KR20160045544A - 검사용 소켓 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서, 제1절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제1절연성 시트에 결합된 복수의 제1도전부로 이루어진 제1시트형 커넥터; 상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및 상기 도전성 탄성부의 하측에 배치되는 제2절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트에 결합되며 상단이 각각의 도전성 탄성부에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부를 포함하는 제2시트형 커넥터를 포함하되, 각각의 도전성 탄성부는 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터에 의하여 상단 및 하단의 위치가 지지되고, 각각의 도전성 탄성부의 사이에는, 도전성 탄성부가 두께방향으로 가압되어 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간이 마련되어 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.

Description

검사용 소켓{Test socket}
본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 검사과정에서도 전기적 특성을 유지하면서 수명의 감소를 효과적으로 방지할 수 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.
일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 검사용 소켓이 사용된다.
이러한 검사용 소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 테스트장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 검사용 소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 이방 도전성 시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 이방 도전성 시트는 탄력성이 있는 실리콘 고무에 도전성 입자를 포함한 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있는 구조로서, 이방 도전성 시트 및 포고핀이 대부분의 검사용 소켓에 사용되고 있다.
이러한 검사용 소켓의 일례가 도 1에 도시되어 있다. 검사용 소켓(20)은 BGA(Ball Grid Array) 반도체소자(2)의 볼리드(ball lead, 4)가 접촉되는 영역에 형성된 도전성 실리콘부(8)와 상기 도전성 실리콘부(8)를 지지할 수 있도록 반도체소자(2)의 단자(4)가 접촉되지 않는 영역에 형성되어 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성된다. 이때 도전성 실리콘부(8)는 실리콘 고무 내에 서로 일정간격 이격된 도전성 입자들(8a)로 구성되어 있게 된다. 이러한 검사용 소켓(20)은 다수의 패드(10)가 마련되는 검사장치(9)에 장착되어 사용된다. 구체적으로는 검사장치(9)의 패드(10)에 각 도전성 실리콘부(8)가 접촉된 상태에서 검사용 소켓(20)이 상기 검사장치(9)에 탑재되어 사용된다.
검사용 소켓의 검사를 위하여 반도체 소자가 하강하여 상기 반도체 소자의 볼리드가 상기 도전성 실리콘부에 접촉한 후에, 상기 반도체 소자가 추가적으로 하강하게 되면 상기 도전성 실리콘부는 두께방향으로 압축되면서 전기적 도통상태를 이루게 된다. 이때 검사장치로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 상기 전기적 신호를 도전성 실리콘부를 거쳐서 반도체소자(2)측으로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 수행된다.
이러한 검사용 소켓은 수많은 반도체 소자와의 접촉과정에서 압축과 팽창을 반복하게 된다. 이와 같이 도전성 실리콘부가 반도체 소자의 접촉에 의하여 압축되는 경우 중앙이 불록해지면서 전체적으로 면방향으로 팽창되게 된다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같은 형상으로 도전성 실리콘부의 형상이 변형된다.
한편, 도전성 실리콘부에는 주변에 도전성 실리콘부를 지지하기 위한 절연 실리콘부가 마련되어 있게 되는데, 이러한 절연 실리콘부는 도전성 실리콘부에 밀착되어 배치되어 상기 도전성 실리콘부를 지지하는 기능을 수행하지만 도전성 실리콘부의 팽창을 억제하는 기능도 수행하게 된다. 즉, 절연 실리콘부가 도전성 실리콘부의 자유로운 팽창을 억제하는 기능을 수행하게 되는 것이다. 이와 같이 절연 실리콘부가 도전성 실리콘부의 자유로운 팽창을 억제하기 때문에, 도전성 실리콘부를 두께방향으로 가압하는데 많은 가압력이 필요로 하게 된다.
