JP2001127132A

JP2001127132A - 基板処理装置

Info

Publication number: JP2001127132A
Application number: JP30226899A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Kawamatsu; 康夫川松; Kazuhiro Nishimura; 和浩西村
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-10-25
Filing date: 1999-10-25
Publication date: 2001-05-11

Abstract

(57)【要約】【課題】扉が開放されている処理部に搬送手段が進入
しようとしたときのみ確実に搬送手段を停止させる基板
処理装置を提供する。【解決手段】処理部の扉が開放されたことを検知した
扉センサ４０はリレー２８に検知信号を出力する。検知
信号が入力されたリレー２８は、エリアセンサ電源２５
とエリアセンサ２０とを電通し、エリアセンサ２０に電
力供給を行って、エリアセンサ２０を作動させる。その
状態において当該処理部に搬送ロボットＴＲ２が進入し
たときに、エリアセンサ２０がその旨を検知し、リレー
５３に検知信号を出力する。検知信号が入力されたリレ
ー５３は、駆動電源５０と搬送ロボットＴＲ２とを遮断
し、搬送ロボットＴＲ２の動作を停止させる。従って、
処理部の扉が開放され、かつその処理部に搬送ロボット
ＴＲ２が進入したときにのみ、搬送ロボットＴＲ２の動
作が停止されることとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、それぞれが扉を備
えた回転式塗布処理部等の複数の処理部を有し、搬送手
段によってそれら複数の処理部間で半導体基板、液晶表
示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光デ
ィスク用基板等（以下、「基板」と称する）の搬送を行
う基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、上記のような基板に対しては、
レジスト塗布処理、露光処理、現像処理およびそれらに
付随する熱処理を順次に行わせることにより一連の基板
処理を達成している。これらの各処理は、それぞれ専用
の処理部において行われるものであり、搬送ロボットに
よって各処理部に基板を循環搬送することにより、その
基板に対して順次に処理を行うようにしている。そし
て、このような各処理部や搬送ロボットによって基板処
理装置は構成されているのである。各処理部のうち特に
レジスト塗布処理を行う回転式塗布処理部（スピンコー
タ）や現像処理を行う回転式現像処理部（スピンデベロ
ッパ）は、基板を回転させつつ所定の表面処理を行う処
理部であり、スピンユニットと称されている。

【０００３】これらのスピンユニットは、基板を回転さ
せるための回転駆動部を備えているため随時メンテナン
スが必要であり、スピンユニットの外壁にはメンテナン
スを行うための扉が設けられている。スピンユニットの
メンテナンスを行う際には、作業者がその扉を開けて所
定の作業を行う。

【０００４】作業者がスピンユニットのメンテナンスを
行っているときに搬送ロボットがそのスピンユニットに
進入すると危険であるため、従来より、扉が開放されて
いるときには搬送ロボットが進入しないようなインター
ロック機構が設けられている。具体的には、扉が開放さ
れているときにスピンユニットに搬送ロボットが進入し
ようとすると、搬送ロボットへの駆動電力供給が遮断さ
れるように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、通常、基板
処理装置には複数のスピンユニットが設けられている。
従来においては、複数のスピンユニットのいずれかの扉
が開放されていると搬送ロボットへの駆動電力供給が遮
断され、搬送ロボットが停止されていた。

【０００６】このため、搬送ロボットによる基板の循環
搬送の対象とされていないスピンユニット、すなわち搬
送ロボットが進入する可能性のないスピンユニットのメ
ンテナンスを行う場合であっても、そのスピンユニット
の扉を開けることにより搬送ロボットが停止し、一連の
基板処理も中断していた。従って、循環搬送の対象とさ
れていないスピンユニットのメンテナンスを行う場合で
あっても、装置全体の処理を停止して行わなければなら
ず、効率が低下するという問題が生じていた。

【０００７】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、扉が開放されている処理部に搬送手段が進入し
ようとしたときのみ確実に搬送手段を停止させる基板処
理装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、それぞれが扉を備えた複数の処
理部を有し、搬送手段によって前記複数の処理部間で基
板の搬送を行う基板処理装置であって、前記複数の処理
部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放されていること
を検知する扉開放検知手段と、前記複数の処理部のそれ
ぞれに設けられ、それらの各処理部に前記搬送手段が進
入していることを検知する進入検知手段と、前記複数の
処理部のいずれかに設けられた前記扉開放検知手段が当
該処理部の扉が開放されていることを検知するととも
に、当該処理部に設けられた前記進入検知手段が当該処
理部への前記搬送手段の進入を検知したときに、前記搬
送手段を停止させる搬送停止制御手段と、を備えてい
る。

【０００９】また、請求項２の発明は、それぞれが扉を
備えた複数の処理部を有し、搬送手段によって前記複数
の処理部間で基板の搬送を行う基板処理装置であって、
前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放
されていることを検知する扉開放検知手段と、前記複数
の処理部のそれぞれに設けられ、それらの各処理部に前
記搬送手段が進入していることを検知する進入検知手段
と、前記複数の処理部のいずれかに設けられた前記扉開
放検知手段が当該処理部の扉が開放されていることを検
知したときに当該処理部に設けられた前記進入検知手段
を能動化させる第１スイッチ手段と、能動化された当該
進入検知手段が当該処理部への前記搬送手段の進入を検
知したときに、前記搬送手段への駆動電力の供給を遮断
する第２スイッチ手段と、を備えている。

【００１０】また、請求項３の発明は、それぞれが扉を
備えた複数の処理部を有し、搬送手段によって前記複数
の処理部間で基板の搬送を行う基板処理装置であって、
前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放
されていることを検知して開放信号を活性化する扉開放
検知手段と、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、
それらの各処理部に前記搬送手段が進入していることを
検知して進入信号を活性化する進入検知手段と、前記複
数の処理部のうちのいずれかの処理部についての前記開
放信号と当該処理部についての前記進入信号との論理積
によって得られる信号が活性化されているときに前記搬
送手段を停止させる搬送停止手段と、を備えている。

【００１１】

【発明の実施の形態】＜第１実施形態＞以下、図面を参
照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
まず、本発明に係る基板処理装置の全体構成について説
明する。図１は、本発明に係る基板処理装置の全体構成
を示す概略平面図である。

【００１２】図１に示すように、この実施の形態におい
ては、基板処理装置は、インデクサＩＤとユニット配置
部ＭＰとインターフェイスＩＦとを備えている。

【００１３】インデクサＩＤには基板Ｗを移載するため
の移載ロボットＴＲ１が設けられており、当該移載ロボ
ットＴＲ１が基板Ｗを収納容器であるキャリアＣから取
り出してユニット配置部ＭＰに払い出したり、所定の処
理が終了した基板Ｗをユニット配置部ＭＰから受け取っ
てキャリアＣに収納する。

【００１４】ユニット配置部ＭＰには、その４隅に基板
Ｗに処理液による処理を施す液処理部として、基板Ｗを
回転させつつレジスト塗布処理を行う回転式塗布処理部
（スピンコータ）ＳＣ１、ＳＣ２と、露光後の基板Ｗを
回転させつつ現像液を供給して現像処理を行う回転式現
像処理部（スピンデベロッパ）ＳＤ１、ＳＤ２とが設け
られている。また、回転式塗布処理部ＳＣ１、ＳＣ２の
間に基板Ｗに純水等の洗浄液を供給して基板Ｗを回転洗
浄する回転式洗浄処理部（スピンスクラバ）ＳＳが配置
されている。これら液処理部（回転式塗布処理部ＳＣ
１、ＳＣ２、回転式現像処理部ＳＤ１、ＳＤ２および回
転式洗浄処理部ＳＳ）はいずれもいわゆるスピンユニッ
トであり、それぞれその外壁部分にメンテナンス用の扉
を有している。

【００１５】これらの液処理部の上側には、図示してい
ないが基板Ｗを冷却処理するクールプレート部や加熱処
理するホットプレート部等の熱処理を行う複数の熱処理
部が配置されている。

【００１６】ユニット配置部ＭＰの中央部には搬送ロボ
ットＴＲ２が設けられている。搬送ロボットＴＲ２は、
２つの搬送アームＡＲ１，ＡＲ２を備えている。そし
て、搬送ロボットＴＲ２は、鉛直方向の昇降動作と鉛直
方向を軸とする回転動作が可能であるとともに、搬送ア
ームＡＲ１，ＡＲ２を水平面内にて進退移動させること
ができるように構成されている。これにより、搬送ロボ
ットＴＲ２は、搬送アームＡＲ１，ＡＲ２を３次元的に
移動させることができ、ユニット配置部ＭＰに配置され
る全ての液処理部および熱処理部に対して搬送アームＡ
Ｒ１または搬送アームＡＲ２をアクセスさせることがで
きる。

【００１７】この基板処理装置において基板Ｗの処理を
行うときには、搬送ロボットＴＲ２が基板Ｗを液処理部
や熱処理部の間で順次に搬送することによってその基板
Ｗに対する一連の表面処理を行わせる。

【００１８】インターフェイスＩＦは、ユニット配置部
ＭＰにおいてレジストの塗布が終了した基板Ｗを図示し
ない露光装置側に渡したり露光後の基板Ｗを露光装置側
から受け取るために設けられているものである。

【００１９】なお、本実施形態においては、搬送ロボッ
トＴＲ２が搬送手段に相当し、各液処理部が扉を備えた
複数の処理部に相当する。

【００２０】次に、本実施形態におけるスピンユニット
の構成について、回転式現像処理部ＳＤ２を例として説
明する。図２は、回転式現像処理部ＳＤ２の概略構成を
示す平面図である。回転式現像処理部ＳＤ２は、回転台
１０と、エリアセンサ２０と、扉３０と、扉センサ４０
とを備えている。

【００２１】回転台１０は、基板Ｗを保持するととも
に、その下方に設けられた回転駆動機構（図示省略）に
よって回転可能に構成されている。基板Ｗの現像処理を
行うときには、回転台１０によって保持された基板Ｗを
回転させつつ、その基板Ｗに現像液を供給する。

【００２２】搬送ロボットＴＲ２は、搬送アームＡＲ
１，ＡＲ２を矢印Ａ１にて示すように、回転式現像処理
部ＳＤ２の開口ＯＰから進入させて、回転台１０に基板
Ｗを渡したり、回転台１０から現像処理済みの基板Ｗを
受け取ったりする。

【００２３】回転式現像処理部ＳＤ２の開口ＯＰの近傍
には、エリアセンサ２０が設けられている。エリアセン
サ２０は、投光部２０ａと受光部２０ｂとにより構成さ
れている。エリアセンサ２０の作動中においては、投光
部２０ａから受光部２０ｂに向けて光が出射される。そ
して、受光部２０ｂが投光部２０ａからの光の入射を検
出しなくなったとき、すなわち投光部２０ａから受光部
２０ｂに向けた光が遮断されたときに、検知信号を出力
するように構成されている。投光部２０ａから受光部２
０ｂに向けた光が遮断されるときとは、通常開口ＯＰか
ら回転式現像処理部ＳＤ２内に搬送アームＡＲ１または
搬送アームＡＲ２が進入しているときである。つまり、
エリアセンサ２０は、回転式現像処理部ＳＤ２に搬送ロ
ボットＴＲ２が進入していることを検知する進入検知手
段に相当する。

【００２４】また、回転式現像処理部ＳＤ２の外壁には
扉３０が設けられている。扉３０は、矢印Ａ２にて示す
ように、開閉自在に構成されている。この扉３０は、作
業者が回転式現像処理部ＳＤ２のメンテナンスを行うた
めに設けられているものである。すなわち、作業者が回
転式現像処理部ＳＤ２のメンテナンスを行うときには扉
３０を開放し、回転式現像処理部ＳＤ２の内部にて所定
の作業を行うこととなる。なお、通常の基板処理時にお
いては、扉３０が閉鎖されていることは勿論である。

