KR20130115138A - Transfer device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A transfer device is provided to prevent a decline in transfer efficiency when a carrier bogie moves between two tracks. CONSTITUTION: A transfer device (1) comprises a carrier bogie (3), a first track part (4), a second track part (5), and a third track part (6A). The second track part is separated from the first track part. The third track part moves from a first position to a second position. The first position is connected to the first track part and is separated from the second track part. The second position is connected to the first and second track parts. If the third track part is located at the first position, the carrier bogie moves from the first track part to the third track part. If the third track part is located at the second position, the carrier bogie moves from the third track part to the second track part. [Reference numerals] (71) Detecting unit; (72) Braking command unit

Description

반송 장치{TRANSFER DEVICE}TRANSFER DEVICE

본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물을 반송하기 위한 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus for conveying a conveyed object such as a semiconductor wafer or a glass substrate, for example.

종래, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물을 반송하기 위한 반송 장치가 알려져 있다. 이러한 반송 장치에 관한 기술로서, 예를 들면 특허 문헌 1에는, 반송대차의 궤도를 샌드위치하는 일방측의 영역으로부터 타방측의 영역으로 각종 장치 등을 이동하기 위하여, 궤도의 일부분을 이동 가능하게 한 기술이 개시되어 있다. 또한 특허 문헌 2, 3에는, 두 개의 궤도를 구비하는 반송 장치에 있어서, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하기 위하여, 궤도의 일부분을 이동 가능하게 한 기술이 개시되어 있다.Background Art Conventionally, a conveying apparatus for conveying a conveyed object such as a semiconductor wafer or a glass substrate is known. As a technique related to such a conveying device, for example, Patent Document 1 describes a technique in which a part of a track can be moved in order to move various devices and the like from an area on one side to sandwich the track of a transport cart on the other side. Is disclosed. Further, Patent Documents 2 and 3 disclose a technique in which a part of a track can be moved in order to move the transport cart between two tracks in a transport device having two tracks.

일본특허공개공보 2005－015201호Japanese Patent Laid-Open No. 2005-015201 일본특허공개공보 2004－050871호Japanese Patent Laid-Open No. 2004-0050871 일본특허공개공보 2007－326706호Japanese Patent Publication No. 2007-326706

그런데, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 반송 장치에 있어서는, 두 개의 궤도가 서로 이간되어 있을수록, 반송대차를 이동시키는 시간이 길어져, 반송 효율이 저하될 우려가 있다.By the way, in the conveying apparatus which moves a conveyance trolley | bogie between two track | orbits, the time which moves a conveyance trolley becomes longer, so that conveyance efficiency may fall, so that two tracks are mutually separated.

본 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in order to solve such a subject, and an object of this invention is to provide the conveying apparatus which can suppress the fall of conveyance efficiency, when moving a conveyance trolley between two tracks.

본 발명에 따른 반송 장치는, 반송대차와, 상기 반송대차를 주행시키는 제 1 궤도부와, 제 1 궤도부로부터 이간되어 있고, 반송대차를 주행시키는 제 2 궤도부와, 제 1 궤도부와 접속되고 또한 제 2 궤도부로부터 이간되는 제 1 위치와, 제 2 궤도부와 접속되고 또한 제 1 궤도부로부터 이간되는 제 2 위치와의 사이를 이동하고, 반송대차를 주행시키는 제 3 궤도부를 구비하고, 반송대차는, 제 3 궤도부가 제 1 위치에 있을 때, 제 1 궤도부로부터 제 3 궤도부로 진입하고, 제 3 궤도부가 이동하고 있을 때, 제 3 궤도부를 주행하고, 제 3 궤도부가 제 2 위치에 있을 때, 제 3 궤도부로부터 상기 제 2 궤도부로 퇴출한다.The conveying apparatus which concerns on this invention connects a conveyance bogie, the 1st track part which drives the said conveyance bogie, the 1st track part which is separated from a 1st track part, and runs a conveyance bogie, and a 1st track | orbit part. And a third track portion for moving the transport cart between the first position separated from the second track portion and the second position connected to the second track portion and spaced apart from the first track portion. The carriage cart enters the third track section from the first track section when the third track section is in the first position, and travels on the third track section when the third track section moves, and the third track section includes the second track section. When in position, exit from the third orbit to the second orbit.

이 반송 장치에서는, 제 1 궤도부와 접속되고 또한 제 2 궤도부로부터 이간되는 제 1 위치와, 제 2 궤도부와 접속되고 또한 제 1 궤도부로부터 이간되는 제 2 위치와의 사이를 이동하는 제 3 궤도부가, 반송대차를 주행시키도록 되어 있다. 따라서, 제 3 궤도부가 반송대차를 주행시키면서 제 1 위치와 제 2 위치의 사이를 이동함으로써, 반송대차가 제 1 궤도부와 제 2 궤도부의 사이의 이동에 필요로 하는 이동 시간을 저감할 수 있다. 따라서, 이 반송 장치에 의하면, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.In this conveying apparatus, an agent moving between a first position connected to the first track portion and separated from the second track portion, and a second position connected to the second track portion and separated from the first track portion. 3 track | orbit part is made to make a conveyance trolley run. Therefore, by moving the 3rd track part between a 1st position and a 2nd position while driving a conveyance bogie, the travel time which a conveyance bogie requires for the movement between a 1st track | orbit part and a 2nd track | orbit part can be reduced. . Therefore, according to this conveying apparatus, when moving a conveyance trolley between two tracks, the fall of conveyance efficiency can be suppressed.

또한, 제 3 궤도부가 제 1 위치로부터 제 2 위치로 이동하는데 필요로 하는 시간을 T로 하고, 제 3 궤도부에서의 반송대차의 정상 속도를 V로 한 경우에, 제 3 궤도부의 주행 길이(L)는, V·T 이상으로 설정되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면, 반송대차는, 제 3 궤도부가 이동하고 있는 동안에 제 3 궤도부를 계속 주행하는 것이 가능해지기 때문에, 제 1 궤도부와 제 2 궤도부의 사이를 정지하지 않고 이동할 수 있다. 따라서, 반송대차가 제 1 궤도부와 제 2 궤도부의 사이의 이동에 필요로 하는 이동 시간을 더욱 저감할 수 있다.In addition, when the time required for the third track portion to move from the first position to the second position is T, and the normal speed of the transport cart at the third track portion is V, the running length of the third track portion ( L) may be set to V · T or more. According to this configuration, the conveyance trolley can move continuously while the third track section moves while the third track section moves, and can move without stopping between the first track section and the second track section. Therefore, it is possible to further reduce the travel time required for the transport cart to move between the first track portion and the second track portion.

또한 반송 장치는, 제 3 궤도부가 제 1 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 1 검지부와, 반송대차에 제동을 지령하는 제 1 제동 지령부를 더 구비하고, 제 1 궤도부를 정상 속도로 주행하는 반송대차의 제동 거리를 SI로 한 경우에, 제 1 제동 지령부는, 제 1 궤도부에서의 제 3 궤도부측의 단부로부터 제동 거리(SI) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 제 1 검지부에 의해 제 3 궤도부가 제 1 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차에 제동을 지령해도 좋다. 이 구성에 의하면, 제 3 궤도부가 제 1 궤도부에 접속되기 전에, 반송대차가 제 1 궤도부로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.The conveying apparatus further includes a first detecting portion that detects that the third track portion is connected to the first track portion, and a first braking command portion which commands the braking to the conveying cart, and carries the first track portion at a normal speed. When the braking distance of the trolley is SI, the first braking command unit reaches the braking point set at a position spaced apart by the braking distance SI from the end of the third orbital section side in the first orbital section. In the case where it is not detected that the third track portion is connected to the first track portion by the first detection portion, braking may be instructed to the transport cart. According to this configuration, it is possible to prevent the carrier cart from deviating from the first track portion before the third track portion is connected to the first track portion.

