JP2008014640A - 静電気放電保護回路の特性インピーダンスの測定方法及び当該測定を実現する装置。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の基本構成は、静電気放電保護回路に対して印加した放電電圧の時間の経過に伴う変化、及び当該保護回路を導通する放電電流の時間の経過に伴う変化を測定し、経過した所定の各共通時間毎に対応し合う放電電圧と放電電流とが共に順次上昇し、それぞれ個別にピーク値に至った後、共に減衰過程に至るまでの状態をコンピュータに対する入力及び当該コンピュータからの出力によって把握し、かつ前記減衰過程における放電電圧の変化量/放電電流の変化量の比率が概略一定である場合に、当該比率をインピーダンス値とすることに基づき、速やかに静電気放電保護回路における特性インピーダンスを測定する方法及び当該方法を実現する装置。
【選択図】 図1
Description
但し、TLP測定を行う場合には、図6(a)に示すような略台形型のTLP電圧を順次印加し、かつ図6(b)に示すようなピーク電圧−ピーク電流特性を順次求めるという煩雑な操作を不可欠としており、スピーディに前記特性インピーダンスを算出しかつ測定することができない。
(1)静電気放電保護回路に対して印加した放電電圧の時間の経過に伴う変化、及び当該保護回路を導通する放電電流の時間の経過に伴う変化を測定し、経過した所定の各共通時間毎に対応し合う放電電圧と放電電流とが共に順次上昇し、それぞれ個別にピーク値に至った後、共に減衰過程に至るまでの状態をコンピュータに対する入力及び当該コンピュータからの出力によって把握し、かつ前記減衰過程における放電電圧の変化量/放電電流の変化量の比率が概略一定である場合に、当該比率をインピーダンス値とすることに基づく静電気放電保護回路における特性インピーダンスの測定方法、
(2)パルス発生回路及び当該発生回路からの入力によって、静電気放電保護回路に対し放電を行う放電回路、及び静電気放電保護回路との間に介在している電圧測定回路及び電流測定回路、前記各回路に対し、コンピュータに基づく指令を行う制御装置を備え、かつ電圧測定回路及び電流測定回路から前記コンピュータに対し測定値に基づく入力が可能であることに基づく前記(1)の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定を実現する装置、
からなる。
(A)図3(a)に示すように、放電パルス入力回路と静電気放電保護回路との間にオシロスコープ10を介在させ、放電電圧及び放電電流の時間の経過に伴う変化の画像表示を行い、当該画像表示に基づく各共通時間を順次選択し、前記画像表示において各共通時間に対応し合う関係にある放電電圧及び放電電流の各測定値をコンピュータに入力することを特徴とする方法、
(B)図3(b)に示すように、時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電圧計41によって放電電圧を測定し、かつ時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電流計42によって放電電流を測定し、経過した所定の各共通時間毎に各デジタル測定値をコンピュータに入力することを特徴とする方法、
である。
但し、図3(a)、(b)において、制御装置1は、放電電流発生回路及び放電電圧発生回路3に対し、作動のタイミングの選択に基づく指令(点線の矢印によって示す)を行っており、オシロスコープ10、及びデジタル電圧計410並びにデジタル電流計420に対し、共通時間の設定を指令しており(点線の矢印によって示す)、オシロスコープ10、及びデジタル電圧計410、並びにデジタル電流計420は、制御装置1のコンピュータに対し、それぞれ測定値を伝達している(点線の矢印によって示す)。
尚、本発明に係るオシロスコープ10は図3(a)に示すように、電圧計41、電流計42、画像発生回路51、画像表示面52を不可欠としている。
但し、TLP測定の場合には、TLP電圧及びTLP電流を個別に測定するに過ぎないのに対し、前記(2)の基本構成においては、放電電圧及び放電電流を順次経過する各共通時間毎に測定し、かつ当該放電電圧と放電電流との関係をコンピュータに対する及びコンピュータからの出力によって一挙に処理し、かつ把握する点においてTLP測定の場合と相違している。
前記(A)に対応して、図3(a)に示すように電圧測定回路及び電流測定回路として電圧計41及び電流計42を備えているオシロスコープ10を採用する構成、
