KR102469667B1 - Vehicle set up device and method of setting up vehicle using the same - Google Patents

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Abstract

비히클 설정 장치는, 지면에 구비되는 프레임과, 상기 프레임에 고정되고, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행을 위해 상기 비히클의 주행 휠들과 접촉하며, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들을 갖는 주행 레일과, 상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클의 조향 휠들과 선택적으로 접촉하는 조향 레일 및 상기 주행 휠들이 상기 홈들에 위치할 때 상기 주행 휠들과 상기 홈들 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 게이지를 포함할 수 있다. The vehicle setting device is configured to contact a frame provided on the ground and a driving wheel of the vehicle to transport a cassette fixed to the frame and loaded with wafers, and to check the horizontal state of the driving wheel. A running rail having grooves of a certain depth, a steering rail fixed to the frame and selectively contacting steering wheels of the vehicle to adjust the running direction of the vehicle, and the running rail when the running wheels are located in the grooves Gauges may be inserted between the wheels and the grooves to measure the heights of the driving wheels.

Description

비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법{Vehicle set up device and method of setting up vehicle using the same}Vehicle set up device and method of setting up vehicle using the same {Vehicle set up device and method of setting up vehicle using the same}

본 발명은 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 낮은 높이에서 천장 반송 장치에 사용되는 비히클을 설정하기 위한 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vehicle setting device and a vehicle setting method using the same, and more particularly, to a vehicle setting device for setting a vehicle used in a ceiling transport device at a low height and a vehicle setting method using the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물이 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor process devices for manufacturing semiconductor devices are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object for performing the semiconductor device manufacturing process may be supplied to each semiconductor processing device in a state of being accommodated in a cassette, or retrieved from each semiconductor processing device using the cassette.

상기 카세트는 천장 반송 장치에 의해 이송된다. 상기 천장 반송 장치는 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The cassette is transported by a ceiling transfer device. The ceiling transport device includes a running rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line and a vehicle that travels along the running rail while holding the cassette.

상기 비히클을 상기 주행 레일에 장착하는 경우, 상기 비히클에 대한 다양한 설정이 필요하다. 예를 들면, 상기 비히클의 장애물 감지 센서 및 버퍼 감지 센서의 위치 설정이 필요하다. When the vehicle is mounted on the running rail, various settings for the vehicle are required. For example, it is necessary to set the positions of an obstacle detection sensor and a buffer detection sensor of the vehicle.

상기 비히클의 설정 작업은 상기 주행 레일이 구비된 천장에서 이루어지므로, 상기 비히클의 설정 작업에 적어도 3명의 작업자가 필요하고, 상기 비히클의 설정 작업시 사고 발생 가능성이 높다.Since the setting of the vehicle is performed on the ceiling equipped with the running rail, at least three workers are required to set the vehicle, and accidents are highly likely to occur during the setting of the vehicle.

본 발명은 비히클 설정 작업의 효율성과 안전성을 높일 수 있는 비히클 설정 장치를 제공한다.The present invention provides a vehicle setting device capable of increasing the efficiency and safety of a vehicle setting operation.

본 발명은 상기 비히클 설정 장치를 이용한 비히클 설정 방법을 제공한다.The present invention provides a vehicle setting method using the vehicle setting device.

본 발명에 따른 비히클 설정 장치는, 지면에 구비되는 프레임과, 상기 프레임에 고정되고, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행을 위해 상기 비히클의 주행 휠들과 접촉하며, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들을 갖는 주행 레일과, 상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클의 조향 휠들과 선택적으로 접촉하는 조향 레일 및 상기 주행 휠들이 상기 홈들에 위치할 때 상기 주행 휠들과 상기 홈들 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 게이지를 포함할 수 있다. A vehicle setting device according to the present invention contacts a frame provided on the ground, a frame fixed to the frame, and driving wheels of the vehicle for driving a vehicle carrying a cassette loaded with wafers, and the horizontal state of the driving wheels A running rail having grooves of a certain depth for checking, a steering rail fixed to the frame, and selectively contacting steering wheels of the vehicle to adjust the driving direction of the vehicle, and the running wheels are located in the grooves. It may include a gauge inserted between the driving wheels and the grooves to measure the height of the driving wheels.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 주행 휠들의 높이를 교대로 측정하기 위해 상기 홈들은 상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, in order to alternately measure the heights of the running wheels, the grooves may be arranged to be staggered from each other on the running rail.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 장치는, 상기 비히클의 주행 방향 전방에 위치하도록 상기 프레임 또는 상기 주행 레일에 고정되며, 상기 비히클에 구비된 장애물 감지 센서의 위치를 조절하기 위해 개구를 갖는 개구 부재를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting device is fixed to the frame or the running rail so as to be located in the forward direction of the vehicle, and has an opening to adjust the position of an obstacle detection sensor provided in the vehicle. It may further include an opening member having a.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 장치는, 상기 비히클의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 위치하도록 상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클에 구비된 버퍼 감지 센서의 위치를 조절하기 위해 반사판을 갖는 버퍼 부재를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting device is fixed to the frame so as to be located on the side or below perpendicular to the driving direction of the vehicle, and to adjust the position of the buffer detection sensor provided in the vehicle. A buffer member having a reflector may be further included.

본 발명에 따른 비히클 설정 방법은, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행 휠들을 프레임에 고정된 주행 레일에 안착시키는 단계와, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계 및 상기 주행 휠들이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들의 높이를 조절하는 단계를 포함할 수 있다. A vehicle setting method according to the present invention includes the steps of seating driving wheels of a vehicle transporting a cassette loaded with wafers on a driving rail fixed to a frame, checking the horizontal state of the driving wheels, and It may include adjusting the height of the driving wheels to have a height.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계는, 상기 비히클의 조향 휠들을 상기 프레임에 고정된 조향 레일의 양측면 중 제1 측면에 접촉시키는 단계와, 상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치된 홈들 중 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면과 대응하도록 위치한 제2 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계와, 게이지를 이용하여 상기 제2 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계와, 상기 비히클의 조향 휠들을 상기 조향 레일의 제2 측면에 접촉시키는 단계와, 상기 홈들 중 상기 제1 측면과 대응하도록 위치한 제1 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계 및 상기 게이지를 이용하여 상기 제1 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the checking of the horizontal state of the driving wheels may include contacting the steering wheels of the vehicle with a first side of both side surfaces of a steering rail fixed to the frame, and the driving rail. locating the driving wheel in a second groove positioned to correspond to a second side surface opposite to the first side surface among grooves disposed to be crossed with each other, and measuring a height of the driving wheel in the second groove using a gauge measuring, bringing steering wheels of the vehicle into contact with a second side surface of the steering rail, placing the driving wheel in a first groove among the grooves positioned to correspond to the first side surface, and measuring the gauge and measuring a height of the driving wheel in the first groove by using a height of the driving wheel.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 방법은, 상기 비히클에 구비된 장애물 감지 센서가 상기 비히클의 주행 방향 전방에 구비된 개구 부재의 개구를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서의 위치를 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting method may include adjusting a position of an obstacle detection sensor provided in the vehicle to detect an opening of an opening member provided in a front direction of the vehicle in a driving direction. Further steps may be included.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클 설정 방법은, 상기 비히클에 구비된 버퍼 감지 센서가 상기 비히클의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 구비된 버퍼 부재의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서의 위치를 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle setting method may include a buffer detection sensor provided in the vehicle to detect a reflector of a buffer member provided on a side or below a direction perpendicular to a driving direction of the vehicle. A step of adjusting the position of may be further included.

본 발명에 따른 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법은 비히클의 주행 휠들의 수평 상태를 확인하고, 상기 주행 휠들이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들의 높이를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 비히클이 주행 레일이 분리된 분기 구간을 주행할 때 상기 주행 휠들의 높이 차이로 인해 상기 주행 휠들이 주행 레일과 다시 접촉하면서 발생하는 충격과 소음을 줄일 수 있다. The vehicle setting apparatus and the vehicle setting method using the same according to the present invention may check the horizontal state of the driving wheels of the vehicle and adjust the heights of the driving wheels so that the driving wheels have the same height. Accordingly, when the vehicle travels in a branching section where the running rails are separated, shock and noise generated when the driving wheels contact the running rail again due to a height difference between the driving wheels may be reduced.

또한, 상기 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법은 개구 부재를 이용하여 장애물 감지 센서의 위치를 조절할 수 있고, 버퍼 부재를 이용하여 버퍼 감지 센서의 위치를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 장애물 감지 센서 및 상기 버퍼 감지 센서의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. In addition, the vehicle setting device and the vehicle setting method using the same may adjust the position of the obstacle detection sensor using the opening member and adjust the position of the buffer detection sensor using the buffer member. Accordingly, the positions of the obstacle detection sensor and the buffer detection sensor may be accurately set.

