KR20190096663A - 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치 - Google Patents

리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20190096663A
KR20190096663A KR1020180016371A KR20180016371A KR20190096663A KR 20190096663 A KR20190096663 A KR 20190096663A KR 1020180016371 A KR1020180016371 A KR 1020180016371A KR 20180016371 A KR20180016371 A KR 20180016371A KR 20190096663 A KR20190096663 A KR 20190096663A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
lead frame
unit
module
guide
Prior art date
Application number
KR1020180016371A
Other languages
English (en)
Inventor
김종식
Original Assignee
김종식
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김종식 filed Critical 김종식
Priority to KR1020180016371A priority Critical patent/KR20190096663A/ko
Publication of KR20190096663A publication Critical patent/KR20190096663A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치에 관한 것이고, 구체적으로 리드 프레임이 카세트에 적재된 상태에서 검사와 같은 취급 공정이 가능하도록 하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치에 관한 것이다. 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치는 적어도 하나의 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)를 이동시키는 1 유도 유닛(111)과 리드 프레임이 공급된 카세트(CA)를 배출시키는 2 유도 유닛(112)으로 이루어진 카세트 유도 모듈(11); 각각의 리드 프레임을 카세트(CA)로부터 분리하여 검사 위치로 이동시키는 보트 유닛(131); 보트 유닛(131)에 적재되어 검사가 된 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)를 배출시키는 배출 유도 모듈(16)을 포함하고, 상기 리드 프레임은 보트 유닛(131)에 적재되어 선형으로 연장되는 이송 가이드(TG)를 따라 이동되면서 검사가 된다.

Description

리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치{An Apparatus for Supplying and Discharging a Lead Frame Cassette}
본 발명은 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치에 관한 것이고, 구체적으로 리드 프레임이 카세트에 적재된 상태에서 검사와 같은 취급 공정이 가능하도록 하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치에 관한 것이다.
반도체 리드 프레임은 리드 프레임의 형상 또는 크기를 결정하는 스탬핑 공정, 와이어 본딩을 위한 플레이팅 공정 및 테이프를 접착하는 테이핑 공정에 의하여 스트립 형태로 생산된다. 그리고 생산된 리드 프레임의 정상 여부를 검사하기 위하여 비전 또는 광학 검사가 이루어질 수 있다. 리드 프레임의 검사와 관련된 선행기술에 해당하는 특허공개번호 제10-2015-0069141호는 리드 프레임에 배치된 칩 패드의 불량 여부를 판단하여 마킹이 가능한 비전 검사 구조의 엘이디 리드 프레임 검사 장치에 대하여 개시한다. 또한 리드 프레임의 이송을 위한 선행기술에 해당하는 특허공개번호 제10-2012-0008310호는 공정 라인으로부터 리드 프레임이 연속적으로 이송될 수 있도록 하는 리드 프레임 이송 유닛에 대하여 개시한다. 검사 과정은 다수 개의 리드 프레임이 연속적으로 공급이 되어 검사가 진행이 되고, 검사가 완료된 리드 프레임이 양품 또는 불량으로 분류되어 자동으로 배출되도록 하는 것이 유리하다. 그러나 공지 기술 또는 선행기술은 이와 같은 구조를 가진 리드 프레임의 자동 공급, 이송 및 배출을 위한 장치에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행기술 1: 특허공개번호 제10-2015-0069141호((주)신안엔지니어링, 2015년06월23일 공개) 엘이디 리드 프레임 검사 장치 선행기술 2: 특허공개번호 제10-2012-0008310호(엘지디스플레이 주식회사, 2012년01월30일 공개) 리드 프레임 이송 유닛 및 이를 이용한 이송 방법
본 발명의 목적은 리드 프레임을 카세트에 적재하여 이동시켜 검사 공정으로 공급하고, 검사가 완료된 각각의 리드 프레임을 분류하여 카세트에 적재하여 배출되도록 하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치는 적어도 하나의 리드 프레임이 적재된 카세트를 이동시키는 1 유도 유닛과 리드 프레임이 공급된 카세트를 배출시키는 2 유도 유닛으로 이루어진 카세트 유도 모듈; 각각의 리드 프레임을 카세트로부터 분리하여 검사 위치로 이동시키는 보트 유닛; 보트 유닛에 적재되어 검사가 된 리드 프레임이 적재된 카세트를 배출시키는 배출 유도 모듈을 포함하고, 상기 리드 프레임은 보트 유닛에 적재되어 선형으로 연장되는 이송 가이드를 따라 이동되면서 검사가 된다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 카세트 유도 모듈로부터 공급되는 카세트를 정렬하여 카세트를 보트 유닛으로 이동시키고, 리드 프레임의 공급이 완료된 카세트를 카세트 공급 모듈로 다시 이송시키는 정렬 모듈을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 1 유도 유닛 또는 2 유도 유닛의 이송 경로에 설치되고, 서로 나란하게 연장되는 다수 개의 선형 유도 부재로 이루어진 이송 유닛을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 1 유도 유닛과 2 유도 유닛은 상하로 배치되고, 정렬 모듈은 상하로 이동되면서 1 유도 유닛으로부터 카세트를 공급받고, 2 유도 유닛으로 빈 카세트를 이동시킨다.
