KR20200067002A - Apparatus for transporting carrier, and system for transporting carrier with the apparatus - Google Patents

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서은호
한태희
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세메스 주식회사
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Abstract

Provided are a carrier transport device and a carrier transport system having the same, in which an inner wheel and an outer wheel constituting a guide wheel are formed in a concavo-convex structure. To this end, the carrier transport device comprises: a driving wheel which is moved on a pair of rails installed at the ceiling; a driving control unit which controls the driving wheel installed on both side surfaces; a body unit which is coupled to the lower portion of the driving control unit, and transports after gripping a carrier in which a wafer is stored; and a guide wheel which is coupled to the lower surface of the driving control unit from the driving wheel in a vertical direction, and has an inner core formed in a wheel shape and having at least one between a concave unit and a convex unit on the circumferential surface, and an outer skin member formed such that the inner surface may be engaged with the shape of the circumferential surface of the inner core.

Description

캐리어 이송 장치 및 이를 구비하는 캐리어 이송 시스템 {Apparatus for transporting carrier, and system for transporting carrier with the apparatus}A carrier transport device and a carrier transport system including the same {Apparatus for transporting carrier, and system for transporting carrier with the apparatus}

본 발명은 캐리어를 이송하는 장치 및 이를 구비하는 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자를 제조하는 제조 라인에서 캐리어를 이송하는 장치 및 이를 구비하는 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for transporting a carrier and a system having the same. More specifically, the present invention relates to an apparatus for transporting a carrier in a manufacturing line for manufacturing a semiconductor device and a system having the same.

웨이퍼(wafer)는 제조 라인을 구비한 클린 룸(clean room) 내에서 다양한 공정을 거쳐 제조된다. 이때 웨이퍼는 캐리어(carrier)에 수납되어, 클린 룸의 천장에 배치되는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치를 통해 각각의 공정이 수행되는 설비로 이송된다.Wafers are manufactured through various processes in a clean room equipped with a manufacturing line. At this time, the wafer is stored in a carrier, and is transferred to a facility where each process is performed through an overhead hoist transport (OHT) device disposed on the ceiling of a clean room.

한국공개특허 제10-2018-0061542호 (공개일: 2018.06.08.)Korean Patent Publication No. 10-2018-0061542 (Publication date: 2018.06.08.)

OHT 장치는 웨이퍼가 수납된 캐리어를 각각의 공정이 수행되는 설비로 운반할 때, 레일로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해, 가이드 휠(guide wheel)을 구비하고 있다.The OHT device is equipped with a guide wheel to prevent the wafer from being detached from the rail when the carrier is transported to a facility where each process is performed.

가이드 휠은 금속 소재의 내측 휠과 고무 소재의 외측 휠로 이루어진다. 그런데 OHT 장치가 레일 상에서 분기 지점을 통과할 때, 가이드 휠에 과도한 하중 및 편하중이 부과되어, 외측 휠이 내측 휠로부터 박리(剝離)되는 현상이 발생할 수 있다.The guide wheel consists of a metal inner wheel and a rubber outer wheel. However, when the OHT device passes the branch point on the rail, excessive load and unloading force are imposed on the guide wheel, and the outer wheel may peel off from the inner wheel.

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 가이드 휠을 구성하는 내측 휠과 외측 휠을 요철(凹凸)형 구조로 형성하는 캐리어 이송 장치 및 이를 구비하는 캐리어 이송 시스템을 제공하는 것이다.The problem to be solved in the present invention is to provide a carrier transport device and a carrier transport system having the same, which form an inner wheel and an outer wheel constituting a guide wheel in an uneven structure.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 캐리어 이송 장치의 일 면(aspect)은, 천장에 설치되는 한 쌍의 레일 상에서 이동하는 구동 휠; 양측면에 설치되는 상기 구동 휠을 제어하는 구동 제어부; 상기 구동 제어부의 하부에 결합되며, 웨이퍼가 수납되는 캐리어를 파지(gripping)하여 이송시키는 몸체부; 및 상기 구동 휠에 수직 방향으로 상기 구동 제어부의 하부면에 결합되며, 휠 형태로 형성되어 둘레면에 요부(凹部)와 철부(凸部) 중 적어도 하나가 형성되는 내측 코어, 및 내측면이 상기 내측 코어의 둘레면 형상에 맞물리도록 형성되는 외피 부재를 구비하는 가이드 휠을 포함한다.One aspect (aspect) of the carrier transport device of the present invention for achieving the above object, a drive wheel moving on a pair of rails installed on the ceiling; A driving control unit for controlling the driving wheels installed on both sides; A body part coupled to a lower portion of the driving control part and gripping and transporting a carrier in which the wafer is accommodated; And an inner core coupled to a lower surface of the driving control unit in a direction perpendicular to the driving wheel, and formed in a wheel shape to form at least one of a concave portion and an iron portion on a circumferential surface, and an inner surface. And a guide wheel having a shell member formed to engage a shape of the circumferential surface of the inner core.

상기 내측 코어의 둘레면에 상기 요부가 형성되는 경우, 상기 요부는 상기 내측 코어의 둘레면 중앙에 형성되거나, 상기 내측 코어의 둘레면 일측에 치우쳐 형성될 수 있다.When the concave portion is formed on the circumferential surface of the inner core, the concave portion may be formed at the center of the circumferential surface of the inner core, or may be biased to one side of the circumferential surface of the inner core.

상기 요부가 상기 내측 코어의 둘레면 일측에 치우쳐 형성되는 경우, 상기 가이드 휠은 상기 요부가 상방을 향하도록 하여 상기 구동 제어부에 결합될 수 있다.When the recessed part is formed on one side of the circumferential surface of the inner core, the guide wheel may be coupled to the driving control unit such that the recessed part faces upward.

