KR20180104282A - 세정 시스템 - Google Patents
세정 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20180104282A KR20180104282A KR1020187010562A KR20187010562A KR20180104282A KR 20180104282 A KR20180104282 A KR 20180104282A KR 1020187010562 A KR1020187010562 A KR 1020187010562A KR 20187010562 A KR20187010562 A KR 20187010562A KR 20180104282 A KR20180104282 A KR 20180104282A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cleaning
- rolling brush
- polishing film
- cleaning system
- cleaning tank
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 158
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 75
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 71
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 9
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 13
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
- B08B1/12—Brushes
-
- B08B1/04—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
-
- B08B1/002—
-
- B08B1/007—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
- B08B1/34—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members rotating about an axis parallel to the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
- B08B1/52—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members using fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
- B08B1/54—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members using mechanical tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/02—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces of plane surfaces on abrasive tools
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
세정 시스템은: 제1 세정 탱크(10); 세정될 폴리싱 필름(400)을 제1 세정 탱크(10) 내로 이동시키고 폴리싱 필름(400)을 제1 세정 탱크(10)에 유지하도록 구성된 운반 및 이동 유닛; 제1 세정 탱크(10)에 유지된 폴리싱 필름(400)에 세정 액체를 분무하도록 구성된 제1 세정 분무 헤드(11); 및 제1 세정 분무 헤드(11)가 세정 액체를 폴리싱 필름(400)에 분무하는 동안 폴리싱 필름(400)을 브러싱하도록 구성된 롤링 브러시 유닛을 포함한다. 세정 시스템은 폴리싱 필름(400)의 자동 세정을 실현하고, 폴리싱 필름(400)의 세정 효율 및 세정 효과를 개선한다.
Description
본 출원은, 2015년 9월 16일자로 중국 국가지식산권국에 출원된 중국 특허 출원 제 CN201510589656.6 호의 이익을 주장하며, 그 전체 개시내용은 인용에 의해 본원에 포함된다.
본 발명은 세정 시스템에 관한 것이고, 더 구체적으로, 사용된 폴리싱 필름으로부터 폴리싱 분말 먼지(polishing powder dust)를 세정하기 위한 세정 시스템에 관한 것이다.
광섬유 커넥터는 일반적으로, 하우징(housing) 및 하우징에 장착된 광섬유 페룰을 포함한다. 광섬유 페룰은 광섬유 커넥터의 가장 중요한 부분이다. 광섬유 페룰은 일반적으로, 페룰, 및 페룰의 보어(bore) 내에 삽입된 광섬유를 포함한다. 광섬유의 전단부(front end)는 페룰의 전단부면(front end face)으로부터, 미리 결정된 거리만큼 돌출된다. 광섬유는, 페룰의 보어에 채워진 접착제에 의해, 페룰의 보어에 고정된다.
광섬유가 페룰의 보어에 고정된 이후, 광섬유 페룰의 전단부면을 프로세싱할 필요가 있다. 광섬유 페룰의 전단부면의 프로세싱은 일반적으로, 다음의 단계들: 광섬유 페룰의 전단부면을 폴리싱하는 단계; 광섬유 페룰로부터 폴리싱 분말 먼지(polishing powder dust)를 제거하기 위해, 폴리싱된 광섬유 페룰을 세정하는 단계; 세정된 광섬유 페룰을 건조시키는 단계; 및 광섬유 페룰의 전단부면으로부터 먼지를 제거하기 위해, 건조된 광섬유 페룰의 전단부면을 와이핑하는(wiping) 단계를 포함한다.
종래 기술에서, 폴리싱 필름은 재사용될 수 있다. 이로써, 폴리싱 필름이 사용되어 더러워진 이후, 폴리싱 필름으로부터 폴리싱 분말 먼지를 세정할 필요가 있다. 세정된 이후, 폴리싱 필름은 재사용될 수 있다.
종래 기술에서, 사용된 폴리싱 필름의 세정은 일반적으로, 수동으로 수행되는데, 이는 효율이 낮을뿐만 아니라, 작은 폴리싱 분말 먼지를 폴리싱 필름으로부터 완전히 제거하기도 어렵고, 세정 효과가 양호하지 않다.
본 발명은 상기 언급된 단점들 중 적어도 하나의 양상을 극복하거나 완화시키기 위해 이루어졌다.
본 발명의 일 목적에 따르면, 사용된 폴리싱 필름으로부터 폴리싱 분말 먼지를 효율적으로 그리고 완전히 세정하도록 적응된 세정 시스템이 제공된다.
본 발명의 일 양상에 따르면, 세정 시스템이 제공되고, 이 세정 시스템은: 제1 세정 탱크; 세정될 폴리싱 필름을 제1 세정 탱크 내로 이동시키고 폴리싱 필름을 제1 세정 탱크에 유지하도록 구성된 운반 및 이동 유닛; 제1 세정 탱크에 유지된 폴리싱 필름에 세정 액체를 분무하도록 구성된 제1 세정 분무 헤드; 및 제1 세정 분무 헤드가 세정 액체를 폴리싱 필름에 분무하는 동안 폴리싱 필름을 브러싱하도록(brush) 구성된 롤링(rolling) 브러시 유닛을 포함한다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르면, 운반 및 이동 유닛은: 폴리싱 필름을 상부에 적재하도록(load) 적응된 운반 테이블; 운반 테이블을 제1 세정 탱크 내로 이송하도록 적응된 리프팅 기구(lifting mechanism); 및 리프팅 기구 및 운반 테이블을 지지하도록 구성된 지지 프레임을 포함한다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 운반 및 이동 유닛은, 폴리싱 필름이 운반 테이블 상에 배치되는지 여부뿐만 아니라 운반 테이블 상의 폴리싱 필름의 상태도 검출하도록 적응된 센서를 더 포함한다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 리프팅 기구는 지지 프레임 상에 장착되고; 운반 테이블은 리프팅 기구 상에 장착되며 리프팅 기구와 함께 올라가거나 내려가도록 구성되고; 센서는 리프팅 기구 상에 장착된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 리프팅 기구는: 운반 테이블 및 센서가 상부에 장착되는 설치 프레임; 및 설치 프레임이 수직 방향으로 위 아래로 이동하도록 구동하게 적응되고 지지 프레임 상에 장착된 구동기(driver)를 포함한다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 롤링 브러시 유닛은: 롤링 브러시 설치 프레임; 롤릴 브러시 설치 프레임 상에 회전 가능하게 장착된 롤링 브러시; 롤링 브러시가 그 축선을 중심으로 회전하도록 구동하게 적응된 롤링 브러시 구동기; 롤링 브러시를 수평 방향으로 앞뒤로 이동시키도록 구성된 수평 이동 기구; 롤링 브러시를 수직 방향으로 위 아래로 이동시키도록 구성된 수직 이동 기구; 및 롤링 브러시, 롤링 브러시 구동기, 수평 이동 기구, 및 수직 이동 기구를 지지하도록 구성된 주 지지 프레임을 포함한다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 수평 이동 기구는: 주 지지 프레임 상에 장착된 수평 레일; 수평 레일 상에 슬라이딩 가능하게 장착된 수평 이동 테이블; 및 주 지지 프레임 상에 장착되고 수평 이동 테이블이 수평 레일을 따라 앞뒤로 이동하도록 구동하게 구성된 수평 이동 구동기를 포함한다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 수평 이동 구동기는, 제1 벨트 전달 기구(transmission mechanism)에 의해 수평 이동 테이블이 수평 레일을 따라 앞뒤로 이동하도록 구동하게 구성된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 수직 이동 기구는: 수평 이동 테이블 상에 장착되고 수평 이동 테이블과 함께 수평 레일을 따라 앞뒤로 이동하도록 구성된 수직 이동 구동기; 및 롤링 브러시 설치 프레임을 수직 이동 구동기에 연결하도록 구성된 수직 연결 샤프트를 포함하고, 여기서, 수직 이동 구동기는 수직 연결 샤프트를 통해 롤링 브러시 설치 프레임을 수직 방향으로 위 아래로 이동시키도록 적응된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 롤링 브러시 구동기는, 제2 벨트 전달 기구에 의해 롤링 브러시가 그 축선을 중심으로 회전하도록 구동하게 구성된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 세정 액체가 롤링 브러시의 전방 측 및 후방 측으로부터 외부로 튀는 것을 방지하기 위해, 2개의 보호 플레이트들(plates)이 롤링 브러시의 전방 측 및 후방 측에 각각 제공된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 세정 시스템은, 폴리싱 필름을 건조시키기 위해 가스를 세정된 폴리싱 필름에 분무하도록 적응된 가스 분무 헤드를 더 포함한다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 제1 세정 분무 헤드 및 가스 분무 헤드는 제1 세정 탱크에 장착된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 폐 세정액(waste cleaning liquid)을 제1 세정 탱크 밖으로 배출하기 위해, 제1 배출구(drain outlet)는 제1 세정 탱크의 바닥부에 형성된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 세정 시스템은: 제2 세정 탱크; 및 제2 세정 탱크에 장착된 제2 세정 분무 헤드를 더 포함한다. 수평 이동 기구 및 수직 이동 기구는, 세정될 더러운 롤링 브러시를 제2 세정 탱크 내로 이동시키기 위해 협동하고, 제2 세정 분무 헤드는, 롤링 브러시를 세정하기 위해, 세정 액체를 제2 세정 탱크에서 롤링 브러시에 분무하도록 적응된다.
본 발명의 또다른 예시적인 실시예에 따르면, 폐 세정액을 제2 세정 탱크 밖으로 배출하기 위해, 제2 배출구는 제2 세정 탱크의 바닥부에 형성된다.
본 발명의 상기 다양한 예시적인 실시예들에서, 세정 시스템은 폴리싱 필름의 자동 세정을 실현하고, 폴리싱 필름의 세정 효율 및 세정 효과를 개선한다.
본 발명의 상기 특징들 및 다른 특징들은, 첨부한 도면들에 관하여 그 예시적인 실시예들을 상세하게 설명함으로써 더 명확해질 것이고, 도면들에서:
도 1은, 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 세정 시스템의 예시적인 사시도이고;
도 2는, 도 1의 세정 시스템의 수직 단면도이며, 여기서, 롤링 브러시는 제1 세정 탱크 내로 이송되고, 사용된 폴리싱 필름을 브러싱하고 있는 상태이며; 그리고
도 3은, 도 1의 세정 시스템의 수직 단면도이고, 여기서, 롤링 브러시는 제2 세정 탱크 내로 이송되고, 세정되고 있는 상태이다.
도 1은, 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 세정 시스템의 예시적인 사시도이고;
도 2는, 도 1의 세정 시스템의 수직 단면도이며, 여기서, 롤링 브러시는 제1 세정 탱크 내로 이송되고, 사용된 폴리싱 필름을 브러싱하고 있는 상태이며; 그리고
도 3은, 도 1의 세정 시스템의 수직 단면도이고, 여기서, 롤링 브러시는 제2 세정 탱크 내로 이송되고, 세정되고 있는 상태이다.
본 개시내용의 예시적인 실시예들은 이하에서 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명될 것이고, 여기서, 유사한 참조 번호들은 유사한 요소들을 지칭한다. 그러나, 본 개시내용은 많은 상이한 형태들로 구체화될 수 있고, 본원에서 설명되는 실시예로 제한되는 것으로 해석되어서는 안되며; 오히려, 이러한 실시예들은, 본 개시내용이 철저하고 완전하게 이루어지도록, 그리고 본 개시내용의 개념을 당업자에게 완전히 전달하도록 제공된다.
이하의 상세한 설명에서, 설명의 목적들을 위해, 개시된 실시예들의 철저한 이해를 제공하기 위해 다수의 특정 세부 사항들이 설명된다. 그러나, 하나 또는 그 초과의 실시예들이, 이러한 특정 세부 사항들 없이 실시될 수 있다는 것이 명백할 것이다. 다른 예들에서, 주지된 구조들 및 디바이스들은 도면을 단순화하기 위해 개략적으로 도시된다.
본 발명의 일반 개념에 따르면, 세정 시스템이 제공되고, 이 세정 시스템은: 제1 세정 탱크; 세정될 폴리싱 필름을 제1 세정 탱크 내로 이동시키고 폴리싱 필름을 제1 세정 탱크에 유지하도록 구성된 운반 및 이동 유닛; 제1 세정 탱크에 유지된 폴리싱 필름에 세정 액체를 분무하도록 구성된 제1 세정 분무 헤드; 및 제1 세정 분무 헤드가 세정 액체를 폴리싱 필름에 분무하는 동안 폴리싱 필름을 브러싱하도록 구성된 롤링 브러시 유닛을 포함한다.
도 1은, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 세정 시스템의 예시적인 사시도이고; 도 2는, 도 1의 세정 시스템의 수직 단면도이며, 여기서, 롤링 브러시(300)는 제1 세정 탱크(10) 내로 이송되고, 사용된 폴리싱 필름(400)을 브러싱하고 있는 상태이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 세정 시스템은 사용된 폴리싱 필름(400)으로부터 폴리싱 분말 먼지를 세정하도록 적응된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 세정 시스템은 주로, 제1 세정 탱크(10), 운반 및 이동 유닛, 제1 세정 분무 헤드(11), 및 롤링 브러시 유닛을 포함한다. 운반 및 이동 유닛은, 세정될 사용된 폴리싱 필름(400)을 제1 세정 탱크(10) 내로 이동시키고, 폴리싱 필름(400)을 제1 세정 탱크(10)에 유지하도록 구성된다. 제1 세정 분무 헤드(11)는, 제1 세정 탱크(10)에 유지되는 폴리싱 필름(400)에 세정 액체를 분무하도록 구성된다. 롤링 브러시 유닛은, 제1 세정 분무 헤드(11)가 세정 액체를 폴리싱 필름(400)에 분무하는 동안 폴리싱 필름(400)을 브러싱하도록 구성된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 운반 및 이동 유닛은 주로: 폴리싱 필름(400)을 상부에 적재하도록 적응된 운반 테이블(120); 운반 테이블(120)을 제1 세정 탱크(10) 내로 이송하도록 적응된 리프팅 기구(110); 및 리프팅 기구(110) 및 운반 테이블(120)을 지지하도록 구성된 지지 프레임(100)을 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 운반 및 이동 유닛은, 폴리싱 필름(400)이 운반 테이블(120) 상에 배치되는지 여부뿐만 아니라 운반 테이블(120) 상의 폴리싱 필름(400)의 상태도 검출하도록 적응된 센서(130)를 더 포함한다. 폴리싱 필름(400)의 상태는, 운반 테이블(120) 상의 폴리싱 필름(400)의 포지션 및 자세(posture)를 포함할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 리프팅 기구(110)는 지지 프레임(100) 상에 장착된다. 운반 테이블(120)은 리프팅 기구(110) 상에 장착되고, 리프팅 기구(110)와 함께 올라가거나 내려가도록 구성된다. 센서(130)는 리프팅 기구(110) 상에 장착된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 리프팅 기구(110)는 주로: 운반 테이블(120) 및 센서(130)가 상부에 장착되는 설치 프레임; 및 설치 프레임이 수직 방향으로 위 아래로 이동하도록 구동하게 적응되고 지지 프레임(100) 상에 장착된 구동기를 포함한다. 본 발명의 예시적인 일 실시예에서, 리프팅 기구(110)의 구동기는 가스 실린더 또는 유압 실린더를 포함할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 롤링 브러시 유닛은 주로: 롤링 브러시 설치 프레임(310); 롤릴 브러시 설치 프레임(310) 상에 회전 가능하게 장착된 롤링 브러시(300); 롤링 브러시(300)가 그 축선을 중심으로 회전하도록 구동하게 적응된 롤링 브러시 구동기(320); 롤링 브러시(300)를 수평 방향으로 앞뒤로 이동시키도록 구성된 수평 이동 기구; 롤링 브러시(300)를 수직 방향으로 위 아래로 이동시키도록 구성된 수직 이동 기구; 및 롤링 브러시(300), 롤링 브러시 구동기(320), 수평 이동 기구, 및 수직 이동 기구를 지지하도록 구성된 주 지지 프레임(200)을 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 수평 이동 기구는 주로: 주 지지 프레임(200) 상에 장착된 수평 레일(210); 수평 레일(210) 상에 슬라이딩 가능하게 장착된 수평 이동 테이블(220); 및 주 지지 프레임(200) 상에 장착되고 수평 이동 테이블(220)이 수평 레일(210)을 따라 앞뒤로 이동하도록 구동하게 구성된 수평 이동 구동기(240)를 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 수평 이동 구동기(240)는, 제1 벨트 전달 기구(241)에 의해 수평 이동 테이블(220)이 수평 레일(210)을 따라서 앞뒤로 이동하도록 구동한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 수직 이동 기구는 주로: 수평 이동 테이블(220) 상에 장착되고 수평 이동 테이블(220)과 함께 수평 레일(210)을 따라 앞뒤로 이동하도록 구성된 수직 이동 구동기(230); 및 롤링 브러시 설치 프레임(310)을 수직 이동 구동기(230)에 연결하도록 구성된 수직 연결 샤프트(231)를 포함한다. 예시적인 일 실시예에서, 수직 이동 구동기(230)는 가스 실린더 또는 유압 실린더를 포함할 수 있다. 수직 이동 구동기(230)는 롤링 브러시 설치 프레임(310)을 수직 연결 샤프트(231)를 통해 수직 방향으로 위로 올리거나 아래로 내릴 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 롤링 브러시 구동기(320)는 제2 벨트 전달 기구(330)에 의해 롤링 브러시(300)가 그 축선을 중심으로 회전하도록 구동하게 구성된다. 예시적인 일 실시예에서, 롤링 브러시 구동기(320)는 모터를 포함할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 세정 액체가 롤링 브러시(300)의 전방 측 및 후방 측으로부터 외부로 튀는 것을 방지하기 위해, 2개의 보호 플레이트들(340)이 롤링 브러시(300)의 전방 측 및 후방 측에, 각각, 수평 레일(210)에 대해 평행한 방향으로 제공된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 세정 시스템은, 폴리싱 필름(400)을 건조시키기 위해 가스를 세정된 폴리싱 필름(400)에 분무하도록 적응된 가스 분무 헤드(12)를 더 포함할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 제1 세정 분무 헤드(11) 및 가스 분무 헤드(12)는 제1 세정 탱크(10)에 장착된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 폐 세정액을 제1 세정 탱크(10) 밖으로 배출하기 위해, 제1 배출구(13)는 제1 세정 탱크(10)의 바닥부에 형성된다.
도 3은, 도 1의 세정 시스템의 수직 단면도이고, 여기서, 롤링 브러시(300)는 제2 세정 탱크(20) 내로 이송되고, 세정되고 있는 상태이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 세정 시스템은 제2 세정 탱크(20), 및 제2 세정 탱크(20)에 장착된 제2 세정 분무 헤드(21)를 더 포함한다. 수평 이동 기구 및 수직 이동 기구는, 사용되고 더러워진 세정될 롤링 브러시(300)를 제2 세정 탱크(20) 내로 이동시키기 위해 서로 협동한다. 제2 세정 분무 헤드(21)는, 롤링 브러시(300)를 세정하기 위해, 제2 세정 탱크(20)에서 세정 액체를 롤링 브러시(300)에 분무하도록 적응된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 폐 세정액을 제2 세정 탱크(20) 밖으로 배출하기 위해, 제2 배출구(23)는 제2 세정 탱크(20)의 바닥부에 형성된다.
이하에서, 도 1 내지 도 3에 관하여 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 세정 시스템의 세정 프로세스를 설명할 것이다.
먼저, 세정될 더러워진 폴리싱 필름(400)은 운반 테이블(120) 상에 유지되고;
그런 다음에, 운반 테이블(120), 및 운반 테이블(120) 상에 유지되는 폴리싱 필름(400)은 리프팅 기구(110)에 의해 하강되어 제1 세정 탱크(10) 내로 이동되며;
그런 다음에, 롤링 브러시(300)는, 수평 이동 기구 및 수직 이동 기구에 의해 제1 세정 탱크(10) 내로 이동되고, 이에 의해, 롤링 브러시(300)는 운반 테이블(120) 상의 폴리싱 필름(400)과 접촉하게 되고;
그런 다음에, 제1 세정 분무 헤드(11)가 개방되고, 제1 세정 분무 헤드(11)가 세정 액체를 폴리싱 필름(400)에 분무하는 동안 롤링 브러시(300)가 그 축선을 중심으로 회전하고 폴리싱 필름(400)의 수평 표면을 따라 앞뒤로 이동하도록 구동하기 위해, 롤링 브러시 구동기(320) 및 수평 이동 구동기(240)가 턴 온되며(turned on);
그런 다음에, 폴리싱 필름(400)이 세정된 이후, 가스를 세정된 폴리싱 필름(400)에 분무하여 폴리싱 필름(400)을 건조시키기 위해 가스 분무 헤드(12)가 개방되고;
그런 다음에, 폴리싱 필름(400)이 건조된 이후, 롤링 브러시(300)는 수평 이동 기구 및 수직 이동 기구에 의해 제2 세정 탱크(20) 내로 이동되며;
그런 다음에, 운반 테이블(120), 및 운반 테이블(120) 상에 유지되는 세정되고 건조된 폴리싱 필름(400)은 리프팅 기구(110)에 의해 제1 세정 탱크(10) 밖으로 리프팅되고;
마지막으로, 세정 액체를 제2 세정 탱크(20)에서 세정될 롤링 브러시(300)에 분무하고 롤링 브러시(300)로부터 폴리싱 분말 먼지를 세정하기 위해, 제2 세정 분무 헤드(21)가 개방된다.
상기 실시예들은 예시되도록 의도되고, 제한적인 것이 아니라는 점이 당업자에게 이해되어야 한다. 예컨대, 많은 수정들이 당업자에 의해 상기 실시예들에 대해 이루어질 수 있으며, 상이한 실시예들에서 설명된 다양한 특징들은 구성 또는 원리에서 상충되지 않고 서로 자유롭게 조합될 수 있다.
여러 가지 예시적인 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 다양한 변화들 또는 수정들이, 본 개시내용의 원리들 및 사상들로부터 벗어나지 않고, 이러한 실시예들에서 이루어질 수 있다는 점이 당업자에게 이해될 것이며, 본 개시내용의 범위는 청구항들 및 그 등가물들에서 정의된다.
본원에서 사용되는 바와 같이, 단수 단어에 의해 단수 형태로 설명되고 진행되는 요소는, 그러한 배제가 명시적으로 언급되지 않는 한, 복수의 상기 요소들 또는 단계들을 제외하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 게다가, 본 발명의 "일 실시예"에 대한 참조들은, 설명된 특징들을 또한 포함하는 부가적인 실시예들의 존재를 배제하는 것으로 해석되도록 의도되지 않는다. 또한, 달리 명시되지 않는 한, 특정한 특성을 갖는 요소 또는 복수의 요소들을 "포함하는" 또는 "갖는" 실시예들은, 그 특성을 갖지 않는 그러한 부가적인 요소들을 포함할 수 있다.
Claims (16)
- 세정(cleaning) 시스템으로서,
제1 세정 탱크(tank)(10);
세정될 폴리싱 필름(polishing film; 400)을 상기 제1 세정 탱크(10) 내로 이동시키고, 상기 폴리싱 필름(400)을 상기 제1 세정 탱크(10)에 유지하도록 구성된 운반 및 이동 유닛(carrying and moving unit);
상기 제1 세정 탱크(10)에 유지되는 상기 폴리싱 필름(400)에 세정 액체를 분무하도록(spray) 구성된 제1 세정 분무 헤드(head)(11); 및
상기 제1 세정 분무 헤드가 세정 액체를 상기 폴리싱 필름(400)에 분무하는 동안 상기 폴리싱 필름(400)을 브러싱하도록 구성된 롤링 브러시 유닛(rolling brush unit)을 포함하는,
세정 시스템. - 제1 항에 있어서,
상기 운반 및 이동 유닛은:
상기 폴리싱 필름(400)을 상부에 적재하도록(load) 적응된 운반 테이블(carrying table; 120);
상기 운반 테이블(120)을 상기 제1 세정 탱크(10) 내에 이송하도록 적응된 리프팅 기구(lifting mechanism; 110); 및
상기 리프팅 기구(110) 및 상기 운반 테이블(120)을 지지하도록 구성된 지지 프레임(100)을 포함하는,
세정 시스템. - 제2 항에 있어서,
상기 운반 및 이동 유닛은, 상기 폴리싱 필름(400)이 상기 운반 테이블(120) 상에 배치되는지 여부뿐만 아니라 상기 운반 테이블(120) 상의 상기 폴리싱 필름(400)의 상태도 검출하도록 적응된 센서(sensor; 130)를 더 포함하는,
세정 시스템. - 제3 항에 있어서,
상기 리프팅 기구(110)는 상기 지지 프레임(100) 상에 장착되고;
상기 운반 테이블(120)은 상기 리프팅 기구(110) 상에 장착되고, 상기 리프팅 기구(110)와 함께 올라가거나 내려가도록 구성되며; 그리고
상기 센서(130)는 상기 리프팅 기구(110) 상에 장착되는,
세정 시스템. - 제4 항에 있어서,
상기 리프팅 기구(110)는:
설치 프레임(installation frame) ― 상기 운반 테이블(120) 및 상기 센서(130)는 상기 설치 프레임 상에 장착됨 ―; 및
상기 지지 프레임(100) 상에 장착되고, 상기 설치 프레임이 수직 방향으로 위 아래로 이동하도록 구동하게 적응된 구동기(driver)를 포함하는,
세정 시스템. - 제1 항에 있어서,
상기 롤링 브러시 유닛은:
롤링 브러시 설치 프레임(310);
상기 롤링 브러시 설치 프레임(310) 상에 회전 가능하게(rotatably) 장착된 롤링 브러시(300);
상기 롤링 브러시(300)를 상기 롤링 브러시(300)의 축선을 중심으로 회전하도록 구동하게 적응된 롤링 브러시 구동기(320);
상기 롤링 브러시(300)를 수평 방향으로 앞뒤로 이동시키도록 구성된 수평 이동 기구;
상기 롤링 브러시(300)를 수직 방향으로 위 아래로 이동시키도록 구성된 수직 이동 기구; 및
상기 롤링 브러시(300), 상기 롤링 브러시 구동기(320), 상기 수평 이동 기구, 및 상기 수직 이동 기구를 지지하도록 구성된 주(main) 지지 프레임(200)을 포함하는,
세정 시스템. - 제6 항에 있어서,
상기 수평 이동 기구는:
상기 주 지지 프레임(200) 상에 장착된 수평 레일(210);
상기 수평 레일(210) 상에 슬라이딩 가능하게 장착된 수평 이동 테이블(220); 및
상기 주 지지 프레임(200) 상에 장착되고, 상기 수평 이동 테이블(220)이 상기 수평 레일(210)을 따라 앞뒤로 이동하도록 구동하게 구성되는 수평 이동 구동기(240)를 포함하는,
세정 시스템. - 제7 항에 있어서,
상기 수평 이동 구동기(240)는, 제1 벨트 전달 기구(transmission mechanism)(241)에 의해 상기 수평 이동 테이블(220)이 상기 수평 레일(210)을 따라 앞뒤로 이동하도록 구동하게 구성되는,
세정 시스템. - 제8 항에 있어서,
상기 수직 이동 기구는:
상기 수평 이동 테이블(220) 상에 장착되고, 상기 수평 이동 테이블(220)과 함께 상기 수평 레일(210)을 따라 앞뒤로 이동하도록 구성되는 수직 이동 구동기(230); 및
상기 롤링 브러시 설치 프레임(310)을 상기 수직 이동 구동기(230)에 연결하도록 구성된 수직 연결 샤프트(231)를 포함하고,
상기 수직 이동 구동기(230)는 상기 수직 연결 샤프트(231)를 통해 상기 롤링 브러시 설치 프레임(310)을 수직 방향으로 위 아래로 이동시키도록 적응되는,
세정 시스템. - 제9 항에 있어서,
상기 롤링 브러시 구동기(320)는, 제2 벨트 전달 기구(330)에 의해 상기 롤링 브러시(300)가 상기 롤링 브러시(300)의 축선을 중심으로 회전하도록 구동하게 구성되는,
세정 시스템. - 제10 항에 있어서,
세정 액체가 상기 롤링 브러시(300)의 전방 측 및 후방 측으로부터 외부로 튀는 것(splashed)을 방지하기 위해, 2개의 보호 플레이트들(340)이 상기 롤링 브러시(300)의 전방 측 및 후방 측에 각각 제공되는,
세정 시스템. - 제1 항에 있어서,
상기 폴리싱 필름(400)을 건조시키기 위해, 가스를 세정된 상기 폴리싱 필름(400)에 분무하도록 적응된 가스 분무 헤드(12)를 더 포함하는,
세정 시스템. - 제12 항에 있어서,
상기 제1 세정 분무 헤드(11) 및 상기 가스 분무 헤드(12)는 상기 제1 세정 탱크(10)에 장착되는,
세정 시스템. - 제1 항에 있어서,
폐 세정액(waste cleaning liquid)을 상기 제1 세정 탱크(10) 밖으로 배출하기 위해, 제1 배출구(13)는 상기 제1 세정 탱크(10)의 바닥부에 형성되는,
세정 시스템. - 제6 항에 있어서,
제2 세정 탱크(20) ― 세정될 더러워진 상기 롤링 브러시(300)는 상기 후평 이동 기구 및 상기 수직 이동 기구에 의해 상기 제2 세정 탱크(20) 내로 이동됨 ―; 및
상기 제2 세정 탱크(20)에 장착된 제2 세정 분무 헤드(21) ― 세정 액체는, 상기 롤링 브러시(300)를 세정하기 위해, 상기 제2 세정 분무 헤드(21)에 의해, 상기 제2 세정 탱크(20)에 유지되는 상기 롤링 브러시(300)에 분무됨 ― 를 더 포함하는,
세정 시스템. - 제15 항에 있어서,
폐 세정액을 상기 제2 세정 탱크(20) 밖으로 배출하기 위해, 제2 배출구(23)는 상기 제2 세정 탱크(20)의 바닥부에 형성되는,
세정 시스템.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510589656.6 | 2015-09-16 | ||
CN201510589656.6A CN106540895B (zh) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | 清洗系统 |
PCT/IB2016/055543 WO2017046763A1 (en) | 2015-09-16 | 2016-09-16 | Cleaning system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180104282A true KR20180104282A (ko) | 2018-09-20 |
KR102147328B1 KR102147328B1 (ko) | 2020-08-24 |
Family
ID=57121457
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020187010562A KR102147328B1 (ko) | 2015-09-16 | 2016-09-16 | 세정 시스템 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10814356B2 (ko) |
EP (1) | EP3349920B1 (ko) |
KR (1) | KR102147328B1 (ko) |
CN (1) | CN106540895B (ko) |
TW (1) | TWI702992B (ko) |
WO (1) | WO2017046763A1 (ko) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106541329B (zh) * | 2015-09-16 | 2019-01-01 | 泰科电子(上海)有限公司 | 集成设备 |
CN107983683A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-04 | 朱康余 | 一种眼科医院用视力检测镜片清洗装置 |
CN108212845A (zh) * | 2018-01-10 | 2018-06-29 | 侯如升 | 一种便于维修的化纤尼龙生产用清洗装置 |
CN111796362B (zh) * | 2018-08-08 | 2022-06-10 | 杭州富通通信技术股份有限公司 | 用于预制尾纤的研磨设备 |
CN109092746A (zh) * | 2018-08-17 | 2018-12-28 | 天马(安徽)国药科技股份有限公司 | 一种中药材粉碎机全方位清洗装置 |
CN109625854A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-04-16 | 科捷智能装备有限公司 | 输送线自动清扫装置及其方法 |
EP3972742A1 (de) * | 2019-04-30 | 2022-03-30 | SMA Sächsische Maschinen- und Anlagenbau GmbH | Vorrichtung zum benetzen von aufnahme- und einführhilfen und/oder behälter- oder rahmenkonstruktionen für die verbesserte zuordnung von plattenpaketen innerhalb einer komplexen fertigungsanlage |
CN113663956B (zh) * | 2020-05-14 | 2023-04-18 | 奥佳华智能健康科技集团股份有限公司 | 手机清洁装置 |
CN111957632A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-11-20 | 成都奥捷通信技术有限公司 | 一种适配器端面清洗装置及其清洗方法 |
CN112157103A (zh) * | 2020-09-22 | 2021-01-01 | 张芸 | 一种智能机器人加工用零部件清洗装置 |
CN112452928A (zh) * | 2020-11-02 | 2021-03-09 | 王宝根 | 一种硅片自动除尘装置 |
CN113145564A (zh) * | 2021-04-06 | 2021-07-23 | 温州职业技术学院 | 一种金属半成品除油除锈清洗设备 |
CN114087478A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-02-25 | 江苏首擎软件科技有限公司 | 一种能够短距离且双向投影的长焦投影仪 |
GB2618595A (en) * | 2022-05-12 | 2023-11-15 | Meech Static Eliminators Ltd | Apparatus and method for web cleaning |
CN115318695A (zh) * | 2022-09-23 | 2022-11-11 | 成都金大立科技有限公司 | 一种pcb加工光纤自动清洁设备及清洁方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0422411Y2 (ko) * | 1984-10-26 | 1992-05-22 | ||
JPH08181093A (ja) * | 1994-12-21 | 1996-07-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハの洗浄及び洗浄乾燥装置 |
JPH1190359A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-06 | Speedfam Clean System Kk | オーバーフロー式スクラブ洗浄方法及び装置 |
KR20080029276A (ko) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | 주식회사 금천산업 | 호스의 세척건조장치 및 그 방법 |
KR101105357B1 (ko) * | 2011-04-25 | 2012-01-16 | 박태영 | 이송벨트의 이물질 제거장치 |
CN203470368U (zh) * | 2013-07-31 | 2014-03-12 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种清洁装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58182234A (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 複数種のブラシ使用可能な洗浄装置 |
JPH0786218A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
JP2647050B2 (ja) * | 1995-03-31 | 1997-08-27 | 日本電気株式会社 | ウェハ研磨装置 |
JP3615931B2 (ja) * | 1998-03-26 | 2005-02-02 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング装置および該ポリッシング装置におけるコンディショニング方法 |
US6244944B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-06-12 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for supporting and cleaning a polishing pad for chemical-mechanical planarization of microelectronic substrates |
JP2001138233A (ja) * | 1999-11-19 | 2001-05-22 | Sony Corp | 研磨装置、研磨方法および研磨工具の洗浄方法 |
JP2001246331A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-11 | Sharp Corp | 洗浄装置 |
US6722964B2 (en) * | 2000-04-04 | 2004-04-20 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and method |
DE10195157B4 (de) * | 2000-11-29 | 2010-08-26 | Qimonda Ag | Reinigungsvorrichtung zum Reinigen von für das Polieren von Halbleiterwafern verwendeten Poliertüchern |
US6561880B1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-05-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for cleaning the polishing pad of a linear polisher |
US7846007B2 (en) * | 2006-06-30 | 2010-12-07 | Memc Electronic Materials, Inc. | System and method for dressing a wafer polishing pad |
JP2013089797A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-13 | Ebara Corp | 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 |
TWI636518B (zh) * | 2013-04-23 | 2018-09-21 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置及處理基板之製造方法 |
CN104416462B (zh) * | 2013-08-20 | 2017-02-15 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 抛光垫修整盘的清洗装置 |
CN203711383U (zh) * | 2013-12-26 | 2014-07-16 | 中铝西南铝板带有限公司 | 刷辊在线清洗装置 |
-
2015
- 2015-09-16 CN CN201510589656.6A patent/CN106540895B/zh active Active
-
2016
- 2016-09-14 TW TW105130004A patent/TWI702992B/zh active
- 2016-09-16 EP EP16778884.3A patent/EP3349920B1/en active Active
- 2016-09-16 WO PCT/IB2016/055543 patent/WO2017046763A1/en active Application Filing
- 2016-09-16 KR KR1020187010562A patent/KR102147328B1/ko active IP Right Grant
-
2018
- 2018-05-16 US US15/980,906 patent/US10814356B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0422411Y2 (ko) * | 1984-10-26 | 1992-05-22 | ||
JPH08181093A (ja) * | 1994-12-21 | 1996-07-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハの洗浄及び洗浄乾燥装置 |
JPH1190359A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-06 | Speedfam Clean System Kk | オーバーフロー式スクラブ洗浄方法及び装置 |
KR20080029276A (ko) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | 주식회사 금천산업 | 호스의 세척건조장치 및 그 방법 |
KR101105357B1 (ko) * | 2011-04-25 | 2012-01-16 | 박태영 | 이송벨트의 이물질 제거장치 |
CN203470368U (zh) * | 2013-07-31 | 2014-03-12 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种清洁装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3349920A1 (en) | 2018-07-25 |
CN106540895B (zh) | 2019-06-04 |
US10814356B2 (en) | 2020-10-27 |
WO2017046763A1 (en) | 2017-03-23 |
KR102147328B1 (ko) | 2020-08-24 |
TWI702992B (zh) | 2020-09-01 |
TW201722571A (zh) | 2017-07-01 |
CN106540895A (zh) | 2017-03-29 |
US20180257112A1 (en) | 2018-09-13 |
EP3349920B1 (en) | 2023-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20180104282A (ko) | 세정 시스템 | |
KR20140041040A (ko) | 스마트폰 소독 세척 장치 | |
KR100916086B1 (ko) | 보조이송수단을 갖는 정치망 세척장치 | |
CN210632509U (zh) | 一种电缆钢带生产用表面除尘装置 | |
CN220406587U (zh) | 一种防划伤玻璃的玻璃清洗机 | |
CN206613778U (zh) | 一种玻璃垂直清洗装置 | |
CN214638606U (zh) | 一种石板自动清洗设备 | |
KR20130102728A (ko) | 하우징 세척기 | |
KR20120124514A (ko) | 판유리 처리장치 | |
CN211386018U (zh) | 清洁设备 | |
CN214683056U (zh) | 玻璃清洗装置 | |
US20150135452A1 (en) | Cleaning apparatus | |
KR101648797B1 (ko) | 상자 자동 세척장치 | |
KR20120131994A (ko) | 건식 세정 장치 | |
KR200483329Y1 (ko) | 불판세척기 | |
JP2005296886A (ja) | パレット洗浄装置および洗浄方法 | |
CN210619401U (zh) | 一种防腐蚀的网带式传送线 | |
JP6579684B2 (ja) | 敷板用洗浄機および敷板の洗浄方法 | |
CN211809522U (zh) | 龙门洗车机 | |
CN110213903B (zh) | Pcb自动净化封装设备 | |
CN107520153B (zh) | 一种设有干水装置的陶瓷涂蜡设备 | |
JP3131484U (ja) | シートパレット洗浄装置 | |
CN214263127U (zh) | 一种二级水循环式洗瓶机 | |
KR200483995Y1 (ko) | 초박판 유리 이송용 지그 | |
CN220346667U (zh) | 一种低辐射镀膜玻璃生产线用的清洗装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |