KR20190079029A

KR20190079029A - 인덕터 검사 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20190079029A
Application number: KR1020170180925A
Authority: KR
Inventors: 구건우; 이환수; 한종우
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2017-12-27
Filing date: 2017-12-27
Publication date: 2019-07-05
Also published as: CN109975630A; CN109975630B; KR102004810B1; US10718824B2; US20190195935A1

Abstract

본 발명의 실시예에 따르면, 인덕터 검사 장치 및 방법이 공개된다. 본 발명의 실시예에 따른 인덕터 검사 장치는 검사 대상 인덕터의 병렬 저항 성분에 대응하는 정보를 포함하는 검출 신호를 출력하는 검출기, 및 상기 검출 신호를 입력받고, 상기 병렬 저항 성분의 크기에 기초하여 상기 검사 대상 인덕터가 양호한지 여부를 판단하는 판정기를 포함한다.

Description

인덕터 검사 장치 및 방법{Apparatus and method for checking an inductor}

본 출원은 인덕터의 열화 여부 등을 검사하기 위한 인덕터 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.

인덕터는 기본적인 전기/전자소자로서 다양한 기기에서 폭넓게 사용되고 있다. 최근들어 기기들의 고성능화, 슬림화 추세에 따라 기기에 탑재되는 소자인 인덕터에 대해 높은 신뢰성을 가질 것을 요구하고 있다. 따라서, 인덕터에 대해 고객에게 인도하기 전 또는 실제 제품에 장착되기 전에 인덕터의 열화 등 특성을 검사하는 것이 매우 중요하다.

일본 등록특허공보 제4635249호

본 발명의 일실시예에 따르면, 인덕터의 열화 여부 등을 검사할 수 있는 인덕터 검사 장치가 제공된다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 인덕터의 열화 여부 등을 검사할 수 있는 인덕터 검사 방법이 제공된다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치는 검사 대상 인덕터의 병렬 저항 성분에 대응하는 정보를 포함하는 검출 신호를 출력하는 검출기, 및 상기 검출 신호를 입력받고, 상기 병렬 저항 성분의 크기에 기초하여 상기 검사 대상 인덕터가 양호한지 여부를 판단하는 판정기를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치의 상기 판정기는 상기 병렬 저항 성분의 크기가 제1 기준값 이상이면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하다고 판단하고, 상기 병렬 저항 성분의 크기가 상기 제1 기준값 이하인 제2 기준값보다 작다면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하지 않다고 판단할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치의 상기 검출기는 상기 검사 대상 인덕터의 일단에 임펄스 전압을 인가하고, 상기 검사 대상 인덕터의 타단으로 출력되는 응답 신호를 추가적으로 출력할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치의 상기 판정기는 상기 응답 신호와 정상 상태의 인덕터의 임펄스 응답 신호인 기준 신호를 비교하고, 비교 결과를 추가적으로 고려하여 상기 검사 대상 인덕터의 양호 여부를 판단할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치의 상기 판정기는 상기 검사 대상 인덕터와 동종의 인덕터들의 임펄스 신호 인가 전과 인가 후의 병렬 저항 성분의 크기 변화를 고려하여 상기 임펄스 전압의 크기를 결정할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법은 검사 대상 인덕터의 병렬 저항 성분의 크기를 검출하는 단계, 및 상기 병렬 저항 성분의 크기에 기초하여 상기 검사 대상 인덕터가 양호한지 여부를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법의 상기 판단하는 단계는 상기 병렬 저항 성분의 크기가 제1 기준값 이상이면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하다고 판단하고, 상기 병렬 저항 성분의 크기가 상기 제1 기준값 이하인 제2 기준값보다 작다면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하지 않다고 판단할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법은 상기 검사 대상 인덕터의 일단에 임펄스 전압을 인가하고, 상기 검사 대상 인덕터의 타단으로 출력되는 응답 신호를 수신하는 단계, 및 상기 응답 신호와 정상 상태의 인덕터의 임펄스 응답 신호인 기준 신호를 비교하고, 비교 결과를 고려하여 상기 검사 대상 인덕터의 양호 여부를 추가적으로 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법은 상기 검사 대상 인덕터와 동종의 인덕터들의 임펄스 신호 인가 전과 인가 후의 병렬 저항 성분의 크기 변화를 고려하여 상기 임펄스 전압의 크기를 결정하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법의 상기 결정하는 단계는 상기 동종의 인덕터들의 브레이크 다운 전압을 판단하는 단계, 상기 브레이크 다운 전압을 기초로 테스트 전압들을 결정하는 단계, 상기 테스트 전압을 가지는 임펄스 신호들 각각을 상기 동종의 인덕터들 각각으로 인가하고, 상기 임펄스 신호가 인가되기 전의 상기 동종의 인덕터들 각각의 병렬 저항 성분의 크기와 상기 임펄스 신호가 인가된 후의 상기 동종의 인덕터들 각각의 병렬 저항 성분의 크기의 변화율을 판단하는 단계, 및 상기 변화율이 기준변화율 이하인 테스트 전압들 중 가장 큰 테스트 전압을 상기 임펄스 전압의 크기로 결정하는 단계를 포함할 수 있다.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 인덕터 검사 장치 및 방법은 인덕터의 열화, 특히 내전압 특성이 양호한지 여부를 간단하고 정확하게 파악할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법에서, 제1 테스트 신호로서의 임펄스 신호의 크기를 결정하는 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법에서, 제1 테스트 신호로서의 임펄스 신호의 크기를 결정하는 방법을 설명하기 위한 참고 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면으로서, 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 장치는 검출기(10) 및 판정기(20)를 포함할 수 있다.

