JP6353774B2 - ウェハ研削装置 - Google Patents
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Description
2 ・・・ INDEXテーブル(ターンテーブル)
2a・・・ 仕切壁
3 ・・・ ウェハチャック
4 ・・・ 砥石
4a・・・ 砥石送り装置
5 ・・・ 研磨布(ポリッシュパッド)
6 ・・・ 第1のラック
7 ・・・ 第2のラック
8 ・・・ 第1のアーム
9 ・・・ 第2のアーム
10・・・ チャンバー
10a・・・搬入口
10b・・・搬出口
11・・・ 側壁
20・・・ 吸水部材
21・・・ 基材
22・・・ スポンジ押さえ部材
23・・・ ネジ
24・・・ 溝
25・・・ 吸引口
26・・・ 給水口
27・・・ (吸引口に接続された)継手
28・・・ (給水口に接続された)継手
30・・・ 排水機構
31・・・ エアー供給ポート
32・・・ 真空エジェクタ
33・・・ 上流側排水配管
34・・・ 下流側排水配管
C ・・・ 隙間
S ・・・ 封止水
Claims (7)
- チャンバー内でウェハを研磨加工し、研磨加工後に前記チャンバー内に洗浄液を散布するウェハ研削装置において、
前記チャンバーから前記ウェハを取り出す搬出口の上部に配置されて、前記搬出口上部を流下する洗浄液を吸水する吸水部材と、
前記吸水部材の少なくとも下端部に吸水された前記洗浄液を負圧で吸引して外部に排水する排水機構と、
を備えていることを特徴とするウェハ研削装置。 - 前記ウェハを載置して前記チャンバー内を通過するターンテーブルと前記吸水部材との隙間は、ウェハ研磨時に封止水で封止され、
前記排水機構は、前記隙間を封止する封止水を外部に排水することを特徴とする請求項1記載のウェハ研削装置。 - 前記ウェハが前記吸水部材の下方を通過した後に、前記ウェハを載置して前記チャンバー内を通過するターンテーブルと前記吸水部材との隙間を封止する封止水を吸水部材に給水する給水機構を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のウェハ研削装置。
- 前記吸水部材は、平面視で前記ウェハの通過領域を横断して延設されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項記載のウェハ研削装置。
- 前記吸水部材は、多孔質吸水部材であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項記載のウェハ研削装置。
- 前記多孔質吸水部材は、PVAスポンジであることを特徴とする請求項5記載のウェハ研削装置。
- 前記吸水部材は、基材を介して前記チャンバーの壁面に取り付けられ、
前記排水機構は、前記吸水部材に吸水された洗浄水を負圧で吸引する真空エジェクタと、該真空エジェクタと前記基材に穿設され前記吸水部材の裏面に対向する吸水口とを接続する吸水配管と、を備えていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項記載のウェハ研削装置。
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JP2014244650A JP6353774B2 (ja) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | ウェハ研削装置 |
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2014
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