그러나, 검사용 소켓의 경우 소정의 압력하에서 원하는 전도성을 유지하게 되는데, 이는 반도체 소자를 검사용 소켓을 향하여 일정 압력으로 눌려주어야 함을 말한다. 반도체 소자에서 도전성 실리콘부의 수가 적은 경우에는 별 문제가 없으나, 최근 반도체 소자의 경향이 단자수가 증가되는 것인데 이와 같이 단자수가 증가되면 그에 맞춰 도전성 실리콘부의 수가 증가되어야 한다. 이와 같이 도전성 실리콘부의 수가 증가되면 검사용 소켓에서 원하는 전도성을 얻기 위해서는 큰 힘으로 검사용 소켓을 가압해야 하는 문제점이 있다. 그러나 반도체 소자를 가압하는 가압부재의 가압력은 과도하게 증가시킬 수 없는 바, 최근 다수의 단자를 가진 반도체 소자를 검사하기 위한 검사용 소켓에서는 전기적 검사를 효과적으로 수행하기 어렵다는 문제점이 있게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자가 증가하는 경우에도 전기적 접촉특성을 유지할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
제1절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제1절연성 시트에 결합된 복수의 제1도전부로 이루어진 제1시트형 커넥터;
상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및
상기 도전성 탄성부의 하측에 배치되는 제2절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트에 결합되며 상단이 상기 도전성 탄성부에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부를 포함하는 제2시트형 커넥터를 포함하되,
각각의 도전성 탄성부는 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터에 의하여 상단 및 하단의 위치가 지지되고,
각각의 도전성 탄성부의 주위에는, 도전성 탄성부가 두께방향으로 가압되어 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간이 형성될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서, 각각의 도전성 탄성부의 측면은 상단부터 하단까지 빈공간에 의하여 둘러싸일 수 있다.
상기 검사용 소켓에서, 각각의 도전성 탄성부의 측면에서 적어도 상단과 하단 사이의 중간영역은 빈공간에 의하여 둘러싸일 수 있다.
상기 검사용 소켓에서, 상기 제1절연성 시트는 합성수지소재로 이루어진 필름으로서, 제1절연성 시트에는 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,
상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1절연성 시트의 관통공은 상기 도전성 탄성부의 상단 직경보다 작아서, 상기 제1절연성 시트의 관통공 주변부가 상기 도전성 탄성부의 상단 가장자리에 지지될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1절연성 시트는, 절연성 탄성물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,
상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지되어 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1도전부는 도전성 금속소재로 이루어질 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1도전부는, 도전성 탄성부와 동일한 재료로 이루어질 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 도전성 탄성부는 상기 제1시트형 커넥터 및 상기 제2시트형 커넥터 중 적어도 어느 한 곳에 일체로 연결될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 도전성 탄성부의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무일 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1절연성 시트의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무일 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 도전성 탄성부를 구성하는 절연성 탄성물질과, 상기 제1절연성 시트를 구성하는 절연성 탄성물질은 서로 경도가 다를 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1절연성 시트는 다수의 공극을 가지는 메쉬로서,
상기 제1도전부는 상기 메쉬의 공극을 침투한 상태에서 두께방향으로 연장되어 있을 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터는 서로 동일 형태를 가질 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및
상기 도전성 탄성부를 사이에 두고 상측과 하측에 각각 배치되며 상기 도전성 탄성부의 상단과 하단에 각각 결합되어 상기 도전성 탄성부를 지지하고, 서로 대응되는 형상을 가지는 한 쌍의 시트형 커넥터를 포함하되,
각각의 도전성 탄성부는 서로 이격된 상태에서 빈공간에 의하여 둘러싸일 수 있다.
본 발명에 따른 검사용 소켓은, 도전성 탄성부가 제1시트형 커넥터 및 제2시트형 커넥터에 의하여 상하단 위치가 고정된 상태에서, 각각의 도전성 탄성부의 주위에는 빈공간이 마련되어 있어서 도전성 탄성부가 압축되는 과정에서 도전성 탄성부의 변형을 억제하지 않아서 적은 힘으로도 도전성 탄성부를 변형시키는 것이 가능하다는 장점이 있다.
