KR20160037846A - 전자 모듈 - Google Patents
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Abstract
다층 회로 보드(41)와, 전자 구성요소(62)와, 펠티에 열 펌프(60)를 포함하는 전자 모듈(40)이 제공된다. 전자 구성요소는 상기 다층 회로 보드의 주 표면 상에 장착되고, 적어도 하나의 메모리 다이(48)에 전기적으로 연결된다. 상기 적어도 하나의 메모리 다이는 상기 다층 회로 보드 내에 적어도 부분적으로 매립된다. 펠티에 열 펌프 디바이스는 열적으로 병렬로 그리고 전기적으로 직렬로 배열되는 적어도 한 쌍의 열전 반도체 부재(68, 69)를 포함하고, 상기 적어도 한 쌍의 반도체 부재는 상기 회로 보드 내에 적어도 부분적으로 매립된다.
Description
본 발명은 자동차용 전자 모듈에 관한 것이다.
전자 모듈은 요망 회로 또는 기능을 제공하도록 배열되는 2개 이상의 전자 구성요소 및 전기 연결부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 전자 모듈은 공통 회로 보드 상에 장착되는 프로세서 칩 및 메모리 칩을 포함할 수 있다. 회로 보드는 프로세서 칩과 메모리 칩 사이에 전기 연결부의 적어도 일부분을 제공할 수 있는 전기 전도 트레이스와, 모듈의 외측 접촉부로부터 칩까지 전기 전도 재분배 구조를 포함한다. 칩은 솔더 볼(solder balls), 랜드(lands), 또는 핀(pins)과 같은 패키지의 외측 접촉부에 의해 회로 보드 상에 장착되는 별도의 패키지 또는 구성요소로 제공될 수 있다. 일부 응용예에서, 인쇄 회로 보드의 표면에 공동이 제공되고, 공동에 구성요소가 장착된다. 그러나, 전자 모듈에 적합한 장착 배열이 요망된다.
다층 회로 보드와, 전자 구성요소와, 펠티에 열 펌프(Peltier heat pump)를 포함하는 전자 모듈이 제공된다. 전자 구성요소는 상기 다층 회로 보드의 주 표면 상에 장착되고, 적어도 하나의 메모리 다이에 전기적으로 연결된다. 상기 적어도 하나의 메모리 다이는 상기 다층 회로 보드 내에 적어도 부분적으로 매립된다. 펠티에 열 펌프 디바이스는 열적으로 병렬로 그리고 전기적으로 직렬로 배열되는 적어도 한 쌍의 열전 반도체 부재를 포함하고, 상기 적어도 한 쌍의 반도체 부재는 상기 회로 보드 내에 적어도 부분적으로 매립된다.
다음의 도면 및 상세한 설명을 살펴보면 당 업자에게 다른 시스템, 방법, 특징, 및 장점들이 명백하거나 명백해질 것이다. 이러한 모든 추가적인 시스템, 방법, 특징, 및 장점들은 본 설명 내에 포함되고, 발명의 범위 내에 있으며, 다음의 청구범위에 의해 보호된다.
시스템은 도면과 연계하여 다음의 설명을 참조할 때 더 잘 이해될 수 있다. 도면의 구성요소들은 반드시 축적에 맞는 것은 아니며, 대신에 발명의 원리를 설명할 때 강조되었다. 더욱이, 도면에서, 유사한 도면 부호들은 서로 다른 도면 전체에 걸쳐 대응 부분들을 지정한다.
도 1은 제 1 예시 전자 모듈의 평면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 2는 라인 A-A를 따라 도 1의 전자 모듈의 단면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 3은 제 2 예시적 전자 모듈의 단면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 4는 도 3의 전자 모듈의 평면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 1은 제 1 예시 전자 모듈의 평면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 2는 라인 A-A를 따라 도 1의 전자 모듈의 단면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 3은 제 2 예시적 전자 모듈의 단면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 4는 도 3의 전자 모듈의 평면도를 나타내는 개략적 도면이다.
도 1은 예시적 전자 모듈(10)의 평면도를 도시하고, 도 2는 라인 A-A를 따라 전자 모듈(10)의 단면도를 도시한다. 전자 모듈(10)은 다층 회로 보드(11)와, 다층 회로 보드(11)의 주 표면(13) 상에 장착되는 전자 구성요소(12)와, 2개의 메모리 다이(14, 15)를 포함한다. 2개의 메모리 다이(14, 15)는 적어도 부분적으로 다층 회로 보드(11) 내에 매립되며, 따라서, 도 1의 평면도에서 파선으로 도시된다.