본 발명에 따른 공급 및 배출 장치는 리드 프레임을 카세트에 적재하여 이동시키고, 각각의 리드 프레임을 카세트로부터 분리하여 검사 공정에 제공하는 것에 의하여 리드 프레임의 전체 생산 공정의 자동화가 가능하도록 한다. 또한 검사가 완료된 리드 프레임을 정상 여부에 따라 분류하여 배출시키고 이로 인하여 작업자의 리드 프레임의 접촉에 따른 불량의 발생이 방지되도록 한다. 본 발명에 따른 공급 및 배출 장치는 적절한 설계 변경을 통하여 다양한 부품의 공급 및 배출에 적용될 수 있고, 이미 설치된 생산 라인에 적용될 수 있다는 이점을 가진다.
도 1a, 1b, 1c는 본 발명에 따른 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 장치에 적용되는 리드 프레임 공급 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 장치에 적용되는 카세트 유도 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 장치에 적용되는 카세트 위치 정렬 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 발명에 따른 장치의 전체 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a, 1b, 1c는 본 발명에 따른 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1a, 1b 및 도 1c를 참조하면, 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치는 적어도 하나의 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)를 이동시키는 1 유도 유닛(111)과 적어도 하나의 리드 프레임이 공급된 빈 카세트(CA)를 배출시키는 2 유도 유닛(112)으로 이루어진 카세트 유도 모듈(11); 각각의 리드 프레임을 카세트(CA)로부터 분리하여 검사 위치로 이동시키는 보트 유닛(131); 보트 유닛(131)에 적재되어 검사가 된 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)를 배출시키는 배출 유도 모듈(16)을 포함하고, 상기 리드 프레임은 보트 유닛(131)에 적재되어 선형으로 연장되는 이송 가이드(TG)를 따라 이동되면서 검사가 된다.
카세트(CA)는 스트립 형상의 리드 프레임이 적재될 수 있는 구조로 만들어질 수 있고, 예를 들어 박스 형상이 될 수 있다. 자동 공급 및 배출 장치는 베이스 기판(B)의 위쪽 면을 따라 리드 프레임이 이동되면서 검사가 될 수 있고, 리드 프레임은 보트 유닛(131)에 의하여 검사 위치로 이동될 수 있다.
적어도 하나의 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)은 유도 경로가 형성된 1 유도 유닛(111)을 따라 이동될 수 있다. 1 유도 유닛(111)을 따라 이동된 카세트(CA)는 정렬 모듈(17)에서 XY축 방향으로 정렬이 될 수 있다. 1 유도 유닛(111)의 유도 경로에 이송 유닛(113)이 설치되고, 적어도 하나의 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)는 이송 유닛(113)에 의하여 정렬 모듈(17)로 이동될 수 있다. 정렬 모듈(17)에 의하여 카세트(CA)가 베이스 기판(B)의 위쪽으로 이동될 수 있고, 베이스 기판(B)의 위쪽에 배치된 리드 프레임 공급 모듈(12a)에 의하여 리드 프레임이 보트 유닛(131)으로 공급될 수 있다.
공급 모듈(12a)은 1 방향 가이드(DG) 및 2 방향 가이드를 따라 이동 가능한 그립 유닛(121)을 포함할 수 있고, 카세트(CA)에 적재된 각각의 리드 프레임은 그립 유닛(121)에 의하여 2 방향 가이드와 평행한 방향으로 연장되는 이송 가이드(TG)를 따라 이동 가능한 보트 유닛(131)에 리드 프레임을 위치시킬 수 있다. 공급 모듈(12a)과 함께 간지 공급 모듈(12b)이 설치되어 서로 적층된 리드 프레임 사이에 간지를 제공하거나, 간지를 제거할 수 있다. 또한 간지 공급 모듈(12b)은 그립 유닛(121)과 함께 또는 독립적으로 이동하는 간지 핸드 유닛(122)을 포함할 수 있다. 그립 유닛(121) 또는 간지 핸드 유닛(122)은 예를 들어 진공 흡착 방식 또는 이와 유사한 방식으로 작동될 수 있고, 그립 유닛(121) 또는 간지 핸드 유닛(122)의 작동에 의하여 각각의 리드 프레임이 보트 유닛(131)으로 이동될 수 있다.
