KR20170067659A - 워크 가공 장치 및 이것에 사용하는 약액 수납 백 - Google Patents

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마사유키 츠카다
카즈타카 시부야
타카유키 후세
요시오 나카무라
시로 하라
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후지코시 기카이 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 약액의 건조, 응집, 침전 등을 방지할 수 있고, 소형화도 달성할 수 있는 워크 가공 장치를 제공한다.
처리부(6)에 약액을 공급하는 약액 공급부(7)와, 워크의 가공 또는 처리를 행하는 상기 처리부(6)를 갖는 워크 가공 장치(5)에서, 약액 공급부(7)는, 약액이 충전되는 복수의 약액 수납 백(50)과, 복수의 약액 수납 백(50)이 장착, 유지되는 백 유지부(52)와, 복수의 약액 수납 백(50)이 착탈 자유롭게 접속되고, 약액 수납 백(50)으로부터 처리부(6)에 약액을 송입하는 송액부를 가지며, 약액 수납 백(50)은, 플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 주연부가 용착된 주머니형상을 이룸과 함께, 외부에 연통하는 포트부(53)를 가지며, 포트부(53)에 밸브 부착 조인트(54)가 장착된 약액 수납 백(50)인 것을 특징으로 한다.

Description

워크 가공 장치 및 이것에 사용하는 약액 수납 백{WORKPIECE PROCESSING APPARATUS AND CHEMICAL SOLUTION STORAGE BAG USED THEREIN}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 워크의 워크 가공 장치 및 이것에 사용하는 약액(藥液) 수납(收納) 백에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼의 연마 장치에는, 상면에 연마포를 부착한 정반(定盤)의 연마포에, 연마액 공급 장치로부터 연마액을 공급하면서, 연마 헤드의 웨이퍼 유지 플레이트(캐리어)에 유지된 웨이퍼의 연마면을 접촉시키고, 정반 및 연마 헤드를 상대적으로 이동시켜서 웨이퍼의 연마면을 연마하도록 하는 웨이퍼 연마 장치(워크 가공 장치의 한 예)가 있다.
특허 문헌 1에는, 이와 같은 웨이퍼 연마 장치에서의 연마액(슬러리) 공급 장치가 나타나 있다.
반도체 웨이퍼의 연마 프로세스에서는, 연마에 사용하는 연마액(슬러리)이 연마 장치의 슬러리나 순수(純水) 등의 액체의 유로(流路), 및, 웨이퍼 가공 프로세스 부, 그리고, 가공 중의 웨이퍼 표면에서, 그들 액체가 건조하는 것은, 연마 성능을 열화시키고, 또한 웨이퍼 표면의 평탄도를 악화시키고, 또한, 장치 내의 유로나 액체 탱크 내에서 고화물이 꽉 차서 흐름을 나쁘게 한다는 큰 문제가 생긴다. 이것을 회피하는 방법으로서, 슬러리 탱크 내를 건조시키지 않도록, 슬러리의 사용으로 액면(液面)이 내려가 슬러리가 고화되지 않도록, 적절히 슬러리의 보충을 자동으로 행하는 방법이 있다.
예를 들면, 특허 문헌 1에 나타나는 슬러리 공급 장치는, 슬러리 탱크 내의 슬러리 잔량(殘量)을 관리하기 위해 액면 센서 또는 로드 셀을 구비하고, 자동적으로 슬러리의 보충, 보충 정지를 하도록 되어 있다. 이 슬러리의 자동 보충 시퀀스에 아울러서, 타이머에 의해 탱크 내벽의 슬러리가 건조하기 전에 슬러리를 보충하고, 또한 탱크 내를 습윤시키기 위해, 임의로 설정한 기간에 스프레이 노즐로 안개를 분사하든지, 가습기에 의해 탱크 내를 가습하도록 되어 있다.
일본 특개2005-52952
특허 문헌 1에 나타나는 슬러리 공급 장치에 의하면, 슬러리가 탱크 내에서 건조, 응집, 침전 등 하는 것을 막고, 균일한 입자경, 균일한 고형분 농도가 확보될 수 있고 균일한 연마가 가능해지는 이점이 있다. 그렇지만, 특허 문헌 1에 나타나는 슬러리 공급 장치에서는, 액면 센서를 포함하는 슬러리 자동 보충 시퀀스나, 가습기나 스프레이 장치 등이 필요해지고, 제어 프로그램의 복잡화에 더하여, 어마어마한 장치가 되어 버린다는 과제가 있다.
그런데 출원인은, 미니멀 패브리케이션 구상(構想)에 의한, 직경이 거의 1/2인치 사이즈의 소구경의 반도체 웨이퍼를, 1대의 연마 장치에 의해, 1차 연마(초벌 연마), 2차 연마(마무리 연마)에 더하여, 연마 헤드의 세정이나, 반도체 웨이퍼의 세정 등을 행하는 다기능의 연마 장치를 개발하고 있다(일본 특개2014-132642). 이와 같은 연마 장치에서는, 약액으로서, 1차 연마액, 2차 연마액, 세정수, 린스액(반도체 웨이퍼의 표면에 연마액이 부착한 상태에서 건조하는 것을 막는 보호액) 등, 복수의 약액 공급 장치가 필요해지는데, 1대의 연마 장치의 주변에, 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같은 대형의 슬러리(약액) 공급 장치를 약액마다 각각에 배치하는 것은 공간적으로 곤란하게 된다.
본 발명은, 상기 과제를 해하기 위해 이루어지고, 그 목적으로 하는 바는, 약액의 건조, 응집, 침전 등을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 약액을 공급하는 것에 있어서, 소형화를 달성할 수 있는 워크 가공 장치 및 이것에 사용하는 약액 수납 백으로서, 공기의 혼입을 극력 방지할 수 있는 약액 수납 백을 제공하는 것에 있다.
약액 수납 백이라는 것은, 예를 들면, 점적주사(点滴) 등의 의료 현장에서 통상 사용되고 있다. 경질 수지를 사용하지 않는 이유는, 경질 수지라면, 약액이 감소하는 만큼을 공기를 넣지 않으면, 부압(負壓)이 되어, 약액이 송출되지 않게 되기 때문이다. 연질 수지제의 약액 수납 백이라면, 내부 용량이 감소하여도 그만큼 백이 오므라들어 공기가 들어가는 일이 없다. 그러나, 점적주사 등에서는 환자에게의 점적주사 위치보다도, 훨씬 높은 위치에 약액 수납 백을 매달아, 중력에 의해 압출하여야 한다는 제약이 있다. 산업용도에서는 이 제약이 문제가 된다. 사용 높이보다도, 약액 수납 백을 높게 배치하여야 하는데다가, 약액이 감소하여 오면, 약액의 중량이 감소하고, 약액을 압출하는 힘도 줄어서, 약액의 유량이 감소하여 버리는 문제가 발생한다. 이 때문에, 산업용도에서는, 펌프를 사용하는 방법이 좋은 것으로 된다. 그러나, 펌프를 사용하여도, 약액 수납 백에 공기가 들어가고 있거나, 공기가 혼입되는 것은 피하여야 한다. 이와 같은 문제는, 지금까지 어떻게 해결하면 좋은지 관해, 실용적이 되는 방법이 발견되어 있지 않았다. 본 발명에서는, 약액 수납 백 내로의 공기의 혼입을 제어하는 구조를 제공한다.
상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음의 구성을 구비한다.
즉, 본 발명에 관한 워크 가공 장치는, 약액 공급부로부터 처리부에 약액이 공급되고, 그 처리부에서 워크의 가공 또는 처리가 행하여지는 워크 가공 장치에 있어서, 상기 약액 공급부는, 약액이 충전되는 복수의 약액 수납 백과, 그 복수의 약액 수납 백이 장착, 유지되는 백 유지부와, 상기 복수의 약액 수납 백이 착탈 자유롭게 접속되고, 그 약액 수납 백으로부터 상기 처리부에 약액을 송입하는 송액부를 가지며, 상기 약액 수납 백은, 2장의 플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 주연부가 용착된 주머니형상(袋狀)을 이룸과 함께, 외부에 연통하는 포트부를 가지며, 그 포트부에 밸브 부착 조인트가 장착된 약액 수납 백인 것을 특징으로 한다.
상기 약액 수납 백에 약액을 충전할 때에, 백 내로의 공기의 혼입을 막기 위한 충전 장치를, 상기 워크 가공 장치에 마련할 수 있다. 이 충전 장치는, 워크 가공 장치의 내부에 마련할 수도 있고, 워크 가공 장치의 외부에 독립하여 마련할 수도 있다. 또한, 약액 수납 백에의 약액 충전 장치는, 상기 워크 가공 장치와는 별도의, 단독별 발명으로서도 성립한다.
상기 충전 장치는, 예를 들면, 원액의 약액을 수납한 원액 수납부와, 순수를 수납한 순수 수납부와, 상기 약액 수납 백이 재치되는 재치부와, 배출 탱크와, 상기 원액 수납부로부터 제1의 역지(逆止)밸브, 제1의 3방(方)밸브, 제2의 3방밸브를 이 순서로 경유하여 상기 약액 수납 백에 통하고, 상기 원액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 약액을 송출할 수 있는 제1의 관로(管路)와, 상기 순수 수납부로부터, 제2의 역지밸브, 상기 제1의 3방밸브, 상기 제2의 3방밸브를 이 순서로 경유하여 상기 약액 수납 백에 통하고, 상기 순수 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 순수를 송출할 수 있는 제2의 관로와, 상기 약액 수납 백으로부터, 상기 제2의 3방밸브, 제3의 역지밸브를 이 순서로 경유하여 상기 배출 탱크에 통하고, 상기 약액 수납 백으로부터 상기 배출 탱크에 공기를 배출할 수 있는 제3의 관로와, 상기 제1의 역지밸브와 상기 원액 수납부와의 사이의 상기 제1의 관로에 개장(介裝)되고, 그 제1의 관로를 통하여, 상기 원액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 약액을 송출하는 제1의 송출 펌프와, 상기 제2의 역지밸브와 상기 순수 수납부와의 사이의 상기 제2의 관로에 개장되고, 그 제2의 관로를 통하여, 상기 순수 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 순수를 송출하는 제2의 송출 펌프와, 상기 제3의 역지밸브와 상기 배출 탱크와의 사이의 상기 제3의 관로에 개장되고, 그 제3의 관로를 통하여, 상기 약액 수납 백으로부터 상기 배출 탱크에 공기를 배출하는 제3의 송출 펌프로 구성할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 약액 수납 백은, 워크 가공 장치의 처리부에 약액을 공급하기 위한 약액을 수납하는 약액 수납 백으로서, 2장의 플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 주연부가 용착된 주머니형상을 이루고, 외부에 연통하는 포트부를 가지며, 그 포트부에, 밸브 부착 조인트가 장착됨과 함께, 상기 워크 가공 장치에서의 백 유지부에 상기 밸브 부착 조인트측을 위로 하여 매다는 상태로 유지하기 위한 계지부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 약액의 건조, 응집, 침전 등을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 약액을 공급하는 것에 있어서, 소형화를 달성할 수 있는 워크 가공 장치 및 이것에 사용하는 약액 수납 백으로서, 공기의 혼입을 극력 방지할 수 있는 약액 수납 백을 제공할 수 있다.
도 1은 연마 장치의 측면도.
도 2는 백 유지부를 인출한 상태를 도시하는 연마 장치의 측면도.
도 3은 연마부의 설명도.
도 4는 주고받음 암의 작동 상태를 도시하는 설명도.
도 5는 주고받음 암의 회동 위치를 도시하는 설명도.
도 6은 스토퍼의 회동 위치를 도시하는 설명도.
도 7은 암 장치의 회동 위치를 도시하는 설명도.
도 8은 정반의 설명 평면도.
도 9는 약액 공급부의 확대 측면도.
도 10은 약액 공급부의 평면도.
도 11은 약액 공급부의 정면도.
도 12는 약액 수납 백의 단면도.
도 13은 약액 공급구의 설명 단면도.
도 14는 충전 장치의 회로도.
도 15는 충전 장치의 다른 실시의 형태를 도시하는 회로도.
이하, 본 발명의 알맞은 실시의 형태에 관해, 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
이하, 워크 가공 장치의 한 예로서 연마 장치(5)에 관해 설명한다. 도 1은 그 연마 장치(5)의 측면도(측면 커버를 벋긴 상태), 도 2는 백 유지부를 장치 전방측으로 인출한 상태를 도시하는 연마 장치(5)의 측면도(측면 커버를 벋긴 상태)이다. 도 3은 연마부의 설명도, 도 4는 주고받음 암의 작동 상태를 도시하는 설명도, 도 5는 주고받음 암의 회동 위치를 도시하는 설명도, 도 6은 스토퍼의 회동 위치를 도시하는 설명도, 도 7은 암 장치의 회동 위치를 도시하는 설명도이다. 도 8은 정반의 설명 평면도이다.
도 1에 도시하는 연마 장치(5)는, 본 출원인의 출원에 관한 미니멀 패브리케이션 구상에서의 연마 장치(5)의 한 예이고(일본 특개2014-132642), 상기한 바와 같이 거의 1/2인치 사이즈의 소구경의 반도체 웨이퍼의 연마에 이용하는 것이다(상세는 일본 특개2014-132642의 공보를 참조).
도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 연마 장치(5)는, 중간부가 연마부(처리부(6))로 형성되어 있고, 하부가 약액 공급부(7)로 형성되어 있다. 또한, 상부에 각 부분의 제어부(8)가 마련되어 있다.
이하, 우선 연마부(6)에 관해 설명한다.
도 3에서, 12는 처리실이고, 연마 장치(5)의 각 구성 장치가 배치되어 있다. 미니멀 패브리케이션 구상에서는, 처리실(12)의 크기는 규격화되고, 30㎝ 사방 정도의 크기가 된다. 따라서 연마 장치(5)의 각 구성 장치는, 이 크기의 처리실(12) 내에 배치할 수 있는 만큼의, 소형화가 이루어져 있다.
도 3에서, 14는 반송 암이고, 예를 들면 양다리 형상으로 형성한 재치부(15)를 가지며, 그 재치부(15)상에 연마하여야 할 웨이퍼(16)가 연마면을 위로 한 상태로 다리를 건너는 형상으로 재치되고, 웨이퍼(16)를 처리실(12)의 외부에서 처리실(12) 내의 거의 중앙부에까지 반입한다. 또한, 반송 암(14)은, 연마, 세정, 건조된 후의 웨이퍼(16)를 처리실(12) 외부까지 반출하는 것도 행한다. 반송 암(14)을 이동하는 기구(도시 생략)는, 래크와 피니언을 이용한 기구, 실린더 기구 등이 알맞지만, 특히 한정되지 않는다.
반송 암(14)의 하방 위치가 되는 처리실(12) 내에는, 수평면 내에서 회전 가능한 정반(18)이 배치되어 있다. 정반(18)은, 도 8에 도시하는 바와 같이, 동심형상으로 복수 마련되고, 각각 연마포(40a, 41a)가 붙여진, 웨이퍼를 연마할 수 있을 만큼의 소요 폭을 갖는, 1차 연마 정반(40) 및 2차 연마 정반(41)과, 1차 연마 정반(40) 및 2차 연마 정반(41) 사이에 마련된, 연마액을 배출하기 위한 홈(42)과, 최내측의 상기 2차 연마 정반(41)의 내측이 되는, 정반(18)의 중심부에 마련되고, 연마 헤드를 세정한 세정부(44)를 구비한다. 2차 연마 정반(41)과 세정부(44)와의 사이에도 연마액을 배출하는 홈(45)이 마련되어 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 정반(18)의 측방에 위치하여, 웨이퍼(16)의 주고받음 암(20)이 배치되어 있다.
주고받음 암(20)은 축(21)을 중심으로, 도 5에서의 Pos01∼Pos03의 사이에 걸쳐서 수평면 내에서 회동한다(Pos01은 대기 위치). 주고받음 암(20)의 선단부에는 반전(反轉) 암(22)이 상하 반전 가능하게 마련되어 있다. 반전 암(22)의 선단부에는 웨이퍼 흡착부(23)가 마련되어 있다. 웨이퍼 흡착부(23)는, 웨이퍼(16)를 흡착 유지하여, 재치부(15)로부터 웨이퍼(16)를 수취하거나, 재치부(15)에 웨이퍼(16)를 건네는 가능하게 되어 있다. 이 주고받음 암(20)의 각 부분의 구동은 적절히 모터(도시 생략) 등에 의해 행할 수 있다(도 4, 도 5).
정반(18)의 측방에는, 웨이퍼(16)가 재치되는 재치 포트의 역할을 함과 함께, 웨이퍼(16)의 세정 및 건조를 행하는, 세정·건조 장치(25)가 배치되어 있다. 주고받음 암(20)은, 웨이퍼(16)를 흡착 유지하여, 반송 암(14)의 재치부(15)로부터 웨이퍼(16)를 수취하여(Pos02), 상하 반전하여 세정·건조 장치(25)의 재치 포트에 반입하거나(Pos03), 세정·건조 후의 웨이퍼(16)를 세정·건조 장치(25)(Pos03)의 재치 포트로부터 반송 암(14)의 재치부(15)상에 건넨다(Pos02).
26은 스토퍼(누름(押え) 암)이고, 정반(18)의 측방에 배치되고, 도 6에 도시하는 바와 같이, 축(27)을 중심으로 하여 Pos01∼Pos02의 사이에 걸쳐서 회동 자유롭게 마련되어 있다. 스토퍼(26)는, 웨이퍼의 세정시, 세정·건조 장치(25)에 반입된 웨이퍼(16)의 상방 위치(Pos02)에 회동되어, 웨이퍼(16)가 세정수의 수압에 의해 튕겨지지 않도록 한다.
또한 정반(18)의 측방에는, 연마 헤드(30)를 구동하는 암 장치(31)가 배치되어 있다. 연마 헤드(30)는 암 장치(31)에 유지되어 있다. 암 장치(31)는 축(32)을 중심으로 도 7의 Pos01∼Pos06의 사이에 걸쳐서 회동 자유롭게 마련되어 있다.
Pos01에서의 연마 헤드(30)의 하방에는, 드레싱재인 링형상 지석(砥石)(도시 생략)이 재치되는 재치부(34)가 마련되어 있다. 또한, 재치부(34)에 인접하여, 드레싱재인 브러시(도시 생략)가 재치되는 재치부(35)가 마련되어 있다.
연마 헤드(30)는, 웨이퍼 및 드레싱재가 착탈 자유롭게 되어 있어, 암 장치(31)가 회동함에 의해, 재치부(34)의 위치(Pos01), 재치부(35)의 위치(Pos02), 세정·건조 장치(25)의 위치(Pos03), 정반(18)의 1차 연마 정반(Pos04)의 위치, 2차 연마 정반(Pos05)의 위치, 세정부(Pos06)의 위치의 사이에 걸쳐서 이동 가능하고, 1차 연마, 2차 연마, 드레싱 등의 공정을 연속으로 행할 수 있도록 다기능화가 도모되어 있다(도 7).
이와 같이, 축(32)을 중심으로 회동하는 암 장치(31)에 연마 헤드(30)를 탑재하고, 또한, 재치부(34)의 위치(Pos01), 재치부(35)의 위치(Pos02), 세정·건조 장치(25)의 위치(Pos03), 정반(18)의 1차 연마 정반(Pos04)의 위치, 2차 연마 정반(Pos05)의 위치, 및 세정부(Pos06)의 위치를 동일 원호상(圓弧上)에 위치하도록 배치함에 의해, 웨이퍼 연마 장치(5)의 공간적 구성을 컴팩트하게 할 수 있다.
웨이퍼(16)의 연마, 세정은 다음과 같이 이루어진다.
또한, 일련의 공정은, 제어부(8)에 의해, 소정의 프로그램에 따라고 행하여진다.
우선, 반송 암(14)의 재치부(15)에 웨이퍼(16)를 연마면을 위로 하여 재치한다.
뒤이어, 반송 암(14)에 의해 웨이퍼(16)를 처리실(12)의 외부로부터 처리실(12) 내로 반입한다.
뒤이어, 주고받음 암(20)에 의해, 반송 암(14)으로부터 웨이퍼(16)를 수취하여 반전하고, 세정·건조 장치(25)의 재치 포트상에 연마면을 아래로 향하여 재치한다.
뒤이어, 암 장치(31)를 회동하고, 연마 헤드(30)를 하강하여, 연마 헤드(30)에 의해 웨이퍼(16)를 흡인 유지한다.
뒤이어, 연마 헤드(30)를 상승, 암 장치(31)를 회동, 연마 헤드(30)를 하강하고, 웨이퍼(16)를 소요 압력으로 1차 연마 정반(40)의 연마포(40a)상에 가압한다. 뒤이어 도시하지 않은 노즐로부터 연마액을 1차 연마 정반(40)상에 공급하면서, 정반(18) 및 연마 헤드(30)를 소요 방향으로 회전시킴에 의해, 웨이퍼(16)를 소요 시간 1차 연마(초벌 연마)한다. 1차 연마액은, 정반(18)이 회전함에 의해 그 원심력으로, 1차 연마 정반(40)상으로부터 주로 그 외방으로 유출되고, 외부에 배출된다. 그 후, 1차 연마액에 대신하여 세정액(순수), 린스액(웨이퍼의 건조를 막는 계면활성제함유 보호액)의 순으로 공급하여, 웨이퍼(16)의 간이 세정을 행한다. 공급된 세정액 및 린스액은, 1차 연마액과 마찬가지로 원심력에 의해 외부에 배출된다.
1차 연마 종료 후, 연마 헤드(30)를 상승, 암 장치(31)를 회동, 연마 헤드(30)를 하강하여, 웨이퍼(16)를 1차 연마 정반(40)의 내측의 2차 연마 정반(41)의 연마포(41a)에 당접시킨다. 뒤이어, 1차 연마와 마찬가지로 하여, 2차 연마액을 2차 연마 정반(41)의 연마포(41a)에 공급하면서, 2차 연마 정반(41) 및 연마 헤드(30)를 소요 회전 방향으로 회전하여 소요 시간 웨이퍼(16)의 2차 연마(마무리 연마)를 행한다. 2차 연마액은 정반(18)이 회전하는 원심력에 의해, 2차 연마 정반(41)의 연마포(41a)상으로부터 홈(42) 내로 흘러내리고, 정반(18) 밖으로 유출되어, 외부에 배출된다. 1차 연마액과 2차 연마액은 맞섞이는 일은 없다. 그 후, 2차 연마액에 대신하여 세정액, 린스액의 순서로 공급하여, 웨이퍼(16)의 간이 세정을 행한다. 공급된 세정액 및 린스액은, 2차 연마액과 마찬가지로 원심력에 의해 외부에 배출된다.
연마 종료 후, 연마 헤드(30)를 상승, 암 장치(31)를 회동, 연마 헤드(30)를 하강하여, 웨이퍼(16)를 세정·건조 장치(25)의 재치 포트상에 재치한다.
세정·건조 장치(25)에서는, 세정액을 웨이퍼(16)를 향하여 분출하여 웨이퍼(16)의 세정을 행하고, 뒤이어 웨이퍼(16)의 건조를 행한다. 웨이퍼(16)의 세정을 행할 때, 스토퍼(26)가 웨이퍼(16)의 상방까지 회동하여, 웨이퍼(16)를 재치 포트상에 유지한다. 세정 종료 후, 건조시에는, 스토퍼(26)가 정반(18) 측방의 대기 위치까지 회동한다.
세정·건조가 종료된 웨이퍼(16)를, 주고받음 암(20)에 의해 세정·건조 장치(25)의 재치 포트상으로부터 반송 암(14)상에 건네고, 반송 암(14)에 의해 웨이퍼(16)를 처리실(12) 밖으로 반출하여, 웨이퍼(16)의 연마가 종료된다.
또한, 웨이퍼(16)를 세정·건조 장치(25)에서 세정하고 있는 사이에, 연마 헤드(30)의 세정을 행하도록 한다. 즉, 연마 헤드(30)를 상승, 암 장치(31)를 회동, 연마 헤드(30)를 하강하여, 연마 헤드(30)를 2차 연마 정반(41)의 내측의 세정부(44)의 브러시(도시 생략)에 당접시킨다. 그리고, 세정부(44)를 회전시킴과 함께, 노즐(도시 생략)로부터 연마 헤드(30)를 향하여 세정수를 분출하여, 연마 헤드(30)의 세정을 한다. 세정수는, 홈(45)을 통하여 외부에 배출된다.
또한, 연마 헤드(30)의 세정 후, 정반(18)의 드레싱을 행하도록 한다. 즉, 연마 헤드(30)에 의해, 재치부(34)로부터 링형상형 지석을 흡인 유지하고 정반(18)상에 이동하고, 정반(18)을 회전하여, 1차 연마 정반(40) 및 2차 연마 정반(41)의 드레싱을 행한다. 정반(18)의 드레싱 후, 링형상 지석을 재치부(34)에 되돌린다.
또한 드레싱 후, 연마 헤드(30)에 의해, 재치부(35)로부터 브러시를 흡인 유지하여 정반(18)상에 이동하고, 정반(18)을 회전하여, 1차 연마 정반(40) 및 2차 연마 정반(41)의 드레싱(마무리 드레싱)을 행한다. 드레싱 후, 브러시를 재치부(35)에 되돌린다.
그리고, 드레싱 종료 후, 연마 헤드(30)를 재차 세정부로 이동하고, 연마 헤드(30)의 세정을 행한다. 연마 헤드(30)의 세정 후, 연마 헤드(30)를 대기 위치(Pos01)로 되돌리고, 이에 의해 일련의 연마 공정을 종료한다.
이와 같이, 웨이퍼(16)의 세정·건조를 행하고 있는 사이에, 연마 헤드(30)의 세정, 1차 연마 정반(40), 2차 연마 정반(41)의 드레싱을 병행하여 행함에 의해, 효율적으로 일련의 처리가 행하여진다.
또한, 정반(18)의 드레싱은, 웨이퍼(16)의 연마의 종료 후 그때마다 행하여도 좋고, 적절히 복수장의 웨이퍼(16)의 연마 종료 후에 행하여도 좋다.
또한, 1차 연마와 2차 연마의 사이에, 세정부(44)에 의한 연마 헤드(30)의 세정과 세정·건조 장치(25)에 의한 웨이퍼(16)의 세정을 추가하여도 좋다.
또한, 웨이퍼(16)의 세정을 세정부(44)에서 행하고, 연마 헤드(30)의 세정 및 드레싱을 세정·건조 장치(25)가 배치되어 있는 위치에서 행하도록 하여도 좋다.
계속해서 약액 공급부(7)에 관해 도 9∼도 13에 의해 설명한다.
도 9는 약액 공급부(7)의 확대 측면도(측벽판을 벋긴 상태), 도 10은 그 평면도, 도 11은 그 정면도이다. 도 12는 약액 수납 백의 단면도, 도 13은 그 약액 공급구(供給口)의 설명 단면도이다.
약액 공급부(7)는, 상기 연마부(처리부)(6)의 하방에 위치하여 마련되어 있다.
약액 공급부(7)는, 연마 장치(5)에서, 연마부(6)에, 1차 연마액, 2차 연마액, 워크의 표면이 건조하는 것을 막는 보호액(린스액), 연마 헤드(30)의 세정액(순수) 등의 각종 약액을 공급하고, 워크의 각종 처리가 행하여지도록 되어 있다. 또한, 본 실시의 형태에서는, 약액을, 순수(純水)를 포함하는 것으로 하여 정의한다.
각종 약액은, 각각 약액 수납 백(이하 단지 백이라고 하는 일이 있다)(50)에 수납되고, 약액 공급부(7)에서의 백 유지부(52)에 매다는 상태로 유지되도록 되어 있다.
백(50)은, 도 12, 도 13에 도시되는 바와 같이, 2장의 플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 그 주연부(周緣部)끼리가 용착된 주머니형상을 이룸과 함께, 그 입언저리부(口元部)에, 외부에 연통하는 수지제의 포트부(53)가 용착되고, 그 포트부(53)에 밸브 부착 조인트(54)가 장착된 것이다. 플렉시블 수지 시트는, PP, PE, PTFE 등의 투명의 수지재를 사용하면 알맞다. 또한 플렉시블 수지 시트는, 복수층으로 이루어지는 라미네이트 시트를 사용할 수도 있다. 이 경우, 내측의 시트는 내약품성에 우수한 수지재로 하고, 외측의 시트는 비교적 강도가 큰 수지 시트로 할 수 있다.
또한, 2장의 플렉시블 수지 시트를 맞겹치는 것이 아니라, 1장의 플렉시블 수지 시트를 2개로 접은 상태에서, 양 측연부 및 입언저리부의 소요 부위를 용착하고 주머니형상으로 형성하여도 좋다.
백(50)은, 통(筒)형상으로부터 주머니형상으로 성형된 것이 아니고, 2장의 플렉시블 수지 시트를 맞겹친 상태에서, 그 주연부끼리를 용착하여, 주머니형상으로 성형된 것이기 때문에, 그 내부 용량이 감소하면, 2장의 플렉시블 수지 시트끼리가, 떨어진 위치로부터 맞겹친 성형시의 형상에 가까워져, 보다 안정된 형상을 향하게 되어, 백(50) 내에 공기를 넣는 일 없이, 확실하게 오므라지게 할 수 있다. 또한, 1장의 플렉시블 수지 시트를 2개로 접은 상태로부터 주머니형상으로 한 경우에도, 그 되접은 부분이, 백(50)이 수축되는 움직임(오므라드는 방향의 움직임)을 방해하지 않도록 성형되어 있으면 된다.
밸브 부착 조인트(54)는, 조인트부(55)와, 조인트부(55)에 나착되는 밸브(56)로 이루어진다. 밸브(56)는, 공지의 루어 록 방식의 조인트(57)를 단부(端部)에 구비하는 것이 알맞다.
또한, 밸브의 조작을 생략하고 싶은 경우는, 밸브(56)를 밸브로 치환하면 좋다. 예를 들면, 조인트부(55)와 접속 가능하고, 조인트를 구비함과 함께, 조인트부(55)에 접속하면 자동으로 열리고, 조인트부(55)와의 접속을 해제한다면 자동으로 닫히는 밸브를 갖는 밸브 부착 조인트(도시 생략)를 사용하면 알맞다.
조인트부(55)는, O링(58)에 의해 실 되어 포트부(53)에 장착된다.
또한, 백(50)에는, 약액이 소량으로 된 경우에도 흡인에 의해 송액할 수 있도록, 바닥 부근까지 늘어나는 약액 흡인 파이프(61)가 밸브 부착 조인트(54)에 고정되어 있다(도 12(A)).
백(50)은, 상기한 바와 같이, 백 유지부(52)에 매다는 상태로 유지된다.
백 유지부(52)는, 도 12(B)에 도시되는 바와 같이, 선단이 거의 U자형상을 이루어는 매다는구(具)(60)를 가지며, 이 매다는구(60)의 U자형상부에, 포트부(53)가 삽입됨에 의해, 백(50)이 매다는 상태로 유지되게 된다. 포트부(53)의 상부에는 플랜지부(계지부)(53a)가 마련되고, 이 플랜지부(53a)가 매다는구(60)에 걸림에 의해, 백(50)이 밸브 부착 조인트(54)측을 위로 하여 매다는 상태로 유지된다.
이와 같이, 백(50)을 매다는 상태로 하면, 불측(不測)한 사태에 의해 밸브 부착 조인트(54)의 접속 부분에 부적합함이 발생하여, 약액이 누출하였다고 하여도, 액 누출을 최소한으로 억제할 수 있다.
매다는구(60)는, 백 유지부(52)의 상부에 지지부(62)에 지지되어 있다.
지지부(62)는, 지지봉(63)을 통하여 슬라이더(64)에 고정되어 있다(도 11).
슬라이더(64)는, 기대(65) 하부에 고정된 레일(66)에 따라, 전후 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 따라서 백 유지부(52)는, 레일(66)에 따라 연마 장치(5)의 전후 방향으로 이동 가능하게 되어 있고, 장치의 앞쪽측으로 인출된 때, 백 유지부(52)가 노출하도록 되어 있다. 이에 의해, 비어진 백(50)의 교환 작업 등을 용이하게 행할 수 있다.
또한, 매다는구(60)는, 도 10에서 명확한 바와 같이, 평면시(平面視), 지그재그형상으로 교대로 어긋낸 상태로 5개 배치되어 있다. 이에 의해, 약액이 수납된 편평(扁平)한 상태의 백(50)을, 교대로, 폭방향으로 약 1/3의 범위에서 겹쳐진 상태로 매달아, 유지할 수 있게 되어 있다.
이와 같이, 편평한 상태의 백(50)을 폭방향으로 어긋내어 겹쳐진 상태로 유지할 수 있기 때문에, 약액 수납부(7)의 깊이, 및 폭을 작게 할 수 있고, 미니멀 패브리케이션 구상에서 연마 장치(5)의 소형화에 기여하고, 처리실이 30㎝ 사방 정도의 크기로 되어 있는 규격에도 대응할 수 있다. 또한, 복수(예를 들면, 5개)의 백(50)을 구비하는 것이 가능해져서, 복수의 다른 약액을 충전한 백(50)을 장비함에 의해, 워크 가공 장치의 실용성을 높이고 있다. 또한, 복수의 같은 약액을 충전한 백(50)을 장비하면, 백의 교환 및 연속 운전을 용이하게 할 수 있다.
이와 같이, 워크 가공 장치는, 복수의 백(50)을 교환 용이하게 구비함으로써, 사용하기에 편리하게 하고 있다. 예를 들면, 연마액과 순수를 제각기 백(50)에 충전하여 장비하면, 혼합하면서 공급할 수도 있다(청구항 9).
백(50)은, 상기한 바와 같이, 2장의 플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 그 주연부끼리를 용착된 주머니형상을 이루고 있다. 그리고, 백(50)에는, 공기 빼기가 이루어진 상태에서 소요량의 약액이 충전된다. 이에 의해, 약액이 공기에 접촉되는 일이 없기 때문에, 약액의 산화 방지가 이루어진다. 또한, 약액이 사용되어 약액량이 감소하여 와도, 플렉시블 시트로 이루어지는 백(50)이 그대로 수축되기 때문에, 외기의 유입이 없고, 약액의 건조에 의한 응집·응고물의 발생을 막을 할 수 있다.
즉, 종래의 워크 가공 장치에서는, 슬러리(약액)의 공급에 경질 수지 탱크를 사용하여 있지만, 본 발명에서는, 경질 수지 탱크를 소형화하는 것이 아니고, 본 발명의 기술 분야에서 실적이 없는 백(50)을 채용하기 때문에, 백(50)의 강도, 약액에 대한 화학적 안정성 등의 확인을 행한 후, 상기한 응집·응고물의 발생을 막는다는 작용 효과를 획득하면서, 장치 비용의 저감도 실현하고 있다.
또한, 백(50)에의 약액 충전에서, 공기 빼기가 이루어진다고 하여도, 100%의 공기 빼기를 의미하는 것은 아니고, 공기 빼기 수단의 한계에 의해, 다소의 공기는 잔존시켜도 좋다. 즉, 다소의 공기가 잔존하는 상태라도, 백(50) 내의 약액이 공기에 접촉함에 의한 영향을 실용상 문제가 없는 레벨로 저감할 수 있으면 좋다. 도 13에 도시되는 바와 같이 밸브 부착 조인트(54)의 조인트부(55)에는, 약액 유로(55a)의 내외에 통하는 관통구멍(67)이, 조인트부(55)에서의 O링(58)보다도 하방의 위치에 마련되어 있다. 이에 의해, 약액 유로(55a)는, 관통구멍(67)을 통하여 백(50)의 상부에도 연통하고 있다. 약액의 송액이 시작되면, 약액 흡인 파이프(61)를 통하여 백(50) 내의 하층액이 흡인되는데, 그와 동시에, 관통구멍(67), 약액 유로(55a)로부터 백(50) 내의 공기를 포함하는 상층액이 흡인된다. 그 결과, 송액 시작전에 잔존하고 있던 공기가 배출되게 된다. 즉, 약액의 송액을 시작하면, 백(50) 내의 약액은 공기에 접촉되지 않는 상태로 유지되게 된다.
도 9에 도시되는 바와 같이, 각 백(50)은, 루어 록 방식의 조인트(57)에 튜브(68)가 접속되고, 이 튜브(68)가 송액 펌프(69)에 접속된다. 이 송액 펌프(69)에 의해, 각 백(50)으로부터, 연마부(6)에서의, 1차 연마 정반(40), 2차 연마 정반(41), 세정부(44), 세정·건조 장치(25) 등에 각종 약액이 송액되고, 각종 처리가 행하여진다.
튜브(68), 송액 펌프(69) 등에 의해 송액부를 구성한다.
또한, 백 유지부(52)에 유지된 상태의 백(50)의 중량을 계측하는 계측부(도시 생략)가 마련되어 있다. 계측부에 의해 백(50)의 중량이 소요 중량 이하가 된 때에, 제어부(8)에 의해 경고부로부터 경보를 발하도록 하여, 백(50)의 교환 시기가 도래하여 있는 것을 알리도록 되어 있다.
또한, 59는, 연마부(6)에 사용되고, 회수된 약액이 수용되는 배액(排液) 탱크이다.
백(50)에는, 상기한 바와 같이, 공기 빼기 한 상태에서, 약액이 충전된다.
백(50)에 약액을 충전하려면, 도 14에 도시하는 충전 장치(70)를 이용하면 알맞다.
충전 장치(70)에 관해 설명한다. 또한, 본 실시의 형태에서는, 충전 장치(70)는, 워크 가공 장치(연마 장치(5))의 한 구성으로서, 연마 장치(5)의 내부에, 또는 연마 장치(5)의 외부에 마련되는 것이지만, 충전 장치(70)는, 워크 가공 장치(연마 장치(5))와는 별개의, 단독의 별도 발명으로서도 성립한다.
부호 71은 원액의 약액을 수납한 원액 수납부이다. 72는 순수를 수납한 순수 수납부이다. 73은 백(50)이 재치되는 재치부이다. 재치부(73)에는, 백(50)의 중량을 계측하는 계측부(도시 생략)를 마련하면 알맞다.
74는 배출 탱크이다.
75는 제1의 관로이고, 원액 수납부(71)로부터 제1의 역지밸브(76), 제1의 3방밸브(77), 제2의 3방밸브(78)를 이 순서로 경유하고, 또한 밸브(56)를 경유하여 백(50)에 통하고, 원액 수납부(71)로부터 백(50)에 약액을 송출할 수 있는 관로이다.
80은 제2의 관로이고, 순수 수납부(72)로부터, 제2의 역지밸브(81), 제1의 3방밸브(77), 제2의 3방밸브(78)를 이 순서로 경유하여, 또한 밸브(56)를 경유하여 백(50)에 통하고, 순수 수납부(72)로부터 백(50)에 순수를 송출할 수 있는 관로이다.
83은 제3의 관로이고, 백(50)으로부터, 밸브(56), 제2의 3방밸브(78), 제3의 역지밸브(84)를 이 순서로 경유하여 배출 탱크(74)에 통하고, 백(50)으로부터 배출 탱크(74)에 공기를 배출할 수 있는 관로이다.
85는 제1의 송출 펌프이고, 제1의 역지밸브(76)와 원액 수납부(71)와의 사이의 제1의 관로(75)에 개장되고, 제1의 관로(75)를 통하여, 원액 수납부(71)로부터 백(50)에 약액을 송출하는 펌프이다.
86은 제2의 송출 펌프이고, 제2의 역지밸브(81)와 순수 수납부(72)와의 사이의 제2의 관로(80)에 개장되고, 제2의 관로(80)를 통하여, 순수 수납부(72)로부터 백(50)에 순수를 송출하는 펌프이다.
87은 제3의 송출 펌프이고, 제3의 역지밸브(84)와 배출 탱크(74)와의 사이의 제3의 관로(83)에 개장되고, 제3의 관로(83)를 통하여, 백(50)으로부터 배출 탱크(74)에 공기를 배출하는 펌프이다.
또한, 본 실시의 형태에서는, 제1의 송출 펌프(85)로서 실린지를 이용하고 있다. 이 경우에는, 실린지(85)와 원액 수납부(71)와의 사이의 제1의 관로(75)에 제4의 역지밸브(88)를 개장할 필요가 있다. 또한, 본 실시의 형태에서는, 제3의 송출 펌프(87)로서 실린지를 이용하고 있다. 이 경우에는, 실린지(87)와 배출 탱크(74)와의 사이의 제3의 관로(83)에 제5의 역지밸브(89)를 개장할 필요가 있다.
본 실시의 형태에서의 충전 장치(70)는, 백(50)에, 약액의 원액을 순수로 희석한 상태에서 충전할 수 있게 되어 있다.
충전 장치(70)를 이용하여 약액을 백(50)에 충전한 순서에 관해 설명한다.
<약액 수납 백(50)의 진공 흡인 조작>
린지(87)를 동작시켜서, 백(50) 내의 공기를 흡인하고, 제3의 관로(83)를 통하여 배출 탱크(74)에 공기를 배출하여, 백(50) 내의 공기 빼기를 한다.
<관로 내에의 약액의 충전>
실린지(85)를 동작시켜서, 원액 수납부(71) 내의 약액(원액)을, 제2의 3방밸브(78)까지의 제1의 관로(75) 내, 및 제2의 3방밸브(78)로부터 배출 탱크(74)측에의 제3의 관로(83) 내에 송입(送入)한다.
<약액의 계량 충전 조작>
뒤이어 제2의 3방밸브(78)를 전환하고, 실린지(85)를 동작시켜서, 원액 수납부(71) 내의 약액을 계량하면서 백(50) 내에 송입한다. 이 경우, 제2의 3방밸브(78)와 백(50)과의 사이의 관로는, 당초 비여 있었는데 약액이 채워지고, 잔류하기 때문에, 이 관로의 용적분만큼 부족한 상태로 백(50) 내에 약액이 이송된다.
<관로 내의 순수 치환 조작>
이어, 제1의 3방밸브(77), 제2의 3방밸브(78)를 전환하고, 제2의 송출 펌프(86)를 작동하고, 제2의 3방밸브(78)까지의 제2의 관로(80) 내, 및 제2의 3방밸브(78)로부터 배출 탱크(74) 측에의 제3의 관로(83) 내에 순수를 보낸다.
<순수의 계량 충전 조작>
뒤이어, 제2의 3방밸브(78)를 전환하고, 제2의 송출 펌프(86)를 작동시키고, 제2의 관로(80)를 통하여, 순수를 백(50) 내에 송입한다. 그 때, 제2의 3방밸브(78)와 백(50)과의 사이의 관로에 잔류하고 있던 부족분의 약액은 압출되고 백(50) 내로 송입되기 때문에, 백(50) 내에 결국 실린지(85)로 계량한 분의 약액이 송입되게 된다. 순수의 공급은, 재치부(73)에 마련한 계측부에 의해, 백(50)의 중량을 계측함에 의해, 소요량의 순수를 백(50)에 공급하도록 한다.
상기한 바와 같이 하여, 백(50) 내에, 필요한 농도로 희석한 약액을 조정할 수 있다.
상기 각 조작할 때, 제1의 3방밸브(77) 및 제2의 3방밸브(78)는, 필요한 소요 방향으로 전환하는 것은 말할 필요도 없다.
상기 실시의 형태에서는, 실린지(85)에 의해, 약액을 용적 계량하여 백에 송입하도록 하였지만, 통상의 펌프를 이용하여, 중량 계측하고 송입하도록 하여도 좋다.
밸브(56)를 닫고, 충전 장치(70)로부터 백(50)을 벗기고, 연마 장치(5)의 백 유지부(52)에 장착함에 의해 백(50)을 사용할 수 있게 된다.
또한, 상기 실시의 형태에서는, 약액을 희석한 상태로 조정하였지만, 약액을 원액인 채로 백(50) 내에 충전하여, 연마 장치(5)의 연마부(6)에 공급하는 중도의 단계에서, 순수로 희석하여 연마부(6)에 송입하도록 하여도 좋다. 백(50)에 원액을 충전하는 경우에도, 상기 충전 장치(70)를 이용할 수 있다.
충전 장치(70)를 이용하여 백(50)에 약액을 충전할 때의 공기 빼기의 구조와 기능은, 백(50)을 연마 장치(5)에 장착한 때에도 적용할 수 있다. 예를 들면, 백(50)을 연마 장치(5)에 장착 후에, 경시 변화나 연마 작업 등에 의해, 수분이 어떠한 이유로 증발하거나, 공기가 백(50) 중에 혼입되어도, 관통구멍(67)이 백(50)의 상단부에 배치되어 있기 때문에, 관통구멍(67)을 통하여 즉석에서 공기를 백(50)의 밖으로 배출할 수 있다.
도 15는, 충전 장치(70)의 다른 실시의 형태를 도시하는 회로도이다.
도 14에 도시하는 실시의 형태와 동일한 부재는 동일한 부호를 붙이고 있다.
본 실시의 형태에서는, 백(50)에, 제1의 약액과 제2의 약액을 조합하면서 충전할 수 있도록 되어 있다. 즉, 원액 수납부(71)에 제1의 약액을 수납하고, 순수 수납부(72)에 다른 약액인 제2의 약액을 수납하여 두는 것이다.
조작 순서는, 도 14의 충전 장치(70)의 회로도를 이용한 경우와 같기 때문에, 생략한다. 도 15의 것에서는, 충전하는 액체가 어느 쪽도 (순수 이외의) 약액이 되고, 약액의 충전하는 양이 증가하기 때문에, 실린지에 의한 계량 작업을 행하지 않고, 중량의 계측치를 이용하여 계산하고 있다. 따라서, 실린지 대신에 송출 펌프(85)를 채용하고 있다.
상기 실시의 형태에서는, 워크 가공 장치로서, 반도체 웨이퍼의 연마 장치(5)를 예로서 설명하였지만, 이것으로 한정되는 일은 없고, CVD 장치 등의 각종 반도체 제조 장치나, 절삭유 등의 약액을 사용하는 연삭기 등에도 본 발명을 적용할 수 있다.
상기 실시의 형태에서는, 충전 장치를 이용하여 백(50)에 거의 공기가 들어가지 않도록 약액을 충전하고, 그 약액이 충전된 백(50)을 워크 연마 장치에 장비하여 송액을 시작하면, 백(50)에 남아 있던 공기를 뺄 수 있도록 되어 있어서, 약액의 건조에 의한 응집·응고물의 발생이 없는 시스템을 실현하고 있다.
종래의 워크 가공 장치에 의한 다품종 소량 생산에서는, 약액의 교환 및 보관에 곤란성이 있지만, 본 발명은, 교환 용이하고 장기 보관에도 적합한 시스템으로 되어 있다.
미니멀 패브리케이션 구상은, 거액의 투자를 필요로 하지 않는 초소형 생산 시스템으로서, 다품종 소량 생산을 가능하게 할 뿐만 아니라, 다품종 변량(變量) 생산(또는, 변종 변량 생산)에도 대응할 수 있다. 또한, 미니멀 패브리케이션 구상의 실현에 의해, 제품을 제조할 때의 낭비를 줄이고, 제품 비용을 내리면, 국제 경쟁력을 습득하면서, 또한, 지구 환경에의 영향을 억제하게 된다.
본 발명은, 반도체 산업에서 기대가 큰 미니멀 패브리케이션 구상의 일익을 담당하는 기술이고, 그 구상의 실현에 공헌할 수 있다고 생각하고 있다.

Claims (18)

  1. 처리부에 약액을 공급하는 약액 공급부와, 워크의 가공 또는 처리를 행하는 상기 처리부를 갖는 워크 가공 장치에 있어서,
    상기 약액 공급부는,
    약액이 충전되는 복수의 약액 수납 백과,
    그 복수의 약액 수납 백이 장착, 유지되는 백 유지부와,
    상기 복수의 약액 수납 백이 착탈 자유롭게 접속되고, 그 약액 수납 백으로부터 상기 처리부에 약액을 송입하는 송액부를 가지며,
    상기 약액 수납 백은,
    플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 주연부가 용착된 주머니형상을 이룸과 함께, 외부에 연통하는 포트부를 가지며, 그 포트부에 밸브 부착 조인트가 장착된 약액 수납 백인 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서
    상기 약액 수납 백에 공기 빼기가 이루어진 상태에서 약액이 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  3. 제1항에 있어서
    상기 백 유지부가 상기 처리부의 하방에 배치됨과 함께, 장치 전방으로 인출 가능하게 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 약액 수납 백은, 상기 백 유지부에, 상기 밸브 부착 조인트측을 위로 하여, 매다는 상태로 유지되고, 백 내를 하방을 향하여 늘어나는 약액 흡인 파이프를 구비한 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  5. 제4항에 있어서
    상기 약액 수납 백은, 편평한 상태로, 인접한 것끼리 교대로 폭방향으로 어긋낸 상태로 매달리는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 백 유지부에 유지된 상태의 상기 약액 수납 백의 중량을 계측하는 계측부를 갖는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 밸브 부착 조인트가 루어 록 방식의 조인트인 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 약액 수납 백에는, 약액으로서 연마액이 충전되는 백이 포함되는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 약액 수납 백에는, 약액으로서 연마액 및 순수가 각각 제각기 충전되는 백이 포함되는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  10. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 약액 수납 백에는, 약액으로서, 워크를 린스하는 린스액이 충전되는 백이 포함되는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  11. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 약액 수납 백에는, 약액으로서, 워크를 세정하는 세정액이 충전되는 백이 포함되는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  12. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 워크가 1/2인치 사이즈의 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  13. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 약액 수납 백에 약액을 충전하는 충전 장치를 구비하고, 그 충전 장치는, 상기 약액 수납 백 내의 공기를 배출하는 공기 배출부와, 상기 약액 수납 백에 충전되는 약액의 중량 또는 용량을 계측하는 계측부를 갖는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 충전 장치는,
    원액의 약액을 수납한 원액 수납부와,
    순수를 수납한 순수 수납부와,
    상기 약액 수납 백이 재치되는 재치부와,
    배출 탱크와,
    상기 원액 수납부로부터 제1의 역지밸브, 제1의 3방밸브, 제2의 3방밸브를 이 순서로 경유하여 상기 약액 수납 백에 통하고, 상기 원액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 약액을 송출할 수 있는 제1의 관로와,
    상기 순수 수납부로부터, 제2의 역지밸브, 상기 제1의 3방밸브, 상기 제2의 3방밸브를 이 순서로 경유하여 상기 약액 수납 백에 통하고, 상기 순수 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 순수를 송출할 수 있는 제2의 관로와,
    상기 약액 수납 백으로부터, 상기 제2의 3방밸브, 제3의 역지밸브를 이 순서로 경유하여 상기 배출 탱크에 통하고, 상기 약액 수납 백으로부터 상기 배출 탱크에 공기를 배출할 수 있는 제3의 관로와,
    상기 제1의 역지밸브와 상기 원액 수납부와의 사이의 상기 제1의 관로에 개장(介裝)되고, 그 제1의 관로를 통하여, 상기 원액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 약액을 송출하는 제1의 송출 펌프와,
    상기 제2의 역지밸브와 상기 순수 수납부와의 사이의 상기 제2의 관로에 개장되고, 그 제2의 관로를 통하여, 상기 순수 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 순수를 송출하는 제2의 송출 펌프와,
    상기 제3의 역지밸브와 상기 배출 탱크와의 사이의 상기 제3의 관로에 개장되고, 그 제3의 관로를 통하여, 상기 약액 수납 백으로부터 상기 배출 탱크에 공기를 배출하는 제3의 송출 펌프를 구비한 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제14의 송출 펌프가 실린지이고, 그 실린지와 상기 원액 수납부와의 사이의 상기 제1의 관로에 제4의 역지밸브가 개장되고,
    상기 제3의 송출 펌프가 실린지이고, 그 실린지와 상기 배출 탱크 배출 탱크와의 사이의 상기 제3의 관로에 제5의 역지밸브가 개장되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 충전 장치는,
    제1의 약액을 수납한 제1의 약액 수납부와,
    제2의 약액을 수납한 제2의 약액 수납부와,
    상기 약액 수납 백이 재치되는 재치부와,
    배출 탱크와,
    상기 제1의 약액 수납부로부터 제1의 역지밸브, 제1의 3방밸브, 제2의 3방밸브를 이 순서로 경유하여 상기 약액 수납 백에 통하고, 상기 제1의 약액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 제1의 약액을 송출할 수 있는 제1의 관로와,
    상기 제2의 약액 수납부로부터, 제2의 역지밸브, 상기 제1의 3방밸브, 상기 제2의 3방밸브를 이 순서로 경유하여 상기 약액 수납 백에 통하고, 상기 제2의 약액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 제2의 약액을 송출할 수 있는 제2의 관로와,
    상기 약액 수납 백으로부터, 상기 제2의 3방밸브, 제3의 역지밸브를 이 순서로 경유하여 상기 배출 탱크에 통하고, 상기 약액 수납 백으로부터 상기 배출 탱크에 공기를 배출할 수 있는 제3의 관로와,
    상기 제1의 역지밸브와 상기 제1의 약액 수납부와의 사이의 상기 제1의 관로에 개장되고, 그 제1의 관로를 통하여, 상기 제1의 약액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 제1의 약액을 송출하는 제1의 송출 펌프와,
    상기 제2의 역지밸브와 상기 제2의 약액 수납부와의 사이의 상기 제2의 관로에 개장되고, 그 제2의 관로를 통하여, 상기 제2의 약액 수납부로부터 상기 약액 수납 백에 제2의 약액을 송출하는 제2의 송출 펌프와,
    상기 제3의 역지밸브와 상기 배출 탱크와의 사이의 상기 제3의 관로에 개장되고, 그 제3의 관로를 통하여, 상기 약액 수납 백으로부터 상기 배출 탱크에 공기를 배출하는 제3의 송출 펌프를 구비하는 것을 특징으로 하는 워크 가공 장치.
  17. 워크 가공 장치의 처리부에 약액을 공급하기 위한 약액을 수납하는 약액 수납 백으로서,
    플렉시블 수지 시트가 맞겹쳐지고, 주연부가 용착된 주머니형상을 이루고, 외부에 연통하는 포트부를 가지며, 그 포트부에, 밸브 부착 조인트가 장착됨과 함께, 상기 워크 가공 장치에서의 백 유지부에 상기 밸브 부착 조인트측을 위로 하여 매다는 상태로 유지하기 위한 계지부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 수납 백.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 밸브 부착 조인트의 약액 유로에 접속되고, 백 저부 방향으로 늘어나는 약액 흡인 파이프를 구비함과 함께, 상기 밸브 부착 조인트에, 상기 약액 유로의 내외에 통하고, 상기 약액 유로와 백 상부를 연통하는 관통구멍이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 수납 백.
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