메모리 다이(14, 15)의 일부분들이 회로 보드(11)로부터 부분적으로 노출되는 예시적 배열에서, 이들은 회로 보드(11) 내에 부분적으로 매립되는 것으로 설명될 수 있다. 메모리 다이(14, 15)의 어느 부분도 회로 보드(11)로부터 노출되지 않는 예시적 배열에서, 이들은 회로 보드(11) 내에 완전히 매립되는 것으로 설명될 수 있다. 다른 예시적 배열에서, 예를 들어, 1-8개의 메모리 디바이스를 포함할 수 있는 메모리 뱅크가, (가령, 16-128개의) 비트 라인을 통해 회로 보드에 연결될 수 있다.
전자 구성요소(12)는 시스템-온-칩 구조(SoC)를 가질 수 있고, 또는, 중앙 프로세싱 유닛(CPU), 그래픽 프로세싱 유닛(GPU), 또는 마이크로컨트롤러와 같은 프로세서를 포함할 수 있으며, 또는, FPGA(Freely Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Application-Specific Integrated Circuit)일 수 있다. 메모리 다이는 DDR2, DDR3, DDR4, LPDDR3 RAM 메모리 다이와 같은, DDR RAM(Double Data Rate Random Access Memory) 다이일 수 있다. 메모리 다이(14, 15)가 다층 회로 보드(11) 내에 적어도 부분적으로 매립되기 때문에, 다층 회로 보드(11)가 패키지 기능을 제공하는데 사용될 수 있으므로, 메모리 다이(14, 15)는 언패키징(unpackaged) 또는 배어 다이(bare die)로 제공될 수 있다.
전자 모듈(10)은 본 예시적 전자 모듈에서, 패키징된 NOR(not OR) 칩의 형태로 제공될 수 있는, 비휘발성 메모리(16)를 더 포함한다. 비휘발성 메모리(16)는 전자 구성요소(12)에 인접한 다층 회로 보드(11)의 주 표면(13) 상에 장착된다. 커패시터(17)와 같은 전자 모듈(10)의 추가 구성요소들이 다층 회로 보드(11)의 제 1 주 표면(13) 상에 또한 장착된다. 전자 구성요소(12)는 전기 전도 재분배 구조에 의해 메모리 다이(14, 15) 및 추가 구성요소에 전기적으로 연결된다. 전자 모듈(10)은 헤드-업 디스플레이와 같은 자동차용 응용예에 사용될 수 있다.
도 1의 평면도에 도시되는 바와 같이, 2개의 메모리 다이(14, 15)가 서로에 평행하게 그리고 전자 구성요소(12)의 부분적으로 아래에 배열되어, 전자 구성요소(12)의 일 측부에 인접하게 연장되게 된다. 회로 보드(11) 내의 그리고 전자 구성요소(12) 아래의, 메모리 다이(14, 15)의 이러한 배열은 다층 회로 보드(11)의 상측 표면 상의 공간이 메모리 구성요소용으로 더이상 요구되지 않기 때문에 다층 회로 보드(11) 및/또는 전자 모듈(10)의 횡방향 크기를 감소시키는데 사용될 수 있다.
도시되지 않은 다른 실시예에서, 전자 구성요소(12)는 단일 메모리 다이에, 또는 2개 이상의 메모리 다이에, 연결될 수 있다. 메모리 다이는 도 1에 도시되는 것과는 다른 배열을 가질 수 있다. 예를 들어, 메모리 다이가 전자 구성요소 완전히 아래에, 또는, 다층 회로 보드의 상측 표면 상에 장착된 다른 구성요소 아래에, 위치할 수 있다. 2개 이상의 메모리 다이의 경우에, 다이는 서로 위에 적층될 수 있고, 스택은 다층 회로 보드 내에 적어도 부분적으로 매립될 수 있다.
도 2는 도 1의 라인 A-A를 따라 취한 제 1 예시적 전자 구성요소(10)의 단면도를 도시한다. 다층 회로 보드(11)는 전기 전도층(19)에 의해 인터리빙(interleaved)된 복수의 절연층(18)을 포함한다. 절연층은 전기절연성이고, 유전 물질을 포함할 수 있다. 절연층(18)은 예를 들어, 에폭시-수지-침지 유리섬유를 포함할 수 있다. 전기 전도층(19)은 구리 포일과 같은 금속 포일로부터 형성될 수 있다.