상기 내측 코어의 둘레면에 상기 요부와 상기 철부가 함께 형성되는 경우, 상기 요부와 상기 철부는 상기 내측 코어의 둘레면에 교대로 형성될 수 있다.When the concave portion and the convex portion are formed on the circumferential surface of the inner core, the concave portion and the convex portion may be alternately formed on the circumferential surface of the inner core.

상기 외피 부재는 볼록한 형상의 외형을 가질 수 있다.The outer shell member may have a convex outer shape.

상기 외피 부재는 상기 내측 코어의 둘레면에 본딩되어 접합될 수 있다.The outer shell member may be bonded to the inner core by bonding to the circumferential surface.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 캐리어 이송 시스템의 일 면은, 천장에 설치되는 레일 지지부; 상기 레일 지지부에 의해 지지되는 한 쌍의 레일; 및 상기 레일을 따라 주행하여 웨이퍼가 수납되는 캐리어를 이송시키는 캐리어 이송 장치를 포함하며, 상기 캐리어 이송 장치는, 상기 레일 상에서 이동하는 구동 휠; 양측면에 설치되는 상기 구동 휠을 제어하는 구동 제어부; 상기 구동 제어부의 하부에 결합되며, 상기 캐리어를 파지(gripping)하여 이송시키는 몸체부; 및 상기 구동 휠에 수직 방향으로 상기 구동 제어부의 하부면에 설치되며, 휠 형태로 형성되어 둘레면에 요부(凹部)와 철부(凸部) 중 적어도 하나가 형성되는 내측 코어와 내측면이 상기 내측 코어의 둘레면 형상에 맞물리도록 형성되는 외피 부재를 구비하는 가이드 휠을 포함한다.One side of the carrier transport system of the present invention for achieving the above object is a rail support installed on the ceiling; A pair of rails supported by the rail support; And a carrier transport device that travels along the rail to transport a carrier in which the wafer is accommodated, wherein the carrier transport device includes: a drive wheel moving on the rail; A driving control unit for controlling the driving wheels installed on both sides; A body part coupled to a lower portion of the driving control part and gripping and transporting the carrier; And an inner core and an inner surface formed on a lower surface of the driving control unit in a direction perpendicular to the driving wheel and formed in a wheel shape to form at least one of a concave portion and an iron portion on a circumferential surface. And a guide wheel having a shell member formed to mesh with the shape of the circumferential surface of the core.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 구비하는 캐리어 이송 시스템을 개략적으로 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 가이드 휠이 캐리어 이송 장치에 결합되는 모습을 보여주는 참고도이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.
도 10은 종래 가이드 휠의 박리 가능성에 대한 실험 결과를 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명에 따른 가이드 휠의 박리 가능성에 대한 실험 결과를 보여주는 도면이다.1 is a front view schematically showing a carrier transport system having a carrier transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the first embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a guide wheel provided in the carrier transport device according to the first embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the second embodiment of the present invention.
6 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the third embodiment of the present invention.
7 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.
8 is a reference view showing a state in which the guide wheel according to the fourth embodiment of the present invention is coupled to a carrier transport device.
9 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the fifth embodiment of the present invention.
10 is a view showing the experimental results for the possibility of peeling of the conventional guide wheel.
11 is a view showing the experimental results for the possibility of peeling of the guide wheel according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will be clarified with reference to embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only the embodiments allow the publication of the present invention to be complete, and general knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the holder of the scope of the invention, and the invention is only defined by the scope of the claims. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.Elements or layers referred to as "on" or "on" of another device or layer are not only directly above the other device or layer, but also when intervening another layer or other device in the middle. All inclusive. On the other hand, when a device is referred to as “directly on” or “directly above”, it indicates that no other device or layer is interposed therebetween.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.The spatially relative terms “below”, “beneath”, “lower”, “above”, “upper”, etc., are as shown in the figure. It can be used to easily describe the correlation of a device or components with other devices or components. The spatially relative terms should be understood as terms including different directions of the device in use or operation in addition to the directions shown in the drawings. For example, if the device shown in the figure is turned over, a device described as "below" or "beneath" the other device may be placed "above" the other device. Accordingly, the exemplary term “below” can include both the directions below and above. The device can also be oriented in other directions, so that spatially relative terms can be interpreted according to the orientation.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, components and/or sections, it goes without saying that these elements, components and/or sections are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, component or section from another element, component or section. Therefore, it goes without saying that the first element, first component or first section mentioned below may be a second element, second component or second section within the technical spirit of the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In the present specification, the singular form also includes the plural form unless otherwise specified in the phrase. As used herein, "comprises" and/or "comprising" refers to the elements, steps, operations and/or elements mentioned above, the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements. Or do not exclude additions.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used as meanings commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. In addition, terms defined in the commonly used dictionary are not ideally or excessively interpreted unless specifically defined.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numbers regardless of reference numerals, and overlapped therewith. The description will be omitted.

본 발명은 가이드 휠을 구성하는 내측 휠과 외측 휠을 요철(凹凸)형 구조로 형성하는 캐리어 이송 장치 및 이를 구비하는 캐리어 이송 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 이를 통해 가이드 휠에 과도한 하중이나 편하중이 가해지더라도 외측 휠이 내측 휠로부터 박리(剝離)되는 것을 방지할 수 있다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다.The present invention relates to a carrier transport apparatus for forming an inner wheel and an outer wheel constituting a guide wheel in an uneven structure and a carrier transport system having the same. The present invention can prevent the outer wheel from being peeled from the inner wheel even if an excessive load or an uneven load is applied to the guide wheel. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings and the like.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 캐리어 이송 장치를 구비하는 캐리어 이송 시스템을 개략적으로 도시한 정면도이다.1 is a front view schematically showing a carrier transport system having a carrier transport device according to an embodiment of the present invention.

도 1에 따르면, 캐리어 이송 시스템(100)은 레일(rail; 110), 레일 지지부(120) 및 캐리어 이송 장치(130)를 포함하여 구성될 수 있다.According to FIG. 1, the carrier transport system 100 may include a rail (110), a rail support unit 120, and a carrier transport device 130.

레일(110)은 캐리어 이송 장치(130)가 이동할 수 있는 경로를 제공하는 것이다. 이러한 레일(110)은 반도체 소자(예를 들어, 웨이퍼(wafer))를 제조하는 제조 라인이 구비되는 클린 룸(clean room)의 천장(ceiling)에 설치될 수 있다.The rail 110 is to provide a path through which the carrier transport device 130 can move. The rail 110 may be installed on a ceiling of a clean room equipped with a manufacturing line for manufacturing semiconductor devices (eg, wafers).

클린 룸의 천장에는 레일(110)과 함께 레일 지지부(120)가 설치될 수 있다. 이때 레일(110)은 클린 룸의 천장에 고정되는 레일 지지부(120)의 양측에 각각 결합되어 한 쌍으로 구비될 수 있다.A rail support 120 may be installed along with the rail 110 on the ceiling of the clean room. At this time, the rail 110 may be provided as a pair of each coupled to both sides of the rail support 120 fixed to the ceiling of the clean room.

레일(110)은 클린 룸 내의 레이아웃에 따라 직선 구간, 곡선 구간, 경사 구간, 분기 구간 등 다양한 형태의 구간이 혼재되어 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 레일(110)은 단일 형태의 구간(예를 들어, 직선 구간)만으로 형성되는 것도 가능하다.The rail 110 may be formed by mixing various types of sections such as a straight section, a curved section, a slope section, and a branch section according to the layout in the clean room. However, the present embodiment is not limited thereto. The rail 110 may be formed of only a single type of section (eg, a straight section).

레일 지지부(120)는 클린 룸의 천장에 배치되어 레일(110)을 지지하는 것이다. 이러한 레일 지지부(120)는 캡(cap) 형태, 예를 들어 ∩ 형태 또는 Π 형태로 형성될 수 있다.The rail support unit 120 is disposed on the ceiling of the clean room to support the rail 110. The rail support part 120 may be formed in a cap shape, for example, a ∩ shape or a Π shape.

캐리어 이송 장치(130)는 클린 룸 내에서 웨이퍼가 수납된 캐리어(carrier; 140)를 반도체 소자 제조 공정이 수행되는 각종 설비로 이송하는 것이다. 이러한 캐리어 이송 장치(130)는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치로 구현될 수 있다.The carrier transfer device 130 transfers a carrier 140 in which a wafer is accommodated in a clean room to various facilities in which a semiconductor device manufacturing process is performed. The carrier transport device 130 may be implemented as an overhead hoist transport (OHT) device.

캐리어 이송 장치(130)는 몸체부(210), 구동 제어부(220), 구동 휠(driving wheel; 230) 및 가이드 휠(guide wheel; 240)을 포함하여 구성될 수 있다.The carrier transport device 130 may include a body part 210, a driving control unit 220, a driving wheel 230, and a guide wheel 240.

몸체부(210)는 캐리어(140)를 파지(gripping)한 후 목적지(예를 들어, 다음 공정이 수행되는 설비)까지 이송시키는 것이다. 이러한 몸체부(210)는 구동 제어부(220)의 하부에 설치되어, 파지부(211)와 승강부(212)를 포함하여 구성될 수 있다.The body 210 is to grip the carrier 140 and then transport it to a destination (for example, a facility where the next process is performed). The body portion 210 is installed under the drive control unit 220, it may be configured to include a grip portion 211 and the lifting portion 212.

파지부(211)는 캐리어(140)를 파지하는 것이다. 이러한 파지부(211)는 승강부(212)에 의해 하방으로 이동하여, 캐리어 이송 장치(130)의 아래에 위치하는 캐리어(140)를 파지할 수 있다. 파지부(211)는 일례로 핸드 그립퍼(hand gripper)로 구현될 수 있다.The gripping part 211 grips the carrier 140. The gripping portion 211 may move downward by the lifting portion 212 to grip the carrier 140 located under the carrier transport device 130. The gripping part 211 may be embodied as a hand gripper, for example.

승강부(212)는 캐리어(140)를 파지하기 위해 파지부(211)를 하방으로 이동시키거나, 캐리어(140)를 파지한 파지부(211)를 상방으로 이동시키는 것이다. 승강부(212)는 캐리어(140)를 목적지까지 이송시키기 위해 캐리어(140)를 클린 룸의 천장 부근까지 승강시킬 수 있으며, 목적지에 도달하면 캐리어(140)를 하강시켜 캐리어(140)를 전달할 수 있다. 승강부(212)는 일례로 호이스트(hoist)로 구현될 수 있다.The lifting portion 212 moves the gripping portion 211 downward to grip the carrier 140 or moves the gripping portion 211 holding the carrier 140 upward. The lifting unit 212 may move the carrier 140 to the vicinity of the ceiling of the clean room to transfer the carrier 140 to the destination, and when the destination is reached, the carrier 140 may be lowered to deliver the carrier 140. have. The lifting unit 212 may be implemented as a hoist, for example.

한편 몸체부(210)는 캐리어(140)를 적재(loading)하여 목적지까지 이송시키는 것도 가능하다. 이 경우 몸체부(210)는 파지부(211) 대신 수납부(미도시)를 구비할 수 있다.On the other hand, the body portion 210 is also possible to transport the carrier 140 to the destination. In this case, the body portion 210 may include a storage portion (not shown) instead of the grip portion 211.

수납부는 캐리어(140)가 수납되는 공간을 제공하는 것이다. 이러한 수납부는 일측면이 개방되어 있는 바구니(basket) 형태로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 수납부는 일측면에 도어가 형성되어 있는 캐비닛(cabinet) 형태로 형성되는 것도 가능하다.The storage unit is to provide a space in which the carrier 140 is stored. The storage unit may be formed in a basket shape with one side open. However, the present embodiment is not limited thereto. The storage unit may be formed in the form of a cabinet (cabinet) with a door formed on one side.

구동 제어부(220)는 레일(110)을 따라 이동하는 구동 휠(230)을 제어하는 것이다. 이러한 구동 제어부(220)는 양측면을 통해 한 쌍의 구동 휠(230)과 결합되며, 하부면을 통해 몸체부(210)와 결합될 수 있다. 구동 제어부(220)는 하부에 위치하는 몸체부(210)를 지지하는 역할도 할 수 있다.The driving control unit 220 controls the driving wheel 230 moving along the rail 110. The driving control unit 220 may be coupled to the pair of driving wheels 230 through both sides, and may be coupled to the body unit 210 through the lower surface. The driving control unit 220 may also serve to support the body portion 210 located at the lower portion.

구동 제어부(220)는 복수개 구비되어, 복수개의 구동 제어부(220)가 하나의 몸체부(210)와 결합될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 한 개의 구동 제어부(220)가 하나의 몸체부(210)와 결합되는 것도 가능하다.A plurality of driving control units 220 may be provided, and a plurality of driving control units 220 may be combined with a single body unit 210. However, the present embodiment is not limited thereto. It is also possible that one driving control unit 220 is combined with one body unit 210.

구동 제어부(220)는 구동 모터(미도시), 구동 축(미도시), 속도 조절부(미도시) 등을 포함하여 구성될 수 있다. 구동 모터는 구동력을 생성하는 것이며, 구동 축은 구동 모터에 의해 생성된 구동력을 구동 휠(230)에 전달하는 것이다. 그리고 속도 조절부는 구동 휠(230)의 회전 속도를 조절하는 것이다. 구동 제어부(220)는 구동 모터, 구동 축 등을 통해 구동 휠(230)에 구동력을 제공할 수 있으며, 속도 조절부 등을 통해 구동 휠(230)의 회전 속도를 제어할 수 있다.The driving control unit 220 may include a driving motor (not shown), a driving shaft (not shown), a speed adjusting unit (not shown), and the like. The driving motor is to generate a driving force, and the driving shaft is to transmit the driving force generated by the driving motor to the driving wheel 230. And the speed adjusting unit is to adjust the rotational speed of the driving wheel 230. The driving control unit 220 may provide driving force to the driving wheel 230 through a driving motor, a driving shaft, etc., and may control the rotational speed of the driving wheel 230 through a speed adjusting unit.

구동 휠(230)은 구동 제어부(220)로부터 제공되는 구동력을 이용하여 레일(110) 상에서 회전하는 것이다. 구동 휠(230)은 이를 위해 구동 제어부(220)의 양측면에 적어도 한 쌍 설치된다.The driving wheel 230 rotates on the rail 110 using the driving force provided from the driving control unit 220. For this, at least one pair of driving wheels 230 is installed on both sides of the driving control unit 220.

가이드 휠(240)은 캐리어 이송 장치(130)가 레일(110) 상에서 주행할 때 레일(110)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위한 것이다. 가이드 휠(240)은 이를 위해 구동 제어부(220)의 하부면 양측에 구동 휠(230)에 수직 방향으로 적어도 한 쌍 설치된다.The guide wheel 240 is for preventing the carrier transport device 130 from being detached from the rail 110 when traveling on the rail 110. For this, at least one pair of guide wheels 240 is vertically installed to the drive wheels 230 on both sides of the lower surface of the drive control unit 220.

가이드 휠(240)은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 내측 코어(310)와 외피 부재(320)를 포함하여 구성될 수 있다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다. 그리고 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 단면도이다. 이하 설명은 도 2 내지 도 4를 참조한다.The guide wheel 240 may include an inner core 310 and an outer shell member 320 as shown in FIGS. 2 to 4. 2 is a perspective view of a guide wheel provided in a carrier transport device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in a carrier transport device according to a first embodiment of the present invention. And Figure 4 is a cross-sectional view of the guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the first embodiment of the present invention. The following description refers to FIGS. 2 to 4.

내측 코어(310)는 휠(wheel) 형상의 코어(core)로서, 외피 부재(320)의 내측에 형성된다. 이러한 내측 코어(310)는 금속을 소재로 하여 형성될 수 있다. 일례로 내측 코어(310)는 알루미늄(Al)을 소재로 하여 형성될 수 있다.The inner core 310 is a wheel-shaped core, and is formed inside the outer shell member 320. The inner core 310 may be formed of a metal. For example, the inner core 310 may be formed of aluminum (Al).

내측 코어(310)는 둘레면에 제1 요부(第一 凹部; 311)를 포함하여 형성될 수 있다. 일례로 내측 코어(310)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 둘레면의 중앙에 제1 요부(311)를 포함하여 형성될 수 있다. 이때 외피 부재(320)의 내측면에는 이 제1 요부(311)와 결합하는 제2 철부(第二 凸部; 322)가 형성될 수 있다.The inner core 310 may be formed to include a first concave portion 311 on the circumferential surface. For example, the inner core 310 may be formed by including the first recess 311 in the center of the circumferential surface as shown in FIGS. 3 and 4. At this time, the inner surface of the outer shell member 320 may be formed with a second convex portion (第二凸部; 322) coupled to the first recess (311).

내측 코어(310)의 둘레면이 평탄하게(flat) 형성되는 경우, 가이드 휠(240)에 과도한 하중이나 편하중이 부과될 때(예를 들어, 캐리어 이송 장치(130)가 레일(110) 상에서 분기 지점을 통과할 때), 외피 부재(320)가 내측 코어(310)로부터 박리(剝離)되는 현상이 발생할 수 있다. 본 실시예에서는 이러한 문제점을 해결하기 위해, 내측 코어(310)의 둘레면에 제1 요부(311)가 형성되며, 외피 부재(320)의 내측면에 제1 요부(311)와 결합하는 제2 철부(322)가 형성되는 것을 특징으로 한다.When the circumferential surface of the inner core 310 is formed flat, when an excessive load or an unbalanced load is imposed on the guide wheel 240 (for example, the carrier transport device 130 is on the rail 110 ). When passing through the branching point), a phenomenon in which the shell member 320 is peeled from the inner core 310 may occur. In this embodiment, in order to solve this problem, the first recess 311 is formed on the circumferential surface of the inner core 310, and the second is coupled to the first recess 311 on the inner surface of the outer shell member 320. Characterized in that the iron portion 322 is formed.

내측 코어(310)의 둘레면에 제1 요부(311)가 형성되고, 외피 부재(320)의 내측면에 제1 요부(311)와 결합하는 제2 철부(322)가 형성되면, 가이드 휠(240)에 과도한 하중이나 편하중이 가해지더라도 외피 부재(320)가 내측 코어(310)로부터 박리되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한 외피 부재(320)가 내측 코어(310)로부터 박리되는 것을 방지함으로써, 내측 코어(310)가 레일(110)에 직접적으로 접촉하는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라 내측 코어(310)와 레일(110) 사이의 마찰에 따라 발생할 수 있는 파티클(particle)을 감소시키는 효과도 얻을 수 있다.When the first concave portion 311 is formed on the circumferential surface of the inner core 310, and the second convex portion 322 is coupled to the first concave portion 311 on the inner surface of the outer shell member 320, the guide wheel ( Even if an excessive load or uneven load is applied to 240), an effect of preventing the outer shell member 320 from peeling from the inner core 310 can be obtained. In addition, by preventing the outer shell member 320 from peeling from the inner core 310, it is possible to prevent the inner core 310 from directly contacting the rail 110, whereby the inner core 310 and the rail ( 110) It is also possible to obtain an effect of reducing particles that may occur due to friction between them.

내측 코어(310)가 둘레면에 제1 요부(311)를 포함하여 형성되는 경우, 제1 요부(311)는 도 4에 도시된 바와 같이 평행사변형 형상으로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 요부(311)는 반원 형상, 다각형 형상, 사다리꼴 형상 등으로 형성되는 것도 가능하다. 도 5는 제1 요부(311)가 반원 형상으로 형성된 경우의 예시이고, 도 6은 제1 요부(311)가 사각형 형상으로 형성된 경우의 예시이다. 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이며, 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.When the inner core 310 is formed including the first recess 311 on the circumferential surface, the first recess 311 may be formed in a parallelogram shape as illustrated in FIG. 4. However, the present embodiment is not limited thereto. The first concave portion 311 may be formed in a semicircle shape, a polygonal shape, a trapezoidal shape, or the like. 5 is an example when the first recess 311 is formed in a semicircle shape, and FIG. 6 is an example when the first recess 311 is formed in a square shape. 5 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in a carrier transport device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in a carrier transport device according to a third embodiment of the present invention.

내측 코어(310)가 둘레면에 제1 요부(311)를 포함하여 형성되는 경우, 내측 코어(310)는 둘레면의 중앙에 제1 요부(311)를 포함하여 형성되는 것에 한정되지 않는다. 즉, 내측 코어(310)의 제1 요부(311)는 도 7에 도시된 바와 같이 둘레면의 일측에 치우쳐 형성되는 것도 가능하다. 도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.When the inner core 310 is formed by including the first recess 311 on the circumferential surface, the inner core 310 is not limited to being formed by including the first recess 311 at the center of the circumferential surface. That is, the first concave portion 311 of the inner core 310 may be formed on one side of the circumferential surface as illustrated in FIG. 7. 7 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.

내측 코어(310)의 제1 요부(311)가 둘레면의 일측에 치우쳐 형성되는 경우, 가이드 휠(240)은 도 8에 도시된 바와 같이 내측 코어(310)의 제1 요부(311)가 상방을 향하도록 하여 구동 제어부(220)에 설치될 수 있다. 가이드 휠(240)이 구동 제어부(220)에 이와 같이 설치되는 경우, 외피 부재(320)가 내측 코어(310)로부터 박리되더라도 외피 부재(320)가 아래쪽 방향으로 이탈되지 않으며, 이에 따라 내측 코어(310)와 레일(110)이 직접적으로 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 가이드 휠이 캐리어 이송 장치에 결합되는 모습을 보여주는 참고도이다.When the first concave portion 311 of the inner core 310 is formed on one side of the circumferential surface, the guide wheel 240 has the first concave portion 311 of the inner core 310 upward as shown in FIG. 8. It may be installed in the driving control unit 220 toward the. When the guide wheel 240 is installed in the driving control unit 220 in this way, even if the outer shell member 320 is peeled from the inner core 310, the outer shell member 320 does not deviate downward, and accordingly, the inner core ( 310) and the rail 110 can be prevented from directly contacting. 8 is a reference view showing a state in which the guide wheel according to the fourth embodiment of the present invention is coupled to a carrier transport device.

한편 내측 코어(310)가 둘레면에 제1 요부(311)를 포함하여 형성되는 경우, 도 3에 도시된 바와 같이 내측 코어(310)의 둘레면에 한 개의 제1 요부(311)가 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 내측 코어(310)의 둘레면에는 복수개의 제1 요부(311)가 형성되는 것도 가능하다.On the other hand, when the inner core 310 is formed including the first recess 311 on the circumferential surface, as shown in FIG. 3, one first recess 311 is formed on the circumferential surface of the inner core 310 You can. However, the present embodiment is not limited thereto. A plurality of first recesses 311 may be formed on the circumferential surface of the inner core 310.

한편 내측 코어(310)는 둘레면에 적어도 하나의 제1 철부(第一 凸部)를 포함하여 형성되는 것도 가능하다. 이 경우, 외피 부재(320)의 내측면에는 이 제1 철부와 결합하는 적어도 하나의 제2 요부(第二 凹部)가 형성될 수 있다.On the other hand, the inner core 310 may be formed by including at least one first convex portion on the circumferential surface. In this case, at least one second recess (第二하는部) that is coupled to the first iron portion may be formed on the inner surface of the outer shell member (320).

내측 코어(310)는 도 9에 도시된 바와 같이 둘레면에 제1 요부(311)와 제1 철부(312)를 포함하여 형성될 수도 있다. 이때 외피 부재(320)의 내측면에는 제1 요부(311)와 제1 철부(312)에 맞물리는 제2 요부(321)와 제2 철부(322)가 형성될 수 있다. 도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 캐리어 이송 장치에 구비되는 가이드 휠의 분해 사시도이다.The inner core 310 may be formed to include a first concave portion 311 and a first convex portion 312 on the circumferential surface as shown in FIG. 9. At this time, a second recess 321 and a second recess 322 that mesh with the first recess 311 and the first recess 312 may be formed on the inner surface of the outer shell member 320. 9 is an exploded perspective view of a guide wheel provided in the carrier transport apparatus according to the fifth embodiment of the present invention.

내측 코어(310)가 이와 같이 둘레면에 제1 요부(311)와 제1 철부(312)를 포함하여 형성되는 경우, 내측 코어(310)의 둘레면에는 복수개의 제1 요부(311)와 제1 철부(312)가 교대로 형성될 수 있다.When the inner core 310 is formed including the first concave portion 311 and the first convex portion 312 on the circumferential surface, a plurality of first concave portions 311 and the circumferential surface of the inner core 310 are formed. One iron portion 312 may be formed alternately.

내측 코어(310)의 둘레면에 복수개의 제1 요부(311)와 제1 철부(312)가 형성되는 경우, 복수개의 제1 요부(311)와 제1 철부(312)는 도 9에 도시된 바와 같이 물결 형상으로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 복수개의 제1 요부(311)와 제1 철부(312)는 디지털 신호 형상으로 형성되거나, 톱니 형상으로 형성되는 것도 가능하다.When a plurality of first recesses 311 and first protrusions 312 are formed on the circumferential surface of the inner core 310, the plurality of first recesses 311 and the first protrusions 312 are illustrated in FIG. 9. As can be formed in a wavy shape. However, the present embodiment is not limited thereto. The plurality of first concave portions 311 and the first convex portions 312 may be formed in a digital signal shape or may be formed in a sawtooth shape.

다시 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.It will be described again with reference to FIGS. 2 and 3.

외피 부재(320)는 내측 코어(310)를 둘러싸도록 형성된다. 이러한 외피 부재(320)는 볼록한 형상의 외형을 가지며, 본딩(bonding) 등의 방법으로 내측 코어(310)의 표면에 접합되어 형성될 수 있다.The outer shell member 320 is formed to surround the inner core 310. The outer shell member 320 has a convex outer shape, and may be formed by bonding to the surface of the inner core 310 by bonding or the like.

외피 부재(320)는 내측 코어(310)에 제1 요부(311)가 형성되는 경우, 내측 코어(310)의 제1 요부(311)에 맞물릴 수 있도록 그 내측면에 제2 철부(322)를 포함하여 형성된다. 외피 부재(320)는 내측 코어(310)에 제1 요부(311)와 제1 철부(312)가 형성되는 경우, 내측 코어(310)의 제1 요부(311)와 제1 철부(312)에 맞물릴 수 있도록 그 내측면에 제2 요부(321)와 제2 철부(322)를 포함하여 형성될 수도 있다.When the first concave portion 311 is formed on the inner core 310, the outer cover member 320 has a second convex portion 322 on its inner surface so as to be engaged with the first concave portion 311 of the inner core 310. It is formed including. When the first recess 311 and the first protrusion 312 are formed on the inner core 310, the outer shell member 320 is provided on the first recess 311 and the first protrusion 312 of the inner core 310. It may be formed to include a second recess 321 and the second convex portion 322 on the inner surface to be engaged.

외피 부재(320)는 고무를 소재로 하여 형성될 수 있다. 일례로 외피 부재(320)는 폴리우레탄을 소재로 하여 형성될 수 있다. The outer shell member 320 may be formed of rubber. For example, the shell member 320 may be formed of polyurethane.

다시 도 1을 참조하여 설명한다.It will be described again with reference to FIG. 1.

캐리어 이송 시스템(100)은 케이블 고정부(미도시)를 더 포함할 수 있다.The carrier transport system 100 may further include a cable fixing part (not shown).

케이블 고정부는 레일(110)의 아래에 배치되는 케이블을 고정하는 것이다. 이러한 케이블 고정부는 일례로 리츠 와이어 지지 부재(litz wire supporter)로 구현될 수 있다.The cable fixing part is to fix the cable disposed under the rail 110. The cable fixing part may be implemented as, for example, a litz wire support member.

케이블 고정부는 레일 지지부(120)의 양측에 결합되는 두 레일(110) 사이의 공간에서 각 측의 레일(110)이 위치한 방향으로 갈수록 하방으로 경사지는 구조로 형성될 수 있다.The cable fixing part may be formed in a structure inclined downward toward the direction in which the rail 110 on each side is located in a space between two rails 110 coupled to both sides of the rail support 120.

캐리어 이송 장치(130)는 캐리어(140)를 목적지까지 이송시킬 때에 캐리어(140)의 위치를 보정하는 보정부(미도시)를 더 포함할 수 있다.The carrier transport device 130 may further include a correction unit (not shown) that corrects the position of the carrier 140 when transporting the carrier 140 to a destination.

보정부는 몸체부(210)와 구동 제어부(220) 사이에 배치되어, 캐리어(140)의 위치를 보정할 수 있다. 이러한 보정부는 슬라이더(slider)와 로테이터(rotator)를 포함하여 구성될 수 있다. 슬라이더는 구동 제어부(220)의 하부면에 장착되어, 캐리어(140)를 상측 방향, 하측 방향, 좌측 방향, 우측 방향 등으로 이동시킬 수 있다. 로테이터는 슬라이더의 하부면에 장착되어, 캐리어(140)를 시계 방향, 반시계 방향 등으로 회전시킬 수 있다.The correction unit may be disposed between the body portion 210 and the driving control unit 220 to correct the position of the carrier 140. Such a correction unit may include a slider and a rotator. The slider is mounted on the lower surface of the driving control unit 220 to move the carrier 140 in the upper direction, the lower direction, the left direction, and the right direction. The rotator is mounted on the lower surface of the slider, so that the carrier 140 can be rotated in a clockwise or counterclockwise direction.

이상 도 1 내지 도 8을 참조하여 캐리어 이송 시스템(100)에 대하여 설명하였다. 본 발명에 따른 캐리어 이송 시스템(100)은 요철형 구조로 형성되는 내측 코어(310)와 외피 부재(320)를 포함하는 가이드 휠(240)을 구비한다. 캐리어 이송 시스템(100)은 이를 통해 기존보다 5배 이상 외피 부재(320)의 박리로 인한 낙하 및 이탈 가능성을 낮출 수 있으며, 장비의 품질 향상 및 생산성 개선 효과도 기대할 수 있다.The carrier transport system 100 has been described above with reference to FIGS. 1 to 8. The carrier transport system 100 according to the present invention includes a guide wheel 240 including an inner core 310 and an outer shell member 320 formed in an uneven structure. Through this, the carrier transport system 100 may lower the possibility of falling and detachment due to the peeling of the outer shell member 320 more than 5 times, and also improve the quality of equipment and improve the productivity.

도 10은 종래 가이드 휠의 박리 가능성에 대한 실험 결과를 보여주는 도면이다. 도 10에서 (a)는 종래 가이드 휠을 구성하는 내측 휠(410)과 외측 휠(420)의 결합 형태를 보여준다.10 is a view showing the experimental results for the possibility of peeling of the conventional guide wheel. In Figure 10 (a) shows a combined form of the inner wheel 410 and the outer wheel 420 constituting the conventional guide wheel.

도 11은 본 발명에 따른 가이드 휠의 박리 가능성에 대한 실험 결과를 보여주는 도면이다. 도 11에서 (a)는 본 발명의 가이드 휠(240)을 구성하는 내측 코어(310)와 외피 부재(320)의 결합 형태를 보여준다.11 is a view showing the experimental results for the possibility of peeling of the guide wheel according to the present invention. In Figure 11 (a) shows the combined form of the inner core 310 and the outer shell member 320 constituting the guide wheel 240 of the present invention.

도 10의 (b)와 도 11의 (b)는 각각 하중을 500N, 1000N, 1500N, 2000N, 5000N, 10000N 등으로 하고 하중 각도를 1.5deg, 3.0deg, 5.0deg 등으로 하여 외측 휠(420)에 외력을 가했을 때, 가이드 휠의 이탈 여부를 나타낸다.10(b) and FIG. 11(b) are outer wheels 420 with loads of 500N, 1000N, 1500N, 2000N, 5000N, and 10000N, respectively, and load angles of 1.5deg, 3.0deg, 5.0deg, etc. When an external force is applied to the wheel, it indicates whether the guide wheel is detached.

종래의 가이드 휠은 도 10의 (b)에 나타난 바와 같이 2000N(약 203.8kgf)의 하중이 1.5deg 각도로 부하되었을 때 이탈이 발생하였다. 반면 본 실시예에 따른 가이드 휠(240)은 도 11의 (b)에 나타난 바와 같이 10000N(약 1019.4kgf)의 하중이 3.0deg 각도로 부하되어도 이탈이 발생하지 않았다. 따라서 본 실시예에 따른 가이드 휠(240)은 종래의 가이드 휠에 대비하여 최소 5배 이상 이탈 가능성이 낮은 것으로 판단된다.In the conventional guide wheel, as shown in Fig. 10(b), a deviation occurred when a load of 2000N (about 203.8 kgf) was loaded at a 1.5 deg angle. On the other hand, in the guide wheel 240 according to this embodiment, as shown in FIG. 11(b), no deviation occurred even when a load of 10000N (about 1019.4kgf) was loaded at an angle of 3.0 deg. Therefore, it is determined that the guide wheel 240 according to the present embodiment has a low probability of deviating at least 5 times or more compared to the conventional guide wheel.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the above and the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can implement the present invention in other specific forms without changing its technical spirit or essential features. You will understand that there is. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive.

100: 캐리어 이송 시스템 110: 레일
120: 레일 지지부 130: 캐리어 이송 장치
140: 캐리어 210: 몸체부
211: 파지부 212: 승강부
220: 구동 제어부 230: 구동 휠
240: 가이드 휠 310: 내측 코어
320: 외피 부재 311: 제1 요부
312: 제1 철부 321: 제2 요부
322: 제2 철부100: carrier transport system 110: rail
120: rail support 130: carrier transfer device
140: carrier 210: body portion
211: gripping portion 212: elevating portion
220: driving control unit 230: driving wheel
240: guide wheel 310: inner core
320: outer skin member 311: first main part
312: first part 321: second part
322: second iron

Claims (10)

천장에 설치되는 한 쌍의 레일 상에서 이동하는 구동 휠;
양측면에 설치되는 상기 구동 휠을 제어하는 구동 제어부;
상기 구동 제어부의 하부에 결합되며, 웨이퍼가 수납되는 캐리어를 파지(gripping)하여 이송시키는 몸체부; 및
상기 구동 휠에 수직 방향으로 상기 구동 제어부의 하부면에 결합되며, 휠 형태로 형성되어 둘레면에 요부(凹部)와 철부(凸部) 중 적어도 하나가 형성되는 내측 코어, 및 내측면이 상기 내측 코어의 둘레면 형상에 맞물리도록 형성되는 외피 부재를 구비하는 가이드 휠을 포함하는 캐리어 이송 장치.A driving wheel moving on a pair of rails installed on the ceiling;
A driving control unit controlling the driving wheels installed on both sides;
A body part coupled to a lower portion of the driving control part and gripping and transporting a carrier in which the wafer is accommodated; And
An inner core coupled to a lower surface of the driving control unit in a direction perpendicular to the driving wheel, and formed in a wheel shape to form at least one of a concave portion and a convex portion on a circumferential surface, and an inner surface having an inner surface. A carrier transport device comprising a guide wheel having a shell member formed to engage a shape of a circumferential surface of the core. 제 1 항에 있어서,
상기 내측 코어의 둘레면에 상기 요부가 형성되는 경우, 상기 요부는 상기 내측 코어의 둘레면 중앙에 형성되거나, 상기 내측 코어의 둘레면 일측에 치우쳐 형성되는 캐리어 이송 장치.According to claim 1,
When the recess is formed on the circumferential surface of the inner core, the recess is formed at the center of the circumferential surface of the inner core or is biased to one side of the circumferential surface of the inner core. 제 2 항에 있어서,
상기 요부가 상기 내측 코어의 둘레면 일측에 치우쳐 형성되는 경우, 상기 가이드 휠은 상기 요부가 상방을 향하도록 하여 상기 구동 제어부에 결합되는 캐리어 이송 장치.According to claim 2,
When the recess is formed on one side of the circumferential surface of the inner core, the guide wheel is a carrier transport device coupled to the drive control unit so that the recess is facing upward. 제 1 항에 있어서,
상기 내측 코어의 둘레면에 상기 요부와 상기 철부가 함께 형성되는 경우, 상기 요부와 상기 철부는 상기 내측 코어의 둘레면에 교대로 형성되는 캐리어 이송 장치.According to claim 1,
When the concave portion and the convex portion are formed on the circumferential surface of the inner core, the concave portion and the convex portion are alternately formed on the circumferential surface of the inner core. 제 1 항에 있어서,
상기 외피 부재는 볼록한 형상의 외형을 가지는 캐리어 이송 장치.According to claim 1,
The carrier member is a carrier transport device having a convex outer shape. 제 1 항에 있어서,
상기 외피 부재는 상기 내측 코어의 둘레면에 본딩되어 접합되는 캐리어 이송 장치.According to claim 1,
The carrier member is a carrier transport device that is bonded and bonded to the circumferential surface of the inner core. 천장에 설치되는 레일 지지부;
상기 레일 지지부에 의해 지지되는 한 쌍의 레일; 및
상기 레일을 따라 주행하여 웨이퍼가 수납되는 캐리어를 이송시키는 캐리어 이송 장치를 포함하며,
상기 캐리어 이송 장치는,
상기 레일 상에서 이동하는 구동 휠;
양측면에 설치되는 상기 구동 휠을 제어하는 구동 제어부;
상기 구동 제어부의 하부에 결합되며, 상기 캐리어를 파지(gripping)하여 이송시키는 몸체부; 및
상기 구동 휠에 수직 방향으로 상기 구동 제어부의 하부면에 설치되며, 휠 형태로 형성되어 둘레면에 요부(凹部)와 철부(凸部) 중 적어도 하나가 형성되는 내측 코어와 내측면이 상기 내측 코어의 둘레면 형상에 맞물리도록 형성되는 외피 부재를 구비하는 가이드 휠을 포함하는 캐리어 이송 시스템.A rail support installed on the ceiling;
A pair of rails supported by the rail support; And
It includes a carrier transfer device for traveling along the rail to transfer the carrier is accommodated wafer,
The carrier transport device,
A drive wheel moving on the rail;
A driving control unit controlling the driving wheels installed on both sides;
A body part coupled to a lower portion of the driving control part and gripping and transferring the carrier; And
It is installed on the lower surface of the drive control unit in the direction perpendicular to the drive wheel, the inner core and the inner surface is formed in a wheel shape and at least one of the concave portion and the convex portion is formed on the circumferential surface. Carrier carrier system comprising a guide wheel having a shell member formed to mesh with the circumferential shape of the. 제 7 항에 있어서,
상기 내측 코어의 둘레면에 상기 요부가 형성되는 경우, 상기 요부는 상기 내측 코어의 둘레면 중앙에 형성되거나, 상기 내측 코어의 둘레면 일측에 치우쳐 형성되는 캐리어 이송 시스템.The method of claim 7,
When the recess is formed on the circumferential surface of the inner core, the recess is formed at the center of the circumferential surface of the inner core or is biased on one side of the circumferential surface of the inner core. 제 8 항에 있어서,
상기 요부가 상기 내측 코어의 둘레면 일측에 치우쳐 형성되는 경우, 상기 가이드 휠은 상기 요부가 상방을 향하도록 하여 상기 구동 제어부에 결합되는 캐리어 이송 시스템.The method of claim 8,
When the recessed part is formed on one side of the circumferential surface of the inner core, the guide wheel is coupled to the drive control unit so that the recessed part faces upward. 제 7 항에 있어서,
상기 내측 코어의 둘레면에 상기 요부와 상기 철부가 함께 형성되는 경우, 상기 요부와 상기 철부는 상기 내측 코어의 둘레면에 교대로 형성되는 캐리어 이송 시스템.The method of claim 7,
When the concave portion and the convex portion are formed on the circumferential surface of the inner core, the concave portion and the convex portion are alternately formed on the circumferential surface of the inner core.
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