JP6169828B2 - 電気回路の検査システム及び検出方法 - Google Patents
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Description
Claims (19)
- 光源と、
前記光源からの光を受信するモジュレータであって、検査対象の電気回路の様々な位置における電界に反応し、電界のパターンを定める前記モジュレータであって、前記モジュレータは前記光源からの光を前記電界のパターンに依存した光にして反射することで前記電界のパターンに対応した光学的なモジュレータ出力パターンを出力するモジュレータと、
前記電気回路に電圧を供給する第1電圧供給源と、
前記モジュレータに電圧を供給する第2電圧供給源と、
前記光学的なモジュレータ出力パターンを受信する光受信手段と、
前記光受信手段によって前記光学的なモジュレータ出力パターンが受信されることにより取得される複数の光強度を用いて前記電気回路上の複数の欠陥位置を検出可能な検査を行う欠陥検出サブシステムと、
前記欠陥検出サブシステムによる前記検査を行っている時間以外であって、前記欠陥検出サブシステムにおいて前記光受信手段が前記光学的なモジュレータ出力パターンを受信する前または後において、前記欠陥検出サブシステムのキャリブレーションを行うと同時に、前記第1電圧供給源によって時間変化する電圧を前記電気回路に印加する付加サブシステムとを有し、
前記付加サブシステムは、前記電気回路上における複数の欠陥位置を検出し、
前記付加サブシステムによって検出される前記電気回路上の前記複数の欠陥位置は、前記時間変化する電圧に対して欠陥でない位置とは異なった応答をし、
前記付加サブシステムによって検出される前記複数の欠陥位置は、当該異なった応答に起因した異なる複数の光強度として前記光受信手段により検出され、
前記キャリブレーションは、前記第2電圧供給源によって印加された電圧の変動と、前記光受信手段によって受信された光強度の変化との関係を取得するためのものであり、
前記欠陥検出サブシステムは、前記光受信手段が受け取った複数の光強度と、前記キャリブレーションによって取得された前記関係とに基づいて前記複数の欠陥位置を決定することを特徴とする電気回路検査システム。 - 前記付加サブシステムは、前記電気回路に関して定義された座標システムを用いて前記複数の欠陥位置の登録を行うように動作することを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査システム。
- キャリブレーションにおいて、前記付加サブシステムは、前記電気回路の前記様々な潜在的欠陥位置に前記第1電圧供給源によって時間変化する電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査システム。
- 前記欠陥検出サブシステムはカメラを有し、前記電気回路の前記様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出するように動作することを特徴とする請求項3記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記カメラからの複数の電圧出力と前記モジュレータ上の前記異なる位置における検出光強度との関係を確立するように動作することを特徴とする請求項4に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記第1電圧供給源を用いて前記電気回路に前記時間変化する電圧を印加した時に、前記電気回路の前記様々な異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、前記電気回路上の前記様々な異なる潜在的欠陥位置から前記複数の欠陥位置を検出することを特徴とする請求項3に記載の電気回路検査システム。
- 前記光受信手段はカメラを有し、前記電気回路の前記様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出するように動作することを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記カメラからの複数の電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するように動作することを特徴とする請求項7に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記第1電圧供給源によって前記電気回路に前記時間変化する電圧を印加した時に、前記電気回路の前記様々な異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、前記電気回路上の前記様々な異なる潜在的欠陥位置から前記複数の欠陥位置を検出することを特徴とする請求項7に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記第1電圧供給源によって前記電気回路に前記時間変化する電圧を印加した時に、前記電気回路の前記様々な異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、前記電気回路上の前記様々な異なる潜在的欠陥位置から前記複数の欠陥位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査システム。
- 光源と、
前記光源からの光を受信するモジュレータであって、検査対象の電気回路の様々な位置における電界に反応し、電界のパターンを定める前記モジュレータであって、前記モジュレータは前記光源からの光を前記電界のパターンに依存した光にして反射することで前記電界のパターンに対応した光学的なモジュレータ出力パターンを出力するモジュレータと、
前記電気回路に電圧を供給する第1電圧供給源と、
前記モジュレータに電圧を供給する第2電圧供給源と、
前記光学的なモジュレータ出力パターンを受信する光受信手段と、を用いた電気回路検査方法であって、前記検査方法は、
キャリブレーションステップと、
前記キャリブレーションステップと同時に行われる第1検査ステップと、
第2検査ステップとを有し、
前記第2検査ステップは、前記キャリブレーションステップと前記第1検査ステップとが行われる前または後に行われ前記光受信手段に前記光学的なモジュレータ出力パターンを受信させるステップを有し、
前記第1検査ステップと前記キャリブレーションステップとが行われるときに、前記第1電圧供給源によって時間変化する電圧が前記電気回路に印加され、前記第2電圧供給源によって電圧が前記モジュレータに印加され、
前記第1検査ステップは、前記光受信手段が受信した光に基づいて前記電気回路における潜在的欠陥位置から複数の欠陥位置を検出し、前記キャリブレーションステップは、前記光受信手段が受信した光に基づいて前記電気回路上の前記様々な位置における複数の局所的固有ゲインを取得し、
前記複数の局所的固有ゲインにおける各局所的固有ゲインは、前記第2電圧供給源によって印加された電圧の変動と、前記光受信手段によって受信された光強度の変化との関係を示し、
前記第2検査ステップは、さらに、前記光受信手段が受け取った複数の光強度と、前記キャリブレーションステップで取得された前記複数の局所的固有ゲインとに基づいて複数の欠陥位置を決定するステップを有することを特徴とする電気回路検査方法。 - 前記キャリブレーションステップにおいて、前記電気回路の前記様々な潜在的欠陥位置に前記第1電圧供給源を用いて前記時間変化する電圧を印加することを特徴とする請求項11に記載の電気回路検査方法。
- 前記電気回路に関して定義された座標システムを用いて前記第1検査ステップまたは前記第2検査ステップで検出された前記複数の欠陥位置の登録を行うことを特徴とする請求項11または12に記載の電気回路検査方法。
- 前記第2検査ステップでは、前記電気回路の前記様々な異なる前記潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記光受信手段に設けられたカメラからの電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するステップを更に有することを特徴とする請求項14に記載の電気回路検査方法。
- 前記第1検査ステップでは、前記モジュレータに前記変化する電圧を印加した時に、前記電気回路の前記様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、前記電気回路上の異なる潜在的欠陥位置から前記複数の欠陥位置を検出することを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記キャリブレーションステップは、前記電気回路の前記様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出するステップを有することを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記光受信手段に設けられたカメラからの電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するステップを更に有することを特徴とする請求項17に記載の電気回路検査方法。
- 前記第1検査ステップは、前記モジュレータに電圧を印加した時に、前記電気回路の前記異なる位置に対応した前記モジュレータ上の前記異なる位置における光強度を検出することにより、前記電気回路上の異なる前記潜在的欠陥位置における前記複数の欠陥位置を検出するステップを有することを特徴とする請求項17または18に記載の電気回路の検査方法。
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