즉, 피검사 디바이스를 가압하는 가압력을 과도하게 크게 하지 않아도 피검사 디바이스의 단자가 검사용 소켓을 충분하게 압박시켜 도전성을 유지할 수 있도록 하여 전기적 검사의 신뢰성을 높일 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동도를 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 작동모습의 확대하여 나타낸 모습을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 사시도.
도 5는 도 4의 측면도.
도 6은 도 5의 작동도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 소켓의 사시도.
도 8은 도 7의 측면도.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 소켓의 측면도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 소켓의 측면도.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(150)의 패드(151) 사이에 배치되어 상기 단자(141)와 패드(151)를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 것이다.
이러한 검사용 소켓(100)은, 제1시트형 커넥터(110), 도전성 탄성부(120) 및 제2시트형 커넥터(130)를 포함하여 구성된다.
상기 제1시트형 커넥터(110)는, 도전성 탄성부(120)의 상측에 배치되어 각각의 도전성 탄성부(120)의 위치를 지지하는 기능을 수행하는 것으로서 주변이 프레임(미도시)에 의하여 고정되어 있는 것이 좋다.
이러한 제1시트형 커넥터(110)는, 제1절연성 시트(111)와, 제1도전부(112)로 이루어진다.
상기 제1절연성 시트(111)는, 합성수지소재로 이루어진 시트에 관통공(111a)이 형성된 것이다. 이러한 제1절연성 시트(111)는 절연성을 갖는 유연한 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니며, 폴리이미드, 액정 폴리머 등의 수지 재료나 이러한 복합 재료를 이용할 수 있지만, 후술하는 제조 방법에 있어서 관통공을 에칭에 의해 용이하게 형성할 수 있는 점에서 폴리이미드를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 관통공(111a)은, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 형성되는 것으로서, 제1절연성 시트(111)의 상면과 하면을 관통하도록 구성되며 대략 원형단면을 가진다. 이러한 관통공(111a)은 대략 후술하는 도전성 탄성부(120)의 직경보다는 작은 직경을 가질 수 있다. 이와 같이 상기 제1절연성 시트(111)의 관통공(111a)은 상기 도전성 탄성부(120)의 상단 직경보다 작아서, 상기 제1절연성 시트(111)의 관통공(111a) 주변부가 상기 도전성 탄성부(120)의 상단 가장자리에 지지될 수 있다.
상기 제1도전부(112)는, 상기 관통공(111a)을 채우고 있으며 두께방향으로 도전성을 나타내면서 상기 제1절연성 시트(111)에 결합된 것으로서 도전성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자(121)가 밀집되어 배치된 구조를 가진다. 이러한 제1도전부(112)의 구성재료는 후술하는 도전성 탄성부(120)와 유사하므로 구체적인 사항은 후술하기로 한다.
상기 도전성 탄성부(120)는, 상기 제1시트형 커넥터(110)의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자(121)가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 것으로서 복수개가 마련되어 있게 된다.
이러한 도전성 탄성부(120)의 상단은 상기 제1도전부(112)와 하단에 일체적으로 결합되어 있으며 도전성 탄성부(120)의 하단은 후술하는 제2도전부(132)의 상단에 일체적으로 결합되어 있게 된다. 즉, 도전성 탄성부(120)는 상단과 하단이 각각 제1도전부(112) 및 제2도전부(132)에 일체결합된다. 각각의 도전성 탄성부(120)의 주위에는, 도전성 탄성부(120)가 두께방향으로 가압되었을 때 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간(125)이 형성되는 것이 좋다. 구체적으로 빈공간(125)은 각각의 도전성 탄성부(120)의 측면에서 상단부터 하단까지(측면 전체를 둘러쌈) 연장되어 형성되는 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 도전성 탄성부(120)에서 면방향으로 팽창되는 정도가 가장 큰 도전성 탄성부(120)의 상단과 하단 사이의 중간영역에만 빈공간(125)이 둘러싸고 있는 것도 가능함은 물론이다.
이러한 도전성 탄성부(120)를 구성하는 절연성 탄성물질로는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 절연성 탄성물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러가지 것을 사용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.