다층 회로 보드(11)는 도 2에 L1, L2, L3, L4, L5, L6로 표시되는 6개(또는 그 이상의) 전기 전도층(19)을 포함할 수 있고, 각각은 절연층(18)에 의해 그 이웃으로부터 분리된다. 전기 전도층(19)은 다층 회로 보드(11)의 제 1 주 표면(13) 상에 장착되는 전자 구성요소(12) 및 기타 구성요소들과, 도 2의 단면도에 하나의 메모리 다이(15)가 도시되는 메모리 다이, 및/또는 다층 회로 보드(11)의 대향 주 표면(20) 상에 위치하는 전자 모듈(10)의 외측 접촉부 사이의 전기 연결부로 작용하는 복수의 전기 전도 트레이스를 포함할 수 있다. 전기 전도 트레이스는 전기 전도층(19)을 형성하는 금속 포일을 구조화함으로써 형성될 수 있다.
도 2의 단면도에 도시되는 바와 같이, 메모리 다이(15)는 전자 구성요소(12) 의 부분적 아래에 위치하고, 다층 회로 보드(11) 내에 완전히 매립된다. 메모리 다이(15)는 다층 회로 보드의 동체 내에서 전기 전도층 L3, L4 사이에 삽입되도록, 절연층(21) 내에 매립된다. 절연층(21)은 공동(22)을 포함하고, 이 공동은 그 부피 내에 메모리 다이(15)를 수용하도록 구성되는 크기를 가진다.
메모리 다이(15)가 장착되는 공동(22)은, 메모리 다이(15)의 상측 표면(24) 및/또는 측부 표면을 매립할 수 있는, 봉합재(예를 들어, 에폭시 수지)로 충전될 수 있다. 메모리 다이(15)는 접착층을 이용하여 공동(22)에 장착될 수 있고, 또는, 캡슐화가 공동(22)에 메모리 다이(15)를 고정하도록 접착제로 작용할 수도 있다.
제 1 메모리 다이(14)는 제 2 메모리 다이(15)와 동일 공동에 장착될 수 있고, 또는 별도의 공동에 장착될 수 있다.
메모리 다이(15)는 전기 전도층 L3의 트레이스(27)에 접촉 범프(25)에 의해 전기적으로 연결되는 상측 표면(24) 상의 접촉 패드(23)를 포함한다. 이러한 전기 전도 트레이스(27)는 전자 구성요소(12)와 메모리 다이(15) 사이에 위치하는 2개의 절연층(18)을 통해 연장되는 전기 전도 비아(28)에 의해, 그리고, 전기 전도층 L1, L2의 추가의 전도 트레이스(27)에 의해, 전자 구성요소(12)에 연결된다.
전기 전도 트레이스(27) 및 전기 전도 비아(28)는 다층 회로 보드(11) 내에 3차원 재분배 구조를 제공한다. 이러한 3차원 재분배 구조를 이용하여, 구성요소(12, 14, 15, 17)들을 전기적으로 연결하여 전자 모듈(10)의 요망 회로 또는 기능을 제공할 수 있고, 전력 공급원 접촉부 및 신호 접촉부를 포함한, 전자 모듈의 외측 접촉부에 구성요소(12, 14, 15, 17)들을 연결할 수 있다.
메모리 다이(15)는 다른 배열에서 공동(22) 내에 장착될 수 있다. 예를 들어, 전기 전도 트레이스가 공동의 기저부 상에 제공될 수 있고, 메모리 다이가 그 위에 장착될 수 있다. 이러한 전기 전도 트레이스를 이용하여 다층 회로 보드의 재분배 구조에 메모리 다이를 연결할 수 있다.
전자 모듈(10)은 다층 회로 보드(11)와, 다층 회로 보드(11) 내에 매립된 메모리 다이(14, 15)와, 요망 회로에 적합한 재분배 구조 제공을 위해 전기 전도 비아 및 전기 전도층 L1, L2, L3, L4, L5, L6 내의 전기 전도 트레이스, 접촉 패드의 적절한 배열을 포함하는 서브어셈블리를 생산함으로써 생성될 수 있다. 전자 구성요소(12) 및 추가 구성요소, 예를 들어, 비휘발성 메모리(16) 및 커패시터(17)가, 그 후, 일체형 메모리 다이(14, 15)와 함께 서브조립체 상에 장착되어, 전자 모듈(10)을 형성할 수 있다.