카세트(CA)에 적재된 리드 프레임은 차례대로 보트 유닛(131)으로 이송되어 보트 유닛(131)에 의하여 검사 영역으로 이동되어 검사가 이루어질 수 있다. 적재된 리드 프레임이 모두 이동이 되어 카세트(CA)가 빈 상태로 되면 빈 카세트(CA)는 정렬 모듈(17)에 의하여 아래쪽으로 이동될 수 있다. 정렬 모듈(17)은 아래쪽으로 이동하여 2 유도 유닛(112)으로 카세트(CA)를 전달할 수 있다. 이후 빈 카세트(CA)는 이송 유닛(113)에 의하여 리드 프레임의 공급 위치로 이동되고, 검사가 요구되는 리드 프레임이 다시 카세트(CA)에 적재될 수 있다.
1 유도 유닛(111)과 2 유도 유닛(112)은 상하로 나란하게 위치하면서 동일 또는 유사한 구조로 만들어질 수 있다. 1 유도 유닛(111)은 2 유도 유닛(112)에 비하여 상대적으로 돌출되도록 만들어질 수 있고, 1 유도 유닛(111)과 2 유도 유닛(112)의 정렬 모듈(17)에 인접하는 끝 부분은 동일한 수직선상에 위치할 수 있다.
카세트 공급 모듈(11)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
각각의 리드 프레임은 보트 유닛(131)에 적재되어 검사 모듈(13)로 이동될 수 있고, 검사 모듈(13)은 예를 들어 비전 유닛, 광학 유닛 또는 이와 유사한 검사 디바이스를 포함할 수 있다. 검사 모듈(13)에서 검사가 된 리드 프레임에 대하여 정상 여부가 판단될 수 있고, 제어 모듈은 각각의 리드 프레임에 대한 검사 결과를 저장할 수 있다. 그리고 검사 결과에 따라 제어 모듈은 각각의 리드 프레임의 이송 방법을 결정할 수 있다.
검사가 완료된 리드 프레임은 배출 유도 모듈(16)에서 배출이 될 수 있고, 배출 유도 모듈(16)은 카세트 공급 모듈(11)과 동일 또는 유사한 구조를 가질 수 있다. 예를 들어 배출 유도 모듈(16)은 1 유도 유닛(111) 및 2 유도 유닛(112)과 동일 또는 유사한 구조를 가지면서 동일 또는 유사한 구조로 배치되는 1 배출 유도 유닛(161) 및 2 배출 유도 유닛(162)을 포함할 수 있다. 또한 배출 유도 모듈(16)과 연결되도록 정렬 모듈(17)과 동일 또는 유사한 구조를 가지는 배출 정렬 모듈이 배치될 수 있다. 배출 유도 모듈(16)은 그립 유닛(121) 또는 간지 핸드 유닛(122)과 독립적으로 작동하는 리드 프레임 또는 간지를 위한 취급 수단을 가지거나, 그립 유닛(121)과 간지 핸드 유닛(122)이 이송 가이드를 따라 이동되어 배출 유도 모듈(16)에 위치하는 빈 카세트(CA)에 리드 프레임 및 간지를 적재할 수 있다. 1 배출 유도 유닛(161)에 빈 카세트(CA)가 위치하고, 1 배출 유도 유닛(161)의 빈 카세트(CA)는 배출 정렬 모듈에 의하여 리드 프레임 배출 모듈(14a) 및 간지 공급 모듈(14b)의 위치로 이동될 수 있다. 그리고 그립 유닛(121)과 간지 핸드 유닛(122)에 의하여 검사가 완료된 리드 프레임이 빈 카세트(CA)로 모두 이동되면, 배출 정렬 모듈에 의하여 카세트(CA)가 2 배출 유도 유닛(162)의 위치로 이동되어 배출될 수 있다.
정상으로 판정된 리드 프레임은 리드 프레임 배출 모듈(14a) 및 간지 공급 모듈(14b)에 의하여 배출될 수 있다. 이에 비하여 불량으로 판정된 리드 프레임은 불량 배출 모듈(15a) 및 간지 공급 모듈(15b)에 의하여 외부로 배출될 수 있다. 불량 배출 모듈(15a) 및 간지 공급 모듈(15b)은 리드 프레임 배출 모듈(14a)과 간지 공급 모듈(14b)의 마주보는 위치에 배치될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 불량 배출 모듈(15a)에 빈 카세트 또는 이와 유사한 수취 수단이 배치될 수 있다. 정상 리드 프레임과 불량 리드 프레임을 위한 간지 공급 모듈(14b, 15b)은 동일할 수 있다.
베이스 기판(B)은 수용 공간이 형성된 프레임(F)의 위쪽에 위치할 수 있고, 수용 공간에 작동을 위한 다양한 수단이 배치될 수 있다. 프레임(F)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 2는 본 발명에 따른 장치에 적용되는 리드 프레임 공급 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 베이스 기판(B)의 아래쪽에 유도 모듈(11) 및 배출 유도 모듈이 배치될 수 있고, 유도 모듈(11)과 배출 유도 모듈은 프레임(F)의 외부로부터 내부로 연장되는 구조로 만들어질 수 있다. 빈 카세트(CA)가 1 유도 유닛(111)을 따라 이동되어 정렬 모듈(17)로 이송되고, 정렬 모듈(17)에 의하여 카세트(CA)가 정렬이 될 수 있다. 카세트(CA)가 정렬이 되면 정렬 모듈(17)은 카세트(CA)를 베이스 기판의 위쪽으로 이동시킬 수 있다. 카세트(CA)에 적재된 각각의 리드 프레임은 위쪽에서부터 차례대로 간지 핸드 유닛(122)에 의하여 보트 유닛으로 이송될 수 있다. 보트 유닛은 이송 가이드(TG)를 따라 이동 가능한 구조가 될 수 있고, 보트 유닛에 의하여 각각의 리드 프레임이 검사 모듈로 이동되어 검사가 될 수 있다. 이와 같은 과정을 통하여 카세트(CA)에 적재된 모든 리드 프레임에 대한 검사가 완료되면, 빈 카세트(CA)가 이송 유닛(113)에 의하여 2 유도 유닛(112)을 따라 적재 대기 위치로 이동될 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 장치에 적용되는 카세트 유도 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 이송 유닛(113)은 1 유도 유닛(111) 또는 2 유도 유닛(112)의 이송 경로에 설치되고, 서로 나란하게 연장되는 다수 개의 선형 유도 부재(351, 352)를 포함할 수 있다. 구체적으로 이송 유닛(113)은 이동 플레이트(31); 이동 플레이트(31)의 양쪽 끝에 결합되어 이동 플레이트(31)를 작동시키는 작동 실린더(32a, 32b); 카세트의 양쪽 측면을 고정하는 한 쌍의 고정 부재(34a, 34b); 및 한 쌍의 고정 부재(34a, 34b)의 사이에 서로 나란하게 배치되는 다수 개의 선형 유도 부재(351, 352)로 이루어질 수 있다. 한 쌍의 고정 부재(34a, 34b)는 서로 마주보는 방향으로 이동 가능한 구조가 될 수 있고, 선형 유도 부재(351, 352)에 의하여 카세트의 아래쪽 부분이 고정될 수 있다. 각각의 선형 고정 부재(351, 352)의 앞쪽 끝에 스토퍼가 형성되어 이동 과정에서 카세트의 흔들림이 방지될 수 있다. 각각의 선형 부재(351, 352)의 앞쪽 끝은 상하로 이동 가능한 구조가 될 수 있고, 이에 의하여 카세트가 정렬 모듈로 쉽게 이동될 수 있다.
이송 유닛(113)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 4는 본 발명에 따른 장치에 적용되는 카세트 위치 정렬 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 정렬 모듈(17)은 수직 방향으로 연장되는 상하 이동 유도 가이드(41); 상하 유도 가이드(41)에 이동 브래킷에 의하여 결합되어 상하로 이동 가능한 정렬 베이스(42); 정렬 베이스(42)의 위쪽 면에 형성된 1 방향 정렬 유닛(45a, 45b); 1 방향 정렬 유닛(45a, 45b)의 사이에 배치되는 2 방향 정렬 유닛(46a, 46b); 2 방향 정렬 유닛(45a, 45b)의 아래쪽에 배치되는 상하 이동 유닛(44); 및 상하 이동 유닛(44)을 상하로 이동시키는 구동 유닛(43)을 포함할 수 있다.
카세트가 유도 모듈로부터 정렬 베이스(42)에 위치하면, 서로 마주보도로 배치된 한 쌍의 1 방향 정렬 유닛(45a, 45b)에 의하여 예를 들어 길이 방향과 같은 1 방향으로 카세트가 정렬될 수 있다. 1 방향 정렬 유닛(45a, 45b)은 가변 1 방향 정렬 유닛(45a)와 고정 1 방향 정렬 유닛(45b)으로 이루어질 수 있고, 가변 1 방향 정렬 유닛(45a)의 이동에 의하여 카세트가 1 방향으로 정렬이 되면서 고정될 수 있다. 카세트가 1 방향으로 정렬이 되면, 2 방향 정렬 유닛(46a, 46b)이 작동될 수 있다. 2 방향 정렬 유닛(46a, 46b)에 의하여 카세트가 예를 들어 폭 방향과 같은 2 방향으로 정렬이 될 수 있고, 각각의 2 방향 정렬 유닛(46a, 46b)은 서로 마주보는 한 쌍의 고정 가지(branch)로 이루어지고 이로 인하여 전체적으로 U자 형상이 될 수 있다. 2 방향 정렬 유닛(46a, 46b)은 카세트를 2 방향으로 정렬시키는 기능을 가지면서 이와 동시에 카세트의 상하 이동을 유도하는 기능을 가질 수 있다. 1 방향 정렬 유닛(45a, 45b) 및 2 방향 정렬 유닛(46a, 46b)에 의하여 카세트가 정렬이 되면, 카세트의 상하 위치가 상하 이동 유닛(44)에 의하여 조절될 수 있다. 구체적으로 구동 유닛(43)의 작동에 의하여 상하 이동 유닛(44)이 상하로 이동되어 카세트를 정해진 위치로 이동될 수 있고, 이와 같은 과정에서 네 개의 고정 가지는 가이드 기능을 가질 수 있다.
카세트의 정렬은 다양한 방법으로 이루어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 5는 발명에 따른 장치의 전체 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 공급 및 배출 장치는 수용 공간(61a) 및 검사 공간(61b)으로 이루어질 수 있고, 검사 공간(61b)에서 리드 프레임의 검사가 이루어질 수 있다. 리드 프레임은 유도 모듈(11)을 따라 이동하는 카세트에 적재되어 정렬 모듈(17)로 이동될 수 있고, 정렬 모듈(17)에서 카세트가 정렬되어 검사 공간(61b)으로 이동될 수 있다. 각각의 리드 프레임이 이송 가이드(TG)를 따라 이동 가능한 보트 유닛에 적재되어 검사 공간(61b)에 배치된 검사 모듈에 의하여 검사될 수 있다. 검사가 완료된 리드 프레임은 배출 유도 모듈(16)을 따라 이동 가능한 카세트에 적재되어 외부로 배출될 수 있다.
전체의 작동을 제어하는 제어 패널(62)이 배치될 수 있고, 검사 과정, 공급 과정 또는 배출 과정을 살펴보기 위한 감시 창(63a, 63b)이 검사 공간(61b)의 벽에 형성될 수 있다. 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치는 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 공급 및 배출 장치는 리드 프레임을 카세트에 적재하여 이동시키고, 각각의 리드 프레임을 카세트로부터 분리하여 검사 공정에 제공하는 것에 의하여 리드 프레임의 전체 생산 공정의 자동화가 가능하도록 한다. 또한 검사가 완료된 리드 프레임을 정상 여부에 따라 분류하여 배출시키고 이로 인하여 작업자의 리드 프레임의 접촉에 따른 불량의 발생이 방지되도록 한다. 본 발명에 따른 공급 및 배출 장치는 적절한 설계 변경을 통하여 다양한 부품의 공급 및 배출에 적용될 수 있고, 이미 설치된 생산 라인에 적용될 수 있다는 이점을 가진다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 카세트 유도 모듈
12a: 공급 모듈
12b: 간지 공급 모듈
13: 검사 모듈
14a: 리드 프레임 배출 모듈
14b: 간지 공급 모듈
15a: 불량 배출 모듈
15b: 간지 공급 모듈
16: 배출 유도 모듈
17: 정렬 모듈
31: 이동 플레이트
32a, 32b: 작동 실린더
34a, 34b: 고정 부재

Claims (4)

  1. 적어도 하나의 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)를 이동시키는 1 유도 유닛(111)과 리드 프레임이 공급된 카세트(CA)를 배출시키는 2 유도 유닛(112)으로 이루어진 카세트 유도 모듈(11);
    각각의 리드 프레임을 카세트(CA)로부터 분리하여 검사 위치로 이동시키는 보트 유닛(131);
    보트 유닛(131)에 적재되어 검사가 된 리드 프레임이 적재된 카세트(CA)를 배출시키는 배출 유도 모듈(16)을 포함하고,
    상기 리드 프레임은 보트 유닛(131)에 적재되어 선형으로 연장되는 이송 가이드(TG)를 따라 이동되면서 검사가 되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 카세트 유도 모듈(11)로부터 공급되는 카세트(CA)를 정렬하여 카세트(CA)를 보트 유닛(131)으로 이동시키고, 리드 프레임의 공급이 완료된 카세트(CA)를 카세트 공급 모듈(11)로 다시 이송시키는 정렬 모듈(17)을 더 포함하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 1 유도 유닛(111) 또는 2 유도 유닛(112)의 이송 경로에 설치되고, 서로 나란하게 연장되는 다수 개의 선형 유도 부재(351, 352)로 이루어진 이송 유닛(113)을 더 포함하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치.
  4. 청구항 2에 있어서, 1 유도 유닛(111)과 2 유도 유닛(112)은 상하로 배치되고, 정렬 모듈(17)은 상하로 이동되면서 1 유도 유닛(111)으로부터 카세트(CA)를 공급받고, 2 유도 유닛(112)으로 빈 카세트(CA)를 이동시키는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치.
KR1020180016371A 2018-02-09 2018-02-09 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치 KR20190096663A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180016371A KR20190096663A (ko) 2018-02-09 2018-02-09 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180016371A KR20190096663A (ko) 2018-02-09 2018-02-09 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200038074A Division KR102174162B1 (ko) 2020-03-30 2020-03-30 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20190096663A true KR20190096663A (ko) 2019-08-20

Family

ID=67807428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180016371A KR20190096663A (ko) 2018-02-09 2018-02-09 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20190096663A (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120008310A (ko) 2010-07-16 2012-01-30 엘지디스플레이 주식회사 리드 프레임 이송 유닛 및 이를 이용한 이송 방법
KR20150069141A (ko) 2013-12-13 2015-06-23 (주)유텍시스템 엘이디 리드프레임 검사 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120008310A (ko) 2010-07-16 2012-01-30 엘지디스플레이 주식회사 리드 프레임 이송 유닛 및 이를 이용한 이송 방법
KR20150069141A (ko) 2013-12-13 2015-06-23 (주)유텍시스템 엘이디 리드프레임 검사 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6691639B2 (ja) Led基板の全自動光学検査測定装置
KR101767663B1 (ko) 기판 제조 설비 및 기판 제조 방법
JP5911820B2 (ja) 基板製造装置及び基板製造方法
KR101824069B1 (ko) 와이어 본더 물류 설비 및 그의 매거진 이송방법
KR101910354B1 (ko) 반도체 패키지의 트레이 자동교체장치
KR20080013529A (ko) 반도체 검사 및 포장장치
KR20080102746A (ko) 픽업장치
KR20150069141A (ko) 엘이디 리드프레임 검사 장치
JP2018083700A (ja) 基板供給装置の制御方法、および、基板供給回収装置の制御方法
KR20160093043A (ko) 전자 디바이스의 핸들러
KR102020227B1 (ko) 캐리어 이송 장치 및 방법
KR20190096663A (ko) 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치
WO2009119193A1 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JP5601219B2 (ja) トレイ供給装置及び部品実装装置
KR102174162B1 (ko) 리드 프레임 카세트의 자동 공급 및 배출 장치
KR20200121195A (ko) 트레이 이송 장치
KR101849351B1 (ko) 듀얼 기판 소팅장치 및 방법
KR102252639B1 (ko) 전자부품 언로딩장비
KR101601614B1 (ko) 반도체 소자 외관 검사장치
JP4585496B2 (ja) 半導体チップの実装装置
JPS59128125A (ja) ロ−ダ・アンロ−ダ
KR101329960B1 (ko) 복수 챔버 웨이퍼 공급 및 회수 장치
KR101595840B1 (ko) 소자검사장치 및 검사방법
JP4800611B2 (ja) 板材収納方法および装置
KR101987826B1 (ko) Cog 공정의 디스플레이 패널 검사 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
A107 Divisional application of patent