검출기(10)는 인덕터(30)로 테스트 신호(test)를 인가하고, 인덕터(30)로부터 응답 신호(res)를 수신할 수 있다. 예를 들면, 검출기(10)는 인덕터(30)의 일단에 소정의 전압을 가지는 임펄스 신호를 테스트 신호(test)로 인가하고, 인덕터(30)의 타단으로 출력되는 임펄스 응답 신호를 응답 신호(res)로 수신할 수 있다. 또는, 검출기(10)는 인덕터(30)의 양단에 교류 신호인 테스트 신호(test)를 인가하고, 인덕터(30)를 통해 흐르는 전류 및/또는 인덕터(30)의 양단의 전압 등을 응답 신호(res)로 수신할 수도 있다.

또한, 검출기(10)는 병렬 저항 성분에 대한 정보를 포함하는 검출 신호(det)를 출력할 수 있다. 예를 들면, 검출기(10)는 응답 신호(res)를 분석하여 인덕터(30)의 병렬 저항 성분을 추출하고, 이에 대한 정보를 포함하는 검출 신호(det)를 출력할 수 있다. 또는 검출기(10)는 상기 응답 신호(res)를 검출 신호(det)로 출력할 수도 있다.

판정기(20)는 검출 신호(det)에 기초하여 인덕터(30)의 열화 여부를 판단할 수 있다. 예를 들면, 판정기(20)는 검출 신호(det)를 기초로 인덕터(30)의 병렬 저항 성분의 크기를 판단하고, 병렬 저항 성분의 크기와 기준값을 비교하여 인덕터의 열화 여부, 특히, 인덕터가 적합한 내전압(예를 들면, BDV(break down voltage))을 가지는지 여부를 판단할 수 있다.

또한, 판정기(20)는 인덕터(30)의 검사 등을 위해 인덕터에 가해지는 임펄스 신호의 크기를 판단할 수도 있다.

인덕터(30)의 등가회로는 서로 직렬로 연결된 직렬 저항 및 직렬 인덕터와, 직렬 저항 및 직렬 인덕터와 병렬로 연결된 병렬 저항 등을 포함하는 것으로 표현될 수 있다. 본 발명의 일실시예에서, 인덕터(30)의 병렬 저항은 인덕터(30)를 등가회로로 표현하였을 때의 병렬 저항으로서, 인덕터(30)의 내부에서 인덕터(30)의 양단 사이에 연결된 것으로 보이는 저항성분들을 의미한다.