또한 반송 장치는, 제 3 궤도부가 제 2 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 2 검지부와, 반송대차에 제동을 지령하는 제 2 제동 지령부를 더 구비하고, 제 3 궤도부를 정상 속도로 주행하는 반송대차의 제동 거리를 SE로 한 경우에, 제 2 제동 지령부는, 제 3 궤도부에서의 제 2 궤도부측의 단부로부터 제동 거리(SE) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 제 2 검지부에 의해 제 3 궤도부가 제 2 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차에 제동을 지령해도 좋다. 이 구성에 의하면, 제 3 궤도부가 제 2 궤도부에 접속되기 전에, 반송대차가 제 3 궤도부로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.The conveying apparatus further includes a second detecting unit that detects that the third track unit is connected to the second track unit, and a second braking command unit which commands the braking to the conveying cart, and carries the third track unit at a normal speed. When the braking distance of the trolley is set to SE, the second braking command section reaches the braking point set at a position spaced apart from the end of the second orbiting section side of the third track section by more than the braking distance SE. In the case where it is not detected that the third track portion is connected to the second track portion by the second detection portion, braking may be instructed to the transport cart. According to this configuration, it is possible to prevent the carriage from deviating from the third track portion before the third track portion is connected to the second track portion.

또한, 제 1 위치는 제 2 위치와 높이가 상이하고, 제 3 궤도부는 제 1 위치와 제 2 위치의 사이를 승강하는 구성으로 해도 좋다.The first position may be different in height from the second position, and the third track portion may be configured to move up and down between the first position and the second position.

본 발명에 의하면, 두 개의 궤도간에서 반송대차의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것이 가능해진다.According to the present invention, it is possible to provide a conveying apparatus capable of suppressing a decrease in conveying efficiency when the conveyance trolley is moved between two tracks.

도 1은 본 발명에 따른 반송 장치의 일실시예의 평면도이다.
도 2는 도 1의 반송 장치의 일방향의 측면도이다.
도 3은 도 1의 반송 장치의 타방향의 측면도이다.1 is a plan view of one embodiment of a conveying apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a side view of one direction of the conveying apparatus of FIG. 1. FIG.
3 is a side view of the conveying apparatus of FIG. 1 in another direction.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 반송 장치의 적합한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 동일 또는 상당 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복된 설명은 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the conveying apparatus of this invention is described in detail with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or equivalent element, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

도 1에 도시한 바와 같이, 반송 장치(1)는, 예를 들면, 반도체 장치 또는 액정표시장치 등의 제조 공장의 클린 룸(100)에 설치되고, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물(R)을 반송한다. 클린 룸(100)에는, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등이 보관되는 스토커(2)가 바닥면 상에 복수 설치되어 있다. 이러한 클린 룸(100)에 설치되어 있는 반송 장치(1)는, 복수의 반송대차(3), 궤도부(제 1 궤도부, 제 2 궤도부)(4, 5) 및 이동 궤도부(제 3 궤도부)(6A, 6B)를 구비하고 있다. 또한, 스토커(2)는 설치되지 않는 경우도 있다.As shown in FIG. 1, the conveying apparatus 1 is installed in the clean room 100 of manufacturing plants, such as a semiconductor device or a liquid crystal display device, for example, and conveyed object R, such as a semiconductor wafer or a glass substrate, is carried out. B) return. In the clean room 100, a plurality of stockers 2, on which semiconductor wafers, glass substrates, and the like are stored, are provided on the bottom surface. The conveying apparatus 1 installed in such a clean room 100 includes a plurality of conveyance trolleys 3, track sections (first track section, second track section) 4, 5 and moving track sections (third section). Orbit part) 6A, 6B. In addition, the stocker 2 may not be provided.

반송대차(3)는, 예를 들면 궤도상을 주행하는 OHS(Overhead Shuttle) 유궤도식 무인 반송차로서, 반송원으로부터 반송처로의 주행 루트를 자차로 작성하고, 궤도부(4, 5) 및 이동 궤도부(6A, 6B)를 포함한 주행로망에서의 자차의 위치를 파악하면서, 피반송물(R)을 반송원으로부터 반송처로 반송한다. 반송원 및 반송처로서는, 스토커(2)의 외에, 피반송물에 각종 처리를 실시하기 위한 스테이션 등이 있다. 반송대차(3)는, 제어부(7)와 통신 가능하게 되어 있다. 반송대차(3)는, 예를 들면, 비접촉 전원이나 케이블에 의해 외부로부터 공급되는 전력으로 구동되어도 좋고, 배터리를 탑재하여 당해 배터리의 전력으로 구동되어도 좋다. 또한 반송대차(3)는, 궤도에 매달려 주행하는 OHT(Overhead hoist Transport) 등이라고 하는 다른 형식의 무인 반송차여도 좋다.The conveyance trolley | bogie 3 is an OHS (Overhead Shuttle) trackless unmanned conveyance vehicle which travels on a track, for example, makes the run route from a conveyance source to a conveyance destination by itself, and track | track part 4 and 5 and a movement. The conveyed object R is conveyed from a conveyance source to a conveyance destination, grasping the position of the host vehicle in the traveling network including the track portions 6A and 6B. As a carrier and a carrier, besides the stocker 2, there are a station for performing various kinds of processing on the conveyed object. The conveyance trolley 3 is able to communicate with the control part 7. As shown in FIG. The transport trolley | bogie 3 may be driven by the electric power supplied from the outside by a non-contact power supply or a cable, for example, and may be driven by the electric power of the said battery by mounting a battery. In addition, the conveyance trolley | bogie 3 may be another type of unmanned conveyance vehicle, such as overhead hoist transport (OHT) etc. which run on track.

각 궤도부(4, 5)는, 반송대차(3)를 주행시키는 레일을 가지고 있고, 반송대차(3)가 복수의 스토커(2)의 주위를 주행할 수 있도록, 클린 룸(100)의 바닥면(101)(도 2 참조)을 따라 설치되어 있다. 궤도부(4) 및 궤도부(5)는, 수평 방향에 있어서 서로 이간하여 배치되어 있고, 각각 주회 궤도(루프)를 이루고 있다. 궤도부(4)에는, 이동 궤도부(6A)가 접속되는 접속부(41A), 및 이동 궤도부(6B)가 접속되는 접속부(41B)가 설치되어 있다. 또한 궤도부(5)에는, 이동 궤도부(6A)가 접속되는 접속부(51A), 및 이동 궤도부(6B)가 접속되는 접속부(51B)가 설치되어 있다.Each track part 4 and 5 has a rail which drives the conveyance trolley 3, and the bottom of the clean room 100 so that the conveyance trolley 3 can travel around the some stocker 2, respectively. It is provided along the surface 101 (refer FIG. 2). The track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 are mutually arrange | positioned in the horizontal direction, and each has comprised the turning track (loop). The track portion 4 is provided with a connecting portion 41A to which the moving track portion 6A is connected, and a connecting portion 41B to which the moving track portion 6B is connected. Moreover, the track | orbit part 5 is provided with the connection part 51A to which the moving track | orbit part 6A is connected, and the connection part 51B to which the moving track | orbit part 6B is connected.

도 2는, 도 1 중의 A 방향에서 본 반송 장치(1)의 측면도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 클린 룸(100)의 바닥면(101)으로부터 궤도부(4)까지의 높이(h1)는, 예를 들면 4 m 정도로 되어 있다. 또한, 바닥면(101)으로부터 궤도부(5)까지의 높이(h2)는, 예를 들면 6 m 정도로 되어 있다. 이와 같이, 궤도부(4) 및 궤도부(5)는, 바닥면(101)으로부터의 높이가 상이하고, 수평 방향에 더하여 수직 방향에 있어서도 서로 이간하여 배치되어 있다.FIG. 2: is a side view of the conveying apparatus 1 seen from the A direction in FIG. As shown in FIG. 2, the height h1 from the bottom surface 101 of the clean room 100 to the track portion 4 is, for example, about 4 m. In addition, the height h2 from the bottom surface 101 to the track | orbit part 5 becomes about 6 m, for example. Thus, the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 differ in height from the bottom surface 101, and are arrange | positioned mutually apart also in a vertical direction in addition to a horizontal direction.

궤도부(4)에는 제동 포인트(P4)가 마련되어 있다. 반송대차(3)의 궤도부(4)에서의 정상 속도를 V4로 하고, 궤도부(4)를 정상 속도(V4)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S4(제동 거리(SI))로 한 경우, 제동 포인트(P4)로부터 접속부(41A)의 단부까지의 궤도상에서의 거리(D4)는, 제동 거리(S4) 이상으로 설정되어 있다. 접속부(41A)의 단부에는, 반송대차(3)가 접속부(41A)로부터 낙하하는 것을 방지하기 위한 기계식의 스토퍼가 설치되어 있다. 이 스토퍼는, 궤도부(4)와 이동 궤도부(6A)의 접속이 검지될 때까지는 궤도를 폐쇄하고, 당해 접속이 검지되면 궤도를 개방하도록 되어 있다. 또한 스토퍼는, 기계식의 것이 바람직하지만, 다른 방식의 것이어도 좋다.The raceway 4 is provided with a braking point P4. The normal speed at the track portion 4 of the transport cart 3 is set to V4, and the braking distance of the transport cart 3 which travels the track portion 4 at the normal speed V4 is S4 (braking distance SI). ), The distance D4 on the track from the braking point P4 to the end of the connection portion 41A is set to the braking distance S4 or more. At the end of the connecting portion 41A, a mechanical stopper for preventing the transport cart 3 from falling from the connecting portion 41A is provided. The stopper closes the track until the connection between the track 4 and the moving track 6A is detected, and opens the track when the connection is detected. The stopper is preferably a mechanical one, but may be of another type.

도 3은, 도 1 중의 B 방향에서 본 반송 장치(1)의 측면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 궤도부(5)에는 제동 포인트(P5)가 마련되어 있다. 반송대차(3)의 궤도부(5)에서의 정상 속도를 V5로 하고, 궤도부(5)를 정상 속도(V5)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S5(제동 거리(SI))로 한 경우, 제동 포인트(P5)로부터 접속부(51B)의 단부까지의 궤도상에서의 거리(D5)는, 제동 거리(S5) 이상으로 설정되어 있다. 접속부(51B)의 단부에는, 궤도부(4)의 단부에 설치된 스토퍼와 동일한 스토퍼가 설치되어 있다.FIG. 3: is a side view of the conveying apparatus 1 seen from the B direction in FIG. As shown in FIG. 3, a braking point P5 is provided in the track portion 5. The normal speed at the track portion 5 of the transport trolley 3 is set to V5, and the braking distance of the transport trolley 3 traveling with the track portion 5 at the normal speed V5 is S5 (braking distance SI). ), The distance D5 on the track from the braking point P5 to the end of the connecting portion 51B is set to the braking distance S5 or more. At the end of the connecting portion 51B, the same stopper as the stopper provided at the end of the track portion 4 is provided.

도 1로 돌아가서, 이동 궤도부(6A)는, 반송대차(3)를 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로 이동시키는 것이며, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이에 설치되어 있다. 또한 이동 궤도부(6B)는, 반송대차(3)를 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로 이동시키는 것이며, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이에 설치되어 있다. 한 쌍의 이동 궤도부(6A, 6B)는, 바닥면(101)을 따른 대략 직선 형상을 나타내고 있고, 서로 대략 평행하게 설치되어 있다. 각 이동 궤도부(6A, 6B)는, 반송대차(3)를 주행시키는 레일을 가지고 있다. 또한 이동 궤도부(6A, 6B)는, 반드시 서로 대략 평행하게 설치되어 있을 필요는 없다.Returning to FIG. 1, the moving track part 6A moves the transport cart 3 from the track part 4 to the track part 5, and is provided between the track part 4 and the track part 5. It is. Moreover, the moving track | orbit part 6B moves the conveyance trolley | bogie 3 from the track | orbit part 5 to the track | orbit part 4, and is provided between the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5. The pair of moving track portions 6A and 6B exhibit a substantially straight shape along the bottom surface 101 and are provided in substantially parallel with each other. Each of the moving track portions 6A and 6B has a rail for driving the transport cart 3. In addition, the moving track portions 6A and 6B do not necessarily have to be provided substantially parallel to each other.

도 2에 도시한 바와 같이, 이동 궤도부(6A)는, 바닥면(101)으로부터 상방을 향하여 돌출된 복수의 승강부(8)에 의해 지지되어 있다. 각 승강부(8)는, 예를 들면, 바닥면(101)에 고정된 부재에 대하여 수직 방향으로 슬라이드 가능한 부재를 장착하는 구성 등에 의해, 바닥면(101)으로부터의 높이(h3)가 조정 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 승강부(8)에 지지된 이동 궤도부(6A)는, 궤도부(4)와 동등한 높이의 위치(A1)와, 궤도부(5)와 동등한 높이의 위치(A2)와의 사이를 승강 가능하게 되어 있다. 또한, 승강부(8)는 1개여도 좋다. 또한 이동 궤도부(6A)는, 당해 이동 궤도부(6A)를 와이어에 의해 상방으로부터 매달고, 당해 와이어를 윈치로 감아서 옮기는 것 등에 의해 승강 가능한 구성으로 해도 좋다. 이 이동 궤도부(6A)의 승강은, 반송 장치(1)가 구비하는 제어부(7)에 의해 제어된다.As shown in FIG. 2, the moving track portion 6A is supported by a plurality of lifting portions 8 protruding upward from the bottom surface 101. Each lifting part 8 can adjust the height h3 from the bottom surface 101 by the structure which mounts the member which can slide to a perpendicular direction with respect to the member fixed to the bottom surface 101, etc., for example. It is supposed to be done. Thereby, the moving track | orbit part 6A supported by the elevating part 8 is made between the position A1 of the height equivalent to the track | orbit part 4, and the position A2 of the same height as the track | ordinance part 5. We can go up and down. In addition, one lifting part 8 may be sufficient. In addition, the moving track portion 6A may be configured to be elevated by lifting the moving track portion 6A from above by a wire, winding the wire around the winch, and moving the same. The lifting and lowering of this moving track part 6A is controlled by the control part 7 with which the conveying apparatus 1 is equipped.

위치(A1)에서는, 이동 궤도부(6A)의 일방의 단부(61A)는, 궤도부(4)의 접속부(41A)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6A)의 타방의 단부(62A)는, 궤도부(5)의 접속부(51A)로부터 이간된다. 한편, 위치(A2)에서는, 이동 궤도부(6A)의 타방의 단부(62A)는, 궤도부(5)의 접속부(51A)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6A)의 일방의 단부(61A)는, 궤도부(4)의 접속부(41A)로부터 이간된다.At the position A1, one end 61A of the moving track portion 6A is connected to the connection portion 41A of the track portion 4. At this time, the other end 62A of the moving track portion 6A is spaced apart from the connecting portion 51A of the track portion 5. On the other hand, at the position A2, the other end 62A of the moving track portion 6A is connected to the connection portion 51A of the track portion 5. At this time, one end 61A of the moving track portion 6A is spaced apart from the connecting portion 41A of the track portion 4.

이동 궤도부(6A)의 주행 길이(L1)(단부(61A)와 단부(62A)의 사이의 거리)는, 이동 궤도부(6A)가 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승하는데 필요로 하는 시간을 T1로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6A)에서의 정상 속도를 V1로 한 경우에, V1·T1 이상으로 설정되어 있다. 즉, 주행 길이(L1)는, 이동 궤도부(6A)가 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승하는 동안에, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6A)를 정지하지 않고 정상 속도(V1)로 주행할 수 있는 길이 이상으로 되어 있다.The running length L1 (distance between the end portion 61A and the end portion 62A) of the moving track portion 6A is necessary for the moving track portion 6A to rise from the position A1 to the position A2. When the time to be set is T1 and the stationary speed at the moving track portion 6A of the transport cart 3 is set to V1, it is set to V1 · T1 or more. That is, the running length L1 is the normal speed V1 without the carrier trolley 3 stopping the moving track 6A while the moving track 6A rises from the position A1 to the position A2. It is more than the length that can run by).

