JP2013029509A - 電気回路の検査システム及び検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気回路を検査するためのシステムであって、欠陥検出サブシステムと付加的サブシステムとを有し、付加サブシステムは時間軸上で変化する電圧を被検査電気回路に印加し、検査を行っている期間以外の期間で動作し、電気回路上の様々な異なる潜在的欠陥位置における電気的状態の違いを検出するように動作する。
【選択図】図1
Description
Claims (26)
- 欠陥検出サブシステムと、
時間軸上で変化する電圧を検査対象の電気回路に印加し、前記電気回路上の様々な潜在的欠陥位置における電気的状態の違いを検出するように検査時以外の時間帯で動作する付加サブシステムとを有することを特徴とする電気回路検査システム。 - 前記付加サブシステムは、前記電気回路の欠陥位置を示すように動作することを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記電気回路に関して定義された座標システムを用いて欠陥位置の登録を行うように動作することを特徴とする請求項1若しくは2に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記電気回路の検査結果のコントラストを改善するのに有用な出力を提供するように動作することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気回路検査システム。
- キャリブレーションモードと欠陥検出モードとを有するモジュレータを更に有し、前記モジュレータは、前記電気回路に前記電圧が印加された時に前記欠陥検出モードで動作することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電気回路検査システム。
- 前記キャリブレーションモードにおけるキャリブレーション動作中に前記電気回路の複数の潜在的欠陥位置に電圧を印加することを特徴とする請求項5に記載の電気回路検査システム。
- 前記欠陥検出サブシステムはカメラを有し、前記電気回路の様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出するように動作することを特徴とする請求項6記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記カメラからの複数の電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するように動作することを特徴とする請求項7に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記モジュレータに電圧を印加した時の前記電気回路の様々な異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、更に当該モジュレータ上の異なる位置における検出光強度を比較することにより、前記気回路上の様々な異なる潜在的欠陥位置における欠陥位置を示すことを特徴とする請求項6に記載の電気回路検査システム。
- 前記欠陥検出サブシステムはカメラを有し、前記電気回路の様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出するように動作することを特徴とする請求項6記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記カメラからの複数の電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するように動作することを特徴とする請求項10に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記モジュレータに電圧を印加した時の前記電気回路の様々な異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、更に当該モジュレータ上の異なる位置における検出光強度を比較することにより、前記気回路上の様々な異なる潜在的欠陥位置における欠陥位置を示すことを特徴とする請求項10に記載の電気回路検査システム。
- 前記付加サブシステムは、前記モジュレータに電圧を印加した時の前記電気回路の様々な異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、更に当該モジュレータ上の異なる位置における検出光強度を比較することにより、前記気回路上の様々な異なる潜在的欠陥位置における欠陥位置を示すことを特徴とする請求項5に記載の電気回路検査システム。
- 前記キャリブレーションモードにおけるキャリブレーション動作中に前記電気回路の複数の潜在的欠陥位置に電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査システム。
- キャリブレーションステップと、
検査ステップとを有し、
前記キャリブレーションステップでは、
時間軸上で変動する電圧を検査対象の電気回路に印加し、
前記電気回路上の様々な潜在的欠陥位置における電気的状態の違いを検出することを特徴とする電気回路検査方法。 - 前記検査ステップでは、所望の時間軸上で変動する電圧を前記電気回路に印加することを特徴とする請求項15に記載の電気回路検査方法。
- 前記キャリブレーションステップでは、前記電気回路の複数の位置に電圧を印加することを特徴とする請求項15若しくは16に記載の電気回路検査方法。
- 前記電気回路の欠陥位置を示すことを特徴とする請求項15乃至17のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記電気回路に関して定義された座標システムを用いて欠陥位置の登録を行うようことを特徴とする請求項15至18のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 相互に対比しやすい検査出力を提供することを特徴とする請求項15乃至18のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記検査ステップでは、前記電気回路の様々な異なる潜在的位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することを特徴とする請求項15乃至20のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記カメラからの電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するステップを更に有することを特徴とする請求項21に記載の電気回路検査方法。
- 前記キャリブレーションステップでは、前記モジュレータに電圧を印加した時の前記電気回路の異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、更に当該モジュレータ上の異なる位置における検出光強度を比較することにより、前記気回路上の異なる潜在的欠陥位置における可能性のある欠陥位置を示すことを特徴とする請求項15乃至21のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記キャリブレーションステップでは、前記電気回路の様々な異なる潜在的欠陥位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することを特徴とする請求項15乃至20のいずれか一項に記載の電気回路検査方法。
- 前記カメラからの電圧出力と前記モジュレータ上の異なる位置における検出光強度との関係を確立するステップを更に有することを特徴とする請求項24に記載の電気回路検査方法。
- 前記キャリブレーションステップでは、前記モジュレータに電圧を印加した時の前記電気回路の異なる位置に対応した前記モジュレータ上の異なる位置における光強度を検出することにより、更に当該モジュレータ上の異なる位置における検出光強度を比較することにより、前記気回路上の異なる潜在的欠陥位置における可能性のある欠陥位置を示すことを特徴とする請求項24若しくは25に記載の電気回路検査方法。
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