합되어 주행하는 주행 레일(13) 및 상기 천장 쪽에 상기 주행 레일(13)이 배치되도록 지지하는 레일 지지부(15) 등을 포함할 수 있다. 즉, 상기 레일부(11)는 상기 주행 레일(13) 및 상기 주행 레일(13)을 상기 클린룸의 천장에 매달아 둘 수 있는 상기 레일 지지부(15)로 이루어지는 것이다. 그리고 상기 주행 레일(13)의 경우에는 두 개의 라인 구조를 갖는 궤도 레일로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 주행 레일(13)은 직선 구간, 곡선 구간, 경사 구간 및 분기 구간이 혼재하도록 구비될 수 있고, 상기 클린룸 내의 레이아웃에 따라 다양한 구간으로 이루어지도록 구비될 수 있다.Particularly, the rail part 11 may include a running rail 13 to which the vehicle part 21 is coupled and a rail supporting part 15 for supporting the running rail 13 to be disposed on the ceiling side. have. That is, the rail part 11 comprises the rail support part 15 capable of suspending the running rail 13 and the running rail 13 on the ceiling of the clean room. And in the case of the traveling rail 13, a track rail having two line structures. In addition, the running rail 13 may include a straight line section, a curved section, a slope section and a branch section, and may be provided in various sections according to the layout in the clean room.

상기 차량부(21)는 상기 주행 레일(13)을 따라 주행하는 주행휠(23) 및 상기 주행휠(23)의 주행에 의해 상기 목적물을 이송하도록 상기 주행휠(23)과 결합되는 몸체부(29)를 포함할 수 있다.The vehicle section 21 includes a traveling wheel 23 that travels along the traveling rail 13 and a body part that is coupled with the traveling wheel 23 to transport the object by traveling of the traveling wheel 23 29).

상기 주행휠(23)은 상기 주행 레일(13)을 따라 주행하는 것과 함께 상기 차량부(21)가 상기 주행 레일(13)을 따라 주행할 때 상기 주행 레일(13)로부터 상기 차량부(21)가 이탈하는 것을 방지하는 가이드용 휠(25)을 더 구비할 수 있다. 상기 가이드용 휠(25)은 상기 주행휠(13) 안쪽에서 상기 차량부(21)의 측면을 지지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The traveling wheel 23 travels along the traveling rail 13 and moves from the traveling rail 13 to the vehicle 21 when the vehicle 21 travels along the traveling rail 13. [ And a guide wheel 25 for preventing the guide wheel 25 from coming off. The guide wheel 25 may be provided to support a side surface of the vehicle section 21 from the inside of the traveling wheel 13. [

상기 몸체부(29)는 언급한 바와 같이 상기 주행휠(23)과 결합되어 상기 주행휠(23)의 주행에 따라 함께 주행하는 것으로써, 상기 목적물의 이송시 상기 목적물이 적재되는 부재로 이해할 수 있다. 따라서 상기 몸체부(29)는 상기 목적물을 주로 파지하는 구조로 상기 목적물을 적재하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 몸체부(29)에는 상기 목적물을 파지하는 파지 부재(도시되지 않음) 및 상기 파지 부재를 상승 및 하강시키는 구동 부재(도시되지 않음) 등이 구비될 수 있다. 아울러, 상기 몸체부(29)에는 상기 이송 장치(100)를 전반적으로 제어하는 제어부(도시되지 않음) 등이 위치할 수 있다.As mentioned above, the body portion 29 is coupled with the traveling wheel 23 and travels along with the travel of the traveling wheel 23. The body portion 29 can be understood as a member on which the object is loaded when the object is transported have. Accordingly, the body portion 29 may be provided to load the object with a structure mainly holding the object. The body 29 may include a gripping member (not shown) for holding the object and a driving member (not shown) for moving the gripping member up and down. In addition, a control unit (not shown) for controlling the conveying device 100 may be disposed on the body 29.