그리고, 상기 비히클 설정 장치는 지면에 구비되므로, 상기 비히클 설정 작업을 1명의 작업자가 수행할 수 있고, 상기 비히클 설정 작업의 사고 발생 가능성이 낮다. 따라서, 상기 비히클 설정 작업의 효율성과 안전성을 높일 수 있다. In addition, since the vehicle setting device is provided on the ground, one operator can perform the vehicle setting operation, and the possibility of accidents in the vehicle setting operation is low. Accordingly, efficiency and safety of the vehicle setting operation may be increased.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 설정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 주행 레일을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 주행 휠들의 높이 측정을 설명하기 위한 정면도들이다.
도 5는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 비히클 설정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6은 도 5에 도시된 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 1 is a schematic side view for explaining a vehicle setting device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a plan view for explaining the traveling rail shown in Figure 1;
3 and 4 are front views for explaining height measurement of driving wheels using the vehicle setting device shown in FIG. 1 .
FIG. 5 is a flowchart for explaining a vehicle setting method using the vehicle setting apparatus shown in FIG. 1 .
FIG. 6 is a flowchart for explaining a method for checking horizontal states of driving wheels shown in FIG. 5 .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 비히클 설정 장치 및 이를 이용한 비히클 설정 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a vehicle setting apparatus and a vehicle setting method using the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the present invention can have various changes and various forms, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, it should be understood that this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, and includes all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals have been used for like elements throughout the description of each figure. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown enlarged than actual for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first element may be termed a second element, and similarly, a second element may be termed a first element, without departing from the scope of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 설정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 주행 레일을 설명하기 위한 평면도이며, 도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 주행 휠들의 높이 측정을 설명하기 위한 정면도들이다. 1 is a schematic side view for explaining a vehicle setting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view for explaining a traveling rail shown in FIG. 1, and FIGS. 3 and 4 are shown in FIG. These are front views for explaining the height measurement of driving wheels using the vehicle setting device.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 비히클 설정 장치(100)는 비히클(10)을 전장 반송 장치에 장착하기 전에 미리 설정한다. 상기 비히클(10)은 대상물들이 적재된 카세트(20)를 이송한다. 상기 대상물의 예로는 웨이퍼, 인쇄회로기판, 마스크 등을 들 수 있다. Referring to FIGS. 1 to 4 , the vehicle setting device 100 sets the vehicle 10 in advance before mounting it on the battlefield transport device. The vehicle 10 transports the cassette 20 loaded with objects. Examples of the object include a wafer, a printed circuit board, and a mask.

상기 비히클 설정 장치(100)는 프레임(110), 주행 레일(120), 조향 레일(130), 게이지(140), 개구 부재(150), 측면 버퍼 부재(160) 및 하부 버퍼 부재(170)를 포함한다. The vehicle setting device 100 includes a frame 110, a running rail 120, a steering rail 130, a gauge 140, an opening member 150, a side buffer member 160 and a lower buffer member 170. include

상기 프레임(110)은 대략 육면체 형상을 갖는다. 상기 프레임(110)은 지면 또는 상기 지면과 인접하도록 구비된다. The frame 110 has a substantially hexahedral shape. The frame 110 is provided to be adjacent to the ground or the ground.

상기 주행 레일(120)은 한 쌍이 상기 프레임(110)에 고정된다. 예를 들면, 상기 주행 레일(120)은 턴 버클 등과 같은 체결 부재에 의해 상기 프레임(110)에 고정될 수 있다. 상기 주행 레일(120)은 상기 비히클(10)의 주행을 위해 상기 비히클(10)의 주행 휠들(11)과 접촉하며, 상기 주행 휠들(11)을 지지한다. A pair of the running rails 120 is fixed to the frame 110 . For example, the running rail 120 may be fixed to the frame 110 by a fastening member such as a turn buckle. The travel rail 120 contacts the travel wheels 11 of the vehicle 10 for the vehicle 10 to travel, and supports the travel wheels 11 .

상기 조향 레일(130)은 하나가 상기 프레임(110)에 고정된다. 상기 조향 레일(130)은 턴 버클 등과 같은 체결 부재에 의해 상기 프레임(110)에 고정될 수 있다. 구체적으로, 상기 조향 레일(130)은 상기 한 쌍의 주행 레일(120) 사이의 상방에 위치할 수 있다. 상기 조향 레일(130)은 상기 비히클(10)의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클(10)의 조향 휠들(12)과 선택적으로 접촉할 수 있다. One of the steering rails 130 is fixed to the frame 110 . The steering rail 130 may be fixed to the frame 110 by a fastening member such as a turn buckle. Specifically, the steering rail 130 may be located above the pair of travel rails 120 . The steering rail 130 may selectively contact the steering wheels 12 of the vehicle 10 to adjust the driving direction of the vehicle 10 .

상기 주행 레일(120)에는 상기 주행 휠들(11)의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들(122)이 구비된다. 홈들(122)은 상기 한 쌍의 주행 레일(120)에 각각 구비될 수 있다. 즉, 상기 주행 레일들(120) 각각에 제1 홈(122a) 및 제2 홈(122b)이 구비될 수 있다. 이때, 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)은 상기 주행 레일(120)에 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에 교대로 위치할 수 있으므로, 상기 주행 휠들(11)의 높이를 교대로 측정할 수 있다. The travel rail 120 is provided with grooves 122 having a certain depth for checking the horizontal state of the travel wheels 11 . Grooves 122 may be provided on each of the pair of running rails 120 . That is, a first groove 122a and a second groove 122b may be provided on each of the running rails 120 . In this case, the first groove 122a and the second groove 122b may be arranged to cross each other on the running rail 120 . Since the driving wheels 11 may be alternately positioned in the first groove 122a and the second groove 122b, the heights of the driving wheels 11 may be alternately measured.