메모리 다이(14, 15)를 다층 회로 보드(11) 내에, 특히, 전자 구성요소(12) 아래에, 배치함으로써, 메모리 다이(14, 15)와 전자 구성요소(12) 사이의 전기 전도 연결부의 길이가, 다층 회로 보드(11)의 제 1 주 표면(13) 상의 전자 구성요소(12)에 인접하게 메모리 다이가 장착되는 배열에 비해, 감소할 수 있다. 전기 전도 연결부의 길이를 감소시킴으로써, 누화 정도를 유지하거나 심지어 감소시키면서도, 이웃하는 전기 전도 트레이스 간의 간격이 감소할 수 있다. 전기 전도 트레이스는 예를 들어, 인쇄 회로 보드 기술을 이용하여 형성될 수 있고, 이는 특히, 층 L2, L3, L4, L5와 같은 다층 회로 보드(11)의 내측 전기 전도층(19)에서, 트레이스의 간격을 또한 감소시킬 수 있다.
차폐 커패시터가 전자 구성요소(12)의 접촉부에 바로 인접하여 장착될 수 있다. 메모리 다이(14, 15)의 전력 연결부는 추가적인 패키지 용량없이 다층 회로 보드(11)의 접지 평면에 낮은 유도 전력에서 연결될 수 있고, 이는 전기 전도 트레이스가 사용됨에 따라 패키징되지 않은 배어 메모리 다이가 본딩 와이어 인덕턴스없이 사용되기 때문이다. 추가적으로, 어드레스/명령/데이터 라인에서의 임피던스 정합이 감소할 수 있는데, 이는 메모리 다이 패키징의 핀 또는 외측 연결부와 연관된 커패시턴스와 본딩 와이어 인덕턴스를 피할 수 있기 때문이다. 이를 이용하여, 온-다이 터미네이션(on-die termination)을 제거할 수 있고, 이는 또한 전력 소모를 감소시킬 수 있다.
이러한 인자들을 이용하여, 인포테인먼트 헤드 유닛, 인포테인먼트 조합체, 계기판, 또는 헤드-업 디스플레이와 같은 자동차 응용예에서 DDR4 메모리 다이와 같은 더 큰 대역폭을 가진 메모리를 이용할 수 있게 된다. 더욱이, 이러한 인자들은 공간 요건 감소를 도출할 수 있고, 이는 인포테인먼트 헤드 유닛, 인포테인먼트 조합체, 계기판, 또는 헤드-업 디스플레이와 같은 추가 구성요소 내부에 모듈의 용이한 배열 및 냉각 및 기류를 위한 더 많은 공간을 제공하는데 유용할 수 있다.
도 3은 다층 회로 보드(41)(상측 절연층(42) 및 하측 절연층(43)을 포함) 및 3개의 전기 전도층(44, 45, 46)을 포함하는, 제 2 예시적 전자 모듈(40)의 측면도를 도시한다. 상측 절연층(42)은 제 1 전기 전도층(44)과 제 2 전기 전도층(45) 사이에 삽입되고, 하측 절연층(43)은 제 2 전기 전도층(45)과 제 3 전기 전도층(46) 사이에 삽입된다. 하측 절연층(43)은 상측 영역에 공동(47)을 포함한다. 메모리 다이(48)는 공동(47) 내에 장착되고, 접촉 범프(50)에 의해 제 2 전기 전도층(45) 내 전기 전도 트레이스(49)에 전기적으로 연결된다. 전기 전도 트레이스(49)는 상측 절연층(42) 내 하나 이상의 전기 전도 비아(51)에 전기적으로 연결될 수 있고, 이는 다시 전기전도층(44) 내 트레이스(52)에 전기적으로 연결된다. 공동(47)은 에폭시 수지(53) 형태의 봉합재로 충전된다. 메모리 다이(48)는 다층 회로 보드(41)의 공간 내에 매립된다.
다층 회로 보드(41)는 다층 회로 보드(41)에, 특히, 제 1 전도층(44)에, 또한 매립된 펠티에 열 펌프 디바이스(Peltier heat pump device)(60)를 더 포함한다.
