KR20170105200A - Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating - Google Patents

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KR20170105200A KR1020160028073A KR20160028073A KR20170105200A KR 20170105200 A KR20170105200 A KR 20170105200A KR 1020160028073 A KR1020160028073 A KR 1020160028073A KR 20160028073 A KR20160028073 A KR 20160028073A KR 20170105200 A KR20170105200 A KR 20170105200A
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유병국
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Abstract

A transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device may comprise: a rail unit composed of a first rail, a first inclination rail connected to the first rail and having a first gradient, and a second inclination rail connected to the first inclination rail and having a second gradient; a wheel unit composed of a first wheel driven along the first rail and a second wheel coupled to a side of the first wheel, and driven along the first inclination rail and the second inclination rail; and a body unit coupled to the wheel unit, and provided to transfer an object required for manufacturing an integrated circuit device by driving the wheel unit.

Description

집적회로 소자 제조용 이송 장치{Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a transfer device for an integrated circuit device,

본 발명은 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되는 구조로 이루어지는 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for manufacturing integrated circuit devices, and more particularly to a transfer device for manufacturing integrated circuit devices having a structure disposed on a ceiling within a manufacturing line for manufacturing integrated circuit devices.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.Integrated circuit devices such as semiconductor devices, display devices and the like are manufactured by performing various processes such as a thin film forming process, a photolithigraphy process, an etching process, a metal wiring process and the like. Therefore, in the manufacture of the integrated circuit device, a transfer process for transferring an object necessary for manufacturing the integrated circuit device is always performed.

언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.In the case of using the robot arm or the like as a transfer device, there is a disadvantage that space utilization in the manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device is lowered. Particularly, when the manufacturing line is a clean room, since the clean room itself is expensive, there is a problem that economical loss due to a reduction in the space utilization of the clean room occurs.

이에, 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다.In recent years, an overhead hoist transfer (OHT) in which a transfer device is disposed on the ceiling of the clean room has been used for the transfer process of the integrated circuit device.

그러나 상기 오에이치티의 경우에도 높은 경사도를 갖는 경사 구간을 운행하는 것에 대해서는 어려움이 있다. 특히, 약 6ㅀ 이상의 경사도를 갖는 경사 구간의 경우에는 기구적 간섭으로 인하여 주행이 불가능하고, 아울러 차량을 운행하기 위한 구동 모터의 부하율이 약 200%까기 올라가는 문제점이 있다.However, even in the case of the above-mentioned OTC, there is a difficulty in operating the slope section having a high slope. In particular, in the case of a slope section having a slope of about 6 ㅀ or more, it is impossible to travel due to mechanical interference, and the load factor of the driving motor for driving the vehicle is increased to about 200%.

또한, 낮은 경사도로써 원하는 높이를 맞추기 위해서는 상기 경사 구간을 길게 형성하거나, 상기 경사 구간 사이에 직선 구간을 두어야 하기 때문에 상기 공간 활용도가 매우 저하되는 상황이 발생하는 문제점이 있다.In addition, in order to fit a desired height with a low inclination, the slope section must be long or a straight line section must be provided between the slope sections, which results in a problem that the space utilization is greatly reduced.

본 발명은 목적은 원하는 경사도를 갖는 경사 구간에서도 주행이 가능한 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a transfer device for manufacturing an integrated circuit device which can travel even in an inclined section having a desired inclination.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 제1 레일과, 상기 제1 레일과 연결되며 상기 제1 경사도를 갖는 제1 경사 레일, 및 상기 제1 경사 레일과 연결되며 제2 경사도를 갖는 제2 경사 레일로 이루어지는 레일부; 상기 제1 레일을 따라 운행하는 제1 휠, 및 상기 제1 휠의 측면에 결합되며 상기 제1 경사 레일 및 상기 제2 경사 레일을 따라 운행하는 제2 휠로 이루어지는 휠부; 및 상기 휠부와 결합되어 상기 휠부의 운행에 의해 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a conveying apparatus for manufacturing an integrated circuit device, including a first rail, a first inclined rail connected to the first rail and having the first inclination, A rail portion connected to the rail and composed of a second inclined rail having a second inclination; A wheel portion comprising a first wheel traveling along the first rail and a second wheel coupled to a side surface of the first wheel and running along the first tilt rail and the second tilt rail; And a body portion coupled to the wheel portion and configured to transfer an object necessary for manufacturing the integrated circuit device by operating the wheel portion.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제1 레일은 경사도가 없는 평탄한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the first rail may be provided to have a flat structure having no inclination.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 제조 라인은 클린룸일 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the manufacturing line may be a clean room.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에서, 상기 레일부는 상기 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되도록 구비될 수 있고, 상기 몸체부는 상기 레일부 아래쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.In the transfer device for manufacturing integrated circuit devices according to an embodiment of the present invention, the rail portion may be disposed on the ceiling within the manufacturing line, and the body portion may be disposed on the lower portion of the rail.

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치의 경우 레일부가 제1 경사 레일 및 제2 경사 레일로 이루어지고, 그리고 휠부가 언급한 제1 경사 레일 및 제2 경사 레일을 따라 운행하도록 이루어짐으로써 직선 구간을 두지 않고도 아울러 경사 구간이 짧음에도 불구하고 원하는 높이로의 운행이 가능하다. 또한, 언급한 제1 경사도 및 제2 경사도를 합하여 전체 경사도를 설정할 수 있기 때문에 구동 모터 등에 영향을 끼치지 않고도 높은 경사도의 운행이 가능하다.In the case of the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention, the rail portion is composed of the first inclined rail and the second inclined rail, and the wheel portion is operated along the first inclined rail and the second inclined rail, And it is possible to travel to a desired height despite the short slope section. In addition, since the total inclination can be set by adding the first inclination and the second inclination mentioned above, it is possible to operate at a high inclination without affecting the drive motor or the like.

따라서 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 원하는 경사도를 용이하게 설정할 수 있기 때문에 공간 활용도를 극대화시킬 수 있을 뿐만 아니라 원하는 레이아웃으로 제조 라인을 형성할 수 있다.Therefore, since the desired inclination can be easily set by the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention, space utilization can be maximized and a manufacturing line can be formed with a desired layout.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에서의 레일부 및 휠부에 대해서 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic diagram showing a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view for explaining the rail portion and the wheel portion in Fig. 1. Fig.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에서의 레일부 및 휠부에 대해서 설명하기 위한 도면이다.FIG. 1 is a schematic structural view showing a transfer apparatus for manufacturing an integrated circuit device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view for explaining a rail and a wheel in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하는 제조 라인에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물을 이송하는데 사용하는 것으로써, 제조 라인의 천장 쪽에 배치되도록 구비되는 오에이치티(OHT : overhead hoist transfer)를 포함할 수 있다.1 and 2, a transfer device 100 for manufacturing an integrated circuit device of the present invention is used for transferring an object such as a substrate, a mask, and the like in a manufacturing line for manufacturing a semiconductor device, a display device, And an overhead hoist transfer (OHT) arranged to be disposed on the ceiling of the vehicle.

상기 오에이치티로 이루어지는 본 발명의 이송 장치(100)는 레일 어셈블리(11) 및 차량 어셈블리(21)를 포함할 수 있다. 그리고 본 발명의 이송 장치(100)가 구비되는 상기 제조 라인은 반도체 소자, 디스플레이 소자 등을 제조하기 때문에 클린룸으로 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명의 경우 상기 클린룸에 오에이치티로 이루어지는 이송 장치(100)를 구비함으로써 클린룸의 공간 활용도를 보다 극대화할 수 있는 이점이 있다. 이는, 상기 이송 장치(100)를 상기 클린룸의 천장 쪽에 배치되도록 구비시킴으로써 상기 클린룸의 바닥 쪽의 공간을 보다 경제적으로 활용할 수 있기 때문이다.The conveying apparatus 100 of the present invention comprising the above-mentioned oth- erties may include a rail assembly 11 and a vehicle assembly 21. [ The manufacturing line including the transfer device 100 of the present invention can be a clean room because it manufactures semiconductor devices, display devices, and the like. Accordingly, in the present invention, since the clean room has the transfer device 100 made of ouch tea, there is an advantage that the space utilization of the clean room can be maximized. This is because the space on the bottom side of the clean room can be more economically utilized by providing the transfer device 100 on the ceiling of the clean room.