또한, 상기 차량부(21)는 상기 주행휠(23)을 구동시키는 구동부(27)를 더 구비할 수 있다. 이때, 상기 구동부(27)는 구동력을 제공하는 구동 모터(도시되지 않음), 상기 구동 모터의 구동력을 상기 주행휠(23)로 전달하는 구동축(도시되지 않음), 상기 구동부(27)의 구동 속도를 조절하는 속도 조절부(도시되지 않음) 등으로 이루어질 수 있다. 상기 속도 조절부는 주로 기어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The vehicle section 21 may further include a driving unit 27 for driving the traveling wheel 23. [ The driving unit 27 includes a driving motor (not shown) for providing a driving force, a driving shaft (not shown) for transmitting the driving force of the driving motor to the traveling wheel 23, And a speed adjusting unit (not shown) The speed adjuster may be configured to have a gear structure.

그리고 상기 차량부(21)의 경우 상기 주행휠(23)이 상기 주행 레일(13)을 따라 주행해야 하기 때문에 상기 주행휠(23)은 상기 구동부(27)의 양측면에 배치되도록 구비될 수 있고, 아울러 상기 주행 레일(13) 아래에 이송을 요하는 상기 목적물이 놓여 있기 때문에 상기 몸체부(29)는 상기 주행 레일(13)의 아래, 즉 상기 구동부(27)의 아래에 배치되도록 구비될 수 있다.In the case of the vehicle section 21, since the traveling wheel 23 must travel along the traveling rail 13, the traveling wheel 23 may be disposed on both sides of the driving part 27, The body 29 may be disposed below the driving rail 13, that is, below the driving unit 27, because the object to be transported is placed below the traveling rail 13 .

이에, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 레일부(11) 및 상기 차량부(21)를 구비함으로써, 상기 클린룸으로 이루어지는 제조 라인에서 상기 목적물을 안정적으로 이송할 수 있는 것이다. Accordingly, the transfer device 100 of the present invention includes the rail part 11 and the vehicle part 21, so that the object can be stably transferred from the production line made up of the clean room.

본 발명의 이송 장치(100)를 이용한 이송에서는 상기 직선 구간의 주행 레일(13)을 주행하다가 상기 곡선 구간의 주행 레일(13)로 주행하거나, 상기 직선 구간의 주행 레일(13)을 주행하다가 상기 분기 구간의 주행 레일(13)로 주행하거나, 상기 곡선 구간(13)의 주행 레일을 주행하다가 상기 분기 구간의 주행 레일(13)을 주행하거나, 또는 상기 곡선 구간의 주행 레일(13)을 주행하다가 상기 직선 구간의 주행 레일(13)을 주행하는 등과 같은 주행 방향을 조정해야 하는 발생할 수 있다.In the transportation using the conveying apparatus 100 according to the present invention, the traveling rail 13 of the straight section is traveled and then traveled to the traveling rail 13 of the curved section or the traveling rail 13 of the straight section is traveled, It is possible to run the running rail 13 of the branch section or to run the running rail 13 of the branch section while running the running rail of the curved section 13 or to run the running rail 13 of the curved section It may be necessary to adjust the running direction such as driving the running rail 13 of the straight section.

이에, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 차량부(21)의 주행 방향을 직선 방향에서 곡선 방향, 곡선 방향에서 직선 방향 등으로 조정할 필요가 있다. 따라서 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정할 수 있는 조향부(31)를 더 포함할 수 있다.Therefore, the conveying apparatus 100 of the present invention is required to adjust the running direction of the vehicle section 21 from a linear direction to a curved direction, a linear direction from a curved direction, or the like. Therefore, the feeding apparatus 100 of the present invention may further include a steering unit 31 capable of adjusting the running direction of the vehicle section 21. [

본 발명의 이송 장치(100)에서의 상기 조향부(31)는 조향 레일(33) 및 조향휠(35)로 이루어지도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 조향 레일(33)은 상기 주행 레일(13) 사이에 배치되도록 구비될 수 있고, 상기 조향휠(35)은 상기 조향 레일(33)로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정하도록 구비될 수 있다.The steering unit 31 in the transfer device 100 of the present invention may be provided with a steering rail 33 and a steering wheel 35. In particular, the steering rail 33 may be disposed between the running rails 13, and the steering wheel 35 may be forcibly changed in position by entering into the steering rail 33 and forcibly contacting the steering rails 33 And may adjust the traveling direction of the vehicle section 21. [