펠리에 열 펌프 디바이스는 전기 에너지를 이용하여 열을 펌핑할 수 있는 디바이스로서, 인가 전류의 방향에 따라 냉각 및/또는 가열을 제공하는데 사용될 수 있다. 펠티에 열 펌프는 펠티에 효과를 이용하여, 열전 효과를 디스플레이하는 서로 다른 두 종류의 반도체 물질의 정션 간에 열 플럭스를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제 1 반도체 부재는 제 1 전도도 타입을 가질 수 있고, 제 2 반도체 부재는 제 1 전도도 타입과는 반대인 제 2 전도도 타입을 가질 수 있다. 2개의 반도체 부재가 공간적 교번 방식으로 배열되고, 열적으로 병렬로 그리고 전기적으로 직렬로 배열된다. 열전 요소용으로 적합한 다양한 클래스의 반도체 물질들이 알려져 있고, Bi2Te3, Bi2-xSbxTe3, PbTe-PbS-계 물질, 및 MgAgAs 구조를 가진 하프-호슬러 화합물(half-Heusler compounds)을, 제한없이, 포함한다.
펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 제 1 히터/쿨러 표면(61)을 포함하고, 이는 다층 회로 보드(41)의 상측 표면(63) 상에 장착되는 발열 디바이스(62) 아래에 위치한다. 발열 디바이스(62)는 예를 들어, 프로세서 칩 또는 SoC 패키지일 수 있다. 펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 열전 효과를 나타내는 제 2 히터/쿨러 표면(64) 및 반도체 부재(65)를 더 포함한다. 제 2 히터/쿨러 표면(64)은 제 1 히터/쿨러 표면(61)에 인접하여 위치한다. 제 1 히터/쿨러 표면(61) 및 제 2 히터/쿨러 표면(64)은 다층 회로 보드(41)의 일부분으로 제공되는 제 1 전기 전도층(44)의 일부분으로부터 형성될 수 있다.
제 1 히터/쿨러 표면(61)은 다층 회로 보드(40)의 최상위층(44) 내에서 발열 디바이스(62) 아래에 배열되고, 메모리 다이(45)는 다층 회로 보드(40)의 하위층(43) 내에서 펠티에 열 펌프 디바이스(60) 아래에 그리고 발열 디바이스(62) 아래에 배열된다. 발열 디바이스(62), 펠티에 열 펌프 디바이스(60), 및 메모리 다이(45)는 적층 배열을 가진다. 이러한 적층 배열을 이용하여, 다층 회로 보드 및 전자 구성요소(40)의 횡방향 크기를 감소시킬 수 있다.
펠티에 열 펌프 디바이스(60)의 배열이 도 4의 평면도에 또한 도시된다. 도시되는 바와 같이, 제 1 히터/쿨러 표면(61)은 발열 구성요소(62) 아래에 위치하는 2개의 분리부(66, 67)를 포함한다. 서로 반대의 전도도 타입의 한 쌍의 반도체 부재(68, 69)가 제 1 히터/쿨러 부분(66, 67) 각각으로부터 연장된다. 제 1 히터/쿨러 부분(66)으로부터 연장되는 제 2 전도도 타입의 반도체 부재(69)는 제 2 히터/쿨러 표면(64)에 의해 제 2 히터/쿨러 부분(67)으로부터 연장되는 제 1 전도도 타입의 반도체 부재(69)에 전기적으로 연결된다. 한 쌍의 반도체 부재(68, 69)는 열적으로 병렬로 그리고 전기적으로 직렬로 배열된다.
펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 제 1 히터/쿨러 부분(66)의 제 1 반도체 부재(68)로부터 연장되는 제 1 접촉부(70)를 갖고, 제 1 히터/쿨러 표면(61)의 제 2 부분(67)의 제 2 반도체 부재(69)로부터 연장되는 제 2 접촉부(71)를 또한 가진다. 제 1 히터/쿨러 표면(61)과 제 2 히터/쿨러 표면(54) 간 온도 구배 및 열 전달을 생성하기 위해, 펠티에 열 펌프 디바이스(60)의 접촉부(70, 71)에 전류가 공급된다.
