KR101750963B1 - Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating - Google Patents

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Abstract

집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인을 구획하도록 구비되는 벽체; 상기 벽체를 사이에 두고 구획이 이루어지는 상기 제조 라인 사이에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송할 수 있게 상기 벽체 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 개방부; 상기 제조 라인 상부에 구비되면서 상기 개방부를 경유하되 끊어짐 없이 연속적으로 이루어지는 레일부; 및 상기 레일부를 사이에 두고 상기 레일부 상부에서 상기 개방부를 차단하도록 구비되는 제1 차단부, 및 상기 레일부 하부에서 상기 개방부를 차단하도록 구비되는 제2 차단부로 이루어지되, 상기 제1 차단부 및 상기 제2 차단부의 합체에 의해 상기 개방부를 차단하도록 이루어지는 차단부를 포함할 수 있다.A transfer device for manufacturing an integrated circuit device includes a wall configured to partition a manufacturing line for manufacturing an integrated circuit device; An opening portion having a structure in which a part of the wall is opened so as to transfer an object necessary for manufacturing the integrated circuit device between the manufacturing lines in which the partition is formed with the wall interposed therebetween; A rail part provided on the manufacturing line and continuously passing through the opening part without breaking; And a second blocking portion provided to block the opening portion at a lower portion of the rail portion, wherein the first blocking portion and the second blocking portion are provided at both sides of the rail portion, And a blocking portion configured to block the opening portion by incorporation of the second blocking portion.

Description

집적회로 소자 제조용 이송 장치{Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a transfer device for an integrated circuit device,

본 발명은 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되는 구조로 이루어지는 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for manufacturing integrated circuit devices, and more particularly to a transfer device for manufacturing integrated circuit devices having a structure disposed on a ceiling within a manufacturing line for manufacturing integrated circuit devices.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.Integrated circuit devices such as semiconductor devices, display devices and the like are manufactured by performing various processes such as a thin film forming process, a photolithigraphy process, an etching process, a metal wiring process and the like. Therefore, in the manufacture of the integrated circuit device, a transfer process for transferring an object necessary for manufacturing the integrated circuit device is always performed.

언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.In the case of using the robot arm or the like as a transfer device, there is a disadvantage that space utilization in the manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device is lowered. Particularly, when the manufacturing line is a clean room, since the clean room itself is expensive, there is a problem that economical loss due to a reduction in the space utilization of the clean room occurs.

이에, 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다. 상기 오에이치티로 이루어지는 이송 장치는 직선 구간 및 곡선 구간으로 이루어지는 레일부를 포함할 수 있고, 상기 레일부를 주행하는 휠부로 이루어지는 차량부를 포함할 수 있다.In recent years, an overhead hoist transfer (OHT) in which a transfer device is disposed on the ceiling of the clean room has been used for the transfer process of the integrated circuit device. The conveyance device of the present invention may include a rail section including a straight section and a curved section, and may include a vehicle section including a wheel section running on the rail section.

그리고 상기 이송 장치가 구비되는 제조 라인은 벽체를 사이에 두고 구획이 이루어질 수 있고, 상기 벽체를 이용하여 상기 제조 라인 사이를 차단시킬 수 있도록 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 벽체를 구비하여 상기 제조 라인을 구획하고 차단하는 것은 화재 등과 같은 비상 상황에 대비하기 위함이다.The manufacturing line in which the transfer device is provided may be partitioned with a wall interposed therebetween, and the wall may be used to block the manufacturing lines. Here, the partitioning and blocking of the manufacturing line with the wall is for emergency situations such as fire.

도 1은 종래의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 구비하는 제조 라인을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a manufacturing line including a conventional transfer device for manufacturing integrated circuit elements.

도 1을 참조하면, 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인(91, 92)에 레일부(93)가 구비되고, 상기 제조 라인(91, 92)을 서로 구획하기 위한 벽체(95) 및 차단부(97)가 구비된다. 그리고 상기 레일부(93)는 상기 제조 라인(91, 92) 상부에 구비될 수 있다. 이에, 종래에는 상기 벽체(95)에 구비되는 상기 차단부(97)를 상기 레일부(93) 상부에서 하부로 하강시킴에 의해 상기 제조 라인(91, 92) 사이를 차단할 수 있다.1, a production line 91, 92 for manufacturing an integrated circuit element is provided with a rail 93 and a wall 95 for partitioning the production lines 91, 97 are provided. The rail 93 may be provided on the manufacturing lines 91 and 92. Thus, in the conventional art, it is possible to cut off the manufacturing lines 91 and 92 by lowering the blocking part 97 provided on the wall 95 from the upper part of the rail part 93 to the lower part.