前記(B)の構成に対応して、図3(b)に示すように電圧測定回路が、時間の経過に伴ってデジタル測定が可能であるようなデジタル電圧計410を備えており、かつ電流測定回路もまた時間の経過に伴ってデジタル測定が可能であるようなデジタル電流計420を備えている構成が好適に採用されている。
2 パルス発生回路
3 放電電圧発生回路
41 電圧計
42 電流計
51 画像発生回路
52 画像表示面
10 オシロスコープ
410 デジタル電圧計
420 デジタル電流計
6 ESD保護回路
7 スイッチ
8 分圧回路
9 リーク測定用ライン
Claims (12)
- 静電気放電保護回路に対して印加した放電電圧の時間の経過に伴う変化、及び当該保護回路を導通する放電電流の時間の経過に伴う変化を測定し、経過した所定の各共通時間毎に対応し合う放電電圧と放電電流とが共に順次上昇し、それぞれ個別にピーク値に至った後、共に減衰過程に至るまでの状態をコンピュータに対する入力及び当該コンピュータからの出力によって把握し、かつ前記減衰過程における放電電圧の変化量/放電電流の変化量の比率が概略一定である場合に、当該比率をインピーダンス値とすることに基づく静電気放電保護回路における特性インピーダンスの測定方法。
- 放電パルス入力回路と静電気放電保護回路との間にオシロスコープを介在させ、放電電圧及び放電電流の時間の経過に伴う変化の画像表示を行い、当該画像表示に基づく各共通時間を順次選択し、前記画像表示において各共通時間に対応し合う関係にある放電電圧及び放電電流の各測定値をコンピュータに入力することを特徴とする請求項1記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電圧計によって放電電圧を測定し、かつ時間の経過に即してデジタル測定を行い得る電流計によって放電電流を測定し、経過した所定の各共通時間毎に各デジタル測定値をコンピュータに入力することを特徴とする請求項1記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 対応し合う放電電圧と放電電流との関係をコンピュータからの出力に基づいてグラフィック表示を行うことを特徴とする請求項1、2、3記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 放電電圧の変化量/放電電流の変化量が、略一定の状態を維持することが不可能となり、変動するに至った段階において、静電気放電保護回路が静電破壊に至ったことをも判別し得ることを特徴とする請求項1、2、3、4記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 放電入力電圧を順次上昇させた場合、対応し合う放電電圧及び放電電流が順次上昇し、かつピーク電流値に至った場合、放電電圧の変化量/放電電流の変化量が一定でなくなる段階の放電電流の最大値を以って、静電気放電保護回路における導通状態から静電破壊の状態に変化するような最大電流の測定をも行い得ることを特徴とする請求項1、2、3、4、5記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 放電電圧及び放電電流が共に減衰し、かつ放電電流が零となった段階における放電電圧の値をも測定し得ることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- 静電気放電保護回路にリーク電流が導通しない場合に、当該保護回路に対し、静電破壊を可能とするような放電電圧を印加することを特徴とする請求項1、2、3、4記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定方法。
- パルス発生回路及び当該発生回路からの入力によって、静電気放電保護回路に対し放電を行う放電回路、及び静電気放電保護回路との間に介在している電圧測定回路及び電流測定回路、前記各回路に対し、コンピュータに基づく指令を行う制御装置を備え、かつ電圧測定回路及び電流測定回路から前記コンピュータに対し測定値に基づく入力が可能であることに基づく請求項1、2、3、4記載の静電気放電保護回路の特性インピーダンス測定を実現する装置。
- 放電パルス発生入力回路と静電気放電保護回路との間に、分圧回路を設けたことを特徴とする請求項9記載の装置。
- 電圧測定回路及び電流測定回路がオシロスコープであることを特徴とする請求項9記載の装置。
- 電圧測定回路が時間の経過に伴ってデジタル測定を行い得る電圧計を備えており、電流測定回路が時間の経過に伴ってデジタル測定を行い得る電流計を備えて構成していることを特徴とする請求項9記載の装置。
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