KR20170136550A - 전자 유도 방식의 위치 검출 센서 - Google Patents

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Abstract

동 페이스트를 이용하여, 열처리를 함으로써, 시트 모양 기판 상에 루프 코일을 형성해도, 정밀도를 유지하는 것이 가능한 위치 검출 센서를 제공한다. 폴리이미드계 수지로 이루어진 시트 모양 기판에, 인쇄에 의해 동 분말과 바인더를 포함하는 동 페이스트로 이루어진 선로 패턴을 형성하고, 열 가공하여 복수 개의 위치 검출용 루프 코일을 형성하는 위치 검출 센서이다. 시트 모양 기판의 한쪽 면에 있어서는, 동 페이스트에 의한 선로 패턴을, 제1 방향으로 연장되도록 형성하는 것과 함께, 제1 방향으로 연장되도록 형성한 선로 패턴을 제1 방향과는 직교하는 제2 방향으로 소정의 피치로 형성한다. 시트 모양 기판의 다른 쪽 면에 있어서는, 동 페이스트에 의한 선로 패턴을, 제2 방향으로 연장되도록 형성하는 것과 함께, 제2 방향으로 연장되도록 형성한 선로 패턴을 제1 방향으로 소정의 피치로 형성한다.

Description

전자 유도 방식의 위치 검출 센서
본 발명은 전자 유도 방식의 위치 검출 센서에 관한 것이다.
전자 유도 방식의 위치 검출 센서는, 기판에, 다수의 루프 코일을 좌표축의 X축 방향 및 Y축 방향으로 배설하여 이루어진다. 위치 검출 센서를 구비하는 위치 검출 장치는, 위치 지시기와 위치 검출 센서 사이에서의 전자 유도 작용에 기초하여, 위치 지시기에 의해 지시된 위치의 X축 방향 및 Y축 방향의 좌표값을 검출할 수 있게 한다.
종래의 위치 검출 센서는, 에폭시 수지의 기판 상에서 동(銅) 에칭에 의해서 작성되고 있었다. 근래에는, 위치를 검출하는 장치가 소형 휴대 단말에 이용되게 되었다. 그 때문에, 위치 검출 센서도 소형화·경량화가 요구되었다. 그래서, 에칭 방식보다도 저비용으로, 대량 생산 가능한 금속 페이스트에 의한 스크린 인쇄 방식의 위치 검출 센서가 이용되게 되었다.
위치 검출 센서만이 아니라, 일반적인 회로 기판용으로서 이용되는 금속 페이스트는, 금속 분말과, 수지 바인더(접합제)로 구성된다. 그리고, 기판에 도포된 금속 페이스트에 대해서는, 금속 분말을 서로 융착시켜서 도전성을 높이기 위해, 열처리가 행해진다.
금속 페이스트를 스크린 인쇄하는 기판의 재료로서는, 내열성이 있는 폴리이미드계 수지 시트가 이용된다. 또한, 금속 페이스트의 금속 분말로서 특히 이용되고 있는 금속은 은(銀)이다. 은 페이스트를 스크린 인쇄로 기판에 도포한 위치 검출 센서는, 도전성이 높고, 열가공을 하는데 있어서 비교적 저온인 200℃ ~ 250℃ 정도의 온도에서, 20 ~ 30분 정도의 가열을 함으로써 작성할 수 있어, 일반화되어 있었다.
그렇지만, 은 페이스트를 이용한 위치 검출 센서의 작성에는, 이하와 같은 문제점이 있었다. 먼저, 은 페이스트는 고가로서, 종래의 동(銅) 에칭보다도 고비용이 되어 버린다고 하는 문제가 있었다. 또한, 근래의 소형 휴대 단말에 있어서, 보다 소형화가 요구되는 가운데, 위치 검출 센서의 루프 코일 수를 유지하면서 소형화를 실현하기 위해서는, 가능한 한, 루프 코일의 선폭을 가늘게 하여, 선 간격을 좁게 할 필요가 있다. 그러나, 은 페이스트를 이용하는 경우에는, 이온 마이그레이션(ion migration) 현상에 의해, 선 간격을 좁게 할 수 없다. 그 때문에, 은 페이스트를 이용한 소형의 위치 검출 센서를 만들기 어렵다고 하는 문제가 있었다.
그래서, 은 대신에, 보다 염가로, 이온 마이그레이션 현상도 일어나지 않는 동 분말을 이용하는 동 페이스트를 이용하는 것이 제안되고 있다(특허문헌 1(국제 공개 WO2012/157704) 참조).
그러나, 특허문헌 1에도 기재되어 있는 바와 같이, 동 분말은 표면에 산화막을 형성하기 쉬워, 산화층 때문에 도전성이 나빠진다고 하는 결점이 있다. 특히 동의 경우, 종래의 온도와 가열 시간에서는 산화막이 형성되어 버린다. 그래서, 동 페이스트를 이용하여, 시트 모양 기판에 루프 코일을 형성하는 경우에는, 동 분말의 산화막을 환원하기 위해서, 은 페이스트의 경우보다도 고온의, 300℃를 넘는 온도에서의 환원 처리나, 보다 고온에서의 소결(燒結) 처리, 산화막을 형성하기 어렵게 하기 위한 단시간에서의 가열 처리가 필요하게 된다.
그런데, 이와 같은 고온의 온도하에서, 폴리이미드계 수지로 이루어진 시트 모양 기판에 동 페이스트에 의해 루프 코일을 형성하려고 하는 경우, 동 페이스트에 포함되는 바인더가 수축을 하기 때문에, 동 페이스트에 의한 배선 자체를 수축시켜 버린다. 이 수축은 시트 모양 기판을 오그라뜨리는 힘이 되어, 시트 모양 기판에, 장소에 따라 휘어짐이나 렌티큘레이션이 생기는 문제가 있다. 이와 같은 휘어짐이나 렌티큘레이션이 생겼을 경우, 위치 검출 센서에 있어서는, 센서 자체의 치수가 변화하게 되어, 정확한 위치의 검출을 할 수 없게 된다.
이 수축에 의한 휘어짐을 경감시키는 방법으로서, 예를 들면 특허문헌 2(일본국 특개평 9-55568호 공보)에는, 기판의 표면 및 이면의 양면에 동 페이스트의 배선을 인쇄하도록 하는 방법이 제공되어 있다.
국제 공개 WO2012/157704 일본국 특개평 9-55568호 공보
그렇지만, 특허문헌 2의 방법을 그대로 위치 검출 센서에 적용하려면, 문제가 있었다. 즉, 기판의 휘어짐을 없애기 위해서 양면 인쇄를 하지만, 이 경우에, 한쪽 면과 다른 쪽 면에서 배선에 치우침이 있는 경우에는, 주름이 생기거나, 렌티큘레이션이 생기거나 한다.
예를 들면, 도 10의 (A)에 나타내는 바와 같이, 시트 모양 기판(1)에 있어서, 동 페이스트에 의한 선로(2)를, 한쪽 면(1a)과 다른 쪽 면(1b)에서, 서로 대향하는 위치에 형성하도록 할 수 있으면 문제없지만, 선로(2)의 위치가, 도 10의 (B)에 나타내는 바와 같이, 서로 대향하는 위치로부터 어긋나 불균일하게 되면, 바인더의 수축 때문에, 도 10의 (C)에 나타내는 바와 같이, 물결치는 것과 같이 되어버린다고 하는 문제가 있었다.
그리고, 위치 검출 센서에 있어서는, 배선이 부분적으로 집중되고 있는 장소나, 위치 검출 센서와 위치 검출 회로의 커넥터부와 같이, 배선이 한쪽 방향으로 편재되고 있는 장소가 있지만, 이러한 장소에 있어서는, 특허문헌 2의 방법을 이용하여 양면에 인쇄해도, 주름이나 렌티큘레이션이 생긴다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이상의 문제점을 해결할 수 있도록 한 전자 유도 방식의 위치 검출 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1의 발명은,
수지로 이루어진 시트 모양 기판에, 동 분말과 바인더를 포함하는 동 페이스트로 이루어진 선로 패턴을 형성하고, 열 가공하여 복수 개의 위치 검출용 루프 코일을 형성하는 위치 검출 센서에 있어서,
상기 선로 패턴은 상기 위치 검출용 루프 코일과, 상기 위치 검출용 루프 코일과 외부의 접속을 위한 커넥터부를 포함하여 구성되고,
상기 시트 모양 기판의 한쪽 면에 있어서는, 상기 동 페이스트에 의한 상기 선로 패턴을, 제1 방향으로 연장되도록 형성하는 것과 함께, 상기 제1 방향으로 연장되도록 형성한 상기 선로 패턴을 상기 제1 방향과는 직교하는 제2 방향으로 소정의 피치(pitch)로 형성하고, 상기 시트 모양 기판의 다른 쪽 면에 있어서는, 상기 동 페이스트에 의한 상기 선로 패턴을, 상기 제2 방향으로 연장되도록 형성하는 것과 함께, 상기 제2 방향으로 연장되도록 형성한 상기 선로 패턴을 상기 제1 방향으로 소정의 피치로 형성하며, 또한,
상기 커넥터부에 있어서는, 상기 한쪽 면과 상기 다른 쪽 면에 선로 패턴이 배치되는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서를 제공한다.
상술한 구성의 청구항 1의 발명에 따른 전자 유도 방식의 위치 검출 센서에 있어서는, 시트 모양 기판의 한쪽 면에는, 제1 방향으로 연장되도록 형성된 선로 패턴이, 제2 방향으로 소정의 피치로 복수 형성되어 있는 것과 함께, 시트 모양 기판의 다른 쪽 면에는, 제2 방향으로 연장되도록 형성된 선로 패턴이, 제1 방향으로 소정의 피치로 복수 형성되어 있다. 따라서, 시트 모양 기판의 한쪽 면과 다른 쪽 면에는, 서로 직교하는 방향의 동 페이스트에 의한 복수의 선로 패턴이 형성되어 있다.
그리고, 시트 모양 기판의 양쪽 면에 형성되는 복수의 선로 패턴은, 각각 소정의 피치로 형성되어 있으므로, 시트 모양 기판의 양면의 복수의 선로 패턴에 의해, 소정 크기의 격자(格子)가, 시트 모양 기판의 대략 전면에 걸쳐서 균일하게 형성되도록 하는 상태가 된다. 따라서, 동 페이스트의 바인더가 열처리에 의해 수축했다고 해도, 그 수축은 시트 모양 기판의 대략 전체에 걸쳐서 균일하게 되어, 부분적으로 휘어짐이 생기거나, 물결치는 것과 같은 상태로 되거나 하는 일은 없다. 이것에 의해, 동 페이스트를 이용해도, 위치 검출 센서로서, 정밀도 좋은 것을 제공할 수 있다.
또한, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서,
상기 시트 모양 기판의 소정의 단부에는, 상기 위치 검출용 루프 코일의 상기 루프부로부터의 인출 선로의 연장부가 형성되는 상기 커넥터부를 구비하고,
상기 커넥터부에 있어서도, 상기 시트 모양 기판의 상기 한쪽 면과 상기 다른 쪽 면에 있어서, 서로 직교하는 방향의 선로 패턴이 실질적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 청구항 2의 발명에 따른 전자 유도 방식의 위치 검출 센서에 있어서는, 커넥터부의 한쪽 면과 다른 쪽 면에도, 실질적으로 서로 교차하는 방향의 동 페이스트에 의한 패턴이 형성되어 있다. 따라서, 커넥터부에 있어서도, 서로 교차하는 선로 패턴에 있어서의 동 페이스트의 바인더의 수축이 생겼을 때에는, 커넥터부 전체적으로 균일한 수축이 생기므로, 커넥터부에서 휘어짐이 생기는 일도 없고, 또한, 물결치는 것과 같은 것도 방지된다.
본 발명에 따른 전자 유도 방식의 위치 검출 센서에 의하면, 폴리이미드계 수지로 이루어진 시트 모양 기판에, 동 페이스트에 의해 루프 코일을 형성한 경우에, 열처리에 의해, 동 페이스트에 포함되는 바인더가 수축해도, 그 수축은 시트 모양 기판의 대략 전체에 있어서 균일하게 생기므로, 시트 모양 기판에 부분적으로 휘어짐이나 렌티큘레이션이 생기지 않는다고 하는 효과를 달성한다. 또한, 위치 검출 센서로서, 정밀도를 유지하는 것이 가능하다고 하는 효과도 있다.
도 1은 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제1 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 실시 형태를 이용하는 좌표 입력 장치의 위치 검출 회로를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제1 실시 형태의 구성예를 설명하기 위해서 이용하는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제2 실시 형태의 구성예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제2 실시 형태의 구성예의 주요부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제2 실시 형태의 구성예의 주요부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제3 실시 형태의 구성예의 주요부를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제3 실시 형태의 구성예의 주요부를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 일부의 구성예의 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 기술 해결 과제를 설명하기 위해서 이용하는 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 전자 유도 방식의 위치 검출 센서의 실시 형태를, 도면을 참조하면서 설명한다.
［제1 실시 형태］
［전자 유도 방식의 좌표 입력 장치의 설명］
먼저, 본 발명에 따른 위치 검출 센서의 제1 실시 형태를 설명하기 전에, 이하에 설명하는 본 발명의 실시 형태의 위치 검출 센서를 이용하는 전자 유도 방식의 좌표 입력 장치의 구성예를, 도 2를 이용하여 설명한다. 이 예의 전자 유도 방식의 좌표 입력 장치(200)와 함께 사용하는, 펜형의 위치 지시기(300)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 코일(301)과, 이 코일(301)에 병렬로 접속되는 콘덴서(302)로 구성되는 병렬 공진 회로를 내장하고 있다.
이 예의 좌표 입력 장치(200)의 위치 검출 센서(20)에 있어서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 폴리이미드계 수지로 이루어진 시트 모양 기판(23)의 상면 및 이면의 각각의 면에, X축 방향의 루프 코일 그룹(21)과 Y축 방향의 루프 코일 그룹(22)이, 공간적으로 중첩되도록 되어 배설되어 있다. 또한, 이하에 설명하는 예에서는, 위치 검출 센서(20)의 기판의 가로 방향을 X축 방향, 세로 방향을 Y축 방향으로 하고 있다.
이 예의 경우, 도 2에 나타내는 바와 같이, X축 방향의 루프 코일 그룹(21)은, X축 방향으로 소정의 피치로 배열된 n(n은 2 이상의 정수)개의 직사각형의 루프 코일(21X1 ~ 21Xn)로 이루어져 있고, 또한, Y축 방향의 루프 코일 그룹(22)은, Y축 방향으로 소정의 피치로 배열된 m(m은 2 이상의 정수)개의 루프 코일(22Y1 ~ 22Ym)로 이루어져 있다. 이 위치 검출 센서(20)에 있어서는, X축 방향의 루프 코일 그룹(21)의 루프부와 Y축 방향의 루프 코일 그룹(22)의 루프부에 의해, 위치 검출 에어리어(25)가 구성된다.
X축 방향의 루프 코일 그룹(21)의 루프부와 Y축 방향의 루프 코일 그룹(22)의 루프부의 각각으로부터는, 전술한 바와 같이, 2개의 선로가 인출되지만, 그 한쪽의 선로(후술하는 귀로 선로)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 모두 접속되어, 기준 전위가 공급되는 단자, 도 2의 예에서는, 어스 단자에 접속된다.
이 위치 검출 센서(20)는, 도시를 생략한 커넥터부를 통해서, 위치 검출 회로(210)에 접속되어 있다. 이 위치 검출 회로(210)는 선택 회로(211), 발진기(212), 전류 드라이버(213), 송수신 전환 회로(214), 수신 앰프(215), 검파 회로(216), 로우 패스 필터(217), 샘플 홀드 회로(218), A/D(Analog to Digital) 변환 회로(219) 및 처리 제어부(220)를 구비하고 있다.
X축 방향 루프 코일 그룹(21) 및 Y축 방향 루프 코일 그룹(22)은, 선택 회로(211)에 접속된다. 이 선택 회로(211)는 2개의 루프 코일 그룹(21, 22) 중 하나의 루프 코일을, 처리 제어부(220)로부터의 제어 지시에 따라서 순서대로 선택한다.
발진기(212)는 주파수 f0의 교류 신호를 발생시킨다. 이 교류 신호는 전류 드라이버(213)에 공급되어 전류로 변환된 후에, 송수신 전환 회로(214)에 송출된다. 송수신 전환 회로(214)는, 처리 제어부(220)의 제어에 의해, 선택 회로(211)에 의해서 선택된 루프 코일이 접속되는 접속처(송신측 단자(T), 수신측 단자(R))를, 소정 시간마다 전환한다. 송신측 단자(T)에는 전류 드라이버(213)가, 수신측 단자(R)에는 수신 앰프(215)가, 각각 접속되어 있다.
따라서, 송신시에는, 송수신 전환 회로(214)의 송신측 단자(T)를 통해서, 전류 드라이버(213)로부터의 교류 신호가, 선택 회로(211)로 선택되어 있는 루프 코일에 공급된다. 또한, 수신시에는, 선택 회로(211)로 선택된 루프 코일에 발생하는 유도 전압은, 선택 회로(211) 및 송수신 전환 회로(214)의 수신측 단자(R)를 통해서 수신 앰프(215)에 공급되어 증폭되고, 검파 회로(216)에 송출된다.
검파 회로(216)에 의해서 검파된 신호는, 로우 패스 필터(217) 및 샘플 홀드 회로(218)를 통해서 A/D 변환 회로(219)에 공급된다. A/D 변환 회로(219)에서는, 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여, 처리 제어부(220)에 공급한다.
처리 제어부(220)는 위치 검출을 위한 제어를 행한다. 즉, 처리 제어부(220)는 선택 회로(211)에 있어서의 루프 코일의 선택, 송수신 전환 회로(214)에서의 신호 전환 제어, 샘플 홀드 회로(218)의 타이밍 등을 제어한다.
처리 제어부(210)는 송수신 전환 회로(214)를 송신측 단자(T)에 접속하도록 전환함으로써, X축 방향 루프 코일 그룹(21) 혹은 Y축 방향 루프 코일 그룹(22) 중, 선택 회로(211)로 선택되어 있는 루프 코일을 통전 제어하여 전자파를 송출시킨다. 위치 지시기(300)의 공진 회로는, 이 루프 코일로부터 송출된 전자파를 받아서, 에너지를 축적한다.
다음으로, 처리 제어부(210)는 송수신 전환 회로(214)를 수신측 단자(R)에 접속하도록 전환한다. 그러면, X축 방향 루프 코일 그룹(21) 및 Y축 방향 루프 코일 그룹(22)의 각 루프 코일에는, 위치 지시기(300)로부터 송신되는 전자파에 의해서 유도 전압이 발생한다. 처리 제어부(220)는, 이 각 루프 코일에 발생한 유도 전압의 전압값의 레벨에 기초하여, 위치 검출 센서(20)의 위치 검출 에어리어(25)에 있어서의 X축 방향 및 Y축 방향의 지시 위치의 좌표값을 산출한다. 그리고, 처리 제어부(220)는, 산출한 좌표값의 정보를, 예를 들면 외부의 PC 등에 공급한다.
［본 발명의 위치 검출 센서의 제1 실시 형태］
도 1은 도 2의 위치 검출 센서(20)에 적용되는 제1 실시 형태의 위치 검출 센서(20A)를 설명하기 위한 도면이며, X축 방향의 루프 코일 그룹(21)의 각 1개의 루프 코일(21Xi)(i는 1, 2, … n 중 어느 것)과, Y축 방향의 루프 코일 그룹(22)의 각 1개의 루프 코일(22Yj)(j는 1, 2, … m 중 어느 것)이, 시트 모양 기판(23)에 대해서 어떻게 형성되는지를 설명하기 위한 도면이다.
도 1의 (A)는 기판(23)을 그 한쪽 면(23a) 측에서 본 도면이며, 도 1의 (B)는 기판(23)을 면(23a)에 수직인 방향에서 본 도면이다. 도 1의 (B)에서는, 루프 코일(21Xi 및 22Yj)을 구성하는 도체 패턴의 도시는 생략했다.
이 도 1의 (A), (B)에 나타내는 바와 같이, 이 예의 시트 모양 기판(23)은, 전술한 바와 같이, 폴리이미드계 수지로 이루어진 얇은 필름 모양의 플렉시블 기판으로 되어 있다. 그리고, 이 시트 모양 기판(23)(이하, 기판(23)이라고 약칭한다)의 한쪽 면(23a) 측에, X축 방향 루프 코일(21Xi)의, 직사각형 영역을 둘러싸는 형상의 루프부(21XiL) 중 Y축 방향으로 평행한 직선부(XiLa, XiLb)가 형성되고, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에, 루프부(21XiL) 중, 상기 직선부(XiLa, XiLb) 사이를 접속하기 위한 X축 방향으로 평행한 직선부(XiLc, XiLd)가 형성된다. 기판(23)의 한쪽 면(23a) 측의 직선부(XiLa, XiLb)와, 다른 쪽 면(23b) 측의 직선부(XiLc, XiLd)는, 스루홀(31ai, 31bi, 31ci, 31di)을 통해서 접속된다.
그리고, 기판(23)의 한쪽 면(23a) 측에 마련되어 있는 루프부(21XiL) 중의 직선부(XiLa, XiLb) 중 한쪽, 도 1의 예에서는, 직선부(XiLb)는, 서로 평행한 제1 및 제2 선로로 이루어진 인출 선로부(21XiE)와 접속하기 위해서, 그 중간에 있어서 절단되어 있다.
인출 선로부(21XiE)를 구성하는 제1 및 제2 선로 중 한쪽은, 커넥터부(24)를 통해서 전술한 위치 검출 회로(210)의 선택 회로(211)에 접속됨으로써, 신호가 공급되거나, 혹은 신호를 취출(取出)하기 위한 선로가 된다. 이하, 이 신호가 공급되거나, 혹은 신호를 취출하기 위한 선로를 왕로 선로라고 칭하는 것으로 한다. 또한, 인출 선로부(21XiE)를 구성하는 제1 및 제2 선로 중 다른 쪽은, 기준 전위, 예를 들면 접지 전위에 접속되는 선로이다. 이하, 이 기준 전위, 예를 들면 접지 전위에 접속되는 선로를 귀로 선로라고 칭하는 것으로 한다.
X축 방향 루프 코일(21Xi)의 루프부(21XiL)의 직선부(XiLb)의 절단부의 한쪽 단부는, 스루홀(31ei)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 형성되어 있는 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs)에 접속되는 것과 함께, 직선부(XiLb)의 절단부의 다른 쪽 단부는, 스루홀(31fi)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 형성되어 있는 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)에 접속된다. 왕로 선로(XiEs)와 귀로 선로(XiEg)는, 이 예에서는, X축 방향의 직선으로서 서로 평행하게 근접시켜 배설되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)는, 이 예에서는, 위치 검출 에어리어(25) 내에도 존재하고, 적어도, 이 위치 검출 에어리어(25) 내의 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs)와 귀로 선로(XiEg)는, 서로 근접한 평행한 X축 방향의 직선으로서 배설된다. 왕로 선로(XiEs)와 귀로 선로(XiEg)의 간격은, 예를 들면, 0.1㎜로 된다.
왕로 선로(XiEs)와 귀로 선로(XiEg)를, 이와 같이, 서로 근접한 평행한 한 쌍의 직선으로 하는 것은, 인출 선로부(21XiE)가 위치 검출 에어리어(25) 내에도 존재하기 때문에, 당해 한 쌍의 직선이 만드는 가늘고 긴 면을 자속이 통과하면 불필요한 전류가 생겨, 그것이 위치 검출 회로에서의 위치 검출할 때의 오차 신호가 되므로, 그 오차 신호를 가능한 한 작게 억제하기 위함이다.
그리고, 이 예에서는, 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs) 및 귀로 선로(XiEg)는, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 있어서, 위치 검출 에어리어(25)의 외측에 마련되는 커넥터부(24)에까지 연장되어 배설된다.
그리고, 기판(23)에는, 이상과 같이 구성되는 X축 방향 루프 코일(21Xi)이, 루프부(21XiL)를 일부 중복시키는 상태에서, 소정의 피치로, X축 방향으로 복수 개 배설된다.
또한, Y축 방향 루프 코일(22Yj)은, 그 직사각형 영역을 둘러싸는 형상의 루프부(22YjL) 중 X축 방향으로 평행한 직선부(YjLa, YjLb)가, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 형성된다. 그리고, 기판(23)의 한쪽 면(23a) 측에, 루프부(22YjL) 중, 상기 직선부(YjLa, YjLb) 간을 접속하기 위한 Y축 방향으로 평행한 직선부(YjLc, YjLd)가 형성된다. 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측의 직선부(YjLa, YjLb)와, 한쪽 면(23a) 측의 직선부(YjLc, YjLd)는, 스루홀(32aj, 32bj, 32cj)을 통해서 접속된다.
그리고, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 마련되어 있는 Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 루프부(22YjL) 중의 직선부(YjLa, YjLb) 중 한쪽, 도 1의 예에서는, 직선부(YjLb)는 위치 검출 에어리어(25)보다도 더 외측으로 X축 방향으로 커넥터부(24)까지 연장되어, 인출 선로부(22YjE)의 귀로 선로(YjEg)가 된다. 또한, 위치 검출 에어리어(25)에 있어서 X축 방향의 가장 커넥터 측에 가까운 위치에 있는 루프부(22YjL)의 직선부(YjLc)가, 스루홀(32dj)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 있어서 X축 방향으로 형성되어 있는 인출 선로부(22YjE)의 왕로 선로(YjEs)에 접속된다. 이 왕로 선로(YjEs)는 귀로 선로(YjEg)와 평행하게 근접시켜 배설되어, 커넥터부(24)까지 연장된다.
그리고, 기판(23)에는, 이상과 같이 구성되는 Y축 방향 루프 코일(22Yj)이, 루프부(22YjL)를 일부 중복시키는 상태에서, 소정의 피치로, Y축 방향으로 복수 개 배설된다.
이상과 같이 하여, 위치 검출 센서(20A)에 있어서는, 기판(23)의 위치 검출 에어리어에 있어서는, 기판(23)의 한쪽 면(23a)과 다른 쪽 면(23b)에서 서로 직교하는 방향으로, 복수 개의 X축 방향 루프 코일(21Xi)과, 복수 개의 Y축 방향 루프 코일(22Yj)이 배열된다. 따라서, 기판(23)의 양면의 복수의 루프 코일의 선로 패턴에 의해, 소정의 크기의 격자가, 기판(23)의 대략 전면에 걸쳐서 균일하게 형성된 것 같은 상태가 된다.
그리고, 커넥터부(24)의 다른 쪽 면(23b)에는, 복수 개의 X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE)와 복수 개의 Y축 방향 루프 코일(22Yj)로부터의 인출 선로부(22YjE)가, X축 방향으로 도출되도록 서로 평행하게 형성되어 있다.
이 실시 형태에서는, 도 1의 (A)에 나타내는 바와 같이, 커넥터부(24)의 한쪽 면(23a)에는, 다른 쪽 면(23b) 측의 복수 개의 X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE)와 복수 개의 Y축 방향 루프 코일(22Yj)로부터의 인출 선로부(22YjE)와 대향하는 영역에 있어서, 인출 선로부(21XiE) 및 인출 선로부(22YjE)와 직교하는 방향의 복수 개의 선로 패턴(26a)을 구비하는 더미 도체 패턴(26)이 형성되어 있다.
이 실시 형태에서는, 더미 도체 패턴(26)에 있어서는, Y축 방향의 슬릿이 형성됨으로써, 복수 개의 선로 패턴(26a)이 형성되어 있다. 다만, 이 실시 형태에서는, 복수 개의 선로 패턴(26a)은, 그 단부에 있어서 서로 접속되어 있다.
따라서, 이 실시 형태의 위치 검출 센서(20A)에서는, 기판(23)의 커넥터부(24)에 있어서도, 실질적으로, 서로 직교하는 방향의 선로 패턴이 형성되어 있다.
이상 설명한 위치 검출 센서(20A)는, 시트 모양 기판(23)의 한쪽 면(23a) 및 다른 쪽 면(23b)에, 예를 들면 스크린 인쇄에 의해 동 페이스트를 도포함으로써, 상술한 X축 방향 루프 코일 그룹 및 Y축 방향 루프 코일 그룹을 형성하여(커넥터부를 포함) 작성된다. 여기서, 동 페이스트는 동 분말과, 용제와, 바인더 수지로 이루어진 것이다. 또한, 이 동 페이스트를 이용한 도전성 도막(塗膜)의 제조 방법은, 예를 들면 일본국 특개 2015-35331호 공보에 기재된 방법을 이용할 수 있다.
기판(23)에 도포된 동 페이스트는, 가열 수증기 처리가 실시되어, 산화되어 있는 동이 환원되고, 비저항이 10Ω.cm 이하의 높은 전기 도전성을 가지는 선로로 된다. 이 실시 형태에서는, 가열 수증기 처리는, 320℃ ~ 370℃의 범위의 고온에 의해, 1분 ~ 2분, 실행된다. 여기서, 가열 수증기 처리시의 온도는, 동 페이스트의 도전성(비저항)과, 폴리이미드계 수지의 기판(23)에 생기는 수축율을 고려하여 결정한다.
도 3은 가열 수증기 처리시의 온도의 변화에 대한 기판(23)의 수축율과, 기판(23)에 형성된 동 페이스트에 의한 선로의 비저항과의 관계를 나타내는 도면이다. 비저항이 큰 경우에는, 루프 코일에 전류를 흘리는 것이 어렵게 되어, 위치 검출 센서가 검출 동작을 하는 것이 어려우며, 기판(23)의 수축율이 크면, 루프 코일이 비뚤어져, 위치 검출 센서에 있어서의 좌표 위치 정밀도가 나빠진다.
이 도 3에 있어서, ●표는 동 페이스트에 의한 선로의 비저항을 나타내고 있다. 또한, △표는 가열 수증기 처리를 1분간 행했을 때의 기판(23)의 수축율, ×표는 가열 수증기 처리를 1분간 행했을 때의 기판(23)의 수축율을 나타내고 있다.
이 도 3으로부터, 비저항은, 320℃ 이상이 되면, 10Ω.cm 이하가 되고, 370℃ 이상이 되면, 약 6Ω.cm가 되며, 그 이상은 비저항이 작아지지 않고 거의 포화되는 것을 알 수 있다. 또한, 기판(23)의 수축은, 340℃ 이하에서는 거의 생기지 않고, 370℃ 이상이 되면, 기판(23)에는, 장소에 따라 다른 양의 수축이 일정치 않게 생기는 것을 알았다.
그래서, 이 실시 형태에서는, 가열 수증기 처리의 온도는, 320℃ ~ 370℃의 범위, 특히, 이 예에서는, 340℃로서, 처리 시간은 2분으로 했다. 이것에 의해, 기판(23)의 수축을 최소한으로 억제하면서, 비저항을 작게 할 수 있었다. 또한, 처리 시간은 1분이어도 물론 된다.
그리고, 이 340℃와 같은 고온에서의 열처리를 행함으로써 동 페이스트의 바인더에서 수축이 생겼다고 해도, 상술한 실시 형태의 위치 검출 센서(20A)는, 위치 검출 에어리어(25)에 있어서는, 기판(23)의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에, 서로 직교하는 방향의 선로 패턴이, 소정의 피치로 정연하게 형성되어 있으므로, 기판(23)의 위치 검출 에어리어(25)에서는, 그 전체에 걸쳐서 균일한 수축이 생긴다. 이 때문에, 위치 검출 에어리어(25)에 있어서, 부분적으로 휘어짐이 생기거나, 렌티큘레이션이 생기거나 하는 일은 없다.
또한, 위치 검출 센서(20A)에 접속되는 위치 검출 회로(210)에 있어서는, 위치 검출 센서(20A)의 기판(23)의 전체에 걸쳐서 균일하게 생기는 수축에 따라, 위치 검출 센서로부터 얻어지는 위치 지시기에 의한 지시 좌표를 보정할 수 있다. 따라서, 위치 검출 센서(20A)의 기판(23)에 수축이 생겼다고 해도, 좌표 정밀도는 고정밀도를 유지할 수 있는 것이다.
또한, 커넥터부(24)에 있어서도, 마찬가지로, 한쪽 면의 인출 선로부의 선로 패턴과, 다른 쪽 면의 더미 도체 패턴(26)의 선로 패턴(26a)이 서로 직교하도록 하는 상태가 되어, 이 커넥터부(24)에 있어서도, 격자 무늬 패턴이 균일하게 형성되어 있게 되어, 부분적으로 휘어짐이 생기거나, 렌티큘레이션이 생기거나 하는 일은 없다.
그리고, 커넥터부(24)의 더미 도체 패턴(26)은, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측의 선로 패턴의 영역 전체에 대응하는 솔리드 패턴(solid filling)이 아니고, 슬릿이 마련된 패턴이기 때문에, 솔리드 패턴의 경우에, 그 근방에서의 위치 지시기와의 전자 결합에 있어서의 와전류의 발생에 의한 자속의 감쇠를 회피할 수 있다고 하는 효과도 있다.
［제1 실시 형태의 변형예］
또한, 이상의 실시 형태에서는, 더미 도체 패턴(26)은 복수의 선로 패턴(26a)을 서로 접속하도록 구성했지만, 복수의 선로 패턴(26a)의 각각은, 서로 독립된 것으로 하여 구성해도 된다.
또한, 이상의 실시 형태에서는, X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE) 및 Y축 방향 루프 코일(22Yj)로부터의 인출 선로부(22YjE)는, 왕로 선로 및 귀로 선로 양쪽을, 커넥터부(24)의 다른 쪽 면(23a) 측에 마련하도록 했지만, X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE) 및 Y축 방향 루프 코일(22Yj)로부터의 인출 선로부(22YjE)의 귀로 선로는, 커넥터부(24)의 근방에서, 스루홀을 통해서, 더미 도체 패턴(26)에 공통으로 접속하도록 해도 된다.
그 경우에는, 커넥터부(24)에 있어서는, 더미 도체 패턴(26)을 기준 전위에 접속하는 단자로 하도록 구성한다. 혹은, X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE) 및 Y축 방향 루프 코일(22Yj)로부터의 인출 선로부(22YjE)의 귀로 선로 내의 1개 혹은 복수 개는, 커넥터부(24)의 다른 쪽 면(23a)으로 도출되는 것과 함께, 스루홀을 통해서 더미 도체 패턴(26)에 접속하고, 당해 커넥터부(24)의 다른 쪽 면(23a)으로 도출된 귀로 선로를, 기준 전위에 접속하는 단자로 하도록 해도 된다.
또한, 상술한 실시 형태의 더미 도체 패턴(26)은, 슬릿을 마련함으로써, 복수의 선로 패턴을 실질적으로 마련하도록 했지만, 슬릿 대신에, 당해 슬릿 부분에, 슬릿의 폭을 직경으로 하는 빈 구멍(空孔)을 슬릿 부분을 따라서 형성함으로써, 복수의 선로 패턴을 실질적으로 마련하도록 해도 된다.
［위치 검출 센서의 제2 실시 형태］
제2 실시 형태의 위치 검출 센서는, 제1 실시 형태의 위치 검출 센서(20A)의 변형예의 하나이다. 도 4 ~ 도 8은, 이 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)의 구성예를 설명하기 위한 도면이다. 이 도 4 ~ 도 8에 있어서, 제1 실시 형태의 위치 검출 센서(20A)와 동일 부분에는, 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.
이 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)에 있어서는, 상기와 같이 하여 기판(23)에 형성되는 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)를, 다른 X축 방향 루프 코일(21Xk)(단 i≠k)의 인출 선로부(21XkE)의 귀로 선로(XkEg)와 공통화함으로써, X축 방향 루프 코일 그룹(21)으로부터 위치 검출 에어리어(25)의 외측의 커넥터부(24)에 접속하기 위한 인출 선로의 합계의 선로 수를 삭감하도록 한다. 이것에 의해, 위치 검출 에어리어(25)에 있어서, 루프 코일의 루프부의 선로 이외의 인출 선로가 존재하는 것에 의한 선로 패턴의 집중이나, 치우침을, 제1 실시 형태보다도, 더 적게 되도록 하고 있다.
또한, 이 제2 실시 형태에서는, 커넥터부(24)에 있어서는, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE) 및 Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 인출 선로부(22YjE)의 왕로 선로의 연장부는, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 형성하지만, 그것들의 귀로 선로는, 기판(23)의 한쪽 면(23a)에 형성하는, 후술하는 도체 패턴(26B)에 공통으로 접속하도록 구성한다. 이것은, 커넥터부(24)의 한쪽 면(23a)에 형성하는 도체 패턴(26B)을 기준 전위의 단자 도체로 할 수 있도록 하기 위함이다.
도 4는 이 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)의 구성예의 개요를 설명하기 위한 도면으로, 제1 실시 형태의 도 1에 대응하는 것이다. 또한, 도 4 ~ 도 8에 있어서도, 도 1과 마찬가지로, 실선의 직선은 기판(23)의 한쪽 면(23a)에 형성된 선로를 나타내고 있고, 점선의 직선은 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 형성된 선로를 나타내고 있다.
이 도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B) 있어서는, 기판(23)의 한쪽 면에 도체 패턴(26B)이 형성되어 있는 것과 함께, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 배설되어 있는 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)와, Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 인출 선로부(22YjE)의 귀로 선로(YjEg)가, 커넥터부(24)의 근방에 있어서, 스루홀(33X, 33Y)을 통해서, 기판(23)의 한쪽 면(23a)의 선로(33X, 34Y)에 접속된다. 선로(34X, 34Y)는 기판(23)의 커넥터부(24)의 한쪽 면(23a)에 공통으로 접속되어 있다. 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)의 그 외의 구성은, 제1 실시 형태의 위치 검출 센서(20A)와 마찬가지로 된다.
도체 패턴(26B)의 빈 구멍은, Y축 방향으로 늘어서 있고, 이 Y축 방향의 빈 구멍 열은, 서로 이웃하는 빈 구멍 열과 어긋나게 배치되어 있다. 이 배치는, 제1 실시 형태의 더미 도체 패턴(26)에 있어서, 슬릿 부분에 빈 구멍(26Bh)을 형성한 것에 동일하며, 도체 패턴(26B)에는, Y축 방향으로 실질적으로 선로 패턴(26Ba)이 형성되어 있는 것이다. 또한, 도 4에서는, 선로 패턴(26Ba)을 알기 쉽게 하기 위해서, 도체 패턴(26B)에는, 점선을 부여하여 선로 패턴을 나타내고 있지만, 실제로는, 이 점선은 존재하지 않는다.
다음으로, 이 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)에 있어서의, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)를, 다른 X축 방향 루프 코일(21Xk)(단 i≠k)의 인출 선로부(21XkE)의 귀로 선로(XkEg)와 공통화하는 것에 대하여 설명한다.
도 5는 제2 실시 형태의 센서(20B)의 기판(23)에 형성되는 X축 방향 루프 코일 그룹(21) 중 임의의 2개의 X축 방향 루프 코일 사이에서의 귀로 선로의 공통화를 설명하기 위한 도면이며, 이 도 5는 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)와, X축 방향 루프 코일(21Xk)의 인출 선로부(21XkE)로, 귀로 선로를 공통화한 경우를 나타내고 있다. 이 도 5에 있어서는, 도 1과 마찬가지로, 실선의 직선은, 기판(23)의 한쪽 면(23a)에 형성된 선로를 나타내고 있고, 점선의 직선은, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 형성된 선로를 나타내고 있다.
전술한 바와 같이 하여, 기판(23)의 한쪽 면(23a)에 형성된 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 루프부(21XiL)의 직선부(XiLa 및 XiLb)는, 스루홀(31ai, 31bi, 31ci, 31di)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 형성된 직선부(XiLc 및 XiLd)에 접속된다. 마찬가지로, 기판(23)의 한쪽 면(23a)에 형성된 X축 방향 루프 코일(21Xk)의 루프부(21XkL)의 직선부(XkLa 및 XkLb)는, 스루홀(31ak, 31bk, 31ck, 31dk)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 형성된 직선부(XkLc 및 XkLd)에 접속된다.
그리고, 기판(23)의 한쪽 면(23a) 상에 형성된 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 루프부(21XiL) 및 X축 방향 루프 코일(21Xk)의 루프부(21XkL)의 직선부(XiLb) 및 직선부(XkLb)는, 그 절단부의 한쪽 단부가 각각 스루홀(31ei 및 31ek)을 통해서, 인출 선로부(21XiE) 및 인출 선로부(21XkE)의 왕로 선로(XiEs 및 XkEs)에 접속된다.
또한, 직선부(XiLb) 및 직선부(XkLb)의 절단부의 다른 쪽 단부는, 각각 스루홀(31fi 및 31fk)을 통해서, 인출 선로부(21XiE) 및 인출 선로부(21XkE)의 귀로 선로(XiEg 및 XkEg)에 접속된다. 이 경우에, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)는, 스루홀(31fk)과 접속된 후의 스루홀(31fi와 31fk) 사이 이외의 선로부가, X축 방향 루프 코일(21Xk)의 귀로 선로(XkEg)와 공용되게 된다. 즉, 귀로 선로(XiEg)와 귀로 선로(XkEg)는, 공통 귀로 선로(CMg)의 구성으로 된다.
그리고, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs)는, 공통 귀로 선로(CMg)와 평행하게 근접시켜 배설되는 것과 함께, X축 방향 루프 코일(21Xk)의 인출 선로부(21XkE)의 왕로 선로(XkEs)도, 공통 귀로 선로(CMg)와 평행하게 근접시켜 배설된다.
그리고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 이 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)에 있어서는, 공통 귀로 선로(CMg)는, 위치 검출 에어리어(25)의 외측의 커넥터부(24)와의 사이의 영역에 있어서, 스루홀(33X)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측으로부터 한쪽 면(23a) 측의 선로(34X)에 접속되고, 이것에 의해, 공통 귀로 선로(CMg)는 커넥터부(24)의 한쪽 면(23a)의 도체 패턴(26B)에 접속된다.
이와 같이, 제2 실시 형태에 있어서는, X축 방향의 루프 코일의 귀로 선로를, 다른 X축 방향의 루프 코일의 귀로 선로와 공통화함으로써, 종래는, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)로서 2개, X축 방향 루프 코일(21Xk)의 인출 선로부(21XkE)로서 2개의, 합계 4개의 인출 선로가 필요했던바, 1개 적은 3개의 인출 선로로 할 수 있다.
그리고, 제1 실시 형태에서는, 또한, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs)와, X축 방향 루프 코일(21Xk)의 인출 선로부(21XkE)의 왕로 선로(XkEs)를, 공통 귀로 선로(CMg)를 중심으로 한 양측에 형성하도록 한다. 이 때문에, 스루홀(31ei와 31ek)은, 공통 귀로 선로(CMg)를 가로지르는 위치에 형성한다.
이와 같이, 공통 귀로 선로(CMg)를 중심으로 하여 양측에, 왕로 선로(XiEs)와, 왕로 선로(XkEs)를 배설하도록 함으로써, 왕로 선로(XiEs)와 공통 귀로 선로(CMg)의 간격 및 왕로 선로(XkEs)와 공통 귀로 선로(CMg)의 간격을 동일하게 할 수 있고, 예를 들면 양방의 간격을 0.1㎜로 할 수 있다. 이것에 의해, 왕로 선로와 귀로 선로로 형성되는 면적 부분을 최소인 채로 할 수 있어, 오차 신호의 발생을 최소로 할 수 있다.
이상과 같이 하여, X축 방향 루프 코일 그룹(21)의 n개의 루프 코일(21X1 ~ 21Xn)의 2개씩에 대해서, 인출 선로부(21X1E ~ 21XnE)의 귀로 선로를 공통화함으로써, X축 방향 루프 코일 그룹(21)으로부터 도출되는 인출 선로의 전체 귀로 선로의 선 수를, 종래의 1/2로 할 수 있다.
또한, 귀로 선로를 공통화하는 X축 방향 루프 코일의 수를, 3 이상으로 함으로써, X축 방향 루프 코일 그룹(21)으로부터 도출되는 인출 선로의 전체 귀로 선로의 선 수를, 보다 적게 할 수 있다.
예를 들면 도 6에 나타내는 바와 같이, X축 방향 루프 코일 그룹(21)의 n개의 X축 방향 루프 코일(21X1 ~ 21Xn)을, 각각 2개 이상으로 이루어진 그룹(G1, G2, …)의 복수 개로 나누어 각 그룹마다 귀로 선로를 공통화함으로써, X축 방향 루프 코일 그룹(21)으로부터 도출되는 인출 선로부의 전체 귀로 선로의 선 수를, 그 그룹 수 만큼으로 할 수 있다. 즉, 도 6에 나타내는 바와 같이, 각 그룹(G1, G2, …)마다 1개의 공통 귀로 선로(CMg1, CMg2, …)를 구비하도록 구성할 수 있다. 또한, 각 그룹(G1, G2, …)을 구성하는 X축 방향 루프 코일의 수는, 같은 수가 아니라 다르게 되어 있어도 되는 것은 말할 필요도 없다.
이상과 같이 하여, 제2 실시 형태에 의하면, X축 방향 루프 코일의 귀로 선로를, 다른 X축 방향 루프 코일의 귀로 선로와 공통화함으로써, 인출 선로의 선로 수를, 종래와 비교하여 삭감할 수 있다.
그리고, 이 제2 실시 형태에 있어서는, 커넥터부(24)에 있어서는, X축 방향 루프 코일 및 Y축 방향 루프 코일의 귀로 선로는, 왕로 선로가 형성되어 있는 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)과는 반대 측의 한쪽 면(23a)에 마련되어, 도체 패턴(26B)에 접속되므로, 커넥터부(24)의 크기를, 제1 실시 형태의 경우보다도 작게 할 수 있다.
그리고, 이 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)에 있어서도, 기판(23)의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에, 커넥터부(24)를 포함하여, 서로 직교하는 방향의 선로 패턴이 형성되어 있으므로, 열처리에 의해 동 페이스트의 바인더 때문에 수축이 생겼다고 해도, 상술한 실시 형태와 마찬가지로, 그 전체에 걸쳐서 균일한 수축이 생긴다. 이 때문에, 기판(23)에 있어서, 부분적으로 휘어짐이 생기거나, 렌티큘레이션이 생기거나 하는 일은 없다.
그리고, 커넥터부(24)의 더미 도체 패턴(26B)은, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측의 선로 패턴의 영역 전체에 대응하는 솔리드 패턴이 아니고, 다수의 빈 구멍(26Bh)이 마련된 패턴이기 때문에, 솔리드 패턴의 경우에, 그 근방에서의 위치 지시기와의 전자 결합에 있어서의 와전류의 발생에 의한 자속의 감쇠를 회피할 수 있다.
또한, 이 제2 실시 형태에 있어서는, 커넥터부(24)에 있어서는, 도체 패턴(26B)을 기준 전위에 접속하는 단자로 하도록 구성한다.
그러나, X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE)의 공통 귀로 선로의 1개 혹은 복수 개, 혹은 Y축 방향 루프 코일(22Yj)로부터의 인출 선로부(22YjE)의 귀로 선로 중의 1개 혹은 복수 개를, 커넥터부(24)의 다른 쪽 면(23a)으로 도출하는 것과 함께, 스루홀을 통해서 더미 도체 패턴(26B)에 접속하고, 당해 커넥터부(24)의 다른 쪽 면(23a)으로 도출한 귀로 선로를, 기준 전위에 접속하는 단자로 하도록 해도 된다.
또한, n개의 X축 방향 루프 코일(21X1 ~ 21Xn)의 인출 선로부(21X1E ~ 21XnE)의 귀로 선로(X1Eg ~ XnEg) 전부를 공통화하여, 1개의 공통 귀로 선로(CMg)로 하도록 해도 물론 된다.
또한, 상술한 제2 실시 형태는, X축 방향 루프 코일 그룹(21)에 대해서만 설명했지만, Y축 방향 루프 코일 그룹(22)에 대해서도, 모두 마찬가지로 하여, 제2 실시 형태를 적용할 수 있다. 이 경우에는, 인출 선로부의 귀로 선로 수의 최소값은, X축 방향 루프 코일 그룹(21)에 대해서 1개, Y축 방향 루프 코일 그룹(22)에 대해서 1개의, 합계 2개로 할 수 있다.
또한, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)으로 모든 인출 선로를 도출하도록 하는 제1 실시 형태에 있어서도, 상술한 X축 방향 루프 코일 그룹(21)이나 Y축 방향 루프 코일 그룹으로부터의 인출 선로부의 귀로 선로를 공통화하는 기술을 적용하도록 해도 되는 것은 말할 필요도 없다.
［위치 검출 센서의 제3 실시 형태］
제3 실시 형태의 위치 검출 센서(20C)는, 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)의 변형예의 하나이다. 도 7 및 도 8은, 이 제3 실시 형태의 위치 검출 센서(20C)의 구성예를 설명하기 위한 도면이다. 이 도 7 및 도 8에 있어서, 제2 실시 형태의 위치 검출 센서(20B)와 동일 부분에는, 동일 부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.
이 제3 실시 형태에 있어서는, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)를, Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 루프부(22YjL) 중 하나의 직선부(YjLb)에 접속하고, 이 직선부(YjLb)의 일부로서도 이용함으로써 공통화하여, X축 방향 루프 코일 그룹(21)으로부터 위치 검출 에어리어(25)의 외측의 커넥터부(24)에 접속하기 위한 인출 선로의 합계의 선로 수를 더 삭감하도록 한다. 이것에 의해, 위치 검출 에어리어(25)에 있어서, 루프 코일의 루프부의 선로 이외의 인출 선로가 존재하는 것에 의한 선로 패턴의 집중이나, 치우침을, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태 보다도, 더 적게하도록 하고 있다.
또한, 도 7에 있어서도, 도 1과 마찬가지로, 실선의 직선은, 기판(23)의 한쪽 면(23a)에 형성된 선로를 나타내고 있고, 점선의 직선은, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 형성된 선로를 나타내고 있다.
즉, 도 7에 나타내는 바와 같이, Y축 방향 루프 코일(22Yj)은, 기판의 다른 쪽 면(23b) 측의 X축 방향의 직선부(YjLa 및 YjLb)와, 한쪽 면(23a) 측의 Y축 방향의 직선부(YjLc 및 YjLd)가, 스루홀(32aj, 32bj, 32cj)을 통해서 접속됨으로써, 그 루프부(22YjL)가 형성된다.
그리고, 전술도 한 바와 같이, 기판(23)의 한쪽 면(23a)의 직선부(YjLc)가, 스루홀(32dj)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b)에 있어서, 위치 검출 에어리어(25)의 외측에, X축 방향으로 평행하게 형성되어 있는, 왕로 선로(YjEs)에 접속된다. 또한, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 형성되어 있는 X축 방향의 직선부(YjLb)가, 위치 검출 에어리어(25)의 외측에, 추가로 X축 방향으로 연장되어 형성됨으로써, 귀로 선로(YjEg)가 된다.
한편, X축 방향 루프 코일(21Xi)은, 도 5와 마찬가지로 하여, 기판(23)의 한쪽 면(23a) 측의 직선부(XiLa 및 XiLb)와, 다른 쪽 면(23b) 측의 직선부(XiLc 및 XiLd)가, 스루홀(31ai, 31bi, 31ci, 31di)을 통해서 접속됨으로써, 그 루프부(21XiL)가 형성된다.
그리고, 기판(23)의 한쪽 면(23a) 상에 형성된 직선부(XiLb)의 절단부의 한쪽 단부가, 스루홀(31ei)을 통해서, 기판(23)의 다른 쪽 면(23b) 측에 형성되어 있는 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs)에 접속된다. 이 왕로 선로(XiEs)는 Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 루프부(22YjL)의 직선부(YjLb)에 평행하게 근접시켜 배설된다.
그리고, 이 제3 실시 형태에 있어서는, 직선부(XiLb)의 절단부의 다른 쪽 단부는, 스루홀(31fi)을 통해서, Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 루프부(22YjL)의 직선부(YjLb)의 중간부에 접속된다. 이 루프부(22YjL)의 직선부(YjLb)는, 전술한 바와 같이, Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 인출 선로부(22YjE)의 귀로 선로(YjEg)가 그 연장부로 되어 있는 선로이다.
그리고, 전술한 바와 같이, Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 루프부(22YjL)의, 이 직선부(YjLb)는, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 왕로 선로(XiEs)와 평행하게 근접시켜 배설되어 있다.
따라서, Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 루프부(22YjL)의, 이 직선부(YjLb)는, 스루홀(31fi)을 통한 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 직선부(XiLb)와의 접속점으로부터, 커넥터부(24)까지의 부분이, X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)의 귀로 선로(XiEg)로서도 공용화되게 된다.
그리고, 이 제3 실시 형태에 있어서는, 위치 검출 에어리어(25)로부터, 그 외부의 커넥터부(24)(도 7에서는 도시를 생략)에 접속하기 위한 X축 방향 루프 코일(21Xi)의 인출 선로부(21XiE)와 Y축 방향 루프 코일(22Yj)의 인출 선로부(22YjE)에 있어서는, 공통화된 공통 귀로 선로(CMYg)를 가지는 것으로 하여 구성된다. 그리고, 도 7에 나타내는 바와 같이, 이 공통 귀로 선로(CMYg)가 스루홀(33YC)을 통해서 기판(23)의 다른 쪽 면으로부터 한쪽 면(23a)에 접속되고, 선로(34YC)를 통해서, 도 4에 나타낸 도체 패턴(26B)에 접속된다.
이상과 같이 하여, 제3 실시 형태에 있어서는, X축 방향 루프 코일(21Xi)로부터의 인출 선로부(21XiE)에서는, 귀로 선로를 개별로 마련할 필요가 없게 되어, 그 만큼, 인출 선로 수를 삭감할 수 있다.
그리고, X축 방향 루프 코일 그룹(21)의 X축 방향 루프 코일 각각으로부터의 인출 선로부로서 귀로 선로를 불필요하게 할 수 있으므로, X축 방향 루프 코일 그룹(21) 및 Y축 방향 루프 코일 그룹(22)의 전체로부터의 인출 선로부의 귀로 선로 수를, Y축 방향 루프 코일 수 만큼으로 할 수 있다. 따라서, 제2 실시 형태의 경우보다도, X축 방향 루프 코일 그룹(21) 및 Y축 방향 루프 코일 그룹(22)의 전체로부터의 인출 선로부의 귀로 선로 수를, 더 적게 할 수 있다.
도 8은, 제2 실시 형태의 도 6의 예에, 제3 실시 형태를 적용한 경우를 나타내고 있다. 이 도 8의 예에서는, 그룹 G1의 X축 방향 루프 코일(21X1 ~ 21X6)의 귀로 선로는, Y축 방향 루프 코일(22Yu)의 루프부(22YuL)의 일부와 공용되어, 공통 귀로 선로(CMYg1)로서 위치 검출 에어리어(25) 밖으로 도출된다. 또한, 그룹 G2의 X축 방향 루프 코일(21X7 ~ 21X12)의 귀로 선로는, Y축 방향 루프 코일(22Yv)의 루프부(22YvL)의 일부와 공용되어, 공통 귀로 선로(CMYg2)로서 위치 검출 에어리어(25) 밖으로 도출된다.
［상술한 실시 형태의 변형예］
또한, 상술한 실시 형태에서는, 기판(23)의 X축 방향의 한쪽 측에 커넥터부(24)를 마련하도록 했지만, 기판(23)의 Y축 방향의 한쪽 측에 커넥터부로 마련하도록 해도 된다.
또한, 커넥터부(24)에 마련하는 도체 패턴(26, 26B)에 있어서 실질적으로 선로 패턴을 형성하는 방법은, 상술한 실시 형태와 같이, 슬릿을 마련하는 방법이나 빈 구멍을 마련하는 방법으로 한정되는 것은 아니며, 커넥터부(24)의 다른 쪽 면측에 형성되는 인출 선로부의 연장부에 대해서, 직교하는 방향의 선로 패턴을 실질적으로 형성할 수 있으면, 어떠한 방법이어도 된다.
예를 들면, 도 9의 (A)에 나타내는 예의 도체 패턴(26C)은, 복수 개의 선로 패턴(26Ca)이, 각각의 선로 패턴(2Ca)의 일단 측에서 접속되는 것과, 타단 측에서 접속되는 것이 교호(交互)로 되어, 이른바 지그재그의 선로 패턴으로서 형성되어 있다. 또한, 도 9의 (B)에 나타내는 예의 도체 패턴(26D)은, 복수 개의 선로 패턴(26Da)이, 그 일단 측에 있어서만 접속되어 연결되어 있는 패턴이다. 도 9의 (B)에 있어서, 복수 개의 선로 패턴(26Da)을 연결하는 부분은, 복수 개의 선로 패턴(26Da)의 타단 측이어도 되는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 도 9의 (C)에 나타내는 예의 도체 패턴(26E)은, 복수 개의 선로 패턴(26Ea)이, 각각의 선로 패턴(26Da)의 중앙부에서 연결되어 있는 패턴이다.
또한, 도 9에 나타낸 예는, 모두 도체 패턴(26C, 26D, 26E)이 기준 전위를 공급하는 단자로 할 수 있도록 한 경우이며, 도체 패턴(26C, 26D, 26E)을, 기준 전위를 공급하는 단자로 할 필요가 없는 경우에는, 제1 실시 형태에서 설명한 바와 같이, 복수 개의 선로 패턴(26Ca, 26Da, 26Ea)은 서로 독립된 선로 패턴(더미 패턴)으로 해도 되는 것은 전술한 대로이다.
20, 20A, 20B, 20C…위치 검출 센서, 21…X축 방향 루프 코일 그룹, 22…Y축 방향 루프 코일 그룹, 23…폴리이미드계 수지로 이루어진 시트 모양 기판, 24…커넥터부, 25…위치 검출 에어리어, 26…더미 도체 패턴, 26A…기준 전위가 되는 도체 패턴

Claims (14)

  1. 수지로 이루어진 시트 모양 기판에, 동(銅) 분말과 바인더를 포함하는 동 페이스트로 이루어진 선로 패턴을 형성하고, 열 가공하여 복수 개의 위치 검출용 루프 코일을 형성하는 위치 검출 센서에 있어서,
    상기 선로 패턴은 상기 위치 검출용 루프 코일과, 상기 위치 검출용 루프 코일과 외부의 접속을 위한 커넥터부를 포함하여 구성되고,
    상기 시트 모양 기판의 한쪽 면에 있어서는, 상기 동 페이스트에 의한 상기 선로 패턴을, 제1 방향으로 연장되도록 형성하는 것과 함께, 상기 제1 방향으로 연장되도록 형성한 상기 선로 패턴을 상기 제1 방향과는 직교하는 제2 방향으로 소정의 피치로 형성하고, 상기 시트 모양 기판의 다른 쪽 면에 있어서는, 상기 동 페이스트에 의한 상기 선로 패턴을, 상기 제2 방향으로 연장되도록 형성하는 것과 함께, 상기 제2 방향으로 연장되도록 형성한 상기 선로 패턴을 상기 제1 방향으로 소정의 피치로 형성하며, 또한,
    상기 커넥터부에 있어서는, 상기 한쪽 면과 상기 다른 쪽 면에 선로 패턴이 배치되는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 시트 모양 기판의 소정의 단부에 상기 커넥터부를 구비하고, 상기 커넥터부에 상기 위치 검출용 루프 코일의 루프부로부터 도출되는 인출 선로의 연장부가 형성되며,
    상기 커넥터부에 있어서도, 상기 시트 모양 기판의 상기 한쪽 면과 상기 다른 쪽 면에 있어서, 서로 직교하는 방향의 선로 패턴이 실질적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 위치 검출용 루프 코일은,
    소정의 면적 영역을 둘러싸도록 선로가 배선되는 제1 루프부와, 상기 제1 루프부를 구성하는 상기 선로의 일단 및 타단의 각각에 접속되는 제1 인출 선로부를 구비하는 제1 루프 코일이, 상기 제2 방향으로 복수 개 배치된 제1 루프 코일 그룹과,
    소정의 면적 영역을 둘러싸도록 선로가 배선되는 제2 루프부와, 상기 제2 루프부를 구성하는 상기 선로의 일단 및 타단의 각각에 접속되는 제2 인출 선로부를 구비하는 제2 루프 코일이, 상기 제2 방향과 직교하는 상기 제1 방향으로 복수 개 배치된 제2 루프 코일 그룹으로 이루어지며,
    상기 제1 루프 코일 그룹 및 상기 제2 루프 코일 그룹의 상기 제1 루프부 및 상기 제2 루프부가 차지하는 영역이 위치 검출 에어리어로 되고,
    상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부는, 상기 제1 인출 선로부 또는 상기 제2 인출 선로부 중 한쪽은, 상기 위치 검출 에어리어 내를 통과하고, 다른 쪽은, 상기 위치 검출 에어리어를 통과하는 일 없이, 상기 시트 모양 기판의 한쪽 면 또는 다른 쪽 면 중 어느 한쪽 면에 배설되는 것과 함께, 상기 커넥터부에 있어서 통합해서 배설되며,
    상기 커넥터부의 한쪽 면 및 다른 쪽 면의 양면에는, 실질적으로 서로 교차하는 방향의 상기 동 페이스트에 의한 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 한쪽에는, 상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부가 소정의 연장 방향으로 배선되어 있는 것과 함께, 상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 다른 쪽에는, 상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부의 상기 소정의 연장 방향과는 직교하는 방향으로 도체 선로가 실질적으로 형성되도록 된 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 다른 쪽에 형성되어 있는 상기 패턴은, 상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부의 상기 소정의 연장 방향과는 직교하는 방향의 복수 개의 선로 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부는, 신호를 공급 혹은 신호를 취출(取出)하기 위한 제1 선로와, 기준 전위에 접속되는 선로인 제2 선로를 구비하고,
    상기 제1 인출 선로부의 상기 제2 선로를, 다른 상기 제1 인출 선로부의 제2 선로와 접속함으로써 공통화하는 것과 함께, 상기 제2 선로를 공통화한 상기 제1 인출 선로부의 상기 제1 선로를, 상기 공통화한 상기 제2 선로와 평행하게 근접시켜 배설한 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 공통화된 상기 제1 인출 선로부의 상기 제2 선로는, 상기 제2 루프 코일의 상기 제2 루프부의 일부 및 상기 제2 인출 선로부의 상기 제2 선로를 구성하는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부는, 신호를 공급 혹은 신호를 취출하기 위한 제1 선로와, 기준 전위에 접속되는 선로인 제2 선로를 구비하고,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 한쪽에는, 상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부의 상기 제1 선로가, 그 연장 방향으로 형성되어 있고,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 다른 쪽에는, 상기 제1 인출 선로부 및 상기 제2 인출 선로부의 상기 제2 선로가 접속되는 패턴으로서, 상기 제1 선로의 연장 방향과는 직교하는 방향으로 도체 선로가 실질적으로 형성되도록 된 패턴이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 인출 선로부의 상기 제2 선로를, 다른 상기 제1 인출 선로부의 제2 선로와 접속함으로써 공통화하는 것과 함께, 상기 제2 선로를 공통화한 상기 제1 인출 선로부의 상기 제1 선로를, 상기 공통화한 상기 제2 선로와 평행하게 근접시켜 배설한 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 공통화된 상기 제1 인출 선로부의 상기 제2 선로는, 상기 제2 루프 코일의 상기 제2 루프부의 일부 및 상기 제2 인출 선로부의 상기 제2 선로를 구성하는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  11. 청구항 5 또는 청구항 8에 있어서,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 다른 쪽에 형성되어 있는 상기 패턴은, 상기 제1 선로의 연장 방향과는 직교하는 방향의 복수 개의 도체를 서로 접속한 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 다른 쪽에 형성되어 있는 상기 패턴에 있어서는, 상기 제1 선로의 연장 방향과는 직교하는 방향의 슬릿에 의해, 상기 제1 선로의 연장 방향과는 직교하는 방향의 상기 복수 개의 도체를 형성하는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 커넥터부의 상기 한쪽 면 또는 상기 다른 쪽 면 중 다른 쪽에 형성되어 있는 상기 패턴에 있어서는, 상기 제1 선로의 연장 방향과는 직교하는 방향의 복수 개의 빈 구멍(空孔)에 의해, 상기 제1 선로의 연장 방향과는 직교하는 방향의 상기 복수 개의 도체를 형성하는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 시트 모양 기판의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에 형성된 상기 동 페이스트가, 340℃로 열처리되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 유도 방식의 위치 검출 센서.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7124054B2 (ja) * 2018-03-07 2022-08-23 株式会社ワコム センサ
CN113358012B (zh) * 2020-03-06 2022-12-02 深圳普赢创新科技股份有限公司 电磁感应式坐标定位装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0955568A (ja) 1995-08-11 1997-02-25 Hitachi Ltd 薄膜配線シート、多層配線基板、およびそれらの製造方法
US20030184517A1 (en) * 2002-03-26 2003-10-02 Akira Senzui Input operation device
WO2012157704A1 (ja) 2011-05-18 2012-11-22 戸田工業株式会社 銅粉末、銅ペースト、導電性塗膜の製造方法及び導電性塗膜
KR20130103375A (ko) * 2012-03-09 2013-09-23 가부시키가이샤 와코무 전자 유도 방식의 좌표 입력 장치의 센서
WO2014132961A1 (ja) * 2013-03-01 2014-09-04 戸田工業株式会社 導電性塗膜の製造方法及び導電性塗膜
KR20140118820A (ko) * 2013-03-29 2014-10-08 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 터치 검출 기능을 구비한 표시 장치, 전자 기기 및 터치 검출 디바이스
KR20150004579A (ko) * 2013-07-03 2015-01-13 주식회사 더한 전자기 유도 방식의 위치감지와 정전용량 방식의 위치감지를 수행할 수 있는 타블렛

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6075922A (ja) * 1983-10-03 1985-04-30 Hitachi Seiko Ltd 座標検出用タブレツト
WO2003103352A1 (ja) * 2002-06-04 2003-12-11 住友電気工業株式会社 プリント配線用基板、プリント配線板およびこれらの製造方法
US20080068334A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Immersion Corporation Localized Haptic Feedback
KR101030497B1 (ko) * 2008-12-26 2011-04-21 전자부품연구원 플렉서블 디스플레이 장치용 입력장치, 그의 제조방법 및 그를 포함하는 플렉서블 디스플레이 장치
TWI451316B (zh) * 2011-12-16 2014-09-01 E Ink Holdings Inc 觸控面板
JP2015005263A (ja) * 2013-05-20 2015-01-08 日東電工株式会社 センサ基板
JP2015026235A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 株式会社ワコム 電磁誘導方式のセンサ、電磁誘導方式のセンサ用カバーレイ部材及び電磁誘導方式のセンサの製法
JP2015035331A (ja) 2013-08-09 2015-02-19 戸田工業株式会社 導電性塗膜の製造方法及び導電性塗膜

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0955568A (ja) 1995-08-11 1997-02-25 Hitachi Ltd 薄膜配線シート、多層配線基板、およびそれらの製造方法
US20030184517A1 (en) * 2002-03-26 2003-10-02 Akira Senzui Input operation device
WO2012157704A1 (ja) 2011-05-18 2012-11-22 戸田工業株式会社 銅粉末、銅ペースト、導電性塗膜の製造方法及び導電性塗膜
KR20130103375A (ko) * 2012-03-09 2013-09-23 가부시키가이샤 와코무 전자 유도 방식의 좌표 입력 장치의 센서
WO2014132961A1 (ja) * 2013-03-01 2014-09-04 戸田工業株式会社 導電性塗膜の製造方法及び導電性塗膜
KR20140118820A (ko) * 2013-03-29 2014-10-08 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 터치 검출 기능을 구비한 표시 장치, 전자 기기 및 터치 검출 디바이스
KR20150004579A (ko) * 2013-07-03 2015-01-13 주식회사 더한 전자기 유도 방식의 위치감지와 정전용량 방식의 위치감지를 수행할 수 있는 타블렛

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