검출기(10) 및 판정기(20) 각각은 적어도 하나의 프로세싱 유닛 및 메모리를 포함할 수 있다. 여기서, 프로세싱 유닛은 예를 들어 중앙처리장치 (CPU), 그래픽처리장치 (GPU), 마이크로프로세서, 주문형 반도체 (Application Specific Integrated Circuit, ASIC), Field Programmable Gate Arrays (FPGA) 등을 포함할 수 있으며, 복수의 코어를 가질 수 있다. 메모리는 휘발성 메모리(예를 들어, RAM 등), 비휘발성 메모리(예를 들어, ROM, 플래시 메모리 등) 또는 이들의 조합일 수 있다.

또한, 검출기(10) 및 판정기(20) 각각은 추가적인 스토리지를 포함할 수도 있다. 스토리지는 자기 스토리지, 광학 스토리지 등을 포함하지만 이것으로 한정되지 않는다. 스토리지에는 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법을 구현하기 위한 컴퓨터 판독 가능한 명령이 저장될 수 있고, 운영 시스템, 애플리케이션 프로그램 등을 구현하기 위한 다른 컴퓨터 판독 가능한 명령도 저장될 수 있다. 스토리지에 저장된 컴퓨터 판독 가능한 명령은 프로세싱 유닛에 의해 실행되기 위해 메모리에 로딩될 수 있다.

또한, 검출기(10) 및 판정기(20) 각각은 입력 디바이스(들) 및 출력 디바이스(들)을 포함할 수 있다. 여기서, 입력 디바이스(들)은 예를 들어 키보드, 마우스, 펜, 음성 입력 디바이스, 터치 입력 디바이스, 적외선 카메라, 비디오 입력 디바이스 또는 임의의 다른 입력 디바이스 등을 포함할 수 있다. 또한, 출력 디바이스(들)은 예를 들어 하나 이상의 디스플레이, 스피커, 프린터 또는 임의의 다른 출력 디바이스 등을 포함할 수 있다. 또한, 검출기(10) 및 판정기(20) 각각은 다른 장치에 구비된 입력 디바이스 또는 출력 디바이스를 입력 디바이스(들) 또는 출력 디바이스(들)로서 사용할 수도 있다.

또한, 검출기(10) 및 판정기(20) 각각은 다른 장치와의 통신을 수행하는 통신 모듈을 더 포함할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다. 도 2에 나타낸 각 단계들은 검출기(도 1의 10) 및/또는 판정기(도 1의 20)에 의해 수행될 수 있다.

도 1 및 도 2를 참고하여, 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 인덕터(30)에 제1 테스트 신호를 인가할 수 있다(S110 단계). 제1 테스트 신호는 소정의 전압을 가지는 임펄스 신호일 수 있다.

다음으로, 제1 테스트 신호에 대한 인덕터(30)의 응답 신호를 분석하여 1차적으로 인덕터가 양호한 상태인지 여부를 판단할 수 있다(S120 단계). 예를 들면, S110 단계에서 인가한 제1 테스트 신호가 임펄스 신호인 경우, S120 단계에서는 정상 상태인 인덕터가 가져야 할 인덕터의 임펄스 응답 신호인 기준 신호와 검사 중인 인덕터의 제1 테스트 신호에 대한 응답 신호를 비교하여 인덕터의 상태를 판단할 수 있다. 구체적으로, 인덕터의 응답 신호의 형태나 응답 신호의 파형이 가지는 면적, 또는 피크 전압 등을 기준 신호와 비교하거나, 인덕터의 응답 신호와 기준 신호 각각을 수학적 변환 기법(예를 들면, 라플라시안(laplacian)을 통해 변환한 후 각 특성을 비교할 수 있다.

