JP2017107927A - ワーク加工装置およびこれに用いる薬液収納バッグ - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、このようなウェーハ研磨装置における研磨液(スラリー)供給装置が示されている。
例えば、特許文献1に示されるスラリー供給装置は、スラリータンク内のスラリー残量を管理するために液面センサーもしくはロードセルを備え、自動的にスラリーの補充、補充停止をするようになっている。このスラリーの自動補充シーケンスに併せて、タイマーによりタンク内壁のスラリーが乾燥する前にスラリーを補充し、またタンク内を湿潤させるために、任意で設定した期間にスプレーノズルで霧を噴射するか、加湿器によりタンク内を加湿するようになっている。
薬液収納バッグというものは、例えば、点滴などの医療現場で通常使われてもいる。硬質樹脂を使わない理由は、硬質樹脂であると、薬液が減った分を空気を入れないと、負圧になって、薬液が送出されなくなるからである。薬液収納バッグであれば、内部容量が減ってもその分バッグがしぼんで空気が入ることがない。しかし、点滴などでは患者への点滴位置よりも、ずっと高い位置に薬液収納バッグをつり下げ、重力によって押し出さなければならない制約がある。産業用途ではこの制約が問題となる。使用高さよりも、薬液収納バッグを高く配置しなければならない上、薬液が減ってくると、薬液の重量が減り、薬液を押し出す力も減じて、薬液の流量が減ってしまう問題が発生する。このため、産業用途では、ポンプを使う方法が良いことになる。しかし、ポンプを使っても、薬液収納バッグに空気が入っていたり、空気が混入することは避けなければならない。このような問題は、これまでどのように解決すれば良いのかについて、実用となる方法が見いだされていなかった。本発明では、薬液収納バッグ内への空気の混入を制御する仕組みを提供する。
すなわち、本発明に係るワーク加工装置は、薬液供給部から処理部に薬液が供給され、該処理部にてワークの加工もしくは処理が行われるワーク加工装置において、前記薬液供給部は、薬液が充填される複数の薬液収納バッグと、該複数の薬液収納バッグが装着、保持されるバッグ保持部と、前記複数の薬液収納バッグが着脱自在に接続され、該薬液収納バッグから前記処理部に薬液を送り込む送液部を有し、前記薬液収納バッグは、2枚のフレキシブル樹脂シートが重ね合わされ、周縁部を溶着された袋状をなすと共に、外部に連通するポート部を有し、該ポート部にバルブ付き継手が装着された薬液収納バッグであることを特徴とする。
前記充填装置は、例えば、原液の薬液を収納した原液収納部と、純水を収納した純水収納部と、前記薬液収納バッグが載置される載置部と、排出タンクと、前記原液収納部から第1の逆止弁、第1の三方弁、第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記原液収納部から前記薬液収納バッグへ薬液を送出しうる第1の管路と、前記純水収納部から、第2の逆止弁、前記第1の三方弁、前記第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記純水収納部から前記薬液収納バッグへ純水を送出し得る第2の管路と、前記薬液収納バッグから、前記第2の三方弁、第3の逆止弁をこの順に経由して前記排出タンクに通じ、前記薬液収納バッグから前記排液タンクに空気を排出しうる第3の管路と、前記第1の逆止弁と前記原液収納部との間の前記第1の管路に介装され、該第1の管路を通じて、前記原液収納部から前記薬液収納バッグに薬液を送出する第1の送出ポンプと、前記第2の逆止弁と前記純水収納部との間の前記第2の管路に介装され、該第2の管路を通じて、前記純水収納部から前記薬液収納バッグに純水を送出する第2の送出ポンプと、前記第3の逆止弁と前記排出タンクとの間の前記第3の管路に介装され、該第3の管路を通じて、前記薬液収納バッグから前記排出タンクに空気を排出する第3の送出ポンプとで構成することができる。
以下、ワーク加工装置の一例として研磨装置5について説明する。図1はその研磨装置5の側面図(側面カバーを外した状態)、図2はバッグ保持部を装置前方側に引き出した状態を示す研磨装置5の側面図(側面カバーを外した状態)である。図3は研磨部の説明図、図4は受渡しアームの作動状態を示す説明図、図5は受渡しアームの回動位置を示す説明図、図6はストッパの回動位置を示す説明図、図7はアーム装置の回動位置を示す説明図である。図8は定盤の説明平面図である。
図1に示す研磨装置5は、本出願人の出願に係るミニマルファブ構想における研磨装置5の一例であり(特開2014−132642)、前記のようにほぼ1/2インチサイズの小口径の半導体ウェーハの研磨に用いるものである(詳細は特開2014−132642の公報を参照)。
以下、まず研磨部6について説明する。
図3において、12は処理室であり、研磨装置5の各構成装置が配置されている。ミニマルファブ構想においては、処理室12の大きさは規格化され、30cm四方程度の大きさとされる。したがって、研磨装置5の各構成装置は、この大きさの処理室12内に配置できるだけの、小型化がなされている。
受渡しアーム20は軸21を中心に、図5におけるPos01〜Pos03の間に亘って水平面内で回動する(Pos01は待機位置)。受渡しアーム20の先端部には反転アーム22が上下反転可能に設けられている。反転アーム22の先端部にはウェーハ吸着部23が設けられている。ウェーハ吸着部23は、ウェーハ16を吸着保持して、載置部15からウェーハ16を受け取ったり、載置部15にウェーハ16を受け渡したりすることが可能になっている。この受渡しアーム20の各部の駆動は適宜モータ(図示せず)等によって行える(図4、図5)。
Pos01における研磨ヘッド30の下方には、ドレッシング材であるリング状砥石(図示せず)が載置される載置部34が設けられている。さらに、載置部34に隣接して、ドレッシング材であるブラシ(図示せず)が載置される載置部35が設けられている。
なお、一連の工程は、制御部8により、所定のプログラムに従い行われる。
まず、搬送アーム14の載置部15にウェーハ16を研磨面を上にして載置する。
次いで、搬送アーム14によりウェーハ16を処理室12の外部から処理室12内に搬入する。
次いで、受渡しアーム20により、搬送アーム14からウェーハ16を受け取って反転し、洗浄・乾燥装置25の載置ポート上に研磨面を下に向けて載置する。
次いで、研磨ヘッド30を上昇、アーム装置31を回動、研磨ヘッド30を下降して、ウェーハ16を所要圧力で一次研磨定盤40の研磨布40a上に押圧する。次いで図示しないノズルから研磨液を一次研磨定盤40上に供給しつつ、定盤18および研磨ヘッド30を所要方向に回転させることによって、ウェーハ16を所要時間一次研磨(粗研磨)する。一次研磨液は、定盤18が回転することによりその遠心力で、一次研磨定盤40上から主としてその外方に流出し、外部に排出される。その後、一次研磨液に代えて洗浄液(純水)、リンス液(ウェーハの乾燥を防ぐ界面活性剤入りの保護液)の順で供給し、ウェーハ16の簡易洗浄を行う。供給された洗浄液およびリンス液は、一次研磨液と同様に遠心力によって外部に排出される。
洗浄・乾燥装置25では、洗浄液をウェーハ16に向けて噴出してウェーハ16の洗浄を行い、次いでウェーハ16の乾燥を行う。ウェーハ16の洗浄を行う際、ストッパ26がウェーハ16の上方まで回動し、ウェーハ16を載置ポート上に保持する。洗浄終了後、乾燥時には、ストッパ26が定盤18側方の待機位置まで回動する。
なお、ウェーハ16を洗浄・乾燥装置25で洗浄している間に、研磨ヘッド30の洗浄を行うようにする。すなわち、研磨ヘッド30を上昇、アーム装置31を回動、研磨ヘッド30を下降して、研磨ヘッド30を二次研磨定盤41の内側の洗浄部44のブラシ(図示せず)に当接させる。そして、洗浄部44を回転させると共に、ノズル(図示せず)から研磨ヘッド30に向けて洗浄水を噴出して、研磨ヘッド30の洗浄をする。洗浄水は、溝45を通じて外部に排出される。
さらにドレッシング後、研磨ヘッド30により、載置部35からブラシを吸引保持して定盤18上に移動し、定盤18を回転して、一次研磨定盤40および二次研磨定盤41のドレッシング(仕上げドレッシング)を行う。ドレッシング後、ブラシを載置部35に戻す。
このように、ウェーハ16の洗浄・乾燥を行っている間に、研磨ヘッド30の洗浄、一次研磨定盤40、二次研磨定盤41のドレッシングを併行して行うことによって、効率よく一連の処理が行える。
なお、定盤18のドレッシングは、ウェーハ16の研磨の終了後その都度行ってもよいし、適宜複数枚のウェーハ16の研磨終了後に行ってもよい。
さらに、一次研磨と二次研磨の間に、洗浄部44による研磨ヘッド30の洗浄と洗浄・乾燥装置25によるウェーハ16の洗浄とを追加してもよい。
また、ウェーハ16の洗浄を洗浄部44で行い、研磨ヘッド30の洗浄およびドレッシングを洗浄・乾燥装置25が配置されている位置で行うようにしてもよい。
図9は薬液供給部7の拡大側面図(側壁板を外した状態)、図10はその平面図、図11はその正面図である。図12は薬液収納バッグの断面図、図13はその薬液供給口の説明断面図である。
薬液供給部7は、前記研磨部(処理部)6の下方に位置して設けられている。
薬液供給部7は、研磨装置5において、研磨部6に、一次研磨液、二次研磨液、ワークの表面が乾燥するのを防ぐ保護液(リンス液)、研磨ヘッド30の洗浄液(純水)などの各種薬液を供給し、ワークの各種処理が行えるようになっている。なお、本実施の形態では、薬液を、純水を含むものとして定義する。
各種薬液は、それぞれ薬液収納バッグ(以下単にバッグということがある)50に収納され、薬液供給部7におけるバッグ保持部52に吊り下げ状態で保持されるようになっている。
なお、2枚のフレキシブル樹脂シートを重ね合せるのではなく、1枚のフレキシブル樹脂シートを二つ折りにした状態で、両側縁部および口元部の所要部位を溶着して袋状に形成してもよい。
バッグ50は、筒形状から袋状に成形されたものではなく、2枚のフレキシブル樹脂シートを重ね合せた状態で、その周縁部同士を溶着して、袋状に成形されたものであるため、その内部容量が減ると、2枚のフレキシブル樹脂シート同士が、離れた位置から重なり合った成形時の形状に近づき、より安定した形状に向かうことになって、バッグ50内に空気を入れることなく、確実にしぼませることができる。また、1枚のフレキシブル樹脂シートを二つ折りにした状態から袋状にした場合でも、その折り返し部分が、バッグ50の縮む動き(しぼむ方向の動き)を妨げないように成形されていればよい。
また、バルブの操作を省略したい場合は、バルブ56を弁に置き換えるとよい。例えば、継手部55と接続可能で、継手を備えると共に、継手部55に接続すると自動で開き、継手部55との接続を解除すると自動で閉じる弁を有する弁付き継手(図示せず)を用いると好適である。
継手部55は、Oリング58によりシールされてポート部53に装着される。
また、バッグ50には、薬液が少量となった場合にも吸引により送液できるように、底近くまで伸びる薬液吸引パイプ61がバルブ付き継手54に固定されている(図12(A))。
バッグ保持部52は、図12(B)に示されるように、先端がほぼU字状をなす吊り下げ具60を有し、この吊り下げ具60のU字状部に、ポート部53が挿入されることにより、バッグ50が吊り下げ状態で保持されることになる。ポート部53の上部にはフランジ部(係止部)53aが設けられ、このフランジ部53aが吊り下げ具60に引っかかることによって、バッグ50がバルブ付き継手54側を上にして吊り下げ状態に保持される。
このように、バッグ50を吊り下げ状態にすれば、不測の事態によってバルブ付き継手54の接続部分に不具合が発生し、薬液が漏れ出したとしても、液漏れを最小限に抑えることができる。
支持部62は、支持棒63を介してスライダー64に固定されている(図11)。
スライダー64は、基台65下部に固定されたレール66に沿って、前後方向に移動可能に設けられている。したがって、バッグ保持部52は、レール66に沿って研磨装置5の前後方向に移動可能となっており、装置の前方側に引き出された際、バッグ保持部52が露出するようになっている。これにより、空となったバッグ50の交換作業等が容易に行える。
このように、扁平状態のバッグ50を幅方向にずらして重なった状態で保持できるので、薬液収納部7の奥行、および幅を小さくでき、ミニマルファブ構想における研磨装置5の小型化に寄与し、処理室が30cm四方程度の大きさとなっている規格にも対応できる。さらに、複数(例えば、5個)のバッグ50を備えることが可能となり、複数の異なる薬液を充填したバッグ50を装備することにより、ワーク加工装置の実用性を高めている。また、複数の同じ薬液を充填したバッグ50を装備すれば、バッグの交換および連続運転を容易にできる。
このように、ワーク加工装置は、複数のバッグ50を交換容易に備えることで、使い勝手を良くしている。例えば、研磨液と純水と別々にバッグ50に充填して装備すれば、混ぜながら供給することもできる(請求項9)。
つまり、従来のワーク加工装置では、スラリー(薬液)の供給に硬質樹脂タンクを用いていたが、本発明では、硬質樹脂タンクを小型化するのではなく、本発明の技術分野において実績のないバッグ50を採用するために、バッグ50の強度、薬液に対する化学的安定性等の確認を行った後、上記の凝集・凝固物の発生を防ぐという作用効果を獲得しつつ、装置コストの低減も実現している。
なお、バッグ50への薬液充填において、空気抜きがなされるとしても、100%の空気抜きを意味するものではなく、空気抜き手段の限界により、多少の空気は残存させてもよい。つまり、多少の空気が残存する状態であっても、バッグ50内の薬液が空気に触れることによる影響を実用上問題のないレベルに低減できればよい。
図13に示されるようにバルブ付き継手54の継手部55には、薬液流路55aの内外に通じる貫通孔67が、継手部55におけるOリング58よりも下方の位置に設けられている。これにより、薬液流路55aは、貫通孔67を通じてバッグ50の上部にも連通している。薬液の送液が開始されると、薬液吸引パイプ61を通じてバッグ50内の下層液が吸引されるが、それと同時に、貫通孔67、薬液流路55aからバッグ50内の空気を含む上層液が吸引される。その結果、送液開始前に残存していた空気が排出されることになる。つまり、薬液の送液を開始すれば、バッグ50内の薬液は空気に触れない状態で保持されることになる。
チューブ68、送液ポンプ69等により送液部を構成する。
なお、バッグ保持部52に保持された状態のバッグ50の重量を計測する計測部(図示せず)が設けられている。計測部によりバッグ50の重量が所要重量以下になった際に、制御部8により警告部から警報を発するようにし、バッグ50の交換時期が到来していることを知らせるようになっている。
また、59は、研磨部6にて使用され、回収された薬液が収容される排液タンクである。
バッグ50に薬液を充填するには、図14に示す充填装置70を用いると好適である。
充填装置70について説明する。なお、本実施の形態では、充填装置70は、ワーク加工装置(研磨装置5)の一構成として、研磨装置5の内部に、あるいは研磨装置5の外部に設けられるものであるが、充填装置70は、ワーク加工装置(研磨装置5)とは別異の、単独の別発明としても成立する。
符号71は原液の薬液を収納した原液収納部である。72は純水を収納した純水収納部である。73はバッグ50が載置される載置部である。載置部73には、バッグ50の重量を計測する計測部(図示せず)を設けると好適である。
74は排出タンクである。
75は第1の管路であり、原液収納部71から第1の逆止弁76、第1の三方弁77、第2の三方弁78をこの順に経由し、さらにバルブ56を経由してバッグ50に通じ、原液収納部71からバッグ50へ薬液を送出しうる管路である。
83は第3の管路であり、バッグ50から、バルブ56、第2の三方弁78、第3の逆止弁84をこの順に経由して排出タンク74に通じ、バッグ50から排出タンク74に空気を排出しうる管路である。
86は第2の送出ポンプであり、第2の逆止弁81と純水収納部72との間の第2の管路80に介装され、第2の管路80を通じて、純水収納部72からバッグ50に純水を送出するポンプである。
87は第3の送出ポンプであり、第3の逆止弁84と排出タンク74との間の第3の管路83に介装され、第3の管路83を通じて、バッグ50から排出タンク74に空気を排出するポンプである。
充填装置70を用いて薬液をバッグ50に充填する手順について説明する。
<薬液収納バッグ50の真空引き操作>
シリンジ87を動作させ、バッグ50内の空気を吸引し、第3の管路83を通じて排出タンク74に空気を排出し、バッグ50内の空気抜きをする。
<管路内への薬液の充填>
シリンジ85を動作させ、原液収納部71内の薬液(原液)を、第2の三方弁78までの第1の管路75内、および第2の三方弁78から排出タンク74側への第3の管路83内に送り込む。
<薬液の計量充填操作>
次いで第2の三方弁78を切り替え、シリンジ85を動作させ、原液収納部71内の薬液を計量しつつバッグ50内に送り込む。この場合、第2の三方弁78とバッグ50との間の管路は、当所空であったのに薬液が満たされ、残留することから、この管路の容積分だけ不足した状態でバッグ50内に薬液が送り込まれる。
次いで、第1の三方弁77、第2の三方弁78を切り替え、第2の送出ポンプ86を作動し、第2の三方弁78までの第2の管路80内、および第2の三方弁78から排出タンク74側への第3の管路83内に純水を送り込む。
<純水の計量充填操作>
次いで、第2の三方弁78を切り替え、第2の送出ポンプ86を作動させ、第2の管路80を通じて、純水をバッグ50内に送り込む。その際、第2の三方弁78とバッグ50との間の管路に残留していた不足分の薬液は押し出されてバッグ50内に送り込まれるから、バッグ50内に結局シリンジ85で計量した分の薬液が送り込まれることになる。純水の供給は、載置部73に設けた計測部によって、バッグ50の重量を計測することによって、所要量の純水をバッグ50に供給するようにする。
上記のようにして、バッグ50内に、必要な濃度に希釈した薬液を調整することができる。
上記各操作の際、第1の三方弁77および第2の三方弁78は、必要な所要方向に切り替えることは言うまでもない。
上記実施の形態では、シリンジ85により、薬液を容積計量してバッグに送り込むようにしたが、通常のポンプを用いて、重量計測して送り込むようにしてもよい。
なお、上記実施の形態では、薬液を希釈した状態に調整したが、薬液を原液のままバッグ50内に充填して、研磨装置5の研磨部6に供給する中途の段階で、純水で希釈して研磨部6に送り込むようにしてもよい。バッグ50に原液を充填する場合にも、上記充填装置70を用いることができる。
充填装置70を用いてバッグ50へ薬液を充填する際の空気抜きの構造と機能は、バッグ50を研磨装置5に装着した際にも適用できる。例えば、バッグ50を研磨装置5に装着後に、経時変化や研磨作業等によって、水分が何らかの理由で蒸発したり、空気がバッグ50中に混入しても、貫通孔67がバッグ50の上端部に配置されているため、貫通孔67を通して即座に空気をバッグ50の外へ排出することができる。
図14に示す実施の形態と同一の部材は同一の符号を付している。
本実施の形態では、バッグ50に、第1の薬液と第2の薬液を調合しながら充填できるようになっている。すなわち、原液収納部71に第1の薬液を収納し、純水収納部72に他の薬液たる第2の薬液を収納しておくのである。
操作手順は、図14の充填装置70の回路図を用いた場合と同じであるため、省略する。図15のものでは、充填する液体がどちらも(純水以外の)薬液となり、薬液の充填する量が増加するので、シリンジによる計量作業を行わず、重量の計測値を用いて計算している。よって、シリンジの代わりに送出ポンプ85を採用している。
上記実施の形態では、充填装置を用いてバッグ50に殆ど空気が入らないように薬液を充填し、その薬液が充填されたバッグ50をワーク研磨装置に装備して送液を開始すれば、バッグ50に残っていた空気を抜くことができるようになっており、薬液の乾燥による凝集・凝固物の発生のないシステムを実現している。
従来のワーク加工装置による多品種少量生産では、薬液の交換および保管に困難性があったが、本発明は、交換容易で長期保管にも適したシステムになっている。
ミニマルファブ構想は、巨額の投資を必要としない超小型生産システムとして、多品種少量生産を可能にするだけではなく、多品種変量生産(或いは、変種変量生産)にも対応できる。また、ミニマルファブ構想の実現によって、製品を製造するときのムダを省き、製品コストを下げれば、国際競争力を身に着けながら、且つ、地球環境への影響を抑えることになる。
本発明は、半導体産業にとって期待の大きいミニマルファブ構想の一翼を担う技術であり、その構想の実現に貢献できると考えている。
前記充填装置は、例えば、原液の薬液を収納した原液収納部と、純水を収納した純水収納部と、前記薬液収納バッグが載置される載置部と、排出タンクと、前記原液収納部から第1の逆止弁、第1の三方弁、第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記原液収納部から前記薬液収納バッグへ薬液を送出しうる第1の管路と、前記純水収納部から、第2の逆止弁、前記第1の三方弁、前記第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記純水収納部から前記薬液収納バッグへ純水を送出し得る第2の管路と、前記薬液収納バッグから、前記第2の三方弁、第3の逆止弁をこの順に経由して前記排出タンクに通じ、前記薬液収納バッグから前記排出タンクに空気を排出しうる第3の管路と、前記第1の逆止弁と前記原液収納部との間の前記第1の管路に介装され、該第1の管路を通じて、前記原液収納部から前記薬液収納バッグに薬液を送出する第1の送出ポンプと、前記第2の逆止弁と前記純水収納部との間の前記第2の管路に介装され、該第2の管路を通じて、前記純水収納部から前記薬液収納バッグに純水を送出する第2の送出ポンプと、前記第3の逆止弁と前記排出タンクとの間の前記第3の管路に介装され、該第3の管路を通じて、前記薬液収納バッグから前記排出タンクに空気を排出する第3の送出ポンプとで構成することができる。
図9は薬液供給部7の拡大側面図(側壁板を外した状態)、図10はその平面図、図11はその正面図である。図12は薬液収納バッグの断面図、図13はその薬液供給口の説明断面図である。
薬液供給部7は、前記研磨部(処理部)6の下方に位置して設けられている。
薬液供給部7は、研磨装置5において、研磨部6に、一次研磨液、二次研磨液、ワークの表面が乾燥するのを防ぐ保護液(リンス液)、研磨ヘッド30の洗浄液(純水)などの各種薬液を供給し、ワークの各種処理が行えるようになっている。なお、本実施の形態では、薬液を、純水を含むものとして定義する。
各種薬液は、それぞれ薬液収納バッグ(以下単にバッグということがある)50に収納され、薬液供給部7におけるバッグ保持部52に吊り下げ状態で保持されるようになっている。
Claims (18)
- 処理部に薬液を供給する薬液供給部と、ワークの加工もしくは処理を行う前記処理部を有するワーク加工装置において、
前記薬液供給部は、
薬液が充填される複数の薬液収納バッグと、
該複数の薬液収納バッグが装着、保持されるバッグ保持部と、
前記複数の薬液収納バッグが着脱自在に接続され、該薬液収納バッグから前記処理部に薬液を送り込む送液部を有し、
前記薬液収納バッグは、
フレキシブル樹脂シートが重ね合わされ、周縁部を溶着された袋状をなすと共に、外部に連通するポート部を有し、該ポート部にバルブ付き継手が装着された薬液収納バッグであることを特徴とするワーク加工装置。 - 前記薬液収納バッグに空気抜きがなされた状態で薬液が充填されていることを特徴とする請求項1記載のワーク加工装置。
- 前記バッグ保持部が前記処理部の下方に配置されると共に、装置前方に引出可能に設けられていることを特徴とする請求項1または2記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグは、前記バッグ保持部に、前記バルブ付き継手側を上にして、吊り下げ状態に保持され、バッグ内を下方に向けて伸びる薬液吸引パイプを具備することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグは、扁平状態で、隣接するもの同士交互に幅方向にずれた状態で吊り下げられることを特徴とする請求項4記載のワーク加工装置。
- 前記バッグ保持部に保持された状態の前記薬液収納バッグの重量を計測する計測部を有することを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記バルブ付き継手がルアーロック方式の継手であることを特徴とする請求項1〜6いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグには、薬液として研磨液が充填されるバッグが含まれることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグには、薬液として研磨液および純水が各々別々に充填されるバッグが含まれることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグには、薬液として、ワークをリンスするリンス液が充填されるバッグが含まれることを特徴とする請求項1〜9いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグには、薬液として、ワークを洗浄する洗浄液が充填されるバッグが含まれることを特徴とする請求項1〜10いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記小口径半導体ウェーハが1/2インチサイズの半導体ウェーハであることを特徴とする請求項1〜11いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記薬液収納バッグに薬液を充填する充填装置を具備し、該充填装置は、前記薬液収納バッグ内の空気を排出する空気排出部と、前記薬液収納バッグに充填される薬液の重量もしくは容量を計測する計測部とを有することを特徴とする請求項1〜12いずれか1項記載のワーク加工装置。
- 前記充填装置は、
原液の薬液を収納した原液収納部と、
純水を収納した純水収納部と、
前記薬液収納バッグが載置される載置部と、
排出タンクと、
前記原液収納部から第1の逆止弁、第1の三方弁、第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記原液収納部から前記薬液収納バッグへ薬液を送出しうる第1の管路と、
前記純水収納部から、第2の逆止弁、前記第1の三方弁、前記第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記純水収納部から前記薬液収納バッグへ純水を送出し得る第2の管路と、
前記薬液収納バッグから、前記第2の三方弁、第3の逆止弁をこの順に経由して前記排出タンクに通じ、前記薬液収納バッグから前記排液タンクに空気を排出しうる第3の管路と、
前記第1の逆止弁と前記原液収納部との間の前記第1の管路に介装され、該第1の管路を通じて、前記原液収納部から前記薬液収納バッグに薬液を送出する第1の送出ポンプと、
前記第2の逆止弁と前記純水収納部との間の前記第2の管路に介装され、該第2の管路を通じて、前記純水収納部から前記薬液収納バッグに純水を送出する第2の送出ポンプと、
前記第3の逆止弁と前記排出タンクとの間の前記第3の管路に介装され、該第3の管路を通じて、前記薬液収納バッグから前記排出タンクに空気を排出する第3の送出ポンプとを具備することを特徴とする請求項13記載のワーク加工装置。 - 前記第1の送出ポンプがシリンジであり、該シリンジと前記原液収納部との間の前記第1の管路に第4の逆止弁が介装され、
前記第3の送出ポンプがシリンジであり、該シリンジと前記排出タンク排出タンクとの間の前記第3の管路に第5の逆止弁が介装されていることを特徴とする請求項14記載のワーク加工装置。 - 前記充填装置は、
第1の薬液を収納した第1の薬液収納部と、
第2の薬液を収納した第2の薬液収納部と、
前記薬液収納バッグが載置される載置部と、
排出タンクと、
前記第1の薬液収納部から第1の逆止弁、第1の三方弁、第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記第1の薬液収納部から前記薬液収納バッグへ第1の薬液を送出しうる第1の管路と、
前記第2の薬液収納部から、第2の逆止弁、前記第1の三方弁、前記第2の三方弁をこの順に経由して前記薬液収納バッグに通じ、前記第2の薬液収納部から前記薬液収納バッグへ第2の薬液を送出し得る第2の管路と、
前記薬液収納バッグから、前記第2の三方弁、第3の逆止弁をこの順に経由して前記排出タンクに通じ、前記薬液収納バッグから前記排液タンクに空気を排出しうる第3の管路と、
前記第1の逆止弁と前記第2の薬液収納部との間の前記第1の管路に介装され、該第1の管路を通じて、前記第2の薬液収納部から前記薬液収納バッグに第2の薬液を送出する第1の送出ポンプと、
前記第2の逆止弁と前記第2の薬液収納部との間の前記第2の管路に介装され、該第2の管路を通じて、前記第2の薬液収納部から前記薬液収納バッグに第2の薬液を送出する第2の送出ポンプと、
前記第3の逆止弁と前記排出タンクとの間の前記第3の管路に介装され、該第3の管路を通じて、前記薬液収納バッグから前記排出タンクに空気を排出する第3の送出ポンプとを具備することを特徴とする請求項13記載のワーク加工装置。 - ワーク加工装置の処理部に薬液を供給するための薬液を収納する薬液収納バッグであって、
フレキシブル樹脂シートが重ね合わされ、周縁部を溶着された袋状をなし、外部に連通するポート部を有し、該ポート部に、バルブ付き継手が装着されると共に、前記ワーク加工装置におけるバッグ保持部に前記バルブ付き継手側を上にして吊り下げ状態に保持するための係止部が設けられていることを特徴とする薬液収納バッグ。 - 前記バルブ付き継手の薬液流路に接続され、バッグ底部方向に延びる薬液吸引パイプを備えると共に、前記バルブ付き継手に、前記薬液流路の内外に通じ、前記薬液流路とバッグ上部を連通する貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項17記載の薬液収納バッグ。
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