KR20160116124A - 표시 장치의 어레이 시험 장치 및 시험 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 트랜지스터 표시판의 어레이 테스트 장치와 그 테스트 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 어레이 테스트 방법은 복수의 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제1 신호를 복수의 프로브 핀에 인가하는 단계, 상기 프로브 핀에서 방출되는 제1 출력 신호를 계측하는 단계, 상기 제1 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 단계, 박막 트랜지스터 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 제2 신호를 상기 검정된 프로브 핀에 인가하는 단계 그리고 상기 프로브 핀에서 방출되는 제2 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터의 정상 동작 여부를 판단하는 단계를 포함한다.

Description

표시 장치의 어레이 시험 장치 및 시험 방법{ARRAY TEST DEVICE AND ARRAY TEST METHOD FOR DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치의 어레이 시험 장치 및 시험 방법에 대한 것이다.
현재 널리 사용되는 표시 장치로서 액정 표시 장치(liquid crystal display), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 전기 영동 표시 장치(electrophoretic display) 등이 있다.
표시 장치는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT) 및 화소 전극이 형성된 박막 트랜지스터 표시판을 포함한다.
표시 장치의 제조 공정 중에 박막 트랜지스터 및 화소 전극이 형성된 박막 트랜지스터 표시판에 구비되는 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.
박막 트랜지스터 표시판의 검사를 위하여, 복수의 프로브 핀(probe pin)을 가지는 프로브모듈을 구비한 어레이 테스트 장치가 이용된다. 이러한 어레이 테스트 장치는 복수의 프로브 핀을 검사 대상이 되는 박막 트랜지스터 표시판에 배열된 복수의 패드에 대응되도록 위치시키고, 복수의 프로브 핀을 복수의 패드에 가압한 후, 복수의 프로브 핀을 통하여 복수의 패드에 전기신호를 인가하는 과정을 포함하여 진행된다.
박막 트랜지스터 표시판의 복수의 패드의 위치, 배열 형태, 즉, 복수의 패드의 개수 및 패드 사이의 간격은 박막 트랜지스터 표시판의 종류에 따라 서로 다르다. 따라서 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 여러 종류의 박막 트랜지스터 표시판을 검사하기 위해서는, 각 박막 트랜지스터 표시판의 복수의 패드의 위치 및 배열 형태에 대응되는 프로브 핀이 구비된 프로브 모듈로 교체하는 작업을 수행하여야 한다.
이와 같이 일반적인 어레이 테스트 장치는, 여러 종류의 박막 트랜지스터 표시판을 검사하기 위하여 복수의 프로브 핀의 위치 및 배열 형태가 서로 다른 프로브 모듈을 교체하는 작업을 수행해야 하기 때문에 공정의 효율성 및 비용의 측면에서 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 복수의 패드의 위치, 배열 형태가 다른 여러 종류의 박막 트랜지스터 표시판에 대한 검사를 효율적으로 수행하고, 비용을 저감할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하고자 한다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 어레이 테스트 방법은 복수의 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제1 신호를 복수의 프로브 핀에 인가하는 단계, 상기 프로브 핀에서 방출되는 제1 출력 신호를 계측하는 단계, 상기 제1 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 단계, 박막 트랜지스터 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 제2 신호를 상기 검정된 프로브 핀에 인가하는 단계 그리고 상기 프로브 핀에서 방출되는 제2 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터의 정상 동작 여부를 판단하는 단계를 포함한다.
상기 제1 신호를 인가하는 단계 이전에 프로브 핀에 인가하는 전기신호를 초기화 하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 신호를 인가하는 단계는 제1 신호를 복수의 프로브 핀에 순차적으로 인가할 수 있다.
상기 제1 신호를 인가하는 단계는 제1 신호를 복수의 프로브 핀 중 소정의 프로브 핀에 대하여 인가할 수 있다.
상기 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 단계는 미리 설정된 기준 전압과 상기 제1 출력신호를 비교함으로써 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정할 수 있다.
상기 제1 출력신호가 상기 기준전압보다 크거나 같은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀으로 검정하고, 상기 제1 출력신호가 상기 기준전압보다 작은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하지 않는 프로브 핀으로 검정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 어레이 테스트 장치는 다양한 형태의 패드와 접촉하여 상기 패드의 불량 여부를 판단하는 복수의 프로브 핀, 상기 프로브 핀에, 복수의 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제1 신호를 인가하는 신호인가부, 상기 제1 신호에 대응하여 상기 프로브 핀에 흐르는 제1 출력신호를 계측하는 신호해석부, 그리고 상기 신호해석부에서 계측한 제1 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 제어부를 포함한다.
상기 신호인가부는 상기 제어부에서 검정된 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀에 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 제2 신호를 인가할 수 있다.
상기 신호해석부는 상기 제2 신호에 대응하여 상기 프로브 핀에 흐르는 제2 출력신호를 계측할 수 있다.
상기 제어부는 상기 제2 출력신호로부터 해석된 결과값을 이용하여 박막 트랜지스터의 정상 상태 여부를 판정할 수 있다.
상기 신호인가부는 상기 제1 신호를 상기 복수의 프로브 핀에 순차적으로 인가할 수 있다.
상기 신호인가부는 상기 제1 신호를 복수의 프로브 핀 중 소정의 프로브 핀에 대하여 인가할 수 있다.
상기 제어부는 미리 설정된 기준 전압과 상기 제1 출력신호를 비교함으로써, 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정할 수 있다.
상기 제어부는 제1 출력신호가 상기 기준전압보다 크거나 같은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀으로 검정하고, 상기 제1 출력신호가 상기 기준전압보다 작은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하지 않는 프로브 핀으로 검정할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 어레이 검사 장치는, 박막 트랜지스터 표시판의 종류에 따라 프로브 모듈을 교체하지 않고, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 패드의 크기, 위치 또는 배열 형태가 다른 여러 종류의 박막 트랜지스터 표시판에 대한 검사를 수행할 수 있어, 공정의 효율성을 향상시키고, 비용을 저감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 어레이 테스트 방법을 설명하기 위한 개략도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 도 1의 어레이 테스트 과정을 설명하기 위한 흐름도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 3의 프로브 검출 과정을 설명하기 위한 어레이 테스트 장치의 개략도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 개략도.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시 예를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 어레이 시험 장치 및 시험 방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시 장치의 어레이 시험 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
먼저 기판 상에 화소 회로 어레이를 형성하는 어레이 공정(S1)을 실시한다. 화소 회로 어레이는 2 이상의 트랜지스터와 하나 이상의 커패시터로 구성될 수 있으나, 이에 특별히 제한되는 것은 아니다. 다만, 어레이 공정(S1)시 최상면에는 커패시터의 전극의 일부가 노출되도록 형성된다. 이어서, 어레이 테스트(S2)를 실시한다. 어레이 테스트(S2)에서 본 발명의 실시 예에 따라 트랜지스터의 정상 동작 여부를 시험한다. 본 발명의 실시 예에 따른 구체적인 트랜지스터의 정상 동작 여부에 대한 테스트 과정은 이하 도 3에서 후술하기로 한다.
어레이 테스트(S2)에서 불량품이라고 판단되는 화소 어레이는 수리(repair) 공정(S21)을 거치거나 수리 불능일 경우에는 다음 공정으로 이행되지 않고 종료 처리된다. 양품이라고 판단되거나 수리가 완료된 화소 어레이에 대해서는 액정 표시 장치(liquid crystal display), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 전기 영동 표시 장치(electrophoretic display)중 어느 하나를 완성하는 패널(셀) 공정(S3)을 거쳐 패널 테스트(S4)로 이행한다. 마찬가지로 패널 테스트(S4)에서 불량품이라고 판단되는 패널은 수리 공정(S41)을 거치거나 수리 불능일 경우에는 다음 공정으로 이행되지 않고 종료 처리된다. 양품이라고 판단되거나 수리가 완료된 패널에 대해서는 모듈 공정(S5)을 거쳐 최종 테스트(S6)를 실시하여 최종 완성품과 불량을 선별한다. 최종 테스트(S6)에서 불량품이라고 판단되는 모듈은 수리 공정(S61)을 거치거나 수리 불능일 경우에는 종료 처리된다.
도 1에서 알 수 있듯이 어레이 공정(S1) 후 트랜지스터의 동작 불량을 테스트하기 때문에 화소 회로 어레이의 불량을 미리 수리하여 제조 수율을 높일 수 있다. 또한, 수리가 불가능한 화소 회로 어레이 불량품에 대해 패널(셀) 공정 및 모듈 공정 등을 수행하지 않음으로써 제조 시간 및 비용 등을 낭비하지 않을 수 있다.
그러면, 도 2를 참조하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 방법을 적용한 어레이 테스트 장치의 개략도이다.
도 2를 참조하면 본 실시예에 따른 어레이 시험 장치는 박막 트랜지스터 패드와 접촉하여 불량 여부를 판단하는 복수의 미세 프로브 핀(3) 그리고 프로브 핀에 검출 신호를 인가하고, 이를 토대로 박막 트랜지스터 패드와 대응하는 프로브 핀을 검출함으로써, 패드와 대응하는 프로브 핀에만 전기 신호를 인가하여 화소 회로의 트랜지스터 동작 상태를 측정하는 제어장치(2)로 구성될 수 있다.
본 실시예에 따른 어레이 테스트 장치는 전극의 위치와 배열 형태가 다른 다양한 종류의 박막 트랜지스터 표시판을 검사하기 위하여 미세한 프로브 핀(3)을 포함할 수 있다. 프로브 핀(3)들의 간격은 동일할 수 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한하는 것은 아니고, 서로 다른 간격을 이루어 구성될 수도 있다.
제어장치(2)는 신호인가부(21), 제어부(23) 그리고 신호해석부(25)로 구성될 수 있다.
신호인가부(21)는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 방법에서 어레이 기판(1)에 대하여 제1 신호를 인가한다. 제1 신호는 복수의 프로브 핀(3) 중 박막 트랜지스터 패드의 배열 형태에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 신호이다. 본 발명에서 제1 신호는 직류 신호 또는 구형파, 정현파 등의 교류 신호일 수 있으며, 그 크기와 주기 또한 다양하게 변동될 수 있다.
또한 신호인가부(21)는 어레이 기판(1)에 대하여 제2 신호를 인가한다. 제2 신호는 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 테스트 신호이다. 실질적으로 화소 어레이 기판을 직접 검사하는 공정에서 사용하는 제2 신호는 전자 빔 신호, 직류 신호 또는 구형파, 정현파 같은 교류 신호일 수 있으며, 그 크기와 주기 또한 다양하게 변동될 수 있다.
이때 각 시기별로 인가되는 신호의 크기와 파형은 제어부(23)에서 결정한다. 신호인가부(21)에서 어레이 기판(1)에 대하여 1차적으로 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하기 위하여 인가하는 제1 신호와, 실제 어레이 기판의 화소 회로의 상태를 판정하기 위하여 2차적으로 조사하는 제2 신호는 상이할 수 있다.
제어부(23)는 박막 트랜지스터 패드와 대응하는 프로브 핀을 검정 하기 위한 공정과 실제 어레이 기판 검사 공정에서 제어 장치를 구성하는 구성부 전반의 기능을 제어한다.
즉, 제어부(23)는 제1 신호에 대응한 제1 출력신호로부터 해석된 결과값을 이용하여 제2 신호를 인가할 프로브 핀을 결정하고, 제2 신호에 대응한 제2 출력신호로부터 해석된 결과값을 이용하여 화소 회로의 정상 상태 여부를 판정한다.
또한 제어부(23)는 어레이 시험 장치의 구동부의 동작을 제어하여 어레이 기판 위에서 프로브 핀 검정 공정 및 화소 회로 검사 공정이 수행될 수 있도록 조정할 수 있다.
경우에 따라서 화소 회로의 실제 검사 공정 전에 수행되는 프로브 핀 검정 공정은 모든 화소 회로에 대해서 수행하지 않고, 선택된 화소 회로에 대해서 수행할 수 있다.
신호해석부(25)는 제1 신호와 제2 신호를 조사한 후 프로브 핀(3)을 통해 취출되는 제1 출력신호와 제2 출력신호를 계측 한다. 신호해석부(25)에서 계측된 제1 출력신호와 제2 출력신호는 제어부(23)에 전달되고, 제어부(23)는 상기 제1 출력신호를 이용하여 제2 신호를 인가하는 프로브 핀을 조정하거나, 제2 출력신호를 이용하여 화소 회로에서 동작 상태가 불량한 트랜지스터의 존부를 판정할 수 있다.
즉, 본 실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 패드의 위치, 배열 형태가 다른 여러 종류의 박막 트랜지스터 표시판의 검사를 위한 미세한 복수의 프로브 핀과, 박막 트랜지스터 표시판 패드에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제어장치를 포함함으로써, 검사를 효율적으로 수행하고, 비용을 저감할 수 있다.
그러면 앞에서 설명한 도면들과 함께, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 어레이 테스트 과정에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 어레이 테스트 과정을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 3의 프로브 검출 과정을 설명하기 위한 어레이 테스트 장치의 개략도이다.
이하에서는 도 3 내지 도 4를 참고하여 앞에서 설명한 어레이 테스트 과정을 수행하는 일 실시예에 대해 설명하기로 한다. 하기에 설명하는 실시예는 검사 방법의 일실시예로 다른 형태로 변형 실시 가능하다.
화소 어레이 공정(S1)이 진행된 후 투명한 절연성 기판 위에 화소 구동 회로를 구성하는 트랜지스터들과 커패시터들 및 박막 트랜지스터 표시판의 전극이 화소 단위로 구분되어 실장되어 있다.
이러한 화소 어레이를 어레이 시험 장치에 로딩한 후, 먼저 복수의 프로브 핀에 인가하는 전기 신호를 초기화 한다(S201).
다음, 패드의 배열 형태에 대응하는 프로브 핀을 검출한다(S202). 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는 다양한 형태의 박막 트랜지스터 패드의 불량을 검출하기 위하여 복수의 미세 프로브 핀을 포함하고 있다.
도 4를 참고하면, 복수의 미세 프로브 핀 중 일부(P1 내지 P4, P7 내지 P9)는 어느 하나의 박막 트랜지스터 패드(101)와 대응하고, 다른 일부(P5, P6, P10, P11)는 박막 트랜지스터 패드와 대응하지 않을 수 있다. 따라서, 복수의 미세 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드와 대응하는 프로브 핀(P1 내지 P4, P7 내지 P9)을 검출하는 과정이 필요하다.
S202 단계는, 복수의 프로브 핀에 제1 신호를 순차적으로 인가하는 단계(S212), 제1 신호에 대응하여 프로브 핀에서 발생하는 제1 출력신호를 계측 하는 단계(S222) 그리고 계측된 제1 출력신호로 패드의 배열 형태에 대응하는 프로브 핀을 추출하는 단계(S232)를 포함할 수 있다.
S212 단계는 복수의 프로브 핀(3) 중 박막 트랜지스터 패드(101)의 배열 형태에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제1 신호를 프로브 핀(3)에 순차적으로 인가하는 단계이다. 본 발명에서 제1 신호는 직류 신호 또는 구형파, 정현파 등의 교류 신호일 수 있으며, 그 크기와 주기 또한 다양하게 변동될 수 있다.
제1 신호에 대응하여 프로브 핀(3)에 흐르는 제1 출력신호를 계측한다(S222). 어느 하나의 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 미세 프로브 핀(P1 내지 P4, P7 내지 P9)은 하나의 패드를 통하여 상호간 전기적으로 연결이 되어 있다. 따라서 프로브 핀에 제1 신호가 인가되면 패드를 통하여 상호 연결된 프로브 핀에는 일정 기준 이상의 제1 출력신호가 흐를 수 있고, 패드를 통하여 연결되지 않은 프로브 핀에는 일정 기준 미만의 제1 출력신호가 흐르게 된다. 본 단계에서는 프로브 핀의 제1 출력신호를 계측하는 단계이다.
계측된 제1 출력신호를 이용하여 박막 트랜지스터 패드(101)에 대응하는 미세 프로브 핀을 추출한다(S232). 제1 출력신호는 화소 어레이 기판의 공정 과정, 재료의 특성, 프로브의 크기와 재료, 그리고 검출 신호의 크기 등에 따라 예측이 가능할 수 있다.
본 실시예에서는 제1 출력신호를 미리 저장된 기준 전압과 비교함으로써, 박막 트랜지스터 패드(101)에 대응하는 미세 프로브 핀을 추출한다. 즉, 제1 출력신호가 기준 전압 이상인 경우에는 제1 신호가 인가된 프로브 핀과 하나의 패드와 연결된 프로브 핀으로 판정을 할 수 있다. 그리고 출력 신호가 기준 전압 미만인 경우에는 제1 신호가 인가된 프로브 핀과 연결되지 않은 프로브 핀으로 판정을 할 수 있다.
도 4를 참고하면 제1 프로브 핀(P1)에 제1 신호가 인가되면 박막 트랜지스터 패드(101)를 통하여 상호 연결된 프로브 핀인 제2 프로브 핀(P2) 내지 제4 프로브 핀(P4)에는 일정 기준 이상의 제1 출력신호가 흐르게 된다. 그러나 제1 프로브 핀(P1)과 상호 연결되지 않은 제5 프로브 핀(P5) 내지 제11 프로브 핀(P11)에는 일정 기준 미만의 제1 출력신호가 흐르게 된다.
본 실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 신호해석부(25)는 제1 프로브 핀(P1)에 제1 신호가 인가되었을 때, 제1 프로브 핀(P1)을 제외한 나머지 프로브 핀(P2 내지 P11)에 흐르는 제1 출력신호를 검출함으로써, 제어부(23)를 통하여 제1 프로브 핀(P1) 내지 제4 프로브 핀(P4)을 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀으로 검정할 수 있다.
제5 프로브 핀(P5)에 제1 신호가 인가되면 박막 트랜시스터 패드(101)를 통하여 상호 연결된 프로브 핀이 없으므로 제1 프로브 핀(P1) 내지 제11 프로브 핀(P11)에는 일정 기준 미만의 제1 출력신호가 검출된다.
신호해석부(25)는 제5 프로브 핀(P5)에 제1 신호를 인가했을 때 제5 프로프 핀(P5)을 제외한 나머지 프로브 핀(P1 내지 P4, P6 내지 P11)에 흐르는 제1 출력신호를 검출함으로써, 제어부(23)를 통하여 제5 프로브 핀(P5)을 박막 트랜지스터 패드에 대응하지 않는 프로브 핀으로 검정할 수 있다.
본 실시예에서는 모든 프로브 핀(P1 내지 P11)에 순차적으로 제1 신호를 인가하고, 이에 대응하여 각 프로브 핀(P1 내지 P11)에 흐르는 제1 출력신호를 계측하는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이에 한하는 것은 아니다.
즉, 본 발명에 따른 어레이 테스트 방법은, 일부 프로브 핀에 동시에 서로 다른 크기와 주기를 갖는 제1 신호를 인가할 수도 있고, 선택된 프로브 핀에 대해서만 수행할 수 있다.
그 다음, S202 단계에서 검정된 프로브 핀을 통하여 제2 신호를 인가한다(S203). 여기서 인가되는 제2 신호는 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 테스트 신호이다.
마지막으로 제2 신호에 대응하여 발생하는 제2 출력신호를 검출하여 박막 트랜지스터 기판에서의 단선, 단락 및 화소 결함 등을 분석한다(S204).
이상과 같은 본 실시예에 따른 어레이 테스트 과정은, 복수의 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드의 배열 형태에 대응하는 프로브 핀을 검출하고, 검출된 프로브 핀으로 전기신호를 선택적으로 인가할 수 있다.
이에 따라 복수의 패드의 개수, 간격 또는 배열 방향 등이 다른 여러 종류의 패널이 하나의 어레이 테스트 장치로 로딩 되는 경우에도, 프로브 모듈을 교체할 필요 없어, 검사를 효율적으로 수행할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 개략도이다.
도 5를 참조하면, 어레이 테스트 장치(500)는 복수의 프로브 핀(3)이 일렬로 배열되어, 고정축(520)에 고정되어 있다. 또한 복수의 프로브 핀(3) 각각은 구동부(530)에 연결되어, 제1 신호 및 제2 신호 인가와 제1 출력신호 및 제2 출력신호의 검출 동작을 수행한다.
즉, 기판(1) 이 제1 방향(540)으로 이동하며, 구동부(530)는 하나의 라인 또는 하나의 열마다 각각 포함된 화소 회로의 전극에 제1 신호를 인가하고, 제1 출력신호를 계측하여 화소 회로에 대응하는 프로브 핀을 검정한다.
그런 다음, 화소 회로에 대응하는 프로브 핀에 제2 신호를 인가하고, 제2 출력신호를 계측하여 화소 회로의 불량 여부를 검사할 수 있다.
복수의 프로브 핀이 일렬로 배열된 고정축(520)은 다수 존재하여 테스트 속도를 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 기판(1)이 제1 방향(540)으로 이동하는 대신 고정축(520)이 제2 방향(550)으로 이동하며 어레이 기판을 테스트할 수도 있다.
이상 본 발명의 구체적 실시형태와 관련하여 본 발명을 설명하였으나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 당업자는 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 설명된 실시형태를 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 범위에 속한다. 또한, 명세서에서 설명한 각 구성요소의 물질은 당업자가 공지된 다양한 물질로부터 용이하게 선택하여 대체할 수 있다. 또한 당업자는 본 명세서에서 설명된 구성요소 중 일부를 성능의 열화 없이 생략하거나 성능을 개선하기 위해 구성요소를 추가할 수 있다. 뿐만 아니라, 당업자는 공정 환경이나 장비에 따라 본 명세서에서 설명한 방법 단계의 순서를 변경할 수도 있다. 따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시형태가 아니라 특허청구범위 및 그 균등물에 의해 결정되어야 한다.
1 : 어레이 기판 2 : 제어장치
3: 프로브 핀 10 : 화소부
21: 신호인가부 23: 제어부
25: 신호해석부 101: 박막 트랜지스터 표시판 패드
500 : 어레이 테스트 장치 520 : 고정축
530: 구동부 540: 제1 방향
550: 제2 방향

Claims (14)

  1. 다양한 형태의 패드와 접촉하여 상기 패드의 불량 여부를 판단하는 복수의 프로브 핀을 포함하는 어레이 테스트 방법에 있어서,
    복수의 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제1 신호를 복수의 프로브 핀에 인가하는 단계,
    상기 프로브 핀에서 방출되는 제1 출력 신호를 계측하는 단계,
    상기 제1 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 단계,
    박막 트랜지스터 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 제2 신호를 상기 검정된 프로브 핀에 인가하는 단계 그리고
    상기 프로브 핀에서 방출되는 제2 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터의 정상 동작 여부를 판단하는 단계를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판의 어레이 테스트 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 신호를 인가하는 단계 이전에 프로브 핀에 인가하는 전기신호를 초기화 하는 단계를 더 포함하는 어레이 테스트 방법.
  3. 제1항에서,
    상기 제1 신호를 인가하는 단계는,
    제1 신호를 복수의 프로브 핀에 순차적으로 인가하는 어레이 테스트 방법.
  4. 제1항에서,
    상기 제1 신호를 인가하는 단계는,
    제1 신호를 복수의 프로브 핀 중 소정의 프로브 핀에 대하여 인가하는 어레이 테스트 방법.
  5. 제1항에서,
    상기 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 단계는, 미리 설정된 기준 전압과 상기 제1 출력신호를 비교함으로써, 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 어레이 테스트 방법.
  6. 제5항에서,
    상기 제1 출력신호가 상기 기준 전압보다 크거나 같은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀으로 검정하고, 상기 제1 출력신호가 상기 기준 전압보다 작은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하지 않는 프로브 핀으로 검정하는 어레이 테스트 방법.
  7. 다양한 형태의 패드와 접촉하여 상기 패드의 불량 여부를 판단하는 복수의 프로브 핀,
    상기 프로브 핀에, 복수의 프로브 핀 중 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검출하기 위한 제1 신호를 인가하는 신호인가부,
    상기 제1 신호에 대응하여 상기 프로브 핀에 흐르는 제1 출력신호를 계측하는 신호해석부, 그리고
    상기 신호해석부에서 계측한 제1 출력신호에 근거하여 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 제어부를 포함하는 어레이 테스트 장치.
  8. 제7항에서,
    상기 신호인가부는,
    상기 제어부에서 검정된 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀에 패드의 전기적 결함 여부를 검사하기 위한 제2 신호를 인가하는 어레이 테스트 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 신호해석부는 상기 제2 신호에 대응하여 상기 프로브 핀에 흐르는 제2 출력신호를 계측하는 어레이 테스트 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 제어부는, 상기 제2 출력신호로부터 해석된 결과값을 이용하여 박막 트랜지스터의 정상 상태 여부를 판정하는 어레이 테스트 장치.
  11. 제7항에서,
    상기 신호인가부는 상기 제1 신호를 상기 복수의 프로브 핀에 순차적으로 인가하는 어레이 테스트 장치.
  12. 제7항에서,
    상기 신호인가부는 상기 제1 신호를 복수의 프로브 핀 중 소정의 프로브 핀에 대하여 인가하는 어레이 테스트 장치.
  13. 제7항에서,
    상기 제어부는 미리 설정된 기준 전압과 상기 제1 출력신호를 비교함으로써, 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀을 검정하는 어레이 테스트 장치.
  14. 제13항에서,
    상기 제어부는 제1 출력신호가 상기 기준 전압보다 크거나 같은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하는 프로브 핀으로 검정하고, 상기 제1 출력신호가 상기 기준 전압보다 작은 경우에는 박막 트랜지스터 패드에 대응하지 않는 프로브 핀으로 검정하는 어레이 테스트 장치.
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