KR20190036568A - 카세트들에 대한 로봇 접근을 갖는 화학적 기계적 연마 툴 - Google Patents

카세트들에 대한 로봇 접근을 갖는 화학적 기계적 연마 툴 Download PDF

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KR20190036568A
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KR
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robot
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cassette
door
holding area
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KR1020197008682A
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용치 후
토마스 로렌스 테리
Original Assignee
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Publication date
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Abstract

반도체 제조 시스템은, 화학적 기계적 연마 시스템, 벽에 의해 에워싸인 카세트 유지 영역 ― 카세트 유지 영역은, 하나 이상의 카세트를 카세트 유지 영역 내에 배치하기 위해 조작자에 의해 열림가능한 도어를 가짐 ―, 기판들을 카세트 유지 영역에 있는 카세트와 화학적 기계적 연마 시스템 사이에서 이송하도록 구성된 로봇, 로봇이 홈 위치로 이동하게 하도록 구성된 컴퓨터 제어기, 로봇으로의 전력 공급 라인에 있는 회로 차단기, 도어가 열린 상태인지 여부를 검출하기 위한 도어 센서, 로봇이 홈 위치에 있는지 여부를 검출하기 위한 로봇 감지 센서, 및 도어 센서 및 로봇 감지 센서로부터 신호들을 수신하고, 도어가 열린 상태이고 로봇이 홈 위치에 없는 경우에 회로 차단기가 로봇으로의 전력을 차단하게 하도록 구성된 제어 회로를 포함한다.

Description

카세트들에 대한 로봇 접근을 갖는 화학적 기계적 연마 툴
본 개시내용은 화학적 기계적 연마에 관한 것으로, 더 구체적으로, 화학적 기계적 연마 툴에서 카세트들에 접근하는 로봇을 제어하는 것에 관한 것이다.
집적 회로는 전형적으로, 규소 웨이퍼 상에 전도성, 반전도성, 또는 절연성 층들의 순차적 증착에 의해 기판 상에 형성된다. 다양한 제조 프로세스들은 기판 상의 층의 평탄화를 요구한다. 예를 들어, 하나의 제조 단계는, 절연 층의 트렌치들 또는 홀들을 채우기 위해, 패터닝된 절연 층 상에 전도성 필러 층을 증착시키는 단계를 수반한다. 그 다음, 필러 층은 절연 층의 융기된 패턴이 노출될 때까지 연마된다. 평탄화 후에, 절연 층의 융기된 패턴 사이에 남아있는 전도성 필러 층의 부분들은, 기판 상의 박막 회로들 사이에 전도성 경로들을 제공하는 비아들, 플러그들 및 라인들을 형성한다. 또 다른 제조 단계는, 절연 층이 기저층 위의 목표 두께를 달성할 때까지 절연 층의 평탄화를 수반한다.
화학적 기계적 연마(CMP)는 하나의 수용된 평탄화 방법이다. 화학적 기계적 연마 시스템은 전형적으로, 기판을 회전 연마 패드에 대해 유지하기 위한 캐리어 헤드를 포함한다. 캐리어 헤드는, 기판을 연마 패드에 대해 누르기 위해, 제어가능한 부하를 기판 상에 제공한다. 연마액, 예컨대, 연마 입자들을 갖는 슬러리가 연마 패드의 표면에 공급된다.
기판을 화학적 기계적 연마 시스템으로 이송하기 위해, 기판은 전형적으로, 카세트 내로, 예를 들어, 수동으로 또는 이전의 처리 스테이션에서 로딩된다. 이러한 카세트는, 그 다음, 운반되어 팩토리 인터페이스 모듈 내에 배치되며, 팩토리 인터페이스 모듈은 전형적으로, 반도체 제조 설비의 청정실 환경에 접근가능한 영역이다. 로봇은 기판을 팩토리 인터페이스 모듈의 카세트로부터 CMP 툴의 로드/언로드 스테이션으로 이송할 수 있고, 로드/언로드 스테이션에서 기판은 캐리어 헤드 내에 로딩되거나 캐리어 헤드로부터 언로딩될 수 있다.