상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131)과 접촉한 상태에서 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이가 측정될 수 있다. 이때, 상기 조향 레일(130)을 기준으로 상기 제1 측면(131)과 상기 제2 홈(122b)은 서로 반대 방향에 위치한다. In a state in which the steering wheels 12 are in contact with the first side surface 131 of the steering rail 130, heights of the driving wheels 11 may be measured in the second groove 122b. At this time, the first side surface 131 and the second groove 122b are located in opposite directions with respect to the steering rail 130 .

상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제2 홈(122b)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다. 따라서, 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 정확하게 측정할 수 있다. Since the steering wheels 12 are supported by the first side surface 131 of the steering rail 130, the vehicle 10 does not tilt even when the driving wheels 11 are located in the second groove 122b. don't Therefore, it is possible to accurately measure the heights of the driving wheels 11 in the second groove 122b.

마찬가지로, 상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제2 측면(132)과 접촉한 상태에서 상기 제1 홈(122a)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이가 측정될 수 있다. 이때, 상기 조향 레일(130)을 기준으로 상기 제2 측면(132)과 상기 제1 홈(122a)은 서로 반대 방향에 위치한다. Similarly, the height of the driving wheels 11 can be measured in the first groove 122a in a state in which the steering wheels 12 are in contact with the second side surface 132 of the steering rail 130. At this time, the second side surface 132 and the first groove 122a are located in opposite directions with respect to the steering rail 130 .

상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제2 측면(132)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다. 따라서, 상기 제1 홈(122a)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 정확하게 측정할 수 있다. Since the steering wheels 12 are supported by the second side surface 132 of the steering rail 130, the vehicle 10 does not tilt even when the driving wheels 11 are located in the first groove 122a. don't Therefore, it is possible to accurately measure the heights of the driving wheels 11 in the first groove 122a.

한편, 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)은 상기 주행 레일(120)에 동일 선상에 배치되는 경우, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에 동시에 위치할 수 있다. 상기 조향 휠들(12)이 상기 비히클(10)의 주행 방향에 대해 수직하는 방향으로 왕복 이동하므로, 상기 조향 휠들(12)이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131) 및 제2 측면(132) 중 어느 하나에 의해 지지될 뿐 동시에 지지되지 않는다. 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에 동시에 위치하는 경우, 상기 비히클(10)이 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b) 중 어느 하나를 향해 기울어질 수 있다. 따라서, 상기 제1 홈(122a) 및 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 정확하게 측정하기 어렵다. On the other hand, when the first groove 122a and the second groove 122b are disposed on the same line on the travel rail 120, the travel wheels 11 are formed by the first groove 122a and the second groove 122a. It can be simultaneously located in the groove (122b). Since the steering wheels 12 reciprocally move in a direction perpendicular to the driving direction of the vehicle 10, the steering wheels 12 have a first side surface 131 and a second side surface of the steering rail 130 ( 132), but not supported simultaneously. When the driving wheels 11 are simultaneously located in the first groove 122a and the second groove 122b, the vehicle 10 is located between the first groove 122a and the second groove 122b. may lean towards either one. Therefore, it is difficult to accurately measure the heights of the driving wheels 11 in the first groove 122a and the second groove 122b.

상기 게이지(140)는 상기 주행 휠들(11)이 상기 홈들(122)에 위치할 때 상기 주행 휠들(11)과 상기 홈들(122) 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들(11)의 높이를 측정한다. 상기 게이지(140)의 예로는 틈새 게이지를 들 수 있다. The gauge 140 is inserted between the driving wheels 11 and the grooves 122 when the driving wheels 11 are located in the grooves 122 to measure the height of the driving wheels 11. An example of the gauge 140 may include a clearance gauge.

상기 개구 부재(150)는 상기 프레임(110) 또는 상기 주행 레일(120)에 고정되며, 상기 비히클(10)의 주행 방향 전방에 위치한다. 상기 개구 부재(150)는 상기 비히클(10)에 구비된 장애물 감지 센서(13)의 위치를 조절하기 위한 개구(152)가 형성된다. 상기 장애물 감지 센서(13)가 상기 개구 부재(150)의 개구(152)를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 조절한다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. The opening member 150 is fixed to the frame 110 or the running rail 120 and is positioned in front of the vehicle 10 in the running direction. The opening member 150 is formed with an opening 152 for adjusting the position of the obstacle detection sensor 13 provided in the vehicle 10 . The position of the obstacle detection sensor 13 is adjusted so that the obstacle detection sensor 13 detects the opening 152 of the opening member 150 . Accordingly, the position of the obstacle detection sensor 13 in the vehicle 10 can be accurately set.

상기 장애물 감지 센서(13)에서 조사된 광이 진행할수록 상기 광의 면적이 증가한다. 따라서, 상기 개구 부재(150)의 개구(152)의 크기를 조절하여 상기 장애물 감지 센서(13)와 상기 개구 부재(150) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들면, 상기 개구 부재(150)의 개구(152)의 크기를 감소시켜 상기 장애물 감지 센서(13)와 상기 개구 부재(150) 사이의 간격을 좁힐 수 있다. 그러므로, 상기 비히클 설정 장치(100)의 크기를 줄일 수 있다. As the light irradiated from the obstacle detection sensor 13 progresses, the area of the light increases. Accordingly, the distance between the obstacle detection sensor 13 and the opening member 150 may be adjusted by adjusting the size of the opening 152 of the opening member 150 . For example, the distance between the obstacle detection sensor 13 and the opening member 150 may be narrowed by reducing the size of the opening 152 of the opening member 150 . Therefore, the size of the vehicle setting device 100 can be reduced.

상기 측면 버퍼 부재(160)는 상기 프레임(100)에 고정되며, 상기 비히클(10)의 주행 방향과 수직하는 측방에 위치한다. 상기 측면 버퍼 부재(160)는 상기 비히클(10)에 구비된 버퍼 감지 센서(14)에서 조사된 광을 반사하기 위한 반사판(166)을 갖는다. The side buffer member 160 is fixed to the frame 100 and is located on a side perpendicular to the running direction of the vehicle 10 . The side buffer member 160 has a reflector 166 for reflecting light emitted from the buffer detection sensor 14 provided in the vehicle 10 .

상기 하부 버퍼 부재(170)는 상기 프레임(100)에 고정되며, 상기 비히클(10)의 주행 방향과 수직하는 하방에 위치한다. 상기 하부 버퍼 부재(170)는 상기 버퍼 감지 센서(14)에서 조사된 광을 반사하기 위한 반사판(미도시)을 갖는다. The lower buffer member 170 is fixed to the frame 100 and is positioned below and perpendicular to the driving direction of the vehicle 10 . The lower buffer member 170 has a reflector (not shown) for reflecting light emitted from the buffer detection sensor 14 .

상기 버퍼 감지 센서(14)가 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. A position of the buffer detection sensor 14 may be adjusted so that the buffer detection sensor 14 detects the reflector 166 of the side buffer member 160 and the reflector of the lower buffer member 170 . Accordingly, the position of the buffer detection sensor 14 in the vehicle 10 can be accurately set.

상기 측면 버퍼 부재(160) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)가 상기 프레임(100)에 고정되므로, 상기 비히클(10)에 의해 이송되는 카세트(20)의 종류에 따라 상기 측면 버퍼 부재(160) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)가 교체될 수 있다. 따라서, 상기 비히클 설정 장치(100)는 다양한 종류의 비히클(10)에 대해 상기 버퍼 감시 센서(14)의 위치를 설정할 수 있다. Since the side buffer member 160 and the lower buffer member 170 are fixed to the frame 100, the side buffer member 160 and the side buffer member 160 and The lower buffer member 170 may be replaced. Accordingly, the vehicle setting device 100 may set the position of the buffer monitoring sensor 14 with respect to various types of vehicles 10 .

상기 비히클 설정 장치(100)는 상기 지면 또는 상기 지면과 인접하도록 구비되므로, 상기 비히클(10)의 설정 작업을 1명의 작업자가 수행할 수 있고, 상기 비히클(10)의 설정 작업시 낙상 사고 발생 가능성을 줄일 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)의 설정 작업의 효율성과 안전성을 높일 수 있다. Since the vehicle setting device 100 is provided on the ground or adjacent to the ground, one operator can perform the setting work of the vehicle 10, and the possibility of a fall accident occurring during the setting work of the vehicle 10 can reduce Accordingly, the efficiency and safety of the setting operation of the vehicle 100 may be increased.

도 5는 도 1에 도시된 비히클 설정 장치를 이용한 비히클 설정 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 6은 도 5에 도시된 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. FIG. 5 is a flowchart for explaining a vehicle setting method using the vehicle setting device shown in FIG. 1 , and FIG. 6 is a flowchart for explaining a method for checking horizontal states of driving wheels shown in FIG. 5 .

도 5를 참조하면, 먼저, 상기 비히클(10)의 주행 휠들(11)을 상기 비히클 설정 장치(100)의 주행 레일(120)에 안착시킨다.(S110)Referring to FIG. 5 , first, the driving wheels 11 of the vehicle 10 are seated on the driving rail 120 of the vehicle setting device 100 (S110).

상기 비히클(10)의 주행 휠들(11)이 상기 주행 레일(120)에 의해 지지되고, 상기 비히클(10)이 상기 주행 레일(120)을 따라 주행할 수 있다. The driving wheels 11 of the vehicle 10 are supported by the traveling rail 120 , and the vehicle 10 may travel along the traveling rail 120 .

다음으로, 상기 주행 휠들(11)의 수평 상태를 확인한다.(S120)Next, the horizontal state of the driving wheels 11 is checked (S120).

구체적으로, 상기 주행 휠들(11)의 수평 상태를 확인하기 위해 먼저, 상기 비히클(10)의 조향 휠들(12)을 상기 조향 레일(130)의 양측면, 즉 상기 제1 측면(131) 및 상기 제2 측면(132) 중 상기 제1 측면(131)에 접촉시킨다.(S121)Specifically, in order to check the horizontal state of the driving wheels 11, first, the steering wheels 12 of the vehicle 10 are placed on both sides of the steering rail 130, that is, the first side surface 131 and the first side surface 131. Among the two side surfaces 132, the first side surface 131 is brought into contact. (S121)

다음으로, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠(11)을 상기 제2 홈(122b) 상에 위치시킨다.(S122)Next, the vehicle 10 is moved to position the driving wheel 11 on the second groove 122b (S122).

이때, 상기 제1 측면(131)과 상기 제2 홈(122b)은 서로 반대 방향에 위치한다. 상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 제1 측면(131)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제2 홈(122b)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다.At this time, the first side surface 131 and the second groove 122b are located in opposite directions. Since the steering wheels 12 are supported by the first side surface 131 of the steering rail 130, the vehicle 10 does not tilt even when the driving wheels 11 are located in the second groove 122b. don't

이후, 상기 게이지(140)를 이용하여 상기 제2 홈(122b)에서 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다.(S123)Thereafter, the height of the driving wheel 11 is measured in the second groove 122b using the gauge 140 (S123).

구체적으로, 상기 게이지(140)를 상기 주행 휠(11)과 상기 제2 홈(122b) 사이에 삽입하여 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다. Specifically, the height of the driving wheel 11 is measured by inserting the gauge 140 between the driving wheel 11 and the second groove 122b.

상기 비히클(10)에서 상기 주행 휠들(11)이 여러 쌍인 경우, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠들(11)을 상기 제2 홈(122b) 상에 순차적으로 위치시키면서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 측정할 수 있다. When there are several pairs of driving wheels 11 in the vehicle 10, the driving wheels 11 are sequentially placed on the second groove 122b by moving the vehicle 10. ) can be measured.

다음으로, 상기 비히클(10)의 조향 휠들(12)을 상기 조향 레일(130)의 상기 제2 측면(132)에 접촉시킨다.(S124)Next, the steering wheels 12 of the vehicle 10 are brought into contact with the second side surface 132 of the steering rail 130 (S124).

다음으로, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠(11)을 상기 제1 홈(122a) 상에 위치시킨다.(S125)Next, the vehicle 10 is moved to position the driving wheel 11 on the first groove 122a (S125).

이때, 상기 제2 측면(132)과 상기 제1 홈(122a)은 서로 반대 방향에 위치한다. 상기 조향 휠들(12)들이 상기 조향 레일(130)의 상기 제2 측면(132)에 의해 지지되므로, 상기 주행 휠들(11)이 상기 제1 홈(122a)에 위치하더라도 상기 비히클(10)이 기울어지지 않는다.At this time, the second side surface 132 and the first groove 122a are located in opposite directions to each other. Since the steering wheels 12 are supported by the second side surface 132 of the steering rail 130, the vehicle 10 is tilted even when the driving wheels 11 are located in the first groove 122a. don't lose

이후, 상기 게이지(140)를 이용하여 상기 제1 홈(122a)에서 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다.(S126)Thereafter, the height of the driving wheel 11 is measured in the first groove 122a using the gauge 140 (S126).

구체적으로, 상기 게이지(140)를 상기 주행 휠(11)과 상기 제1 홈(122a) 사이에 삽입하여 상기 주행 휠(11)의 높이를 측정한다. Specifically, the height of the driving wheel 11 is measured by inserting the gauge 140 between the driving wheel 11 and the first groove 122a.

상기 비히클(10)에서 상기 주행 휠들(11)이 여러 쌍인 경우, 상기 비히클(10)을 이동하여 상기 주행 휠들(11)을 상기 제1 홈(122a) 상에 순차적으로 위치시키면서 상기 주행 휠들(11)의 높이를 측정할 수 있다. When there are several pairs of driving wheels 11 in the vehicle 10, the driving wheels 11 are sequentially placed on the first groove 122a by moving the vehicle 10. ) can be measured.

상기 주행 휠들(11)의 높이 측정이 완료되면, 상기 주행 휠들(11)이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들(11)의 높이를 조절한다.(S130)When the height measurement of the driving wheels 11 is completed, the heights of the driving wheels 11 are adjusted so that the driving wheels 11 have the same height (S130).