또한 이동 궤도부(6A)에는, 제동 포인트(P1)가 마련되어 있다. 이동 궤도부(6A)를 정상 속도(V1)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S1(제동 거리(SE))로 한 경우, 제동 포인트(P1)로부터 단부(62A)까지의 거리(D1)는, 제동 거리(S1) 이상으로 설정되어 있다. 이동 궤도부(6A)의 단부(62A)에는, 궤도부(4)의 단부에 설치된 스토퍼와 동일한 스토퍼가 설치되어 있다.Moreover, braking point P1 is provided in 6 A of moving track parts. The distance from the braking point P1 to the end 62A when the braking distance of the transport trolley 3 which travels the moving track portion 6A at the normal speed V1 is S1 (braking distance SE). D1) is set to the braking distance S1 or more. At the end 62A of the moving track portion 6A, the same stopper as the stopper provided at the end of the track portion 4 is provided.

도 3에 도시한 바와 같이, 이동 궤도부(6B)는, 이동 궤도부(6A)와 동일한 구성에 의해, 궤도부(4)와 동등한 높이의 위치(B1)와, 궤도부(5)와 동등한 높이의 위치(B2)와의 사이를 승강 가능하게 되어 있다. 이 이동 궤도부(6B)의 승강은, 제어부(7)에 의해 제어된다.As shown in FIG. 3, the moving track portion 6B has the same configuration as that of the moving track portion 6A, and is equivalent to the position B1 and the track portion 5 having the same height as the track portion 4. The lifting and lowering is possible between the position B2 of the height. The lifting and lowering of this moving track | orbit part 6B is controlled by the control part 7.

위치(B1)에서는, 이동 궤도부(6B)의 일방의 단부(61B)는, 궤도부(4)의 접속부(41B)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6B)의 타방의 단부(62B)는, 궤도부(5)의 접속부(51B)로부터 이간된다. 한편, 위치(B2)에서는, 이동 궤도부(6B)의 타방의 단부(62B)는, 궤도부(5)의 접속부(51B)와 접속된다. 이 때, 이동 궤도부(6B)의 일방의 단부(61B)는, 궤도부(4)의 접속부(41B)로부터 이간된다.In the position B1, one end 61B of the moving track portion 6B is connected to the connecting portion 41B of the track portion 4. At this time, the other end 62B of the moving track part 6B is spaced apart from the connecting part 51B of the track part 5. On the other hand, at the position B2, the other end 62B of the moving track portion 6B is connected to the connecting portion 51B of the track portion 5. At this time, one end 61B of the moving track portion 6B is separated from the connecting portion 41B of the track portion 4.

이동 궤도부(6B)의 주행 길이(L2)(단부(61B)와 단부(62B)의 사이의 거리)는, 이동 궤도부(6B)가 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강하는데 필요로 하는 시간을 T2로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6B)에서의 정상 속도를 V2로 한 경우에, V2·T2 이상으로 설정되어 있다. 즉, 주행 길이(L2)는, 이동 궤도부(6B)가 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강하는 동안에, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6B)를 정지하지 않고 정상 속도(V2)로 주행할 수 있는 길이 이상으로 되어 있다.The running length L2 (distance between the end portion 61B and the end portion 62B) of the movement track portion 6B is necessary for the movement track portion 6B to descend from the position B2 to the position B1. When the time to be set is T2 and the stationary speed at the moving track portion 6B of the transport cart 3 is set to V2, it is set to V2 · T2 or more. That is, the running length L2 is the normal speed V2 without the carrier trolley 3 stopping the moving track 6B while the moving track 6B is lowered from the position B2 to the position B1. It is more than the length that can run by).

또한 이동 궤도부(6B)에는, 제동 포인트(P2)가 마련되어 있다. 이동 궤도부(6B)를 정상 속도(V2)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S2(제동 거리(SE))로 한 경우, 제동 포인트(P2)로부터 단부(61B)까지의 거리(D2)는, 제동 거리(S2) 이상으로 설정되어 있다. 이동 궤도부(6B)의 단부(61B)에는, 이동 궤도부(6A)의 단부(62A)에 설치된 스토퍼와 동일한 스토퍼가 설치되어 있다.Moreover, the braking point P2 is provided in the moving track | orbit part 6B. The distance from the braking point P2 to the end portion 61B when the braking distance of the transport trolley 3 which travels the moving track portion 6B at the normal speed V2 is S2 (braking distance SE). D2) is set to the braking distance S2 or more. At the end 61B of the moving track portion 6B, the same stopper as the stopper provided at the end 62A of the moving track portion 6A is provided.

제어부(7)는, 반송 장치(1) 전체의 제어를 행하는 것이며, 예를 들면, CPU, ROM, RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 제어부(7)는, 처리부로서, 적어도 검지부(제 1 검지부, 제 2 검지부)(71) 및 제동 지령부(제 1 제동 지령부, 제 2 제동 지령부)(72)를 가지고 있다. 제어부(7)는, ROM에 저장되어 있는 프로그램을 RAM 상에 로드하고, CPU로 실행함으로써, 검지부(71) 및 제동 지령부(72)를 소프트웨어로 구성한다. 또한, 제어부(7)의 각 처리부는, 하드웨어로 구성되어도 좋다.The control part 7 performs control of the whole conveying apparatus 1, for example, is an electronic control unit which consists of CPU, ROM, RAM, etc. The control unit 7 has at least a detection unit (first detection unit, second detection unit) 71 and a braking command unit (first braking command unit, second braking command unit) 72 as a processing unit. The control unit 7 configures the detection unit 71 and the braking command unit 72 in software by loading the program stored in the ROM onto the RAM and executing the program in the CPU. In addition, each processing part of the control part 7 may be comprised by hardware.

검지부(71)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속된 것을 검지한다. 검지부(71)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속된 것을 검지하면, 제동 지령부(72)에 대하여 검지 신호를 송신한다. 제동 지령부(72)는, 소정 조건하에서, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 검지부(71) 및 제동 지령부(72)에 대해서는, 이하에서 보다 상세하게 설명한다.The detection part 71 detects that the moving track parts 6A and 6B are connected to the track part 4 or the track part 5. The detection part 71 transmits a detection signal to the braking command part 72, when detecting that the moving track parts 6A and 6B are connected to the track part 4 or the track part 5. The braking command unit 72 commands braking to the transport cart 3 under predetermined conditions. The detection unit 71 and the braking command unit 72 will be described in more detail below.

이어서, 반송 장치(1)의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 반송대차(3)가 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로 이동하는 경우에 대하여 설명한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 궤도부(4)를 주행 중인 반송대차(3)는, 제동 포인트(P4)를 통과할 때에 제어부(7)에 대하여, 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로의 이동의 요구를 송신한다. 제어부(7)가 요구를 수신하면, 검지부(71)는, 예를 들면 근접 센서 등에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속을 검지한다. 또한, 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속, 및 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4, 5)의 접속에 대해서도, 동일한 수단에 의해 검지된다. 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속이 검지된 경우, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V4)로 주행을 계속하여 정지 없이 접속부(41A)로부터 이동 궤도부(6A)로 진입한다.Next, operation | movement of the conveying apparatus 1 is demonstrated. First, the case where the conveyance trolley 3 moves from the track | orbit part 4 to the track | orbit part 5 is demonstrated. As shown in FIG. 2, the conveyance trolley 3 which is traveling on the track portion 4, from the track portion 4 to the track portion 5 with respect to the controller 7 when passing through the braking point P4. Send a request to move to. When the control part 7 receives a request, the detection part 71 detects the connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 4, for example with a proximity sensor. In addition, the connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 5, and the connection of the moving track | orbit part 6B and the track | orbit part 4 and 5 are also detected by the same means. When the connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 4 is detected, the brake command part 72 does not command braking to the conveyance trolley | bogie 3, and the conveyance trolley | bogie 3 remains the normal speed V4. The vehicle continues traveling in the road and enters the moving track portion 6A from the connection portion 41A without stopping.

한편, 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속이 검지되지 않는 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6A)에 대하여 위치(A1)까지 이동하도록 지령하고 또한, 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 궤도부(4)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 제동 지령부(72)는, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(4)의 접속이 검지된 시점에서, 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는 접속부(41A)로부터 이동 궤도부(6A)로 진입한다.On the other hand, when the connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 4 is not detected, the control part 7 instructs to move to the position A1 with respect to the moving track | orbit part 6A, and a braking command part 72 commands braking to the conveyance trolley | bogie 3. As shown in FIG. As a result, the transport cart 3 is prevented from deviating from the track portion 4. Then, the braking command unit 72 instructs the traveling cart 3 to travel when the detection unit 71 detects the connection between the moving track 6A and the track unit 4. As a result, the transport cart 3 enters the moving track portion 6A from the connection portion 41A.

계속해서, 제어부(7)는, 예를 들면, 광전 센서 등에 의해, 반송대차(3)의 단부(61A)의 통과를 검지한다. 또한, 반송대차(3)의 단부(62A, 61B, 62B), 및 제동 포인트(P1, P2)의 통과에 대해서도 동일한 수단에 의해 검지된다. 반송대차(3)의 단부(61A)의 통과가 검지된 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6A)에 대하여 위치(A2)까지 상승하도록 지령한다. 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6A)가 상승하고 있는 동안, 이동 궤도부(6A)를 단부(62A)를 향하여 정상 속도(V1)로 주행한다.Subsequently, the control unit 7 detects the passage of the end portion 61A of the transport cart 3 by, for example, a photoelectric sensor or the like. In addition, the passage of the end portions 62A, 61B, 62B and the braking points P1, P2 of the conveyance trolley 3 is also detected by the same means. When passage of the end 61A of the conveyance trolley | bogie 3 is detected, the control part 7 instructs it to raise to the position A2 with respect to 6 A of moving track parts. The conveyance trolley 3 runs the moving track | orbit part 6A toward the edge part 62A at the normal speed V1, while the moving track | orbit part 6A is rising.

계속해서, 검지부(71)는, 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속을 검지한다. 또한 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)의 제동 포인트(P1)의 통과를 검지한다. Subsequently, the detection unit 71 detects the connection between the moving track portion 6A and the track portion 5. In addition, the braking command unit 72 detects passage of the braking point P1 of the transport cart 3.

제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P1)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지되었을 때에는, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V1)로 주행을 계속하여 정지 없이 이동 궤도부(6A)로부터 접속부(51A)로 퇴출하고, 접속부(51A)로부터 궤도부(5)로 이동한다. 이에 의해, 반송대차(3)의 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로의 이동은 완료된다.In the case where passage of the braking point P1 of the transport cart 3 is detected by the braking command unit 72, the connection of the moving track 6A and the track 5 is detected by the detecting unit 71. When the braking command unit 72 is in operation, the braking command unit 72 does not command braking to the transport trolley 3, and the transport trolley 3 continues to travel at the normal speed V1 as it is and stops from the moving track 6A without connecting. It exits to 51A and moves to the track | orbit part 5 from the connection part 51A. As a result, the movement from the track portion 4 of the transport trolley 3 to the track portion 5 is completed.

한편, 제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P1)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지되지 않을 때에는, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6A)가 예정대로의 상승을 행하지 않았다고 판단하여, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6A)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 시점에서, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는 이동 궤도부(6A)로부터 접속부(51A)로 퇴출하여 접속부(51A)로부터 궤도부(5)로 이동하고, 반송대차(3)의 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로의 이동은 완료된다.On the other hand, when the passage of the braking point P1 of the conveyance trolley 3 is detected by the braking command part 72, connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 5 by the detection part 71 is carried out. When this detection is not detected, the braking command unit 72 determines that the moving track portion 6A has not risen as scheduled, and commands the braking vehicle 3 to brake. This prevents the transport cart 3 from deviating from the moving track portion 6A. And when the connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 5 is detected by the detection part 71, the braking command part 72 commands the conveyance trolley 3 to run. Thereby, the conveyance trolley 3 exits from the moving track | orbit part 6A to the connection part 51A, moves to the track | orbit part 5 from the connection part 51A, and track | orbits from the track | orbit part 4 of the conveyance trolley | bogie 3. Movement to the part 5 is completed.

이어서, 반송대차(3)가 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로 이동하는 경우에 대하여 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 궤도부(5)를 주행 중인 반송대차(3)는, 제동 포인트(P5)를 통과할 때에 제어부(7)에 대하여, 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로의 이동의 요구를 송신한다. 제어부(7)가 요구를 수신하면, 검지부(71)는, 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속을 검지한다. 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 경우, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V5)로 주행을 계속하여 정지 없이 접속부(51B)로부터 이동 궤도부(6B)로 진입한다.Next, the case where the conveyance trolley 3 moves from the track | orbit part 5 to the track | orbit part 4 is demonstrated. As shown in FIG. 3, the conveyance trolley 3 which is traveling on the track portion 5 passes from the track portion 5 to the track portion 4 with respect to the controller 7 when passing through the braking point P5. Send a request to move to. When the control part 7 receives a request, the detection part 71 detects the connection of the moving track | orbit part 6B and the track | orbit part 5. When the connection of the moving track | orbit part 6B and the track | orbit part 5 is detected, the braking command part 72 does not command braking to the conveyance trolley | bogie 3, and the conveyance trolley | bogie 3 remains at normal speed V5. The vehicle continues traveling in the road and enters the moving track portion 6B from the connecting portion 51B without stopping.

한편, 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속이 검지되지 않는 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6B)에 대하여 위치(B2)까지 이동하도록 지령하고 또한, 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 궤도부(5)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 제동 지령부(72)는, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 시점에서, 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는, 접속부(51B)로부터 이동 궤도부(6B)로 진입한다.On the other hand, when the connection of the moving track | orbit part 6B and the track | orbit part 5 is not detected, the control part 7 instructs to move to the position B2 with respect to the moving track | orbit part 6B, and a braking command part 72 commands braking to the conveyance trolley | bogie 3. As shown in FIG. This prevents the transport cart 3 from deviating from the track | orbit part 5. The braking command unit 72 instructs the transport cart 3 to travel when the detection unit 71 detects the connection between the moving track 6B and the track 5. Thereby, the conveyance trolley 3 enters the moving track | orbit part 6B from the connection part 51B.

계속해서, 제어부(7)는, 반송대차(3)의 단부(62B)의 통과를 검지한다. 반송대차(3)의 단부(62B)의 통과가 검지된 경우, 제어부(7)는, 이동 궤도부(6B)에 대하여 위치(B1)까지 하강하도록 지령한다. 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6B)가 하강하고 있는 동안, 이동 궤도부(6B)를 단부(61B)를 향하여 정상 속도(V2)로 주행한다.Subsequently, the control unit 7 detects passage of the end 62B of the transport cart 3. When the passage of the end 62B of the conveyance trolley | bogie 3 is detected, the control part 7 instructs it to descend | fall to the position B1 with respect to the moving track | orbit part 6B. The conveyance trolley 3 runs the moving track | orbit part 6B toward the edge part 61B at the normal speed V2, while the moving track | orbit part 6B is descending.

계속해서, 검지부(71)는, 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속을 검지한다. 또한 제동 지령부(72)는, 반송대차(3)의 제동 포인트(P2)의 통과를 검지한다.Subsequently, the detection unit 71 detects the connection between the moving track 6B and the track 4. In addition, the braking command unit 72 detects passage of the braking point P2 of the transport cart 3.

제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P2)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속이 검지되었을 때에는, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 제동을 지령하지 않고, 반송대차(3)는 그대로 정상 속도(V2)로 주행을 계속하여 정지 없이 이동 궤도부(6B)로부터 접속부(41B)로 퇴출하고, 접속부(41B)로부터 궤도부(4)로 이동한다. 이에 의해, 반송대차(3)의 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로의 이동은 완료된다.When passage of the braking point P2 of the conveyance trolley 3 is detected by the braking command part 72, the connection of the moving track | orbit part 6B and the track | orbit part 4 is detected by the detection part 71. FIG. When the braking command unit 72 is in operation, the braking command unit 72 does not command braking to the transport trolley 3, and the transport trolley 3 continues to travel at the normal speed V2 as it is, without stopping, from the moving track section 6B. It exits to 41B) and moves to the track | orbit part 4 from the connection part 41B. As a result, the movement from the track portion 5 of the transport trolley 3 to the track portion 4 is completed.

한편, 제동 지령부(72)에 의해 반송대차(3)의 제동 포인트(P2)의 통과가 검지된 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속이 검지되지 않을 때에는, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6B)가 예정대로의 하강을 행하지 않았다고 판단하여, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6B)로부터 일탈하는 것이 방지된다. 그리고, 제동 지령부(72)는, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)와 궤도부(4)의 접속이 검지된 시점에서, 반송대차(3)에 주행을 지령한다. 이에 의해, 반송대차(3)는 이동 궤도부(6B)로부터 접속부(41B)로 퇴출하여 접속부(41B)로부터 궤도부(4)로 이동하고, 반송대차(3)의 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로의 이동은 완료된다.On the other hand, when passage of the braking point P2 of the conveyance trolley 3 is detected by the braking command part 72, connection of the moving track | orbit part 6B and the track | orbit part 4 by the detection part 71 is carried out. When this detection is not detected, the braking command unit 72 determines that the moving orbiting unit 6B has not lowered as scheduled, and commands braking to the transport cart 3. This prevents the carriage trolley 3 from deviating from the moving track | orbit part 6B. Then, the braking command unit 72 instructs the transport cart 3 to travel when the detection unit 71 detects the connection between the moving track 6B and the track 4. Thereby, the conveyance trolley 3 exits from the moving track | orbit part 6B to the connection part 41B, moves to the track | orientation part 4 from the connection part 41B, and track | orbits from the track | orbit part 5 of the conveyance trolley | bogie 3. The movement to the unit 4 is completed.

이상과 같이 구성된 반송 장치(1)에서는, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치(A1)와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치(A2)와의 사이를 승강하는 이동 궤도부(6A)가, 반송대차(3)를 주행시키도록 되어 있다. 따라서, 이동 궤도부(6A)가 반송대차(3)를 주행시키면서 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승함으로써, 반송대차(3)가 궤도부(4)로부터 궤도부(5)로 이동하는데 필요로 하는 이동 시간 내에, 이 반송대차(3)를 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승시킬 수 있고, 이동 시간과 상승 시간이 각각 필요했던 종래와 비교하여, 대폭적인 시간의 단축을 도모할 수 있다. 또한 반송 장치(1)에서는, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치(B1)와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치(B2)와의 사이를 승강하는 이동 궤도부(6B)가, 반송대차(3)를 주행시키도록 되어 있다. 따라서, 이동 궤도부(6B)가 반송대차(3)를 주행시키면서 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강함으로써, 궤도부(5)로부터 궤도부(4)로 이동하는데 필요로 하는 이동 시간 내에, 이 반송대차(3)를 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강시킬 수 있고, 이동 시간과 하강 시간이 각각 필요했던 종래와 비교하여, 대폭적인 시간의 단축을 도모할 수 있다. 따라서, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이에 반송대차(3)의 이동을 행하는 경우에, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.In the conveying apparatus 1 comprised as mentioned above, the position A1 connected with the track | orbit part 4 and spaced apart from the track | orbit part 5, and connected with the track | orbit part 5, and spaced apart from the track | orbit part 4 is carried out. The moving track portion 6A, which moves up and down between the positions A2, is configured to cause the transport cart 3 to travel. Therefore, as the moving track portion 6A moves up from the position A1 to the position A2 while driving the transport trolley 3, the transport trolley 3 moves from the track portion 4 to the track portion 5. Within the required travel time, this conveyance trolley 3 can be raised from the position A1 to the position A2, and a significant reduction in time can be achieved as compared with the prior art in which the travel time and the rise time were respectively required. can do. Moreover, in the conveying apparatus 1, the position B1 connected with the track | orbit part 4 and spaced apart from the track | orbit part 5, and the position connected with the track | orbit part 5 and spaced apart from the track | orbit part 4 ( The moving track part 6B which moves up and down with B2) makes the conveyance trolley 3 run. Accordingly, the moving track 6B moves from the track 5 to the track 4 by descending from the position B2 to the position B1 while driving the transport trolley 3. This conveyance trolley 3 can be lowered from the position B2 to the position B1, and a significant time can be shortened compared with the conventional case where the moving time and the falling time were respectively required. Therefore, when the conveyance trolley 3 moves between the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5, the fall of conveyance efficiency can be suppressed.

또한, 이동 궤도부(6A)가 위치(A1)로부터 위치(A2)로 상승하는데 필요로 하는 시간을 T1로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6A)에서의 정상 속도를 V1로 한 경우에, 이동 궤도부(6A)의 주행 길이(L1)는, V1·T1 이상으로 설정되어 있다. 이 때문에, 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6A)가 이동하고 있는 동안에 이동 궤도부(6A)를 계속 주행하는 것이 가능해지기 때문에, 궤도부(4)로부터 궤도부(5)를 향하여 정지하지 않고 이동할 수 있다. 또한, 이동 궤도부(6B)가 위치(B2)로부터 위치(B1)로 하강하는데 필요로 하는 시간을 T2로 하고, 반송대차(3)의 이동 궤도부(6B)에서의 정상 속도를 V2로 한 경우에, 이동 궤도부(6B)의 주행 길이(L2)는, V2·T2 이상으로 설정되어 있다. 이 때문에, 반송대차(3)는, 이동 궤도부(6B)가 이동하고 있는 동안에 이동 궤도부(6B)를 계속 주행하는 것이 가능해지기 때문에, 궤도부(5)로부터 궤도부(4)를 향하여 정지하지 않고 이동할 수 있다. 따라서, 반송대차(3)가 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이의 이동에 필요로 하는 이동 시간을 더욱 저감할 수 있다.Further, the time required for the moving track 6A to rise from the position A1 to the position A2 is T1, and the normal speed at the moving track 6A of the transport cart 3 is V1. In this case, the running length L1 of the moving track portion 6A is set to V1 · T1 or more. For this reason, since the conveyance trolley | bogie 3 can continue to run the moving track | orbit part 6A while the moving track | orbit part 6A is moving, it stops toward the track | orbit part 5 from the track | orbit part 4. You can move without. In addition, the time required for the movement trajectory 6B to descend from the position B2 to the position B1 is T2, and the normal speed at the movement trajectory 6B of the transport cart 3 is set to V2. In this case, the running length L2 of the moving track portion 6B is set to V2 · T2 or more. For this reason, since the conveyance trolley | bogie 3 can continue to run the moving track | orbit part 6B while the moving track | orbit part 6B is moving, it stops toward the track | orbit part 4 from the track | orbit part 5. You can move without. Therefore, the movement time which the conveyance trolley 3 requires for the movement between the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 can further be reduced.

또한 반송 장치(1)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4, 5)에 접속된 것을 검지하는 검지부(71)와, 반송대차(3)에 제동을 지령하는 제동 지령부(72)를 더 구비하고 있고, 궤도부(4)를 정상 속도(V4)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S4로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 궤도부(4)에서의 이동 궤도부(6A)측의 단부로부터 제동 거리(S4) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P4)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)가 궤도부(4)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 또한, 궤도부(5)를 정상 속도(V5)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S5로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 궤도부(5)에서의 이동 궤도부(6B)측의 단부로부터 제동 거리(S5) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P5)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)가 궤도부(5)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 따라서, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속되기 전에, 반송대차(3)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.In addition, the conveying apparatus 1 includes a detecting unit 71 which detects that the moving track sections 6A and 6B are connected to the track sections 4 and 5, and a braking command section which commands braking to the conveying cart 3 ( 72 is further provided, and when the braking distance of the conveyance trolley 3 which runs the track | orbit part 4 at normal speed V4 is S4, the braking command part 72 is the track | orbit part 4 In the case where the conveyance trolley 3 reaches the braking point P4 set at a position separated by the braking distance S4 or more from the end of the moving track portion 6A on the side, the detecting portion 71 moves the track portion. When it is not detected that 6A is connected to the track portion 4, a braking command is commanded to the transport trolley 3. In addition, when the braking distance of the conveyance trolley 3 which runs the track | orbit part 5 at normal speed V5 is S5, the braking command part 72 is a moving track | orbit part (at the track | orbit part 5). When the conveyance trolley 3 reaches the braking point P5 set at the position separated from the end of 6B) by the braking distance S5 or more, the moving track portion 6B is moved by the detecting portion 71 by the track portion. When connected to (5) is not detected, braking is instructed to the conveyance trolley 3. Therefore, before the moving track portions 6A and 6B are connected to the track portion 4 or the track portion 5, it is possible to prevent the transport cart 3 from deviating from the track portion 4 or the track portion 5. Can be.

또한 반송 장치(1)는, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4, 5)에 접속된 것을 검지하는 검지부(71)와, 반송대차(3)에 제동을 지령하는 제동 지령부(72)를 더 구비하고 있고, 이동 궤도부(6A)를 정상 속도(V1)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S1로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6A)에서의 단부(62A)로부터 제동 거리(S1) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P1)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)가 궤도부(5)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 또한, 이동 궤도부(6B)를 정상 속도(V2)로 주행하는 반송대차(3)의 제동 거리를 S2로 한 경우에, 제동 지령부(72)는, 이동 궤도부(6B)에서의 단부(61B)로부터 제동 거리(S2) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트(P2)에 반송대차(3)가 도달한 경우에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6B)가 궤도부(4)에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 반송대차(3)에 제동을 지령한다. 따라서, 이동 궤도부(6A, 6B)가 궤도부(4) 또는 궤도부(5)에 접속되기 전에, 반송대차(3)가 이동 궤도부(6A, 6B)로부터 일탈하는 것을 방지할 수 있다.In addition, the conveying apparatus 1 includes a detecting unit 71 which detects that the moving track sections 6A and 6B are connected to the track sections 4 and 5, and a braking command section which commands braking to the conveying cart 3 ( 72 is further provided, and when the braking distance of the transport trolley 3 which travels the moving track part 6A at the normal speed V1 is S1, the braking command part 72 is a moving track part ( In the case where the conveyance trolley 3 reaches the braking point P1 set at a position separated by the braking distance S1 or more from the end portion 62A at 6A, the moving track portion 6A is detected by the detection portion 71. When it is not detected that is connected to the track part 5, a braking command is commanded to the conveyance trolley | bogie 3. In addition, when the braking distance of the conveyance trolley 3 which travels the moving track | orbit part 6B at normal speed V2 is set to S2, the braking command part 72 is the edge part in the moving track | orbit part 6B ( When the conveyance trolley 3 reaches the braking point P2 set at the position separated from the braking distance S2 by 61B or more, the moving section 6B is moved by the detecting section 71 by the track section 4. When no connection is made, the braking is instructed to the transport cart 3. Therefore, before the moving track parts 6A and 6B are connected to the track part 4 or the track part 5, the conveyance trolley 3 can be prevented from deviating from the moving track parts 6A and 6B.

이상, 본 발명에 따른 반송 장치의 일실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상기 실시예에서는, 궤도부(4) 및 궤도부(5)는, 주회 궤도를 이루고 있지만, 직선 형상의 궤도나 망목 형상의 궤도 등이어도 좋다.As mentioned above, although one Example of the conveying apparatus which concerns on this invention was described, this invention is not limited to the said Example. For example, in the said embodiment, although the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 comprise the main track | orbit, the track | orbit of a linear track | ramp or a mesh track | track etc. may be sufficient.

또한 상기 실시예에서는, 반송대차(3)는 자차로 주행하고, 궤도부(4), 궤도부(5) 및 이동 궤도부(6A, 6B)는 반송대차(3)를 주행시키는 레일을 가지고 있지만, 반송대차(3)는 자차로는 주행하지 않고, 궤도부(4), 궤도부(5) 및 이동 궤도부(6A)는 반송대차(3)를 운반하여 주행시키는 컨베이어 등을 가지고 있어도 좋다.In the above embodiment, the transport trolley 3 runs on its own vehicle, and the track section 4, the track section 5, and the moving track sections 6A, 6B have rails for traveling the transport trolley 3. The carriage trolley 3 does not travel by the host vehicle, and the track | orbit part 4, the track | orbit part 5, and the moving track | orbit part 6A may have the conveyor etc. which carry and run the carrier trolley | bogie 3, for example.

또한 상기 실시예에서는, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4) 및 궤도부(5)와는 별도로 설치되어 있지만, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4) 및 궤도부(5)로부터 분할된 일부분의 레일을 이동시키는 장치(소위 트래버서) 등이어도 좋다.In addition, in the said embodiment, although the moving track parts 6A and 6B are provided separately from the track part 4 and the track part 5, the moving track parts 6A and 6B are the track part 4 and the track | orbit. A device (so-called traverser) or the like for moving a part of the rail divided from the part 5 may be used.

또한 상기 실시예에서는, 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 수평 방향 및 수직 방향에서 이간되어 있고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 동등한 높이의 위치(A1, B1)와 궤도부(5)와 동등한 높이의 위치(A2, B2)와의 사이를 승강하는 구성이지만, 이에 한정되지 않는다. 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 이간하는 위치에 설치되고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 접속되고 또한 궤도부(5)로부터 이간되는 위치와, 궤도부(5)와 접속되고 또한 궤도부(4)로부터 이간되는 위치와의 사이를 이동하고, 반송대차(3)를 주행시키는 구성이면 된다. 예를 들면, 이하와 같은 구성이어도 좋다.Moreover, in the said embodiment, the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 are spaced apart in the horizontal direction and the vertical direction, and the moving track | orbit part 6A, 6B is the position (of the height equivalent to the track | orbit part 4) ( Although it is a structure which raises and lowers between A1 and B1 and the positions A2 and B2 of the height equivalent to the track | orbit part 5, it is not limited to this. The track part 4 and the track part 5 are provided in the position which spaces apart, and the moving track parts 6A and 6B are connected with the track part 4, and are separated from the track part 5, What is necessary is just a structure connected to the track | orbit part 5, and moving between the position separated from the track | orbit part 4, and the conveyance trolley 3 to run. For example, the following structures may be sufficient.

예를 들면, 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 수평 방향에서는 이간하지만 수직 방향에서는 동등한 위치에 배치되고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이를 수평 방향을 따라 이동하는 구성이어도 좋다. 이 구성의 경우, 이동 궤도부(6A, 6B)를, 수평 방향 중 당해 이동 궤도부(6A, 6B)의 이동 방향을 따라 연장하는 궤도로 하면, 반송대차(3)를, 이동 궤도부(6A, 6B)의 이동 방향을 따라 주행시킬 수 있다.For example, the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 are spaced apart in a horizontal direction, but are arrange | positioned in the same position in a vertical direction, and the moving track | orbit part 6A, 6B is the track | orbit part 4 and track | orbit part ( The structure which moves between 5) along a horizontal direction may be sufficient. In this configuration, when the moving track portions 6A and 6B are tracks extending along the moving direction of the moving track portions 6A and 6B in the horizontal direction, the transport cart 3 is moved by the moving track portion 6A. , 6B) can be driven along the moving direction.

또한, 예를 들면, 궤도부(4)와 궤도부(5)는, 수평 방향에서 동등한 위치이지만 수직 방향에서 이간하는 위치에 배치되고, 이동 궤도부(6A, 6B)는, 궤도부(4)와 궤도부(5)의 사이를 수직 방향을 따라 이동하는 구성이어도 좋다. 이 구성의 경우, 이동 궤도부(6A, 6B)를, 수직 방향을 따라 연장하는 궤도로 하고, 반송대차(3)를 수직 방향을 따라 주행시킬 수 있다.For example, the track | orbit part 4 and the track | orbit part 5 are arrange | positioned in the position which is equal position in a horizontal direction, but is spaced apart in a vertical direction, and the moving track | orbit part 6A, 6B is the track | orbit part 4 And the track portion 5 may be moved along the vertical direction. In this configuration, the transport tracks 3 can be driven along the vertical direction with the moving track portions 6A and 6B as the tracks extending along the vertical direction.

또한 상기 실시예에서는, 이동 궤도부(6A)의 주행 길이(L1)는, V1·T1 이상으로 설정되어 있지만, V1·T1 이하여도 좋다. 이 경우, 예를 들면, 반송대차(3)가 제동 포인트(P1)를 통과하는 시점에 있어서, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속은 검지되지 않는다. 따라서, 제동 지령부(72)로부터 반송대차(3)에 제동이 지령되고, 반송대차(3)는 이동 궤도부(6A) 상에서 일단 정지 또는 감속한다. 그리고, 검지부(71)에 의해 이동 궤도부(6A)와 궤도부(5)의 접속이 검지된 시점에서, 제동 지령부(72)는 반송대차(3)에 주행을 지령하고, 반송대차(3)는 접속부(51A)로부터 궤도부(5)로 이동한다. 또한, 이동 궤도부(6B)의 주행 길이(L2)에 대해서도 마찬가지이다.Moreover, in the said Example, although the running length L1 of 6 A of moving track parts is set to V1 * T1 or more, you may be V1 * T1 or less. In this case, for example, the connection of the moving track | orbit part 6A and the track | orbit part 5 is not detected by the detection part 71 at the time when the conveyance trolley 3 passes the braking point P1. Therefore, braking is instructed from the braking command part 72 to the conveyance trolley | bogie 3, and the conveyance trolley 3 stops or decelerates once on the moving track | orbit part 6A. Then, when the connection of the moving track portion 6A and the track portion 5 is detected by the detecting portion 71, the braking command portion 72 instructs the conveyance trolley 3 to travel and the conveyance trolley 3 ) Moves from the connecting portion 51A to the track portion 5. The same applies to the running length L2 of the moving track portion 6B.

또한 상기 실시예에서는, 제 1 검지부 및 제 2 검지부는, 1 개의 검지부(71)로서 설치되어 있지만, 각각 설치되어 있어도 좋다. 제 1 제동 지령부 및 제 2 제동 지령부에 대해서도 마찬가지이다.In addition, in the said Example, although the 1st detection part and the 2nd detection part are provided as one detection part 71, you may provide respectively. The same applies to the first braking command section and the second braking command section.

또한 상기 실시예에서는, 반송 장치(1)는, 클린 룸(100) 내에서 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피반송물(R)을 반송하는 경우에 적용되고 있지만, 일반적인 유통 분야에서도 적용 가능하다.In addition, in the said Example, although the conveying apparatus 1 is applied in the case of conveying the to-be-transported object R, such as a semiconductor wafer or a glass substrate, in the clean room 100, it is applicable also to a general distribution field.

1 : 반송 장치
3 : 반송대차
4, 5 : 궤도부(제 1 궤도부, 제 2 궤도부)
6A, 6B : 이동 궤도부(제 3 궤도부)
71 : 검지부
72 : 제동 지령부
P1, P2 : 제동 포인트
A1, A2, B1, B2 : 위치(제 1 위치, 제 2 위치)1: conveying device
3: Return Balance
4, 5: track section (first track section, second track section)
6A, 6B: moving track part (third track part)
71: detection unit
72: braking command
P1, P2: Braking Point
A1, A2, B1, B2: position (first position, second position)

Claims (5)

반송대차와,
상기 반송대차를 주행시키는 제 1 궤도부와,
상기 제 1 궤도부로부터 이간되어 있고, 상기 반송대차를 주행시키는 제 2 궤도부와,
상기 제 1 궤도부와 접속되고 또한 상기 제 2 궤도부로부터 이간되는 제 1 위치와, 상기 제 2 궤도부와 접속되고 또한 상기 제 1 궤도부로부터 이간되는 제 2 위치와의 사이를 이동하고, 상기 반송대차를 주행시키는 제 3 궤도부를 구비하고,
상기 반송대차는,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 위치에 있을 때, 상기 제 1 궤도부로부터 상기 제 3 궤도부로 진입하고,
상기 제 3 궤도부가 이동하고 있을 때, 상기 제 3 궤도부를 주행하고,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 2 위치에 있을 때, 상기 제 3 궤도부로부터 상기 제 2 궤도부로 퇴출하는 반송 장치.A return truck,
A first track portion for driving the transport cart;
A second track section spaced apart from the first track section and configured to drive the transport cart;
Move between a first position connected to the first track portion and spaced apart from the second track portion, and a second position connected to the second track portion and spaced apart from the first track portion, It is provided with the 3rd track | orbit part which drives a conveyance trolley,
The transfer balance,
When the third track portion is in the first position, enter the third track portion from the first track portion,
When the third track portion is moving, the third track portion travels,
The conveying apparatus which exits from a said 3rd track | orbit part to the said 2nd track | orbit part when the said 3rd track | orbit part is in the said 2nd position. 제 1 항에 있어서,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 이동하는데 필요로 하는 시간을 T로 하고, 상기 제 3 궤도부에서의 상기 반송대차의 정상 속도를 V로 한 경우에,
상기 제 3 궤도부의 주행 길이(L)는, V·T 이상으로 설정되어 있는 반송 장치.The method of claim 1,
When the time required for the third track portion to move from the first position to the second position is T, and the normal speed of the transport cart at the third track portion is V,
The running length L of the said 3rd track | orbit part is set to V * T or more. 제 1 항에 있어서,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 1 검지부와,
상기 반송대차에 제동을 지령하는 제 1 제동 지령부를 더 구비하고,
상기 제 1 궤도부를 정상 속도로 주행하는 상기 반송대차의 제동 거리를 SI로 한 경우에,
상기 제 1 제동 지령부는, 상기 제 1 궤도부에서의 상기 제 3 궤도부측의 단부로부터 상기 제동 거리(SI) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 상기 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 상기 제 1 검지부에 의해 상기 제 3 궤도부가 상기 제 1 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 상기 반송대차에 제동을 지령하는 반송 장치.The method of claim 1,
A first detection unit that detects that the third track unit is connected to the first track unit,
Further provided with a first braking command unit for commanding the braking to the transfer cart,
In the case where the braking distance of the transport trolley, which runs the first track section at a normal speed, is SI,
The first braking command unit, when the transport cart reaches a braking point set at a position spaced apart from the end of the third track section side of the first track section by more than the braking distance SI. The conveying apparatus instructs braking to the said conveyance trolley | bogie when it is not detected by the detection part that the said 3rd track | orbit part is connected to the said 1st track | orbit part. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 3 궤도부가 상기 제 2 궤도부에 접속된 것을 검지하는 제 2 검지부와,
상기 반송대차에 제동을 지령하는 제 2 제동 지령부를 더 구비하고,
상기 제 3 궤도부를 정상 속도로 주행하는 상기 반송대차의 제동 거리를 SE로 한 경우에,
상기 제 2 제동 지령부는, 상기 제 3 궤도부에서의 상기 제 2 궤도부측의 단부로부터 상기 제동 거리(SE) 이상 이간한 위치에 설정된 제동 포인트에 상기 반송대차가 도달한 경우에 있어서, 상기 제 2 검지부에 의해 상기 제 3 궤도부가 상기 제 2 궤도부에 접속된 것이 검지되지 않을 때에는, 상기 반송대차에 제동을 지령하는 반송 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
A second detection unit that detects that the third track unit is connected to the second track unit,
Further provided with a second braking command unit for commanding the braking to the transfer cart,
In the case where the braking distance of the carrier trolley running at the normal speed of the third track portion is SE,
The second braking command portion is the second braking command when the transfer cart reaches a braking point set at a position spaced apart from the end of the second track portion side on the second track portion side by more than the braking distance SE. The conveying apparatus instructs braking to the said conveyance trolley | bogie when it is not detected by the detection part that the said 3rd track | orbit part is connected to the said 2nd track | orbit part. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 위치는 상기 제 2 위치와 높이가 상이하고,
상기 제 3 궤도부는, 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치의 사이를 승강하는 반송 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
The first position is different in height from the second position,
The said 3rd track | orbit part is a conveying apparatus which raises and lowers between said 1st position and said 2nd position.
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