상기 레일 어셈블리(11)는 상기 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 차량 어셈블리(21)는 상기 목적물을 상기 제조 라인 내에서 이송할 수 있도록 상기 레일 어셈블리(11)를 따라 주행 가능하게 결합되도록 구비될 수 있다.The rail assembly 11 may be disposed on a ceiling within a manufacturing line for manufacturing the integrated circuit device. The vehicle assembly 21 may be provided to be capable of traveling along the rail assembly 11 so as to be able to transport the object within the production line.

특히, 상기 레일 어셈블리(11)는 상기 차량 어셈블리(21)가 결합되는 레일부(13) 및 상기 천장 쪽에 상기 레일부(13)가 배치되도록 지지하는 레일 지지부(15)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 레일 어셈블리(11)는 상기 레일부(13) 및 상기 레일부(13)를 상기 클린룸의 천장에 매달아 둘 수 있는 상기 레일 지지부(15)로 이루어지는 것이다. 그리고 상기 레일부(13)의 경우에는 두 개의 라인 구조를 갖는 궤도 레일로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 레일부(13)는 직선 구조, 곡선 구조 및 경사 구조가 혼재하도록 구비될 수 있고, 상기 클린룸 내의 레이아웃에 따라 다양한 경로로 이루어지도록 구비될 수 있다.Particularly, the rail assembly 11 may include a rail portion 13 to which the vehicle assembly 21 is coupled and a rail support portion 15 to support the rail portion 13 on the ceiling side. That is, the rail assembly 11 comprises the rail support portion 15 capable of hanging the rail portion 13 and the rail portion 13 on the ceiling of the clean room. And in the case of the rail part 13, a rail having two line structures. In addition, the rail part 13 may be formed to have a linear structure, a curved structure and an inclined structure, and may be provided in various paths according to the layout in the clean room.

상기 차량 어셈블리(21)는 상기 레일부(13)를 따라 주행하는 휠부(23) 및 상기 휠부(23)의 주행에 의해 상기 목적물을 이송하도록 상기 휠부(23)와 결합되는 몸체부(29)를 포함할 수 있다.The vehicle assembly 21 includes a wheel portion 23 running along the rail portion 13 and a body portion 29 coupled to the wheel portion 23 to travel the object by traveling of the wheel portion 23 .

상기 휠부(23)는 상기 레일부(13)를 따라 주행하는 주행용 휠부(23)(상기 휠부와 혼용하여 사용하기로 한다.)와 함께 상기 차량 어셈블리(21)가 상기 레일부(13)를 따라 주행할 때 상기 레일부(13)로부터 상기 차량 어셈블리(21)가 이탈하는 것을 방지하는 가이드용 휠부(25)로 이루어질 수 있다. 상기 가이드용 휠부(25)는 상기 레일부(13) 안쪽에서 상기 차량 어셈블리(21)의 측면을 지지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The wheel assembly 23 is mounted on the rail assembly 13 together with the driving wheel assembly 23 (which is used in combination with the wheel assemblies) running along the rail assembly 13, And a guide wheel part 25 for preventing the vehicle assembly 21 from being detached from the rail part 13 when traveling along the road. The guide wheel 25 may have a structure for supporting the side surface of the vehicle assembly 21 from the inside of the rail portion 13.

상기 몸체부(29)는 언급한 바와 같이 상기 휠부(23)와 결합되어 상기 휠부(23)의 주행에 따라 함께 주행하는 것으로써, 상기 목적물의 이송시 상기 목적물이 적재되는 부재로 이해할 수 있다. 따라서 상기 몸체부(29)는 상기 목적물을 주로 파지하는 구조로 상기 목적물을 적재하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 몸체부(29)에는 상기 목적물을 파지하는 파지 부재(도시되지 않음) 및 상기 파지 부재를 상승 및 하강시키는 구동 부재(도시되지 않음) 등이 구비될 수 있다. 아울러, 상기 몸체부(29)에는 상기 이송 장치(100)를 전반적으로 제어하는 제어부(도시되지 않음) 등이 위치할 수 있다.The body portion 29 is coupled with the wheel portion 23 and travels along with the wheel portion 23 so that the object portion can be understood as a member on which the object is loaded when the object is transported. Accordingly, the body portion 29 may be provided to load the object with a structure mainly holding the object. The body 29 may include a gripping member (not shown) for holding the object and a driving member (not shown) for moving the gripping member up and down. In addition, a control unit (not shown) for controlling the conveying device 100 may be disposed on the body 29.

또한, 상기 차량 어셈블리(21)는 상기 휠부(23)를 구동시키는 구동부(27)를 더 구비할 수 있다. 이때, 상기 구동부(27)는 구동력을 제공하는 구동 모터(도시되지 않음), 상기 구동 모터의 구동력을 상기 휠부(23)로 전달하는 구동축(도시되지 않음), 상기 구동부(27)의 구동 속도를 조절하는 속도 조절부(도시되지 않음) 등으로 이루어질 수 있다. 상기 속도 조절부는 주로 기어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The vehicle assembly 21 may further include a drive unit 27 for driving the wheel unit 23. The driving unit 27 includes a driving motor (not shown) for providing a driving force, a driving shaft (not shown) for transmitting the driving force of the driving motor to the wheel unit 23, And a speed adjusting unit (not shown) for adjusting the speed. The speed adjuster may be configured to have a gear structure.

이에, 본 발명의 이송 장치(100)는 상기 레일 어셈블리(11) 및 상기 차량 어셈블리(21)를 구비함으로써, 상기 클린룸으로 이루어지는 제조 라인에서 상기 목적물을 안정적으로 이송할 수 있는 것이다.Accordingly, the conveying apparatus 100 of the present invention includes the rail assembly 11 and the vehicle assembly 21, so that the object can be stably conveyed in a manufacturing line comprising the clean room.

그리고 본 발명의 이송 장치(100)는 경사 구간의 레일부(13)를 따라 상기 차량 어셈블리(21)가 운행하도록 구비될 수 있다.The conveying device 100 of the present invention may be provided to allow the vehicle assembly 21 to run along the rails 13 of the slope section.

이에, 상기 레일(13)은 제1 레일(13a), 제1 경사 레일(13b) 및 제2 경사 레일(13c)로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 제1 레일(13a)은 경사도가 없는 평탄한 구조를 갖도록 구비되는 것으로써, 직선 구간으로 이루어질 수 있다. 상기 제1 경사 레일(13b)은 제1 경사도(θ1)를 갖도록 구비되는 것으로써, 상기 제1 레일(13a)과 연결되는 구조를 가질 수 있다. 상기 제2 경사 레일(13c)은 제2 경사도(θ2)를 갖도록 구비되는 것으로써, 상기 제1 경사 레일(13b)과 연결되는 구조를 가질 수 있다. 즉, 상기 제1 레일(13a), 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c)은 연속적으로 연결되는 구조를 갖는 것으로써, 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c) 사이에는 직선 구간이 없이 곧바로 연결되는 구조를 가질 수 있다.The rail 13 may include a first rail 13a, a first inclined rail 13b, and a second inclined rail 13c. Here, the first rail 13a is provided to have a flat structure without inclination, and may be formed as a straight line section. The first inclined rail 13b is provided to have a first inclination? 1, and may be connected to the first rail 13a. The second inclined rail 13c is provided to have a second inclination angle? 2, and can be connected to the first inclined rail 13b. That is, the first rails 13a, the first oblique rails 13b, and the second oblique rails 13c are continuously connected to each other so that the first oblique rails 13b and the second oblique rails 13c And the slope rails 13c may be connected directly without a straight line section.

상기 레일(13)에서 상기 제1 경사도(θ1)를 약 3 내지 5ㅀ를 갖도록 상기 제1 경사 레일(13b)을 구비하고, 상기 제2 경사로(θ2)를 약 3 내지 5ㅀ를 갖도록 상기 제2 경사 레일(13c)을 구비할 경우 전체적인 경사도(θ1 + θ2)는 약 6 내지 10ㅀ를 갖도록 조정될 수 있다.The first inclined rail 13b is provided on the rail 13 such that the first inclination angle? 1 is about 3 to 5 degrees and the second inclined rail 13b is inclined about 3 to 5 degrees. 2 inclined rail 13c, the overall inclination ([theta] l + [theta] 2) can be adjusted to have about 6 to 10 [mu] m.

그리고 상기 휠부(23)는 제1 휠(23a) 및 제2 휠(23b)로 이루어질 수 있다. 상기 제1 휠(23a)은 상기 제1 레일(13a)을 따라 운행하도록 구비될 수 있고, 상기 제2 휠(23b)은 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c)을 따라 운행하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 휠(23b)은 상기 제1 휠(23a)의 측면에 배치되도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 제2 휠(23b)은 상기 제1 휠(23a)에 비해 작은 직경을 갖는 구조로 이루어질 수 있다.The wheel unit 23 may include a first wheel 23a and a second wheel 23b. The first wheel 23a may be provided to run along the first rail 13a and the second wheel 23b may be provided to move along the first slope rail 13b and the second slope rail 13c It can be provided to run along. In particular, the second wheel 23b may be disposed on a side surface of the first wheel 23a. At this time, the second wheel 23b may have a smaller diameter than the first wheel 23a.

따라서 본 발명의 이송 장치(100)는 직선 구간인 상기 제1 레일(13a)을 따라 주행시에는 상기 제1 휠(23a)을 이용할 수 있고, 경사 구간인 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c)을 따라 주행시에는 상기 제2 휠(23b)을 이용할 수 있다. 이에, 상기 제1 레일(13a)의 운행시에는 상기 제1 휠(23a)이 상기 제1 레일(13a)에 면접하는 구조를 가질 수 있고, 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c)의 운행시에는 상기 제2 휠(23b)이 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c)에 면접함과 아울러 상기 제1 휠(23a)의 측면(상기 제2 휠(23b)에 의해 노출되는 측면)이 상기 제1 경사 레일(13b)의 측면 및 상기 제2 경사 레일(13c)의 측면과 서로 마주하는 구조를 가질 수 있다.Therefore, the conveying apparatus 100 of the present invention can use the first wheel 23a when traveling along the first rail 13a, which is a straight section, and the first inclined rail 13b and the second inclined rail 13b, The second wheel 23b may be used when traveling along the two-slope rail 13c. The first rails 13a may have a structure in which the first wheels 23a are in contact with the first rails 13a while the first rails 13a are running, When the rail 13c is operated, the second wheel 23b is brought into contact with the first inclined rail 13b and the second inclined rail 13c and the side surface of the first wheel 23a 2 wheel 23b) faces the side surface of the first inclined rail 13b and the side surface of the second inclined rail 13c.

이와 같이, 본 발명에서는 상기 제1 레일(13a), 상기 제1 경사 레일(13b) 및 상기 제2 경사 레일(13c)을 구비하는 레일부(13)와 더불어 상기 제1 휠(23a) 및 상기 제2 휠(23b)을 구비하는 휠부(23)를 포함함으로써 경사 구간을 짧게 설정하여도 원하는 높이로의 운행이 가능하다. 즉, 언급한 바와 같이 상기 제1 경사도(θ1)를 약 3 내지 5ㅀ를 갖도록 상기 제1 경사 레일(13b)을 구비하고, 상기 제2 경사도(θ2)를 약 3 내지 5ㅀ를 갖도록 상기 제2 경사 레일(13c)을 구비하여 전체적인 경사도(θ1 + θ2)는 약 6 내지 10ㅀ를 갖도록 조정하여도 상기 제1 휠(23a) 및 상기 제2 휠(23b)을 이용함으로써 안정적으로 운행할 수 있기 때문에 상기 경사 구간을 짧게 설정하여도 원하는 높이로의 운행이 가능한 것이다.In this way, in the present invention, in addition to the rails 13 having the first rails 13a, the first rake rails 13b and the second rake rails 13c, the first wheels 23a, By including the wheel portion 23 having the second wheel 23b, it is possible to travel to a desired height even if the slope section is shortened. That is, as mentioned above, the first inclined rail 13b is provided so as to have the first inclination? 1 of about 3 to 5 mm, and the second inclination rail 13b is provided so as to have the second inclination? 2 inclined rail 13c so that the overall inclination (? 1 +? 2) can be adjusted to have a value of about 6 to 10 ?, and the first wheel 23a and the second wheel 23b can be used for stable operation So that the vehicle can be operated at a desired height even if the slope section is shortened.

본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 경사 구간 사이에 직선 구간을 두지 않고도 원하는 높이로의 운행이 가능하다. 이에, 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치를 사용할 경우에는 원하는 경사도를 용이하게 설정할 수 있기 때문에 공간 활용도를 극대화시킬 수 있을 뿐만 아니라 원하는 레이아웃으로 제조 라인을 형성할 수 있다.The conveying device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention can be operated at a desired height without providing a straight line section between the inclined sections. Therefore, when the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention is used, desired inclination can be easily set, thereby maximizing space utilization and forming a manufacturing line with a desired layout.

따라서 본 발명의 집적회로 소자 제조용 이송 장치는 공간 활용도 및 레이아웃 구성의 측면에서 극대화를 도모할 수 있기 때문에 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.Therefore, the transfer device for manufacturing integrated circuit devices of the present invention can be maximized in terms of space utilization and layout configuration, and therefore productivity can be expected to be improved due to the manufacture of integrated circuit devices.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

11 : 레일 어셈블리 13 : 레일
13a : 제1 레일 13b : 제1 경사 레일
13c : 제2 경사 레일 15 : 레일 지지부
21 : 차량 어셈블리 23 : 휠부
23a : 제1 휠 23b : 제2 휠
25 : 가이드용 휠 27 : 구동부
29 : 몸체부 100 : 이송 장치11: rail assembly 13: rail
13a: first rail 13b: first inclined rail
13c: second inclined rail 15: rail supporting portion
21: vehicle assembly 23:
23a: first wheel 23b: second wheel
25: guide wheel 27:
29: Body part 100: Feeding device

Claims (4)

제1 레일과, 상기 제1 레일과 연결되며 상기 제1 경사도를 갖는 제1 경사 레일, 및 상기 제1 경사 레일과 연결되며 제2 경사도를 갖는 제2 경사 레일로 이루어지는 레일부;
상기 제1 레일을 따라 운행하는 제1 휠, 및 상기 제1 휠의 측면에 결합되며 상기 제1 경사 레일 및 상기 제2 경사 레일을 따라 운행하는 제2 휠로 이루어지는 휠부; 및
상기 휠부와 결합되어 상기 휠부의 운행에 의해 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하도록 구비되는 몸체부를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.A rail section comprising a first rail, a first ramp rail connected to the first rail and having the first inclination, and a second ramp rail connected to the first ramp and having a second inclination;
A wheel portion comprising a first wheel traveling along the first rail and a second wheel coupled to a side surface of the first wheel and running along the first tilt rail and the second tilt rail; And
And a body portion coupled to the wheel portion and adapted to transport an object necessary for manufacturing the integrated circuit device by operating the wheel portion. 제1 항에 있어서, 상기 제1 레일은 경사도가 없는 평탄한 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.The apparatus according to claim 1, wherein the first rail is provided to have a flat structure without inclination. 제1 항에 있어서, 상기 제조 라인은 클린룸인 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.2. The transfer device according to claim 1, wherein the manufacturing line is a clean room. 제1 항에 있어서, 상기 레일부는 상기 제조 라인 내의 천장 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 몸체부는 상기 레일부 아래쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 집적회로 소자 제조용 이송 장치.The apparatus of claim 1, wherein the rail portion is disposed on a ceiling within the manufacturing line, and the body portion is disposed below the rail portion.
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