JP4789717B2 - 静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 - Google Patents
静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4789717B2 JP4789717B2 JP2006182908A JP2006182908A JP4789717B2 JP 4789717 B2 JP4789717 B2 JP 4789717B2 JP 2006182908 A JP2006182908 A JP 2006182908A JP 2006182908 A JP2006182908 A JP 2006182908A JP 4789717 B2 JP4789717 B2 JP 4789717B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- voltage
- protection circuit
- current
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/04—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant in circuits having distributed constants, e.g. having very long conductors or involving high frequencies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2827—Testing of electronic protection circuits
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
但し、TLP測定を行う場合には、図6(a)に示すような略台形型のTLP電圧を順次印加し、かつ図6(b)に示すようなピーク電圧−ピーク電流特性を順次求めるという煩雑な操作を不可欠としており、スピーディに前記特性インピーダンスを算出しかつ測定することができない。
(1)静電気放電保護回路に対して印加した放電電圧の時間の経過に伴う変化、及び当該保護回路を導通する放電電流の時間の経過に伴う変化を測定し、経過した所定の各共通時間毎に対応し合う放電電圧と放電電流とが共に順次上昇し、それぞれ個別にピーク値に至った後、共に減衰過程に至るまでの状態をコンピュータに対する入力及び当該コンピュータからの出力によって把握し、かつ前記減衰過程における放電電圧の変化量/放電電流の変化量の比率が概略一定である場合に、当該比率をインピーダンス値とすることに基づく静電気放電保護回路における特性インピーダンスの測定方法、
(2)パルス発生回路及び当該発生回路からの入力によって、静電気放電保護回路に対し放電を行う放電回路、及び静電気放電保護回路との間に介在している電圧測定回路及び電流測定回路、前記各回路に対し、コンピュータに基づく指令を行う制御装置を備え、かつ電圧測定回路及び電流測定回路から前記コンピュータに対し測定値に基づく入力が可能であることに基づく前記(1)の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定を実現する装置、
からなる。
(A)図3(a)に示すように、放電パルス入力回路と静電気放電保護回路との間にオシロスコープ10を介在させ、放電電圧及び放電電流の時間の経過に伴う変化の画像表示を行い、当該画像表示に基づく各共通時間を順次選択し、前記画像表示において各共通時間に対応し合う関係にある放電電圧及び放電電流の各測定値をコンピュータに入力することを特徴とする方法、
(B)図3(b)に示すように、時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電圧計41によって放電電圧を測定し、かつ時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電流計42によって放電電流を測定し、経過した所定の各共通時間毎に各デジタル測定値をコンピュータに入力することを特徴とする方法、
である。
但し、図3(a)、(b)において、制御装置1は、放電電流発生回路及び放電電圧発生回路3に対し、作動のタイミングの選択に基づく指令(点線の矢印によって示す)を行っており、オシロスコープ10、及びデジタル電圧計410並びにデジタル電流計420に対し、共通時間の設定を指令しており(点線の矢印によって示す)、オシロスコープ10、及びデジタル電圧計410、並びにデジタル電流計420は、制御装置1のコンピュータに対し、それぞれ測定値を伝達している(点線の矢印によって示す)。
尚、本発明に係るオシロスコープ10は図3(a)に示すように、電圧計41、電流計42、画像発生回路51、画像表示面52を不可欠としている。
但し、TLP測定の場合には、TLP電圧及びTLP電流を個別に測定するに過ぎないのに対し、前記(2)の基本構成においては、放電電圧及び放電電流を順次経過する各共通時間毎に測定し、かつ当該放電電圧と放電電流との関係をコンピュータに対する及びコンピュータからの出力によって一挙に処理し、かつ把握する点においてTLP測定の場合と相違している。
前記(A)に対応して、図3(a)に示すように電圧測定回路及び電流測定回路として電圧計41及び電流計42を備えているオシロスコープ10を採用する構成、
前記(B)の構成に対応して、図3(b)に示すように電圧測定回路が、時間の経過に伴ってデジタル測定が可能であるようなデジタル電圧計410を備えており、かつ電流測定回路もまた時間の経過に伴ってデジタル測定が可能であるようなデジタル電流計420を備えている構成が好適に採用されている。
2 パルス発生回路
3 放電電圧発生回路
41 電圧計
42 電流計
51 画像発生回路
52 画像表示面
10 オシロスコープ
410 デジタル電圧計
420 デジタル電流計
6 ESD保護回路
7 スイッチ
8 分圧回路
9 リーク測定用ライン
Claims (12)
- 静電気放電保護回路に対して印加した放電電圧の時間の経過に伴う変化、及び当該保護回路を導通する放電電流の時間の経過に伴う変化を測定し、経過した所定の各共通時間毎に対応し合う放電電圧と放電電流とが共に順次上昇し、それぞれ個別にピーク値に至った後、共に減衰過程に至るまでの状態をコンピュータに対する入力及び当該コンピュータからの出力によって把握し、かつ前記減衰過程における放電電圧の変化量/放電電流の変化量の比率が概略一定である場合に、当該比率をインピーダンス値とすることに基づく静電気放電保護回路における特性インピーダンスの測定方法。
- 放電パルス入力回路と静電気放電保護回路との間にオシロスコープを介在させ、放電電圧及び放電電流の時間の経過に伴う変化の画像表示を行い、当該画像表示に基づく各共通時間を順次選択し、前記画像表示において各共通時間に対応し合う関係にある放電電圧及び放電電流の各測定値をコンピュータに入力することを特徴とする請求項1記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電圧計によって放電電圧を測定し、かつ時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電流計によって放電電流を測定し、経過した所定の各共通時間毎に各デジタル測定値をコンピュータに入力することを特徴とする請求項1記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 対応し合う放電電圧と放電電流との関係をコンピュータからの出力に基づいてグラフィック表示を行うことを特徴とする請求項1、2、3の何れか一項に記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 放電電圧の変化量/放電電流の変化量が、略一定の状態を維持することが不可能となり、変動するに至った段階において、静電気放電保護回路が静電破壊に至ったことをも判別し得ることを特徴とする請求項1、2、3、4の何れか一項に記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 放電電圧の変化量/放電電流の変化量が、略一定の状態を維持することが不可能となり変動するに至った段階において、放電電流の最大値の測定をも行い得ることを特徴とする請求項5記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 放電電圧及び放電電流が共に減衰し、かつ放電電流が零となった段階における放電電圧の値をも測定し得ることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6の何れか一項に記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 静電気放電保護回路にリーク電流が導通しない場合に、当該保護回路に対し、静電破壊を可能とするような放電電圧を印加することを特徴とする請求項1、2、3、4の何れか一項に記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- パルス発生回路及び当該発生回路からの入力によって、静電気放電保護回路に対し放電を行う放電回路、及び静電気放電保護回路との間に介在している電圧測定回路及び電流測定回路、前記各回路に対し、コンピュータに基づく指令を行う制御装置を備え、かつ電圧測定回路及び電流測定回路から前記コンピュータに対し測定値に基づく入力が可能であることに基づく請求項1、2、3、4の何れか一項に記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定を実現する装置。
- 放電パルス発生入力回路と静電気放電保護回路との間に、分圧回路を設けたことを特徴とする請求項9記載の装置。
- 電圧測定回路及び電流測定回路がオシロスコープであることを特徴とする請求項9記載の装置。
- 電圧測定回路が時間の経過に伴ってデジタル測定を行い得る電圧計を備えており、電流測定回路が時間の経過に伴ってデジタル測定を行い得る電流計を備えて構成していることを特徴とする請求項9記載の装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006182908A JP4789717B2 (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 |
US11/749,912 US7609076B2 (en) | 2006-07-03 | 2007-05-17 | Method of measuring characteristic impedance of electrostatic discharge protecting circuit and apparatus for realizing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006182908A JP4789717B2 (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008014640A JP2008014640A (ja) | 2008-01-24 |
JP4789717B2 true JP4789717B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=38877747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006182908A Active JP4789717B2 (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7609076B2 (ja) |
JP (1) | JP4789717B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1972952A1 (en) * | 2007-03-19 | 2008-09-24 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | ESD test system calibration |
US8362784B2 (en) * | 2009-06-22 | 2013-01-29 | Mitsubishi Electric Corporation | Capacitor capacitance diagnosis device and electric power apparatus equipped with capacitor capacitance diagnosis device |
TWI465736B (zh) * | 2012-10-11 | 2014-12-21 | Ind Tech Res Inst | 半導體元件之檢測方法及其檢測系統 |
US10403622B2 (en) * | 2018-02-06 | 2019-09-03 | Globalfoundries Inc. | Electrostatic discharge protection device and methods |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5361776A (en) * | 1993-08-06 | 1994-11-08 | Telectronics Pacing Systems, Inc. | Time domain reflectometer impedance sensor method of use and implantable cardiac stimulator using same |
DE4339946A1 (de) * | 1993-11-24 | 1995-06-01 | Walther Bender Gmbh & Co Kg Di | Verfahren und Einrichtung zur Isolationsüberwachung vom ungeerdeten Gleich- und Wechselstromnetzen |
US6429674B1 (en) * | 1999-04-28 | 2002-08-06 | Jon E. Barth | Pulse circuit |
JP3314760B2 (ja) * | 1999-05-24 | 2002-08-12 | 日本電気株式会社 | 静電保護素子、静電保護回路及び半導体装置 |
US6720828B2 (en) * | 2001-11-21 | 2004-04-13 | Tektronix, Inc. | Apparatus and method for compensating a high impedance attenuator |
JP2004264147A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Toshiba Corp | 静電気試験装置 |
EP1480046A1 (en) | 2003-05-23 | 2004-11-24 | Interuniversitair Microelektronica Centrum ( Imec) | A method for determining the current-voltage characteristic of a snap-back device |
JP3825777B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2006-09-27 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP4469682B2 (ja) * | 2004-08-19 | 2010-05-26 | 阪和電子工業株式会社 | 静電気放電耐性特性の測定方法、静電気破壊試験方法、及び静電気破壊試験用装置 |
IL166445A (en) * | 2005-01-23 | 2011-07-31 | Mosaid Technologies Inc | A standard and method for evaluating the termination of a transmission line based on the determination of a typical impedance |
US7545152B2 (en) * | 2006-01-11 | 2009-06-09 | Thermo Fisher Scientific, Inc. | Transmission line pulse measurement system for measuring the response of a device under test |
-
2006
- 2006-07-03 JP JP2006182908A patent/JP4789717B2/ja active Active
-
2007
- 2007-05-17 US US11/749,912 patent/US7609076B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080004820A1 (en) | 2008-01-03 |
US7609076B2 (en) | 2009-10-27 |
JP2008014640A (ja) | 2008-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI394961B (zh) | Insulation inspection equipment and insulation inspection methods | |
JP6069884B2 (ja) | 絶縁検査方法及び絶縁検査装置 | |
JP4369949B2 (ja) | 絶縁検査装置及び絶縁検査方法 | |
JP4789717B2 (ja) | 静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 | |
JP4706555B2 (ja) | 電子デバイスの静電破壊評価方法、装置およびプログラム | |
EP1978370A1 (en) | Processing tantalum capacitors on assembled PWAs to yield low failure rate | |
AU2012286525B2 (en) | Spark testing apparatus | |
JP4925042B2 (ja) | 絶縁検査装置 | |
US20140107961A1 (en) | Testing method and testing system for semiconductor element | |
KR20140146535A (ko) | 기판검사장치 | |
JP6219073B2 (ja) | 絶縁検査装置 | |
JP5897393B2 (ja) | 抵抗測定装置 | |
Kim | Failure prediction of metal oxide varistor using nonlinear surge look-up table based on experimental data | |
JP4467373B2 (ja) | 抵抗測定方法およびその装置 | |
JP6221281B2 (ja) | 絶縁検査方法及び絶縁検査装置 | |
JP5425709B2 (ja) | 絶縁検査装置および絶縁検査方法 | |
JPH02103479A (ja) | 静電気放電耐圧の試験方法 | |
JP6608234B2 (ja) | 接触判定装置および測定装置 | |
JP5012430B2 (ja) | 直流試験装置及び半導体試験装置 | |
Kamdem et al. | Electrical Overstress robustness and test method for ICs | |
JP2009103683A (ja) | 静電気帯電試験装置および静電気帯電試験方法 | |
JP6219074B2 (ja) | 絶縁検査装置 | |
JP2008076266A (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
JP2010190784A (ja) | 回路基板検査装置 | |
Nguyen | Fault localization of power-ground short via signal injection and oscilloscope technique |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110303 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110712 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110719 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4789717 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |