KR101854046B1 - Overhead Hoist transport device - Google Patents

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KR101854046B1
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이정훈
이성현
장인배
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention relates to an overhead hoist transport (OHT) apparatus, which can comprise: a straight rail disposed along a ceiling of a semi-conductor manufacturing line on which semi-conductor manufacturing devices are sequentially arranged; a branch rail disposed along the ceiling and branched from the straight rail; a vehicle having a driving wheel rotating in contact with the straight rail and the branch rail and a metal steering member for steering and gripping cassette to be driven along the straight rail and the branch rail; and steering rails individually disposed along the straight rail and the branch rail in a branching portion in which the straight rail and the branch rail are branched and selectively applying a magnetic force to control a driving route of the vehicle using an attractive force with the steering member.

Description

OHT 장치{Overhead Hoist transport device}OHT device {Overhead Hoist transport device}

본 발명은 OHT 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인에서 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 OHT 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an OHT device, and more particularly, to an OHT device for transferring a cassette on which a plurality of wafers are loaded in a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are successively arranged.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. Generally, semiconductor processing apparatuses for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state of being accommodated in the cassette or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천정을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 상기 주행 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향 레일과 접촉하여 회전하는 조향 휠을 갖는다. The cassette is transported by OHT (Overhead Hoist Transport). The OHT includes a running rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing apparatuses are continuously arranged, and a vehicle holding the cassette and traveling along the running rail. A traveling wheel rotating in contact with the traveling rail, and a steering wheel rotating in contact with the steering rail.

상기 비히클에 구비된 조향 휠이 상기 조향 레일을 따라 회전하므로 상기 주행 레일의 분기 영역에서 상기 비히클의 주행 방향을 조절할 수 있다. The direction of travel of the vehicle in the branching region of the traveling rail can be adjusted because the steering wheel provided on the vehicle rotates along the steering rail.

그러나, 상기 비히클의 조향을 위해서 상기 조향 휠과 상기 조향 레일 사이의 마찰이 발생하므로, 상기 마찰에 의한 분진이 발생할 수 있다. 상기 주행 휠과 상기 주행 레일 사이의 마찰에 의해서도 분진이 발생하지만, 상기 조향 휠과 상기 조향 레일의 마찰로 인해 더욱 많은 분진이 발생한다. 따라서, 상기 분진으로 인해 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간이 오염될 수 있다. However, since friction occurs between the steering wheel and the steering rail in order to steer the vehicle, dust due to the friction may occur. Dust is generated by friction between the traveling wheel and the traveling rail, but more dust is generated due to friction between the steering wheel and the steering rail. Thus, the dust may contaminate the space provided with the semiconductor processing apparatuses.

본 발명은 조향 휠과 조향 레일의 마찰로 인한 분진 발생을 줄일 수 있는 OHT 장치를 제공한다. The present invention provides an OHT device capable of reducing dust generation due to friction between a steering wheel and a steering rail.

본 발명에 따른 OHT 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직진 레일과, 상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직진 레일로부터 분기되는 분기 레일과, 상기 직진 레일 및 상기 분기 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향을 위한 금속 재질의 조향 부재를 가지며, 카세트를 파지하여 상기 직진 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 비히클 및 상기 직진 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직진 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 자기력이 인가되어 상기 조향 부재와의 인력으로 상기 비히클의 진행 경로를 조절하는 조향 레일을 포함할 수 있다. The OHT apparatus according to the present invention includes a straight rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing apparatuses are continuously arranged, a branch rail provided along the ceiling, branched from the straight rail, A vehicle having a traveling wheel that rotates in contact with a branch rail and a steering member made of a metal material for steering and which carries the cassette and travels along the rectilinear rail and the branch rail, And a steering rail that is provided along the straight rail and the branch rail and selectively adjusts a traveling path of the vehicle by a magnetic force applied to the steering member and an attraction force with the steering member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 조향 레일은, 상기 직진 레일을 따라 구비되며, 인가되는 자기력으로 상기 비히클의 조향 부재를 인력으로 잡아 상기 비히클이 상기 직진 레일을 따라 주행하도록 하며, 상기 분기 영역에서 상기 직진 레일이 끊어진 부위에서 상기 비히클이 낙하하는 것을 방지하는 직진 조향 레일 및 상기 분기 레일을 따라 구비되며, 인가되는 자기력으로 상기 비히클의 조향 부재를 인력으로 잡아 상기 비히클이 상기 분기 레일을 따라 주행하도록 하며, 상기 분기 레일 주행 중 상기 분기 레일이 끊어진 부위에서 상기 비히클이 낙하하는 것을 방지하는 직진 조향 레일을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the steering rail is provided along the rectilinear rail so as to grab the steering member of the vehicle with applied magnetic force so that the vehicle runs along the rectilinear rail, Wherein the vehicle is provided with a direct steering rail that prevents the vehicle from dropping in a region where the rectilinear rail is broken in a region where the straight rail is broken, and a branch rail that grips the steering member of the vehicle with applied magnetic force, And a rectilinear steering rail for preventing the vehicle from falling at a portion where the branch rails are broken during traveling of the branch rails.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 직진 조향 레일은 한 쌍으로 이루어진 상기 직진 레일들 중에서 끊어진 부위가 없는 연속된 직진 레일과 인접하도록 배치되며, 상기 분기 조향 레일은 한 쌍으로 이루어진 상기 분기 레일들 중에서 끊어진 부위가 없는 연속된 분기 레일과 인접하도록 배치될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the rectilinear steering rail is disposed adjacent to a continuous rectilinear rail having no broken portion out of the pair of rectilinear rails, May be arranged to be adjacent to a continuous branching rail without any broken parts.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 직진 조향 레일의 길이는 상기 직진 레일에서 끊어진 부위의 길이보다 길며, 상기 분기 조향 레일의 길이는 상기 분기 레일에서 끊어진 부위의 길이보다 길 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the length of the rectilinear steering rail is longer than the length of the portion broken at the rectilinear rail, and the length of the branching steeringrail may be longer than the length of the portion broken at the branch rail.