이상에 있어서, 얻어지는 이방성 시트체에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성 측면에서, 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 도전성 입자(121)는 자성을 나타내는 소재가 주로 이용된다. 이러한 도전성 입자(121)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 또는 이들의 합금의 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 실시한 것 등을 들 수 있다.
이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하여, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다.
코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 화학 도금 또는 전해 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등이 이용되고 있다.
도전성 입자(121)로서, 코어 입자의 표면에 도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 경우에는, 양호한 도전성이 얻어지는 점에서, 입자 표면에서의 도전성 금속의 피복률(코어 입자의 표면적에 대한 도전성 금속의 피복 면적의 비율)이 40％ 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 45％ 이상, 특히 바람직하게는 47 내지 95％이다.
또한, 도전성 금속의 피복량은, 코어 입자의 0.5 내지 50 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 30 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 25 질량％, 특히 바람직하게는 4 내지 20 질량％이다. 피복되는 도전성 금속이 금인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 0.5 내지 30 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 20 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 15 질량％이다.
상기 제2시트형 커넥터(130)는 상기 도전성 탄성부(120)의 하측에 배치되는 제2절연성 시트(131)와, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트(131)에 결합되며 상단이 상기 도전성 탄성부(120)에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부(132)를 포함하는 것이다.
이러한 제2시트형 커넥터(130)는 주변이 프레임(미도시)에 의하여 위치고정된 상태에서 도전성 탄성부(120)의 하단을 지지하는 것이다. 이러한 제2시트형 커넥터(130)는 전체적으로 제1시트형 커넥터(110)와 동일한 형태를 가지는 것이 바람직하다. 배치위치면에서도 중간에 도전성 탄성부(120)를 사이에 두고 제1시트형 커넥터(110)와 대응되도록 배치되는 것이 좋다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.
먼저, 검사용 소켓(100)의 제2도전부(132)가 검사장치(150)의 패드(151)에 접촉된 상태에서 상기 검사장치(150)에 검사용 소켓(100)을 탑재한다. 이후에, 피검사 디바이스(140)를 점차 검사장치(150) 측으로 하강시켜 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 제1시트형 커넥터(110)의 제1도전부(112) 상면에 접촉되도록 한다. 이후에, 피검사 디바이스(140)를 소정의 가압기구(미도시)에 의하여 추가로 가압함으로서 도전성 탄성부(120)를 두께방향으로 가압한다.
이와 같이 도전성 탄성부(120)가 가압되는 경우에는 상기 도전성 탄성부(120)가 두께방향과 직각인 면방향으로 팽창되면서 압축된다. 이 과정에서 도전성 탄성부(120) 내부의 도전성 입자(121)들이 서로 접촉하면서 전기적 도통이 가능한 상태를 이루게 된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 장점을 가진다.
먼저, 본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 각각의 도전성 탄성부(120) 주위에 별도의 절연성 지지부가 마련되어 있지 않기 때문에 도전성 탄성부(120)를 쉽게 가압할 수 있다는 장점이 있다. 즉, 주변에 도전성 탄성부(120)의 팽창을 억제하는 절연성 지지부가 존재하지 않고 빈공간(125)으로 남아 있기 때문에 도전성 탄성부(120)는 적은 힘으로도 쉽게 가압될 수 있다는 장점이 있다.
이러한 장점을 가지고 있는 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 많은 경우에도 과도한 압박이 없이도 도전성 탄성부(120)의 도전성을 안정적으로 유지할 수 있다는 장점이 있다.
또한 도전성 탄성부(120)는 상단과 하단이 제1시트형 커넥터(110) 및 제2시트형 커넥터(130)에 의하여 안정적으로 지지되어 있기 때문에 도전성 탄성부(120)가 빈번한 검사과정에서 안정적으로 원래 위치를 유지할 수 있다는 장점이 있다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓은, 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.