펠티에 열 펌프 디바이스(60)에 공급되는 전류의 방향은, 제 1 히터/쿨러 표면(61)이 전자 디바이스(62)의 냉각을 제공하고 제 2 히터/쿨러 표면(64)이 전자 디바이스(62)로부터 제거되는 열의 소산을 위한 고온 표면(hot surface)을 제공하도록 선택될 수 있다. 펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 접촉부(70, 71)에 공급되는 전류의 방향을 역전시킴으로써 제 1 히터/쿨러 표면(61)을 통해 전자 디바이스(62)에 가열을 제공할 수 있다.
도 3 및 4에 도시되는 예시적 배열에서, 펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 두 쌍(53)의 반도체 부재(68, 69)와, 2개의 제 1 히터/쿨러부(66, 67)와, 단일한 제 2 히터/쿨러 표면(64)을 포함한다. 그러나, 펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 이러한 특정 배열에 제한되지 않고, 3개 이상의 제 1 히터/쿨러부, 3쌍 이상의 반도체 부재, 및 2개 이상의 제 2 히터/쿨러부를 포함할 수 있고, 이 모두는 각 쌍의 반도체 무재들이 열적으로 병렬로 그리고 전기적으로 직렬로 배열되도록 구성된다.
본 예시적 배열에서, 제 1 히터/쿨러 표면(61), 반도체 부재(68, 69), 및 제 2 히터/쿨러 표면(64)은 일반적으로 동평면에 있다. 도시되지 않은 추가의 예시적 배열에서, 제 2 히터/쿨러 표면은 제 1 히터/쿨러 표면으로부터 수직으로 소정 거리만큼 이격될 수 있다. 도시되지 않은 추가의 예시적 배열에서, 제 1 히터/쿨러 표면 및 제 2 히터/쿨러 표면은 다층 회로 보드 내에 완전히 매립된다. 이러한 예에서, 제 1 히터/쿨러 표면은 복수의 열 전도 비아에 의해 발열 전자 구성요소에 추가로 열적으로 연결될 수 있고, 제 2 히터/쿨러 표면은 제 2 복수의 열 전도 비아에 의해 환경에 추가로 열적으로 연결될 수 있다.
회로 보드(41)는 서브층을 형성하도록 절연층(42)에 금속 포일(예를 들어, 구리 포일)을 적층함으로써 생산될 수 있다. 제 2 서브층을 형성하도록 층(43)의 두 주 표면에 금속 포일이 적층될 수 있다. 공동(45)은 하나 이상의 메모리 다이를 수용하기에 적합한 위치에서 절연층 중 적어도 하나에 형성된다. 금속층은 전기 전도 트레이스(49)의 요망 배열을 생산하도록 구조화된다. 절연층(42, 43) 내에 관통 구멍이 형성되고, 관통 구멍 내로 전기 전도 물질이 삽입되어 전기 전도 비아(51)를 형성한다. 메모리 다이(48)는 공동 내에 장착되고, 서브층의 전기 전도 트레이스(49)에 전기적으로 연결된다. 서브층들은 그 후 적층되고 함께 접합되어 서브조립체를 형성한다.
전자 구성요소(62)와 같은 추가의 구성요소들이 그 후 서브조립체의 상측 표면(63) 상에 장착되어, 전자 모듈(40)을 형성한다.
펠티에 열 펌프 디바이스(60)는 제 1 및 제 2 히터/쿨러 표면(51, 53) 및 접촉 영역(70, 71)을 형성하도록, 전기 전도층(44)을 형성하는 구리 포일 부분을 구조화함으로써 제조될 수 있다. 반도체 부재(58, 59)는 앞서 설명한 바의 배열을 형성하도록 제 1 히터/쿨러 표면(51)과 제 2 히터/쿨러 표면(53) 사이의 절연층(42)에 적절한 반도체 물질을 스크린-인쇄함으로서 형성될 수 있다.
발명의 다양한 실시예들이 설명되었으나, 더 많은 실시예 및 구현예들이 발명의 범위 내에서 실현가능함은 당 업자에게 명백할 것이다. 따라서, 발명은 첨부된 청구범위 및 그 등가물에 비추어 예외적으로 제한되지 않는다.
Claims (14)
- 다층 회로 보드와,
상기 다층 회로 보드의 주 표면 상에 장착되는, 그리고, 적어도 하나의 메모리 다이에 전기적으로 연결되는, 전자 구성요소 - 상기 적어도 하나의 메모리 다이는 상기 다층 회로 보드 내에 적어도 부분적으로 매립됨 - 와,
적어도 하나의 펠티에 열 펌프 디바이스(Peltier heat pump device) - 상기 펠티에 열 펌프 디바이스는 열적으로 병렬로 그리고 전기적으로 직렬로 배열되는 적어도 한 쌍의 열전 반도체 부재를 포함함 - 를 포함하는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 메모리 다이는 상기 전자 구성요소 아래에 적어도 부분적으로 배열되는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 다층 회로 보드는 복수의 절연층과, 전기 전도 트레이스를 포함하는 복수의 층을 포함하는
자동차용 전자 모듈. - 제 3 항에 있어서,
상기 다층 회로 보드는 적어도 하나의 절연층을 통해 연장되는 적어도 하나의 전기 전도 비아를 더 포함하는
자동차용 전자 모듈. - 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 메모리 다이는 적어도 하나의 절연층을 통해 연장되는 적어도 하나의 전기 전도 비아와, 상기 다층 회로 보드의 적어도 하나의 층 내에 배열되는 복수의 전기 전도 트레이스에 의해 상기 전자 구성요소에 연결되는
자동차용 전자 모듈. - 제 3 항 내지 데 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연층 내에 배열되는 공동을 더 포함하며,
상기 적어도 하나의 메모리 다이가 상기 공동 내에 장착되는
자동차용 전자 모듈. - 제 6 항에 있어서,
상기 공동 내에 배열되는 봉합재를 더 포함하며,
상기 봉합재는 상기 적어도 하나의 메모리 다이의 적어도 측부 표면을 덮는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펠티에 열 펌프 디바이스는 적어도 하나의 제 1 히터/쿨러 표면 및 적어도 하나의 제 2 히터/쿨러 표면을 더 포함하고, 각 쌍의 반도체 부재는 공통의 제 1 히터/쿨러 표면과, 서로 다른 제 2 히터/쿨러 표면 사이에서 연장되는
자동차용 전자 모듈. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 히터/쿨러 표면은 상기 제 2 히터/쿨러 표면에 횡방향으로 인접하여 배열되는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 한 쌍의 반도체 부재는 전체적으로 동평면(coplanar)이고, 상기 회로 보드 내에 배열되는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
제 1 평면 내 적어도 하나의 제 1 히터/쿨러 표면과, 제 2 평면 내 적어도 하나의 제 2 히터/쿨러 표면 사이에서 연장되는 상기 적어도 한 쌍의 반도체 부재는 상기 제 2 평면으로부터 소정 거리에 배열되는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펠티에 열 펌프 디바이스는,
상기 회로 보드 내에 매립되는 제 2 히터/쿨러 표면 - 상기 제 2 히터/쿨러 표면으로부터 복수의 열 전도 비아가 상기 회로 보드의 외측 표면까지 연장됨 - 과,
상기 회로 보드 내에 매립되는 제 1 히터/쿨러 표면 - 상기 제 1 히터/쿨러 표면으로부터 복수의 열 전도 비아가 냉각 및/또는 가열되어야할 전자 디바이스까지 연장됨 - 중
적어도 하나를 더 포함하는
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전자 구성요소는 시스템-온-칩 아키텍처(architecture)를 포함하고, 상기 메모리 다이는 더블 데이터 레이트 랜덤 액세스 메모리 타입 메모리 칩인
자동차용 전자 모듈. - 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전자 구성요소는 시스템-온-칩 아키텍처(SoC)를 갖고, 또는, 프로세서를 포함하며, 또는, FPGA(Freely Programmable Gate Array) 또는 ASIC(Applicaton-Specific Integrated Circuit)인
자동차용 전자 모듈.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP13178585 | 2013-07-30 | ||
EP13178585.9 | 2013-07-30 | ||
PCT/EP2014/064129 WO2015014563A1 (en) | 2013-07-30 | 2014-07-03 | Electronic module |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160037846A true KR20160037846A (ko) | 2016-04-06 |
Family
ID=48900833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020157036536A KR20160037846A (ko) | 2013-07-30 | 2014-07-03 | 전자 모듈 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9907181B2 (ko) |
EP (1) | EP3028547B1 (ko) |
JP (1) | JP2016527727A (ko) |
KR (1) | KR20160037846A (ko) |
CN (1) | CN105340372A (ko) |
BR (1) | BR112016001796A2 (ko) |
WO (1) | WO2015014563A1 (ko) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108780129B (zh) * | 2016-02-12 | 2021-03-23 | 耶鲁大学 | 用于控制量子系统的技术及相关系统和方法 |
EP3249686A1 (en) * | 2016-05-24 | 2017-11-29 | Mitsubishi Electric R&D Centre Europe B.V. | A power module |
US11502010B2 (en) * | 2016-10-01 | 2022-11-15 | Intel Corporation | Module installation on printed circuit boards with embedded trace technology |
US11449384B2 (en) | 2018-01-05 | 2022-09-20 | Yale University | Hardware-efficient fault-tolerant operations with superconducting circuits |
CN112087860A (zh) * | 2020-09-16 | 2020-12-15 | 广州小鹏汽车科技有限公司 | 印制电路板及其制造方法、电子设备和车辆 |
CN117241466B (zh) * | 2023-11-13 | 2024-01-26 | 信丰迅捷兴电路科技有限公司 | 一种内埋器件的液冷电路板及其制备方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5921087A (en) * | 1997-04-22 | 1999-07-13 | Intel Corporation | Method and apparatus for cooling integrated circuits using a thermoelectric module |
US6094919A (en) * | 1999-01-04 | 2000-08-01 | Intel Corporation | Package with integrated thermoelectric module for cooling of integrated circuits |
US6461895B1 (en) * | 1999-01-05 | 2002-10-08 | Intel Corporation | Process for making active interposer for high performance packaging applications |
US20030057544A1 (en) * | 2001-09-13 | 2003-03-27 | Nathan Richard J. | Integrated assembly protocol |
US7034394B2 (en) * | 2003-10-08 | 2006-04-25 | Intel Corporation | Microelectronic assembly having thermoelectric elements to cool a die and a method of making the same |
US7299639B2 (en) * | 2004-06-22 | 2007-11-27 | Intel Corporation | Thermoelectric module |
TW200605169A (en) * | 2004-06-29 | 2006-02-01 | Sanyo Electric Co | Circuit device and process for manufacture thereof |
JP2006013367A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 回路装置およびその製造方法 |
US7250327B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-07-31 | Intel Corporation | Silicon die substrate manufacturing process and silicon die substrate with integrated cooling mechanism |
TWI260056B (en) | 2005-02-01 | 2006-08-11 | Phoenix Prec Technology Corp | Module structure having an embedded chip |
US20060179849A1 (en) * | 2005-02-14 | 2006-08-17 | Abramov Vladimir S | Peltier based heat transfer systems |
US7592202B2 (en) | 2006-03-31 | 2009-09-22 | Intel Corporation | Embedding device in substrate cavity |
DE102009003934A1 (de) | 2009-01-05 | 2010-07-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur Kühlung einer Wärmequelle einer elektronischen Schaltung |
JP5367413B2 (ja) * | 2009-03-02 | 2013-12-11 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置 |
KR101928005B1 (ko) * | 2011-12-01 | 2019-03-13 | 삼성전자주식회사 | 열전 냉각 패키지 및 이의 열관리 방법 |
EP2790474B1 (en) * | 2013-04-09 | 2016-03-16 | Harman Becker Automotive Systems GmbH | Thermoelectric cooler/heater integrated in printed circuit board |
US9837595B2 (en) * | 2015-05-20 | 2017-12-05 | Mediatek Inc. | Semiconductor package assembly with thermal recycling function |
-
2014
- 2014-07-03 BR BR112016001796A patent/BR112016001796A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2014-07-03 EP EP14735942.6A patent/EP3028547B1/en active Active
- 2014-07-03 CN CN201480035622.6A patent/CN105340372A/zh active Pending
- 2014-07-03 KR KR1020157036536A patent/KR20160037846A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-07-03 US US14/909,180 patent/US9907181B2/en active Active
- 2014-07-03 JP JP2016530400A patent/JP2016527727A/ja active Pending
- 2014-07-03 WO PCT/EP2014/064129 patent/WO2015014563A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016527727A (ja) | 2016-09-08 |
EP3028547A1 (en) | 2016-06-08 |
WO2015014563A1 (en) | 2015-02-05 |
CN105340372A (zh) | 2016-02-17 |
EP3028547B1 (en) | 2019-12-11 |
US20160174382A1 (en) | 2016-06-16 |
BR112016001796A2 (pt) | 2017-08-01 |
US9907181B2 (en) | 2018-02-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |