KR20180015656A

KR20180015656A - 마스크

Info

Publication number: KR20180015656A
Application number: KR1020177035598A
Authority: KR
Inventors: 게이 요시다; 사토루 후루야마; 하지메 오야
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2015-06-04
Filing date: 2016-05-27
Publication date: 2018-02-13
Also published as: CN107613800B; US20180160748A1; CN107613800A; US11517057B2; WO2016194353A1; JP2017002454A; EP3305114A1; EP3305114A4; JP6696832B2; EP3305114B1; TWI676431B; TW201711577A

Abstract

본 개시의 마스크(1)는 안면에 장착하여 사용되는 마스크(1)이며, 안면의 적어도 일부를 덮는 본체부(2)가, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름(5)을 구비한다. 수지 필름(5)은 두께 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍(11)을 갖는 비다공질의 필름이다. 관통 구멍(11)의 직경은 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이고, 밀도는 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하이다. 본 개시의 마스크는 종래의 마스크와는 완전히 구조가 다른 마스크이며, 차폐성, 통기성, 투명성, 통음성을 비롯한 다양한 특성의 설계의 자유도가 높고, 예를 들어 양호한 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성을 병립할 수 있다.

Description

마스크

본 발명은 안면에 장착하여 사용하는 마스크, 보다 구체적인 예로서는, 분진, 비말, 오염 물질, 알레르겐, 병원체 등으로부터 장착자를 보호하거나, 호흡, 기침, 재채기에 의한 장착자로부터의 비말, 병원체 등의 비산을 억제하면서 장착자의 호흡이 확보되는 마스크에 관한다.

일상 생활을 포함하는 다양한 분야에 있어서, 안면에 장착하여 사용하는 마스크가 널리 보급되고 있고, 해마다 그의 생산량 및 사용량이 증가하고 있다. 예를 들어, 공장의 제조 현장 및 토목 건설 현장에서는 작업원이 분진(미립자), 비말, 오염 물질 등을 흡입하는 것을 방지하기 위해, 의료 분야에서는 의료 종사자 및 환자가, 비말, 오염 물질, 병원체, 꽃가루를 비롯한 알레르겐 등을 흡입하거나, 그것들의 호흡, 기침 혹은 재채기에 의해 비말, 오염 물질, 병원체 등이 주위로 비산되는 것을 방지하기 위해 마스크가 사용된다. 근년, 일상 생활에 있어서도, 알레르겐 및 「PM2.5」 등의 오염 물질의 흡입을 방지하기 위해 마스크가 널리 사용되는 경향이 있음과 함께, 식품 제조 및 제공 등의 서비스업에 있어서도, 장착자로부터의 비말의 비산을 방지하거나, 청결감을 연출하기 위한 마스크의 사용이 증가하고 있다.

마스크는, 예를 들어 장착자의 안면의 적어도 일부, 전형적으로는 콧구멍 및 입을 덮는 본체부와, 본체부를 장착자의 안면에 고정하는 걸림 지지부로 구성되어 있다. 종래의 마스크에서는 일반적으로, 부직포 또는 직포로 이루어지는 본체부가 사용된다. 부직포 또는 직포의 통기성에 의해 장착자의 호흡이 확보되면서, 그 필터로서의 기능에 의해, 상술한 바와 같은 물질의 장착자에 의한 흡입 및/또는 장착자로부터의 비산이 방지된다.

부직포 또는 직포로 이루어지는 본체부는, 통상 불투명하기 때문에, 장착자의 안면 중, 마스크에 의해 덮인 부분은 가려지게 된다. 그러나, 마스크의 용도에 따라서는, 보다 구체적인 예로서, 환자와 대면하는 의료 종사자 혹은 고객의 눈에 띄는 서비스업자가 마스크를 사용할 때에, 장착자의 안면의 일부가 가려지는 것에 의한 위화감의 발생 또는 인물의 오인을 억제하거나, 장착자의 표정을 확인할 수 있는 것에 의한 양호한 커뮤니케이션을 확보하기 위해, 가능한 한 투명한 본체부를 갖는 마스크가 요구되는 경우가 있다. 이와 같은 본체부로서, 투명한 수지 필름 또는 매우 얇은 직포 혹은 부직포가 종래, 사용되어 있다. 투명한 본체부를 갖는 마스크는, 예를 들어 특허문헌 1 내지 3에 개시되어 있다.

일본 특허 공개 제2009-11475호 공보 일본 특허 공개 제2013-46647호 공보 일본 특허 공개 제2013-66643호 공보

매우 얇은 직포 또는 부직포로 이루어지는 본체부로 한 마스크에서는, 분진 등으로부터 장착자를 보호하는 성능 및 장착자로부터의 비말 등의 비산을 억제하는 성능(이하, 통합하여 간단히 「차폐성」이라고도 함)이 저하된다. 또한, 직포 또는 부직포를 구성하는 섬유에 의해 광이 산란되기 때문에, 현실에서는 높은 투명성의 확보가 곤란하다.

한편, 투명한 수지 필름으로 이루어지는 본체부에서는, 본체부 자체에 대해서는 높은 차폐성을 실현할 수 있음과 함께, 필름의 재질을 적절하게 선택함으로써 높은 투명성을 확보할 수 있다. 그러나, 수지 필름 자체는 통기성을 갖지 않는 점에서, 장착자의 호흡을 확보하기 위해 안면과 본체부 사이에 간극을 형성하는 것이 부득이해짐으로써 마스크로서의 차폐성이 저하되거나, 특허문헌 2, 3에 개시되어 있는 마스크와 같이, 장착자의 호흡을 확보하기 위한 통기성부(특허문헌 2, 3의 마스크에서는 부직포부)와 조합하는 것이 필요해진다. 또한, 본체부인 수지 필름이 장착자의 콧구멍 및 입을 덮음으로써 장착자가 하는 말을 알아듣기 어려워지고, 특히 의료 종사자 혹은 서비스업자의 사용에는 반드시 적합하다고는 할 수 없다. 특허문헌 2, 3의 마스크에 있어서도, 여전히 이 통음성의 문제가 존재한다.

이와 같이, 마스크를 사용하는 용도가 확대됨에 따라, 또한 근년의 사회적인 요청에 의해, 단순한 차폐성 및 장착자의 호흡을 확보하기 위한 통기성 이외에도, 투명성, 통음성 등의 여러 특성이 마스크에 요구되는 현상이 되어 있다.

본 발명은 종래의 마스크와는 완전히 구조가 다른 마스크이며, 차폐성, 통기성, 투명성, 통음성을 비롯한 다양한 특성의 설계의 자유도가 높고, 예를 들어 양호한 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성을 병립할 수 있는 마스크의 제공을 목적으로 한다.

본 발명의 마스크는 안면에 장착하여 사용되는 마스크이며, 상기 안면의 적어도 일부를 덮는 본체부가, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 구비한다. 상기 수지 필름은 두께 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍을 갖는 비다공질의 필름이다. 상기 관통 구멍의 직경은 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이다. 상기 수지 필름에 있어서의 상기 관통 구멍의 밀도는 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하이다.

본 발명에 따르면, 종래의 마스크와는 완전히 구조가 다른 마스크이며, 차폐성, 통기성, 투명성, 통음성을 비롯한 다양한 특성의 설계의 자유도가 높고, 예를 들어 양호한 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성이 병립된 마스크가 실현한다.

도 1은 본 발명의 마스크의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 또 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 또 다른 일례를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 상기와는 다른 일례를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 상기와는 다른 일례를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름의 상기와는 다른 일례를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름을 형성하는 방법이며, 이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭을 사용하는 방법에 있어서의, 이온빔 조사의 개략을 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은 본 발명의 마스크의 본체부에 사용할 수 있는 수지 필름을 형성하는 방법이며, 이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭을 사용하는 방법에 있어서의, 이온빔 조사의 일례를 설명하기 위한 모식도이다.
도 11은 실시예에 있어서, 마스크의 본체부를 구성하는 재료의 음압 손실(삽입 손실)을 평가하기 위해 사용한 모의 하우징, 그리고 당해 하우징에 고정한 측정 시료 및 스피커의 배치를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 12는 실시예 1에서 제작한 마스크를 도시하는 도면이다.
도 13은 실시예에서 실시한 차폐성 평가 시험의 결과를 도시하는 도면이다.

본 개시의 제1 형태는, 안면에 장착하여 사용되는 마스크이며, 상기 안면의 적어도 일부를 덮는 본체부가, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 구비하고, 상기 수지 필름은 두께 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍을 갖는 비다공질의 필름이고, 상기 관통 구멍의 직경이 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이고, 상기 수지 필름에 있어서의 상기 관통 구멍의 밀도가 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하인 마스크를 제공한다.

본 개시의 제2 형태는, 제1 형태에 더하여, 상기 수지 필름이 투명 재료에 의해 구성되는 마스크를 제공한다.

본 개시의 제3 형태는, 제1 또는 제2 형태에 더하여, 상기 복수의 관통 구멍이, 상기 수지 필름의 주면에 수직인 방향으로 연장되는 마스크를 제공한다.

본 개시의 제4 형태는, 제1 내지 제3 중 어느 형태에 더하여, 상기 관통 구멍의 직경 R에 대한 상기 수지 필름의 두께 t의 비 t/R이 1 이상 10000 이하인 마스크를 제공한다.

본 개시의 제5 형태는, 제1 내지 제4 중 어느 형태에 더하여, 상기 수지 필름의 두께 방향의 통기도가, JIS L1096의 규정에 준거하여 측정한 프래질 수로 나타내어, 10㎤/(㎠ㆍ초) 이상인 마스크를 제공한다.

본 개시의 제6 형태는, 제1 내지 제5 중 어느 형태에 더하여, 상기 수지 필름의 주파수 1㎑에 있어서의 음압 손실이 5㏈ 이하인 마스크를 제공한다.

본 개시의 제7 형태는, 제1 내지 제6 중 어느 형태에 더하여, JIS K7361의 규정에 준거하여 측정한 상기 수지 필름의 전체 광선 투과율이 60％ 이상인 마스크를 제공한다.

본 개시의 제8 형태는, 제1 내지 제7 중 어느 형태에 더하여, 상기 수지 필름이, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리불화비닐리덴에서 선택되는 적어도 1종의 재료에 의해 구성되는 마스크를 제공한다.

도 1에 본 발명의 마스크의 일례를, 장착자가 안면에 장착한 상태로 도시한다. 도 1에 도시하는 마스크(1)는 장착자(51)의 안면의 일부, 보다 구체적으로는 콧구멍(52) 및 입(53)을 덮는 본체부(2)와, 본체부(2)를 장착자(51)의 안면에 고정하기 위한 걸림 지지부(3)를 구비하고 있다. 걸림 지지부(3)는 본체부(2)의 테두리(4)에 있어서 본체부(2)와 접합되어 있다. 마스크(1)에 있어서 걸림 지지부(3)는 끈상의 부재이고, 걸림 지지부(3)를 장착자(51)의 귓바퀴에 걺으로써, 마스크(1)는 장착자(51)의 안면에 장착된다. 마스크(1)에서는 본체부(2)가 수지 필름(5)으로 구성되어 있다. 수지 필름(5)은 두께 방향으로 통기성을 갖는다.

보다 구체적으로, 수지 필름(5)은 두께 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍을 갖는 비다공질의 필름이다. 관통 구멍의 직경은 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이고, 수지 필름(5)에 있어서의 관통 구멍의 밀도(구멍 밀도)는 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하이다.

마스크(1)에서는 본체부(2)가 수지 필름(5)을 구비함으로써, 장착자(51)의 안면에 본체부(2)의 주연부를 밀착시킨 상태에 있어서도 장착자(51)의 호흡이 확보된다. 또한, 수지 필름(5)에 있어서 관통 구멍의 직경 및 밀도가 소정의 범위에 있는 것과 더불어, 양호한 차폐성 및 통음성의 실현이 가능하다. 그리고, 수지 필름(5)에 투명 재료를 사용함으로써, 본체부(2) 및 본체부(2)를 구비하는 마스크(1)의 투명성을 확보할 수도 있다. 즉 마스크(1)에서는, 예를 들어 양호한 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성의 병립이 가능하다.

이것 이외에도, 예를 들어 수지 필름(5)에 발액 처리, 착색 처리, 방담 처리, 혹은 부직포 및 직포에서는 한계가 있던 인쇄 처리 등의 각종의 가공을 양호하게 실시할 수 있고, 이것들 가공에 의해, 본체부(2) 및 본체부(2)를 구비하는 마스크(1)에 다양한 특성 및/또는 기능을 부여할 수 있다. 이와 같은 가공의 실시의 유무 및 가공의 종류의 선택 외에, 수지 필름(5)의 재질 및/또는 두께의 선택, 그리고 관통 구멍의 직경, 밀도 및 수지 필름(5) 중을 연장하는 방향의 제어 등에 의해, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 대하여, 상술한 4개의 특성을 비롯한 다양한 특성을 변화시킬 수 있다. 즉, 마스크(1)는 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성을 비롯한 다양한 특성의 설계의 자유도가 높은 마스크가 된다.

도 2에 수지 필름(5)의 일례를 도시한다. 수지 필름(5)에는 그 두께 방향으로 관통하는 복수의 관통 구멍(11)이 형성되어 있다. 관통 구멍(11)은 직선상으로 연장되어 있고, 그 연장되는 방향에 수직인 단면(이하, 간단히 「관통 구멍의 단면」)의 면적은 수지 필름(5)의 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)에 이르기까지 일정하다. 관통 구멍(11)은 수지 필름(5)의 기질 구조를 관통하고 있다. 바꾸어 말하면, 관통 구멍(11)은 수지 필름(5)의 기질과는 다른 구조를 갖고 있다. 수지 필름(5)은 그 두께 방향으로 통기 가능한 경로를 관통 구멍(11) 이외에 갖지 않은 비다공질의 필름이고, 전형적으로는 관통 구멍(11)을 제외하고 무공의(중실의) 필름이다. 즉, 수지 필름(5)의 기질 구조는 비다공질이고, 관통 구멍(11)은 이 비다공질 구조를 관통하고 있다. 관통 구멍(11)은 당해 관통 구멍의 중심축(축선)(13)이 직선상으로 연장되는 스트레이트 구멍이다.

관통 구멍(11)은, 예를 들어 수지 필름(5)의 원 필름에 대한 이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭, 또는 원 필름에 대한 레이저 조사에 의해 형성할 수 있다. 수지 필름(5)은 원 필름으로의 이온빔 조사 및 화학 에칭에 의해 얻은 필름, 또는 원 필름으로의 레이저 조사에 의해 얻은 필름일 수 있다.

이와 같은 수지 필름(5)의 구조는, 종래, 마스크의 본체부로서 일반적인 직포 및 부직포의 구조와는 크게 다르다. 직포 및 부직포에서는, 섬유간에 존재하는 랜덤한 공극이 통기 경로가 되는 점에서, 통기 경로가 무수의 분기 및 합류를 갖고 있고, 스트레이트 구멍일 수 없다. 또한, 직포 및 부직포에서는, 랜덤한 공극에 의한 광의 강한 산란을 피할 수 없고, 현실에서는 높은 투명성을 달성하는 것이 곤란하다. 직포 및 부직포는 그 기질 구조 자체가 다공질 구조라고 할 수 있다.

또한, 수지 필름(5), 특히 원 필름에 대한 이온빔 조사 및 화학 에칭, 또는 레이저 조사에 의해 형성한 수지 필름(5)에서는, 직경(개구 직경)이 정렬된(직경의 균일도가 높은) 다수의 관통 구멍(11)이 비다공질 구조인 기질 구조로 형성될 수 있다. 비다공질의 기질 구조로 형성된 관통 구멍(11)의 직경의 균일도가 높은 것은, 예를 들어 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)의 차폐성, 통기성 및 통음성의 보다 확실하고 또한 높은 레벨에서의 병립에 기여하고, 수지 필름(5)이 투명 재료에 의해 구성되는 경우, 수지 필름(5)에 있어서의 광의 산란이 보다 억제됨으로써, 보다 높은 투명성을 갖는 마스크(1)의 실현에 기여한다. 또한, 수지 필름(5)에서는, 관통 구멍(11)이 비다공질의 기질 구조를 관통하도록 형성되어 있는 점에서, 그 직경뿐만 아니라, 형상(단면 형상, 단면의 면적의 변화의 상태 등을 포함함), 수지 필름(5)에 있어서의 밀도 등을, 보다 고정밀도로, 또한 균일성 높게 제어할 수 있다. 이것도, 마스크(1)에 있어서 차폐성, 통기성, 투명성, 통음성을 비롯한 다양한 특성의 설계의 자유도를 보다 높게 할 수 있는 것에 기여한다.

관통 구멍(11)의 직경은 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이다. 이 범위에 있어서, 상기 다양한 특성의 설계의 자유도가 높아진다. 또한, 마스크(1)의 차폐성에 착안하면, 바이러스의 사이즈가 약 0.1 내지 1㎛, 세균, 그리고 바이러스 또는 세균을 포함하는 비말의 사이즈가 약 1 내지 10㎛, 꽃가루의 사이즈가 약 30㎛, PM2.5를 비롯한 오염 물질(입자)의 사이즈가 약 0.1 내지 수십㎛, 일반적인 분진은 더 큰 사이즈인 점에서, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)는, 이들의 물질의 차폐에 충분히 대응할 수 있는 것을 알 수 있다. 관통 구멍(11)의 직경을 0.01㎛ 미만으로 하는 것은 이론적으로는 가능하지만 수지 필름(5)의 공업적인 생산성이 저하되고, 바이러스의 사이즈를 고려하면 과잉으로 작은 직경이라고 할 수 있다. 또한, 관통 구멍(11)의 직경이 0.01㎛ 미만이 되면, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 대하여, 특성간의 밸런스, 특히 차폐성과 통기성의 밸런스를 유지하는 것이 곤란해진다. 한편, 관통 구멍(11)의 직경이 30㎛를 초과하면, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)의 차폐성이 저하된다.

수지 필름(5)에 있어서의 관통 구멍(11)의 밀도(구멍 밀도)는 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하이다. 관통 구멍(11)의 직경이 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하인 것과 더불어, 이 범위에 있어서 상기 다양한 특성의 설계의 자유도가 높아지고, 예를 들어 양호한 차폐성, 통기성 및 통음성의 양립이 가능해짐과 함께, 투명성을 갖는 마스크(1)의 경우, 더욱 높은 투명성의 달성이 가능해진다.

관통 구멍(11)의 직경은 수지 필름(5)의 평균 구멍 직경과는 개념이 다르다. 수지 필름(5)에서는 주면(12a, 12b)에 존재하는 모든 관통 구멍(11)의 직경(개구의 직경), 혹은 수지 필름(5)의 유효 부분(당해 필름의 용도로서 사용 가능한 부분)에 존재하는 모든 관통 구멍(11)의 직경이 상기 범위 내에 들어갈 수 있다.

관통 구멍(11)의 단면의 형상 및 개구의 형상은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 원 또는 타원이다. 이때, 이들의 형상은 엄밀한 원 또는 타원일 필요는 없고, 예를 들어 후술하는 제조 방법으로 피할 수 없는 다소의 형상의 혼란은 허용된다.

관통 구멍(11)에 대하여, 그 개구의 형상을 원으로 간주했을 때의 당해 원의 직경, 바꾸어 말하면, 개구의 단면적(개구 면적)과 동일한 면적을 갖는 원의 직경을, 관통 구멍(11)의 직경으로 한다. 수지 필름(5)의 주면(12a, 12b)에 있어서의 관통 구멍(11)의 개구의 직경은 당해 주면에 존재하는 모든 관통 구멍(11)의 개구에서 일치할 필요는 없지만, 수지 필름(5)의 유효 부분에서는 실질적으로 동일한 값이라고 간주할 수 있을 정도(예를 들어, 표준 편차가 평균값의 10％ 이하)에 일치하고 있는 것이 바람직하다. 후술하는 제조 방법에 의하면, 이와 같이 관통 구멍(11)의 개구의 직경이 정렬된 수지 필름(5)을 형성할 수 있다.

또한, 수지 필름(5)의 주면(12a, 12b)에 수직인 방향으로부터 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)의 개구의 형상은 타원이 될 수 있다. 그러나, 이와 같은 경우에 있어서도, 수지 필름(5) 내에 있어서의 관통 구멍(11)의 단면의 형상은 원이라고 간주할 수 있고, 이 원의 직경은 개구의 형상인 타원의 최소 직경과 동등해진다. 이로 인해, 상기 기울어진 방향으로 연신되는 관통 구멍(11)이며 개구의 형상이 타원인 것에 대해서는, 당해 최소 직경을 관통 구멍의 개구 직경으로 할 수 있다.

수지 필름(5)에 있어서의 관통 구멍(11)의 밀도는 수지 필름(5)의 전체에 걸쳐서 일정할 필요는 없지만, 그 유효 부분에서는, 최대의 밀도가 최소의 밀도의 1.5배 이하가 될 정도로 일정한 것이 바람직하다. 관통 구멍(11)의 밀도는, 예를 들어 수지 필름(5)의 표면을 현미경으로 관찰한 상을 해석함으로써 구할 수 있다.

수지 필름(5)의 제조 방법에 따라서는, 그 주면 상에 있어서의 관통 구멍(11)의 개구의 주위에 「버」가 형성되는 경우가 있다. 개구의 직경 등, 관통 구멍(11)의 개구에 기초하는 수지 필름(5)의 각 특징을 판단할 때에는, 버는 고려하지 않고, 어디까지나 개구에 의해서만 판단한다.

도 2에 도시하는 예에 있어서, 관통 구멍(11)의 단면의 면적은, 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)에 이르기까지 일정하다. 관통 구멍(11)은 그 단면의 면적이 수지 필름(1)의 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 변화되는 형상, 예를 들어 증가하는 형상을 갖고 있어도 된다(증가하는 형상에 대하여 도 3을 참조). 이와 같은 관통 구멍(11)은 당해 관통 구멍(11)이 연장되는 방향으로 단면이 변화되는, 수지 필름(5)의 두께 방향에 비대칭인 형상을 갖는 관통 구멍이다. 관통 구멍(11)의 단면의 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 증가할 때 등, 수지 필름(5)의 각 주면에 있어서의 관통 구멍(11)의 직경이 다를 때는, 상대적으로 작은 면적의 개구가 형성되어 있는 주면에 있어서의 관통 구멍(11)의 직경이 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이고, 당해 주면에 있어서의 관통 구멍(11)의 밀도가 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하이면 된다. 관통 구멍(11)의 단면의 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 증가할 때, 당해 면적은 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 연속적으로 증가해도 되고, 단계적으로 증가해도(즉, 당해 면적이 일정한 영역이 존재해도) 된다. 어느 하나의 실시 형태에서는, 상기 단면의 면적이 연속적으로 증가하고, 그 증가율은 거의 일정하거나 또는 일정하다. 단면의 형상이 원 또는 타원이고, 또한 단면의 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 거의 일정 또는 일정한 증가율로 증가하는 경우, 관통 구멍(11)의 형상은, 원추 혹은 타원추 또는 이들의 일부가 된다. 후술하는 제조 방법에 의하면, 이와 같은 관통 구멍(11)을 구비하는 수지 필름(5)을 형성할 수 있다.

관통 구멍(11)의 단면의 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 증가할 때, 주면(12a)에 있어서의 상대적으로 작은 관통 구멍(11)의 직경 a와, 주면(12b)에 있어서의 상대적으로 큰 관통 구멍(11)의 직경 b의 비 a/b는, 예를 들어 80％ 이하이고, 75％ 이하, 나아가 70％ 이하일 수 있다. 비 a/b의 하한은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 10％이다.

수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)의 투명성에 착안하면, 관통 구멍(11)의 단면의 면적은 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)에 이르기까지 일정한 것이 바람직하다. 이 경우, 관통 구멍(11)에 의한 광의 산란이 보다 억제된다. 또한, 관통 구멍(11)의 단면의 면적이 일정하다는 것은, 당해 면적이 엄밀하게 일정할 필요는 없다. 수지 필름(5)의 제조 방법상 피할 수 없을 정도의 면적의 변동은 허용된다.

도 2에 도시한 예에 있어서, 관통 구멍(11)이 연장되는 방향은 수지 필름(5)의 주면(12a, 12b)에 수직인 방향이다. 수지 필름(5)의 두께 방향으로 관통하고 있는 한, 관통 구멍(11)이 연장되는 방향은 수지 필름(5)의 주면(12a, 12b)에 수직인 방향으로부터 기울어져 있어도 되고, 주면(12a, 12b)에 수직인 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)과 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)이 수지 필름(5)에 혼재하고 있어도 된다. 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)의 투명성에 착안하면, 도 2에 도시한 예와 같이, 수지 필름(5)의 주면(12a, 12b)에 수직인 방향으로 관통 구멍(11)이 연장되는 것이 바람직하다.

수지 필름(5)에 존재하는 모든 관통 구멍(11)이 연장되는 방향은 동일해도 되고[중심축(13)의 방향이 정렬되어 있어도 되고], 도 4에 도시한 바와 같이, 수지 필름(5)이 당해 필름의 주면(12a, 12b)에 수직인 방향으로부터 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)(11a 내지 11g)을 갖고 있고, 당해 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(11a 내지 11g)이 수지 필름(5)에 혼재하고 있어도 된다.

도 4에 도시한 예에서는, 관통 구멍(11)이 수지 필름(5)의 주면(12a, 12b)에 수직인 방향으로부터 기울어져 연장되어 있고, 연장되는 방향이 서로 다른 관통 구멍(11)의 조합이 있다. 이때, 수지 필름(5)에는 연장되는 방향이 동일한 관통 구멍(11)의 조합이 있어도 된다[도 4에 도시하는 예에서는, 관통 구멍(11a, 11d 및 11g)의 연장되는 방향이 동일함]. 이하, 「조합」을 간단히 「조」라고도 한다. 「조」는 하나의 관통 구멍과 하나의 관통 구멍의 관계[페어(쌍)]에 한정되지 않고, 1 또는 2이상의 관통 구멍끼리의 관계를 의미한다. 동일한 특징을 갖는 관통 구멍의 조가 있다는 것은, 당해 특징을 갖는 관통 구멍이 복수 존재하는 것을 의미한다.

도 4에 도시한 바와 같은, 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(11)이 혼재하는 수지 필름(5)에서는, 예를 들어 그 특성을, 그렇지 않은 수지 필름(5)과는 다른 영역에서 제어할 수 있다. 이 점으로부터도, 본 발명의 마스크에서는 다양한 특성의 설계의 자유도를 높게 할 수 있다.

도 4에 도시하는 관통 구멍(11)에 대하여, 그 기울어져 연장되는 방향[중심축(13)이 연장되는 방향] D1이 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향 D2에 대하여 이루는 각도 θ1은, 예를 들어 45° 이하이고, 30° 이하일 수 있다. 각도 θ1이 이들의 범위에 있을 때에, 마스크(1)에 있어서의 다양한 특성의 설계의 자유도가 더 높아진다. 예를 들어, 각도 θ1이 과도하게 커지면, 수지 필름(5)에 있어서의 광의 산란이 커지고, 마스크(1)의 투명성이 저하되는 경향이 있다. 또한, 이 경우, 수지 필름(5)의 기계적 강도가 약해지는 경향이 있다. 각도 θ1의 하한은 특별히 한정되지 않는다. 도 4에 도시하는 관통 구멍(11)에서는 각도 θ1이 서로 다른 조가 존재하고 있다.

도 4에 도시한 바와 같은, 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(11)이 혼재하는 수지 필름(5)에 있어서, 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에[관통 구멍(11)이 연장되는 방향을 당해 주면에 투영했을 때에], 관통 구멍(11)이 연장되는 방향이 서로 평행해도 되고, 당해 연장되는 방향이 서로 다른 조를 수지 필름(5)이 갖고 있어도[당해 연장되는 방향이 서로 다른 관통 구멍(11)이 수지 필름(5)에 존재하고 있어도] 된다.

도 5에 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에, 관통 구멍(11)이 연장되는 방향이 서로 평행한 예를 나타낸다. 도 5에 도시하는 예에서는, 3개의 관통 구멍(11)(11h, 11i, 11j)이 보이고 있지만, 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 각 관통 구멍(11)이 연장되는 방향[지면 전방측의 주면에 있어서의 관통 구멍(11)의 개구(14a)로부터, 반대측의 주면에 있어서의 관통 구멍(11)의 개구(14b)를 향하는 방향] D3, D4, D5는 서로 평행이다(후술하는 θ2가 0°임). 단, 각 관통 구멍(11h, 11i, 11j)의 각도 θ1은 서로 다르고, 관통 구멍(11j)의 각도 θ1이 가장 작고, 관통 구멍(11h)의 각도 θ1이 가장 크다. 이로 인해, 각 관통 구멍(11h, 11i, 11j)이 연장되는 방향은 입체적으로 다르다.

도 6에 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에, 관통 구멍(11)이 연장되는 방향이 서로 다른 예를 도시한다. 도 6에 도시하는 예에서는, 3개의 관통 구멍(11)(11k, 11l, 11m)이 보이고 있지만, 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 각 관통 구멍(11)이 연장되는 방향 D6, D7, D8은 서로 다르다. 여기서, 관통 구멍(11k와 11l)은 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 90° 미만의 각도 θ2를 이루고, 당해 주면으로부터 서로 다른 방향으로 연장되어 있다. 한편, 관통 구멍(11k와 11m)은 수지 필름(5)의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 90° 이상의 각도 θ2를 이루고, 당해 주면으로부터 서로 다른 방향으로 연장되어 있다. 수지 필름(5)은 후자와 같이, 당해 필름의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에 90° 이상의 각도 θ2를 이루고 당해 주면으로부터 서로 다른 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)의 조를 가질 수 있다. 바꾸어 말하면, 수지 필름(5)은 당해 필름의 주면에 수직인 방향에서 보았을 때에, 당해 주면으로부터 일정한 방향 D6으로 연장되는 관통 구멍(11k)과, 당해 일정한 방향 D6에 대하여 90° 이상의 각도 θ2를 이루는 방향 D8에 당해 주면으로부터 연장되는 관통 구멍(11m)의 조를 가질 수 있다. 각도 θ2는, 예를 들어 90° 이상 180° 이하이고, 즉 180°일 수 있다.

도 6에 도시한 바와 같은, 기울어져 연장되는 방향이 다른 관통 구멍(11)이 혼재하는 수지 필름(5)에 있어서, 2 이상의 관통 구멍(11)이 수지 필름(5) 내에서 서로 교차하고 있어도 된다. 즉, 수지 필름(5)은 당해 필름(5) 내에서 서로 교차하는 관통 구멍(11)의 조를 갖고 있어도 된다. 이와 같은 예를 도 7에 도시한다. 도 7에 도시하는 예에서는, 관통 구멍(11p와 11q)이 수지 필름(5) 내에서 서로 교차하고 있다.

수지 필름(5)에 있어서의 관통 구멍(11)이 연장되는 방향[관통 구멍(11)의 중심선(13)이 연장되는 방향]은, 예를 들어 당해 필름(5)의 주면 및 단면에 대하여 주사형 전자 현미경(SEM)에 의한 관찰을 행함으로써 확인할 수 있다.

수지 필름(5)에 있어서의 이것들 관통 구멍(11)의 특징은 임의로 조합할 수 있다. 이것도, 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 높은 것에 기여한다.

수지 필름(5)은 JIS L1096의 규정에 준거하여 측정한 프래질 수로 나타내어, 10㎤/(㎠ㆍ초) 이상의 통기도를 두께 방향으로 가질 수 있다. 두께 방향의 통기도가 이 범위에 있는 경우, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 더 높아지고, 예를 들어 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성을 더 높은 레벨에서 병립할 수 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 한쪽의 주면(12a)에 있어서의 관통 구멍(11)의 직경과, 다른 쪽의 주면(12b)에 있어서의 관통 구멍(11)의 직경이 다른 경우, 상대적으로 큰 관통 구멍(11)의 직경을 갖는 주면(12b)으로부터 상대적으로 작은 관통 구멍(11)의 직경을 갖는 주면(12a)으로의 수지 필름(5)의 통기도가, 프래질 수로 나타내어 상기 범위에 있을 수 있다.

수지 필름(5)의 통기성의 변동은 작다. 예를 들어, 수지 필름(5)에 있어서의 임의의 40점에서 측정한 상기 프래질 통기도의 평균값 Av에 대한 표준 편차 σ의 비 σ/Av(통기성 변동률 σ/Av)가 0.3 이하이다. 당해 변동률은 0.2 이하, 나아가 0.1 이하일 수 있다. 부직포 및 직포에서는, 이와 같은 낮은 통기성 변동률을 달성할 수 없다. 낮은 통기성 변동률은 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 더 높아지는 것에 기여하여, 마스크(1)의 성능의 안정성 향상, 마스크(1)의 제조 수율의 향상 등에도 기여한다. 이들의 기여는, 특히, 본체부(2)의 일부에만 수지 필름(5)을 구비하는 경우 등 수지 필름(5)의 사용 면적이 작은 경우에 현저해진다.

수지 필름(5)에서는 관통 구멍(11)의 밀도의 변동을 작게 할 수 있다. 예를 들어, 관통 구멍(11)의 밀도의 변동을 1000개/㎠ 이하로 할 수 있다. 이와 같은 밀도의 변동의 작음에 의해서도, 통기성의 변동의 작음과 동일한 효과가 얻어진다. 관통 구멍(11)의 밀도의 변동은 500개/㎠ 이하로 할 수 있다. 특히 후술하는, 원 필름에 대한 레이저 조사에 의해 관통 구멍(11)을 형성하여 얻은 수지 필름(5)에서는, 관통 구멍(11)의 밀도의 변동을 작게 할 수 있다.

관통 구멍(11)의 밀도의 변동은 평가 대상인 수지 필름(5)의 주면 상의 임의의 5개소에 대하여 관통 구멍(11)의 밀도를 평가하고, 평가한 밀도의 평균값 Av와 표준 편차 σ로부터, 비 σ/Av에 의해 구할 수 있다.

예를 들어, 원 필름에 대한 레이저 조사에 의해 관통 구멍(11)을 형성하여 얻은 수지 필름(5) 등, 수지 필름(5)에 따라서는, 복수의 관통 구멍(11)의 개구가 수지 필름(5)의 각 주면 상에 서로 간격을 두고 독립되어 형성될 수 있다. 바꾸어 말하면, 다른 관통 구멍(11)의 개구가, 수지 필름(5)의 각 주면 상에서 중복되어 있지 않은 상태의 수지 필름(5)일 수 있다. 이와 같은 수지 필름(5)에서는, 관통 구멍(11)의 형상, 직경, 밀도 등을, 더욱 고정밀도로, 균일성 높게 컨트롤할 수 있다. 이 경우의 보다 구체적인 예로서, 관통 구멍(11)은 각 주면 상에 상정한 격자의 정점에 대응하는 위치에 형성될 수 있다. 후술하는, 원 필름에 대한 레이저 조사를 사용한 수지 필름(5)의 제조 방법에 의하면, 상정한 격자의 정점에 대응하는 위치에 비교적 용이하게 관통 구멍(11)을 형성할 수 있다. 이와 같은 관통 구멍(11)의 배치에서는, 그 개구간의 간격(피치)의 변동이 적고, 보다 통기성의 변동이 작은 수지 필름(5)이 된다. 상정하는 격자는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 사방 격자, 육각 격자, 정방 격자, 직사각형 격자, 마름모형 격자이다. 각각, 격자의 그물눈의 형상이 평행사변형, 육각형, 정사각형, 직사각형, 마름모형(면심 직사각형)이 된다. 도 8에 이와 같은 수지 필름(5)의 예를 도시한다. 도 8에 도시하는 수지 필름(5)에서는, 그 주면 상에 상정한 정방 격자의 정점에 대응하는 위치에, 관통 구멍(11)의 개구(14)가 형성되어 있다.

수지 필름(5)에서는 수지 필름(5)의 각 주면에 있어서, 다른 관통 구멍(11)의 개구가 서로 중복되어 있어도 된다. 후술하는, 원 필름에 대한 이온빔 조사 및 화학 에칭에 의해 관통 구멍(11)을 형성한 경우, 이와 같은 수지 필름(5)이 형성될 수 있다.

수지 필름(5)의 개구율[주면의 면적에 대한, 당해 주면에 있어서의 관통 구멍(11)의 개구 면적의 비율]은, 예를 들어 50％ 이하이고, 5％ 이상 45％ 이하, 10％ 이상 45％ 이하, 혹은 20％ 이상 40％ 이하일 수 있다. 개구율이 이들의 범위에 있는 경우, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 더 높아진다. 개구율은, 예를 들어 수지 필름(5)의 표면을 현미경으로 관찰한 상을 해석함으로써 구할 수 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 한쪽의 주면(12a)에 있어서의 관통 구멍(11)의 직경과, 다른 쪽의 주면(12b)에 있어서의 관통 구멍(11)의 직경이 다른 경우, 상대적으로 작은 관통 구멍(11)의 직경을 갖는 주면(12a)에 있어서의 관통 구멍(11)의 밀도의 변동 및/또는 개구율이 상술한 범위에 있을 수 있다.

수지 필름(5)의 기공률은, 예를 들어 5％ 이상 45％ 이하이고, 30％ 이상 40％ 이하일 수 있다. 기공률이 이들의 범위에 있는 경우, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 더 높아진다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 단면의 면적이 수지 필름(5) 내에서 일정한 관통 구멍(11)이 형성된 수지 필름(5)인 경우, 그 개구율과 기공률은 동일하다. 도 3에 도시한 바와 같이, 단면의 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 증가하는 관통 구멍(11)이 형성된 수지 필름(5)인 경우, 기공률은, 예를 들어 양쪽의 주면(12a, 12b)에 있어서의 개구율과, 수지 필름(5)의 단면을 관찰함으로써 파악한 관통 구멍(11)의 형상으로부터, 계산에 의해 구할 수 있다.

수지 필름(5)의 겉보기 밀도는, 예를 들어 0.1g/㎤ 이상 1.5g/㎤ 이하이고, 0.2g/㎤ 이상 1.4g/㎤ 이하일 수 있다. 겉보기 밀도가 이들의 범위에 있는 경우, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 높아진다. 겉보기 밀도는 임의의 크기로 절단한 수지 필름(5)의 중량 W(g)를 체적 V(㎤)로 나누어 구할 수 있다.

통음성에 대하여, 수지 필름(5)은, 예를 들어 주파수 1㎑에 있어서의 음압 손실(삽입 손실)이 5㏈ 이하일 수 있고, 수지 필름(5)의 구성에 따라서는, 주파수 1㎑에 있어서의 음압 손실이 3㏈ 이하, 2dB 이하, 나아가 1㏈ 이하일 수 있다. 부직포 및 직포에서는 이와 같은 낮은 음압 손실을 달성하는 것이 곤란하다. 주파수 1㎑는 인간이 통상의 발성, 회화에 사용하고 있는 음역(주파수 영역)의 거의 중앙의 주파수에 상당한다.

투명성에 대하여, 수지 필름(5)은, 예를 들어 JIS K7361의 규정에 준거하여 측정한 전체 광선 투과율이 60％ 이상일 수 있고, 수지 필름(5)의 구성에 따라서는, 전체 광선 투과율이 70％ 이상, 80％ 이상, 나아가 90％ 이상일 수 있다.

마찬가지로 투명성에 대하여, 수지 필름(5)은, 예를 들어 JIS K7136의 규정에 준거하여 측정한 헤이즈가 50％ 이하일 수 있고, 수지 필름(5)의 구성에 따라서는 30％ 이하, 나아가 20％ 이하일 수 있다.

수지 필름(5)의 두께는, 예를 들어 5㎛ 이상 100㎛ 이하이고, 15㎛ 이상 50㎛ 이하가 바람직하다.

수지 필름(5)에 있어서, 관통 구멍(11)의 직경 R에 대한 수지 필름(5)의 두께 t의 비 t/R이 1 이상 10000 이하여도 되고, 이 경우, 수지 필름(5)을 본체부(2)에 구비하는 마스크(1)에 있어서 다양한 특성의 설계의 자유도가 더 높아진다.

수지 필름(5)을 구성하는 재료는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 후술하는 제조 방법에 있어서, 수지 필름인 원 필름에 관통 구멍(11)을 형성할 수 있는 재료이다.

원 필름에 대한 이온빔 조사 및 화학 에칭에 의해 관통 구멍(11)을 형성하는 경우, 수지 필름(5) 및 원 필름을 구성하는 재료는, 예를 들어 알칼리성 용액, 산성 용액, 또는 산화제, 유기 용제 및 계면 활성제에서 선택되는 적어도 1종을 첨가한 알칼리성 용액 혹은 산성 용액에 의해 분해하는 수지이다. 또한, 이들의 용액은 전형적인 에칭 처리액이다. 다른 측면에서 보면, 이 경우, 수지 필름(5) 및 원 필름은, 예를 들어 가수분해 또는 산화 분해에 의한 에칭 가능한 수지로 구성된다. 이 경우, 수지 필름(5) 및 원 필름은, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리불화비닐리덴에서 선택되는 적어도 1종의 수지로 구성된다.

원 필름에 대한 레이저 조사에 의해 관통 구멍(11)을 형성하는 경우, 수지 필름(5) 및 원 필름을 구성하는 재료는, 예를 들어 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 등의 불소계 수지, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리술폰, 폴리부타디엔, 에폭시 수지, 폴리스티렌, 폴리메타크릴산메틸, 폴리카르보네이트, 트리아세틸셀룰로오스, 폴리비닐알코올, 폴리우레탄, ABS 수지, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체, 실리콘 러버이다. 레이저에 의한 천공성의 관점에서는, 수지 필름(5) 및 원 필름을 구성하는 재료는, 예를 들어 PET, 폴리프로필렌, PTFE, 폴리이미드, 폴리메타크릴산메틸, 폴리카르보네이트, 트리아세틸셀룰로오스, 폴리우레탄 및 실리콘 러버에서 선택되는 적어도 1종의 수지로 구성된다.

수지 필름(5)을 본체부(2)로서 구비하는 마스크(1)의 투명성을 고려하면, 수지 필름(5) 및 원 필름이 투명 재료로 구성되는 것이 바람직하고, 보다 구체적인 예로서, PET, 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리불화비닐리덴에서 선택되는 적어도 1종의 수지로 구성되는 것이 바람직하다.

수지 필름(5)에는 발액 처리, 착색 처리, 방담 처리 등의 각종 처리가 실시되어 있어도 된다.

발액 처리한 수지 필름(5)에 의하면, 예를 들어 외부로부터의 비말의 침입이 더 억제되거나, 방수성을 더 갖는 마스크(1)로 할 수 있다. 발액 처리는 공지의 방법에 의해 실시할 수 있고, 예를 들어 발수제 또는 소수성의 발유제를 희석제로 희석하여 제조한 처리액을, 수지 필름(5) 상에 얇게 도포하여 건조시킴으로써 실시할 수 있다. 수지 필름(5)을 상기 처리액에 침지한 후에, 건조시켜도 된다. 발수제 및 소수성의 발유제는, 예를 들어 퍼플루오로알킬아크릴레이트, 퍼플루오로알킬 메타크릴레이트와 같은 불소화합물이다. 발액 처리에 의해, 수지 필름(5)의 표면의 적어도 일부에 발액층이 형성될 수 있다. 수지 필름(5)의 표면 전체에 발액층이 형성되어도 된다. 형성된 발액층은 관통 구멍(11)의 개구에 대응하는 위치에 개구를 가질 수 있다.

착색 처리한 수지 필름(5)에 의하면, 예를 들어 본체부(2)의 적어도 일부가 특정한 색으로 착색된 마스크(1)로 할 수 있다. 착색의 예는, 마스크(1)의 장착자인 의료 종사자가 환자의 치료를 행할 때에 당해 마스크에 혈액이 부착되었다고 해도, 장착자에게 혈액을 의식시키지 않는 색채로의 착색이다.

방담 처리한 수지 필름(5)에 의하면, 예를 들어 외기온이 낮은 경우에 있어서도 장착자의 호흡에 의한 흐림의 발생이 억제된 마스크(1)로 할 수 있다. 방담 처리는 공지의 방법에 의해 실시할 수 있다.

이것들 각종 처리는 수지 필름(5)의 전체 또는 일부에 실시될 수 있다.

[수지 필름의 제조 방법]

수지 필름(5)의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 이하에 설명하는 제조 방법에 의해 제조할 수 있다.

제1 제조 방법에서는 원 필름에 대한 이온빔의 조사와 그 후의 에칭(화학 에칭)에 의해, 수지 필름(5)을 형성한다. 이온빔 조사 및 에칭에 의해 형성한 수지 필름(5)은 그대로 마스크(1)에 사용해도 되고, 필요에 따라 발액 처리 공정, 착색 처리 공정 혹은 방담 처리 공정 등의 가일층의 공정을 거쳐서 마스크(1)에 사용해도 된다.

이온빔 조사 및 그 후의 화학 에칭에 의해 수지 필름(5)을 형성하는 방법에서는, 예를 들어 수지 필름(5)이 갖는 관통 구멍(11)의 직경 및 밀도를 비롯하여, 개구율, 기공률, 통기도 등의 제어가 용이해진다.

원 필름은 이온빔 조사 및 화학 에칭 후에 수지 필름(5)으로서 사용하는 영역에 있어서, 그 두께 방향으로 통기 가능한 경로를 갖지 않는 비다공질의 수지 필름일 수 있다. 원 필름은 무공의 필름이어도 된다.

원 필름에 상술한 착색 처리가 실시되어 있어도 된다. 이 경우, 착색 처리된 수지 필름(5)이 형성된다.

원 필름에 이온빔을 조사하면, 당해 필름에 있어서의 이온이 통과한 부분에 있어서, 수지 필름을 구성하는 중합체쇄에 이온과의 충돌에 의한 손상이 발생한다. 손상이 발생한 중합체쇄는 이온이 충돌하고 있지 않은 다른 부분의 중합체쇄보다도 화학 에칭되기 쉽다. 이로 인해, 이온빔을 조사한 원 필름을 화학 에칭함으로써, 이온의 충돌의 궤적을 따라 연장되는 세공(관통 구멍)이 형성된 수지 필름이 얻어진다. 즉, 관통 구멍(11)의 중심선(13)의 연장되는 방향은 이온빔 조사 시에 원 필름을 이온이 통과한 방향이다. 원 필름에 있어서의 이온이 통과하고 있지 않은 부분에는 통상, 세공은 형성되지 않는다.

원 필름으로부터 수지 필름(5)을 형성하는 이 방법은, 비다공질의 원 필름에 이온빔을 조사하는 공정 (I)과, 이온빔을 조사한 원 필름을 화학 에칭하는 공정 (II)를 포함할 수 있다. 공정 (I)에서는 원 필름에, 당해 필름의 두께 방향으로 관통하는 직선상으로 연장된 이온의 충돌 궤적(이온 트랙)이 형성된다. 공정 (II)에서는, 화학 에칭에 의해, 공정 (I)에서 형성된 이온 트랙에 대응하는 관통 구멍(11)을 원 필름에 형성하고, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름(5)을 형성한다.

이 방법에서는, 도 2에 도시한 바와 같은, 단면의 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)에 이르기까지 일정한 관통 구멍(11)을 갖는 수지 필름(5)도, 당해 면적이 한쪽의 주면(12a)으로부터 다른 쪽의 주면(12b)을 향해 증가하는 관통 구멍(11)을 갖는 수지 필름(5)도 형성할 수 있다. 전자의 수지 필름(5)은, 예를 들어 이온 조사 후의 원 필름을 그대로 화학 에칭하여 형성할 수 있다. 원 필름에 형성된 이온 트랙에 상당하는 영역이 에칭에 의해 제거되는 점에서, 화학 에칭의 시간을 충분히 취함으로써, 단면의 면적이 일정한 관통 구멍(11)이 형성된다.

후자의 수지 필름(5)은, 예를 들어 공정 (II)에 있어서, 한쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭의 정도가, 다른 쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭의 정도보다도 큰 화학 에칭을 실행하여 형성할 수 있다. 보다 구체적인 예로서, 이온 조사 후의 원 필름에 있어서의 한쪽의 주면에 마스킹층을 배치한 상태로 화학 에칭을 실행하여 형성할 수 있다. 이 화학 에칭에서는 마스킹층이 배치된 상기 한쪽의 주면으로부터의 에칭에 비해, 상기 다른 쪽의 주면으로부터의 에칭의 정도가 커진다. 이와 같은 비대칭 에칭, 보다 구체적으로는, 이온 조사 후의 원 필름에 있어서의 한쪽의 주면으로부터와 다른 쪽의 주면으로부터 사이에서 진행 속도가 다른 에칭을 실시함으로써, 단면의 면적이 수지 필름(5)의 한쪽의 주면으로부터 다른 쪽의 주면을 향해 변화되는 형상을 갖는 관통 구멍(11)을 형성할 수 있다. 또한, 마스킹층을 배치하지 않은 전자의 수지 필름(5)을 형성할 때의 에칭에서는, 이온빔 조사 후의 원 필름에 대하여, 당해 원 필름의 양쪽 주면으로부터 균등한 에칭이 진행된다.

이하, 제1 제조 방법에 있어서의 공정 (I) 및 (II)를 보다 구체적으로 설명한다.

[공정 (I)]

공정 (I)에서는 이온빔을 원 필름에 조사한다. 이온빔은 가속된 이온에 의해 구성된다. 이온빔의 조사에 의해, 당해 빔 중의 이온이 충돌한 원 필름이 형성된다.

이온빔을 원 필름에 조사하면, 도 9에 도시한 바와 같이, 빔 중의 이온(101)이 원 필름(102)에 충돌하고, 충돌한 이온(101)은 당해 필름(102)의 내부에 궤적(이온 트랙)(103)을 남긴다. 피조사물인 원 필름(102)의 사이즈 스케일에서 보면, 통상, 이온(101)은 거의 직선상으로 원 필름(102)과 충돌하기 때문에, 직선상으로 연장된 궤적(103)이 당해 필름(102)에 형성된다. 이온(101)은 통상, 원 필름(102)을 관통한다.

원 필름(102)에 이온빔을 조사하는 방법은 한정되지 않는다. 예를 들어, 원 필름(102)을 챔버에 수용하고, 챔버 내의 압력을 낮게 한 후[예를 들어, 조사하는 이온(101)의 에너지의 감쇠를 억제하기 위해 고진공 분위기로 한 후], 빔 라인으로부터 이온(101)을 원 필름(102)에 조사한다. 챔버 내에 특정한 기체를 가해도 되고, 원 필름(102)을 챔버에 수용하지만 당해 챔버 내의 압력을 감압하지 않고, 예를 들어 대기압으로 이온빔의 조사를 실시해도 된다.

띠상의 원 필름(102)이 권회된 롤을 준비하고, 당해 롤로부터 원 필름(102)을 송출하면서, 연속적으로 원 필름(102)에 이온빔을 조사해도 된다. 이에 의해, 수지 필름(5)을 효율적으로 형성할 수 있다. 상술한 챔버 내에 상기 롤(송출 롤)과, 이온빔 조사 후의 원 필름(102)을 권취하는 권취 롤을 배치하고, 감압, 고진공 등의 임의의 분위기로 한 챔버 내에 있어서 송출 롤로부터 띠상의 원 필름(102)을 송출하면서 연속적으로 당해 필름에 이온빔을 조사하고, 빔 조사 후의 원 필름(102)을 권취 롤에 권취해도 된다.

원 필름(102)을 구성하는 수지는 수지 필름(5)을 구성하는 수지와 동일하다.

이온빔을 조사하는 원 필름(102)은, 예를 들어 무공의 필름이다. 이 경우, 공정 (I) 및 (II) 이외에 당해 필름에 구멍을 형성하는 가일층의 공정을 실시하지 않는 한, 공정 (I) 및 (II)에 의해 형성된 관통 구멍(11) 이외의 부분이 무공인 수지 필름(5)을 형성할 수 있다. 당해 가일층의 공정을 실시한 경우, 공정 (I) 및 (II)에 의해 형성된 관통 구멍(11)과, 당해 가일층의 공정에 의해 형성된 구멍을 갖는 수지 필름(5)이 형성된다.

원 필름(102)에 조사, 충돌시키는 이온(101)의 종류는 한정되지 않지만, 원 필름(102)을 구성하는 수지와의 화학적인 반응이 억제되는 점에서, 네온보다 질량 수가 큰 이온, 구체적으로는 아르곤 이온, 크립톤 이온 및 크세논 이온에서 선택되는 적어도 1종의 이온이 바람직하다.

이온(101)의 에너지(가속 에너지)는, 전형적으로는 100 내지 1000MeV이다. 두께 5 내지 100㎛ 정도의 폴리에스테르 필름을 원 필름(102)으로서 사용하는 경우, 이온종이 아르곤 이온일 때의 이온(101)의 에너지는 100 내지 600MeV가 바람직하다. 원 필름(102)에 조사하는 이온(101)의 에너지는 이온종 및 원 필름(102)을 구성하는 수지의 종류에 따라 조정할 수 있다.

원 필름(102)에 조사하는 이온(101)의 이온원은 한정되지 않는다. 이온원으로부터 방출된 이온(101)은, 예를 들어 이온 가속기에 의해 가속된 후에 빔 라인을 거쳐서 원 필름(102)에 조사된다. 이온 가속기는, 예를 들어 사이클로트론, 보다구체적인 예는 AVF 사이클로트론이다.

이온(101)의 경로가 되는 빔 라인의 압력은 빔 라인에 있어서의 이온(101)의 에너지 감쇠를 억제하는 관점에서, 10^-5 내지 10^-3㎩ 정도의 고진공이 바람직하다. 이온(101)을 조사하는 원 필름(102)이 수용되는 챔버의 압력이 고진공에 도달하지 않는 경우는, 이온(101)을 투과하는 격벽에 의해, 빔 라인과 챔버의 압력차를 유지해도 된다. 격벽은, 예를 들어 티타늄막 혹은 알루미늄막으로 구성된다.

이온(101)은, 예를 들어 원 필름(102)의 주면에 수직인 방향으로부터 당해 필름에 조사된다. 도 9에 도시하는 예에서는, 이와 같은 조사가 행해지고 있다. 이 경우, 궤적(103)이 원 필름(102)의 주면에 수직으로 연장되기 때문에, 후속의 화학 에칭에 의해, 주면에 수직인 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)이 형성된 수지 필름(5)이 얻어진다. 이온(101)은 원 필름(102)의 주면에 대하여 기울어진 방향으로부터 당해 필름에 조사해도 된다. 이 경우, 후속의 화학 에칭에 의해, 주면에 수직인 방향으로부터 기울어진 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)이 형성된 수지 필름(5)이 얻어진다. 원 필름(102)에 대하여 이온(101)을 조사하는 방향은 공지의 수단에 의해 제어할 수 있다. 도 4의 각도 θ1은, 예를 들어 원 필름(102)에 대한 이온빔의 입사각에 의해 제어할 수 있다.

이온(101)은, 예를 들어 복수의 이온(101)의 비적이 서로 평행이 되도록 원 필름(102)에 조사된다. 도 9에 도시하는 예에서는, 이와 같은 조사가 행해지고 있다. 이 경우, 후속의 화학 에칭에 의해, 서로 평행하게 연장되는 복수의 관통 구멍(11)이 형성된 수지 필름(5)이 형성된다.

이온(101)은 복수의 이온(101)의 비적이 서로 비평행(예를 들어, 서로 랜덤)이 되도록 원 필름(102)에 조사해도 된다. 이에 의해, 예를 들어 도 4 내지 7에 도시한 바와 같은 수지 필름(5)이 형성된다. 보다 구체적으로는, 도 4 내지 7에 도시한 바와 같은 수지 필름(5)을 형성하기 위해, 예를 들어 이온빔을 원 필름(102)의 주면에 수직인 방향으로부터 기울여 조사함과 함께, 연속적 혹은 단계적으로 당해 기울이는 방향을 변화시켜도 된다. 또한, 이온빔은 복수의 이온이 서로 평행하게 비상하는 빔이기 때문에, 동일한 방향으로 연장되는 관통 구멍(11)의 조가 수지 필름(5)에 통상 존재하게[동일한 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍(11)이 수지 필름(5)에 통상 존재하게] 된다.

연속적 또는 단계적으로 당해 기울이는 방향을 변화시키는 방법의 예를 도 10에 도시한다. 도 10에 도시하는 예에서는, 띠상의 원 필름(102)을 송출 롤(105)로부터 송출하여 소정의 곡률을 갖는 조사 롤(106)을 통과시키고, 당해 롤(106)을 통과하는 동안에 이온빔(104)을 조사하고, 조사 후의 원 필름(102)을 권취 롤(107)에 권취한다. 이때, 이온빔(104) 중의 이온(101)은 차례차례 서로 평행하게 비상해 오기 때문에, 조사 롤(106) 상을 원 필름(102)이 이동함과 함께 원 필름(102)의 주면에 대하여 이온빔이 충돌하는 각도(입사각 θ1)가 변화되게 된다. 그리고, 이온빔(104)을 연속적으로 조사하면 상기 기울이는 방향은 연속적으로 변화되고, 이온빔(104)을 단속적으로 조사하면 상기 기울이는 방향은 단계적으로 변화된다. 이것은, 이온빔의 조사 타이밍에 의한 제어라고도 할 수 있다. 또한, 이온빔(104)의 단면 형상 및 원 필름(102)의 조사면에 대한 이온빔(104)의 빔 라인의 단면적에 의해서도, 원 필름(102)에 형성되는 궤적(103)의 상태(예를 들어, 각도 θ1)를 제어할 수 있다.

수지 필름(5)의 구멍 밀도는 원 필름(102)으로의 이온빔의 조사 조건[이온종, 이온의 에너지, 이온의 충돌 밀도(조사 밀도) 등]에 의해 제어할 수 있다.

이온(101)은 2 이상의 빔 라인으로부터 원 필름(102)에 조사해도 된다.

공정 (I)은 원 필름(102)의 주면, 예를 들어 상기 한쪽의 주면에 마스킹층이 배치된 상태로 실시해도 된다. 이 경우, 예를 들어 당해 마스킹층을 공정 (II)에 있어서의 마스킹층에 이용할 수 있다.

[공정 (II)]

공정 (II)에서는 공정 (I)에 있어서 이온빔을 조사한 후의 원 필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분을 화학 에칭하고, 이온(101)의 충돌 궤적(103)을 따라 연장되는 관통 구멍(11)을 당해 필름에 형성한다. 이와 같이 하여 얻은 수지 필름(5)에 있어서의 관통 구멍(11) 이외의 부분은, 필름의 상태를 변화시키는 공정을 더 실시하지 않는 한, 기본적으로, 이온빔 조사 전의 원 필름(102)과 동일하다.

구체적인 에칭의 방법은 공지의 방법을 따르면 된다. 예를 들어, 에칭 처리액에, 이온빔 조사 후의 원 필름(102)을 소정의 온도이고 또한 소정의 시간, 침지하면 된다. 에칭 온도, 에칭 시간, 에칭 처리액의 조성 등의 에칭 조건에 의해, 예를 들어 관통 구멍(11)의 직경을 제어할 수 있다.

에칭의 온도는, 예를 들어 40 내지 150℃이고, 에칭의 시간은, 예를 들어 10초 내지 60분이다.

화학 에칭에 사용하는 에칭 처리액은 특별히 한정되지 않는다. 에칭 처리액은, 예를 들어 알칼리성 용액, 산성 용액 또는 산화제, 유기 용제 및 계면 활성제에서 선택되는 적어도 1종을 첨가한 알칼리성 용액 혹은 산성 용액이다. 알칼리성 용액은, 예를 들어 수산화나트륨, 수산화칼륨과 같은 염기를 포함하는 용액(전형적으로는 수용액)이다. 산성 용액은, 예를 들어 질산, 황산과 같은 산을 포함하는 용액(전형적으로는 수용액)이다. 산화제는, 예를 들어 중크롬산칼륨, 과망간산칼륨, 차아염소산나트륨이다. 유기 용제는, 예를 들어 메탄올, 에탄올, 2-프로판올, 에틸렌글리콜, 아미노알코올, N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드이다. 계면 활성제는, 예를 들어 알킬벤젠술폰산염, 알킬황산염이다.

공정 (II)에서는 이온빔 조사 후의 원 필름(102)의 한쪽의 주면에 마스킹층을 배치한 상태에서 상기 화학 에칭을 실시해도 된다. 이 화학 에칭에서는 원 필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분의 에칭에 대하여, 마스킹층을 배치한 상기 한쪽의 주면으로부터의 에칭에 비해, 다른 쪽의 주면으로부터의 에칭의 정도가 커진다. 즉, 원 필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분의 에칭에 대하여, 당해 필름의 양쪽의 주면으로부터의 에칭이 비대칭적으로 진행되는 화학 에칭(비대칭 에칭)이 실시된다. 또한, 「에칭의 정도가 크다」란, 보다 구체적으로는, 예를 들어 상기 부분에 대하여 단위 시간당의 에칭량이 큰 것, 즉 상기 부분에 대하여 에칭 속도가 큰 것을 의미한다.

공정 (II)에서는, 원 필름(102)의 한쪽의 주면으로의, 원 필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분에 비해 화학 에칭되기 어려운 마스킹층의 배치에 의해, 당해 한쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭을 억제하면서, 원 필름(102)의 다른 쪽의 주면으로부터의 상기 부분의 에칭을 진행시키는 화학 에칭을 실시해도 된다. 이와 같은 에칭은, 예를 들어 마스킹층의 종류 및 두께의 선택, 마스킹층의 배치, 에칭 조건의 선택 등에 의해 실시할 수 있다.

마스킹층의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 원 필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌한 부분에 비해 화학 에칭되기 어려운 재료로 구성되는 층인 것이 바람직하다. 「에칭되기 어렵다」란, 보다 구체적으로는, 예를 들어 단위 시간당에 에칭되는 양이 작은 것, 즉, 피에칭 속도가 작은 것을 의미한다. 화학 에칭되기 어려운지 여부는, 공정 (II)에 있어서 실제로 실시하는 비대칭 에칭의 조건(에칭 처리액의 종류, 에칭 온도, 에칭 시간 등)에 기초하여 판단할 수 있다. 공정 (II)에 있어서 복수회의 비대칭 에칭을, 마스킹층의 종류 및/또는 배치면을 바꾸면서 실시하는 경우, 각 에칭의 조건에 기초하여 각각의 에칭에 대하여 판단하면 된다.

마스킹층은 원 필름(102)에 있어서의 이온(101)이 충돌하고 있지 않은 부분과의 대비에서는, 당해 부분보다도 화학 에칭되기 쉬워도 되고, 되기 어려워도 되고, 어느 것이어도 되지만, 되기 어려운 것이 바람직하다. 되기 어려운 경우, 예를 들어 비대칭 에칭의 실시에 필요한 마스킹층의 두께를 얇게 할 수 있다.

공정 (I)에 있어서, 마스킹층을 배치한 원 필름(102)에 이온빔을 조사한 경우, 당해 마스킹층에도 이온 트랙이 형성된다. 이것을 고려하면, 마스킹층을 구성하는 재료는 이온빔의 조사에 의해서도 그 중합체쇄가 손상을 받기 어려운 재료인 것이 바람직하다.

마스킹층은, 예를 들어 폴리올레핀, 폴리스티렌, 폴리염화비닐, 폴리비닐알코올 및 금속박에서 선택되는 적어도 1종으로 구성된다. 이들의 재료는 화학 에칭되기 어려움과 함께, 이온빔의 조사에 의해서도 손상을 받기 어렵다.

마스킹층을 배치하여 비대칭 에칭을 실시하는 경우, 당해 에칭을 실시하는 영역에 상당하는, 원 필름(102)의 한쪽의 주면의 적어도 일부에 배치하면 된다. 필요에 따라, 원 필름(102)의 한쪽의 주면의 전체에 배치할 수 있다.

원 필름(102)의 주면에 마스킹층을 배치하는 방법은, 비대칭 에칭을 실시하는 동안, 마스킹층이 당해 주면으로부터 박리되지 않는 한 한정되지 않는다. 마스킹층은, 예를 들어 점착제에 의해 원 필름(102)의 주면에 배치된다. 즉 공정 (II)에 있어서, 마스킹층이 점착제에 의해 상기 한쪽의 주면에 접합된 상태에서, 상기 화학 에칭을(비대칭 에칭을) 실시해도 된다. 점착제에 의한 마스킹층의 배치는, 비교적 용이하게 행할 수 있다. 또한, 점착제의 종류를 선택함으로써, 비대칭 에칭 후의 원 필름(102)으로부터의 마스킹층의 박리가 용이해진다.

공정 (II)에서 비대칭 에칭을 실시하는 경우, 당해 에칭을 복수회 실시해도 된다. 또한, 비대칭 에칭과 함께, 원 필름(102)의 양 주면으로부터 균등하게 궤적(103)의 에칭을 진행시키는 대칭 에칭을 더불어 실시해도 된다. 예를 들어, 에칭의 도중에 마스킹층을 원 필름(102)으로부터 박리함으로써, 비대칭 에칭으로부터 대칭 에칭의 진행으로 전환해도 된다. 혹은, 대칭 에칭을 실시한 후에 원 필름(102)에 마스킹층을 배치하고, 비대칭 에칭을 실시해도 된다.

공정 (II)에서 마스킹층을 사용한 비대칭 에칭을 실시하는 경우, 당해 에칭 후의 마스킹층은 필요에 따라 그 일부 또는 전부를 수지 필름(5)에 잔류시킬 수 있다. 잔류시킨 마스킹층은, 예를 들어 수지 필름(5)에 있어서의 상기 한쪽의 주면(마스킹층을 배치한 주면)과 상기 다른 쪽의 주면을 구별하는 표시로서 사용할 수 있다.

공정 (II)에 있어서 복수회의 에칭을 실시하는 경우, 각 회의 에칭에 있어서 에칭 조건을 변화시켜도 된다.

제1 제조 방법은 공정 (I), (II) 이외의 임의의 공정을 포함하고 있어도 된다.

제2 제조 방법에서는, 원 필름에 레이저를 조사함으로써, 원 필름에 복수의 관통 구멍(11)을 형성하여 수지 필름(5)을 형성한다. 레이저 조사에 의해 형성한 복수의 관통 구멍(11)을 갖는 수지 필름(5)은 그대로 마스크(1)에 사용해도 되고, 필요에 따라, 발액 처리 공정, 착색 처리 공정 혹은 방담 처리 공정 등의 새로운 공정을 거쳐서 마스크(1)에 사용해도 된다.

레이저의 조사에 의해 수지 필름(5)을 형성하는 방법에서는, 예를 들어 수지 필름(5)이 갖는 관통 구멍(11)의 직경 및 밀도를 비롯하여, 개구율, 기공률, 통기도 등의 제어가 용이해진다.

원 필름은 수지 필름(5)으로서 사용하는 영역에 있어서, 그 두께 방향으로 통기 가능한 경로를 갖지 않는 비다공질의 수지 필름일 수 있다. 원 필름은 무공의 필름이어도 된다.

원 필름을 구성하는 재료에는 얻고 싶은 수지 필름(5)을 구성하는 재료와 동일한 재료를 선택할 수 있다.

관통 구멍(11)을 형성하기 위한 레이저 조사에서는, 통상, 필름의 두께는 변화되지 않는다. 이 때문에 원 필름의 두께로서, 얻고 싶은 수지 필름(5)의 두께를 선택할 수 있다.

원 필름에는, 예를 들어 집광 펄스 레이저를 조사한다. 집광 펄스 레이저에는 공지의 레이저 및 광학계를 사용할 수 있다. 레이저는, 예를 들어 UV 펄스 레이저이고, 그 파장의 예는 355㎚, 349㎚ 또는 266㎚(Nd:YAG, Nd:YLF 혹은 YVO₄를 매질로 하는 고체 레이저의 고차 고조파), 351㎚, 248㎚, 222㎚, 193㎚ 또는 157㎚(엑시머 레이저)이다. 원 필름에 관통 구멍(11)을 형성할 수 있는 한, UV 이외의 파장 영역의 레이저를 사용해도 된다. 레이저의 펄스 폭도 관통 구멍(11)을 형성할 수 있는 한 한정되지 않고, 예를 들어 펄스 폭이 펨토초 또는 피코초의 오더인 펄스 레이저를 사용할 수 있다. 이들의 펄스 레이저에서는 다광자 흡수 과정에 기초하는 어블레이션에 의해 관통 구멍(11)이 형성된다. 레이저 빔의 공간 강도 분포는 중심 강도가 높은 가우스 분포여도 되고, 또한 균일한 분포를 갖는 톱 해트 분포여도 된다.

광학계는, 예를 들어 갈바노 스캐너 및 Fθ 렌즈(집광 렌즈)를 포함한다. Fθ 렌즈는 텔레센트리시티가 5도 이내이도록 선택 및 광학계에 배치하는 것이 바람직하다. 광학계는 폴리곤 미러 스캐너를 포함할 수도 있다. 이들의 스캐너를 포함하는 광학계에 의해, 원 필름에 있어서의 목표로 한 위치에 관통 구멍(11)을 형성하는 것이 보다 용이해진다.

원 필름에 레이저를 조사할 때에는, 원 필름의 분해물이 광학계 및/또는 당해 필름에 부착되는 것을 억제하기 위해, 예를 들어 어시스트 가스를 가공부 또는 그 근방에 분사하거나, 혹은 가공부 또는 그 근방을 흡기하는 등의 대책을 실시해도 된다. 어시스트 가스에는 질소 등의 불활성 가스, 공기, 산소 등을 사용할 수 있다. 분사와 흡인을 조합해도 된다.

레이저의 조사에 의한 관통 구멍(11)의 형성의 관점에서는, 원 필름의 두께는 5㎛ 이상 50㎛ 이하가 바람직하다. 원 필름의 두께가 이 범위에 있으면, 레이저의 조사에 의한 관통 구멍(11)의 형성을 보다 효율적으로 실시할 수 있다.

원 필름으로의 레이저의 조사는 소정의 크기로 절단한 원 필름을 고정하거나, 또는 이동시키면서 실시해도 되고, 띠상의 원 필름을 이동시키면서 실시해도 된다. 롤에 권회된 띠상의 원 필름을 당해 롤로부터 풀어내고, 풀어낸 띠상의 원 필름을 이동시키면서 레이저를 조사하고, 레이저 조사 후의 필름을 롤에 권회해도 된다. 즉, 롤 투 롤에 의해, 띠상의 원 필름에 레이저를 조사해도 된다.

원 필름으로의 레이저의 조사는 레이저의 조사에 의해 발생한 원 필름을 구성하는 재료의 분해 잔사물을 효율적으로 제거할 수 있는 관점에서, 중공 상태에 있는 원 필름에 레이저가 조사되도록 실시해도 된다. 이때, 원 필름의 배면측(레이저를 조사하는 면과는 반대측의 면측)에, 분해물을 효율적으로 회수 및 제거하기 위한 흡인 기구가 적절히 배치될 수 있다.

원 필름에 레이저를 조사할 때에는, 원 필름의 레이저 조사 부분에 소정의 장력이 인가되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 주름이나 이완이 원 필름에 발생하는 것에 의한 레이저 조사 시의 문제의 발생을 억제할 수 있다.

원 필름에 레이저를 조사하여 관통 구멍(11)을 형성한 후, 필요에 따라, 당해 필름으로의 부착물, 예를 들어 원 필름을 구성하는 재료의 분해 잔사물의 제거 등을 목적으로 하여, 필름을 세정해도 된다. 세정의 방법은 한정되지 않고, 예를 들어 수중으로의 침지, 샤워 및/또는 초음파를 병용한 웨트 세정, 혹은 플라스마, UV 오존, 초음파, 브러시, 점착 테이프 등에 의한 드라이 세정으로부터 선택할 수 있다. 웨트 세정을 선택한 경우, 필요에 따라 건조 공정을 더 실시해도 된다.

원 필름에 상술한 발액 처리가 실시되어 있어도 된다. 이 경우, 발액 처리된 수지 필름(5)을 형성할 수 있다.

제2 제조 방법은 상술한 공정 이외의 임의의 공정을 포함할 수 있다.

[마스크]

본 발명의 마스크의 구성은 장착자의 안면의 적어도 일부, 전형적으로는 장착자의 콧구멍 및 입을 덮음과 함께 수지 필름(5)을 구비하는 본체부를 갖는 한, 한정되지 않는다. 본체부가 수지 필름(5)을 구비하는 것을 제외하고, 본 발명의 마스크는 공지의 마스크와 동일한 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 마스크는 도 1에 도시하는 마스크(1)와 같이, 수지 필름(5)을 구비하는 본체부(2)를 장착자의 안면에 고정하기 위한 걸림 지지부(3)를 구비할 수 있다.

본체부는 수지 필름(5)만으로 구성되어 있어도 되고, 수지 필름(5)과 그 다른 부재로 구성되어 있어도 되지만, 장착자(51)의 호흡의 확보가 보다 확실해짐과 함께 장착자의 발성이 외부로 전달되기 쉽고[마스크(1)로서의 통음성이 향상됨], 즉 차폐성, 통기성 및 통음성을 더 높은 레벨에서 양립할 수 있는 점에서, 적어도 장착자의 입을 덮는 부분, 바람직하게는 콧구멍 및 입을 덮는 부분이 수지 필름(5)으로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 수지 필름(5)이 투명성을 갖는 경우, 본체부(2)에 있어서 투명성이 필요해지는 부분이 수지 필름(5)에 의해 구성되어 있어도 되고, 본체부(2)의 전체를 투명성을 갖는 수지 필름에 의해 구성할 수도 있다.

본체부(2)는 마스크(1)의 장착자의 안면의 적어도 일부, 전형적으로는 장착자의 콧구멍 및 입을 덮는 형상을 갖는다. 본 발명의 마스크(1)가, 예를 들어 양호한 차폐성, 통기성, 투명성 및 통음성을 병립할 수 있는 것을 고려하면, 마스크(1)의 장착자의 안면의 전부를 덮는 형상을 갖고 있어도 된다. 투명한 본체부(2)가 장착자의 안면의 전부를 덮는 형상을 갖고 있고, 장착자의 안면의 일부, 전형적으로는 장착자의 콧구멍 및 입을 덮는 부분이 수지 필름(5)에 의해 구성되어 있어도 된다.

본체부(2)는 플리츠된 형상이며, 장착자가 마스크(1)를 정확하게 장착했을 때에 플리츠가 전개하는 형상을 갖고 있어도 되고, 평판상 또는 곡판상의 형상을 갖고 있어도 된다. 수지 필름(5) 및/또는 본체부(2)에 있어서의 수지 필름(5) 이외의 부분을 구성하는 재료 및 두께 등을 선택함으로써, 본체부(2)의 경도에 대하여, 장착자(1)의 안면의 형태에 추종하는 유연한 상태로부터, 장착 시에도 형상이 변화되지 않는 강직한 상태까지 변화시킬 수 있다.

수지 필름(5)을 포함하고, 본체부(2)의 일부 또는 전체는 무색 투명이어도 되고 착색되어 있어도 되고, 수지 필름(5) 및/또는 본체부(2)에 있어서의 수지 필름(5) 이외의 부분에, 유색이고 또한 투명, 또는 유색이고 또한 불투명의 재료를 사용해도 된다. 예를 들어, 폴리이미드 필름은, 통상 투명하고 또한 유색(주황색)이다.

이와 같이, 마스크(1)에 대하여 차폐성, 통기성, 투명성, 통음성을 비롯한 다양한 특성의 설계의 자유도가 높은 것에 의해, 본체부(2) 및 본체부(2)를 구비하는 마스크(1)는 그 구성(형상, 구조, 경도 등)에 다양한 베리에이션을 취할 수 있다.

상술한 이외의 베리에이션은, 예를 들어 이하와 같다.

수지 필름(5)을 포함하고, 본체부(2)의 일부 또는 전체에, 발액 처리, 방담 처리, 인쇄 등의 가공이 실시되어 있어도 된다. 발액 처리 및 방담 처리는 수지 필름(5)의 설명에 있어서 전술한 바와 같다. 인쇄의 구체적인 상태 및 방법은 한정되지 않는다. 부직포 및 직포로 구성되는 본체부와는 달리, 보다 자유로운 인쇄가 가능하다. 예를 들어 의료용 마스크에 있어서, 본체부(2)가 투명하기 때문에 의료 종사자와 환자의 커뮤니케이션 향상 이외에도, 자녀의 환자용으로, 동물의 얼굴을 인쇄한 본체부(2)로 함으로써 의료 종사자와 환자의 커뮤니케이션 향상을 도모할 수도 있다. 또한, 마스크(1)가 사용 종료되었는지 여부를 확인할 수 있는 부재의 인쇄, 마스크(1)의 오염의 상황을 확인할 수 있는 부재의 인쇄, 시리얼 넘버, ID 넘버, 소유자의 소속이나 성명의 인쇄, IC 칩, GPS 칩 등의 전자 소자의 인쇄, 안테나, 마이크, 이어폰 등의 전자 회로의 인쇄 등, 수지 필름(5)을 포함하는 본체부(2)로의 다양한 인쇄가 가능하다.

마스크(1)는 1회용이어도 되고 재이용 가능한 것이어도 된다.

마스크(1)는 본체부(2) 이외에 임의의 부재를 가질 수 있다. 당해 부재의 예는 본체부(2)를 장착자의 안면에 고정하기 위한 걸림 지지부(3)이다. 걸림 지지부(3)의 구성은 한정되지 않고, 공지의 마스크의 걸림 지지부와 마찬가지이면 된다. 도 1에 도시하는 예의 걸림 지지부(3)는 장착자의 귓바퀴에 거는 끈상의 부재이다. 걸림 지지부(3)는, 예를 들어 본체부(2)를 장착자의 코의 위치에서 고정하는 테이프, 철사, 리본 등일 수 있다. 걸림 지지부(3)와 본체부(2)를 접합하는 방법은 한정되지 않고, 마스크(1)에 있어서의 걸림 지지부(3)의 위치 및 걸림 지지부(3)와 본체부(2)를 접합하는 위치 및 방법도 한정되지 않는다.

실시예

이하, 실시예에 의해, 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명은 이하에 나타내는 실시예에 한정되지 않는다.

처음에, 실시예에서 제작한 수지 필름(5) 및 비교예에서 사용한 각종 종래의 마스크의 평가 방법을 나타낸다.

[통기성]

수지 필름(5) 및 종래의 마스크의 본체부의 통기성(두께 방향의 통기성)은 JIS L1096에 규정되어 있는 프래질 통기도 시험에 준거하여 구했다. 또한, 통기성을 측정할 때에는, 수지 필름(5) 및 종래의 마스크 본체부를 각각 100㎜×100㎜의 크기로 절단하여 측정 시료로 했다.

[투명성]

수지 필름(5) 및 종래의 마스크 본체부의 투명도로서, 그 전체 광선 투과율을 JIS K7361-1의 규정에 준하고, 그 헤이즈(흐림도)를 JIS K7136의 규정에 준하고, 헤이즈 미터(닛폰 덴쇼쿠제, NDH7000)에 의해 구했다.

[통음성(음압 손실)]

수지 필름(5) 및 종래의 마스크의 본체부의 통음성은 이하와 같이 평가했다.

처음에, 도 11에 도시한 바와 같이, 직육면체상이며 내부가 중공인 케이스(91)(아크릴 수지제, 길이 70㎜×폭 50㎜×높이 15㎜)를 준비했다. 케이스(91)의 상면에 직경 13㎜의 개구(92)가 1개소 형성되어 있는 것 이외는, 케이스(91)에 개구부가 없다. 이것과는 별도로, 평가 대상인 수지 필름(5) 및 종래의 마스크의 본체부를 직경 16㎜의 원형으로 펀칭하고, 측정 시료를 준비했다.

이어서, 케이스(91)의 내부로부터 개구(92)를 완전히 덮도록 측정 시료(93)를, 외경 16㎜ 및 내경 13㎜의 링상의 양면 테이프(94)를 사용하여 부착했다. 측정 시료(93)를 케이스(91)에 부착할 때에는, 개구(92)에 양면 테이프(94)가 비어져 나오지 않고, 또한 케이스(91)의 내면과 측정 시료(93) 사이에 간극이 생기지 않도록 했다. 이어서, 측정 시료(93)에, 동일한 양면 테이프를 사용하여 스피커(95)를 부착했다. 이때도, 측정 시료(93)와 스피커(95) 사이에 간극이 생기지 않도록 했다. 스피커에는 스타 정밀제 SCG-16A를 사용했다.

이어서, 음향 평가 장치(B&K제, Multi-analyzer System 3560-B-030)에 접속된 마이크(B&K제, Type2669)를, 케이스(91)의 외부이며 스피커(95)로부터 50㎜ 이격된 위치에 배치했다. 이어서, 평가 방식으로서 SSR 분석(시험 신호 20㎐ 내지 20㎑, sweep up)을 선택, 실행하고, 측정 시료(93)의 음향 특성(THD, 음압 손실)을 평가했다. 음압 손실은 음향 평가 장치로부터 스피커(95)에 입력한 신호와, 마이크로폰을 통해 검출된 신호로부터, 자동으로 구해진다. 이것과는 별도로, 측정 시료(93)를 개구(92)에 배치하지 않은 것 이외는 마찬가지로 하여 블랭크의 음압 손실을 구해 두고, 측정 시료(93)를 배치했을 때의 음압 손실로부터 블랭크의 음압 손실을 뺀 것을, 당해 시료의 특성인 음압 손실(삽입 손실)로 했다. 삽입 손실이 작을수록, 측정 시료(93)가 전달되는 소리의 특성이 확보되어 있다고 판단할 수 있다. 본 실시예에서는 주파수 1㎑에 있어서의 음압 손실에 의해 측정 시료의 통음성을 평가했다.

[차폐성]

실시예 1에서 제작한 수지 필름(5) 및 비교예 1에서 사용한 종래의 마스크의 차폐성은 보켄 규격 BQE A030에 의한 꽃가루 통과성 시험에 기초하여 꽃가루 투과율로서 평가했다. 구체적으로는 다음과 같다. 처음에, 하부로부터 흡인이 가능한 원통 형상을 갖는 유리제의 홀더(내경 약 2㎝)에, 유리 필터와 꽃가루를 통과시키지 않는 흑색의 여과지를 세트하고, 그 위에 측정 시료를 적재했다. 측정 시료는 수지 필름(5) 및 종래의 마스크의 본체부를, 각각 홀더 내에 수용할 수 있는 형상 및 사이즈(직경 약 2㎝의 원 형상)로 절단하여 얻었다. 이어서, 측정 시료 상에 삼목 꽃가루 0.05g을 균일하게 부착시키고, 홀더의 하부에 접속한 흡인 펌프로 12L매분의 유량(인간의 안정 시에 있어서의 호흡의 평균 흡기 유량에 상당)으로 1분간 흡인했다. 이 흡인에 의해, 공기가 꽃가루, 측정 시료, 흑색 여과지 및 유리 필터를 차례로 투과하기 때문에, 측정 시료를 투과한 꽃가루는 여과지에 의해 포집되게 된다. 흡인 전의 여과지의 중량 WA 및 흡인 후의 여과지의 중량 WB를 측정하고, 식 [꽃가루 투과율(％)]＝[(WB－WA)/0.05g]×100에 의해, 꽃가루 투과율을 구했다.

(실시예 1)

수지 필름(5)으로서, 두께 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍을 갖는 비다공질의 PET 필름(옥시펜제, Oxydisk)을 준비했다. 이 필름은 PET로 이루어지는 무공의 원 필름에 대하여 이온빔 조사 및 화학 에칭을 실시함으로써, 필름의 주면에 수직인 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍이 형성된 필름이다. 관통 구멍의 직경은 10㎛, 관통 구멍의 밀도는 500000(5×10⁵)개/㎠, 개구율 및 기공률은 31.4％, 두께는 41㎛였다.

이어서, 준비한 수지 필름(5)을 사이즈 180㎜×160㎜의 직사각 형상으로 오려내고, 또한 플리츠로 접어서 80㎜×160㎜의 직사각 형상으로 한 후, 그 한 쌍의 짧은 변의 각각에 걸림 지지부로 하여, 장착자의 귓바퀴에 걸기 위한 끈상의 부재를 양면 테이프에 의해 고정했다. 이와 같이 하여, 도 12에 도시한 바와 같은 마스크(1)를 얻었다. 제작한 마스크(1)는 종래의 부직포 마스크(예를 들어, 비교예 1에서 사용한 마스크)와 마찬가지로, 안면의 콧구멍 및 입을 덮도록 장착할 수 있었다.

(실시예 2)

수지 필름(5)으로서, 관통 구멍의 직경이 5㎛, 관통 구멍의 밀도가 400000(4×10⁵)개/㎠, 개구율 및 기공률이 7.9％, 두께가 21㎛인 것 이외는 실시예 1에서 준비한 수지 필름(5)과 동일한 필름을 준비했다. 준비한 수지 필름을 사용하여 실시예 1과 마찬가지로 마스크(1)를 제작했지만, 제작한 마스크(1)는 종래의 부직포 마스크(예를 들어, 비교예 1에서 사용한 마스크)와 마찬가지로, 안면의 콧구멍 및 입을 덮도록 장착할 수 있었다.

(실시예 3)

수지 필름(5)으로서, 관통 구멍의 직경이 2㎛, 관통 구멍의 밀도가 10000000(1×10⁷)개/㎠, 개구율 및 기공률이 39.2％, 두께가 21㎛인 것 이외는 실시예 1에서 준비한 수지 필름(5)과 동일한 필름을 준비했다. 준비한 수지 필름을 사용하여 실시예 1과 마찬가지로 마스크(1)를 제작했지만, 제작한 마스크(1)는 종래의 부직포 마스크(예를 들어, 비교예 1에서 사용한 마스크)와 마찬가지로, 안면의 콧구멍 및 입을 덮도록 장착할 수 있었다.

(실시예 4)

수지 필름(5)으로서, 실시예 1에서 사용한 비다공질의 PET 필름을 준비했다.

이것과는 별도로, 준비한 수지 필름(5)의 발액 처리에 사용하는 처리액을, 발수 발유제(신에쓰 가가쿠제, X-70-041)를 1.0중량％의 농도가 되도록 희석제(아사히 가라스제, 아사히클린 AE-3000)로 희석하여 제조했다. 이 발수 발유제는 이하의 식 (a-1)에 의해 나타나는 직쇄상 플루오로알킬기를 갖는 단량체에 유래하는 단위를 갖는 중합체를 구성 성분으로 한다.

CH₂＝CHCOOCH₂CH₂C₅F₁₀CH₂C₄F₉ (a-1)

이어서, 준비한 수지 필름(5)을, 20℃로 유지한 발수 발유제에 3초간 침지한 후, 상온에서 1시간 방치하여 건조시키고, 발액 처리된 수지 필름(5)을 얻었다. 이어서, 얻어진 수지 필름(5)을 사용하여 실시예 1과 마찬가지로 마스크(1)를 제작했지만, 제작한 마스크(1)는 종래의 부직포 마스크(예를 들어, 비교예 1에서 사용한 마스크)와 마찬가지로, 안면의 콧구멍 및 입을 덮도록 장착할 수 있었다.

(비교예 1)

비교예 1의 마스크로서, 부직포로 본체부가 구성된 마스크(도쿄 메디컬제, FG-195Ω)를 준비했다.

(비교예 2)

비교예 2의 마스크로서, 부직포로 본체부가 구성된 마스크(3M제, V플렉스 방진 마스크 9102)J-DS1)를 준비했다.

(비교예 3)

비교예 3의 마스크로서, 무공의 투명 필름으로 본체부가 구성된 마스크(미도리 안젠제, 스마일캣치 마스크)를 준비했다.

실시예 1 내지 3 및 비교예 1 내지 3의 평가 결과를 이하의 표 1에 나타낸다. 또한, 실시예 1 및 비교예 1에 대한 차폐성의 평가 결과로서, 시험 후의 흑색 여과지 표면에 있어서의 꽃가루의 부착의 정도를 도 13에 도시한다.

표 1 및 도 13에 나타낸 바와 같이 실시예에서는, 통기성, 통음성, 투명성 및 차폐성에 대하여, 그 설계의 자유도의 높이가 확인됨과 함께, 이들의 특성이 높은 레벨에서 병립한 마스크가 실현되는 것을 확인할 수 있었다. 보다 구체적으로, 실시예 1에서 제작한 마스크에서는 통기도가 높고, 장착자의 호흡이 용이함과 함께, 전체 광선 투과율이 높고 또한 헤이즈가 낮은 점에서 장착자의 얼굴을 충분히 확인할 수 있다. 또한, 실시예 1의 마스크는 삽입 손실이 0㏈이고, 장착자의 목소리를 변질시키지 않고 우수한 통음성을 나타낸다. 그리고, 꽃가루의 차폐 능력도 우수하다. 또한, 실시예 2, 3의 마스크에 나타낸 바와 같이, 관통 구멍의 직경, 관통 구멍의 밀도 등에 따라, 그 특성을 다양하게 변화시키는 것이 가능한 것이 확인되었다. 실시예 4에 나타낸 바와 같이, 발액 처리된 마스크도 제조할 수 있었다. 발액 처리된 마스크는 본체부에 물을 적하한바, 적하한 물은 마스크에 침투하지 않고, 표면에 튀겨져 그대로 하방으로 흘렀다. 한편, 비교예 1의 마스크는, 통기도는 매우 높지만 차폐성이 열화됨과 함께, 헤이즈가 높은 점에서 장착자의 얼굴의 확인이 어렵다. 비교예 2의 마스크도 마찬가지이다. 비교예 3의 마스크는 헤이즈가 낮고 투명성이 높지만, 삽입 손실이 매우 크고 통음성이 낮은 것을 알 수 있다.

본 발명은 그 의도 및 본질적인 특징으로부터 일탈하지 않는 한, 다른 실시 형태에 적용할 수 있다. 이 명세서에 개시되어 있는 실시 형태는 모든 점에서 설명적인 것이며 이것에 한정되지 않는다. 본 발명의 범위는 상기 설명이 아니라 첨부한 클레임에 의해 나타나 있고, 클레임과 균등한 의미 및 범위에 있는 모든 변경은 거기에 포함된다.

본 발명의 마스크는 종래의 마스크와 동일한 용도를 비롯하여, 다양한 용도로 사용할 수 있다.

Claims

안면에 장착하여 사용되는 마스크이며,
상기 안면의 적어도 일부를 덮는 본체부가, 두께 방향으로 통기성을 갖는 수지 필름을 구비하고,
상기 수지 필름은 두께 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍을 갖는 비다공질의 필름이고,
상기 관통 구멍의 직경이 0.01㎛ 이상 30㎛ 이하이고,
상기 수지 필름에 있어서의 상기 관통 구멍의 밀도가 10개/㎠ 이상 1×10⁸개/㎠ 이하인, 마스크.
제1항에 있어서, 상기 수지 필름이 투명 재료에 의해 구성되는, 마스크.
제1항에 있어서, 상기 복수의 관통 구멍이 상기 수지 필름의 주면에 수직인 방향으로 연장되는, 마스크.
제1항에 있어서, 상기 관통 구멍의 직경 R에 대한 상기 수지 필름의 두께 t의 비 t/R이 1 이상 10000이하인, 마스크.
제1항에 있어서, 상기 수지 필름의 두께 방향의 통기도가 JIS L1096의 규정에 준거하여 측정한 프래질 수로 나타내어, 10㎤/(㎠ㆍ초) 이상인, 마스크.
제1항에 있어서, 상기 수지 필름의 주파수 1㎑에 있어서의 음압 손실이 5㏈ 이하인, 마스크.
제1항에 있어서, JIS K7361의 규정에 준거하여 측정한 상기 수지 필름의 전체 광선 투과율이 60％ 이상인, 마스크.
제1항에 있어서, 상기 수지 필름이, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카르보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리불화비닐리덴에서 선택되는 적어도 1종의 재료에 의해 구성되는, 마스크.