KR102141190B1 - Jig for aligning an equipment and method of aligning a equipment using the same - Google Patents

Jig for aligning an equipment and method of aligning a equipment using the same Download PDF

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Abstract

설비 정렬용 지그는 천장 반송 장치의 주행 레일의 하방에 배치되는 설비의 배치 위치를 정렬한다. 상기 설비 정렬용 지그는, 상기 설비에 구비된 로드 포트의 한 쌍의 정렬 핀들을 각각 수용하는 한 쌍의 수용홈들을 갖는 제1 정렬부 및 상기 설비가 놓여진 지면과 닿도록 상기 제1 정렬부에 대해 상기 지면과 수직하는 방향인 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 정렬부와 연결되며, 상기 주행 레일과 상기 설비를 정렬하기 위해 상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선이 표시되는 제2 정렬부를 포함할 수 있다. The fixture alignment jig aligns the arrangement position of the equipment disposed below the traveling rail of the ceiling conveying device. The fixture alignment jig, the first alignment unit having a pair of receiving grooves each receiving a pair of alignment pins of the load port provided in the facility and the first alignment unit to contact the ground on which the facility is placed It is connected to the first alignment unit so as to be movable along the Z-axis direction, which is a direction perpendicular to the ground, and the center line of the driving rail and the outline of the facility are displayed to align the driving rail and the facility. It may include an alignment unit.

Description

설비 정렬용 지그 및 이를 이용한 설비의 정렬 방법{Jig for aligning an equipment and method of aligning a equipment using the same}Jig for aligning an equipment and method of aligning a equipment using the same}

본 발명은 설비 정렬용 지그 및 이를 이용한 설비의 정렬 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 천장 주행 레일의 하방에 설비를 정렬하여 배치하기 위한 설비 정렬용 지그 및 이를 이용한 설비의 정렬 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for aligning facilities and a method for aligning facilities using the same, and more particularly, to a jig for aligning facilities for arranging and arranging facilities under the ceiling running rail and a method for aligning facilities using the same.

일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 OHS(Overhead Shuttle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등을 포함하는 천장 이송 장치에 의해 이송된다. In general, semiconductor process facilities are continuously arranged to perform various processes for manufacturing a semiconductor device. The object for performing the semiconductor device manufacturing process is transferred by a ceiling transfer device including an overhead shuttle (OHS), overhead hoist transport (OHT), and the like.

상기 천장 이송 장치는 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. The ceiling transport apparatus includes a traveling rail provided along the ceiling of a space provided with the semiconductor processing facilities and a vehicle traveling along the traveling rail.

상기 비히클은 상기 대상물을 상기 설비의 로드 포트로 이송할 수 있다. 상기 비히클에는 상기 로드 포트로 상기 대상물을 로딩 또는 언로딩할 수 있는 포크 유닛이 구비된다. The vehicle may transfer the object to the load port of the facility. The vehicle is provided with a fork unit capable of loading or unloading the object with the load port.

상기 대상물의 로딩 및 언로딩 공정을 안정적으로 수행하기 위해 상기 포크 유닛과 상기 설비 포트가 정확하게 정렬되어야 한다. 상기 포크 유닛과 상기 설비 포트의 정렬을 위해 상기 포크 유닛에는 핀 수용부가 구비되고, 상기 설비 포트에는 정렬 핀이 구비될 수 있다. 상기 포크 유닛이 상기 대상물을 상기 설비 포트로 신속하게 이송하기 위해 상기 핀 수용부와 상기 정렬 핀은 상하로 배치될 수 있다. 따라서, 상기 포크 유닛이 수직 하강하여 상기 설비 포트와 정렬될 수 있다. In order to stably perform the loading and unloading process of the object, the fork unit and the equipment port must be accurately aligned. For the alignment of the fork unit and the facility port, the fork unit may be provided with a pin receiving portion, and the facility port may be provided with an alignment pin. The pin receiving portion and the alignment pin may be vertically disposed so that the fork unit can quickly transfer the object to the facility port. Therefore, the fork unit can be vertically lowered and aligned with the installation port.

상기 주행 레일의 하방에 상기 설비들을 설치할 때도 상기 대상물의 신속한 이송을 위해 상기 로드 포트의 상기 정렬 핀들이 상기 핀 수용부의 하방에 위치하여야 한다. 그러나, 작업자가 육안으로 상기 정렬 핀들을 상기 핀 수용부의 하방에 위치시키기 어렵다. 따라서, 상기 설비들의 위치를 정확하게 정렬하여 설치하기 어렵다. Even when the facilities are installed under the driving rail, the alignment pins of the load port should be located below the pin accommodating portion for rapid transfer of the object. However, it is difficult for an operator to visually place the alignment pins below the pin accommodating portion. Therefore, it is difficult to accurately arrange and install the positions of the facilities.

본 발명은 설비의 정렬 핀들이 비히클의 핀 수용부의 하방에 위치하도록 상기 설비를 정렬할 수 있는 설비 정렬용 지그를 제공한다.The present invention provides a fixture for aligning the fixture so that the alignment pins of the fixture are positioned below the pin receiving portion of the vehicle.

본 발명은 상기 설비 정렬용 지그를 이용한 설비의 정렬 방법을 제공한다. The present invention provides a method for aligning equipment using the jig for aligning the equipment.

본 발명에 따른 천장 반송 장치의 주행 레일의 하방에 배치되는 설비의 배치 위치를 정렬하기 위한 설비 정렬용 지그에 있어서, 상기 설비 정렬용 지그는, 상기 설비에 구비된 로드 포트의 한 쌍의 정렬 핀들을 각각 수용하는 한 쌍의 수용홈들을 갖는 제1 정렬부 및 상기 설비가 놓여진 지면과 닿도록 상기 제1 정렬부에 대해 상기 지면과 수직하는 방향인 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 정렬부와 연결되며, 상기 주행 레일과 상기 설비를 정렬하기 위해 상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선이 표시되는 제2 정렬부를 포함할 수 있다. In the fixture for aligning the arrangement for aligning the arrangement position of the equipment disposed below the traveling rail of the ceiling conveying device according to the present invention, the fixture for aligning the fixture is a pair of alignment pins of a load port provided in the equipment A first alignment unit having a pair of receiving grooves for receiving each, and the first alignment so as to be movable along the Z-axis direction which is a direction perpendicular to the ground relative to the first alignment unit so as to contact the ground on which the facility is placed It may be connected to the unit, and a second alignment unit in which the center line of the driving rail and the outline of the facility are displayed to align the driving rail and the facility.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 정렬부는, 상기 수용홈들이 상기 Z축 방향으로 관통하도록 구비되는 제1 수평 부재 및 상기 제1 수평 부재의 하부면에 상기 제1 수평 부재와 수직하도록 구비되는 제1 수직 부재를 포함하고, 상기 제2 정렬부는, 상기 제1 수직 부재에 대해 상기 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 연결되는 제2 수직 부재 및 상기 제2 수직 부재의 하부면에 상기 제2 수직 부재와 수직하도록 구비되며, 상부면에 상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선이 표시되는 제2 수평 부재를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first alignment unit, the first horizontal member and the first horizontal member on the lower surface of the first horizontal member provided to pass through the receiving groove in the Z-axis direction perpendicular to the It includes a first vertical member provided to, the second alignment portion, the second vertical member and the second vertical member connected to be movable along the Z-axis direction with respect to the first vertical member and the second vertical member to the lower surface It is provided to be perpendicular to the second vertical member, and may include a second horizontal member on which the center line of the driving rail and the outline of the facility are displayed on the upper surface.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 수평 부재의 상부면에는 상기 수용홈들 사이를 가로지르는 상기 제1 수평 부재의 중심선이 표시될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, a center line of the first horizontal member crossing between the receiving grooves may be displayed on an upper surface of the first horizontal member.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 중심선은 상기 지면과 평행한 수평 방향인 X축 방향을 따라 연장하도록 표시되고, 상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선은 상기 지면과 평행하며 상기 X축 방향과 수직하는 수평 방향인 Y축 방향을 따라 연장하도록 표시될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the center line is displayed to extend along the X-axis direction, which is a horizontal direction parallel to the ground, and the center line of the driving rail and the outline of the facility are parallel to the ground and the X axis It may be displayed to extend along the Y-axis direction, which is a horizontal direction perpendicular to the direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 설비 정렬용 지그는, 상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재 사이에 구비되며, 상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재가 상기 Z축 방향을 따라 상대 이동하도록 가이드하는 가이드부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the fixture alignment jig is provided between the first vertical member and the second vertical member, the first vertical member and the second vertical member is the Z-axis direction A guide part for guiding relative movement may be further included.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가이드부는, 상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재가 서로 마주보는 면들 중 어느 한 면에 구비되며, 상기 Z축 방향을 따라 배치되는 가이드 레일 및 상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재가 서로 마주보는 면들 중 나머지 한 면에 구비되며, 상기 가이드 레일을 따라 상기 Z축 방향을 따라 이동하는 이동 블록을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the guide portion, the first vertical member and the second vertical member is provided on any one of the faces facing each other, the guide rail disposed in the Z-axis direction and the The first vertical member and the second vertical member may be provided on one of the other faces facing each other, and may include a movement block moving along the Z-axis direction along the guide rail.

본 발명에 따른 설비의 정렬 방법은, 하부면에 레일 중심선이 표시된 레일 중심 표시용 지그를 천장 반송 장치의 주행 레일에 장착하는 단계와, 상기 주행 레일의 하방에 배치되는 설비에 구비된 로드 포트의 정렬 핀들이 설비 정렬용 지그의 수용홈들에 수용되도록 상기 설비 정렬용 지그를 상기 설비에 장착하는 단계 및 레이저 레벨기를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그에 표시된 상기 주행 레일의 중심선이 상기 레일 중심 표시용 지그의 레일 중심선과 일치하도록 상기 설비를 X축 방향으로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. Alignment method of the installation according to the present invention, the rail center line on the lower surface of the rail center jig for mounting the mounting rail to the traveling rail of the ceiling conveying device, and the load port provided in the equipment disposed below the traveling rail The center line of the driving rail displayed on the jig for aligning the facilities using a laser leveler and the step of mounting the jig for aligning the facilities to the facilities so that the alignment pins are accommodated in the receiving grooves of the jig for aligning the facilities is for displaying the center of the rail. It may include the step of moving the installation in the X-axis direction to match the center line of the rail of the jig.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 설비의 정렬 방법은, 상기 레이저 레벨기를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그에 표시된 상기 중심선이 상기 주행 레일에 구비된 위치 태그의 중심선과 일치하도록 상기 설비를 Y축 방향으로 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the alignment method of the facility, by using the laser level, the center line displayed on the jig for aligning the facility matches the center line of the position tag provided on the driving rail Y It may further include the step of moving in the axial direction.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 설비 정렬용 지그를 상기 설비에 장착하는 단계는, 상기 제1 정렬부의 상기 수용홈들을 상기 정렬 핀들에 끼우는 단계 및 상기 제1 정렬부에 대해 제2 정렬부를 Z축 방향을 따라 이동시켜 상기 제2 정렬부를 지면에 밀착시키는 단계를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the mounting of the fixture for aligning the fixture to the fixture comprises: fitting the receiving grooves of the first alignment part to the alignment pins and aligning the second to the first alignment part. It may include the step of moving the portion along the Z-axis direction to close the second alignment portion to the ground.

본 발명의 설비 정렬용 지그 및 이를 이용한 설비의 정렬 방법에 따르면, 상기 설비 정렬용 지그에 상기 주행 레일의 중심선이 표시되어 있으므로, 상기 설비 정렬용 지그를 상기 설비의 상기 정렬 핀들에 장착하는 경우, 상기 주행 레일의 중심선의 위치를 용이하게 확인할 수 있다. 따라서, 상기 레이저 레벨기를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그에 표시된 상기 주행 레일의 중심선이 상기 레일 중심 표시용 지그의 레일 중심선과 일치하도록 상기 설비를 X축 방향으로 이동시킴으로써 상기 정렬 핀들을 비히클에 구비된 핀 수용부의 하방에 위치하도록 상기 설비를 정확하게 정렬할 수 있다.According to the jig for aligning facilities of the present invention and a method for aligning facilities using the same, since the center line of the traveling rail is displayed on the jig for aligning facilities, when the jig for aligning facilities is mounted on the alignment pins of the facility, The position of the center line of the driving rail can be easily confirmed. Accordingly, the alignment pins are provided to the vehicle by moving the facility in the X-axis direction so that the center line of the driving rail displayed on the jig for aligning the facilities coincides with the rail center line of the jig for aligning the rails using the laser leveler. The installation can be accurately aligned to be located below the pin receiving portion.

도 1은 본 발명에 따른 천장 이송 장치와 설비의 배치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 설비를 정렬하기 위한 설비 정렬용 지그를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 설비 정렬용 지그를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 설비 정렬용 지그를 이용한 설비의 정렬 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 도 4에 도시된 설비의 정렬 방법을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a front view for explaining the arrangement of the ceiling transport apparatus and equipment according to the present invention.
FIG. 2 is a side view illustrating a jig for aligning facilities for aligning the facilities shown in FIG. 1.
3 is a plan view for explaining the jig for aligning equipment shown in FIG. 2.
FIG. 4 is a flow chart for explaining a method for aligning equipment using the jig for aligning equipment shown in FIG. 2.
5 is a view for explaining a method of aligning the facilities shown in FIG. 4.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention can be applied to various changes and may have various forms, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, and it should be understood that all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention are included. In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged than actual in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprises" or "have" are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts or combinations thereof described in the specification, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person skilled in the art to which the present invention pertains. Terms, such as those defined in a commonly used dictionary, should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and should not be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present application. Does not.

도 1은 본 발명에 따른 천장 이송 장치와 설비의 배치를 설명하기 위한 정면도이다. 1 is a front view for explaining the arrangement of the ceiling transport apparatus and equipment according to the present invention.

도 1을 참조하면, 천장 이송 장치(10)는 반도체 공정 설비(20)들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일(12) 및 상기 주행 레일(12)을 따라 주행하는 비히클(14)을 포함한다. Referring to FIG. 1, the ceiling transport apparatus 10 includes a driving rail 12 provided along the ceiling of a space provided with semiconductor process facilities 20 and a vehicle 14 running along the driving rail 12. Includes.

상기 비히클(14)은 대상물을 상기 설비(20)의 로드 포트(22)로 이송할 수 있다. 상기 비히클(14)에는 상기 로드 포트(22)로 상기 대상물을 로딩 또는 언로딩할 수 있는 포크 유닛(15)이 구비된다. The vehicle 14 may transfer the object to the load port 22 of the facility 20. The vehicle 14 is provided with a fork unit 15 capable of loading or unloading the object with the load port 22.

상기 포크 유닛(15)과 상기 설비 포트(22)의 정렬을 위해 상기 포크 유닛(15)에는 핀 수용부(16)가 구비되고, 상기 설비 포트(22)에는 정렬 핀(24)이 구비될 수 있다. 이때, 상기 핀 수용부(16)와 상기 정렬 핀(24)은 상하로 배치될 수 있다. 따라서, 상기 포크 유닛(15)이 수평 이동하지 않고 수직 하강하여 상기 설비 포트(22)와 정렬될 수 있다. 그러므로, 상기 포크 유닛(15)이 상기 대상물을 상기 설비 포트(22)로 신속하게 이송할 수 있다. For the alignment of the fork unit 15 and the facility port 22, the fork unit 15 may be provided with a pin receiving portion 16, and the facility port 22 may be provided with an alignment pin 24. have. At this time, the pin receiving portion 16 and the alignment pin 24 may be arranged up and down. Therefore, the fork unit 15 can be vertically lowered without being horizontally moved and aligned with the facility port 22. Therefore, the fork unit 15 can quickly transfer the object to the facility port 22.

도 2는 도 1에 도시된 설비를 정렬하기 위한 설비 정렬용 지그를 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 설비 정렬용 지그를 설명하기 위한 평면도이다. FIG. 2 is a side view for explaining a fixture for aligning equipment shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view for explaining a fixture for aligning facilities shown in FIG. 2.

도 2 및 도 3을 추가로 참조하면, 상기 설비 정렬용 지그(100)는 상기 천장 반송 장치(10)의 상기 주행 레일(12)의 하방에 배치되는 상기 설비(20)의 배치 위치를 정렬하기 위한 것으로, 제1 정렬부(110), 제2 정렬부(120) 및 가이드부(130)를 포함할 수 있다. 2 and 3, the fixture alignment jig 100 aligns the arrangement position of the fixture 20 disposed below the traveling rail 12 of the ceiling conveying device 10. For the purpose, it may include a first alignment unit 110, the second alignment unit 120 and the guide unit 130.

상기 제1 정렬부(110)는 상기 설비(20)에 구비된 상기 로드 포트(22)의 한 쌍의 정렬 핀(24)들을 각각 수용하는 한 쌍의 수용홈(112)들을 갖는다. The first alignment part 110 has a pair of receiving grooves 112 for receiving a pair of alignment pins 24 of the load port 22 provided in the facility 20.

상기 제1 정렬부(110)는 제1 수평 부재(111) 및 제1 수직 부재(115)를 포함할 수 있다.The first alignment part 110 may include a first horizontal member 111 and a first vertical member 115.

상기 제1 수평 부재(111)는 상기 수용홈(112)들이 상기 Z축 방향으로 관통하도록 구비된다. 상기 수용홈(112)들은 Y축 방향을 따라 서로 이격되도록 배치된다. 상기 수용홈(112)들은 상기 정렬 핀(24)들과 대응하는 형상과 크기를 갖는다. The first horizontal member 111 is provided so that the receiving grooves 112 penetrate in the Z-axis direction. The receiving grooves 112 are arranged to be spaced apart from each other along the Y-axis direction. The receiving grooves 112 have a shape and size corresponding to the alignment pins 24.

또한, 상기 제1 수평 부재(111)의 상부면에는 상기 제1 수평 부재(111)의 중심선(113)이 표시된다. 상기 중심선(113)은 상기 수용홈(112)들 사이를 가로지른다. 따라서, 상기 중심선(113)은 X축 방향을 따라 연장할 수 있다. In addition, a center line 113 of the first horizontal member 111 is displayed on an upper surface of the first horizontal member 111. The center line 113 crosses between the receiving grooves 112. Therefore, the center line 113 may extend along the X-axis direction.

상기 제1 수직 부재(115)는 상기 제1 수평 부재(111)의 하부면에 상기 제1 수평 부재(111)와 수직하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 수직 부재(115)는 상기 제1 수평 부재(111)와 일체로 형성되거나 별도의 체결 부재에 의해 체결될 수 있다. The first vertical member 115 may be provided on the lower surface of the first horizontal member 111 to be perpendicular to the first horizontal member 111. The first vertical member 115 may be integrally formed with the first horizontal member 111 or fastened by a separate fastening member.

상기 제2 정렬부(120)는 상기 설비(20)가 놓여진 지면과 닿도록 상기 제1 정렬부(110)에 대해 상기 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 정렬부(110)와 연결된다.. 상기 제2 정렬부(120)에는 상기 주행 레일(12)과 상기 설비(20)를 정렬하기 위해 상기 주행 레일의 중심선(126) 및 상기 설비의 외곽선(127)이 표시될 수 있다. The second alignment unit 120 is connected to the first alignment unit 110 so as to be movable along the Z-axis direction with respect to the first alignment unit 110 so as to contact the ground on which the facility 20 is placed. .. In the second alignment unit 120, a center line 126 of the driving rail and an outline 127 of the facility may be displayed to align the driving rail 12 and the facility 20.

구체적으로, 상기 제2 정렬부(120)는 제2 수직 부재(121) 및 제2 수평 부재(125)를 포함할 수 있다. Specifically, the second alignment part 120 may include a second vertical member 121 and a second horizontal member 125.

상기 제2 수직 부재(121)는 상기 제1 수직 부재(115)에 대해 상기 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 연결될 수 있다. The second vertical member 121 may be connected to the first vertical member 115 so as to be movable along the Z-axis direction.

상기 제2 수평 부재(125)는 상기 제2 수직 부재(121)의 하부면에 상기 제2 수직 부재(121)와 수직하도록 구비된다. 상기 제2 수평 부재(125)의 상부면에는 상기 주행 레일의 중심선(126) 및 상기 설비의 외곽선(127)이 표시될 수 있다. 이때, 상기 주행 레일의 중심선(126) 및 상기 설비의 외곽선(127)은 상기 Y축 방향을 따라 연장하도록 표시될 수 있다.The second horizontal member 125 is provided to be perpendicular to the second vertical member 121 on the lower surface of the second vertical member 121. A center line 126 of the driving rail and an outline 127 of the facility may be displayed on an upper surface of the second horizontal member 125. At this time, the center line 126 of the driving rail and the outline 127 of the facility may be displayed to extend along the Y-axis direction.

상기 가이드부(130)는 상기 제1 정렬부(110)와 상기 제2 정렬부(120)의 사이, 구체적으로, 상기 제1 수직 부재(115)와 상기 제2 수직 부재(121) 사이에 구비될 수 있다. 상기 가이드부(130)는 상기 제1 수직 부재(115)와 상기 제2 수직 부재(121)가 상기 Z축 방향을 따라 상대 이동하도록 가이드할 수 있다. The guide part 130 is provided between the first alignment part 110 and the second alignment part 120, specifically, between the first vertical member 115 and the second vertical member 121. Can be. The guide unit 130 may guide the first vertical member 115 and the second vertical member 121 to move relative to each other along the Z-axis direction.

구체적으로, 상기 가이드부(130)는 가이드 레일(131) 및 이동 블록(135)을 포함할 수 있다. Specifically, the guide unit 130 may include a guide rail 131 and a moving block 135.

상기 가이드 레일(131)은 상기 제1 수직 부재(115)와 상기 제2 수직 부재(121)가 서로 마주보는 면들 중 어느 한 면에 구비되며, 상기 Z축 방향을 따라 배치될 수 있다. The guide rail 131 is provided on any one of the surfaces of the first vertical member 115 and the second vertical member 121 facing each other, and may be disposed along the Z-axis direction.

상기 이동 블록(135)은 상기 제1 수직 부재(115)와 상기 제2 수직 부재(121)가 서로 마주보는 면들 중 나머지 한 면에 구비되며, 상기 가이드 레일(131)을 따라 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있다. The moving block 135 is provided on the other of the surfaces facing the first vertical member 115 and the second vertical member 121, and the Z-axis direction along the guide rail 131 Can move along.

예를 들면, 상기 가이드 레일(131) 및 상기 이동 블록(135)은 LM 가이드일 수 있다. For example, the guide rail 131 and the moving block 135 may be LM guides.

상기 가이드 레일(131) 및 상기 이동 블록(135)은 별도의 체결 부재에 의해 상기 제1 수직 부재(115)와 상기 제2 수직 부재(121)에 체결될 수 있다. The guide rail 131 and the moving block 135 may be fastened to the first vertical member 115 and the second vertical member 121 by separate fastening members.

상기 가이드부(130)에 의해 상기 제1 정렬부(110)와 상기 제2 정렬부(120)가 상기 Z축 방향을 따라 안정적으로 이동할 수 있다. 상기 제1 정렬부(110)와 상기 제2 정렬부(120)가 상기 Z축 방향을 따라 이동하므로, 상기 설비 정렬용 지그(100)의 길이를 조절할 수 있다. The first alignment unit 110 and the second alignment unit 120 may be stably moved along the Z-axis direction by the guide unit 130. Since the first alignment unit 110 and the second alignment unit 120 move along the Z-axis direction, the length of the fixture alignment jig 100 can be adjusted.

상기 설비 정렬용 지그(100)를 상기 설비(20)의 상기 정렬 핀(24)들에 장착하는 경우, 상기 주행 레일의 중심선(126)의 위치를 용이하게 확인할 수 있다. 따라서, 상기 정렬 핀(24)들이 상기 비히클(14)에 구비된 상기 핀 수용부(16)들의 하방에 위치하도록 상기 설비(20)를 정확하게 정렬할 수 있다.When the jig 100 for aligning the facilities is mounted on the alignment pins 24 of the facility 20, it is possible to easily check the position of the center line 126 of the driving rail. Therefore, it is possible to accurately align the facility 20 such that the alignment pins 24 are located below the pin receiving portions 16 provided in the vehicle 14.

도 4는 도 2에 도시된 설비 정렬용 지그를 이용한 설비의 정렬 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 5는 도 4에 도시된 설비의 정렬 방법을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 4 is a flow chart for explaining a method for aligning facilities using a fixture for aligning facilities shown in FIG. 2, and FIG. 5 is a view for explaining a method for aligning facilities shown in FIG.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 설비의 정렬 방법은 다음과 같다. 4 and 5, the alignment method of the facility is as follows.

먼저, 레일 중심 표시용 지그(30)를 천장 반송 장치(10)의 주행 레일(12)에 장착한다. (S110)First, the jig 30 for rail center display is mounted on the traveling rail 12 of the ceiling transport apparatus 10. (S110)

상기 레일 중심 표시용 지그(30)의 하부면에는 레일 중심선(32)이 표시된다. 상기 레일 중심선(32)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. A rail center line 32 is displayed on a lower surface of the rail center display jig 30. The rail center line 32 may extend along the Y-axis direction.

다음으로, 상기 주행 레일(12)의 하방에 배치되는 상기 설비(20)에 구비된 로드 포트(22)의 정렬 핀(24)들이 설비 정렬용 지그(100)에 구비된 수용 홈(112)들에 수용되도록 상기 설비 정렬용 지그(100)를 상기 설비(20)에 장착한다. (S120)Next, the alignment pins 24 of the load port 22 provided in the facility 20 disposed below the driving rail 12 are receiving grooves 112 provided in the jig 100 for aligning the facilities. The facility alignment jig 100 is mounted on the facility 20 so as to be accommodated therein. (S120)

구체적으로, 상기 설비 정렬용 지그(100)에서 상기 제1 정렬부(110)의 상기 수용홈(112)들을 상기 정렬 핀(24)들에 끼운다. 상기 수용홈(112)들과 상기 정렬 핀(24)들이 각각 한 쌍식 구비되므로, 상기 제1 정렬부(110)가 상기 설비(20)에 안정적으로 장착될 수 있다. Specifically, the accommodation grooves 112 of the first alignment part 110 are fitted to the alignment pins 24 in the fixture alignment jig 100. Since the receiving grooves 112 and the alignment pins 24 are each provided in a pair, the first alignment unit 110 can be stably mounted on the facility 20.

상기 제1 정렬부(110)가 상기 설비(20)에 장착되면, 상기 제1 정렬부(110)에 대해 상기 제2 정렬부(120)를 상기 Z축 방향을 따라 이동시킨다. 이때, 상기 가이드부(130)가 상기 제2 정렬부(120)의 상기 Z축 방향 이동을 가이드하므로, 상기 제2 정렬부(120)가 안정적으로 이동할 수 있다. 상기 제2 정렬부(120)의 이동함으로써 상기 제2 정렬부(120)가 상기 지면에 밀착될 수 있다. When the first alignment unit 110 is mounted on the facility 20, the second alignment unit 120 with respect to the first alignment unit 110 is moved along the Z-axis direction. At this time, since the guide unit 130 guides the Z-axis movement of the second alignment unit 120, the second alignment unit 120 can stably move. The second alignment unit 120 may be in close contact with the ground by moving the second alignment unit 120.

상기 설비 정렬용 지그(100)가 상기 설비(20)에 장착되고, 상기 지면에 밀착된 상태에서 상기 설비 정렬용 지그(100)는 상기 지면과 수직할 수 있다. The facility alignment jig 100 is mounted on the facility 20, and in the state in close contact with the ground, the facility alignment jig 100 may be perpendicular to the ground.

상기에서는 상기 레일 중심 표시용 지그(30)를 상기 주행 레일(12)에 장착하고, 상기 설비 정렬용 지그(100)를 상기 설비(20)에 장착하는 것으로 설명되었지만, 상기 설비 정렬용 지그(100)를 상기 설비(20)에 장착하고, 상기 레일 중심 표시용 지그(30)를 상기 주행 레일(12)에 장착할 수도 있다. 또한, 상기 설비 정렬용 지그(100)를 상기 설비(20)에 장착하면서 동시에 기 레일 중심 표시용 지그(30)를 상기 주행 레일(12)에 장착할 수도 있다. In the above, it has been described that the rail center display jig 30 is mounted on the driving rail 12 and the facility alignment jig 100 is mounted on the facility 20, but the facility alignment jig 100 is described above. ) May be mounted on the facility 20, and the jig 30 for displaying the rail center may be mounted on the traveling rail 12. In addition, the jig for aligning the facilities 100 may be mounted on the facility 20 and at the same time, the jig 30 for displaying the center of the center rail may be mounted on the traveling rail 12.

다음으로, 레이저 레벨기(40)를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그(100)에 표시된 상기 주행 레일의 중심선(126)이 상기 레일 중심 표시용 지그(30)의 상기 레일 중심선(32)과 일치하도록 상기 설비(20)를 상기 X축 방향으로 이동시킨다. (S130)Next, by using the laser leveler 40 so that the center line 126 of the traveling rail displayed on the jig 100 for aligning the equipment coincides with the rail center line 32 of the jig 30 for displaying the rail center. The facility 20 is moved in the X-axis direction. (S130)

구체적으로, 상기 레이저 레벨기(40)를 켠 다음 상기 레이저 레벨기(40)의 레이저 표시가 상기 레일 중심 표시용 지그(30)의 상기 레일 중심선(32)과 일치하도록 위치시킨다. 상기 레이저 레벨기(40)는 상하 좌우로 상기 레이저가 라인 형태로 표시될 수 있다. 이후, 상기 설비(20)를 상기 X축 방향으로 이동시켜 상기 설비 정렬용 지그(100)에 표시된 상기 주행 레일의 중심선(126)을 상기 레이저 레벨기(40)의 레이저 표시와 일치시킨다. 따라서, 상기 설비 정렬용 지그(100)에 표시된 상기 주행 레일의 중심선(126)이 상기 레일 중심 표시용 지그(30)의 상기 레일 중심선(32)과 일치될 수 있다. 따라서, 상기 설비(20)를 상기 X축 방향으로 정렬할 수 있다. Specifically, after the laser leveler 40 is turned on, the laser marking of the laser leveler 40 is positioned to coincide with the rail centerline 32 of the jig 30 for centering the rail. In the laser leveler 40, the laser may be displayed in a line form vertically and horizontally. Thereafter, the facility 20 is moved in the X-axis direction to match the center line 126 of the traveling rail displayed on the fixture alignment jig 100 with the laser display of the laser level 40. Accordingly, the center line 126 of the traveling rail displayed on the fixture alignment jig 100 may coincide with the rail center line 32 of the rail center display jig 30. Therefore, the facility 20 can be aligned in the X-axis direction.

상기 설비 정렬용 지그(100)에 표시된 상기 주행 레일의 중심선(126)이 상기 레일 중심 표시용 지그(30)의 상기 레일 중심선(32)과 일치되면, 상기 설비(20)의 상기 정렬 핀(24)들이 상기 비히클(14)에 구비된 상기 핀 수용부(16)들의 하방에 위치할 수 있다. When the center line 126 of the traveling rail displayed on the fixture alignment jig 100 coincides with the rail center line 32 of the rail center display jig 30, the alignment pin 24 of the facility 20 ) May be located below the pin accommodating portions 16 provided in the vehicle 14.

상기 비히클(14)에서 상기 대상물을 상기 설비(20)로 이송하는 경우, 상기 포크 유닛(15)이 수평 이동하지 않고 수직 하강하여 상기 설비 포트(22)와 정렬될 수 있다. 따라서, 상기 포크 유닛(15)이 상기 대상물을 상기 설비 포트(22)로 신속하게 이송할 수 있다. When the object is transferred from the vehicle 14 to the facility 20, the fork unit 15 may be vertically lowered and aligned with the facility port 22 without horizontal movement. Therefore, the fork unit 15 can quickly transfer the object to the facility port 22.

이후, 상기 레이저 레벨기(40)를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그(100)에 표시된 상기 중심선(113)이 상기 주행 레일(12)에 구비된 위치 태그(미도시)의 중심선과 일치하도록 상기 설비(20)를 상기 Y축 방향으로 이동시킨다. (S140)Thereafter, the center line 113 displayed on the jig 100 for aligning the facilities using the laser leveler 40 matches the center line of the location tag (not shown) provided on the driving rail 12. (20) is moved in the Y-axis direction. (S140)

상기 위치 태그는 상기 주행 레일(12)을 따라, 예를 들면 상기 Y축을 따라 배열될 수 있다. 상기 위치 태그는 상기 설비(20)의 상기 Y축 방향의 위치를 표시할 수 있다. The location tag may be arranged along the travel rail 12, for example along the Y axis. The location tag may indicate the location of the facility 20 in the Y-axis direction.

구체적으로, 상기 레이저 레벨기(40)를 켠 다음 상기 레이저 레벨기(40)의 레이저 표시가 상기 위치 태그의 중심선과 일치하도록 위치시킨다. 이후, 상기 설비(20)를 상기 Y축 방향으로 이동시켜 상기 설비 정렬용 지그(100)에 표시된 상기중심선(113)을 상기 레이저 레벨기(40)의 레이저 표시와 일치시킨다. 따라서, 상기 설비(20)를 상기 Y축 방향으로 정렬할 수 있다. Specifically, after turning on the laser leveler 40, the laser display of the laser leveler 40 is positioned to coincide with the centerline of the position tag. Thereafter, the facility 20 is moved in the Y-axis direction to match the center line 113 displayed on the fixture alignment jig 100 with the laser display of the laser level 40. Therefore, the facility 20 can be aligned in the Y-axis direction.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 설비 정렬용 지그를 이용하면 상기 설비의 상기 정렬 핀들이 상기 비히클(14)에 구비된 상기 핀 수용부(16)들의 하방에 위치하도록 상기 설비를 정렬할 수 있다. 상기 비히클의 포크 유닛이 수평 이동하지 않고 수직 하강하여 상기 설비 포트와 정렬될 수 있으므로, 상기 포크 유닛)이 상기 대상물을 상기 설비 포트로 신속하게 이송할 수 있다. As described above, by using the fixture for aligning the facility according to the present invention, the facility can be aligned such that the alignment pins of the facility are located below the pin receiving portions 16 provided in the vehicle 14. have. Since the fork unit of the vehicle can be vertically lowered and aligned with the facility port without horizontal movement, the fork unit) can quickly transfer the object to the facility port.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art may variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will understand that you can.

100 : 설비 정렬용 지그 110 : 제1 정렬부
111 : 제1 수평 부재 115 : 제1 수직 부재
120 : 제2 정렬부 121 : 제2 수직 부재
125 : 제2 수평 부재 130 : 가이드부
131 : 가이드 레일 135 : 이동 블록100: jig for aligning equipment 110: first alignment unit
111: first horizontal member 115: first vertical member
120: second alignment unit 121: second vertical member
125: second horizontal member 130: guide portion
131: guide rail 135: moving block

Claims (9)

천장 반송 장치의 주행 레일의 하방에 배치되는 설비의 배치 위치를 정렬하기 위한 설비 정렬용 지그에 있어서,
상기 설비 정렬용 지그는,
상기 설비에 구비된 로드 포트의 한 쌍의 정렬 핀들을 각각 수용하는 한 쌍의 수용홈들을 갖는 제1 정렬부; 및
상기 설비가 놓여진 지면과 닿도록 상기 제1 정렬부에 대해 상기 지면과 수직하는 방향인 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 정렬부와 연결되며, 상기 주행 레일과 상기 설비를 정렬하기 위해 상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선이 표시되는 제2 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 정렬용 지그. In the fixture alignment jig for aligning the arrangement position of the equipment disposed below the traveling rail of the ceiling conveying device,
The jig for aligning the equipment,
A first alignment unit having a pair of receiving grooves, each receiving a pair of alignment pins of the load port provided in the facility; And
The first alignment unit is connected to the first alignment unit so as to be movable along the Z-axis direction, which is a direction perpendicular to the ground, so as to contact the ground on which the facility is placed, and to align the driving rail and the facility Jig for aligning the facility, characterized in that it comprises a second alignment portion of the center line of the traveling rail and the outline of the facility is displayed. 제1항에 있어서, 상기 제1 정렬부는, 상기 수용홈들이 상기 Z축 방향으로 관통하도록 구비되는 제1 수평 부재 및 상기 제1 수평 부재의 하부면에 상기 제1 수평 부재와 수직하도록 구비되는 제1 수직 부재를 포함하고,
상기 제2 정렬부는, 상기 제1 수직 부재에 대해 상기 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 연결되는 제2 수직 부재 및 상기 제2 수직 부재의 하부면에 상기 제2 수직 부재와 수직하도록 구비되며, 상부면에 상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선이 표시되는 제2 수평 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 정렬용 지그. According to claim 1, The first alignment unit, The first horizontal member is provided so that the receiving grooves penetrate through the Z-axis direction and the first horizontal member is provided to be perpendicular to the first horizontal member on the lower surface of the first horizontal member 1 includes a vertical member,
The second alignment part is provided to be perpendicular to the second vertical member on a lower surface of the second vertical member and the second vertical member connected to be movable along the Z-axis direction with respect to the first vertical member, and an upper portion A jig for aligning facilities, comprising a second horizontal member on which a center line of the driving rail and an outline of the facility are displayed on a surface. 제2항에 있어서, 상기 제1 수평 부재의 상부면에는 상기 수용홈들 사이를 가로지르는 상기 제1 수평 부재의 중심선이 표시되는 것을 특징으로 하는 설비 정렬용 지그. The jig for aligning equipment according to claim 2, wherein a center line of the first horizontal member crossing between the receiving grooves is displayed on an upper surface of the first horizontal member. 제3항에 있어서, 상기 제1 수평 부재의 중심선은 상기 지면과 평행한 수평 방향인 X축 방향을 따라 연장하도록 표시되고,
상기 주행 레일의 중심선 및 상기 설비의 외곽선은 상기 지면과 평행하며 상기 X축 방향과 수직하는 수평 방향인 Y축 방향을 따라 연장하도록 표시되는 것을 특징으로 하는 설비 정렬용 지그. According to claim 3, The center line of the first horizontal member is displayed to extend along the X-axis direction in a horizontal direction parallel to the ground,
The center line of the driving rail and the outline of the facility are parallel to the ground and are arranged to extend along the Y-axis direction, which is a horizontal direction perpendicular to the X-axis direction. 제2항에 있어서, 상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재 사이에 구비되며, 상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재가 상기 Z축 방향을 따라 상대 이동하도록 가이드하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 정렬용 지그.According to claim 2, It is provided between the first vertical member and the second vertical member, and further comprising a guide portion for guiding the first vertical member and the second vertical member to move relative to the Z-axis direction Jig for sorting equipment, characterized in that. 제5항에 있어서, 상기 가이드부는,
상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재가 서로 마주보는 면들 중 어느 한 면에 구비되며, 상기 Z축 방향을 따라 배치되는 가이드 레일; 및
상기 제1 수직 부재와 상기 제2 수직 부재가 서로 마주보는 면들 중 나머지 한 면에 구비되며, 상기 가이드 레일을 따라 상기 Z축 방향을 따라 이동하는 이동 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 정렬용 지그. According to claim 5, The guide portion,
A guide rail provided on any one of the surfaces of the first vertical member and the second vertical member facing each other, and disposed along the Z-axis direction; And
The first vertical member and the second vertical member is provided on the other of the faces facing each other, the fixture jig for alignment, characterized in that it comprises a moving block that moves along the Z-axis direction along the guide rail . 하부면에 레일 중심선이 표시된 레일 중심 표시용 지그를 천장 반송 장치의 주행 레일에 장착하는 단계;
상기 주행 레일의 하방에 배치되는 설비에 구비된 로드 포트의 정렬 핀들이 설비 정렬용 지그의 수용홈들에 수용되도록 상기 설비 정렬용 지그를 상기 설비에 장착하는 단계; 및
레이저 레벨기를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그에 표시된 상기 주행 레일의 중심선이 상기 레일 중심 표시용 지그의 레일 중심선과 일치하도록 상기 설비를 상기 주행 레일의 중심선의 연장 방향과 수직하는 방향인 X축 방향으로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 설비의 정렬 방법.Mounting a rail center marking jig on which the rail center line is indicated on the lower surface to the traveling rail of the ceiling conveying device;
Mounting the facility alignment jig to the facility such that the alignment pins of the load port provided in the facility disposed under the driving rail are accommodated in the receiving grooves of the facility alignment jig; And
Using the laser leveler, the facility is arranged in the X-axis direction, which is a direction perpendicular to the extending direction of the center line of the travel rail, so that the center line of the travel rail displayed on the jig for aligning the facility coincides with the rail center line of the jig for rail center display. A method of aligning a facility comprising the step of moving. 제7항에 있어서, 상기 레이저 레벨기를 이용하여 상기 설비 정렬용 지그에 표시된 제1 수평 부재의 중심선이 상기 주행 레일에 구비된 위치 태그의 중심선과 일치하도록 상기 설비를 상기 주행 레일의 중심선의 연장 방향과 평행하며 상기 X축 방향과 수직하는 방향인 Y축 방향으로 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 설비의 정렬 방법. The direction of extension of the center line of the travel rail according to claim 7, wherein the center line of the first horizontal member displayed on the jig for aligning the facility coincides with the center line of the position tag provided on the travel rail using the laser leveler. And parallel to and moving in the Y-axis direction, which is a direction perpendicular to the X-axis direction. 제7항에 있어서, 상기 설비 정렬용 지그는,
상기 수용홈들을 갖는 제1 정렬부; 및
상기 설비가 놓여진 지면과 닿도록 상기 제1 정렬부에 대해 상기 지면과 수직하는 방향인 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 정렬부와 연결되며, 상기 주행 레일의 중심선이 표시되는 제2 정렬부를 포함하고,
상기 설비 정렬용 지그를 상기 설비에 장착하는 단계는,
상기 제1 정렬부의 상기 수용홈들을 상기 정렬 핀들에 끼우는 단계; 및
상기 제1 정렬부에 대해 상기 제2 정렬부를 상기 Z축 방향을 따라 이동시켜 상기 제2 정렬부를 상기 지면에 밀착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 설비의 정렬 방법. According to claim 7, The jig for aligning the equipment,
A first alignment unit having the receiving grooves; And
The second alignment is connected to the first alignment unit so as to be movable along the Z-axis direction, which is a direction perpendicular to the ground, with respect to the first alignment unit so as to contact the ground on which the facility is placed, and the center line of the driving rail is displayed. Including wealth,
The step of mounting the fixture for aligning the equipment to the equipment,
Fitting the receiving grooves of the first alignment part to the alignment pins; And
And moving the second alignment part along the Z-axis direction with respect to the first alignment part to bring the second alignment part into close contact with the ground.
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