KR20170087383A - 스위치를 사용하여 단일한 신호 채널과 복수의 패드 연결을 스위칭하는 테스트 회로 - Google Patents

스위치를 사용하여 단일한 신호 채널과 복수의 패드 연결을 스위칭하는 테스트 회로 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다이의 패드 테스트를 실시하기 위한 테스트 회로를 공개하며, 그 중 상기 다이는 적어도 한 그룹의 테스트 유닛을 포함하고, 각 그룹의 테스트 유닛은 복수의 패드를 포함한다. 상기 테스트 회로는 각각 상기 복수의 패드에 대응되는 복수의 프로브; 적어도 하나의 신호 채널; 및 상기 적어도 하나의 신호 채널과 상기 복수의 프로브 사이에 커플링되어 상기 적어도 하나의 신호 채널과 상기 복수의 프로브의 연결을 스위칭하는 적어도 하나 스위치를 포함한다.

Description

스위치를 사용하여 단일한 신호 채널과 복수의 패드 연결을 스위칭하는 테스트 회로{TEST DEVICE USING SWITCH SWITCHING CONNECTIONS BETWEEN SINGLE SIGNAL CHANNEL AND MULTIPLE PADS}
본 발명은 테스트 회로에 관한 것으로서, 특히 스위치를 사용하여 단일한 신호 채널과 복수의 패드의 연결을 스위칭하는 테스트 회로에 관한 것이다.
현재 반도체 제조공정은 이미 성숙한 정도로 발전하였고, 또한 반도체 제조공정의 탁월한 기술은 집적회로의 응용을 갈수록 확대시키고 있어, 사람들이 사용하는 전자제품은 대부분 집적회로 다이를 전자제품을 제어하기 위한 핵심 소자로 사용하고 있다. 반도체 제조공정의 진화는 갈수록 정밀해지고 있으며, 따라서 현재 집적회로 다이를 테스트하기 위한 많은 테스트 장치 및 테스트 방식이 발전하게 되었다. 예를 들어 집적회로 다이의 패드 테스트(PAD test)는 집적회로 다이 중 와이어본딩(wire-bonding) 또는 골드 범프(gold bump)에 사용되는 패드를 테스트하여, 패드가 작동할 수 없는 집적회로 다이가 패키징되어 출하되는 것을 막아 하자 제품이 시중에 유통되는 것을 방지한다.
신규 설계된 집적회로 다이에 대해, 응용요구에 부합되도록 테스트 장치 업체는 상이한 모델의 테스트 장치 역시 상응하게 출시하고 있다. 그러나 테스트 장치는 제조비가 매우 비싸기 때문에, 테스트 업체로서는 테스트 장치가 새로 출시됨에 따라 이미 구입한 테스트 장치를 교체해야 할 경우, 테스트 업체의 테스트 원가가 대폭 상승하는 결과를 초래할 수 있다.
따라서, 테스트 원가를 감소시키기 위하여, 이미 구입한 테스트 장치를 완전히 교체할 필요 없이, 상이한 모델의 테스트 장치 간에 호환성을 갖추도록 하는 것이 업계의 중요한 과제 중의 하나이다.
따라서, 본 발명의 주요 목적은 테스트 회로에 필요한 하드웨어 면적을 감소시키고 제조비용을 절감하는 동시에, 상이한 모델의 테스트 장치 간에 호환성을 갖추도록 할 수 있는 스위치를 사용하여 단일한 신호 채널과 복수의 패드 연결을 스위칭하는 테스트 회로를 제공하고자 하는 데 있다..
본 발명은 테스트 회로(프로브 카드일 수 있다)를 공개하며, 이는 복수의 스위치가 설치되어, 복수의 스위치를 통해 각각 테스터의 신호 채널과 다이의 복수의 패드의 연결(또는 단일한 신호 채널과 복수의 프로브의 연결)을 스위칭하며, 이와 같이 하면 테스트 시간이 동일한 경우, 테스트 회로에 필요한 하드웨어 면적을 감소시켜 제조비용을 절약할 수 있다. 본 발명은 단일한 신호 채널을 통해 복수의 패드를 테스트하기 때문에, 테스터는 나머지 신호 채널을 통해, 기타 테스트 유닛 또는 다이에 대해 동시에 테스트를 실시할 수 있어, 테스터의 동시 테스트 횟수를 높이고 테스트 처리량(throughput)을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 테스트 회로는 상이한 모델의 테스트 장치에 장착할 수 있으며, 테스트 회로의 교체 및 대응하는 테스트 플로우의 업데이트를 통해 상이한 모델의 테스트 장치 간에 호환성을 갖추도록 할 수 있기 때문에, 테스트 업체는 이미 구입한 테스트 장치를 사용하여 상이한 집적회로 다이 설계에 정합하도록 다른 모델의 테스트 장치의 테스트 순서를 구현할 수 있다. 이와 같은 방식으로 테스트 업체는 테스트 비용을 효과적으로 감소시킬 수 있다.
도 1은 테스트 장치의 기능 블록도이다.
도 2는 테스트 장치의 국부 도식도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1의 테스트 장치의 국부 도식도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1의 테스트 장치의 국부 도식도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1의 프로브 카드 단면구조의 범례도이다.
도 6은 본 발명의 실시예의 또 다른 프로브 카드 단면구조의 범례도이다.
도 7은 본 발명의 실시예의 또 다른 프로브 카드 단면구조의 범례도이다.
도 1은 테스트 장치(1)의 기능 블록도이다. 테스트 장치(1)는 적어도 하나의 테스트중 소자(Device Under Test, DUT)(12)를 테스트하기 위한 프로브 카드(10) 및 테스터(Tester)(11)를 포함한다. 프로브 카드(10)는 테스트 회로일 수 있으며, 이는 테스터(11)와 테스트중 소자(12) 사이의 연결 인터페이스로서, 집적회로 다이의 패드 테스트(PAD test)에 사용되며, 목적은 테스터(11)의 신호 채널과 테스트중 소자(12)에 포함되는 칩 또는 다이(Die)의 패드를 연결하는데 있다. 테스터(11)는 테스트중 소자(12)에 필요한 테스트 신호를 제공하고, 테스트중 소자(12)의 응답 신호를 수신하여, 응답 신호 및 미리 설정된 조건과 결과에 따라 테스트중 소자(12)의 전기적 테스트 결과가 양품 또는 불량품을 지시하는지 판단할 수 있다. 또한, 조작자는 테스터(11)를 통해 특정 테스트 프로그램을 수행하여 테스트중 소자(12)의 테스트 플로우를 제어할 수도 있다.
도 2는 테스트 장치(2)의 국부 도식도이다. 테스트 장치(2)는 테스터(도 2에는 미도시) 및 테스트중 소자(12)를 테스트하기 위한 프로브 카드(20)를 포함한다. 프로브 카드(20)는 복수의 신호 채널(CH1~CH8)과 복수의 프로브 사이에 커플링되는 복수의 스위치(201~208)를 포함하며, 각각의 스위치는 단일 신호 채널과 N개의 프로브의 연결을 스위칭하기 위한 것으로, 각각의 프로브는 하나의 패드에 대응된다. 예를 들어, 스위치(201~208)는 단극쌍투형(Single Pole Double Throw) 스위치일 수 있으며, 그 중 스위치(201)는 신호 채널(CH1)과 2개의 프로브 및 대응되는 패드(P1), (P2)의 연결을 스위칭하기 위한 것이고, 스위치(202)는 신호 채널(CH2)과 2개의 프로브 및 대응되는 패드(P3), (P4)의 연결을 스위칭하기 위한 것이며, 이와 같이 유추한다. M개의 패드(P1~PM)를 한 그룹의 테스트 유닛이라고 가정할 경우, 각 그룹의 테스트 유닛은 (M/N)개의 스위치로 패드 테스트를 수행하여야 한다. 만약 M은 실질적으로 16이고 N은 실질적으로 2인 경우, 각 그룹의 테스트 유닛은 8개의 스위치가 필요하다.
패드 테스트를 실시 시, 테스터는 한 번에 단일한 패드에 대해 전기적 테스트를 실시한다. 예를 들어, 테스터는 스위치(201~208)를 제어하여 신호 채널(CH1~CH8)을 각각 패드[P1, P3,...,P(M-1)]에 연결하고, 순서대로 신호 채널(CH1~CH8)을 통해 테스트 신호를 패드[P1, P3,...,P(M-1)]로 출력하여, 패드[P1, P3,...,P(M-1)]로부터 회신되는 응답 신호를 수신한다. 이어서, 테스터는 스위치의 스위칭 상태를 변경하며, 즉 스위치(201~208)를 제어하여 신호 채널(CH1~CH8)을 패드(P2, P4,...,PM)에 연결하고, 순서대로 신호 채널(CH1~CH8)을 통해 테스트 신호를 패드(P2, P4,..., PM)로 출력하여, 패드(P2, P4,...,PM)로부터 회신되는 응답 신호를 수신한다. 이와 같은 방식으로, 테스터는 한 그룹의 테스트 유닛의 패드 테스트를 완료한다. 테스터가 다이의 모든 패드가 회신하는 응답 신호를 수집하였을 때, 테스터는 응답 신호의 전기적 테스트 결과에 따라 다이[즉 DUT(12)]가 양품인지 또는 불량품인지 지시한다.
다시 말해, 테스터는 먼저 스위치의 스위칭 상태를 고정하고, 순차적으로 신호 채널을 통해 테스트 신호를 패드로 출력하고 상기 패드로부터 응답 신호를 수신하며; 이어서, 테스터는 스위치의 스위칭 상태를 변환한 후, 순차적으로 신호 채널을 통해 테스트 신호를 다른 패드로 출력하고 상기 다른 패드로부터 응답 신호를 수신한다. 테스터가 다이의 모든 패드가 회신하는 응답 신호를 수집하면, 테스터는 응답 신호의 전기적 테스트 결과에 따라, 다이[즉 DUT(12)]가 양품인지 또는 불량품인지 지시한다.
도 3은 본 발명의 실시예의 또 다른 테스트 장치(3)의 국부 도식도이다. 테스트 장치(3)는 테스터(도 3에 미도시) 및 테스트중 소자(12)를 테스트하기 위한 프로브 카드(30)를 포함한다. 프로브 카드(30)는 복수의 신호 채널(CH1, CH2)과 복수의 프로브 사이에 커플링되는 복수의 스위치(301, 302)를 포함하며, 각각의 스위치는 단일 신호 채널과 8개의 프로브의 연결을 스위칭하기 위한 것이다. 예를 들어, 스위치(301)는 신호 채널(CH1)과 8개의 프로브 및 대응되는 패드(P1~P8)의 연결을 스위칭하기 위한 것이고, 스위치(302)는 신호 채널(CH2)과 8개의 프로브 및 대응되는 패드(P9~PM)의 연결을 스위칭하기 위한 것이다. 이 경우, 마찬가지로 16개의 패드(P1~PM)를 한 그룹의 테스트 유닛으로 하여 테스트를 실시 시, 프로브 카드(20)는 8개의 스위치가 필요한 데 비해, 프로브 카드(30)는 2개의 스위치만 필요하며, 즉 동일한 테스트 시간 내에 한 그룹의 테스트 유닛의 테스트를 완료할 수 있다(테스터가 한 번에 단일한 패드에 대해서만 전기적 테스트를 실시하므로, 각 그룹의 테스트 유닛의 패드의 총 수량이 동일한 경우, 테스트 시간 역시 동일하다).
이와 같이, 테스트 시간이 동일한 경우, 프로브 카드(30)는 비교적 적은 수량의 스위치를 사용하기 때문에, 필요한 하드웨어 면적 역시 비교적 작으며, 그 중 프로브 카드(30)에 필요한 하드웨어 면적은 프로브 카드(20)에 필요한 면적의 약 4분의 1이므로, 프로브 카드(30)의 제조비용을 절약할 수 있다. 주의할만한 점은, 각 그룹의 테스트 유닛은 2개의 신호 채널(CH1, CH2)만 사용하기 때문에, 테스터는 나머지 신호 채널(CH3~CH8)을 통해, 다른 3그룹의 테스트 유닛에 대해 테스트를 실시할 수 있어, 테스터의 동시 테스트 수량, 즉 테스트 처리량(Throughput)을 증가시킬 수 있다.
도 3의 실시예에서, 패드 테스트를 실시할 때, 테스터는 먼저 신호 채널(CH1) 및 대응되는 스위치(301)를 가동한 후, 신호 채널(CH1)을 통해 순차적으로 테스트 신호를 패드(P1~P8)로 출력하여, 각각 패드(P1~P8)로부터 회신되는 응답 신호를 수신한다. 이어서, 테스터는 신호 채널(CH12)의 대응되는 스위치(302)를 가동한 후, 신호 채널(CH2)을 통해 순차적으로 테스트 신호를 패드(P2~PM)로 출력하여, 각각 패드(P2~PM)로부터 회신되는 응답 신호를 수신한다. 이와 같은 방식으로, 테스터는 한 그룹의 테스트 유닛의 패드 테스트를 완료하고, 다음 그룹의 테스트 유닛에 대해 패드 테스트를 실시한다. 다이의 모든 테스트 유닛이 모두 패드 테스트를 완료하면, 테스터는 응답 신호의 전기적 테스트 결과에 따라, 다이[즉 DUT(12)]가 양품인지 또는 불량품인지 지시한다.
도 4는 본 발명의 실시예의 또 다른 테스트 장치(4)의 국부 도식도이다. 테스트 장치(4)는 테스터(도 4에 미도시) 및 테스트중 소자(12)를 테스트하기 위한 프로브 카드(40)를 포함한다. 프로브 카드(40)의 스위치(401)는 단일한 신호 채널과 16개의 프로브의 연결을 스위칭하기 위한 것이며, 이 경우, 마찬가지로 16개의 패드(P1~PM)를 한 그룹의 테스트 유닛로 하여 테스트를 실시 시, 프로브 카드(40)는 하나의 스위치만 필요하며, 즉 동일한 테스트 시간 내에 한 그룹의 테스트 유닛의 테스트를 완료할 수 있다.
이와 같이, 테스트 시간이 동일한 경우, 프로브 카드(40)는 비교적 적은 수량의 스위치를 사용하기 때문에, 필요한 하드웨어 면적 역시 비교적 작으며, 그 중 프로브 카드(40)에 필요한 하드웨어 면적은 프로브 카드(30)에 필요한 면적의 약 2분의 1[또는 프로브 카드(20)에 필요한 면적의 8분의 1]이므로, 프로브 카드(40)의 제조비용을 절약할 수 있다. 주의할만한 점은, 각 그룹의 테스트 유닛은 하나의 신호 채널(CH1)만 사용하기 때문에, 테스터는 나머지 신호 채널(CH2~CH8)을 통해, 다른 7그룹의 테스트 유닛에 대해 테스트를 실시할 수 있어, 테스터의 동시 테스트 수량, 즉 테스트 처리량(Throughput)을 증가시킬 수 있다.
도 4의 실시예에서, 패드 테스트를 실시할 때, 테스터는 먼저 신호 채널(CH1) 및 대응되는 스위치(401)를 가동한 후, 신호 채널(CH1)을 통해 순차적으로 테스트 신호를 패드(P1~PM)로 출력하여, 각각 패드(P1~PM)로부터 회신되는 응답 신호를 수신한다. 이와 같은 방식으로, 테스터는 한 그룹의 테스트 유닛의 패드 테스트를 완료하고, 다음 그룹의 테스트 유닛에 대해 패드 테스트를 실시한다. 다이의 모든 테스트 유닛이 모두 패드 테스트를 완료하면, 테스터는 응답 신호의 전기적 테스트 결과에 따라, 다이(즉 DUT(12)]가 양품인지 또는 불량품인지 지시한다.
상기 실시예를 통해 알 수 있듯이, 단일한 다이의 모든 P개의 패드가 복수 그룹의 테스트 유닛으로 분할되고, 그 중 각 그룹의 테스트 유닛마다 M개의 패드를 포함하며, 또한 각각의 스위치가 단일한 신호 채널과 N개의 프로브의 연결을 스위칭할 수 있다면, 프로브 카드는 (M/N)개의 스위치로 각각의 테스트 유닛을 테스트하며, 이때 테스터는 (P/N)개의 신호 채널만으로 단일한 다이의 모든 패드를 테스트할 수 있다.
예를 들어, 테스터에 16개의 신호 채널이 포함되고, 프로브 카드에 스위치가 설치되지 않는다고 가정할 경우, 16개의 신호 채널은 각각 16개의 패드에 대응된다. 본 발명에서는 프로브 카드에 스위치가 설치되는 상황에서, 도 3을 예로 들면, 단일한 다이의 128개의 패드(P=128)를 8그룹의 테스트 유닛으로 분할할 경우, 각 그룹의 테스트 유닛마다 16개의 패드(M=16)를 포함하고, 또한 각 그룹의 테스트 유닛마다 2개의 1대 8의 스위치(N=8) 및 2개의 신호 채널이 필요하다. 즉 테스터는 16개의 신호 채널(즉 P/N=128/8=16; 또는 2채널*8그룹의 테스트 유닛=16채널)을 통해 단일한 다이의 모든 패드를 테스트할 수 있다.
도 4를 예로 들면, 테스터에 16개의 신호 채널이 포함된다고 가정하여, 단일한 다이의 128개의 패드를 8그룹의 테스트 유닛으로 분할할 경우, 각 그룹의 테스트 유닛마다 16개의 패드(M=16)를 포함하고, 또한 각 그룹의 테스트 유닛마다 하나의 1대 16의 스위치(N=16) 및 하나의 신호 채널이 필요하다. 즉 테스터는 8개의 신호 채널(즉 P/N=128/16=8; 또는 1채널*8그룹의 테스트 유닛=8채널)만으로 단일한 다이의 모든 패드를 테스트할 수 있다. 따라서, 테스터는 나머지 8개의 신호 채널을 통해 또 다른 다이를 동시에 테스트할 수 있다.
주의할 점은, 테스트 장치(2, 3 및 4)는 각각 상이한 모델의 테스터 및 대응되는 테스트 플로우를 포함하며, 따라서 상이한 집적회로 다이 설계에 정합되기 위한 대응되는 패드 테스트의 순서는 상이하다. 예를 들어 M개의 패드를 포함하는 한 그룹의 테스트 유닛의 경우, 테스트 장치(2)의 테스트 순서는 패드 P1, P3,..., P(M-1) 및 P2, P4, ..., PM이고; 테스트 장치(3)의 테스트 순서는 패드 P1~P8 및 P9~PM이며; 테스트 장치(4)의 테스트 순서는 패드 P1~PM이다. 따라서, 모종의 모델의 테스트 장치가 다른 모델의 테스트 장치의 테스트 순서를 구현할 수 있도록 할 경우, 테스트 장치(2)의 테스트 순서를 테스트 장치(4)에 구현할 수 있다고 가정하면, 조작자는 테스트 장치(4)의 프로브 카드(40)를 테스트 장치(2)에 장착하고, 테스트 장치(4)의 테스트 플로우를 수정하거나 또는 업데이트하면(예를 들어 자동 제어 소프트웨어 프로그램 업데이트) 테스트 장치(4)를 사용하여 테스트 장치(2)의 테스트 순서를 구현할 수 있게 된다.
프로브 카드가 테스터와 테스트중인 소자 사이의 연결 인터페이스이고(이는 탈착 가능한 소자이다), 또한 프로브 카드의 제조비가 테스터의 제조비보다 상대적으로 낮기 때문에, 테스트 업체에게 있어서, 프로브 카드를 교체하는데 소요되는 비용은 테스트 장비를 새로 구입하는데 소요되는 비용보다 저렴할 것이다. 간단히 말하면, 본 발명은 프로브 카드의 교체 및 테스트 플로우의 업데이트를 통해, 상이한 모델의 테스트 장치 간에 호환성을 갖추도록 할 수 있기 때문에, 테스트 업체는 이미 구입한 테스트 장치를 사용하여 상이한 집적회로 다이의 설계에 정합하도록 다른 모델의 테스트 장치의 테스트 순서를 구현할 수 있다. 이와 같은 방식으로 테스트 업체는 테스트 비용을 효과적으로 절감할 수 있다.
본 발명은 프로브 카드에 복수의 스위치를 설치하여, 복수의 스위치를 통해 각각 테스터의 신호 채널과 다이의 복수의 패드의 연결(또는 신호 채널과 복수의 프로브의 연결)을 스위칭함으로써, 테스트 시간이 동일한 상황에서, 프로브 카드에 필요한 하드웨어 면적을 감소시켜 프로브 카드의 제조비용을 절약할 수 있다. 주의할만한 점은, 본 발명은 단일한 신호 채널을 통해 복수의 패드를 테스트하기 때문에, 테스터는 나머지 신호 채널을 통해 기타 테스트 유닛 또는 다이에 대해 동시에 테스트를 실시할 수 있어, 테스터의 동시 테스트 수량을 높이고 테스트 처리량을 증가시킬 수 있다.
상기 구성에 부합되는 프로브 카드라면 모두 본 발명의 범주에 속하며, 상기 실시예에 국한되지 않는다. 예를 들어, 스위치는 1대2, 1대4, 1대8, 1대16의 스위칭 스위치이거나 또는 기타 실행 가능한 단극다투 스위치 또는 1대다 고체 릴레이(Solid-State Relay, SSR)일 수 있으며, 즉 N은 2보다 큰 임의의 양의 정수일 수 있다. 또한, 본 분야에서 통상적인 지식을 갖춘 자라면 프로브 카드의 하드웨어 구조, 회로설계, 형상, 크기에 대해, 상기 구조에 따라 제한 없이 수식 및 변화를 실시할 수 있다.
예를 들어, 도 5는 본 발명의 실시예 1의 프로브 카드(50)의 단면 구조 범례도이다. 프로브 카드(50)는 기판(51), 복수의 스위치(52), 복수의 프로브 및 복수의 유지 프레임을 포함한다. 스위치(52)는 기판(51)의 일면(예를 들어 하면)에 설치되며, 복수의 프로브 및 테스터(도 5에 미도시) 사이에 커플링되어, 테스터의 단일한 신호 채널과 N개의 프로브 사이의 연결을 스위칭한다. 유지 프레임은 패드 테스트에 유리하도록 프로브를 고정시키기 위해 기판(51)의 동일한 표면(예를 들어 하면)에 설치된다. 다시 말해, 스위치(52)와 프로브는 기판(51)의 동일한 표면에 설치된다.
도 6은 본 발명의 실시예의 또 다른 프로브 카드(60)의 단면 구조 범례도이다. 프로브 카드(60)는 기판(61), 복수의 스위치(62), 복수의 프로브 및 복수의 유지 프레임을 포함한다. 스위치(62)는 기판(61)의 일면(예를 들어 상면)에 설치되며, 복수의 프로브 및 테스터(도 6에 미도시) 사이에 커플링되어, 테스터의 단일한 신호 채널과 N개의 프로브 사이의 연결을 스위칭한다. 유지 프레임은 패드 테스트에 유리하도록 프로브를 고정시키기 위해 기판(61)의 타 표면(예를 들어 하면)에 설치된다. 다시 말해, 스위치(62)와 프로브는 기판(61)의 상이한 표면에 설치된다. 기판(61)에 상이한 표면에 설치되는 스위치(62)와 프로브를 연결하기 위한 복수의 비아홀(63)(via)이 형성되어, 테스트 신호 및 응답 신호의 전달과 수신에 유리하도록 스위치(62)가 비아홀(63)을 통해 프로브에 연결될 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예의 또 다른 프로브 카드(70)의 단면 구조 범례도이다. 프로브 카드(70)는 기판(71), 복수의 스위치(72), 복수의 프로브 및 복수의 유지 프레임을 포함한다. 스위치(72)는 기판(71)의 일면(예를 들어 상면)에 설치되며, 복수의 프로브 및 테스터(도 7에 미도시) 사이에 커플링되어, 테스터의 단일한 신호 채널과 N개의 프로브 사이의 연결을 스위칭한다. 유지 프레임은 패드 테스트에 유리하도록 프로브를 고정시키기 위해 기판(71)의 타 표면(예를 들어 하면)에 설치된다. 다시 말해, 스위치(72)와 프로브는 기판(71)의 상이한 표면에 설치된다. 기판(71)에 비아홀(73), (74) 및 인쇄회로(75)가 형성되며, 프로브는 비아홀(73)을 통해 인쇄회로(75)에 연결된 다음, 비아홀(74)을 통해 스위치(72)에 연결됨으로써 스위치(72)와 프로브 간의 신호 전달 경로를 구성할 수 있다. 일 실시예에서, 인쇄회로(75)의 길이는 프로브 카드(70)의 크기 표준에 부합되도록 실질적으로 10~15cm일 수 있다.
주의할만한 점은, 도 2 내지 도 4를 통해 알 수 있듯이, 각 그룹의 테스트 유닛의 패드 수량이 고정된 경우, 즉 프로브 카드(20)에 필요한 하드웨어 면적(예를 들어 8개의 스위치)은 프로브 카드(30)에 필요한 하드웨어 면적(예를 들어 2개의 스위치)의 약 4배이거나, 또는 프로브 카드(40)에 필요한 하드웨어 면적(예를 들어 하나의 스위치)의 약 8배이다. 따라서, 테스터의 형상 크기가 고정된 경우, 프로브 카드(30, 40)의 기판에는 가용면적이 비교적 많게 되며, 이 경우 설계자는 실제 필요에 따라 스위치의 기판상의 위치 및 인쇄회로의 길이를 조정하여 설계의 탄력성을 증가시킬 수 있다.
결론적으로, 본 발명에서 공개하는 테스트 회로(이는 프로브 카드일 수 있다)는 복수의 스위치가 설치되어, 복수의 스위치를 통해 테스터의 신호 채널과 다이의 복수의 패드 연결(또는 단일 신호 채널과 복수의 프로브의 연결)을 각각 스위칭하며, 이와 같이 하면 테스트 시간이 동일한 상황에서, 테스트 회로에 필요한 하드웨어 면적을 감소시켜 제조원가를 절약할 수 있다. 본 발명은 단일한 신호 채널을 통해 복수의 패드를 테스트하기 때문에, 테스터는 나머지 신호 채널을 통해 기타 테스트 유닛 또는 다이에 대해 테스트를 동시에 실시할 수 있어 테스터의 동시 테스트 수량을 높이고 테스트 처리량을 증가시킬 수 있다. 본 발명의 테스트 회로는 상이한 모델의 테스트 장치에 장착할 수 있으며, 테스트 회로의 교체 및 대응하는 테스트 플로우의 업데이트를 통해 상이한 모델의 테스트 장치 간에 호환성을 갖추도록 할 수 있기 때문에, 테스트 업체는 이미 구입한 테스트 장치를 사용하여 상이한 집적회로 다이 설계에 정합하도록 다른 모델의 테스트 장치의 테스트 순서를 구현할 수 있다. 이와 같은 방식으로 테스트 업체는 테스트 비용을 효과적으로 감소시킬 수 있다.
이상은 단지 본 발명의 바람직한 실시예일 뿐이며, 본 발명의 특허출원 범위에 따라 실시되는 균등한 변화와 수식은 모두 본 발명이 커버하는 범위에 속함이 마땅하다.
1, 2, 3, 4: 테스트 장치
10, 20, 30, 40, 50, 60, 70: 프로브 카드
201~208, 301, 302, 401, 52, 62, 72: 스위치
CH1~CH8: 신호 채널
P1~PM: 패드
11: 테스터
12: 테스트중 소자(DUT)
51, 61, 71: 기판
63, 73, 74: 비아홀
75: 인쇄회로

Claims (10)

  1. 다이의 패드 테스트를 실시하기 위한 테스트 회로에 있어서,
    상기 다이는 적어도 한 그룹의 테스트 유닛을 포함하고, 각 그룹의 테스트 유닛은 복수의 패드를 포함하며, 또한 상기 테스트 회로는,
    각각 상기 복수의 패드에 대응되는 복수의 프로브;
    적어도 하나의 신호 채널; 및
    상기 적어도 하나의 신호 채널과 상기 복수의 프로브 사이에 커플링되어, 상기 적어도 하나의 신호 채널과 상기 복수의 프로브의 연결을 스위칭하기 위한 적어도 하나의 스위치
    를 포함하는 테스트 회로.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 스위치 및 상기 복수의 프로브를 설치하기 위한 기판을 더 포함하는 테스트 회로.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 스위치 및 상기 복수의 프로브는 상기 기판의 동일한 면에 설치되는, 테스트 회로.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 스위치 및 상기 복수의 프로브는 상기 기판의 상이한 면에 설치되는, 테스트 회로.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판 중 상기 적어도 하나의 스위치 및 상기 복수의 프로브를 연결하기 위한 복수의 비아홀이 형성되는, 테스트 회로.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 기판에,
    복수의 제1 비아홀;
    복수의 제2 비아홀; 및
    상기 복수의 제1 비아홀과 상기 복수의 제2 비아홀 사이에 커플링되는 복수의 인쇄회로를 포함하며, 그 중 상기 복수의 프로브는 상기 복수의 제1 비아홀을 통해 상기 복수의 인쇄회로에 연결되고, 상기 복수의 인쇄회로는 상기 복수의 제2 비아홀을 통해 상기 적어도 하나의 스위치에 연결되며;
    그 중 상기 복수의 인쇄회로의 길이는 실질적으로 10cm 내지 15cm인, 테스트 회로.
  7. 제1항에 있어서,
    테스트 장치에 사용되며, 상기 테스트 장치는,
    상기 적어도 하나의 신호 채널을 통해 테스트 신호를 상기 테스트 회로로 출력하고 상기 테스트 회로로부터 응답 신호를 수신하기 위하여 상기 테스트 회로에 커플링되는 테스터; 및
    상기 다이를 포함하며, 상기 테스트 회로를 통해 상기 적어도 하나의 신호 채널과 상기 다이의 복수의 패드 중의 하나에 연결되는 테스트중 소자(DUT)를 포함하는, 테스트 회로.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 패드 테스트를 실시할 때, 상기 테스터는 상기 적어도 하나의 신호 채널 중의 하나 및 상기 적어도 하나의 스위치를 가동한 후, 상기 적어도 하나의 신호 채널 중의 하나를 통해 순차적으로 상기 테스트 신호를 상기 복수의 패드로 출력하여, 각각 상기 복수의 패드로부터 회신되는 상기 응답 신호를 수신하는, 테스트 회로.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 테스트 유닛은 M개의 패드를 포함하고, 상기 적어도 하나의 스위치 중의 하나는 상기 적어도 하나의 신호 채널 중의 하나와 N개의 프로브의 연결을 스위칭하며, 또한 상기 테스트 회로가 (M/N)개의 스위치를 통해 상기 테스트 유닛을 테스트하는, 테스트 회로.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 스위치는 1 대 2, 1 대 4, 1 대 8, 또는 1 대 16 스위칭 스위치인, 테스트 회로.
KR1020160104767A 2016-01-20 2016-08-18 스위치를 사용하여 단일한 신호 채널과 복수의 패드 연결을 스위칭하는 테스트 회로 KR101912325B1 (ko)

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