다음으로, 인덕터(30)의 병렬 저항 성분의 크기를 검출하고, 병렬 저항 성분의 크기를 기초로 인덕터가 양호한 상태인지 여부에 대해 판단할 수 있다(S130 단계). 구체적으로, 병렬 저항 성분의 크기가 제1 기준값 이상이면 인덕터가 양호한 것으로 판단할 수 있고, 병렬 저항 성분의 크기가 제1 기준값 이하인 제2 기준값 미만인 경우에는 인덕터가 불량이라고 판단할 수 있다. 이때, 인덕터의 병렬 저항 성분의 크기는 인덕터의 동작 주파수에 따라 달라질 수 있는데, 본 발명의 일실시예에 따르면, 병렬 저항 성분의 크기 중 가장 큰 값을 제1 기준값 및 제2 기준값과 비교할 수 있다.

인덕터(30)의 병렬 저항 성분이 지나치게 작다면, 인덕터를 통해 흐르는 전류의 경로가 결과적으로 인덕터의 병렬 저항 성분에 의해 결정될 가능성이 높다. 따라서, 인덕터(30)의 병렬 저항 성분이 작은 경우, 전류는 병렬 저항 경로로 흐르게 되며, 인덕턴스가 저하되는 것을 확인할 수 있다.

실제로, 권선 인덕터 중 병렬 저항 성분(Rp)의 최대값의 크기가 4500 오옴(Ω) 이상인 것들과 4000 오옴(Ω) 미만인 것들에 대하여 브레이크 다운 전압(BDV : break down voltage)을 측정한 결과, 다음의 표 1과 같은 결과를 얻을 수 있었다.

Rp	BDV 평균(V)	BDV 최소(V)	BDV 최대(V)	BDV 표준편차
4500Ω 이상	180.5	145	217	17.5
4000Ω 미만	156.9	42	202	32.7

또한, 박막 인덕터 중 병렬 저항 성분(Rp)의 최대값의 크기가 1350 오옴(Ω) 이상인 것들과 1250 오옴(Ω) 미만인 것들에 대하여 브레이크 다운 전압(BDV : break down voltage)을 측정한 결과, 다음의 표 2과 같은 결과를 얻을 수 있었다.

Rp	BDV 평균(V)	BDV 최소(V)	BDV 최대(V)	BDV 표준편차
1350Ω 이상	200.6	160	220	14.1
1250Ω 미만	181.2	89	215	25.8

상기 실험 결과를 참고하면, 병렬 저항 성분과 브레이크 다운 전압 사이에 상관관계가 성립됨을 알 수 있다.

즉, 본 발명의 일실시예에 따르면, 병렬 저항 성분의 크기를 이용하여 인덕터가 양호한 상태인지, 즉, 적절한 브레이크 다운 전압을 가지는지 여부를 알 수 있다.

다음으로, 인덕터(30)의 인덕턴스가 적절한 값을 가지는지 여부를 판단할 수 있다(S140 단계). 즉, 인덕터(30)의 인덕턴스가 오차범위 이내의 값을 가지는지 여부를 판단할 수 있다.

다음으로, S120 단계, S130 단계, 및 S140 단계의 결과를 종합하여 최종 판단을 할 수 있다(S150 단계). 즉, S120 단계, S130 단계, 및 S140 단계에서 모두 양호한 것으로 판단된 경우에, 검사 대상 인덕터가 양호한 것으로 판단할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법에서, 제1 테스트 신호로서의 임펄스 신호의 크기를 결정하는 방법을 설명하기 위한 동작 흐름도이다. 도 3에 나타낸 각 단계들은 검출기(도 1의 10) 및/또는 판정기(도 1의 20)에 의해 수행될 수 있다.

도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법에서, 제1 테스트 신호로서의 임펄스 신호의 크기를 결정하는 방법을 설명하기 위한 참고 도면으로서, 도 4(a)는 임펄스 전압이 인가되었을 때 병렬 저항 성분의 변화율을, 도 4(b)는 임펄스 전압이 인가되었을 때 병렬 저항 성분의 표준 편차의 변화율을, 도 5(a)는 임펄스 전압이 인가되었을 때 브레이크 다운 전압의 평균값의 변화를, 도 5(b)는 임펄스 전압이 인가되었을 때 브레이크 다운 전압의 표준 편차의 변화를 각각 나타낸 것이다.

도 1 및 도 3 내지 도 5를 참고하여, 본 발명의 일실시예에 따른 인덕터 검사 방법에서 임펄스 신호의 크기를 결정하는 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 제1 테스트를 실시할 수 있다(S210 단계). S210 단계에서는, 도 2에 나타낸 각 단계들 중 일부 또는 전부가 실시될 수 있다. 즉, 제1 테스트는 임펄스 전압의 크기를 결정하기 위해 사용할 인덕터들을 선별하는 테스트로서, S210 단계를 수행함으로써 상태가 양호한 인덕터들을 선별하고, 선별된 인덕터들을 이용하여 임펄스 전압의 크기를 결정함으로써, 임펄스 전압 결정의 신뢰도를 높이게 된다.

다음으로, S210 단계를 수행한 결과, 상태가 양호한 인덕터들을 이용하여 브레이크 다운 전압을 측정할 수 있다(S220 단계).

다음으로, S220 단계에서 판단한 결과에 따라 테스트 전압들을 결정함과 동시에, 테스트 횟수를 결정할 수 있다(S230 단계). 예를 들면, 테스트 전압들은 S220 단계에서 측정한 브레이크 다운 전압의 80%, 70%, 60%, 50%인 전압들로 선정될 수 있다. 또한, S230 단계에서, 결정된 테스트 전압들 각각에 대하여 결정된 테스트 횟수 만큼 복수개의 인덕터들에 임펄스 전압을 인가할 수 있다.

다음으로, 복수개의 인덕터들 각각에 대하여, 임펄스 전압을 인가하기 전과 인가한 후의 병렬 저항 성분의 크기 변화를 검토할 수 있다(S240 단계).

또한, 복수개의 인덕터들 각각에 대하여, 임펄스 전압을 인가하기 전과 인가한 후의 브레이크 다운 전압의 크기 변화를 검토할 수 있다(S250 단계).

이하, S230 단계에서 판단한 결과 브레이크 다운 전압이 170V이고, S240 단계와 S250 단계를 수행한 결과, 도 4 (a), 도 4(b), 도 5(a), 및 도 5(b)에 나타난 것과 같은 결과를 얻었다고 가정한다.

먼저, 도 4(a)를 참고하면, 120V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 70%)의 임펄스 전압을 인가했을때까지는 병렬 저항의 변화율이 크지 않으나, 140V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 80%)를 인가한 경우에는 병렬 저항의 변화율이 크다는 것을 알 수 있다.

또한, 도 4(b)를 참고하면, 100V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 60%)의 임펄스 전압을 인가했을때까지는 병렬 저항의 표준 편차가 크지 않으나, 120V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 70%)의 임펄스 전압을 인가한 경우에는 병렬 저항의 표준 편차가 크다는 것을 알 수 있다.

또한, 도 5(a)를 참고하면, 120V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 70%)의 임펄스 전압을 인가했을때까지는 브레이크 다운 전압이 조금씩 증가하였으나, 140V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 80%)를 인가한 경우에는 브레이크 다운 전압이 크게 감소한다는 것을 알 수 있다.

또한, 도 5(b)를 참고하면, 120V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 70%)의 임펄스 전압을 인가했을때까지는 브레이크 다운 전압의 표준 편차가 조금씩 감소하지만, 140V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 80%)를 인가한 경우에는 브레이크 다운 전압의 표준 편차가 커진다는 것을 알 수 있다.

S240 단계 및 S250 단계를 수행한 결과를 이용하여 테스트에 사용할 임펄스 전압의 크기를 결정할 수 있다(S260 단계). 예를 들면, 브레이크 다운 전압의 특성을 보다 중요하게 고려하여, 120V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 70%)를 임펄스 전압의 크기로 결정할 수도 있고, 병렬 저항의 변화율을 보다 중요하게 고려하여 100V(즉, 브레이크 다운 전압의 약 60%)를 임펄스 전압의 크기로 결정할 수 있다.

S260 단계에서 결정된 임펄스 전압의 크기에 따라, 도 2의 S110 단계에서 인가되는 제1 테스트 신호로서의 임펄스 전압의 크기가 결정될 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.