이에, 상기 조향휠(35)은 상기 구동부(27)의 상면에 구비될 수 있고, 상기 조향 레일(33)은 상기 조향휠(35)과 강제 접촉 가능하게 상기 구동부(27)의 상측에 배치되도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 조향 레일(33)은 상기 주행 레일(13) 사이에 배치되는 것으로 설명하고 있지만, 언급한 바와 같이 상기 조향 레일(33)은 상기 구동부(27)의 상측에 배치되는 구조를 갖기 때문에 상기 주행 레일(13) 보다는 높은 곳에 위치하도록 배치되는 구조를 갖는다.The steering wheel 35 may be provided on the upper surface of the driving unit 27 and the steering rail 33 may be disposed on the upper side of the driving unit 27 so as to be capable of forcibly contacting the steering wheel 35. [ . Since the steering rail 33 is disposed between the driving rails 13, as described above, the steering rail 33 is disposed on the upper side of the driving unit 27, And is arranged so as to be located higher than the rails 13.

아울러, 상기 조향 레일(33)은 상기 주행 레일(13) 사이에서 어느 하나의 주행 레일(13)로부터 다른 하나의 주행 레일(13)을 향하게 휘어진 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 상기 조향휠(35)은 상기 조향 레일(33)의 휘어진 구조를 따라 접촉하여 주행함에 의해 위치가 강제적으로 변경되도록 구비될 수 있는 것이다.In addition, the steering rail 33 may be provided between the running rails 13 so as to be bent from one running rail 13 toward the other running rail 13. Therefore, the steering wheel 35 may be provided so that its position is forcibly changed by contacting and running along the curved structure of the steering rail 33.

또한, 상기 조향부(31)는 주행 방향의 조정이 필요한 구간을 진입하는 진입 구간에 위치하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 조향부(31)는 상기 차량부(21)의 주행 방향의 조정이 이루어져야 하는 진입 구간에 상기 조향 레일(33)이 배치되도록 구비하는 것이다.In addition, the steering unit 31 may be disposed in an entry zone for entering a section requiring adjustment in the traveling direction. That is, the steering unit 31 is provided so that the steering rail 33 is disposed in an entry zone in which the traveling direction of the vehicle unit 21 should be adjusted.

언급한 바와 같이, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 조향휠(35) 및 상기 조향 레일(33)로 이루어지는 상기 조향부(31)를 구비함으로써 상기 조향휠(35)이 상기 주행 레일(13) 사이에 배치되는 상기 조향 레일(33)로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되고, 그 결과 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정할 수 있다. 특히, 본 발명의 이송 장치(100)는 언급한 바와 같이 상기 조향 레일(33) 및 상기 조향휠(35) 사이를 강제적인 접촉 구조를 갖도록 구비하기 때문에 상기 차량부(21)의 주행 속도를 감속시키지 않고도 상기 차량부(21)의 주행 방향을 조정할 수 있는 것이다.As described above, the feeding apparatus 100 of the present invention includes the steering unit 31 composed of the steering wheel 35 and the steering rail 33, so that the steering wheel 35 is supported by the driving rail 13 And the position is forcibly changed by forcibly contacting with the steering rail 33. As a result, the running direction of the vehicle section 21 can be adjusted. Particularly, since the conveying apparatus 100 of the present invention is provided with a forced contact structure between the steering rail 33 and the steering wheel 35, the traveling speed of the vehicle section 21 is reduced It is possible to adjust the running direction of the vehicle section 21 without performing the operation.

그리고 본 발명의 이송 장치(100)의 경우에는 언급한 바와 같이 상기 조향부(31)가 강제적으로 조향이 가능하도록 구비됨으로써 X자형 분기 구간, M자형 분기 구간 등과 같은 다양한 분기 구간의 주행 레일에 용이하게 적용할 수 있다.In the case of the feeder 100 of the present invention, as described above, the steering unit 31 is provided so as to be able to forcibly steer the vehicle so that it can be easily guided to the traveling rails of various branching sections such as an X-shaped branching section and an M- .

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 조향 레일과 조향휠 사이를 강제적인 접촉 구조를 갖도록 구비하기 때문에 차량부의 주행 속도를 감속시키지 않고도 차량부의 주행 방향을 조정할 수 있고, 그 결과 목적물의 이송을 위한 시간을 충분하게 단축시킬 수 있다.Since the conveying device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention is provided with a forced contact structure between the steering rail and the steering wheel, it is possible to adjust the running direction of the vehicle section without reducing the running speed of the vehicle section, The time can be sufficiently shortened.

따라서 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 이용할 경우 이송 시간을 단축시킬 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, when the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention is used, the transfer time can be shortened, so that productivity can be expected to be improved by manufacturing the integrated circuit device.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 레일부 13 : 주행 레일
15 : 레일 지지부 21 : 차량부
23 : 주행휠 25 : 가이드용 휠
27 : 구동부 29 : 몸체부
31 : 조향부 33 : 조향 레일
35 : 조향휠 100 : 이송 장치11: rail part 13: running rail
15: rail support portion 21:
23: traveling wheel 25: guide wheel
27: driving part 29:
31: Steering section 33: Steering rail
35: Steering wheel 100: Feeding device

Claims (5)

집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 상부에 구비되는 주행 레일로 이루어지는 레일부;
상기 레일부의 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행휠, 상기 주행휠과 결합되어 상기 주행휠의 주행에 의해 상기 제조 라인에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부, 및 상기 몸체부와 결합되어 상기 주행휠을 구동시키도록 구비되는 구동부로 이루어지는 차량부; 및
상기 주행 레일 사이에 배치되는 조향 레일, 및 상기 조향 레일로 진입하여 강제 접촉함에 의해 위치가 강제적으로 변경되어 상기 차량부의 주행 방향을 조정하는 조향휠로 이루어지는 조향부를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.A rail portion comprising a running rail provided on a manufacturing line for manufacturing an integrated circuit device;
A body portion coupled to the traveling wheel to transport an object necessary for manufacturing the integrated circuit element in the manufacturing line by traveling of the traveling wheel, A driving unit coupled to the body unit to drive the traveling wheel; And
And a steering unit comprising a steering wheel disposed between the traveling rails and a steering wheel for steering the traveling direction of the vehicle unit by forcibly changing its position by entering into the steering rails and forcibly contacting the steering rails. Transfer device for manufacturing. 제1 항에 있어서, 상기 제조 라인은 클린룸인 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.2. The transfer device according to claim 1, wherein the manufacturing line is a clean room. 제1 항에 있어서, 상기 주행 레일은 직선 구간, 곡선 구간, 및 분기 구간을 포함하고, 상기 조향부는 주행 방향의 조정이 필요한 구간을 진입하는 진입 구간에 위치하도록 구비하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.2. The integrated circuit device according to claim 1, wherein the traveling rail includes a straight section, a curved section, and a branch section, and the steering section is positioned in an entry section in which a section requiring adjustment in the traveling direction enters the entering section. Transfer device for manufacturing. 제1 항에 있어서, 상기 조향휠은 상기 구동부의 상면에 구비되고, 상기 조향 레일은 상기 조향휠과 강제 접촉 가능하게 상기 구동부의 상측에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.The apparatus according to claim 1, wherein the steering wheel is provided on an upper surface of the driving unit, and the steering rail is disposed on an upper side of the driving unit so as to be in contact with the steering wheel. 제1 항에 있어서, 상기 조향 레일은 상기 주행 레일 사이에서 어느 하나의 주행 레일로부터 다른 하나의 주행 레일을 향하게 휘어진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 휘어진 구조를 따라 주행함에 의해 위치가 강제적으로 변경되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.The steering apparatus according to claim 1, wherein the steering rails are provided between the running rails so as to have a structure bent from one of the running rails toward the other running rails, and the steering wheel runs along the curved structure of the steering rails And the position of the second electrode is forcibly changed.
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