일 양상에서, 반도체 제조 시스템은, 화학적 기계적 연마 시스템, 벽에 의해 에워싸인 카세트 유지 영역 ― 카세트 유지 영역은, 하나 이상의 카세트를 카세트 유지 영역 내에 배치하기 위해 조작자에 의해 열림가능한 도어를 가짐 ―, 기판들을 카세트 유지 영역에 있는 카세트와 화학적 기계적 연마 시스템 사이에서 이송하도록 구성된 로봇, 로봇이 홈 위치로 이동하게 하도록 구성된 컴퓨터 제어기, 로봇으로의 전력 공급 라인에 있는 회로 차단기, 도어가 열린 상태인지 여부를 검출하기 위한 도어 센서, 로봇이 홈 위치에 있는지 여부를 검출하기 위한 로봇 감지 센서, 및 도어 센서 및 로봇 감지 센서로부터 신호들을 수신하고, 도어가 열린 상태이고 로봇이 홈 위치에 없는 경우에 회로 차단기가 로봇으로의 전력을 차단하게 하도록 구성된 제어 회로를 포함한다.
또 다른 양상에서, 반도체 제조 시스템을 작동시키는 방법은, 로봇을 이용하여 기판들을 카세트 로딩 영역으로부터 화학적 기계적 연마 시스템으로 이송하는 단계, 카세트 로딩 영역에 대한 도어를 열고 기판들을 갖는 카세트를 카세트 유지 영역 내에 로딩하는 단계, 도어가 열린 상태인지 여부를 검출하는 단계, 로봇이 홈 위치에 있는지 여부를 검출하는 단계, 및 도어가 열린 상태이고 로봇이 홈 위치에 없다는 것을 검출한 것에 응답하여, 로봇으로의 전력을 차단하는 단계를 포함한다.
특정 구현들은 이하의 장점들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 로봇은, 팩토리 인터페이스 모듈에 대한 도어가 열린 상태일 때 홈 위치로부터 떨어져 이동하는 것이 방지될 수 있다. 인간 조작자의 안전이 유지될 수 있으면서, 시스템의 정지시간이 감소될 수 있다.
하나 이상의 구현의 세부사항들이 이하의 설명 및 첨부 도면들에 열거된다. 다른 양상들, 특징들 및 장점들은 설명 및 도면들로부터 그리고 청구항들로부터 명백할 것이다.
도 1은 화학적 기계적 연마 시스템을 포함하는 처리 시스템의 개략적인 사시도이다.
도 2는 화학적 기계적 연마 시스템을 포함하는 처리 시스템의 개략적인 평면도이다.
도 3은 홈 위치에 있는 로봇의 개략적인 측면도이다.
도 4는 로봇 연동부의 개략적인 블록도이다.
도 5는 로봇 연동부의 작동을 예시하는 흐름도이다.
다양한 도면들에서 유사한 참조 부호들은 유사한 요소들을 나타낸다.
조작자를 보호하기 위해, 카세트들이 화학적 기계적 연마 시스템에 로딩되거나 언로딩되어야 할 때 로봇이 고정화되는 것이 중요하다. 이를 달성하기 위한 하나의 기법은 도어들 상에 스위치를 갖는 것이고, 이 스위치는, 도어가 열린 상태일 때 로봇으로의 전력이 차단되도록 로봇의 접촉기들(사실상, 로봇을 위한 회로 차단기)에 연결된다. 로봇으로의 전력을 완전히 차단하는 것은, 다양한 상태 또는 국가 산업 안전 규정들에 의해 요구될 수 있다. 불행하게도, 로봇으로의 전력이 일단 차단되면, 도어들이 닫힌 후에 로봇을 재시작하는 것은 로봇의 완전한 재초기화를 필요로 할 수 있으며, 이는 시간 소모적(예를 들어, 80 초 초과)일 수 있고, 처리량을 감소시킨다.
로봇이 홈 위치로부터 이동할 때 로봇 접촉기들을 촉발할 센서 시스템을 카세트 유지 영역에 배치함으로써, 로봇의 재초기화를 요구하지 않고 도어들이 열리는 것을 허용하면서 조작자 안전이 유지될 수 있다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 시스템(10)은 기판 로딩 장치(30)에 인접하여 위치된 화학적 기계적 연마 시스템(20)을 포함한다. 기판 로딩 장치(30)는 투명할 수 있는 벽(102)에 의해 에워싸인 카세트 유지 영역(100)을 포함한다. 카세트 로딩 영역(32) 및/또는 카세트 스테이징 영역(33)(도 2 참고)을 포함할 수 있는 카세트 유지 영역(100)(도 1 참고)에 대한, 설비 조작자에 의한 접근을 허용하기 위해 도어(104)가 벽(102)에 위치된다. 벽(102)은 카세트 로딩 영역(32)을 에워쌀 수 있다(도 2 참고). 애퍼쳐(103)(도 1 및 3 참고)는 카세트 로딩 영역(32)과 카세트 스테이징 영역(33) 간의 접근을 제공할 수 있다.