구체적으로, 상기 주행 휠들(11)의 높이를 개별적으로 높이거나 낮추어 상기 주행 휠들(11)의 높이를 동일하게 한다. 따라서, 상기 비히클(10)이 상기 주행 레일(120)이 분리된 분기 구간을 주행할 때 상기 주행 휠들(11)의 높이 차이로 인해 상기 주행 휠들(11)이 상기 주행 레일(120)과 다시 접촉하면서 발생하는 충격과 소음을 줄일 수 있다. Specifically, the heights of the driving wheels 11 are individually raised or lowered to equalize the heights of the driving wheels 11 . Therefore, when the vehicle 10 travels in the branching section where the running rail 120 is separated, the running wheels 11 contact the running rail 120 again due to a difference in height between the running wheels 11. It can reduce the shock and noise generated while doing it.

다음으로, 상기 장애물 감지 센서(13)가 상기 개구 부재(150)의 개구(152)를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 조절한다.(S140)Next, the position of the obstacle detection sensor 13 is adjusted so that the obstacle detection sensor 13 detects the opening 152 of the opening member 150 (S140).

구체적으로, 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 변경하면서 상기 개구 부재(150)의 상기 개구(152)를 감지한다. 상기 장애물 감지 센서(13)가 상기 개구(152)를 정확하게 감지할 때 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 확인한다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 장애물 감지 센서(13)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. Specifically, the opening 152 of the opening member 150 is sensed while changing the position of the obstacle detection sensor 13 . When the obstacle detection sensor 13 accurately detects the opening 152, the position of the obstacle detection sensor 13 is confirmed. Accordingly, the position of the obstacle detection sensor 13 in the vehicle 10 can be accurately set.

다음으로, 상기 버퍼 감지 센서(14)가 상기 비히클(10)의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 구비된 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 조절한다.(S150)Next, the reflector 166 of the side buffer member 160 and the reflector of the lower buffer member 170 are provided on the side or below the buffer detection sensor 14 perpendicular to the driving direction of the vehicle 10. The position of the buffer detection sensor 14 is adjusted so as to detect (S150).

구체적으로, 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 변경하면서 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 감지한다. 상기 버퍼 감지 센서(14)가 상기 측면 버퍼 부재(160)의 반사판(166) 및 상기 하부 버퍼 부재(170)의 반사판을 정확하게 감지할 때 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 확인한다. 따라서, 상기 비히클(10)에서 상기 버퍼 감지 센서(14)의 위치를 정확하게 설정할 수 있다. Specifically, the reflector 166 of the side buffer member 160 and the reflector of the lower buffer member 170 are sensed while changing the position of the buffer detection sensor 14 . When the buffer detection sensor 14 accurately detects the reflection plate 166 of the side buffer member 160 and the reflection plate of the lower buffer member 170, the position of the buffer detection sensor 14 is confirmed. Accordingly, the position of the buffer detection sensor 14 in the vehicle 10 can be accurately set.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

100 : 비히클 설정 장치 110 : 프레임
120 : 주행 레일 130 : 조향 레일
140 : 게이지 150 : 개구 부재
160 : 측면 버퍼 부재 170 : 하부 버퍼 부재
10 : 비히클 11 : 주행 휠
12 : 조향 휠 13 : 장애물 감지 센서
14 : 버퍼 감지 센서100: vehicle setting device 110: frame
120: driving rail 130: steering rail
140: gauge 150: opening member
160: side buffer member 170: lower buffer member
10: vehicle 11: driving wheel
12: steering wheel 13: obstacle detection sensor
14: buffer detection sensor

Claims (9)

지면에 구비되는 프레임;
상기 프레임에 고정되고, 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행을 위해 상기 비히클의 주행 휠들과 접촉하며, 상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하기 위한 일정한 깊이의 홈들을 갖는 주행 레일;
상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클의 주행 방향을 조절하기 위해 상기 비히클의 조향 휠들과 선택적으로 접촉하는 조향 레일; 및
상기 주행 휠들이 상기 홈들에 위치할 때 상기 주행 휠들과 상기 홈들 사이에 삽입되어 상기 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 장치.A frame provided on the ground;
a travel rail fixed to the frame, in contact with travel wheels of the vehicle for transporting a cassette loaded with wafers, and having grooves of a certain depth for checking the horizontal state of the travel wheels;
a steering rail fixed to the frame and selectively contacting steering wheels of the vehicle to adjust a driving direction of the vehicle; and
and a gauge inserted between the driving wheels and the grooves to measure heights of the driving wheels when the driving wheels are located in the grooves. 제1항에 있어서, 상기 주행 휠들의 높이를 교대로 측정하기 위해 상기 홈들은 상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치되는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 장치.The vehicle setting device according to claim 1, wherein the grooves are arranged to be staggered with each other on the travel rail to alternately measure the heights of the travel wheels. 제2항에 있어서, 상기 비히클의 조향 휠들이 상기 조향 레일의 양측면 중 제1 측면과 접촉한 상태에서 상기 게이지를 이용하여 상기 홈들 중 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면과 대응하도록 위치한 제2 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하고,
상기 비히클의 조향 휠들이 상기 조향 레일의 상기 제2 측면에 접촉한 상태에서 상기 게이지를 이용하여 상기 홈들 중 상기 제1 측면과 대응하도록 위치한 제1 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 장치.3. The method of claim 2, wherein the steering wheels of the vehicle are positioned to correspond to a second side opposite to the first side of the grooves by using the gauge in a state in which the steering wheels of the vehicle are in contact with the first side of both side surfaces of the steering rail. Measure the height of the driving wheel in the groove;
Characterized in that, in a state in which the steering wheels of the vehicle are in contact with the second side surface of the steering rail, the height of the driving wheel is measured in a first groove located to correspond to the first side surface among the grooves using the gauge. A vehicle setting device that does. 제1항에 있어서, 상기 비히클의 주행 방향 전방에 위치하도록 상기 프레임 또는 상기 주행 레일에 고정되며, 상기 비히클에 구비된 장애물 감지 센서의 위치를 조절하기 위해 개구를 갖는 개구 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 장치.The method of claim 1, further comprising an opening member fixed to the frame or the running rail so as to be positioned in a forward direction of the vehicle, and having an opening to adjust a position of an obstacle detection sensor provided in the vehicle. A vehicle setting device to be. 제1항에 있어서, 상기 비히클의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 위치하도록 상기 프레임에 고정되며, 상기 비히클에 구비된 버퍼 감지 센서의 위치를 조절하기 위해 반사판을 갖는 버퍼 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 장치. The method of claim 1, further comprising a buffer member fixed to the frame so as to be positioned on the side or below perpendicular to the driving direction of the vehicle, and having a reflector to adjust the position of the buffer detection sensor provided in the vehicle. Characterized vehicle setting device. 웨이퍼들이 적재된 카세트를 이송하는 비히클의 주행 휠들을 프레임에 고정된 주행 레일에 안착시키는 단계:
상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계; 및
상기 주행 휠들이 동일한 높이를 갖도록 상기 주행 휠들의 높이를 조절하는 단계를 포함하되,
상기 주행 휠들의 수평 상태를 확인하는 단계는,
상기 비히클의 조향 휠들을 상기 프레임에 고정된 조향 레일의 양측면 중 제1 측면에 접촉시키는 단계와,
상기 주행 레일에 서로 엇갈리도록 배치된 홈들 중 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면과 대응하도록 위치한 제2 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계와,
게이지를 이용하여 상기 제2 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계와,
상기 비히클의 조향 휠들을 상기 조향 레일의 제2 측면에 접촉시키는 단계와,
상기 홈들 중 상기 제1 측면과 대응하도록 위치한 제1 홈에 상기 주행 휠을 위치시키는 단계와,
상기 게이지를 이용하여 상기 제1 홈에서 상기 주행 휠의 높이를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 방법. Seating the driving wheels of the vehicle transporting the cassette loaded with wafers on the driving rails fixed to the frame:
Checking the horizontal state of the driving wheels; and
Adjusting the height of the driving wheels so that the driving wheels have the same height,
The step of checking the horizontal state of the driving wheels,
bringing steering wheels of the vehicle into contact with a first side of both side surfaces of a steering rail fixed to the frame;
locating the driving wheel in a second groove positioned to correspond to a second side surface opposite to the first side surface among grooves arranged to cross each other on the travel rail;
Measuring a height of the driving wheel in the second groove using a gauge;
bringing steering wheels of the vehicle into contact with a second side of the steering rail;
positioning the driving wheel in a first groove positioned to correspond to the first side surface among the grooves;
and measuring a height of the driving wheel in the first groove using the gauge. 삭제delete 제6항에 있어서, 상기 비히클에 구비된 장애물 감지 센서가 상기 비히클의 주행 방향 전방에 구비된 개구 부재의 개구를 감지하도록 상기 장애물 감지 센서의 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 방법.The vehicle according to claim 6 , further comprising adjusting a position of the obstacle detection sensor so that the obstacle detection sensor provided in the vehicle detects an opening of an opening member provided in a front direction of the vehicle driving direction. How to set it up. 제6항에 있어서, 상기 비히클에 구비된 버퍼 감지 센서가 상기 비히클의 주행 방향과 수직하는 측방 또는 하방에 구비된 버퍼 부재의 반사판을 감지하도록 상기 버퍼 감지 센서의 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 설정 방법. The method of claim 6, further comprising adjusting the position of the buffer detection sensor so that the buffer detection sensor provided in the vehicle detects a reflector of a buffer member provided on the side or below perpendicular to the driving direction of the vehicle A method for setting a vehicle, characterized in that.
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