KR20080013529A - 반도체 검사 및 포장장치 - Google Patents

반도체 검사 및 포장장치 Download PDF

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KR20080013529A
KR20080013529A KR1020060075160A KR20060075160A KR20080013529A KR 20080013529 A KR20080013529 A KR 20080013529A KR 1020060075160 A KR1020060075160 A KR 1020060075160A KR 20060075160 A KR20060075160 A KR 20060075160A KR 20080013529 A KR20080013529 A KR 20080013529A
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Abstract

본 발명은 반도체 검사 및 포장장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 장치내에서 반도체의 외형을 검사하고, 불량반도체들을 분류한 다음, 양호한 반도체는 트레이 형태로 배출하거나 릴 형태로 포장할 수 있도록 한 반도체 검사 및 포장장치에 관한 것이다.
이러한 반도체 검사 및 포장장치는 반도체가 적재된 트레이의 이송라인상에서 3D비젼카메라로 반도체의 외관을 검사하는 외관검사부와, 2D비젼카메라로 반도체의 마킹부위를 검사하는 마킹검사부와, 반도체의 양호/불량 여부에 따라 분류하는 소팅부를 형성한 검사수단;과, 길이방향으로 안착홈이 다수 형성된 캐리어테이프와, 캐리어테이프를 이송하는 이송트랙과, 캐리어테이프의 상측을 마감하는 커버테이프와, 상기 캐리어테이프와 커버테이프를 가열압착시키는 실링모듈을 형성한 포장수단; 및, 상기 검사수단의 양호 반도체들을 흡착하여 포장수단의 캐리어테이프에 안착시키는 이송피커;를 포함하여 달성된다.
반도체, 외관검사, 마킹검사, 소팅피커, 이송피커, 캐리어테이프, 커버테이프,

Description

반도체 검사 및 포장장치{Apparatus for vision inspection and packing of semiconductor}
도 1a, 1b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 사시도,
도 2는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 검사수단의 발췌사시도,
도 3은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 로테이터의 측면도,
도 4는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 트랜스퍼의 발췌사시도,
도 5는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 소팅부의 발췌사시도,
도 6은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 소팅피커의 발췌사시도,
도 7a, 7b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 이송피커의 정면도와 측면도,
도 8은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 포장수단의 발췌사시도,
도 9는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 평면도,
도 10은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 좌측면도,
도 11은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 트랜스퍼의 작용도,
도 12는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 소팅부의 평면작용도,
도 13a, 13b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 소팅피커의 작용도,
도 14a, 14b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 이송피커의 작용도,
도 15a, 15b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 포장수단의 작용을 나타내는 평면도와 측면도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
100:검사수단, 110:이송라인, 112,114:제1,제2이송대차, 120:외관검사부,
130:로테이터, 131,132:상,하부그리퍼, 140:트랜스퍼, 141:그리퍼,
150:마킹검사부, 160:소팅부, 161:고정판체,
164,165:제1,제2불량트레이적재부, 166:공트레이적재함, 170:소팅피커,
173:신축링크부재, 174:흡착기, 175:구동부, 176:승강부, 200:이송피커,
201:링크바, 202:힌지, 203:신축링크부재, 204:흡착기, 205:구동부,
206:승강부, 207:회전부, 208:슬라이더, 300:포장수단,
301:캐리어테이프공급릴, 302:캐리어테이프, 303:이송트랙,
304:커버테이프공급릴, 305:커버테이프, 306:실링모듈,
307:캐리어테이프권취릴
본 발명은 하나의 장치내에서 반도체의 외형을 검사하고, 불량반도체들을 분류한 다음, 양호한 반도체는 릴형태로 포장할 수 있도록 한 반도체 검사 및 포장장치에 관한 것이다.
일반적인 반도체의 생산 공정에서는 반도체의 마킹과 리드 또는 볼의 스텐드 오프를 검사해서 트레이로 배출하는 검사장비와 반도체가 외부의 충격으로 구부러지거나 파손되는 등 물리적 손상을 방지하는 한편 정전기로 인한 반도체내 집적회로의 전기적 손상을 방지하고 다음 공정인 칩마운터 공정에 적합하도록 릴에 담아 감는 포장장비로 구성이 되어 있다.
따라서 검사를 마친 반도체들을 상기 검사장치와 포장장치 사이에서 작업자가 일일이 반도체 트레이들을 옮겨야 하는 번거로움이 발생하고 하나의 장비로 공정이 통합되지 못함으로서 더 많은 장비 구입비용과 인원의 투입으로 인한 생산성 저하를 가져오고 있다.
또한 두 개의 장비가 한 개로 합쳐지게 되면 장비의 수량이 줄고 장비가 차지하는 공간이 줄어 생산성 향상에 많은 도움이 된다. 또한 장비 운영 인원의 감소도 가능해 더욱 생산성이 향상되는 효과를 가져 올수 있다.
하지만 현재는 이 두개 장비의 생상성이 검사장비 1대당 포장장비 2대 정도의 소요가 필요 할 정도로 차이가 많이 발생해 효과적으로 통합이 되지 않고 있어 소자 생산업체들이 경쟁력 확보에 많은 어려움을 겪고 있다.
본 발명은 상기의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로 하나의 장치내에서 반도체의 외형을 검사하고, 불량 반도체들을 분류한 다음, 양호한 반도체는 트레이 형태로 배출하거나 릴 형태로 포장할 수 있는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 포장수단을 2열로 형성하여 작업능률을 향상시킨 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 이송피커의 흡착기이 링크로 서로 연결되는 구조로 이루어져 반도체의 종류가 바뀌는 경우에도 흡착기의 간격을 새로운 반도체의 간격에 맞춰 쉽게 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 반도체가 안착된 트레이의 간격과 포장수단의 캐리어테이프의 포켓의 간격이 서로 다른 경우에도 용이하게 안착시킬 수 있는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 상기 이송피커의 흡착기을 2열로 구성하여 트레이에서 다수개의 반도체들을 2열로 흡착하여 2열로 구성된 포장수단의 캐리어테이프에 안착시킴으로써 작업속도가 개선되는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 로테이터를 통해 반도체가 적재된 트레이를 180' 뒤집어 반도체의 양면을 하나의 장치 내에서 검사할 수 있도록 하는 효과가 있으며, 이러한 로테이터 내에서 가압부를 통해 복수의 트레이를 밀착시켜 줌으로써 트레이내에 위치한 반도체가 트레이 내에서 이격되거나 이탈하는 것을 방지하는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 불량반도체들을 종류별로 분류하고, 버퍼트레이에서 양호반도체들을 이송라인상의 트레이의 빈자리에 채워넣음으로써 작업효율이 향상되는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 소팅피커의 흡착기들이 링크로 서로 연결되는 구조로 이루어져 반도체의 종류가 바뀌어 트레이의 간격이 변경되는 경우에도 흡착기의 간격을 새로운 반도체의 간격에 맞춰 쉽게 조절할 수 있는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 트레이를 이송하는 이송라인의 이송대차를 복수 마련하여 이송대차의 회송에 따른 작업시간의 낭비를 줄이는 반도체 검사 및 포장장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 반도체 검사 및 포장장치에 있어서, 반도체가 적재된 트레이의 이송라인상에서 3D비젼카메라로 반도체의 외관을 검사하는 외관검사부와, 2D비젼카메라로 반도체의 마킹부위를 검사하는 마킹검사부와, 반도체의 양호/불량 여부에 따라 분류하는 소팅부를 형성한 검사수단;과, 길이방향으로 안착홈이 다수 형성된 캐리어테이프와, 캐리어테이프를 이송하는 이송트랙과, 캐리어테이프의 상측을 마감하는 커버테이프와, 상기 캐리어테이프와 커버테이프를 가열압착시키는 실링모듈을 형성한 포장수단; 및, 상기 검사수단의 양호 반도체들을 흡착하여 포장수단의 캐리어테이프에 안착시키는 이송피커;를 포함하는 반도체 검사 및 포장장치를 제공함으로써 달성된다.
상기 포장수단의 캐리어테이프와, 이송트랙과, 커버테이프와, 실링모듈은 각각 두개 이상씩 마련되어 2열 이상의 라인을 구성하는 것이 바람직하다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 상기 이송피커는 다수개의 링크바를 교차시켜 힌지 연결시킨 신축링크부재와, 선단에 흡착반을 형성하여 상기 링크부재의 링크바에 각각 고정되는 다수의 흡착기와, 상기 링크부재의 일단에 고정되어 링크부재의 길이를 가변시키도록 왕복운동하는 구동부와, 상기 흡착기를 승강시키는 승 강부와, 상기 흡착기를 90'회전시키는 회전부로 이루어진다.
여기서, 상기 이송피커는 트레이상의 반도체들을 흡착하여 복수마련된 캐리어테이프에 각각 안착시킬 수 있도록 다수의 흡착기들이 적어도 2열 이상 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 상기 검사수단은 외관검사부와 마킹검사부의 사이에 반도체가 적재된 트레이를 180' 회전시키는 로테이터를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 로테이터는 공트레이를 파지한 상부그리퍼와, 반도체가 적재된 트레이를 파지하는 하부그리퍼와, 상기 상,하부그리퍼를 승강시키는 승강부와, 상기 상,하부그리퍼를 회전시키는 회전부로 이루어진다.
여기서, 상기 로테이터는 상,하 그리퍼에 반도체 트레이를 가압하는 가압부를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 상기 소팅부는 소팅피커와, 복수의 트레이가 안착되는 고정판체와, 공트레이들을 적재한 공트레이적재함과, 상기 고정판체 및 공트레이적재함을 이송하는 이송라인과, 상기 이송라인의 말단에 형성되어 트레이들을 적재하는 불량트레이적재부로 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 소팅피커는 다수개의 링크바를 교차시켜 힌지 연결시킨 신축링크부재와, 선단에 흡착반을 형성하여 상기 링크부재의 링크바에 각각 고정되는 다수의 흡착기와, 상기 링크부재의 일단에 고정되어 링크부재의 길이를 가변시키도록 왕복운동하는 구동부와, 상기 흡착기를 승강시키는 승강부로 이루어진다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 상기 검사수단은 반도체가 적재된 트레이들을 적재하는 로딩부와, 로딩부로부터 트레이를 인출하여 외관검사부의 하부를 지나 로테이터로 이송시키는 제1이송대차와, 로테이터로부터 트레이를 인출하여 이송하는 트랜스퍼와, 트랜스퍼로부터 트레이를 인수받아 마킹검사부와 소팅부의 하부와 이송피커의 하부로 이송하는 제2이송대차와, 상기 제2이송대차의 말단에서 공트레이를 적재하는 언로딩부를 더 구비하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제1,제2이송대차는 각각 복수 마련되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부도면중 도 1a, 1b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 사시도, 도 2는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 검사수단의 발췌사시도, 도 3은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 로테이터의 측면도, 도 4는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 트랜스퍼의 발췌사시도, 도 5는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 소팅부의 발췌사시도, 도 6은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 소팅피커의 발췌사시도이고, 도 7a, 7b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 이송피커의 정면도와 측면도이며, 도 8은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 포장수단의 발췌사시도이다.
먼저 도 1a, 1b에서 도시하는 바와 같이 본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 크게 반도체가 적재된 트레이가 이동되면서 외관 및 마킹부를 검사하는 검사수단(100)과, 검사를 마친 양호 반도체를 트레이에서 흡착하여 이동시키는 이송피커(200)와, 상기 이송피커에 의해 운반되어 캐리어테이프에 안착된 반도체를 커버 테이프로 가열압착하여 포장한 뒤 릴형태로 권취시키는 포장수단(300)으로 구성된다.
상기 검사수단(100)은 도 2와 같이 반도체가 적재된 트레이를 이송하는 이송라인(110)과, 상기 이송라인(110)의 상측에 배치되어 반도체의 외관을 검사하는 외관검사부(120)와, 트레이를 180'회전시켜 공트레이에 반도체를 뒤집어 적재시키는 로테이터(130)와, 반도체가 안착된 트레이를 상기 로테이터(130)로부터 인출하여 다시 이송라인(110)으로 이송하는 트랜스퍼(140)와, 상기 이송라인(110)의 상측에서 반도체의 마킹부분을 검사하는 마킹검사부(150)와, 상기 외관검사부(120) 및 마킹검사부(150)의 검사에 따른 불량 반도체들을 분류하는 소팅부(160)로 구성된다.
여기서, 상기 이송라인(110)은 반도체들이 뒤집어진 상태로 안착된 다수의 트레이들이 적재되는 로딩부(111)와, 상기 로딩부(111)에서 트레이를 인출하여 로테이터(130)까지 이송하는 제1이송대차(112)와, 제1이송대차(112)상에 안착된 트레이를 로테이터(130) 내로 밀어넣는 푸셔(113)와, 상기 트랜스퍼(140)로부터 트레이를 인수받아 이송하는 제2이송대차(114)와, 상기 제2이송대차(114)의 말단에서 이송피커(200)에 의해 반도체들이 인출된 공트레이가 적재되는 언로딩부(115)로 이루어진다.
특히, 상기 제1,제2이송대차(112,114)는 각각 복수 마련되어 트레이들을 연속적으로 이송함으로써 작업효율을 향상시킨다.
그리고, 상기 외관검사부(120)는 반도체의 외관 및 리드의 형상들을 영상신호화하여 불량을 선별해내는 것으로 입체영상의 취득을 위한 다수의 카메라와 조명 으로 이루어지고, 상기 마킹검사부(150)는 반도체상에 인쇄된 마킹부분을 검사하는 카메라와 조명으로 이루어지며, 상기의 외관검사부(120) 및 마킹검사부(150)는 공지의 것이므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 로테이터(130)는 뒤집힌 상태에서 외관검사부(120)를 통과한 반도체들을 180'뒤집어 반도체의 반대편에 인쇄된 마킹부분을 마킹검사부(150)에서 검사할수 있도록 하는 것으로, 도 3과 같이 공트레이를 파지한 상부그리퍼(131)와, 반도체가 적재된 트레이를 파지하는 하부그리퍼(132)와, 상기 상,하부그리퍼(131,132)를 승강시키는 승강부(133)와, 상기 상,하부그리퍼(131,132)를 회전시키는 회전부(134) 및, 한쌍의 트레이를 파지한 상태에서 뒤집을 때 반도체들이 트레이로부터 이탈하는 것을 방지하도록 상기 상,하부그리퍼(131,132)의 내측면에서 트레이의 양측을 각각 가압하여 밀착시키는 가압부(135)로 이루어진다.
상기 트랜스퍼(140)는 도 4와 같이 트레이를 파지하는 그리퍼(141)와, 상기 그리퍼(141)를 승강시키는 승강부(142)와, 상기 그리퍼(141)를 좌우로 이송하는 이송대(143)로 이루어진다.
상기 소팅부(160)는 도 5와 같이 소팅피커(170)와, 복수의 트레이가 안착되는 고정판체(161)와, 공트레이들을 적재한 공트레이적재함(166)과, 상기 고정판체(161) 및 공트레이적재함(166)을 이송하는 제1,제2이송라인(162,163)과, 상기 제1,제2이송라인(162)의 말단에 형성되어 트레이들을 적재하는 제1,제2불량트레이적재부(164,165)로 이루어진다.
여기서, 도 6에 나타난 바와 같은 상기 소팅피커(170)는 다수개의 링크 바(171)를 교차시켜 힌지(172) 연결시킨 신축링크부재(173)와, 선단에 흡착반을 형성하여 상기 신축링크부재(173)의 링크바(171)에 각각 고정되는 다수의 흡착기(174)와, 상기 신축링크부재(173)의 일단에 고정되어 신축링크부재(173)의 길이를 가변시키도록 왕복운동하는 구동부(175)와, 상기 흡착기(174)를 승강시키는 승강부(176)로 이루어진다. 본 실시예에서는 상기 흡착기(174)가 4조1열로 배치된 것을 예로 든다.
상기 이송피커(200)는 도 7a, 7b와 같이 다수개의 링크바(201)를 교차시켜 힌지(202) 연결시킨 신축링크부재(203)와, 선단에 흡착반을 형성하여 상기 신축링크부재(203)의 링크바(201)에 각각 고정되는 다수의 흡착기(204)와, 상기 신축링크부재(203)의 일단에 고정되어 신축링크부재(203)의 길이를 가변시키도록 왕복운동하는 구동부(205)와, 상기 흡착기(204)를 승강시키는 승강부(206)와, 상기 흡착기(204)를 90'회전시키는 회전부(207)와, 상기 흡착기(204)와 구동부(205)의 조립유닛이 복수 마련되어 2조로 구성되며, 어느 하나의 흡착기(204)와 구동부(205)의 조립유닛에 형성되어 대향측 조립유닛과의 거리를 조절하는 슬라이더(208) 및, 상기 이송피커(200)가 이동하는 이송대(209)로 이루어진다.
여기서 상기 흡착기(204)는 다수개의 반도체들을 2열로 트레이상에서 동시에 흡착하여 2열로 구성된 포장수단(300)의 캐리어테이프(302)에 각각 안착시킬 수 있도록 하는 것이며, 본 실시예에서는 상기 흡착기(204)가 5조2열로 배치된 것을 예로 든다.
상기 포장수단(300)은 도 8에서와 나타난 바와 같이 캐리어테이프(302)가 권 취된 캐리어테이프 공급릴(301)과, 상기 캐리어테이프(302)가 이송되는 이송트랙(303)과, 상기 이송트랙(303)의 상측에서 커버테이프(305)가 권취된 커버테이프 공급릴(304)과, 상기 캐리어테이프(302)의 상측으로 배치되는 커버테이프(305)를 가열압착시키는 실링모듈(306)과, 커버테이프(305)가 부착된 캐리어테이프(302)가 권취되는 캐리어테이프 권취릴(307)로 구성된다.
이하, 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 작용을 설명한다.
첨부도면중 도 9는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 평면도이다.
도 9를 통해 본 발명의 전체적인 작용을 개략적으로 살펴보면, 먼저 검사수단(100)의 이송라인(110)을 따라 트레이가 이동하고, 이송라인(110)의 제1이송대차(112) 상측에 배치된 외관검사부(120)에서 반도체의 외관을 검사하고, 검사를 마치면 제1이송대차(112)의 말단에 위치한 푸셔(113)가 트레이를 로테이터(130)내로 밀어넣게 된다.
로테이터(130)에서는 상기 외관검사부(120)에서 저면을 검사한 반도체를 180' 회전시켜 상면이 노출되도록 트레이에 안착시키고, 뒤집혀진 반도체들이 안착된 트레이를 트랜스퍼(140)가 로테이터(130)로부터 인출시켜 제2이송대차(114)에 안착시킨다.
제2이송대차(114)의 이송라인을 따라 이동하는 트레이의 상측에서 마킹검사부(150)가 반도체의 상면에 인쇄된 마킹부분을 검사한다.
그리고 소팅부(160)에서 소팅피커(170)를 이용해 상기 트레이로부터 불량트레이들을 흡착하여 측면에 배치된 고정판체(161)상의 트레이에 옮겨 양호/불량 반 도체들을 분류시킨다.
이후 제2이송대차(114)를 따라 이동하는 트레이에 안착되어있는 양호반도체들은 이송피커(200)가 흡착하여 장치의 측면에 배치된 포장수단(300)으로 옮겨 캐리어테이프(302)에 안착시킨뒤 실링모듈(306)을 통해 캐리어테이프(302)의 상측에 커버테이프(305)를 가열압착시켜 밀봉시킨다.
여기서, 상기 캐리어테이프(302)는 캐리어테이프 공급릴(301)로부터 연속적으로 공급되고, 상기 커버테이프(305)는 커버테이프 공급릴(304)로부터 연속적으로 공급되며, 반도체가 삽입된 상태에서 커버테이프(305)가 부착된 캐리어테이프(302)는 캐리어테이프(302) 이송트랙(303) 말단의 캐리어테이프 권취릴(307)에 권취된다.
첨부도면중 도 10은 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 좌측면도로, 상기 도면은 이송라인(110)의 로딩부(111)로부터 로테이터(130)에 트레이가 안착되는 과정을 나타낸다.
먼저, 반도체들이 저면이 상측으로 노출되도록 안착된 상태의 트레이가 다수 적재된 로딩부(111)의 하단에서 제1이송대차(112)가 트레이를 인출하여 이동하면, 외관검사부(120)가 제1이송대차(112)의 상측에서 다수의 카메라를 이용해 반도체의 입체영상을 취득하고, 별도의 처리수단을 통해 반도체 리드(LEAD)의 스텐드 오프(stand off) 불량이나 반도체 몸체 외관의 결함여부를 판단하여 별도의 메모리에 트레이내에서 불량반도체가 안착된 위치를 기억해둔다.
제1이송대차(112)상에 안착되어 이동하는 트레이는 제1이송대차(112)의 이송 라인 말단에서 일측에 형성된 푸셔(113)에 의해 밀려 로테이터(130)의 하부그리퍼(132) 내로 이동하게 된다.
그러면, 도 3에서와 같이 로테이터(130)의 하부그리퍼(132)가 트레이를 파지한 상태에서 공트레이를 파지하고 있는 상부그리퍼(131)와 하부그리퍼(132)를 승강부(133)를 통해 서로 맞닿도록 이동시키고, 상,하부그리퍼(131,132)의 내측면에 각각 형성된 가압부(135)를 작용시켜 한쌍의 트레이들이 서로 밀착되도록 가압한다.
이어서, 회전부(134)가 상기 상,하부그리퍼(131,132)를 180'회전시켜 상부그리퍼(131)의 공트레이로 하부그리퍼(132)에 있던 트레이의 반도체들이 옮겨지도록 하고, 회전이 완료되면 가압부(135)의 작용을 해제하고, 승강부(133)를 통해 상,하부그리퍼(131,132)가 서로 대향측으로 이동되게 하여 간격이 벌어지도록 한다.
상기와 같이 로테이터(130)에서 반도체를 뒤집어 반도체의 상면이 노출된 상태가 되면, 도 11과 같이 하부그리퍼내(132)에 위치한 트레이를 트랜스퍼(140)의 그리퍼(141)를 이용해 인출하게 된다.
상기 트랜스퍼(140)는 이송대(143)를 따라 좌우로 이동하며, 승강부(142)를 따라 상하로 수직이동하는 것으로, 먼저, 그리퍼(141)가 이송대(143)를 따라 로테이터(130)의 하부그리퍼(132)로 위치하게 되면 승강부(142)를 통해 그리퍼(141)를 하강시켜 하부그리퍼(132)내의 트레이를 파지하도록 한다. 그리고, 다시 승강부(142)를 통해 트레이를 파지한 그리퍼(141)를 상승시키고, 이송대(143)를 따라 제2이송대차(114)의 위치로 이동시킨 다음, 승강부(142)를 통해 그리퍼(141)를 하강시켜 제2이송대차(114)상에 트레이를 안착시킨다.
제2이송대차(114)상에 안착된 트레이는 제2이송대차(114)의 이동라인을 따라 이동하게 되는데, 제2이송대차(114)의 이동라인 상측에 배치된 마킹검사부(150)에서 상면이 노출된 반도체의 마킹부분을 카메라로 촬영하여 영상신호를 취득해 별도의 처리수단을 통해 반도체 마킹의 양호/불량여부를 판단하여 메모리에 불량반도체의 위치를 저장해 둔다.
상기와 같이 외관검사부(120)와 마킹검사부(150)에서 판단된 양호/불량 반도체들은 트레이내의 위치가 메모리에 저장되었다가 후술하는 소팅부(160)에서 각각의 불량반도체들을 트레이로부터 인출하게 된다.
도 12에서 도시하는 바와 같이 소팅부(160)의 고정판체(161)상에는 복수의 트레이가 안착될 수 있는 공간이 있는데, 트랜스퍼(140)를 통해 최초 이송되는 트레이를 마킹검사를 마친 후 제2이송대차(114)로부터 인출해 고정판체(161)의 제1영역(A)에 안착시키고, 제2이송라인(163)상에서 이동하는 공트레이적재함(166)으로부터 공트레이를 인출해 고정판체(161)의 제2영역에 안착시킨다.
그리고, 제2이송대차(114)를 통해 이동하는 트레이로부터 소팅피커(170)를 이용해 메모리에 저장되어있는 각 불량메모리들을 흡착하여 제2영역(B)에 배치된 공트레이에 안착시키고, 검사를 마치고 제1영역(A)에 배치된 버퍼트레이에서 양호한 반도체들을 골라내어 불량메모리가 인출된 트레이의 빈공간을 채워넣는다.
이와같은 작용을 반복하여 제1,제2영역(A,B)에 배치된 트레이에 불량반도체들로 채워넣어 트레이가 가득채워지면 고정판체(161)를 제1이송라인(162)을 따라 이동시켜 제1, 제2불량트레이적재부(164,165)로 위치시킨 다음 적재시키고, 다시 제1이송라인(162)을 통해 원래 위치로 복귀한 다음, 최초 이송되는 트레이를 버퍼트레이로 이용하기 위해 고정판체(161)의 제1영역(A)에 위치시키고, 공트레이적재함(166)에서 공트레이를 인출해 제2영역(B)에 위치시켜 불량반도체의 분류를 연속적으로 진행하게 된다.
한편, 상기와 같은 과정의 진행중 공트레이적재함(166)에 적재된 공트레이가 모두 소진되면 제2이송라인(163)을 따라 전면으로 이송되어 작업자가 다시 채워넣을 수 있도록 한다.
이어서, 도 13a, 13b를 참조하여 상기의 소팅피커(170)의 작용을 살펴보면, 네개의 흡착기(174)는 힌지(172)로 연결된 다수의 링크바(171)에 각각 고정되어 흡착기(174)간의 간격이 일정하게 유지되며, 승강부(176)에 의해 상기 흡착기(174)들이 승강하면서 반도체들을 흡착/흡착해제하게 된다.
특히, 힌지(172)에 의해 연결된 다수의 링크바(171)로 구성된 신축링크부재(173)의 일단은 몸체에 고정되고 타단은 구동부(175)에 의해 슬라이딩하도록 구동부(175)측에 고정되어 반도체의 종류에 따라 트레이가 변경되는 경우 구동부(175)가 상기 신축링크부재(173)의 링크바(171)를 이동시켜 각각의 흡착기(174)들의 간격을 조절하도록 함으로써, 반도체의 종류에 따라 자동으로 흡착기(174)의 간격을 조절할 수 있는 특징을 갖는다.
상기한 바와 같이 양호/불량 반도체가 분류되어 제2이송대차(114)상의 트레이에는 양호 반도체만 안착된 상태로 이송하게 되며, 도 14a과 같이 제2이송대차(114)의 이송라인상에 배치된 이송피커(200)가 트레이상의 반도체들을 흡착하여 들어올린 뒤 이동하면서 도 14b와 같이 90'회전하여 측면에 배치된 포장수단(300)의 캐리어테이프(302)의 상측으로 이동한 다음 반도체들을 흡착해제하여 캐리어테이프(302)에 안착시킨다.
즉, 이송피커(200)의 다수의 흡착기(204)들은 승강부(206)에 의해 하강하여 트레이상의 반도체들을 흡착한 다음 다시 상승하고, 이송대(209)를 따라 포장수단(300)측으로 이동하면서 회전부(207)를 통해 반도체들을 흡착하고 있는 흡착기(204)들을 90'회전시키며, 포장수단(300)의 캐리어테이프(302)의 상측으로 이동한 뒤에는 승강부(206)를 통해 흡착기(204)를 하강시킨 다음(도 7a와 7b 참조), 흡착기(204)의 흡착력을 해제하여 반도체들을 캐리어테이프(302)의 포켓(302a)내로 안착되도록 한다.
여기서 상기 제2이송대차(114)를 따라 이동하는 트레이의 반도체 배치열과, 캐리어테이프(302)의 반도체 삽입배치열이 서로 다르므로, 상기 이송피커(200)는 이송대(209)를 따라 이송하는 도중 회전부(207)를 통해 90'회전하여 반도체의 방향을 캐리어테이프(302)의 포켓(302a)에 맞춰 바꾸는 것이다.
특히, 상기 이송피커(200)는 흡착기(204)가 5조2열로 배치되어 트레이에 안착된 반도체들을 흡착하여 회전부(207)를 통해 90'회전한 상태로 듀얼라인으로 구성된 포장수단(300)의 캐리어테이프(302)에 안착시킬 수 있도록 구성된다. 따라서, 반도체의 외형검사와 마킹검사 및 분류과정의 처리속도와, 양호반도체들을 캐리어테이프에 포장하는 포장처리속도가 균등하게 이루어질 수 있게 된다.
또한, 이송피커(200)는 상기 소팅피커(170)와 마찬가지로 힌지(202)에 의해 연결된 다수의 링크바(201)들로 구성된 신축링크부재(203)가 구동부(205)의 작용에 따라 이동하면서 각 링크바(201)에 고정된 흡착기(204)들의 간격이 조절된다.
뿐만 아니라 반도체들이 안착된 트레이의 간격과 캐리어테이프(302)의 포켓간격이 일치하지 않는 경우에도 트레이로부터 반도체들을 흡착한 흡착기들의 간격을 신축링크부재(203)를 통해 조절하여 용이하게 안착시킬 수 있는 장점을 갖는다.
첨부도면중 도 15a, 15b는 본 발명 반도체 검사 및 포장장치의 포장수단을 나타낸 측면도 및 평면도이다.
상기 도면들을 살펴를 보면 이송피커(200)가 이송대(209)를 따라 90'회전한 상태로 이동하여 포장수단(300)의 캐리어테이프(302)에 상에 위치게 되면 승강부(206)에 의해 흡착기(204)를 하강시킨 다음, 흡착기(204)의 흡착력을 해제하여 반도체를 캐리어테이프(302)의 포켓안으로 위치시킨다.
상기와 같이 이송피커(200)에 의해 캐리어테이프(302)의 포켓(302a)내로 반도체가 삽입된 캐리어테이프(302)는 캐리어테이프 공급릴(301)로부터 연속공급되면서 이송트랙(303)을 따라 이동하게 되며, 이송트랙(303)의 상측에 배치된 커버테이프 공급릴(304)로부터 권취해제되는 커버테이프(305)가 캐리어테이프(302)의 상면에 밀착되어 이송트랙(303)을 따라 함께 이동하게 된다.
이때, 상기 캐리어테이프(302)와 커버테이프(305)를 사이에 두고 상하로 배치된 실링모듈(306)이 양측부를 가열압착시켜 커버테이프(305)가 캐리어테이프(302)에 부착되게 하고, 상기의 커버테이프(305)에 의해 상측이 마감된 캐리어테이프(302)는 이송트랙(303)의 말단에 배치된 캐리어테이프 권취릴(307)에 권취된 다.
특히, 도 15b와 같이 상기 포장수단(300)을 구성하는 캐리어테이프(302)를 공급하는 캐리어테이프공급릴(301)과, 이송트랙(303)과, 커버테이프(305)를 공급하는 커버테이프공급릴(304)과, 실링모듈(306)과, 상기 이송트랙(303)의 말단에서 커버테이프(305)가 접착된 캐리어테이프(302)가 권취되는 캐리어테이프권취릴(307)이 각각 복수 마련되어 듀얼라인을 구성함으로써 작업능률이 향상되는 특징을 갖게 된다.
상기한 바와 같은 본 발명은 상기의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로 하나의 장치내에서 반도체의 외형을 검사하고, 불량 반도체들을 분류한 다음, 양호한 반도체는 트레이 형태로 배출하거나 릴 형태로 포장하도록 함으로써 작업공간이 줄고, 장비운영인원이 감소되어 생산성이 향상되는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 포장수단을 2열로 형성하여 작업능률을 향상시키는 효과를 갖는다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 이송피커의 흡착기이 링크로 서로 연결되는 구조로 이루어져 반도체의 종류가 바뀌는 경우에도 흡착기의 간격을 새로운 반도체의 간격에 맞춰 쉽게 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 반도체가 안착된 트레이의 간격과 포장수단의 캐리어테이프의 포켓의 간격이 서로 다른 경우에도 용이하게 안착시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 이송피커의 흡착기을 2열로 구성하여 트레이에서 다수개의 반도 체들을 2열로 흡착하여 2열로 구성된 포장수단의 캐리어테이프에 안착시킴으로써 작업속도가 개선되는 효과를 갖는다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 로테이터를 통해 반도체가 적재된 트레이를 180' 뒤집어 반도체의 양면을 하나의 장치 내에서 검사할 수 있도록 하는 효과가 있으며, 이러한 로테이터 내에서 가압부를 통해 복수의 트레이를 밀착시켜 줌으로써 트레이내에 위치한 반도체가 트레이 내에서 이격되거나 이탈하는 것을 방지하는 효과도 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 불량반도체들을 종류별로 분류하고, 버퍼트레이에서 양호반도체들을 이송라인상의 트레이의 빈자리에 채워넣음으로써 작업효율이 향상되는 효과가 있다.
또한, 소팅피커의 흡착기들이 링크로 서로 연결되는 구조로 이루어져 반도체의 종류가 바뀌어 트레이의 간격이 변경되는 경우에도 흡착기의 간격을 새로운 반도체의 간격에 맞춰 쉽게 조절할 수 있는 효과가 있다.
본 발명 반도체 검사 및 포장장치는 트레이를 이송하는 이송라인의 이송대차를 복수 마련하여 이송대차의 회송에 따른 작업시간의 낭비를 줄이는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 반도체 검사 및 포장장치에 있어서,
    반도체가 적재된 트레이의 이송라인상에서 3D비젼카메라로 반도체의 외관을 검사하는 외관검사부와, 2D비젼카메라로 반도체의 마킹부위를 검사하는 마킹검사부와, 반도체의 양호/불량 여부에 따라 분류하는 소팅부를 형성한 검사수단;
    길이방향으로 안착홈이 다수 형성된 캐리어테이프와, 캐리어테이프를 이송하는 이송트랙과, 캐리어테이프의 상측을 마감하는 커버테이프와, 상기 캐리어테이프와 커버테이프를 가열압착시키는 실링모듈을 형성한 포장수단; 및,
    상기 검사수단의 양호 반도체들을 흡착하여 포장수단의 캐리어테이프에 안착시키는 이송피커를 포함하는 반도체 검사 및 포장장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 포장수단의 캐리어테이프와, 이송트랙과, 커버테이프와, 실링모듈은 각각 적어도 두개 이상 마련되어 2열 이상의 라인을 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이송피커는 다수개의 링크바를 교차시켜 힌지 연결시킨 신축링크부재와, 선단에 흡착반을 형성하여 상기 링크부재의 링크바에 각각 고정되는 다수의 흡 착기와, 상기 링크부재의 일단에 고정되어 링크부재의 길이를 가변시키도록 왕복운동하는 구동부와, 상기 흡착기를 승강시키는 승강부와, 상기 흡착기를 90'회전시키는 회전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  4. 제 2항 및 제3항에 있어서,
    상기 이송피커는 트레이상의 반도체들을 흡착하여 복수마련된 캐리어테이프에 각각 안착시킬 수 있도록 다수의 흡착기들이 적어도 2열 이상 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 검사수단은 외관검사부와 마킹검사부의 사이에 반도체가 적재된 트레이를 180' 회전시키는 로테이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 로테이터는 공트레이를 파지한 상부그리퍼와, 반도체가 적재된 트레이를 파지하는 하부그리퍼와, 상기 상,하부그리퍼를 승강시키는 승강부와, 상기 상,하부그리퍼를 회전시키는 회전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 로테이터는 상,하 그리퍼에 반도체 트레이를 가압하는 가압부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 소팅부는 소팅피커와, 복수의 트레이가 안착되는 고정판체와, 공트레이들을 적재한 공트레이적재함과, 상기 고정판체 및 공트레이적재함을 이송하는 이송라인과, 상기 이송라인의 말단에 형성되어 트레이들을 적재하는 불량트레이적재부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 소팅피커는 다수개의 링크바를 교차시켜 힌지 연결시킨 신축링크부재와, 선단에 흡착반을 형성하여 상기 링크부재의 링크바에 각각 고정되는 다수의 흡착기와, 상기 링크부재의 일단에 고정되어 링크부재의 길이를 가변시키도록 왕복운동하는 구동부와, 상기 흡착기를 승강시키는 승강부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 검사수단은 반도체가 적재된 트레이들을 적재하는 로딩부와, 로딩부로부터 트레이를 인출하여 외관검사부의 하부를 지나 로테이터로 이송시키는 제1이송 대차와, 로테이터로부터 트레이를 인출하여 이송하는 트랜스퍼와, 트랜스퍼로부터 트레이를 인수받아 마킹검사부와 소팅부의 하부와 이송피커의 하부로 이송하는 제2이송대차와, 상기 제2이송대차의 말단에서 공트레이를 적재하는 언로딩부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제1,제2이송대차는 각각 복수 마련되는 것을 특징으로 하는 반도체 검사 및 포장장치.
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