기판 로딩 장치(30)는 또한, 기판들을 유지 영역(100), 예를 들어, 카세트 스테이징 영역(33)에 있는 카세트들과 화학적 기계적 연마 시스템(20) 사이에서 이송하기 위해, 로봇(110), 예를 들어, 습식 로봇을 포함한다. 로봇(110)은 또한, 카세트들을 로딩 영역(32)과 스테이징 영역(33) 사이에서 이송하는 데에 사용될 수 있다.
기판(40)은 하나 이상의 카세트(42)에 있는 상태로 기판 처리 시스템(10)으로 수송된다. 조작자는 도어(104)를 열고, 카세트(42)를 로딩 영역(32), 예를 들어, 지지부 상에 배치하고, 그 다음에 도어(104)를 닫는다. 그 다음, 로봇(110)은 카세트(42)를 로딩 영역(32)으로부터 스테이징 영역(33)으로 이송한다. 대안적으로, 도어(104)가 스테이징 영역(33)으로 직접 이어지는 경우, 그러면 조작자는 카세트(42)를 스테이징 영역(33) 내에 직접 배치할 수 있다.
그 다음, 하나 이상의 기판(40)이 로봇(110)에 의해 스테이징 영역(33)에서 카세트(42)로부터 추출되고, 화학적 기계적 연마 시스템(20) 내로 로딩된다. 그 다음, 연마 시스템(20)은 기판들(40)을 연마하고, 그 다음, 로봇(110)은 기판들(40)을 스테이징 영역(33)에 있는 원래의 카세트(42) 또는 상이한 카세트로 복귀시킨다. 카세트(42)에 있는 기판들에 대해 원하는 연마 작동들이 일단 완료되면, 로봇은 카세트(42)를 다시 로딩 영역(32)으로 이송할 수 있고, 조작자는 도어(104)를 열고 카세트(42)를 제거하고 그 다음에 도어를 닫을 수 있다(또는 도어의 일부 위치들의 경우, 조작자는 카세트를 스테이징 영역(33)으로부터 직접 제거할 수 있다).
기판 처리 시스템(10)의 작동들, 예컨대, 로봇(110)의 움직임은 제어기(90)에 의해 조정될 수 있고, 제어기는 제어 소프트웨어를 실행하는 하나 이상의 프로그램가능 디지털 컴퓨터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제어기(90)는 CPU(92), 소프트웨어를 저장하기 위한 메모리(94), 및 다른 지원 회로들(96), 예를 들어, 입력/출력 디바이스들, 저장 디바이스들 등을 포함할 수 있다.
화학적 기계적 연마 시스템(20)은 캘리포니아주 산타 클라라 소재의 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드(Applied Materials, Inc.)에 의해 제조된 미라®(Mirra®) 화학적 기계적 연마기일 수 있다. 연마기의 설명은 미국 특허 제5,738,574호에서 찾아볼 수 있다.
연마 시스템(20)은, 테이블 최상부(23)가 장착된 하부 기계 베이스(22) 및 착탈식 상부 외측 커버(24)를 포함할 수 있다. 기계 베이스는 일련의 연마 스테이션들(2개의 스테이션들(50a 및 50c)이 가시적임) 및 이송 스테이션(70)을 지지할 수 있다. 연마 시스템(20)은 또한, 캐리어 헤드 수송 메커니즘(80), 예컨대, 회전가능한 캐러셀로부터 현수되는 하나 이상의 캐리어 헤드(82)(도 3 참고)를 포함할 수 있다. 각각의 연마 스테이션은, 연마 패드가 배치되는 회전가능한 플래튼, 및 연마 패드를 연마된 상태로 유지하기 위한 연관된 패드 컨디셔너 장치(60)를 포함한다.
이송 스테이션(70)은, 개별 기판들(40)을 로봇(110)을 통해 로딩 장치(30)로부터 수용하고, 기판(40)을 캐리어 헤드들에 로딩하고, 기판들(40)을 다시 캐리어 헤드들로부터 수용하고, 최종적으로, 다시 로딩 장치(30)로 운반될 기판들을 다시 로봇(110)으로 이송하는 다수의 기능들을 제공한다. 이송 스테이션(70)은 또한, 연마 작동 이전 및/또는 이후에 기판들을 아마도 헹구거나 세척할 수 있다.
슬러리 및 다른 연마 파편을 연마 장치(20) 내에 담아두고 카세트 유지 영역(100)으로부터 떨어져 있게 하기 위해, 연마 장치(20)와 웨이퍼 로딩 장치(30) 사이에 벽(106)(도 2 참고)이 개재될 수 있다. 로봇(110)에 의한, 연마 시스템(20)과 로딩 장치(30) 사이의 기판들의 이송을 위해, 포트(108)(도 2 참고), 예컨대, 개구부 또는 슬라이딩 도어가 벽(106)에 위치될 수 있다. 벽(106)은, 웨이퍼 로딩 영역 장치(30)를 포함하는 청정실과 연마 장치(20)를 포함하는 더 더러운 영역 사이의 장벽으로서 작용할 수 있다.
일부 구현들에서, 카세트 스테이징 영역(33)은 카세트들(42)을 수용하기 위해 액체 수조(38), 예컨대, 탈이온수로 채워진 유지 욕조(36)를 포함한다. 수조는 카세트들(42) 및 카세트들에 포함된 웨이퍼들(40)이 침지되도록 충분히 깊을 수 있다. 대안적으로, 카세트들(42)은 단순히, 카세트 스테이징 영역(33)의 지지부, 예컨대, 스탠드 또는 선반 상에, 또는 바닥 상에 배치될 수 있다.
로봇(110)은 오버헤드 트랙(114)으로부터 하강 대기중인 연장가능한 암(112)을 포함할 수 있다. 로봇(110)의 암(112)의 하단부는 웨이퍼 블레이드(118) 및/또는 카세트 갈고리(119) 모두를 포함하는 손목 조립체(116)를 포함할 수 있다. 카세트 로딩 영역(32)이 사용되는 경우, 카세트 갈고리(119)는 로딩 영역(32)과 스테이징 영역(33)사이에서 카세트들(42)을 이동시키도록 작동될 수 있다. 웨이퍼 블레이드(118)는 기판들(40)을 카세트 스테이징 영역(33)에 있는 카세트들(42)과 이송 스테이션(70) 사이에서 이동시키도록 작동될 수 있다.
도 1 및 나머지 도면들이, 이송 스테이션(70)으로부터 떨어져 기계 베이스(22)의 측 상에 배치된 로딩 영역(32)을 도시하지만, 이러한 예시는 단지 개략적이고, 다른 구성들이 가능하다. 추가적으로, 다른 구성요소들, 예컨대, 웨이퍼 세정기, 웨이퍼 건조기, 계측 스테이션 등이 기판 처리 시스템(10) 내에 통합될 수 있다.
도 2를 참조하면, 제어기(90)는, 예를 들어, 카세트들(42)과 이송 스테이션(70) 사이에서 기판들을 달리 이동시키지 않을 때, 또는 사용자에 의해 명령될 때, 로봇(110)의 하강하는 암(112)이 홈 위치(34)로 복귀하게 하도록 구성될 수 있다. 홈 위치는 카세트 스테이징 영역(33)에, 예를 들어, 화학적 기계적 연마 시스템(20)에 대한 도어(108)에 인접한 곳에 있을 수 있다.
처리 시스템(10)은 또한, 카세트 유지 영역(100)에 대한 도어(104)가 열린 상태인 동안 로봇(110)이 이동하는 것을 방지하지만, 로봇이 유지 위치(34)에 있을 때 로봇(110)으로의 전력을 차단하지 않기 위해 로봇 연동부(120)(도 4 참고)를 포함한다. 이는, 로봇(110)의 재초기화를 요구하지 않고 도어(104)가 열린 상태인 것을 허용하면서 조작자 안전을 유지할 수 있다.
도 4를 참조하면, 로봇(110)을 위한 전력은 전력 공급부(122)로부터 접촉기(124), 예를 들어, 회로 차단기를 통해 로봇으로 지향된다. 접촉기(124)는, 여러 센서들에 결합되는 제어 회로(126)에 의해 (로봇(110)으로의 전력이 차단되도록) 작동될 수 있다. 접촉기(124)는, 일단 작동되면, 로봇(110)으로의 전력을 복원하기 위해 수동으로 "뒤집힐" 필요가 있도록 구성될 수 있다.
도 2를 참조하면, 도어(104)는 도어(104)가 열렸는지 닫혔는지 여부를 나타내는 신호를 생성하는 스위치(105)를 포함한다.
추가적으로, 도 3을 참조하면, 로봇 연동부(120)는 로봇(110)이 홈 위치(34)에 있는지 여부를 검출하기 위한 하나 이상의 로봇 감지 센서를 포함한다. 일부 구현들에서, 로봇 연동부는 암(112)의 움직임을 검출하기 위한 제1 센서(130) 및 로봇 엔드 이펙터, 즉, 웨이퍼 블레이드(118) 또는 카세트 갈고리(119)의 움직임을 검출하기 위한 제2 센서(140)를 포함한다.
예로서, 제1 센서(130)는, 제1 빔 방출기(132), 예를 들어, LED, 및 제1 검출기(134), 예를 들어, 광 검출기를 포함하는 쓰루-빔 센서를 포함할 수 있다. 제1 빔 방출기(132)는, 로봇(110)이 홈 위치에 있을 때 암(112)이 위치되어야 하는 위치를 통과하는 (가시적 또는 비가시적 광일 수 있는) 광 빔(136)을 생성하도록 구성된다. 제1 검출기(134)는 빔이 암(112)에 의해 차단되지 않을 때 빔을 수신하도록 위치된다. 따라서, 제1 검출기(134)가 광 빔(136)을 검출하는 경우, 이는 암(112)이 유지 위치에 있지 않다는 것을 나타낸다.
유사하게, 제1 센서(130)는, 제2 빔 방출기(142), 예를 들어, LED, 및 제2 검출기(144), 예를 들어, 광 검출기를 포함하는 쓰루-빔 센서를 포함할 수 있다. 제2 빔 방출기(142)는, 로봇(110)이 홈 위치에 있을 때 엔드 이펙터, 예를 들어, 웨이퍼 블레이드(118)가 위치되어야 하는 위치를 통과하는 (가시적 또는 비가시적 광일 수 있는) 광 빔(146)을 생성하도록 구성된다. 제2 검출기(144)는 빔이 암(112)에 의해, 예를 들어, 엔드 이펙터에 의해 차단되지 않을 때 빔을 수신하도록 위치된다. 따라서, 제2 검출기(144)가 광 빔(146)을 검출하는 경우, 이는 암(112), 예를 들어, 엔드 이펙터가 홈 위치에 있지 않다는 것을 나타낸다.
도 5를 참조하면, 제어 회로(126)는 다음과 같이 작동한다. 도어 센서(105)로부터의 신호가 도어(104)가 닫힌 상태인 것을 나타내는 경우, 그러면, 하나 이상의 센서(130, 140)로부터의 신호들과 관계없이 로봇으로의 전력이 유지될 수 있다. 한편, 도어 센서(105)로부터의 신호가 도어(104)가 열린 상태인 것을 나타내고, 어느 하나의 센서(130, 140)가 로봇(110)이 홈 위치(105)로부터 이동했다는 것을 나타내는 경우, 그러면 제어 회로(126)는 접촉기(124)를 작동시키고, 전력은 로봇(110)으로부터 차단된다. 이는, 추가적인 작동들이 수행될 수 있기 전에 로봇의 재초기화를 요구할 수 있다. 그러나, 도어 센서(105)로부터의 신호가 도어(104)가 열린 상태인 것을 나타내지만, 센서들(130, 140) 양쪽 모두가 로봇(110)이 홈 위치에 있다는 것을 나타내는 경우, 로봇으로의 전력은 유지된다. 이는, 로봇(110)으로의 전력을 차단하지 않고, 카세트들(42)이 카세트 유지 영역(100)내에 로딩될 수 있도록 도어(104)가 열리는 것을 허용하며, 따라서, 조작자 안전을 유지하면서 로봇의 정지시간을 피하고 장치의 처리량을 증가시킨다. 제어 회로(126), 센서들(105, 130 및 140)은 모두, 예를 들어, 아날로그 회로를 이용하여 고정배선될 수 있고, 이로써, 전력 차단은 소프트웨어에 의해 불능화될 수 없다.
제어 회로(126)는 조작자가 로봇으로의 전력을 수동으로 차단할 필요가 있는 경우에 수동 전력 차단 스위치(예를 들어, 버튼)를 포함할 수 있다. 제어 회로(126)는 또한, 로봇이 홈 위치에 있지 않고 도어가 열린 상태일 때 위에서 설명된 바와 같이 자동 전력 차단 이후 또는 수동 전력 차단 이후에, 조작자가 로봇(110)으로의 전력을 복원하기 위해 접촉기(124)를 "뒤집을" 수 있도록, 수동으로 작동되는 전력 복원 스위치, 예를 들어, 버튼을 포함할 수 있다.
제어기(90)의 기능적 작동들은, 디지털 전자 회로를 통해, 또는, 본 명세서에 개시된 구조적 수단들 및 그의 구조적 등가물들을 포함하는, 컴퓨터 소프트웨어, 펌웨어, 또는 하드웨어로, 또는 그들의 조합들로 구현될 수 있다.
제어기(90)의 기능적 작동들은, 하나 이상의 컴퓨터 프로그램 제품을 통해, 즉, 하나 이상의 컴퓨터 프로그램(데이터 처리 장치, 예를 들어, 프로그램가능 프로세서, 컴퓨터, 또는 다수의 프로세서들 또는 컴퓨터들에 의한 실행을 위해, 또는 그의 작동을 제어하기 위해, 정보 캐리어에, 예를 들어, 비일시적 기계 판독가능 저장 매체에 또는 전파 신호에 유형적으로 구체화됨)으로 구현될 수 있다. 컴퓨터 프로그램(또한, 프로그램, 소프트웨어, 응용 소프트웨어, 또는 코드로 알려져 있음)은, 컴파일된 또는 해석된 언어들을 포함하는 임의의 형태의 프로그래밍 언어로 작성될 수 있고, 컴퓨터 프로그램은, 독립형 프로그램으로서, 또는 모듈, 컴포넌트, 서브루틴, 또는 컴퓨팅 환경에서 사용하기에 적합한 다른 유닛으로서를 포함하여, 임의의 형태로 배포될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 반드시 파일에 대응하지는 않는다. 프로그램은 다른 프로그램들 또는 데이터를 보유하는 파일의 일부에, 해당 프로그램에 전용인 단일 파일에, 또는 다수의 협력 파일들(예를 들어, 하나 이상의 모듈, 서브 프로그램들 또는 코드의 부분들을 저장하는 파일들)에 저장될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 하나의 컴퓨터 상에서, 또는 한 장소에 있거나 다수의 장소들에 걸쳐 분산되고 통신 네트워크에 의해 상호연결된 다수의 컴퓨터들 상에서 실행되도록 배포될 수 있다.
본 발명의 다수의 실시예들이 설명되었다. 그럼에도 불구하고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 수정들이 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다. 이에 따라, 다른 실시예들은 다음의 청구항들의 범위 내에 있다.

Claims (15)

  1. 반도체 제조 시스템으로서,
    화학적 기계적 연마 시스템;
    벽에 의해 에워싸인 카세트 유지 영역 ― 상기 카세트 유지 영역은, 하나 이상의 카세트를 상기 카세트 유지 영역 내에 배치하기 위해 조작자에 의해 열림가능한 도어를 가짐 ―;
    기판들을 상기 카세트 유지 영역에 있는 카세트와 상기 화학적 기계적 연마 시스템 사이에서 이송하도록 구성된 로봇;
    상기 로봇이 홈 위치로 이동하게 하도록 구성된 컴퓨터 제어기;
    상기 로봇으로의 전력 공급 라인에 있는 회로 차단기;
    상기 도어가 열린 상태인지 여부를 검출하기 위한 도어 센서;
    상기 로봇이 상기 홈 위치에 있는지 여부를 검출하기 위한 로봇 감지 센서; 및
    상기 도어 센서 및 상기 로봇 감지 센서로부터 신호들을 수신하고, 상기 도어가 열린 상태이고 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있지 않은 경우에 상기 회로 차단기가 상기 로봇으로의 전력을 차단하게 하도록 구성된 제어 회로를 포함하는, 반도체 제조 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로봇 감지 센서는, 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 일부가 있어야 하는 위치를 통해 광 빔을 지향시키도록 구성되는 빔 방출기, 및 상기 빔이 상기 로봇에 의해 차단되지 않을 때 상기 빔을 수신하도록 위치되는 검출기를 포함하는, 반도체 제조 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 빔 방출기는 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 암이 있어야 하는 위치를 통해 상기 광 빔을 지향시키도록 구성되는, 반도체 제조 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 빔 방출기는 