먼저, 도 7 및 8에 도시된 검사용 소켓에 대하여 설명하면 다음과 같다. 상술한 실시예에서는 제1도전부와 제2도전부가 도전성 탄성부와 동일한 재료로 이루어지는 것을 언급하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1도전부(212)와 제2도전부(232)가 금속소재로 이루어지는 것이 가능하다.
이러한 제1도전부(212)와 제2도전부(232)를 구성하는 소재로는, 니켈, 구리, 은, 팔라듐, 철 등을 사용할 수 있고, 전체가 단일 금속으로 이루어지는 것일 수도 있고, 2종 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것 또는 2종 이상의 금속이 적층된 것일 수도 있다. 또한, 제1도전부와 제2도전부에서 단자 또는 패드와 접촉되는 표면은 해당 표면의 산화가 방지되는 동시에 접촉 저항을 작게 하기 위하여, 금, 은, 팔라듐 등의 화학적으로 안정하고 높은 도전성을 갖는 금속에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 도 9에 도시된 검사용 소켓에 대하여 설명하면 다음과 같다.
상술한 실시예에서는 제1절연성 시트 및 제2절연성 시트가 폴리이미드와 같은 필름에 관통공을 형성하고 관통공 내에 제1도전부와 제2도전부가 결합되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1절연성 시트(311)와 제2절연성 시트(331)를 공극이 다수 형성된 다공성 소재를 사용하는 것도 가능하다.
제1절연성 시트(311)와 제2절연성 시트(331)로 사용되는 다공성 시트는 메쉬 혹은 부직포로서, 유기 섬유에 의해 형성된 것을 적합하게 이용할 수 있다. 이러한 유기 섬유로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌 섬유 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 폴리 에스테르 섬유 등을 들 수 있다. 유기 섬유로서, 그 선열 팽창 계수가 접속 대상 부재를 형성하는 재료의 선열 팽창 계수와 동등 혹은 근사한 것, 구체적으로는 선열 팽창 계수가 30 × 10-6 내지 -5 × 10-6/K, 특히 10 × 10-6 내지 -3 × 10-6/K인 것을 이용함으로써, 당해 이방 도전막의 열팽창이 억제되므로, 온도 변화에 의한 열이력을 받은 경우에도, 접속 대상 부재에 대한 양호한 전기적 접속 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 유기 섬유로서는, 그 직경이 10 내지 200 ㎛인 것을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 제1도전부(312)와 제2도전부(332)는 상기 다공성 시트로 이루어진 제1절연성 시트와 제2절연성 시트의 공극 내에 침투되어 일체화되어 있어 제1절연성 시트 및 제2절연성 시트로부터 이탈될 염려가 적다.
도 9에 개시된 바와 같이 제1절연성 시트(311)로서 다공성 소재를 사용하는 경우에는 보다 유연성을 확보하게 하여 피검사 디바이스의 단자간의 크기가 서로 다른 경우에도 복수의 모든 제1도전부(312)가 피검사 디바이스의 단자와 접촉할 수 있도록 한다.
상술한 실시예에서는 제1시트형 커넥터의 제1절연성 시트 및 제2시트형 커넥테의 제2절연선 시트가 폴리이미드, 액정 폴리머 소재로 이루어진 필름으로 이루어지는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 실리콘 고무와 같은 절연성 탄성물질로 이루어지는 것도 가능하다. 구체적으로 도 10에 개시된 검사용 소켓(400)은 제1절연성 시트(410) 및 제2절연성 시트(420)를 구성하는 절연성 탄성물질이 도전성 탄성부(420)의 실리콘 고무와 동일한 물성을 가지는 실리콘 고무일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 도전성 탄성부를 구성하는 절연성 탄성물질과 경도를 달리할 수 있는 것이다. 예를 들어 제1절연성 시트와 도전성 탄성부가 모두 실리콘 고무로 구성되는 경우, 양자는 동일한 물성을 가지는 실리콘 고무일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 서로 다른 경도를 갖는 실리콘 고무일 수 있다.
이때, 도전성 탄성부(420)와 제1시트형 커넥터(410)가 서로 일체적으로 결합되는 것도 가능하다. 또한 도전성 탄성부(420)와 제2시트형 커넥터(430)가 서로 일체적으로 결합되는 것도 가능하다. 이때 "일체적으로 결합된다"는 것은 도전성 탄성부와 제1, 2 절연성 시트 및 제1, 2 도전부가 한 몸체와 같이 일체화되어 결합되어 있다는 것을 의미하는 것이다. 이러한 구조를 만들기 위하여 제1시트형 커넥터, 제2시트형 커넥터 및 액상 고분자물질(액상 실리콘 고무 + 도전성 입자)을 금형에 넣은 후에 자장을 가해 경화시킴으로서 한번에 검사용 소켓을 제작하게 되는 것이다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.
100...검사용 소켓 110...제1시트형 커넥터
111...제1절연성 시트 111a...관통공
112...제1도전부 120...도전성 탄성부
121...제1도전성 입자 125...빈공간
130...제2시트형 커넥터 131...제2절연성 시트
132...제2도전부 140...피검사 디바이스
141...단자 150...검사장치
151...패드

Claims (15)

  1. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
    가장자리가 위치고정된 제1절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제1절연성 시트에 결합된 복수의 제1도전부로 이루어진 제1시트형 커넥터;
    상기 제1시트형 커넥터의 하측에 배치되고, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및
    상기 도전성 탄성부의 하측에 배치되며 가장자리가 위치고정된 제2절연성 시트와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 제2절연성 시트에 결합되며 상단이 상기 도전성 탄성부에 일체적으로 결합된 복수의 제2도전부를 포함하는 제2시트형 커넥터를 포함하되,
    각각의 도전성 탄성부는 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터에 의하여 상단 및 하단의 위치가 지지되고,
    각각의 도전성 탄성부의 주위에는, 도전성 탄성부가 두께방향으로 가압되어 면방향으로 팽창되는 것이 방해되지 않도록 빈공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    각각의 도전성 탄성부의 측면은 상단부터 하단까지 빈공간에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  3. 제1항에 있어서,
    각각의 도전성 탄성부의 측면에서 적어도 상단과 하단 사이의 중간영역은 빈공간에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연성 시트는 합성수지소재로 이루어진 필름으로서, 제1절연성 시트에는 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,
    상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1절연성 시트의 관통공은 상기 도전성 탄성부의 상단 직경보다 작아서, 상기 제1절연성 시트의 관통공 주변부가 상기 도전성 탄성부의 상단 가장자리에 지지되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.

  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연성 시트는, 절연성 탄성물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있으며,
    상기 제1도전부는 상기 관통공을 통과한 상태에서 상기 제1절연성 시트에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  7. 제4항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1도전부는 도전성 금속소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  8. 제4항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제1도전부는, 도전성 탄성부와 동일한 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 탄성부는 상기 제1시트형 커넥터 및 상기 제2시트형 커넥터 중 적어도 어느 한 곳에 일체로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 탄성부의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 제1절연성 시트의 절연성 탄성물질은 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  12. 제6항에 있어서,
    상기 도전성 탄성부를 구성하는 절연성 탄성물질과, 상기 제1절연성 시트를 구성하는 절연성 탄성물질은 서로 경도가 다른 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1절연성 시트는 다수의 공극을 가지는 메쉬로서,
    상기 제1도전부는 상기 메쉬의 공극을 침투한 상태에서 두께방향으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 제1시트형 커넥터와 제2시트형 커넥터는 서로 동일 형태를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  15. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 신장되어 있으며, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있고, 상단이 상기 도전부에 일체적으로 결합된 복수의 도전성 탄성부; 및
    상기 도전성 탄성부를 사이에 두고 상측과 하측에 각각 배치되며 상기 도전성 탄성부의 상단과 하단에 각각 결합되어 상기 도전성 탄성부를 지지하고, 서로 대응되는 형상을 가지는 한 쌍의 시트형 커넥터를 포함하되,
    각각의 도전성 탄성부는 서로 이격된 상태에서 빈공간에 의하여 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
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