본 발명에 따른 OHT 장치는 비히클에 금속 재질의 조향 부재를 구비하고, 직진 레일과 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직진 레일과 상기 분기 레일을 따라 조향 레일이 각각 구비된다. 상기 조향 레일에 선택적으로 자기력이 인가되어 상기 조향 부재와의 인력으로 상기 비히클의 진행 경로를 조절한다. 상기 조향 레일과 상기 조향 부재가 직접 접촉하지 않으므로, 상기 OHT 장치에서 발생하는 분진을 줄일 수 있다. The OHT device according to the present invention is provided with a steering member made of a metal in a vehicle, and a steering rail is provided along the straight rail and the branch rail in a branching region where the straight rail and the branch rail branch. A magnetic force is selectively applied to the steering rails to control the traveling path of the vehicle by the attraction with the steering member. Since the steering rail and the steering member are not in direct contact with each other, dust generated in the OHT device can be reduced.

또한, 상기 OHT 장치는 상기 분기 영역에서 상기 직진 레일과 상기 분기 레일이 끊어진 부분이 존재하지만, 상기 조향 레일에 인가되는 자기력으로 상기 비히클의 조향 부재를 인력으로 잡아당긴다. 그러므로, 상기 직진 레일이 끊어진 부위 및 상기 분기 레일이 끊어진 부위에서 상기 비히클이 낙하하는 것을 방지할 수 있다. The OHT device has a portion where the straight rail and the branch rail are disconnected in the branching region, but pulls the steering member of the vehicle by a magnetic force applied to the steering rail. Therefore, it is possible to prevent the vehicle from falling down at a portion where the rectilinear rail is broken and a portion where the branch rail is broken.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에서 비히클이 직진 레일을 따라 주행하는 것을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1에서 비히클이 분기 레일을 따라 주행하는 것을 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view for explaining an OHT device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view for explaining that the vehicle travels along a straight-ahead rail in Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is a plan view for explaining that the vehicle travels along the branch rails in Fig. 1; Fig.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 OHT 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, an OHT device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view for explaining an OHT device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, OHT 장치(100)는 직진 레일(110), 분기 레일(120), 비히클(130), 조향 레일(140, 150)을 포함한다.Referring to FIG. 1, an OHT device 100 includes a straight rail 110, a branch rail 120, a vehicle 130, and a steering rail 140 and 150.

직진 레일(110)은 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비된다. The rectilinear rail 110 is provided along the ceiling of the semiconductor manufacturing line in which the semiconductor processing apparatuses are continuously arranged.

분기 레일(120)은 상기 천장을 따라 구비되며, 직진 레일(110)로부터 분기된다. A branch rail 120 is provided along the ceiling and branches off from the straight rail 110.

직진 레일(110)과 분기 레일(120)은 각각 한 쌍의 레일로 이루어진다. 직진 레일(110)과 분기 레일(120)이 분기되는 분기 영역에서 직진 레일(110)과 분기 레일(120)은 각각 끊어진 부분(112, 122)을 갖는다. The straight rail 110 and the branch rail 120 are each formed of a pair of rails. The straight rail 110 and the branch rail 120 have broken portions 112 and 122 in a branching region where the straight rail 110 and the branch rail 120 are branched.

구체적으로, 한 쌍의 직진 레일(110) 중 분기 레일(120)이 연결되는 레일에 직진 레일(110)의 끊어진 부분(112)이 위치할 수 있다. Specifically, a broken portion 112 of the straight rail 110 may be positioned on a rail to which the branch rail 120 is connected, among the pair of straight rails 110.

또한, 한 쌍의 분기 레일(120) 중 직진 레일(110)에서 끊어진 부분(112)이 없는 레일과 연결된 분기 레일(120)에 끊어진 부분(122)이 위치할 수 있다. The broken portion 122 may be located on the branch rail 120 connected to the rail without the broken portion 112 in the straight rail 110 among the pair of branched rails 120.

상기 분기 영역에서 직진 레일(110)과 분기 레일(120)에 각각 끊어진 부분(112, 122)이 없이 연속되는 경우, 비히클(130)의 주행이 방해를 받을 수 있다. The traveling of the vehicle 130 may be disturbed if the straight rail 110 and the branch rail 120 are continuous without the broken portions 112 and 122 in the branching region.

상기 분기 영역에서 비히클(130)이 직진 레일(110)을 주행하는 경우, 비히클(130)이 분기 레일(120)에 걸릴 수 있다. 또한, 상기 분기 영역에서 비히클(130)이 분기 레일(120)을 주행하는 경우, 비히클(130)이 직진 레일(110)에 걸릴 수 있다. When the vehicle 130 travels on the straight rail 110 in the branching region, the vehicle 130 may be caught by the branch rail 120. In addition, when the vehicle 130 travels on the branch rail 120 in the branching region, the vehicle 130 may be caught by the straight rail 110.

비히클(130)은 직진 레일(110) 및 분기 레일(120)과 접촉하여 회전하는 주행 휠(132)을 갖는다. 주행 휠(132)은 비히클(130)의 상부면에 구비될 수 있다. 주행 휠(132)은 구동축(133)으로 연결되며, 구동축(133)은 조향을 위해 비히클(130)의 상부면에 회전 가능하도록 고정된다. 따라서, 비히클(130)은 직진 레일(110) 및 분기 레일(120)을 따라 주행할 수 있다. The vehicle 130 has a traveling wheel 132 that rotates in contact with the straight rail 110 and the branch rail 120. The traveling wheel 132 may be provided on the upper surface of the vehicle 130. The driving wheel 132 is connected to the driving shaft 133 and the driving shaft 133 is rotatably fixed to the upper surface of the vehicle 130 for steering. Thus, the vehicle 130 can travel along the straight rail 110 and the branch rail 120.

또한, 비히클(130)은 조향 부재(134)를 갖는다. 조향 부재(134)는 비히클(130)의 상부면 중앙 부위에 구비되며, 금속 재질로 이루어진다. 조향 부재(134)는 블록 형상을 갖거나 그 외 다양한 형상을 가질 수 있다. 조향 부재(134)는 조향 휠(132)의 구동축(133) 중앙 부위에 고정될 수 있다. In addition, the vehicle 130 has a steering member 134. The steering member 134 is provided at the central portion of the upper surface of the vehicle 130 and is made of a metal material. The steering member 134 may have a block shape or various other shapes. The steering member 134 may be fixed to the central portion of the drive shaft 133 of the steering wheel 132. [

비히클(130)에서 조향 부재(134)는 조향 레일(140, 150)과 접촉하여 회전할 필요가 없으므로, 조향 부재(134)를 회전시키기 위한 액추에이터가 불필요하다. 따라서, 비히클(130)의 구조를 단순화할 수 있으며, 비히클(130)의 무게를 줄일 수 있다. Since the steering member 134 in the vehicle 130 does not need to rotate in contact with the steering rails 140 and 150, an actuator for rotating the steering member 134 is unnecessary. Accordingly, the structure of the vehicle 130 can be simplified, and the weight of the vehicle 130 can be reduced.

그리고. 비히클(130)은 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트(미도시)를 파지할 수 있다. 따라서, 비히클(130)은 직진 레일(110) 및 분기 레일(120)을 따라 주행하면서 상기 카세트를 상기 반도체 공정 장치들로 이송한다. And. The vehicle 130 may grip a cassette (not shown) loaded with a plurality of wafers. Thus, the vehicle 130 travels along the straight rail 110 and the branch rail 120 to transfer the cassette to the semiconductor processing apparatuses.

조향 레일(140, 150)은 상기 분기 영역에 직진 레일(110)과 분기 레일(120)을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 자기력이 인가되어 조향 부재(134)와의 인력으로 비히클(130)의 진행 경로를 조절한다. The steering rails 140 and 150 are provided along the straight rail 110 and the branch rail 120 in the branching area and are selectively applied with a magnetic force so as to move the traveling path of the vehicle 130 .

조향 레일(140, 150)은 직진 조향 레일(140)과 분기 조향 레일(150)을 포함한다. The steering rails 140 and 150 include a straight steering rail 140 and a branch steering rail 150.

직진 조향 레일(140)과 분기 조향 레일(150)은 전자석으로 이루어지며, 선택적으로 상기 자기력이 인가된다. 예를 들면, 비히클(130)을 직진 레일(110)을 따라 주행시키기 위해서는 직진 조향 레일(140)에 상기 자기력이 인가되고, 비히클(130)을 분기 레일(120)을 따라 주행시키기 위해서는 분기 조향 레일(150)에 상기 자기력이 인가될 수 있다. The straight steering rail 140 and the branch steering rail 150 are made of an electromagnet, and the magnetic force is selectively applied thereto. For example, in order to allow the vehicle 130 to travel along the straight rail 110, the magnetic force is applied to the straight steering rail 140. In order to allow the vehicle 130 to travel along the branch rail 120, The magnetic force may be applied to the magnet 150.

직진 조향 레일(140)은 하나의 레일로 이루어지며, 직진 레일(110)들 사이에서 직진 레일(110)을 따라 구비된다. 이때, 직진 조향 레일(140)은 한 쌍으로 이루어진 직진 레일(110)들 중에서 끊어진 부위(112)가 없는 연속된 직진 레일과 인접하도록 배치된다. 직진 조향 레일(140)이 비히클(130)의 상부면 중앙에 배치된 조향 부재(134)와 간섭되지 않을 수 있다. The straight steering rail 140 is composed of one rail and is provided along the straight rail 110 between the straight rails 110. At this time, the straight steering rail 140 is arranged so as to be adjacent to a continuous straight rail without a broken portion 112 among the pair of straight rails 110. The straight steering rail 140 may not interfere with the steering member 134 disposed at the center of the upper surface of the vehicle 130.

또한, 직진 조향 레일(140)은 비히클(130)의 상부면에 구비된 주행 휠(132)의 구동축(133)과 간섭되지 않아야 하므로, 직진 조향 레일(140)은 주행 휠(132)의 구동축(133) 상방에 위치할 수 있다. Since the straight steering rail 140 must not interfere with the drive shaft 133 of the traveling wheel 132 provided on the upper surface of the vehicle 130, the straight steering rail 140 is connected to the driving shaft 132 of the traveling wheel 132 133).

직진 조향 레일(140)은 인가되는 자기력으로 비히클(130)의 조향 부재(134)를 잡아당긴다. 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이에 인력이 작용하는 상태에서 주행 휠(132)이 회전함으로써 비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행할 수 있다. The straight steering rail 140 pulls the steering member 134 of the vehicle 130 with the applied magnetic force. The vehicle 130 can travel along the straight rail 110 by rotating the traveling wheel 132 in a state in which a force is applied between the straight steering rail 140 and the steering member 134. [

직진 레일(110)이 끊어진 부위(112)에서 직진 레일(110)이 비히클(130)의 주행 휠(132)을 지지하지 못한다. 그러므로, 직진 조향 레일(140)은 인가되는 자기력이 비히클(130)의 자중을 견디지 못하는 경우, 비히클(130)이 낙하할 수 있다. 따라서, 직진 조향 레일(140)은 인가되는 자기력은 비히클(130)의 자중을 견딜 수 있어야 한다. The straight rail 110 does not support the traveling wheel 132 of the vehicle 130 at the portion 112 where the straight rail 110 is broken. Therefore, when the applied magnetic force can not withstand the weight of the vehicle 130, the straight forward steering rail 140 can drop the vehicle 130. Therefore, the magnetic force applied to the straight steering rail 140 must be able to withstand the weight of the vehicle 130.

또한, 직진 조향 레일(140)은 인가되는 자기력은 비히클(130)의 자중보다 과도하게 큰 경우, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134)가 접촉할 수 있다. 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134)가 접촉한 상태에서 비히클(130)이 주행하는 경우 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134)의 마찰로 인해 분진이 발생할 수 있다. Further, when the magnetic force applied to the straight steering rail 140 is excessively larger than the self weight of the vehicle 130, the straight steering rail 140 and the steering member 134 can be in contact with each other. Dust may be generated due to the friction between the straight steering rail 140 and the steering member 134 when the vehicle 130 travels while the straight steering rail 140 and the steering member 134 are in contact with each other.

그러므로, 직진 조향 레일(140)은 인가되는 자기력은 비히클(130)이 자중에 의해 낙하하지 않고 조향 부재(134)와 일정한 간격을 유지할 수 있도록 제공될 수 있다. 즉, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 비히클(130)이 자중이 평형을 이루도록 직진 조향 레일(140)에 자기력이 인가될 수 있다. Therefore, the magnetic force applied to the rectilinear steering rail 140 can be provided such that the vehicle 130 can maintain a constant gap with the steering member 134 without dropping due to its own weight. That is, a magnetic force may be applied to the linear steering rail 140 so that the attraction force between the linear steering rail 140 and the steering member 134 becomes equal to the weight of the vehicle 130.

한편, 직진 조향 레일(140)의 길이가 직진 레일(110)에서 끊어진 부위(112)의 길이보다 짧은 경우, 비히클(130)이 직진 레일(110)에서 끊어진 부위(112)를 완전히 지나기 전에 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 없어질 수 있다. 따라서, 비히클(130)의 자중으로 인해 직진 레일(110)의 끊어진 부위(112)에서 비히클(130)이 낙하할 수 있다. If the length of the straight steering rail 140 is shorter than the length of the portion 112 cut off from the straight rail 110 before the vehicle 130 passes the broken portion 112 of the straight rail 110, The attraction between the rail 140 and the steering member 134 can be eliminated. Therefore, the vehicle 130 may drop from the broken portion 112 of the straight rail 110 due to the weight of the vehicle 130. [

직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 없어짐으로 인해 직진 레일(110)의 끊어진 부위(112)에서 비히클(130)이 낙하하는 것을 방지하기 위해 직진 조향 레일(140)의 길이는 직진 레일(110)에서 끊어진 부위(112)의 길이보다 길게 형성될 수 있다. In order to prevent the vehicle 130 from dropping from the broken portion 112 of the rectilinear rail 110 due to the elimination of the attractive force between the rectilinear steering rail 140 and the steering member 134, May be longer than the length of the portion 112 cut off from the straight rail 110.

분기 조향 레일(150)은 하나의 레일로 이루어지며, 분기 레일(120)들 사이에서 분기 레일(120)을 따라 구비된다. 이때, 분기 조향 레일(150)은 한 쌍으로 이루어진 분기 레일(120)들 중에서 끊어진 부위(122)가 없는 연속된 분기 레일과 인접하도록 배치된다. 따라서, 분기 조향 레일(150)이 비히클(130)의 상부면 중앙에 배치된 조향 부재(134)와 간섭되지 않을 수 있다. The branch steering rail 150 is made up of one rail and is provided along the branch rail 120 between the branch rails 120. At this time, the branching steering rails 150 are disposed adjacent to the continuous branching rails 120 without the broken part 122 among the pair of the branching rails 120 formed as a pair. Thus, the divergent steering rails 150 may not interfere with the steering member 134 disposed at the center of the upper surface of the vehicle 130.

또한, 분기 조향 레일(150)은 비히클(130)의 상부면에 구비된 주행 휠(132)의 구동축(133)과 간섭되지 않아야 하므로, 분기 조향 레일(150)은 주행 휠(132)의 구동축(133) 상방에 위치할 수 있다. Since the branching steering rail 150 must not interfere with the driving shaft 133 of the traveling wheel 132 provided on the upper surface of the vehicle 130, the branching steering rail 150 is connected to the driving shaft 132 of the traveling wheel 132 133).

직진 조향 레일(140)과 마찬가지로, 분기 조향 레일(150)도 인가되는 자기력으로 비히클(130)의 조향 부재(134)를 잡아당긴다. 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이에 인력이 작용하는 상태에서 주행 휠(132)이 회전함으로써 비히클(130)이 분기 레일(120)을 따라 주행할 수 있다. The branch steering rail 150 also pulls the steering member 134 of the vehicle 130 by the applied magnetic force, like the straight steering rail 140. The vehicle 130 can travel along the branch rail 120 by rotating the traveling wheel 132 in a state in which attraction is applied between the branch steeringrail 150 and the steering member 134. [

분기 레일(120)이 끊어진 부위(122)에서 분기 레일(120)이 비히클(130)의 주행 휠(132)을 지지하지 못한다. 그러므로, 분기 조향 레일(150)은 인가되는 자기력이 비히클(130)의 자중을 견디지 못하는 경우, 비히클(130)이 낙하할 수 있다. 따라서, 분기 조향 레일(150)은 인가되는 자기력은 비히클(130)의 자중을 견딜 수 있어야 한다. The branch rail 120 does not support the traveling wheel 132 of the vehicle 130 at the broken portion 122 of the branch rail 120. Therefore, when the applied magnetic force can not withstand the self weight of the vehicle 130, the vehicle 130 can fall down. Therefore, the magnetic force applied to the branch steering rail 150 must be able to withstand the self weight of the vehicle 130. [

또한, 분기 조향 레일(150)은 인가되는 자기력이 비히클(130)의 자중보다 과도하게 큰 경우, 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134)가 접촉할 수 있다. 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134)가 접촉한 상태에서 비히클(130)이 주행하면 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134)의 마찰로 인해 분진이 발생할 수 있다. Further, when the applied magnetic force is excessively larger than the self weight of the vehicle 130, the diverging steering rail 150 and the steering member 134 can contact each other. Dust may be generated due to friction between the diverging steering rail 150 and the steering member 134 when the vehicle 130 travels in a state where the diverging steering rail 150 and the steering member 134 are in contact with each other.

그러므로, 분기 조향 레일(150)은 인가되는 자기력은 비히클(130)이 자중에 의해 낙하하지 않고 조향 부재(134)와 일정한 간격을 유지할 수 있도록 제공될 수 있다. 즉, 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 비히클(130)이 자중이 평형을 이루도록 분기 조향 레일(150)에 자기력이 인가될 수 있다. Therefore, the magnetic force applied to the diverging steering rail 150 can be provided such that the vehicle 130 can maintain a constant gap with the steering member 134 without dropping due to its own weight. That is, magnetic force can be applied to the diverging steering rail 150 so that the attraction force between the diverging steering rail 150 and the steering member 134 equals the self weight of the vehicle 130.

한편, 분기 조향 레일(150)의 길이가 분기 레일(120)에서 끊어진 부위(122)의 길이보다 짧은 경우, 비히클(130)이 분기 레일(120)에서 끊어진 부위(122)를 완전히 지나기 전에 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 없어질 수 있다. 따라서, 비히클(130)의 자중으로 인해 분기 레일(120)의 끊어진 부위(122)에서 비히클(130)이 낙하할 수 있다. On the other hand, if the length of the branching steering rail 150 is shorter than the length of the broken portion 122 in the branching rail 120, The attractive force between the rail 150 and the steering member 134 can be eliminated. Therefore, the vehicle 130 may fall from the broken portion 122 of the branch rail 120 due to the weight of the vehicle 130.

분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 없어짐으로 인해 분기 레일(120)의 끊어진 부위(122)에서 비히클(130)이 낙하하는 것을 방지하기 위해 분기 조향 레일(150)의 길이는 분기 레일(120)에서 끊어진 부위(122)의 길이보다 길게 형성될 수 있다. In order to prevent the vehicle 130 from falling off the broken portion 122 of the branch rail 120 due to the absence of attraction between the branch steeringrail 150 and the steering member 134, May be formed to be longer than the length of the broken portion 122 in the branch rail 120.

직진 조향 레일(140) 및 분기 조향 레일(150)이 조향 부재(134)와 이격되며 접촉하지 않으므로, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134)의 마찰 또는 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134)의 마찰로 인해 분진이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간이 오염되는 줄일 수 있다. The direct steering rail 140 and the diverging steering rail 150 are spaced apart from and in contact with the steering member 134 so that the friction between the direct steering rail 140 and the steering member 134 or the friction between the diverging steering rail 150 and the steering member 134, It is possible to prevent dust from being generated due to the friction of the piston 134. Therefore, the space provided for the semiconductor processing apparatuses can be reduced.

도 2는 도 1에서 비히클이 직진 레일을 따라 주행하는 것을 설명하기 위한 평면도이다. Fig. 2 is a plan view for explaining that the vehicle travels along a straight-ahead rail in Fig. 1. Fig.

도 2를 참조하면, 비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행하여 직진 레일(110)과 분기 레일(120)이 분기되는 분기 영역에 접근하면, 직진 조향 레일(140)과 분기 조향 레일(150) 중 직진 조향 레일(140)에 전류를 제공함으로써 직진 조향 레일(140)에 자기력을 인가한다. 2, when the vehicle 130 travels along the rectilinear rail 110 and approaches a branching region where the rectilinear rail 110 and the branching rail 120 are branched, the rectilinear steering rail 140 and the branching- And applies a magnetic force to the straight-ahead steering rail 140 by providing a current to the straight-ahead steering rail 140 among the plurality of straight-

직진 조향 레일(140)에 자기력이 인가된 상태에서 비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행하여 직진 레일(110)과 분기 레일(120)이 분기되는 분기 영역에 도달하면, 직진 조향 레일(140)과 비히클(130)의 조향 부재(134) 사이에 인력이 작용한다. When the vehicle 130 travels along the rectilinear rail 110 in a state where a magnetic force is applied to the rectilinear steering rail 140 and reaches the branching region where the rectilinear rail 110 and the branch rail 120 branch off, A force acts between the steering member 140 of the vehicle 130 and the steering member 134 of the vehicle 130.

직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이에 인력이 작용하는 상태에서 주행 휠(132)이 회전함으로써 비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행할 수 있다. The vehicle 130 can travel along the straight rail 110 by rotating the traveling wheel 132 in a state in which a force is applied between the straight steering rail 140 and the steering member 134. [

직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 비히클(130)이 자중이 평형을 이루므로, 직진 레일(110)이 끊어진 부위(112)에서 직진 레일(110)이 비히클(130)의 주행 휠(132)을 지지하지 못하더라도 비히클(130)이 낙하하지 않고 직진 레일(110)을 따라 주행할 수 있다. The pulling rail 110 is moved from the broken portion 112 to the vehicle 130 because the gravity of the vehicle 130 is balanced by the attractive force between the straight steeringrail rail 140 and the steering member 134. [ The vehicle 130 can travel along the straight rail 110 without falling down even though the vehicle can not support the traveling wheel 132 of the vehicle.

또한, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 비히클(130)이 자중이 평형을 이루므로, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134)가 이격되어 접촉하지 않는다. 그러므로, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134)의 접촉으로 인한 분진 발생을 방지할 수 있다. Since the gravity of the vehicle 130 is balanced by the gravitational force between the rectilinear steering rail 140 and the steering member 134, the rectilinear steering rail 140 and the steering member 134 are not in contact with each other. Therefore, generation of dust due to the contact of the steering member 134 with the straight-ahead steering rail 140 can be prevented.

비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행하여 상기 분기 영역에 위치한 직진 조향 레일(140)을 지나면, 직진 조향 레일(140)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 없어진다. 그러므로, 직진 조향 레일(140)에 제공되는 전류를 차단하여 직진 조향 레일(140)에 인가된 자기력을 해제한다. When the vehicle 130 travels along the rectilinear rail 110 and passes the rectilinear steering rail 140 located in the branching area, the attractive force between the rectilinear steering rail 140 and the steering member 134 is lost. Therefore, the current provided to the straight-ahead steering rail 140 is cut off, and the magnetic force applied to the straight-ahead steering rail 140 is released.

도 3은 도 1에서 비히클이 분기 레일을 따라 주행하는 것을 설명하기 위한 평면도이다.Fig. 3 is a plan view for explaining that the vehicle travels along the branch rails in Fig. 1; Fig.

도 3을 참조하면, 비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행하여 직진 레일(110)과 분기 레일(120)이 분기되는 분기 영역에 접근하면, 직진 조향 레일(140)과 분기 조향 레일(150) 중 분기 조향 레일(150)에 전류를 제공함으로써 분기 조향 레일(150)에 자기력을 인가한다. 3, when the vehicle 130 travels along the rectilinear rail 110 and approaches a branching region where the rectilinear rail 110 and the branching rail 120 are branched, the rectilinear steering rail 140 and the branching- And applies a magnetic force to the branching steering rail 150 by providing current to the branching steering rail 150 among the plurality of branching steering rods 150.

분기 조향 레일(150)에 자기력이 인가된 상태에서 비히클(130)이 직진 레일(110)을 따라 주행하여 상기 분기 영역에 도달하면, 분기 조향 레일(150)과 비히클(130)의 조향 부재(134) 사이에 인력이 작용한다. The vehicle 130 travels along the rectilinear rail 110 in the state where a magnetic force is applied to the branching steering rail 150 and reaches the branching area so that the steering force of the branching steering rail 150 and the steering member 134 of the vehicle 130 ).

분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이에 인력이 작용하는 상태에서 주행 휠(132)이 회전함으로써 비히클(130)이 분기 레일(120)을 따라 주행할 수 있다. The vehicle 130 can travel along the branch rail 120 by rotating the traveling wheel 132 in a state in which attraction is applied between the branch steeringrail 150 and the steering member 134. [

분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 비히클(130)이 자중이 평형을 이루므로, 분기 레일(120)이 끊어진 부위(122)에서 분기 레일(120)이 비히클(130)의 주행 휠(132)을 지지하지 못하더라도 비히클(130)이 낙하하지 않고 분기 레일(120)을 따라 주행할 수 있다. The branch rail 120 is moved from the broken portion 122 to the vehicle 130 because the weight of the vehicle 130 is balanced by the attraction force between the branch steeringrail 150 and the steering member 134. Therefore, The vehicle 130 can travel along the branch rails 120 without falling down even if it can not support the traveling wheels 132 of the vehicle 130. [

또한, 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 비히클(130)이 자중이 평형을 이루므로, 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134)가 이격되어 접촉하지 않는다. 그러므로, 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134)의 접촉으로 인한 분진 발생을 방지할 수 있다. The branching steering rail 150 and the steering member 134 are not in contact with each other because the attraction force between the branching steering rail 150 and the steering member 134 equals the weight of the vehicle 130. [ Therefore, generation of dust due to contact between the branching steering rail 150 and the steering member 134 can be prevented.

비히클(130)이 분기 레일(120)을 따라 주행하여 상기 분기 영역에 위치한 분기 조향 레일(150)을 지나면, 분기 조향 레일(150)과 조향 부재(134) 사이의 인력이 없어진다. 그러므로, 분기 조향 레일(150)에 제공되는 전류를 차단하여 분기 조향 레일(150)에 인가된 자기력을 해제한다. When the vehicle 130 travels along the branch rail 120 and passes the branching steering rail 150 located in the branching area, the attractive force between the branching steering rail 150 and the steering member 134 is lost. Therefore, the current provided to the branch steering rail 150 is cut off, and the magnetic force applied to the branch steering rail 150 is released.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 OHT 장치는 비히클의 조향 부재와 분기 영역에 직진 레일과 분기 레일을 따라 각각 구비된 조향 레일 사이의 인력으로 비히클의 진행 경로를 조절한다. 상기 조향 레일과 상기 조향 부재가 직접 접촉하지 않으므로, 상기 OHT 장치에서 발생하는 분진을 줄일 수 있다. 따라서, 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 오염을 줄일 수 있다. As described above, the OHT apparatus according to the present invention adjusts the traveling path of the vehicle to the steering member and the branching region of the vehicle by the attraction force between the steering rails and the steering rails provided respectively along the straight rail and the branch rail. Since the steering rail and the steering member are not in direct contact with each other, dust generated in the OHT device can be reduced. Therefore, contamination of the space provided with the semiconductor processing apparatuses can be reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : OHT 장치 110 : 직진 레일
120 : 분기 레일 130 : 비히클
140 : 직진 조향 레일 150 : 분기 조향 레일100: OHT device 110: straight rail
120: branch rail 130: vehicle
140: straight steering rail 150: diverging steering rail

Claims (4)

반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 직진 레일;
상기 천장을 따라 구비되며, 상기 직진 레일로부터 분기되는 분기 레일;
상기 직진 레일 및 상기 분기 레일과 접촉하여 회전하는 주행 휠과 조향을 위한 금속 재질의 조향 부재를 가지며, 카세트를 파지하여 상기 직진 레일 및 상기 분기 레일을 따라 주행하는 비히클; 및
상기 직진 레일과 상기 분기 레일이 분기되는 분기 영역에 상기 직진 레일과 상기 분기 레일을 따라 각각 구비되며, 선택적으로 자기력이 인가되어 상기 조향 부재와의 인력으로 상기 비히클의 진행 경로를 조절하는 조향 레일을 포함하고,
상기 조향 레일은,
상기 직진 레일을 따라 구비되며, 인가되는 자기력으로 상기 비히클의 조향 부재를 인력으로 잡아 상기 비히클이 상기 직진 레일을 따라 주행하도록 하며, 상기 분기 영역에서 상기 직진 레일이 끊어진 부위에서 상기 비히클이 낙하하는 것을 방지하는 직진 조향 레일; 및
상기 분기 레일을 따라 구비되며, 인가되는 자기력으로 상기 비히클의 조향 부재를 인력으로 잡아 상기 비히클이 상기 분기 레일을 따라 주행하도록 하며, 상기 분기 레일 주행 중 상기 분기 레일이 끊어진 부위에서 상기 비히클이 낙하하는 것을 방지하는 분기 조향 레일을 포함하며,
상기 조향 부재는 상기 직진 조향 레일과 상기 분기 조향 레일 중 어느 하나와 인력이 작용하도록 상기 직진 조향 레일과 상기 분기 조향 레일 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 OHT 장치. A straight rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing apparatuses are continuously arranged;
A branch rail provided along the ceiling and branching from the rectilinear rail;
A vehicle having a traveling wheel that rotates in contact with the straight rails and the branch rails, and a steering member made of a metal material for steering, and which travels along the straight rails and the branch rails by gripping the cassette; And
A steering rail provided along the straight rail and the branch rail in a branching region where the linear rail and the branch rail are branched and selectively provided with a magnetic force to adjust the traveling path of the vehicle by the attraction force with the steering member Including,
The steering rail includes:
Wherein the vehicle is provided along the linear rail and grips the steering member of the vehicle with a magnetic force so as to cause the vehicle to travel along the linear rail and to drop the vehicle at a portion where the linear rail is broken in the branching area Straight steering rail to prevent; And
The vehicle is provided along the branch rail and is gripped by the applied magnetic force with the steering member of the vehicle so that the vehicle runs along the branch rail, and the vehicle falls at a portion where the branch rail is broken during traveling of the branch rail And a branching steering rail,
Wherein the steering member is positioned between the rectilinear steering rail and the divergent steering rail such that a force acts on the rectilinear steering rail and the divergent steering rail. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 직진 조향 레일은 한 쌍으로 이루어진 상기 직진 레일들 중에서 끊어진 부위가 없는 연속된 직진 레일과 인접하도록 배치되며, 상기 분기 조향 레일은 한 쌍으로 이루어진 상기 분기 레일들 중에서 끊어진 부위가 없는 연속된 분기 레일과 인접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 OHT 장치. [2] The apparatus according to claim 1, wherein the rectilinear steering rail is arranged adjacent to a continuous rectilinear rail having no broken portion out of the pair of rectilinear rails, Is arranged adjacent to a continuous branching rail without a continuous branching rail. 제1항에 있어서, 상기 직진 조향 레일의 길이는 상기 직진 레일에서 끊어진 부위의 길이보다 길며, 상기 분기 조향 레일의 길이는 상기 분기 레일에서 끊어진 부위의 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 OHT 장치. The OHT apparatus according to claim 1, wherein the length of the rectilinear steering rail is longer than the length of a portion broken at the rectilinear rail, and the length of the branching steering rail is longer than the length of the portion broken at the branch rail.
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