【００２５】扉３０の近傍には扉センサ４０が設けられ
ている。扉センサ４０は、光を出射し、その反射光を受
光する反射型センサである。すなわち、扉３０が閉鎖さ
れているときには扉センサ４０から出射された光が扉３
０によって反射され、その反射された光が扉センサ４０
によって受光される。一方、扉３０が開放されていると
きには扉センサ４０から出射された光は反射されず、扉
センサ４０によって反射光が受光されることもない。そ
して、扉センサ４０は、反射光を受光しないときに検知
信号を出力するように構成されている。換言すれば、扉
センサ４０は、回転式現像処理部ＳＤ２の扉３０が開放
されていることを検知する扉開放検知手段に相当する。

【００２６】次に、扉センサ４０、エリアセンサ２０お
よび搬送ロボットＴＲ２の電気的な構成について説明す
る。図３は、第１実施形態における扉センサ４０、エリ
アセンサ２０および搬送ロボットＴＲ２の電気的な構成
を示すブロック図である。

【００２７】上述の如く、扉センサ４０は、扉３０が開
放されているときに検知信号を出力する。リレー２８
（第１スイッチ手段）は、扉センサ４０からの信号入力
があったときに、エリアセンサ電源２５とエリアセンサ
２０とを電通させる。なお、扉センサ４０からリレー２
８への信号入力がない状態においては、エリアセンサ電
源２５とエリアセンサ２０とは電気的に遮断された状態
となっている。つまり、回転式現像処理部ＳＤ２の扉３
０が開放され、扉センサ４０が扉３０の開放状態を検知
したときに、リレー２８はエリアセンサ電源２５とエリ
アセンサ２０とを電通させ、エリアセンサ２０に電力を
供給して能動化させるのである。一方、回転式現像処理
部ＳＤ２の扉３０が閉鎖されている状態においては、エ
リアセンサ２０に電力供給が行われず、エリアセンサ２
０は作動しない。

【００２８】エリアセンサ２０が作動し、回転式現像処
理部ＳＤ２に搬送ロボットＴＲ２（厳密には、搬送アー
ムＡＲ１または搬送アームＡＲ２）が進入していること
を検知するとエリアセンサ２０は検知信号を出力する。
リレー５３（第２スイッチ手段）は、エリアセンサ２０
からの信号入力があったときに、駆動電源５０と搬送ロ
ボットＴＲ２とを電気的に遮断する。なお、エリアセン
サ２０からリレー５３への信号入力がない状態において
は、駆動電源５０と搬送ロボットＴＲ２とは電通された
状態となっている。つまり、回転式現像処理部ＳＤ２に
搬送ロボットＴＲ２が進入し、エリアセンサ２０がその
進入を検知したときに、リレー５３は駆動電源５０と搬
送ロボットＴＲ２とを電気的に遮断し、搬送ロボットＴ
Ｒ２への駆動電力の供給を遮断し、その動作を停止させ
るのである。一方、回転式現像処理部ＳＤ２に搬送ロボ
ットＴＲ２が進入していない状態においては、搬送ロボ
ットＴＲ２に駆動電源５０から電力供給が行われ続け、
搬送ロボットＴＲ２の動作が停止することはない。

【００２９】以上のように、回転式現像処理部ＳＤ２の
扉３０が開放されることによってエリアセンサ２０に電
力供給が行われ、エリアセンサ２０が作動する。そし
て、その状態において回転式現像処理部ＳＤ２に搬送ロ
ボットＴＲ２が進入したときに、搬送ロボットＴＲ２へ
の駆動電力の供給が遮断され、その動作が停止されるの
である。従って、回転式現像処理部ＳＤ２の扉３０が開
放され、かつ回転式現像処理部ＳＤ２に搬送ロボットＴ
Ｒ２が進入したときに、搬送ロボットＴＲ２の動作が停
止されることとなる。

【００３０】以上、本実施形態におけるスピンユニット
の配置構成および電気的なインターロックの構成につい
て、回転式現像処理部ＳＤ２を例として説明したが、他
のスピンユニット（回転式塗布処理部ＳＣ１、ＳＣ２、
回転式現像処理部ＳＤ１および回転式洗浄処理部ＳＳ）
も同様の構成を有している。すなわち、他のスピンユニ
ットもそれぞれ搬送ロボットＴＲ２の進入を検知するエ
リアセンサ、メンテナンス用の扉、扉が開放されている
ことを検知する扉センサを備えている。そして、各スピ
ンユニットごとに、扉が開放されることによってエリア
センサに電力供給が行われてエリアセンサが作動し、そ
の状態において当該スピンユニットに搬送ロボットＴＲ
２が進入したときに、搬送ロボットＴＲ２への駆動電力
の供給が遮断され、その動作が停止されるのである。

【００３１】このようにすれば、いずれかのスピンユニ
ットの扉が開放されただけでは搬送ロボットＴＲ２の動
作は停止せず、扉が開放されているスピンユニットに搬
送ロボットＴＲ２が進入したときのみ、搬送ロボットＴ
Ｒ２の動作が確実に停止される。従って、例えば回転式
現像処理部ＳＤ２が循環搬送の対象となっていない場合
には、作業者がその扉３０を開けても搬送ロボットＴＲ
２の動作は停止しないため、基板処理装置における一連
の基板処理を中断することなく、それと並行して回転式
現像処理部ＳＤ２のメンテナンスを行うことができる。
その結果、装置全体として効率の良いメンテナンス作業
を行うことができる。

【００３２】また、作業者が例えば回転式現像処理部Ｓ
Ｄ２の扉３０を開けてメンテナンス作業を行っていると
きに、搬送ロボットＴＲ２が回転式現像処理部ＳＤ２に
進入しようとすると、搬送ロボットＴＲ２への駆動電力
の供給が遮断され、その動作が停止されるため、安全で
ある。

【００３３】なお、いずれのスピンユニットの扉が開放
されているかを検知し、そのスピンユニットへの搬送ロ
ボットＴＲ２の進入の禁止を処理プログラムによってソ
フトウェア的に実現することも可能であるが、本実施形
態のようにリレーを用いてハードウェア的に搬送ロボッ
トＴＲ２の動作を停止させた方がより安全性が高い。

【００３４】＜第２実施形態＞第２実施形態の基板処理
装置の機械的な構成は第１実施形態の基板処理装置と同
じであるため、その説明は省略するとともに、以下の説
明においても同じ要素については上記と同じ符号を用い
る。第２実施形態の基板処理装置が第１実施形態の基板
処理装置と異なる点は、扉センサ、エリアセンサおよび
搬送ロボットＴＲ２の電気的な構成である。以下、この
点につき、回転式現像処理部ＳＤ２を例として説明す
る。

【００３５】図４は、第２実施形態における扉センサ４
０、エリアセンサ２０および搬送ロボットＴＲ２の電気
的な構成を示すブロック図である。

【００３６】第１実施形態と同様に、扉センサ４０は、
扉３０が開放されているときに検知信号を出力する。換
言すれば、扉センサ４０は、扉３０が開放されているこ
とを検知して開放信号を活性化する（出力レベルを”
０”から”１”にする）のである。

【００３７】一方、エリアセンサ２０は、回転式現像処
理部ＳＤ２に搬送ロボットＴＲ２が進入していることを
検知すると検知信号を出力する。換言すれば、エリアセ
ンサ２０は、回転式現像処理部ＳＤ２に搬送ロボットＴ
Ｒ２が進入していることを検知して進入信号を活性化す
るのである。なお、第２実施形態においては、扉３０の
開閉状態にかかわらず、常にエリアセンサ２０に電力供
給が行われ、エリアセンサ２０は作動状態にある。

【００３８】第２実施形態においては、扉センサ４０お
よびエリアセンサ２０は、ＡＮＤ回路６０に接続されて
いる。ＡＮＤ回路６０は、扉センサ４０からの開放信号
とエリアセンサ２０からの進入信号との論理積を導きリ
レー５５に出力する。従って、回転式現像処理部ＳＤ２
の扉３０が開放されて扉センサ４０からの開放信号が活
性化状態にあり、かつ回転式現像処理部ＳＤ２に搬送ロ
ボットＴＲ２が進入してエリアセンサ２０からの進入信
号が活性化状態にあるときのみ、ＡＮＤ回路６０からの
出力信号が活性化される。

【００３９】リレー５５は、ＡＮＤ回路６０からの出力
信号が活性化状態であるときに、駆動電源５０と搬送ロ
ボットＴＲ２とを電気的に遮断して、搬送ロボットＴＲ
２の動作を停止させる。なお、ＡＮＤ回路６０からの出
力信号が活性化状態でないときは、駆動電源５０と搬送
ロボットＴＲ２とは電通された状態となっている。

【００４０】このようにしても、回転式現像処理部ＳＤ
２の扉３０が開放され、かつ回転式現像処理部ＳＤ２に
搬送ロボットＴＲ２が進入したときにのみ、搬送ロボッ
トＴＲ２への電力供給が遮断され、その動作が停止され
ることとなる。そして、回転式現像処理部ＳＤ２の扉３
０が閉鎖されている、または回転式現像処理部ＳＤ２に
搬送ロボットＴＲ２が進入していないときは、搬送ロボ
ットＴＲ２の動作が停止されることはない。

【００４１】以上、回転式現像処理部ＳＤ２を例として
説明したが、他のスピンユニット（回転式塗布処理部Ｓ
Ｃ１、ＳＣ２、回転式現像処理部ＳＤ１および回転式洗
浄処理部ＳＳ）についても同様である。すなわち、その
スピンユニットの扉が開放され、かつ当該スピンユニッ
トに搬送ロボットＴＲ２が進入したときにのみ、搬送ロ
ボットＴＲ２への電力供給が遮断され、その動作が停止
されることとなる。

【００４２】このようにしても、スピンユニットの扉が
開放されただけでは搬送ロボットＴＲ２の動作は停止せ
ず、扉が開放されているスピンユニットに搬送ロボット
ＴＲ２が進入したときのみ、搬送ロボットＴＲ２の動作
が確実に停止される。その結果、上記第１実施形態と同
様の効果を得ることができるのである。

【００４３】＜変形例＞以上、本発明の実施の形態につ
いて説明したが、この発明は上記の例に限定されるもの
ではない。例えば、扉センサ４０は、光を出射しその反
射光を受光する反射型センサに限定されるものではな
く、扉３０の開閉を検知することができるセンサであれ
ば良い。同様に、エリアセンサ２０についても上記実施
形態にて示したものに限定されず、スピンユニットへの
搬送ロボットＴＲ２の進入を検知することができるセン
サであればよい。

【００４４】また、上記実施形態においては、本発明に
係る技術をスピンユニットに適用していたが、これに限
らず、他の処理部、例えば熱処理部に適用するようにし
ても良い。

【００４５】また、上記第１実施形態における、リレー
に代えて、スイッチングトランジスタなど他のスイッチ
機能を有する素子を使用するようにしても良い。

【００４６】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、複数の処理部のいずれかに設けられた扉開放
検知手段が当該処理部の扉が開放されていることを検知
するとともに、当該処理部に設けられた進入検知手段が
当該処理部への搬送手段の進入を検知したときに、搬送
手段を停止させているため、扉が開放されている処理部
に搬送手段が進入しようとしたときのみ確実に搬送手段
を停止させることができる。

【００４７】また、請求項２の発明によれば、複数の処
理部のいずれかに設けられた扉開放検知手段が当該処理
部の扉が開放されていることを検知したときに当該処理
部に設けられた進入検知手段を能動化させる第１スイッ
チ手段と、能動化された当該進入検知手段が当該処理部
への搬送手段の進入を検知したときに、搬送手段への駆
動電力の供給を遮断する第２スイッチ手段と、を備えて
いるため、扉が開放されている処理部に搬送手段が進入
しようとしたときのみ確実に搬送手段を停止させること
ができる。

【００４８】また、請求項３の発明によれば、複数の処
理部のうちのいずれかの処理部についての開放信号と当
該処理部についての進入信号との論理積によって得られ
る信号が活性化されているときに搬送手段を停止させて
いるため、扉が開放されている処理部に搬送手段が進入
しようとしたときのみ確実に搬送手段を停止させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理装置の全体構成を示す概
略平面図である。

【図２】回転式現像処理部の概略構成を示す平面図であ
る。

【図３】第１実施形態における扉センサ、エリアセンサ
および搬送ロボットの電気的な構成を示すブロック図で
ある。

【図４】第２実施形態における扉センサ、エリアセンサ
および搬送ロボットの電気的な構成を示すブロック図で
ある。

【符号の説明】

２０エリアセンサ２８、５３、５５リレー３０扉４０扉センサ６０ＡＮＤ回路ＡＲ１、ＡＲ２搬送アームＳＣ１、ＳＣ２回転式塗布処理部、ＳＤ１、ＳＤ２回転式現像処理部ＳＳ回転式洗浄処理部ＴＲ２搬送ロボットＷ基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９Ｃ (72)発明者西村和浩京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB08 AB16 AB17 EA05 FA03 FA14 2H096 AA00 CA14 EA30 GA29 5F031 CA02 CA05 DA08 DA17 GA43 GA48 GA50 JA04 MA09 MA24 MA26 MA27 NA09 NA10 5F046 CD01 CD06 DB14 JA27 LA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】それぞれが扉を備えた複数の処理部を有
し、搬送手段によって前記複数の処理部間で基板の搬送
を行う基板処理装置であって、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放
されていることを検知する扉開放検知手段と、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、それらの各処
理部に前記搬送手段が進入していることを検知する進入
検知手段と、前記複数の処理部のいずれかに設けられた前記扉開放検
知手段が当該処理部の扉が開放されていることを検知す
るとともに、当該処理部に設けられた前記進入検知手段
が当該処理部への前記搬送手段の進入を検知したとき
に、前記搬送手段を停止させる搬送停止制御手段と、を
備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】それぞれが扉を備えた複数の処理部を有
し、搬送手段によって前記複数の処理部間で基板の搬送
を行う基板処理装置であって、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放
されていることを検知する扉開放検知手段と、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、それらの各処
理部に前記搬送手段が進入していることを検知する進入
検知手段と、前記複数の処理部のいずれかに設けられた前記扉開放検
知手段が当該処理部の扉が開放されていることを検知し
たときに当該処理部に設けられた前記進入検知手段を能
動化させる第１スイッチ手段と、能動化された当該進入検知手段が当該処理部への前記搬
送手段の進入を検知したときに、前記搬送手段への駆動
電力の供給を遮断する第２スイッチ手段と、を備えるこ
とを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】それぞれが扉を備えた複数の処理部を有
し、搬送手段によって前記複数の処理部間で基板の搬送
を行う基板処理装置であって、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、前記扉が開放
されていることを検知して開放信号を活性化する扉開放
検知手段と、前記複数の処理部のそれぞれに設けられ、それらの各処
理部に前記搬送手段が進入していることを検知して進入
信号を活性化する進入検知手段と、前記複数の処理部のうちのいずれかの処理部についての
前記開放信号と当該処理部についての前記進入信号との
論理積によって得られる信号が活性化されているときに
前記搬送手段を停止させる搬送停止手段と、を備えるこ
とを特徴とする基板処理装置。