여기서, 상기 차단부(97)가 상기 레일부(93) 상부에서 하부로 하강하도록 구비되기 때문에 상기 차단부(97)가 배치되는 영역에서의 상기 레일부(93)는 끊어지는 구조를 갖는다. 즉, 상기 차단부(97)가 닫히는 부분에서는 상기 차단부(97)의 경로 확보를 위하여 상기 레일부(93)가 끊어지는 구조를 갖는 것이다.Here, since the blocking portion 97 is provided so as to descend downward from the upper part of the rail 93, the rail 93 in the region where the blocking portion 97 is disposed is cut off. That is, in the portion where the blocking portion 97 is closed, the rail portion 93 is cut off in order to secure the path of the blocking portion 97.

그러나 상기 레일부993)가 끊어지는 구조를 갖기 때문에 끊어진 부분의 상기 레일부(93)를 주행하는 차량부의 경우에는 진동에 의한 영향을 심각하게 받을 수 있다. 이에, 끊어진 부분의 상기 레일부(93)를 주행할 경우에는 상기 차량부의 주행 속도를 감속시켜 상기 진동에 대한 영향을 최소화하고 있다. 그러므로 종래의 이송 장치는 상기 레일부(93)가 끊어지는 부분에서 상기 차량부의 주행 속도를 감속시키기 때문에 상기 제조 라인(91, 92)에서 목적물의 이송에 따른 시간이 길어지는 문제점이 있다.However, since the rail portion 993 has a structure in which the rail portion 993 is broken, in the case of the vehicle portion traveling on the rail portion 93 of the broken portion, the influence of the vibration can be seriously affected. Therefore, when the rail portion 93 of the broken portion runs, the running speed of the vehicle portion is reduced to minimize the influence of the vibration. Therefore, since the conventional conveying apparatus decelerates the traveling speed of the vehicle section at the portion where the rail 93 is broken, there is a problem that the time required for conveying the object in the manufacturing lines 91 and 92 becomes long.

본 발명의 목적은 끊어짐이 없는 연속적인 레일부를 구비함으로써 제조 라인에서 목적물의 이송에 따른 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있는 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a transfer device for manufacturing integrated circuit devices, which is capable of relatively shortening the time required for transfer of an object in a manufacturing line by providing a continuous rail part without breakage.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인을 구획하도록 구비되는 벽체; 상기 벽체를 사이에 두고 구획이 이루어지는 상기 제조 라인 사이에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송할 수 있게 상기 벽체 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 개방부; 상기 제조 라인 상부에 구비되면서 상기 개방부를 경유하되 끊어짐 없이 연속적으로 이루어지는 레일부; 및 상기 레일부를 사이에 두고 상기 레일부 상부에서 상기 개방부를 차단하도록 구비되는 제1 차단부, 및 상기 레일부 하부에서 상기 개방부를 차단하도록 구비되는 제2 차단부로 이루어지되, 상기 제1 차단부 및 상기 제2 차단부의 합체에 의해 상기 개방부를 차단하도록 이루어지는 차단부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a transfer device for manufacturing an integrated circuit device, including: a wall configured to partition a manufacturing line for manufacturing an integrated circuit device; An opening portion having a structure in which a part of the wall is opened so as to transfer an object necessary for manufacturing the integrated circuit device between the manufacturing lines in which the partition is formed with the wall interposed therebetween; A rail part provided on the manufacturing line and continuously passing through the opening part without breaking; And a second blocking portion provided to block the opening portion at a lower portion of the rail portion, wherein the first blocking portion and the second blocking portion are provided at both sides of the rail portion, And a blocking portion configured to block the opening portion by incorporation of the second blocking portion.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제조 라인은 클린룸일 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the manufacturing line may be a clean room.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제1 차단부는 상기 레일부 상부에서 상기 레일부 쪽으로 하강하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 제2 차단부는 상기 레일부의 하측부에서 상기 레일부 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, the first blocking portion may be provided so as to have a structure to descend from the upper portion of the rail to the rail portion, To slide toward the rail portion.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제1 차단부는 상기 레일부 쪽으로 하강할 때 상기 레일부의 상면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어질 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the first blocking portion may have a receiving groove capable of receiving the upper surface and both side surfaces of the rail when the tray is lowered toward the rail.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제1 차단부는 상기 레일부의 상측부에서 상기 레일부 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 제2 차단부는 상기 레일부 하부에서 상기 레일부 쪽으로 상승하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the first blocking portion may be configured to have a structure sliding from the upper side of the rail to the rail, And may have a structure of rising from the lower part of the rail to the rail part.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제2 차단부는 상기 레일부 쪽으로 상승할 때 상기 레일부의 하면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어질 수 있다.In the conveying device for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, the second blocking portion may have a receiving groove capable of receiving a lower surface and both side surfaces of the rail when the tray is raised toward the rail.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제1 차단부는 상기 레일부 상부에서 상기 레일부 쪽으로 하강하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 제2 차단부는 상기 레일부 하부에서 상기 레일부 쪽으로 상승하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, the first blocking portion may be provided so as to have a structure to descend from the upper portion of the rail to the rail portion, And may have a structure of ascending from the lower part to the rail part.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제1 차단부가 상기 레일부 쪽으로 하강할 때 상기 레일부의 상면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어지거나, 또는 상기 제2 차단부가 상기 레일부 쪽으로 상승할 때 상기 레일부의 하면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어질 수 있다.In the conveying apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, the conveying device may have a receiving groove capable of receiving the upper surface and both side surfaces of the rail portion when the first blocking portion descends toward the rail, And a receiving groove capable of receiving the lower surface and both side surfaces of the rail portion when the second blocking portion rises toward the rail.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 차단부에 의해 상기 개방부가 밀폐되는 구조를 갖도록 상기 제2 차단부와 마주하는 상기 제1 차단부의 단부에는 가스켓(gasket)이 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, a gasket is formed at an end of the first blocking portion facing the second blocking portion so as to have a structure in which the opening portion is sealed by the blocking portion, .

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 차단부는 불연 재질로 이루어질 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the blocking portion may be made of a non-burnable material.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 차단부는 표면이 세라믹 코팅되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, the blocking portion may have a structure in which the surface is coated with a ceramic.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 레일부를 따라 주행하도록 구비되는 휠부, 및 상기 휠부와 결합되어 상기 휠부의 주행에 의해 상기 제조 라인에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부로 이루어지는 차량부를 더 포함할 수 있다.In the transfer device for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, a wheel unit provided to travel along the rail unit, and a motor unit coupled to the wheel unit to drive the wheel unit to manufacture the integrated circuit device And a body part provided to transport the object necessary for the vehicle.

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치의 경우 레일부의 상부 및 하부 각각에서 레일부를 감싸도록 이루어지는 차단부를 구비한다. 이에, 언급한 제조 라인을 구획하기 위한 영역에 구비되는 레일부의 경우에도 끊어짐 없이 연속적으로 구비할 수 있다. 따라서 본 발명의 이송 장치를 이용할 경우에는 차량부의 주행 속도를 감소시키는 구간을 줄일 수 있다.In the case of a conveying device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention, a cut-off portion for wrapping the rail portion at each of the upper and lower portions of the rail portion is provided. Thus, even in the case of a rail provided in a region for partitioning the manufacturing line, the production line can be continuously provided without interruption. Therefore, when the transfer device of the present invention is used, it is possible to reduce the section in which the running speed of the vehicle section is reduced.

그러므로 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용할 경우 끊어짐이 없는 연속적인 레일부를 구비함으로써 제조 라인에서 목적물의 이송에 따른 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있고, 그 결과 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, when the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention is used, it is possible to relatively shorten the time required for transferring the object in the manufacturing line by providing continuous rail portions without breakage. As a result, Improvement can be expected.

도 1은 종래의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 구비하는 제조 라인을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 이송 장치에 구비되는 차단부를 설명하기 위한 도면들이다.1 is a view for explaining a manufacturing line including a conventional transfer device for manufacturing integrated circuit elements.
2 is a schematic diagram showing a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 3 and 4 are views for explaining a blocking unit included in the conveying apparatus of FIG. 2. FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 3 및 도 4는 도 2의 이송 장치에 구비되는 차단부를 설명하기 위한 도면들이다.FIG. 2 is a schematic structural view showing a conveying apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are views for illustrating a cut-off portion provided in the conveying apparatus of FIG.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하는 제조 라인(41, 43)에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물을 이송하는데 사용하는 것으로써, 상기 제조 라인(41, 43)의 천장 쪽에 배치되도록 구비되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)로 이루어질 수 있다.2 to 4, the transfer device 100 for manufacturing an integrated circuit device of the present invention is used for transferring an object such as a substrate, a mask, and the like in a manufacturing line 41, 43 for manufacturing semiconductor devices, display devices, And an overhead hoist transfer (OHT) arranged to be disposed on the ceiling of the manufacturing lines 41 and 43.

상기 오에이치티로 이루어지는 본 발명의 이송 장치(100)는 레일 어셈블리(11) 및 차량부(21)를 포함할 수 있다. 그리고 본 발명의 이송 장치(100)가 구비되는 상기 제조 라인(41, 43)은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하기 때문에 클린룸으로 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명의 경우 상기 클린룸에 오에이치티로 이루어지는 이송 장치(100)를 구비함으로써 클린룸의 공간 활용도를 보다 극대화할 수 있는 이점이 있다. 이는, 상기 이송 장치(100)를 상기 클린룸의 천장 쪽에 배치되도록 구비시킴으로써 상기 클린룸의 바닥 쪽의 공간을 보다 경제적으로 활용할 수 있기 때문이다.The conveying apparatus 100 of the present invention comprising the above-mentioned oillette may include a rail assembly 11 and a vehicle section 21. [ The manufacturing lines 41 and 43, in which the transfer device 100 of the present invention is provided, can be made into a clean room because semiconductor devices, display devices and the like are manufactured. Accordingly, in the present invention, since the clean room has the transfer device 100 made of ouch tea, there is an advantage that the space utilization of the clean room can be maximized. This is because the space on the bottom side of the clean room can be more economically utilized by providing the transfer device 100 on the ceiling of the clean room.

상기 레일 어셈블리(11)는 상기 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인(41, 43) 내의 천장 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 차량부(21)는 상기 목적물을 상기 제조 라인(41, 43) 내에서 이송할 수 있도록 상기 레일 어셈블리(11)를 따라 주행 가능하게 결합되도록 구비될 수 있다.The rail assembly 11 may be disposed on the ceiling within the manufacturing lines 41 and 43 for manufacturing the integrated circuit device. The vehicle 21 may be provided so as to be able to travel along the rail assembly 11 so as to be able to transport the object within the production lines 41 and 43.

특히, 상기 레일 어셈블리(11)는 상기 차량부(21)가 주행할 수 있는 레일부(13) 및 상기 천장 쪽에 상기 레일부(13)가 배치되도록 지지하는 레일 지지부(15)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 레일 어셈블리(11)는 상기 레일부(13) 및 상기 레일부(13)를 상기 클린룸의 천장에 매달아 둘 수 있는 상기 레일 지지부(15)로 이루어지는 것이다. 그리고 상기 레일부(13)의 경우에는 두 개의 라인 구조를 갖는 궤도 레일로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 레일부(13)는 직선 구조, 곡선 구조 및 경사 구조가 혼재하도록 구비될 수 있고, 상기 클린룸 내의 레이아웃에 따라 다양한 경로로 이루어지도록 구비될 수 있다.Particularly, the rail assembly 11 may include a rail portion 13 on which the vehicle portion 21 can run and a rail support portion 15 for supporting the rail portion 13 on the ceiling side . That is, the rail assembly 11 comprises the rail support portion 15 capable of hanging the rail portion 13 and the rail portion 13 on the ceiling of the clean room. And in the case of the rail part 13, a rail having two line structures. In addition, the rail part 13 may be formed to have a linear structure, a curved structure and an inclined structure, and may be provided in various paths according to the layout in the clean room.

상기 차량부(21)는 상기 레일부(13)를 따라 주행하는 휠부(23) 및 상기 휠부(23)의 주행에 의해 상기 목적물을 이송하도록 상기 휠부(23)와 결합되는 몸체부(29)를 포함할 수 있다.The vehicle section 21 includes a wheel section 23 running along the rail section 13 and a body section 29 coupled with the wheel section 23 for traveling the object by traveling of the wheel section 23 .

상기 휠부(23)는 상기 레일부(13)를 따라 주행하는 것과 함께 상기 차량부(21)가 상기 레일부(13)를 따라 주행할 때 상기 레일부(13)로부터 상기 차량부(21)가 이탈하는 것을 방지하는 가이드용 휠(25)로 이루어질 수 있다. 상기 가이드용 휠(25)은 상기 레일부(13) 안쪽에서 상기 차량부(21)의 측면을 지지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The wheel portion 23 travels along the rail portion 13 and the vehicle portion 21 is moved away from the rail portion 13 when the vehicle portion 21 travels along the rail portion 13 And a guide wheel (25) for preventing detachment. The guide wheel 25 may be provided to support the side surface of the vehicle section 21 from the inside of the rail part 13. [

상기 몸체부(29)는 언급한 바와 같이 상기 휠부(23)와 결합되어 상기 휠부(23)의 주행에 따라 함께 주행하는 것으로써, 상기 목적물의 이송시 상기 목적물이 적재되는 부재로 이해할 수 있다. 따라서 상기 몸체부(29)는 상기 목적물을 주로 파지하는 구조로 상기 목적물을 적재하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 몸체부(29)에는 상기 목적물을 파지하는 파지 부재(도시되지 않음) 및 상기 파지 부재를 상승 및 하강시키는 구동 부재(도시되지 않음) 등이 구비될 수 있다. 아울러, 상기 몸체부(29)에는 상기 이송 장치(100)를 전반적으로 제어하는 제어부(도시되지 않음) 등이 위치할 수 있다.The body portion 29 is coupled with the wheel portion 23 and travels along with the wheel portion 23 so that the object portion can be understood as a member on which the object is loaded when the object is transported. Accordingly, the body portion 29 may be provided to load the object with a structure mainly holding the object. The body 29 may include a gripping member (not shown) for holding the object and a driving member (not shown) for moving the gripping member up and down. In addition, a control unit (not shown) for controlling the conveying device 100 may be disposed on the body 29.

또한, 상기 차량부(21)는 상기 휠부(23)를 구동시키는 구동부(27)를 더 구비할 수 있다. 이때, 상기 구동부(27)는 구동력을 제공하는 구동 모터(도시되지 않음), 상기 구동 모터의 구동력을 상기 휠부(23)로 전달하는 구동축(도시되지 않음), 상기 구동부(27)의 구동 속도를 조절하는 속도 조절부(도시되지 않음) 등으로 이루어질 수 있다. 상기 속도 조절부는 주로 기어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The vehicle section 21 may further include a driving section 27 for driving the wheel section 23. [ The driving unit 27 includes a driving motor (not shown) for providing a driving force, a driving shaft (not shown) for transmitting the driving force of the driving motor to the wheel unit 23, And a speed adjusting unit (not shown) for adjusting the speed. The speed adjuster may be configured to have a gear structure.

이에, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 레일 어셈블리(11) 및 상기 차량부(21)를 구비함으로써, 상기 클린룸으로 이루어지는 제조 라인(41, 43)에서 상기 목적물을 안정적으로 이송할 수 있는 것이다.The conveying apparatus 100 according to the present invention is provided with the rail assembly 11 and the vehicle unit 21 so that the object can be stably conveyed on the production lines 41 and 43 made of the clean room will be.

그리고 본 발명의 이송 장치(100)가 구비되는 제조 라인(41, 43)의 경우에는 도 4에서와 같이 벽체(45)를 사이에 두고 구획되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다. 여기서 ,상기 제조 라인(41, 43)을 구획하는 것은 화재 등과 같은 비상 상황이 발생할 경우 화재가 발생하지 않은 부분을 보호하기 위함이다.In the case of the production lines 41 and 43 equipped with the transfer device 100 of the present invention, it may be structured so as to be partitioned with the wall 45 interposed therebetween as shown in FIG. Here, the partitioning of the production lines 41 and 43 is intended to protect a portion where fire does not occur in the event of an emergency such as a fire.

이에 따라 본 발명의 이송 장치(100)는 집적회로 소자를 제조하는 상기 제조 라인(41, 43)을 구획하도록 구비되는 상기 벽체(45)를 포함할 수 있고, 아울러 상기 벽체(45)를 사이에 두고 구획이 이루어지는 상기 제조 라인(41, 43) 사이에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송할 수 있게 상기 벽체(45) 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 개방부(37)를 포함할 수 있다.Accordingly, the transfer device 100 of the present invention can include the wall 45 that is configured to partition the manufacturing lines 41, 43 for manufacturing integrated circuit devices, and can also include the wall 45 And an opening (37) provided to have a structure in which a part of the wall (45) is opened so as to transfer an object necessary for manufacturing the integrated circuit device between the manufacturing lines (41, 43) .

따라서 상기 차량부(21)가 상기 벽체(45)에 의해 구획되어 있는 상기 제조 라인(41, 43) 사이를 상기 개방부(37)를 통하여 지나다닐 수 있는 것이다.The vehicle section 21 can pass between the manufacturing lines 41 and 43 partitioned by the wall 45 through the opening section 37. [

이때, 상기 벽체(45)에 구비되는 상기 개방부(37)를 경유하는 상기 레일부(13)의 경우에는 종래와는 달리 끊어짐이 없이 연속적으로 구비되도록 이루어질 수 있다. 즉, 상기 레일부(13)는 상기 제조 라인(41, 43) 상부에 구비되면서 상기 개방부(37)를 경유하되 끊어짐 없이 연속적으로 이루어질 수 있는 것이다.At this time, the rail part 13 passing through the opening part 37 provided in the wall body 45 may be continuously provided without being cut off unlike the conventional case. That is, the rails 13 are provided on the manufacturing lines 41 and 43 and can be continuously connected to the openings 37 without interruption.

그리고 상기 개방부(37)는 차단부(31)에 의해 차단되는 구조로 이루어진다. 즉, 본 발명에서의 이송 장치(100)의 경우 상기 차단부(31)를 이용하여 상기 개방부(37)를 차단함으로써 상기 벽체(45)에 의해 상기 제조 라인(41, 43) 사이가 완전히 차단되고, 그 결과 상기 제조 라인(41, 43)이 완전하게 분리 구획될 수 있는 것이다.The opening portion 37 is blocked by the blocking portion 31. That is, in the case of the transfer device 100 according to the present invention, the opening portion 37 is blocked by using the blocking portion 31 so that the wall 45 completely blocks the gap between the manufacturing lines 41 and 43 So that the production lines 41 and 43 can be completely separated.

본 발명에서의 상기 차단부(31)는 제1 차단부(31a) 및 제2 차단부(31b)로 이루어질 수 있다. 상기 제1 차단부(31a)는 상기 레일부(13)를 사이에 두고 상기 레일부(13) 상부에서 상기 개방부(37)를 차단하도록 구비될 수 있고, 제2 차단부(31b)는 상기 레일부(13) 하부에서 상기 개방부(37)를 차단하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 차단부(31)는 상기 제1 차단부(31a) 및 상기 제2 차단부(31b)의 합체에 의해 상기 개방부(37)를 차단하도록 이루어질 수 있는 것이다.The blocking portion 31 of the present invention may include a first blocking portion 31a and a second blocking portion 31b. The first blocking portion 31a may be provided to block the opening portion 37 above the rail portion 13 with the rail portion 13 interposed therebetween, And may block the opening portion 37 from the lower portion of the rail portion 13. That is, the blocking portion 31 may be configured to block the opening portion 37 by combining the first blocking portion 31a and the second blocking portion 31b.

그리고 본 발명의 이송 장치(100)에서의 상기 차단부(37)의 경우에는 다양한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the case of the blocking unit 37 of the transfer device 100 of the present invention, the blocking unit 37 may have various structures.

먼저 도 3 및 도 3에서와 같이, 상기 제1 차단부(31a)는 상기 레일부(13) 상부에서 상기 레일부(13) 쪽으로 하강하는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 제2 차단부(31b)는 상기 레일부(13)의 하측부에서 상기 레일부(13) 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 제1 차단부(31a) 및 상기 제2 차단부(31b)가 합체하는 구조를 갖도록 상기 제1 차단부(31a)가 상기 레일부(13) 쪽으로 하강하여 상기 레일부(13) 상부 영역을 차단하고, 상기 제2 차단부(31b)가 상기 레일부(13) 쪽으로 슬라이딩하여 상기 레일부(13) 하부 영역을 차단하는 것이다.3 and 3, the first blocking portion 31a is configured to descend from the upper portion of the rail portion 13 to the rail portion 13, May slide to the rail part (13) from the lower part of the rail part (13). That is, the first blocking portion 31a descends toward the rail portion 13 so as to have a structure in which the first blocking portion 31a and the second blocking portion 31b are combined, And the second blocking portion 31b slides toward the rail portion 13 to block the lower region of the rail portion 13.

여기서, 상기 레일부(13) 쪽으로 하강할 때 상기 레일부(13)의 상면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈(35)을 상기 제1 차단부(31a)에 구비할 수 있다. 이에, 상기 레일부(13)가 끊어짐 없이 구비되어도 상기 제1 차단부(31a) 및 상기 제2 차단부(31b)로 이루어지는 본 발명의 상기 차단부(31)에 의해 상기 벽체(45)에 구비되는 상기 개방부(37)를 충분하게 차단시킬 수 있는 것이다.Here, the first blocking portion 31a may have a receiving groove 35 capable of receiving the upper surface and both side surfaces of the rail portion 13 when descending toward the rail portion 13. Even if the rail part 13 is provided without breakage, it is possible to prevent the wall 45 from being damaged by the blocking part 31 of the present invention including the first blocking part 31a and the second blocking part 31b. The opening 37 can be sufficiently blocked.

또한, 상기 차단부(31)에서 상기 제1 차단부(31a)의 단부에는 가스켓(gasket)(33)이 구비될 수 있다. 즉, 상기 제2 차단부(31b)와 마주하는 상기 제1 차단부(31a)의 단부에는 상기 가스켓(33)이 구비될 수 있는 것이다. 이에, 상기 차단부(31)에 의해 상기 개방부(37)가 밀폐되는 구조를 가질 수 있는 것이다. 여기서, 상기 가스켓(33)의 경우 상기 제1 차단부(31a)의 단부에 구비되는 것에 한정하여 설명하지만, 경우에 따라서는 상기 제2 차단부(31b)의 단부 또는 상기 제1 차단부(31a) 및 상기 제2 차단부(31b) 모두에 구비할 수도 있다.A gasket 33 may be provided at the end of the first blocking portion 31a in the blocking portion 31. [ That is, the gasket 33 may be provided at the end of the first blocking portion 31a facing the second blocking portion 31b. Therefore, the opening portion 37 can be closed by the blocking portion 31. As shown in FIG. In the case of the gasket 33, the gasket 33 is provided at the end of the first blocking portion 31a. However, the gasket 33 may be provided at the end of the second blocking portion 31b or the first blocking portion 31a And the second cut-off portion 31b.

아울러, 상기 차단부(31)는 불연 재질로 이루어질 수 있고, 특히 상기 차단부(31)는 표면이 세라믹 코팅되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 차단부(31)는 화재 등과 같은 비상 상황에 충분한 대비가 가능한 것이다.In addition, the blocking portion 31 may be made of a non-burnable material, and in particular, the blocking portion 31 may have a structure in which a surface thereof is coated with a ceramic. Therefore, the blocking portion 31 is capable of sufficiently preparing for an emergency situation such as a fire or the like.

그리고 도시하지는 않았지만, 상기 제1 차단부는 상기 레일부의 상측부에서 상기 레일부 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 제2 차단부는 상기 레일부 하부에서 상기 레일부 쪽으로 상승하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 제2 차단부는 상기 레일부 쪽으로 상승할 때 상기 레일부의 하면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어질 수 있다.Although not shown, the first blocking portion may be configured to have a structure that slides from an upper portion of the rail portion to the rail portion, and the second blocking portion may have a structure of rising from the lower portion of the rail to the rail portion . At this time, the second blocking portion may have a receiving groove capable of receiving a lower surface and both side surfaces of the rail portion when the second blocking portion rises toward the rail.

또한 도시하지는 않았지만, 상기 제1 차단부는 상기 레일부 상부에서 상기 레일부 쪽으로 하강하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 제2 차단부는 상기 레일부 하부에서 상기 레일부 쪽으로 상승하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 제1 차단부가 상기 레일부 쪽으로 하강할 때 상기 레일부의 상면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어지거나, 또는 상기 제2 차단부가 상기 레일부 쪽으로 상승할 때 상기 레일부의 하면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어질 수 있다.Also, although not shown, the first blocking portion may be provided to have a structure to descend from the upper portion of the rail to the rail portion, and the second blocking portion may have a structure of rising from the lower portion of the rail to the rail portion . When the first blocking portion descends toward the rail, the receiving portion may have a receiving groove capable of receiving an upper surface and both side surfaces of the rail portion. Alternatively, when the second blocking portion rises toward the rail, And a receiving groove capable of receiving both side surfaces.

이와 같이, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)의 경우 상기 레일부(13)의 상부 및 하부 각각에서 상기 레일부(13)를 감싸도록 이루어지는 상기 차단부(31)를 구비한다. 이에, 언급한 제조 라인(41, 43)을 구획하기 위한 영역인 상기 벽체(45) 및 상기 개방부(37) 그리고 상기 차단부(31)가 배치되는 영역에서의 상기 레일부(13)의 경우에도 끊어짐 없이 연속적으로 구비할 수 있다.As described above, the transfer device 100 for manufacturing an integrated circuit device of the present invention includes the cut-off portions 31 that surround the rails 13 at the upper and lower portions of the rail portion 13, respectively. Thus, in the case of the rail part 13 in the area where the wall 45, the opening part 37 and the blocking part 31 are disposed, which is an area for partitioning the manufacturing lines 41 and 43 mentioned above, Can be continuously provided without interruption.

따라서 본 발명의 이송 장치(100)를 이용할 경우에는 상기 레일부(13)가 끊어짐 없이 연속적으로 구비될 수 있기 때문에 상기 차량부(21)의 주행 속도를 감속시키는 구간을 줄일 수 있다.Therefore, when the conveying apparatus 100 of the present invention is used, the rail section 13 can be continuously provided without breaking, so that the section for decelerating the running speed of the vehicle section 21 can be reduced.

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용할 경우 끊어짐이 없는 연속적인 레일부를 구비함으로써 제조 라인에서 목적물의 이송에 따른 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있다.When the conveying device for manufacturing integrated circuit elements of the present invention is used, the continuous rail portion without breakage can reduce the time required for conveying the object in the manufacturing line.

이에, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 통하여 집적회로 소자의 품질 경쟁력, 가격 경쟁력 등을 확보할 수 있을 것이다.Accordingly, the transfer device for manufacturing an integrated circuit device of the present invention can secure the quality and cost competitiveness of the integrated circuit device by improving the productivity according to the manufacture of the integrated circuit device.

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 차량부가 레일부의 직선 구간에서 곡선 구간으로 진입하여도 미끄러지지 않기 때문에 집적회로 제조시 목적물을 안정적으로 운행할 수 있고, 그 결과 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.The transfer device for manufacturing an integrated circuit device of the present invention can stably operate an object in manufacturing an integrated circuit because the vehicle does not slip even when entering a curve section in a straight section of the rail section, Can be expected.

또한, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 파티클의 발생을 최소화할 수 있기 때문에 집적회로의 제조에 따른 신뢰성의 향상도 기대할 수 있다.Further, since the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention can minimize the generation of particles, it is expected that the reliability of manufacture of the integrated circuit can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 레일 어셈블리 13 : 레일
15 : 레일 지지부 21 : 차량부
23 : 휠부 25 : 가이드용 휠
27 : 구동부 29 : 몸체부
31 : 차단부 31a : 제1 차단부
31b : 제2 차단부 33 : 가스켓
35 : 수용홈 37 : 개방부
41, 43 : 제조 라인 45 : 벽체
100 : 이송 장치11: rail assembly 13: rail
15: rail support portion 21:
23: Wheel 25: Guide wheel
27: driving part 29:
31: blocking portion 31a: first blocking portion
31b: second blocking portion 33: gasket
35: receiving groove 37: opening
41, 43: Manufacturing line 45: Wall
100: Feeding device

Claims (12)

집적회로 소자를 제조하는 제조 라인을 구획하도록 구비되는 벽체;
상기 벽체를 사이에 두고 구획이 이루어지는 상기 제조 라인 사이에서 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송할 수 있게 상기 벽체 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 개방부;
상기 제조 라인 상부에 구비되면서 상기 개방부를 경유하되 끊어짐 없이 연속적으로 이루어지는 레일부; 및
상기 레일부를 사이에 두고 상기 레일부 상부에서 상기 개방부를 차단하도록 구비되는 제1 차단부, 및 상기 레일부 하부에서 상기 개방부를 차단하도록 구비되는 제2 차단부로 이루어지되, 상기 제1 차단부 및 상기 제2 차단부의 합체에 의해 상기 개방부를 차단하도록 이루어지는 차단부를 포함하고,
상기 레일부는 상기 제조 라인의 천장 쪽에 배치되고, 상기 목적물을 적재하는 몸체부는 상기 레일부의 아래 쪽에 위치하여 이송되도록 구비되고, 상기 차단부는 불연 재질로 이루어지면서 그 표면이 세라믹 코팅되는 구조를 갖도록 구비되고,
상기 제1 차단부는 상기 레일부 상부에서 상기 레일부 쪽으로 하강하는 구조를 갖도록 구비되고 상기 제2 차단부는 상기 레일부의 하측부에서 상기 레일부 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.A wall configured to define a manufacturing line for manufacturing an integrated circuit device;
An opening portion having a structure in which a part of the wall is opened so as to transfer an object necessary for manufacturing the integrated circuit device between the manufacturing lines in which the partition is formed with the wall interposed therebetween;
A rail part provided on the manufacturing line and continuously passing through the opening part without breaking; And
A first blocking portion provided to block the opening portion at the upper portion of the rail with the rail portion interposed therebetween and a second blocking portion provided at a lower portion of the rail to block the opening portion, And a blocking portion configured to block the opening portion by incorporation of the second blocking portion,
The rail portion is disposed on the ceiling side of the production line, and the body portion for loading the object is disposed to be positioned below the rail portion. The blocking portion is formed of a non-burnable material and has a ceramic coated surface And,
Wherein the first blocking portion is configured to have a structure to descend from the upper portion of the rail to the rail portion and the second blocking portion has a structure to slide from the lower portion of the rail portion toward the rail portion. Feeding device for device manufacturing. 제1 항에 있어서, 상기 제조 라인은 클린룸인 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.2. The transfer device according to claim 1, wherein the manufacturing line is a clean room. 삭제delete 제1 항에 있어서, 상기 제1 차단부는 상기 레일부 상부에서 상기 레일부 쪽으로 하강하는 구조를 갖도록 구비되고 상기 제2 차단부는 상기 레일부의 하측부에서 상기 레일부 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비될 때 상기 제1 차단부에 상기 레일부의 상면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치. The portable terminal according to claim 1, wherein the first blocking portion has a structure to descend from the upper portion of the rail to the rail portion, and the second blocking portion has a structure to slide from the lower portion of the rail portion to the rail portion Wherein the first blocking portion has an accommodating groove capable of accommodating an upper surface and both side surfaces of the rail portion . 삭제delete 제1 항에 있어서, 상기 제1 차단부는 상기 레일부의 상측부에서 상기 레일부 쪽으로 슬라이딩하는 구조를 갖도록 구비되고 상기 제2 차단부는 상기 레일부 하부에서 상기 레일부 쪽으로 상승하는 구조를 갖도록 구비될 때 상기 제2 차단부에 상기 레일부의 하면 및 양측면을 수용할 수 있는 수용홈을 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치. The portable terminal according to claim 1, wherein the first blocking portion is configured to have a structure sliding from an upper side portion of the rail portion to the rail portion, and the second blocking portion is configured to have a structure of rising from a lower portion of the rail portion toward the rail portion Wherein the second blocking portion has a receiving groove capable of receiving a lower surface and both side surfaces of the rail portion . 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서, 상기 차단부에 의해 상기 개방부가 밀폐되는 구조를 갖도록 상기 제2 차단부와 마주하는 상기 제1 차단부의 단부에는 가스켓(gasket)이 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.2. The integrated circuit device manufacturing method according to claim 1, wherein a gasket is provided at an end of the first cut-off portion facing the second cut-off portion so as to have a structure in which the cut- Device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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