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 엔드 이펙터가 있어야 하는 위치를 통해 상기 광 빔을 지향시키도록 구성되는, 반도체 제조 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 로봇 감지 센서는, 상기 로봇의 암의 움직임을 검출하기 위한 제1 센서, 및 상기 로봇의 엔드 이펙터의 움직임을 검출하기 위한 제2 센서를 포함하는, 반도체 제조 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 센서는, 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 암이 있어야 하는 위치를 통해 제1 광 빔을 지향시키도록 구성되는 제1 빔 방출기, 및 상기 빔이 상기 암에 의해 차단되지 않을 때 상기 제1 광 빔을 수신하도록 위치되는 제1 검출기를 포함하고, 상기 제2 센서는, 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 엔드 이펙터가 있어야 하는 위치를 통해 제2 광 빔을 지향시키도록 구성되는 제2 빔 방출기, 및 상기 빔이 상기 엔드 이펙터에 의해 차단되지 않을 때 상기 제2 광 빔을 수신하도록 위치되는 제2 검출기를 포함하는, 반도체 제조 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 카세트 유지 영역은 카세트 로딩 영역 및 카세트 스테이징 영역을 포함하고, 상기 로봇은 상기 카세트를 상기 로딩 영역과 상기 스테이징 영역 사이에서 이송하도록 구성되는, 반도체 제조 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 홈 위치는 상기 스테이징 영역에 있는, 반도체 제조 시스템.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 로봇은 기판을 상기 스테이징 영역에 있는 상기 카세트로부터 제거하고 상기 기판을 상기 화학적 기계적 연마 시스템의 이송 스테이션에 배치하도록 구성되는, 반도체 제조 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 로봇은 상기 기판을 상기 화학적 기계적 연마 시스템의 상기 이송 스테이션으로부터 회수하고 상기 기판을 상기 스테이징 영역에 있는 카세트로 복귀시키도록 구성되는, 반도체 제조 시스템.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 카세트 유지 영역과 상기 화학적 기계적 연마 시스템 사이의 벽, 및 상기 로봇에 의해 기판들을 상기 카세트 유지 영역과 상기 화학적 기계적 연마 시스템 사이에서 이송하기 위한, 상기 벽의 포트를 포함하고, 상기 홈 위치는 상기 포트에 인접하는, 반도체 제조 시스템.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제어 회로는 상기 회로 차단기가 상기 로봇으로의 전력을 복원하게 하는 수동으로 작동되는 전력 복원 스위치를 포함하는, 반도체 제조 시스템.
  13. 반도체 제조 시스템을 작동시키는 방법으로서,
    로봇을 이용하여 기판들을 카세트 유지 영역으로부터 화학적 기계적 연마 시스템으로 이송하는 단계;
    상기 카세트 유지 영역에 대한 도어를 열고 기판들을 갖는 카세트를 상기 카세트 유지 영역 내에 로딩하는 단계;
    상기 도어가 열린 상태인지 여부를 검출하는 단계;
    상기 로봇이 홈 위치에 있는지 여부를 검출하는 단계; 및
    상기 도어가 열린 상태이고 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있지 않다는 것을 검출한 것에 응답하여, 상기 로봇으로의 전력을 차단하는 단계를 포함하는, 반도체 제조 시스템을 작동시키는 방법.
  14. 제17항에 있어서,
    상기 로봇이 상기 홈 위치에 있는지 여부를 검출하는 단계는, 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 일부가 있어야 하는 위치를 통해 광 빔을 지향시키는 것을 포함하는, 반도체 제조 시스템을 작동시키는 방법.
  15. 제18항에 있어서,
    상기 로봇이 상기 홈 위치에 있는지 여부를 검출하는 단계는, 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 암이 있어야 하는 위치를 통해 제1 광 빔을 지향시키는 것, 및 상기 로봇이 상기 홈 위치에 있을 때 상기 로봇의 엔드 이펙터가 있어야 하는 위치를 통해 제2 광 빔을 지향시키는 것을 포함하는, 반도체 제조 시스템을 작동시키는 방법.
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