10 : 검출기 20 : 판정기
30 : 인덕터

Claims

검사 대상 인덕터의 병렬 저항 성분에 대응하는 정보를 포함하는 검출 신호를 출력하는 검출기; 및
상기 검출 신호를 입력받고, 상기 병렬 저항 성분의 크기에 기초하여 상기 검사 대상 인덕터가 양호한지 여부를 판단하는 판정기를 포함하는 인덕터 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 판정기는
상기 병렬 저항 성분의 크기가 제1 기준값 이상이면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하다고 판단하고, 상기 병렬 저항 성분의 크기가 상기 제1 기준값 이하인 제2 기준값보다 작다면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하지 않다고 판단하는 인덕터 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 검출기는
상기 검사 대상 인덕터의 일단에 임펄스 전압을 인가하고, 상기 검사 대상 인덕터의 타단으로 출력되는 응답 신호를 추가적으로 출력하는 인덕터 검사 장치.
제3항에 있어서, 상기 판정기는
상기 응답 신호와 정상 상태의 인덕터의 임펄스 응답 신호인 기준 신호를 비교하고, 비교 결과를 추가적으로 고려하여 상기 검사 대상 인덕터의 양호 여부를 판단하는 인덕터 검사 장치.
제3항에 있어서, 상기 판정기는
상기 검사 대상 인덕터와 동종의 인덕터들의 임펄스 신호 인가 전과 인가 후의 병렬 저항 성분의 크기 변화를 고려하여 상기 임펄스 전압의 크기를 결정하는 인덕터 검사 장치.
검사 대상 인덕터의 병렬 저항 성분의 크기를 검출하는 단계; 및
상기 병렬 저항 성분의 크기에 기초하여 상기 검사 대상 인덕터가 양호한지 여부를 판단하는 단계를 포함하는 인덕터 검사 방법.
제6항에 있어서, 상기 판단하는 단계는
상기 병렬 저항 성분의 크기가 제1 기준값 이상이면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하다고 판단하고, 상기 병렬 저항 성분의 크기가 상기 제1 기준값 이하인 제2 기준값보다 작다면 상기 검사 대상 인덕터가 양호하지 않다고 판단하는 인덕터 검사 방법.
제6항에 있어서, 상기 인덕터 검사 방법은
상기 검사 대상 인덕터의 일단에 임펄스 전압을 인가하고, 상기 검사 대상 인덕터의 타단으로 출력되는 응답 신호를 수신하는 단계; 및
상기 응답 신호와 정상 상태의 인덕터의 임펄스 응답 신호인 기준 신호를 비교하고, 비교 결과를 고려하여 상기 검사 대상 인덕터의 양호 여부를 추가적으로 판단하는 단계를 더 포함하는 인덕터 검사 방법.
제8항에 있어서, 상기 인덕터 검사 방법은
상기 검사 대상 인덕터와 동종의 인덕터들의 임펄스 신호 인가 전과 인가 후의 병렬 저항 성분의 크기 변화를 고려하여 상기 임펄스 전압의 크기를 결정하는 단계를 더 포함하는 인덕터 검사 방법.
제9항이 있어서, 상기 결정하는 단계는
상기 동종의 인덕터들의 브레이크 다운 전압을 판단하는 단계;
상기 브레이크 다운 전압을 기초로 테스트 전압들을 결정하는 단계;
상기 테스트 전압을 가지는 임펄스 신호들 각각을 상기 동종의 인덕터들 각각으로 인가하고, 상기 임펄스 신호가 인가되기 전의 상기 동종의 인덕터들 각각의 병렬 저항 성분의 크기와 상기 임펄스 신호가 인가된 후의 상기 동종의 인덕터들 각각의 병렬 저항 성분의 크기의 변화율을 판단하는 단계; 및
상기 변화율이 기준변화율 이하인 테스트 전압들 중 가장 큰 테스트 전압을 상기 임펄스 전압의 크기로 결정하는 단계를 포함하는 인덕터 검사 방법.